【課題】可動要素が駆動させられるとともに、機械的な接触がなく、付着される磁気粒子も持たず、少なくとも斥力が生成される場合に適用されるマイクロシステムを提供する。
【解決手段】 静止した第１の要素（１）と、可動かつ非結合の第２の要素（２）と、第１及び第２の要素（１、２）間に力を生じさせるためのアクチュエータ（３）とを含むマイクロシステムであり、該アクチュエータ（３）は、第１の要素（１）及び第２の要素（２）の一方の温度（Ｔ１、Ｔ２）を制御するように設計されている。マイクロシステムにおいて第１の要素（１）に対して第２の要素（２）を位置決めするための対応する方法が導入される。 （もっと読む）

本発明は、光ビームを変調するためのマイクロメカニカル熱的構造及びこのような構造を製造するための方法に関する。マイクロメカニカル構造は、それぞれ第一の方向及び第二の方向で異なる熱膨張係数を備えた材料の二つの層を含み、第一の方向は、第二の方向に対して横向きであり、且つ、二つの層は、配向させた重合体を含み、且つ、第一の層の配向させた重合体の分子の方向性は、第二の層の配向させた重合体の分子の方向性に対して横向きである。このようなマイクロメカニカル構造の配列は、光を変調するための熱光学変調器を形成してもよい。その方法は、液晶質の単量体の、単量体の状態において分子の配向を得るために、配向を誘起させる層を備えた型を提供するステップ及び光重合によって分子の配向を固定するステップを含む。
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本発明は、電気機械アクチュエータの１つまたは複数の要素における熱膨張率の差を補償する方法を含む。電気機械アクチュエータは、圧電セラミック多層アクチュエータ（ＣＭＡ）およびＣＭＡの運動を増幅する機構など、１つまたは複数の要素を含むことができる。ＣＭＡと増幅機構の材料の熱膨張率または熱膨張係数値ＣＴＥの差により、周囲温度が変化する際に、２つの構成要素のサイズが、異なる率で変化することがある。増幅機構は、ＣＭＡの運動の大きな増幅を提供するので、温度による構成要素のサイズの相対変化は、増幅機構によってＣＭＡの運動として変換することができる。これにより、増幅機構が大きく運動することがある。異なるＣＴＥ値を有する要素で増幅機構の機械要素を置き換えることにより、材料のＣＴＥの差が大きく低減され、それにより、増幅機構の熱誘起運動が低減される。さらに、使用される材料および熱補償のために増幅デバイスの置換え要素を相互接続する手段は、ＣＭＡ支持体構造の高度な剛性を維持することができるが、その理由は、支持体構造は、ＣＭＡの運動および力を増幅機構に伝達し、ならびに、圧縮前負荷をＣＭＡに加えるからである。さらに、必要な熱補償の程度を調節するために、全設計プロセスの追加部分として、高レベルの圧縮前負荷力を使用することができる。
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電動アクチュエータは、スマートマッスルワイヤに電力を直接加え、電動アクチュエータの出力移動を提供することを特徴とする。スマートマッスルワイヤは、出力移動を発生するため、移動可能な部材、例えばスライドやレバーに取り付けられる。スマートマッスルワイヤは、好ましくは、各端が固定され、移動可能な部材に別体の又は一体の部品として取り付けられた反作用部材の周囲でループをなし、電動アクチュエータの移動可能な部材を移動するために加えられる力を二倍にする。電動アクチュエータの力及び／又はストロークは、ワイヤの直径及び／又は長さを変化させることによって様々な要件に容易に合致するように設計できる。 （もっと読む）