【課題】 基板の反りの発生を抑制することができる成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る成膜装置は、気相成膜法により基板（２５）上に膜を成膜する成膜装置であって、基板（２５）を基板（２５）の面方向に摺動可能に保持する保持手段（１０）を備えることを特徴とするものである。本発明に係る成膜装置によれば、基板（２５）は、保持手段（１０）によって基板（２５）の面方向に摺動可能に保持されている。この場合、基板（２５）と膜との間の熱膨張率差に起因する応力が基板（２５）の摺動によって分散される。それにより、基板（２５）の反りが緩和される。その結果、膜に欠陥が生じることが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 水素分離膜と電解質膜との剥離を抑制することができる燃料電池の製造方法を提供する。
【解決手段】 燃料電池（１００）は、水素透過性を有する水素分離膜（１１）上にプロトン伝導性を有する電解質膜（１２）が形成された水素分離膜−電解質膜接合体（１０）を準備する準備工程と、カソード成分を含有し１００℃以下の沸点を有する溶剤（２０）を電解質膜（１２）上において蒸発させることによって電解質膜（１２）上にカソード（３０）を形成するカソード形成工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 水素分離膜と電解質膜との密着強度を向上させることができる水素分離膜−電解質膜接合体の製造方法、燃料電池の製造方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】 水素分離膜−電解質膜接合体の製造方法は、酸素を含む雰囲気下で、水素透過性を有する水素分離膜（１０）の一面にプロトン伝導性を有する酸化物型の電解質膜を気相成膜法により成膜する成膜工程を含み、成膜工程においては、電解質膜の成膜量および水素分離膜（１０）の一面がさらされる雰囲気の酸素分圧の増減を交互に行い、電解質膜の成膜量を低下させる場合には酸素分圧を上昇させかつ電解質膜の成膜量を増加させる場合には酸素分圧を低下させることを特徴とするものである。本発明に係る製造方法によれば、水素分離膜（１０）と電解質膜との密着強度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】電解質膜に貫通欠陥が生じることを抑制できる燃料電池用水素分離膜−電解質膜接合体の製造方法を提供する。
【解決手段】水素分離膜−電解質膜接合体１００の製造方法は、水素透過性を有する水素分離膜１０上にプロトン伝導性を有する電解質膜３０を成膜する水素分離膜−電解質膜接合体１００の製造方法であって、水素分離膜１０の一面の最大高さＲｚが電解質膜３０の膜厚より小さくなるように水素分離膜１０の一面に凹凸を形成する凹凸形成工程と、凹凸が形成された水素分離膜１０の面上に電解質膜３０を気相成膜法により成膜する成膜工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】水素分離膜電池の発電効率の向上を図りつつ設計の自由度が低下してしまうことを抑制する。
【解決手段】燃料電池は、水素分離膜と電解質層とカソード電極層とを有する発電体と、発電体の水素分離膜側の面に隣接して配設され、水素分離膜に燃料ガスを供給する燃料ガス流路が形成された第１のセパレータと、発電体のカソード電極層側の面に隣接して配設され、カソード電極層に酸化ガスを供給する酸化ガス流路が形成された第２のセパレータとを備えており、更に、発電体内の化学反応によって生じた熱を、発電体から当該燃料電池を構成する他の部分に伝熱することを抑制する伝熱抑制構造を備える。 （もっと読む）

【課題】 水素分離膜と電解質膜との界面における酸素不足を抑制することができる成膜装置、成膜方法、および、燃料電池の製造方法を提供する。
【解決手段】 成膜装置（１００）は、水素透過性を有する水素分離膜（２１）の一面にプロトン伝導性を有する電解質膜（２４）を気相成膜法により成膜する成膜手段（２０）と、水素分離膜の他面がさらされる雰囲気の酸素分圧が水素分離膜の一面がさらされる雰囲気の酸素分圧よりも大きくなるような酸素分圧差を生じさせる分圧差発生手段（２２，３０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 短絡が生じることを抑制できる水素分離膜−電解質膜接合体および燃料電池ならびにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る水素分離膜−電解質膜接合体（５０）の製造方法は、プロトン伝導性を有する電解質材料（２０）と水素透過性を有する水素分離膜（１０）とを接合する接合工程を含むことを特徴とするものである。本発明に係る製造方法においては、電解質膜を気相成膜法により成膜する必要がない。この場合、電解質膜（２５）における間隙の発生を抑制することができる。したがって、電解質膜（２５）上に電極を成膜した場合に、水素分離膜（１０）と電極との短絡を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 水素分離膜と電解質膜との接触面積を大きくすることができかつ電解質膜を薄膜化することができる水素分離膜−電解質膜接合体の製造方法および燃料電池の製造方法を提供する。
【解決手段】 水素分離膜−電解質膜接合体（１００）の製造方法は、水素透過性を有する水素分離膜（１０）の一面側の表面部（１２）と水素分離膜（１０）の構成元素と異なる異種元素とを化学反応させて表面部（１２）を膨張させる膨張工程と、異種元素を表面部（１２）から除去する除去工程と、除去工程後に水素分離膜（１０）の一面にプロトン伝導性を有する電解質膜（２０）を成膜する成膜工程と、を含むことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】水素透過膜を支持し、かつ高温環境下においても水素透過膜の剥れ、膨れ又は孔等が生じるのを防ぐことのできる多孔質支持体を備えて成る水素分離装置を提供すること。
【解決手段】両端若しくは一端を開口する筒形状を有し、又は板形状を有する多孔質支持体と、前記多孔質支持体の表面を被覆し、かつ水素が選択的に透過することのできる水素透過膜とを備え、前記多孔質支持体の前記水素透過膜が被覆する表面に存在する、角部を有する凹部を研削して円滑凹部を形成することを特徴とする水素分離装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】コストを抑えつつ水素透過性能に優れ、且つ強度低下を抑えて耐久性向上を図り得る水素透過膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】部分的に厚さを薄くした水素透過膜材１３の表面に水素イオン化触媒をコーティングして水素イオン化触媒層１４を形成する。 （もっと読む）