【課題】保護層上など、前面基板の放電空間に露出する側の面上に付着しているＭｇＯなどの金属酸化物の結晶粉体の粒子数を、多層膜下地層の影響を受けずに正確に測定することを可能とし、もって、良好な画像を表示するＰＤＰを実現することを目的とする。
【解決手段】前面基板１０２上に付着している金属酸化物の結晶粉体１２１に斜光照明する投光装置１と、前述の投光装置１によって、結晶粉体１２１の散乱光を撮像する撮像装置２と、結晶粉体１２１に焦点が合うように投光装置１と撮像装置２を高さ方向に移動させる駆動装置４と、撮像画像の輝度ヒストグラムから前面基板１０２表面と結晶粉体１２１との輝度境界を検出して閾値を設定し、結晶粉体１２１の粒子数を算出する処理装置７と、を備える粒子数測定装置１０である。 （もっと読む）

【課題】高精細で高輝度の表示性能を備え、かつ低消費電力のプラズマディスプレイパネルを低コストで製造することを目的とする。
【解決手段】基板上に形成した表示電極を覆うように誘電体層を形成するとともにその誘電体層上に保護層を形成した前面板と、この前面板に放電空間を形成するように対向配置されかつ前記表示電極と交差する方向にアドレス電極を形成するとともに前記放電空間を区画する隔壁を設けた背面板とを有し、前記前面板の保護層は、前記誘電体層上に蒸着により形成された下地膜上に、金属酸化物からなる複数個の結晶粒子を付着させて構成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、下地膜上に結晶粒子を付着させた後、結晶粒子の層の欠陥部分を検出する検査工程Ａ６を行い、引き続きその後欠落による欠陥部分に対して、前記結晶粒子と有機溶剤とからなるとともに樹脂バインダーを含まない補修インクを塗布する補修工程Ａ７を行う。 （もっと読む）

【課題】ランプ製造に際してガラス管の検査を効率よく行うことのできる検査装置及び当該検査装置を備えたランプ製造装置を提供する。
【解決手段】冷陰極蛍光灯１を製造するランプ製造装置は、長手方向中央部を含み、塗布液が塗布されることで蛍光体層が形成された塗膜部３３と、一端部を含み、一旦形成された蛍光体層を除去することで形成された塗膜剥離部３２と、他端部を含み、塗布液が塗布されなかった非塗布部３１とからなるガラス管１１のうち、塗膜部３３の検査及び塗膜剥離部３２の検査を行う検査装置４１を備えている。検査装置４１は、ガラス管１１に光を照射可能な照射手段４４、４５と、照射手段４４、４５とはガラス管１１を介して反対側に設けられ、ガラス管１１を透過した透過光を撮像可能な撮像手段４６、４７と、撮像手段４６、４７による撮像に際し、非塗布部３１を保持する案内レール５５及び押え板６１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】多数の発光パネルの光学及び電気特性検査を小スペースで連続して同時にかつ安定して行うことが可能な発光パネルのエイジング検査方法を提供する。
【解決手段】検査パレット１２に並べて搭載されたエイジング試験中の発光パネル１１の明るさを一定時間毎に光検出器１６で測定する発光パネル１１のエイジング検査方法であって、光検出器１６に積分型ラインカメラを使用し、その走査周期を該積分型ラインカメラで撮像する１ライン内に存在する発光素子の発光周期の整数倍に設定する。そして、積分型ラインカメラで撮像した一定時間毎の発光パネル１１の画像から赤発光画素、緑発光画素、及び青発光画素毎の領域を抽出してそれぞれ平均輝度を算出し、該各平均輝度の時間変化の大きさから色度変化を求め発光パネル１１の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターン、特にＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージャー用フォトマスクのようにセルピッチやパターンの方向性が多岐にわたるような被検査体に対し、数ｎｍオーダーの寸法ズレや位置ズレによって生じるムラを高精度に撮像、検出可能な周期性パターンのムラ検査装置、および方法を提供する。
【解決手段】照明部１０と、被検査基板６０の位置決め動作および検査撮像時におけるスキャンニング動作が可能なＸ−Ｙ−θステージ部２０と、被検査基板６０の位置決めを実施するためのアライメント用撮像部３０と、被検査基板６０の検査画像を撮像するための検査撮像部４０と、装置全体の動作制御および映像出力を画像情報として画像入力し、画像演算処理を行い、画像情報・検査情報の授受を行い、さらに画像を表示する機能を有する処理・制御部１００から構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】結晶の粒度分布から、結晶粒子散布工程における異常の有無と、かかる異常の原因と、を特定し、当該異常の原因に対応する処理を実行する。
【解決手段】 ＭｇＯ粒子の粒度分布から、スラリー散布工程における異常の有無と、その原因と、を特定し、検出された異常の内容に対応する処理を実行することが可能なＰＤＰ製造装置１を提供する。ＰＤＰ製造装置１は、散布装置２０における散布条件を制御するための散布制御部１１１と、検査装置３０の撮像する画像から、ＭｇＯ粒子の粒度分布を検出するための画像解析部１１２と、異常を検出するための異常検出部１１３と、ステージ２０５、３１０を駆動させるための駆動制御部１１４と、を有する異常検出装置１０を備える。 （もっと読む）

