【課題】大版の基板に形成されたペーストを、安価に省エネルギで、かつ、面内を均一に乾燥し得る乾燥装置を提供する。
【解決手段】基板２３上に塗布されたペーストを乾燥する乾燥装置であって、ペーストが塗布された基板２３を搬送するローラハース式の搬送部２４と、基板２３のペーストが塗布された面に対向して設けたヒータ２５と、基板２３のペーストが塗布された面と反対側の面に対向して設けた遠赤外線放射塗料を塗布した輻射板２６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布されたペーストから溶剤成分を蒸発させる乾燥するに際して、大版の基板の基板端部と基板中央部との温度差を小さくして、基板の面内の蒸発速度を均一に乾燥し得る乾燥装置を提供する。
【解決手段】大版の基板２０に塗布された厚膜ペーストの塗布膜を乾燥する乾燥装置２５であって、加熱部２６とペーストが塗布された基板２０を搬送する搬送部２７とを備え、加熱部２６は複数の遠赤外線放射体のヒータユニットにより構成された基板２０の少なくとも上面と下面とに配置された上ヒータ３０と下ヒータ３１とを設けて、大版の基板２０を構成する複数の領域に、上ヒータ３０と下ヒータ３１の遠赤外線放射体からの遠赤外線放射強度を個別に制御して加熱乾燥する。 （もっと読む）

【課題】 処理チャンバ内部の寸法を小さくせずに、外形寸法の拡大を抑え、かつ重量の軽減を図る。
【解決手段】 真空チャンバ１０の本体１０ａの長手方向の側壁６１ａ，６１ｂの壁厚Ｌ_１は、側壁６２ａ，６２ｂの壁厚Ｌ_２に比べて小さく形成され、蓋体１０ｂの上部側壁６３ａ，６３ｂの壁厚は、上部側壁６４ａ，６４ｂの壁厚に比べて小さく形成されている。使用時には、側壁６１ａ，６１ｂおよび上部側壁６４ａ，６４ｂの強度を補うため、補強板９０ａ〜９０ｄが着脱可能に外付けされる。 （もっと読む）

【課題】 基板加工工程から組み立て封着封止工程に至るまで、基板面に不純物ガスや水分を吸着させることなく、放電効率、発光効率および信頼性を向上させ製造するプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板面上に加工を施す基板加工工程と、基板を運搬する基板運搬工程と、基板加工面を対向させ貼り合わせ封着封止するパネル組み立て工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、基板運搬工程は、基板加工工程で加工をした第２の基板１１（背面板３）を、不活性雰囲気３０１中に保持しながら、パネル組み立て工程へ少なくとも運搬するための基板密閉運搬容器３０を使用する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 設置に必要な床面積が少なく、簡単な機構で基板を傾斜姿勢で搬送することができ、設備コストの低減化に貢献する基板処理装置を提供する。
【解決手段】 第１処理部２０で処理が施された後の基板を、搬送方向転換部４０が搬送方向を転換し、その傾斜搬送部４９によって、第１搬送路４１の勾配で傾斜姿勢とされた状態を略維持したまま第２搬送路４３まで搬送する。この傾斜搬送部４９によって搬送される基板Ｂの主面に対しては液供給部が処理液を供給する。第２搬送路４３及び第２処理部３０では、傾斜搬送部４９によって傾斜姿勢が保たれている基板を、そのままの姿勢で第１処理部２０とは逆方向に搬送させて処理する。 （もっと読む）

【課題】装備の空間占有率を減少させて装備内周囲構造物と干渉を縮め、平板ディスプレイのパネルを所望の角度と小さい動力にティルティングさせることを可能にする平板ディスプレイパネル検査装置のパネル供給装置を提供すること。
【解決手段】固定プレート３１０と、ティルティングプレート３２０と、ティルティング手段３３０と、アップダウンプレート３４０と、ティルティングプレート３２０とアップダウンプレート３４０との間に設けられてアップダウンプレート３４０をアップダウンさせるアップダウン手段と、アップダウンプレート３４０の上側で回転可能に設けられて供給する平板ディスプレイパネルを支持して整列し、整列時全体長さが可変されるパネル整列手段が備えられたサブテーブル４００と、サブテーブル４００を回転させるためにアップダウンプレート３４０の下部に設けられる回転手段と、を含んで成る。 （もっと読む）

【課題】この発明は、ゴミが付着しないように処理対象物を移動できる搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 処理対象物を収容するカセットと、このカセットと密着して固定され、かつ取り外しができる扉と、カセットの底辺に設けられ搬送ローラを備える搬送装置により、ゴミが付かないように、収容されている処理対象物を搬送できる。 （もっと読む）

【課題】設備の設置空間を最小化し、ガラスパネルの処理作業の効率性及び生産性を極大化できる平板型蛍光ランプのランプ上板成形システムを提供する。
【解決手段】ガラスパネル又はランプ上板を移送する同一長さのコンベヤが上下に複層に設けられた移送部を有し、この移送部の一端に、下部コンベヤから上部コンベヤにガラスパネルを移送する第１供給部を、他端に、上部コンベヤから下部コンベヤにランプ上板を移送する第２供給部を備える。移送部の所定位置には、ガラスパネルをコンベヤに供給するガラス供給部が設けられ、コンベヤ上には、ガラス供給部からコンベヤ上に供給されたガラスパネルを加熱する加熱部と、加熱部で加熱されたガラスパネルをランプ上板の形状に成形する成形部と、成形部で成形された成形品の急冷を防止する熱処理部とが設けられ、コンベヤの一側には、熱処理部で熱処理された成形品を外部へ排出する排出部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 誘電体層上に水分及び有機物等が吸着又は付着することを防止し、更に、吸着又は付着した水分及び有機物は保護膜の成膜前に除去することができ、清浄な状態を保って良質な誘電体保護膜を形成することができるプラズマディスプレイパネルの製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１上の誘電体層を焼成する誘電体層焼成室２と、焼成後の基板１をヒータ７により加熱しつつ成膜室５に向けて搬送する加熱搬送室３と、搬入室４と、電子ビーム蒸着法等により基板上の誘電体層上に保護膜を形成する成膜室５と、搬出室６とが、この順に配置され、各室の間はゲートバルブ８，９，１０，１１により封密的に連結されている。各室にはドライガス供給口１２からドライガスが供給され、各室内は、ドライガス雰囲気に保持されている。 （もっと読む）

【課題】枠体の保管および搬送の自動化が可能な収納装置、移載装置、並びに収納装置および移載装置を備えた搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、収納装置１０と移載装置２０とを備えている。収納装置１０は、筐体と、側壁１を略同じ高さで載置可能な複数本の支持部材１４ａ〜１４ｎと、支持部材１４ａ〜１４ｎに設けられ、側壁の移動を規制する保持部４０と、を有している。移載装置２０は、アーム２１と、アームの外側に設けられ、側壁１を略同じ高さで載置可能な複数本の支持部材２２ａ〜２２ｉと、支持部材２２ａ〜２２ｉに設けられ、側壁の移動を規制する保持部５０と、を有している。支持部材２２ａ〜２２ｉは、支持部材１４ａないし１４ｎと別の部位で側壁１を載置する。 （もっと読む）