【課題】駆動用電極の電極の長さを長く形成したとき、励振振動脚部に２次モードの励振を発生させてしまう可能性が生じる。又、検出用電極の場合では、電極の長さを長くして電極の大きさを大きく形成したとき、検出電荷量が低下してしまい、検出電荷を有効に取り出すことが難しくなる。
【解決方法】励振振動脚部と検出振動脚部とが平行に設けられ、且つこの励振振動脚部及び検出振動脚部の同一方向の端部に、励振振動脚部及び検出振動脚部を保持する基部が設けられた形状の角速度センサ素子において、励振振動脚部の長さ方向の長さをａとした場合、駆動用電極の長さｂ１を、０．３５ａ以上０．６８ａ以下の範囲とし、検出用電極の長さｂ２を、０．５ａ以上０．８５以下の範囲とし、且つ、ｂ１とｂ２との関係が、ｂ１＜ｂ２であることを特徴とする角速度センサ素子。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、不要な振動成分を無くす為に圧電振動式慣性センサー素子の少なくとも２つの脚部にそれぞれ少なくとも１個所の角部に質量変化を加え脚部の質量バランスを相互に調整した圧電振動式慣性センサー素子を提供し、同時に圧電振動式慣性センサー素子のそれぞれの脚部の少なくとも１箇所の角部をレーザー光で除去する圧電振動式慣性センサー素子の製造方法を提供し、また電子部品の微小部分に複数のレーザー光を異なる角度から同時に照射して微小部分を除去するレーザー加工装置を提供すること。
【解決手段】目的を達成する為に、音叉型振動子を用いた圧電振動式慣性センサー素子のそれぞれの脚部の角部を除去することを特徴とし、振動子のそれぞれの脚部の角部をレーザー光で除去することを特徴とし、複数のレーザー光を異なる角度から照射し微小部分を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動子素子を角速度センサとして使用する場合、周囲の温度変化、電源電圧の変化などによって励振振幅が安定していないと良好なセンサ特性（励振振幅を一定に保つのは困難）が得られにくく励振回路で振幅を調整する方法が採られていたが、励振回路に依存せず素子自体の励振振幅を安定する素子の実現を目的とする。
【解決手段】振動子素子の励振電極の存在するアームに、励振電極とは別に励振振幅検出用電極を形成する。励振電極に印加された励振振動信号によって、振動子素子の励振アーム内には交流電界が発生し、励振アームは所定の方向に振動し始める。この交流電界の変化を、励振振幅検出用電極で検出すると、励振振幅に応じた電圧となる。この電圧を励振回路の振幅比較手段に帰還させ、励振振幅調整手段を通して励振振動信号を調整することにより、励振振幅を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 高応力，高圧力等の高力学量を耐圧容器等を用いることなく直接測定可能な力学量センサを構成可能な力学量センサ材料を提供すること。
【解決手段】 電気絶縁性セラミック材料１１よりなるマトリックスに圧力抵抗効果材料１２を電気的に連続につながるように分散させてなる。 （もっと読む）

【課題】 水晶等の単結晶圧電材料よりなる音叉振動子を利用した角速度センサの検出感度を高めることを目的とする。
【解決手段】 ２枚の音叉振動子を厚み方向に直接接合して一体化してなり、これらの各音叉振動子はその幅方向もしくは厚み方向において互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向となるように接合した。 （もっと読む）

【目的】 基板温度が低温状態で基板上に形成された高分子膜に十分なポーリング処理を施して、焦電圧電性に優れた有機焦電圧電体の形成方法の提供。
【構成】 真空中で基板温度が低温で、高分子膜が形成可能な原料モノマーを蒸発させて、基板上に高分子膜を形成後、真空処理室内にガスを導入しながら、高分子膜の下部に設けた電極と、基板の前方に配置された針状の電極間に高電界を印加し、基板温度を昇温しながら高分子膜にポーリング処理を行う。
【効果】 高分子膜がオリゴマー状態から、未反応部分が膜内部で基板の昇温時に反応する際にポーリング処理が行われて、圧電性や焦電性が向上した有機焦電圧電体を容易にかつ効率よく形成することが出来る。 （もっと読む）

【目的】ゲートアレイに内蔵される圧電素子を用いる発振回路において、そのレイアウト面積を増大させることなく、ノイズを除去することができる発振回路の提供。
【構成】ゲートアレイに内蔵される圧電素子を用いる発振回路であって、出力端に前記ゲートアレイの内部セル領域に存在する未使用ポリシリコンゲートを用いて構成されるローパスフィルタを備えることにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）