【課題】蛍光ランプのスローリークの有無を迅速に判別できるスローリーク検出方法を提供する。
【解決手段】スローリーク検出方法は、蛍光ランプ１をチャンバ（不図示）内に収容し、チャンバ内を大気圧より高い気圧にする加圧工程を有する。 （もっと読む）

【課題】処理電極への異物の付着・堆積を正確に検出し、正常な耐圧処理の実施を可能とする技術を提供する。
【解決手段】処理電極を処理対象基板に対向させた状態で、前記処理電極と前記処理対象基板との間に電圧を印加することによって、前記処理対象基板上の異物を除去する基板処理を行う基板処理装置において、基準電極と、前記処理電極と前記基準電極の少なくとも一方を移動させることによって、前記処理電極を前記基準電極に対向させる移動機構と、前記処理電極を前記基準電極に対向させた状態で、前記処理電極と前記基準電極との間に電圧を印加することによって、前記処理電極表面の異物付着状態を検査する検査手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】特定の階調を表示するときのみ発生するような表示不良であっても、高速かつ高精度に自動検出することができるプラズマディスプレイパネルの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】階調が所定の時間間隔で変化する検査パターン画像をプラズマディスプレイパネル１０に表示させるパネル駆動部４２と、プラズマディスプレイパネル１０の画像表示面を、上記所定の時間間隔に応じた時間間隔で撮像する撮像部４３と、撮像部４３で撮像された複数の検査画像を互いに比較して検査画像間の輝度変化量を算出する変化量算出部５３と、輝度変化量があらかじめ定めた所定の範囲内にあるかどうかを判定し、所定の範囲外となる領域を抽出する領域抽出部５４と、上記領域の特徴量を算出する特徴量算出部５５と、上記特徴量にもとづきプラズマディスプレイパネル１０の良否を判定する良否判定部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルディスプレイの製造工程に含まれる熱処理工程で端面部又は排気孔形成部を起点とした破損を可及的に低減し得る破損強度を有するガラス基板を提供する。
【解決手段】端面部に研磨加工が施され、板厚が１．３〜４．０ｍｍのフラットパネルディスプレイ用のガラス基板において、ガラス基板と同一条件で製造された複数枚のガラス基板の各々に対して、端面部から中央部に向かって２６ｍｍ離間した位置に発熱体を密着させて、熱応力を生じさせて端面部を破損させ、破損した端面部を含むガラス片の破面を破面解析し、破面解析により求められた複数枚のガラス基板の各々の破損強度データをワイブルプロット処理したときに、そのワイブルプロットの近似線における破損確率１０％に対応した破損強度が、５００ｋｇｆ／ｃｍ²以上となるようにした。 （もっと読む）