【課題】 プラズマディスプレイ（ＰＤＰと称する）における背面板の電極板に用いられるガラス基板に形成される配線を検査する基板検査装置及び基板検査方法の提供。
【解決手段】 複数の配線パターンが所定間隔を有して並設される基板の検査を行う基板検査装置であって、複数の配線パターンに対して物理的に非接触で配置され、複数の配線パターンに信号を供給する第一電極部と、被検査対象となる一本の配線パターンに対して物理的に非接触で配置され、一本の配線パターンに信号を供給する第二電極部と、第一電極部に一定の周期を有する第一信号を印加する第一信号供給手段と、第二電極部に第一周期信号と180度位相が相違する第二信号を印加する第二信号供給手段と、被検査対象となる配線パターンの電圧を検出する検出手段と、検出手段が検出する電圧の位相又は電圧の出力に基づき配線パターンの導通及び短絡の良否判定を行う良否判定手段を備えることを特徴とするを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に悪影響を与えることなく、修正部を迅速に焼成または硬化させることが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置では、修正部２４を焼成する場合、まず予備加熱装置３０をオンして基板２０上の修正部２４を含む広い範囲にレーザ光αを照射し、温度センサ３１の検出温度が焼成温度よりも若干低い所定の温度になるように予備加熱した後、スポット加熱装置３２をオンして基板２０上の修正部２４を含む微小範囲にレーザ光βを所定時間照射し、修正部２４を焼成する。したがって、基板２０に影響を与えることなく修正部２４の温度を短時間で上昇させることができる。 （もっと読む）

【課題】液晶やプラズマディスプレイの電極板に用いられるガラス基板の配線パターンを検査する基板検査装置及び基板検査方法の提供。
【解決手段】第一線状部と第一基部を有する第一配線パターンと、第二線状部と第二基部を有するとともに、第一配線パターンと対向配置される第二配線パターンとが交互に複数形成された基板の検査において、配線パターンに物理的に非接触で配置され、信号を検出する信号検出手段２と、第一基部および第二基部と物理的に接触して配置される第一電極部および第二電極部と、第一電極部と第二電極部に所定周期を有する基準信号を供給する給電手段４と、信号検出手段２の検出信号から、基準信号を基に所定位相の位相検波を行う第一検波手段３１と、検出信号から基準信号を基に同期検波を行う第二検波手段３２と、第一検波手段の第一結果と第二検波手段の第二結果から配線パターンの導通判定及び短絡判定を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像によりリブ又は異物の検査を行う場合において、アドレス電極等の不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、リブ等の検査の正確を期することができると共に、簡易且つ低コストの構成で正確にリブを検査することが可能な検査装置等を提供する。
【解決手段】正反射光学系を用いてＰＤＰ背面板１００のリブ１０４の状態を外観検査する場合に、撮像素子の受光方向Ｃとガラス基板１０１との為す当該ガラス基板１０１から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つのリブ１０４において対向する壁面間の距離をＷ_ｉ、各リブ１０４の高さをＬ、としたとき、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗ_ｉを満たす角度θとされている。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）の点灯検査において、信号伝達手段の接触端子をＰＤＰの電極端子に接触させたときの接触不良などを少数の点灯パターンによって検出し、生産性向上を図る。
【解決手段】走査電極および維持電極からなる表示電極が複数形成された第１基板と、前記表示電極に垂直に複数のアドレス電極が形成された第２基板とを対向して配置し、前記表示電極と前記アドレス電極との立体交差部に形成される複数の放電セルにより表示領域を構成したプラズマディスプレイパネルの点灯検査方法において、前記表示領域を、前記アドレス電極に沿って少なくとも３つの領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３が存在するように分け、それぞれの前記領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３では三原色の単色表示を行うとともに、前記アドレス電極に沿って三原色の全ての色が表示されるように駆動して検査する。 （もっと読む）

【課題】基板と、該基板に配された構成部材と、を含み、該構成部材が配された側とは反対の側から該構成部材が基板を介して視認可能である検査対象物における基板の欠陥のみを確実に検出することができる欠陥検出方法等を提供する。
【課題手段】本発明は、検査対象物の基板面に対して構成部材が配された側とは反対の側から照射される照明光を、前記基板に入射した前記照明光が当該基板の前記基板面に対する臨界角近傍で反射されるような入射角で前記基板面に対して照射する工程と、前記基板面からの正反射光を撮像して得られた撮像画像又は当該撮像画像に対して所定の補正処理を行った後の撮像画像から前記欠陥を検出する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された複数本の電極パターンの短絡を検査するに際して、作業の煩雑化等を招くことなく極めて短時間で、短絡部の基板上における位置を正確且つ適切に割り出せるようにする。
【解決手段】 ガラス基板２上にストライプ状に形成された複数本の電極パターン３の一端部に、探針治具５の複数のプローブ４をそれぞれ接触させ、その隣り合う各プローブ４間に電圧を順次印加する電圧印加工程の実行により所定の電流が流れた際に、その電流の流れが検出されたプローブ４に対応する電極パターン３に基づいて、短絡部３ａのガラス基板２上における電極パターン配列方向Ｙの位置を求め、且つ、その電流値の大きさに基づいて、その短絡部３ａのガラス基板２上における電極パターンに沿う方向Ｘの位置を求める。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰを製造する際に、基板上の突起の検出を高精度に行うことができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】基板を載せるステージ２２と、そのステージ２２の上面に対して平行にレーザー光を照射するレーザー照射装置２３およびレーザー光を受光する受光装置２４を有する検出装置とを備えた欠陥検査装置２１を用い、基板上に誘電体層が形成されてなるＰＤＰ用基板２０をステージ２２上に載せて、レーザー照射装置２３からレーザー光を照射しながら、ＰＤＰ用基板２０がレーザー照射装置２３と受光装置２４との間を通過するように、少なくともＰＤＰ用基板２０または検出装置を移動させてレーザー光を受光装置２４で受光し、その受光による信号レベルの変化から突起の大きさを求めるステップ１と、前記突起の大きさを用いて良否判定を行うステップ２とを有する。 （もっと読む）

【課題】作業効率を向上し、検査の高速化を図ることができる蛍光体検査装置を提供する。
【解決手段】従来の蛍光体検査装置と蛍光体印刷ずれ検査装置を一体化し、前段の蛍光体検査の検出結果を後段の蛍光体印刷ずれ検査において共有する。そして、検出された欠陥位置にカラーカメラを移動させ、自動的に欠陥位置の画像を撮像しモニタに表示する。このようにすることで、従来人手でガラス基板をラインから取り出し、欠陥を目視確認して最終判断を行っていた工程を省き、インラインでの最終判定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】基板上のＭｇＯ粉体の分散状態を適切に判定可能にする分散状態数値化システムの提供。
【解決手段】分散状態数値化システム６００の分散状態数値化装置６６０は、ＣＣＤカメラ６２０で撮像された前面基板３の実画像を取得して、この実画像を利用閾値に対応する２値化画像に変換する。各２値化画像全体に対して、ＭｇＯ粉体３４２Ａを表す部分の面積値から求められる標準偏差値σを算出する。各２値化画像におけるＭｇＯ粉体３４２Ａを表す部分の合計面積を２値化画像の面積で除した値を割合ηとして算出する。これら標準偏差値σ、および、割合ηに基づいて、各利用閾値に対応する分散値Ｂを算出する。これら算出した分散値Ｂを積算して、ＭｇＯ粉体３４２Ａの分散状態を表す分散状態数値Ｌを算出する。 （もっと読む）