【課題】より微細で繊細な細線や細管に装着でき、より軽量で微細で繊細な能動細線、能動細管を構成させることができる形状記憶合金製マイクロアクチュエータの製造方法及び細線への薄膜の積層工程において用いるスパッタリング装置の提供を課題とする。
【解決手段】被装着体である細線（細管を含む）の表面に装着することで細線を屈曲可能な能動細線に構成させる形状記憶合金製マイクロアクチュエータ１の製造方法であって、被装着体の代わりとなるダミー細線１０を用い、ダミー細線の外側周面に対して拡散防止用金属薄膜２０を積層する工程、拡散防止用金属薄膜の上から形状記憶合金組成薄膜３０を積層する工程、形状記憶合金組成薄膜に対して形状記憶熱処理を施す工程、形状記憶合金組成薄膜に対して所定のレジストパターンＰを形成する工程、形状記憶合金組成薄膜と拡散防止用金属薄膜をエッチングする工程、ダミー細線を溶解除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】熱応力に由来する熱電変換素子の破壊を防止する熱電変換モジュールを提供する。
【解決手段】一対の電極１３，１４と、該一対の電極間に設けられた熱電変換素子を具備し、少なくとも１つの前記熱電変換素子が、２片以上の熱電変換素子分割片同士が界面において固着せずに電流流路方向に積み重なることで構成されており、且つ、前記熱電変換素子分割片の高さ（Ｌ）と当該熱電変換素子分割片の幅（Ｗ）とが、下記式（１）の関係を満たすことを特徴とする、熱電変換モジュール２００。


（ただし、上記式（１）中、σ_ＴＥは破壊強度、αは線膨張係数、Ｅは弾性率、Ｔ_Ｈは前記熱電変換素子分割片の高温側温度、Ｔ_Ｒは前記熱電変換素子分割片の初期温度、Ｔ_Ｃは前記熱電変換素子分割片の低温側温度を示す。） （もっと読む）

【課題】形状記憶合金を駆動源とする駆動ユニットおよび可動モジュールにおいて、ヒステリシスの影響を補正し、かつ、被駆動部を目標位置に一気に正確に移動させることのできる駆動ユニットおよび可動モジュールを提供すること。
【解決手段】形状記憶合金を駆動源とする駆動ユニットおよび可動モジュールにおいて、付勢部材の付勢力の方向とは異なる方向に移動されて目標位置を超えた位置に達した被駆動部を、付勢部材の付勢力の方向に移動させて目標位置に到達させるに際して、記憶部に予め記憶されたヒステリシス補正値に基づいて形状記憶合金の駆動を制御することで、ヒステリシスの影響をなくすことができるので、ヒステリシスの影響を補正し、かつ、被駆動部を目標位置に一気に正確に移動させることのできる駆動ユニットおよび可動モジュールを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】形状記憶合金を駆動源として被駆動部を移動させる駆動ユニットおよび可動モジュールにおいて、環境温度や被駆動部の位置に関わらず、高速駆動可能な駆動ユニットおよび可動モジュールを提供すること。
【解決手段】形状記憶合金を駆動源として被駆動部を移動させる駆動ユニットおよび可動モジュールにおいて、被駆動部が移動される位置と、その位置に対応した被駆動部がその位置に静止するまでの安定時間とに基づいて被駆動部を移動させるタイミングを制御することで、被駆動部を最短の駆動時間で移動させることができるので、環境温度や被駆動部の位置に関わらず、高速駆動可能な駆動ユニットおよび可動モジュールを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】抵抗値検出回路や割り算回路（ＣＰＵ）が不要な簡易で且つ低コストな回路構成で精度良くＳＭＡアクチュエータの駆動制御を行う。
【解決手段】形状記憶合金に直列に接続された固定抵抗と、前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値を検出する検出手段と、前記形状記憶合金に前記固定抵抗を介して電力を供給して通電加熱する駆動手段と、前記検出手段により検出された各電圧値の情報に基づいて、前記駆動手段の駆動量を制御する制御手段とを備える駆動制御装置であって、前記制御手段は、前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値の比率を制御することで前記駆動手段の駆動量を制御する。 （もっと読む）

キャリア構造体と、キャリア構造体と一体化された及び／又はキャリア構造体に取り付けられた形状記憶材料と、加熱要素に近接している形状記憶材料の形状を少なくとも局所的に変化させる形状記憶材料に近接している少なくとも１つの加熱要素と、を有する圧力アクチュエータについて開示している。特定の実施形態においては、圧力アクチュエータは、形状記憶材料とは別個の少なくとも１つの加熱要素を有し、それらの少なくとも１つの加熱要素は、形状記憶材料におおいて局所的に温度を変えるようになっている。
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【課題】熱電発電システムにおいて熱電発電素子と負荷のインピーダンスマッチングを取るために最大電力点追尾制御機能のある電力変換回路を熱電発電素子と負荷の間に挿入する場合、従来からある坂登り法による最大電力点追尾制御では制御の収束性が悪く不安定である。
【解決手段】熱電発電素子の内部コンダクタンスを測定し、動作状態における電力変換回路の入力電流、電圧を測定することにより電力変換回路を介した実効的な負荷の入力コンダクタンスを計測し、その値が素子の内部コンダクタンスに一致するように制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ＳＭＡアクチュエータを適用したレンズ駆動機構において、小型軽量化を達成しつつ、大きな変位量を得ることができるようにする。
【解決手段】レンズ駆動機構は、レンズユニット１０と、レンズユニット１０を光軸ＡＸ方向に移動させる駆動部材２０及びＳＭＡアクチュエータ３０とを備える。駆動部材２０は、光軸ＡＸ方向に移動可能な変位出力部２０ｏｕｔと、光軸ＡＸと直交する方向の移動力の入力を受けて変位出力部２０ｏｕｔを光軸ＡＸ方向に移動させる変位入力部２０ｉｎとを備え、変位出力部２０ｏｕｔにおいてレンズユニット１０の支持部１２と係合される。ＳＭＡアクチュエータ３０は、変位入力部２０ｉｎに突設されたガイド片２１１に架け渡される。ＳＭＡアクチュエータ３０が加熱収縮されることで、変位入力部２０ｉｎに光軸ＡＸと直交する方向の移動力が入力される。 （もっと読む）

【課題】小型で、レンズなど軸上に配置された被駆動部材を駆動させるのに適したモータ装置とレンズ駆動装置を提供する。
【解決手段】回転体の軸心に垂直な面で非円形に変形するとともに回転体一部に接触して回転体を回転させる駆動環と、複数の電極を有して電極が通電させられて駆動環を非円形に変形させる電歪アクチュエータとを有し、複数の電極を順次通電させて駆動環が回転体の外周の一部に順次接触する接触部を有することを特徴とするモータ装置およびレンズ駆動装置。 （もっと読む）

【課題】熱変形を利用して振り子運動又は転がる運動をする新規なアクチュエータを提供することにある。
【解決手段】アクチュエータ１は、湾曲板２と、湾曲板２の外面２ａに接して湾曲板２との間で熱交換を行う熱交換体３と、熱交換体３に内蔵されたヒータ４とを備える。湾曲板２は、復元可能に熱変形する帯状のバイメタルより略Ｃ形状に湾曲して形成される。アクチュエータ１は熱交換体３をヒータ４により加熱することにより、湾曲板２と熱交換体３との間の温度差に起因した熱交換により湾曲板２が熱変形して熱交換体３上にて振り子運動するようになっている。一方、帯状バイメタルを丸曲げして端部を接合してなる円筒板については、熱交換体上にて加熱することで、転がり運動をする。 （もっと読む）