【課題】この発明は、表裏反転させる基板のサイズに拘わらず対向する別の基板の移動ストロークを短くでき基板のハンドリングを容易にできる基板反転機構、および表示装置の製造装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板反転機構２０は、ドーム型の真空チャンバ２１を有する。真空チャンバ２１内には、背面基板４を支持する支持部２２、前面基板２を吸着保持する静電チャック２４、および静電チャック２４を回転させるリンクアーム２６を有する。リンクアーム２６の先端が静電チャック２４の中心に接続され、リンクアーム２６の基端および静電チャック２４の一端がそれぞれスライド軸２５、２７によって横方向にスライド可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】多品種少量生産が可能な光源製造装置を提供する。
【解決手段】複数の品種または規格の光源を製造するために必要な複数の工程でワークをそれぞれ加工する複数の加工装置であるベンディング装置１３、コーティング装置１４、ベーキング装置１５、封止装置１６、排気装置１７、組立装置１８、マウントメイク装置１８と、これら加工装置１とワークを授受してこれら加工装置間に搬送する搬送制御装置１２と、加工装置と搬送装置の運転を光源の品種または規格に応じて制御する制御装置１２と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネル等のパネルをほぼ全自動化して製造することが可能なプラズマディスプレイパネル等のパネル製造システムを提供する。
【解決手段】閉ループ状の循環経路１と、循環経路上を移動する複数のカート２と、カートに設けられた基板搭載部と、カートに設けられ、排気管が装着される排気管装着部と、カートに設けられ、排気管装着部に接続された排気装置と、循環経路に設備され、封着処理および排気処理が行われる熱処理炉８と、循環経路に設備された積み卸し部９と、積み卸し部に基板や排気管を搬入するコンベア１０，１１と、積み卸し部に設けられ、制御情報に基づいて動作されて、パネル製造作業を行うロボット１２〜１５と、積み卸し部からパネルを搬出するコンベア１６と、これらロボット等を制御する制御盤１７〜２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】この発明は、信頼性を高めることができる基板処理装置、および表示装置の製造装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ＳＥＤの製造装置は、封着室２４、およびゲッタ室２５を有する。前面基板２を静電チャック３２の吸着面３１上に載置し、背面基板４を載置板３３上に載置する。前面基板２吸着後、静電チャック３２をゲッタ室２５に移動して反転させ、内面にゲッタ材を蒸着する。その後、反転したままの静電チャック３２を封着室２４へ移動して、載置板３３を上昇させ、前面基板２と背面基板４を近接させて位置決めする。そして、周縁部同士を封着し、表示パネルを構成する。 （もっと読む）

【課題】 シートロールの交換を容易かつ迅速に行うことができるシート供給装置を提供する。
【解決手段】 シートロール装着部２０、２２の出口部の近傍にシート検出センサ５０、５２を設け、保護シート２６の終端検出を行う。保護シート２６はガイドローラ２８、３０を経て引き出しチャック３２によって引き出され、挟持板３６Ａ、３６Ｂとカッタ３８とを有する裁断機構により保護シートロール２４と分離される。シート検出センサ５０、５２によって保護シート２６の終端が検出されると、引き出しチャック３２が１ストローク分の動作終了後、装置が停止する。ここで、保護シート２６の終端部分は、挟持板３６Ａ、３６Ｂの後方に配置されており、この終端部分に新たなシート２６の先端部分を連結して、装置を再起動する。 （もっと読む）