【課題】容易かつ効果的に洗浄されるリソグラフィ装置、及び液浸リソグラフィ装置を効果的に洗浄する方法を提供する。
【解決手段】表面を洗浄するメガソニックトランスデューサを有する液浸リソグラフィ投影装置、及び液体を通じてメガソニック波を使用して液浸リソグラフィ投影装置を洗浄する方法が開示される。液体には流れ、望ましくは放射状流れが誘起される。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】各センサが、それぞれ対応する経路ＲＴ上にレーザを投光してスポット２０Ｐを形成し、スポット２０Ｐから透過する透過レーザの量を検出する。そして、位置データを参照して、検出値が「第１閾値」になるごとに、第１検出位置ＲＰ１に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。また、検出値が「第２閾値」になるごとに、第２検出位置ＲＰ２に基づく基板中心Ｓａの座標を演算し、その時の基板中心Ｓａに基づいて目標点の座標を補正する。 （もっと読む）

【課題】ステージを目標位置に高精度かつ高速に移動し、停止することが可能なステージ位置決め装置を提供する。
【解決手段】移動開始位置においてステージ位置検出装置によりステージの現在位置と目標位置から目標移動量Ｒ１を算出し、目標移動量と実移動量の関係を表す移動量誤差情報に基づき、前記ステージの実移動量Ｙ１が前記目標移動量Ｒ１に一致するような補正目標移動量Ｒ２を算出する。前記補正目標移動量Ｒ２で前記ステージを駆動することで、前記ステージをＲ１だけ移動させることにより、高精度かつ高速な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】ステージの変形を最小限に抑えるか望ましくは避けるべきであるということを考慮に入れると、そのような過剰作動ステージの制御は困難であるため、過剰作動ステージの性能を向上させることを目的とする。
【解決手段】リソグラフィ装置向けのステージシステムは、ステージ、ステージに作用するように配置された過剰指定された数のアクチュエータ、およびこれらのアクチュエータへ電流を供給するように構成された電源を含み、これらのアクチュエータの第１のアクチュエータに関連したコイルおよびこれらのアクチュエータの第２のアクチュエータに関連したコイルに電流が供給される。 （もっと読む）

【課題】センサの数量を増加させることなく、基板の搬送精度を向上させた基板搬送方法、及び基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】センサ２０の光軸を、基板Ｓの法線方向Ｚに対して傾斜させて、基板Ｓの端面の一点を光軸上の上位検出点ＰＳ０に通過させる。また、ハンド点を法線方向Ｚに変位させて、基板Ｓの端面の他点を光軸上の下位検出点ＰＳ１に通過させる。そして、上位検出点ＰＳ０の検出結果に基づく上位距離と、下位検出点ＰＳ１の検出結果に基づく下位距離を用いて基板Ｓの中心を演算し、基板Ｓの中心を目標点に搬送させる。 （もっと読む）

【課題】ウエハを含む種々の基板を接合させる際に基板間のギャップを高精度で測定することのできる基板接合装置を提供する。
【解決手段】基板接合装置は、前記第１の組の基板（Ｗ１）を保持する第１の基板保持手段（１０１）と、前記第２の組の基板（Ｗ２）を保持する第２の基板保持手段（２０１）と、前記第１および第２の基板保持手段の内の少なくとも一方を、基板の面と垂直な方向に移動させる移動手段（２０５）と、を備える。基板接合装置は、前記第１および第２の組の基板の側面に光を照射する照明手段（４０３）と、前記第１および第２の組の基板を隔てて、前記照明手段と対向する位置から、前記第１の組の基板および第２の組の基板の側面を撮影するカメラ（４０１）と、前記カメラの撮影した画像から、前記第１および第２の組の基板の間のギャップの値を求める画像処理手段（４０５）と、をさらに備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
簡素な駆動系で、ボールネジに塗布されたグリスの粘性抵抗によるドリフトを抑制して高精度な位置決め性能を有するステージ装置を実現すること。
【解決手段】
上記目的を達成する手段として、テーブルを移動させるためにモータからの回転運動を直線運動に変換するボールネジに取り付けられるナットを二個とした。そして、一つのナットにテーブルを連結するとともにもう一方のナットの回転運動を抑制する回転止め手段を設けた。さらに前記ナットの間にはばね部材、あるいは弾性部材を設け、両ナット間には引っ張り力、あるいは圧縮力が作用するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板が反っていても基板を位置決めして、片面にテープを貼ることができ、この基板を精度よく裁断して基板から無駄なくチップを製造することができる基板テーブル、及びチップの製造方法を提供する。
【解決手段】基板としてのガラス板１２の片面にテープを貼る際は、ガイドピン１６を押し込みながらダイシングテープをガラス板１２に貼ることができ、ガラス板１２が反っていてもガラス板１２を位置決めし、ガラス板１２の片面にテープを貼ることができる。このように位置決めされたガラス板１２をダイシング装置で裁断することで、ガラス板１２を精度よく裁断してガラス板１２から無駄なくチップを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】ステージを駆動する駆動機構に対する負荷量を調整して安定した負荷量とし、これによって、ステージ駆動を安定化させる。
【解決手段】ステージ３に設けた微細な孔を通して吸気することによって、ステージを定盤２に対して吸引させ、ステージを駆動する駆動機構に対する負荷を発生させる。これにより、ステージは定盤に対して非接触となるため、摩耗による負荷力や静止特性の変動や、摩耗物による汚染の問題を解消する。定盤上に配置するステージを２次元平面内で駆動機構によりステージ駆動する方法であり、定盤面と対向する面から定盤面に対して気体を放出することによってステージを定盤上に浮上支持するとともに、定盤面との対向面から吸気することによってステージを定盤に対して吸引させる。この吸引を調整することによって、ステージを駆動する駆動機構の負荷を調整する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ全面に亘って位置合わせ精度が劣化しない接合装置と、接合方法を提供すること。
【解決手段】複数の接続部が形成された２体の基板ＷＡ，ＷＢの当該接続部を対向させ、かつ位置合わせしたのち、前記２体の基板を接合する接合装置１であって、前記２体の基板にそれぞれ直接的又は間接的に接触するそれぞれの部材１１２Ａ，１１２Ｂは、前記基板に略平行な面の少なくとも１面に静止摩擦力を低減する静止摩擦低減手段を有する接合装置１。 （もっと読む）