この発明は、陽極（１１）に向けて電子を発生する電子放出源（１７）、陽極を回転可能に支持する軸（１３）、ロータ軸（１５）を回転させる力を発生するステータ（１９）、少なくとも陽極と電子放出源とロータ軸を真空に維持する外囲器（９）、外囲器の周囲に冷却媒体を介在させるハウジング（３）を含むＸ線装置（１）であり、電子放出源、ステータ等に電源を供給する電線材またはその電線材との接続に利用されるコネクタを、絶縁性を示す材料によりモールドしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ターゲット材から飛散した高速の微粒子によりＸ線光学素子が損傷を受けることなく、かつ、高繰返しでも連続して安定した高い平均出力のレーザプラズマＸ線を発生することができる。
【解決手段】 レーザプラズマを生成する主パルスレーザ光が主パルスレーザ発生装置１２１から集光照射点１１０に集光照射された際にターゲットから放出されたターゲット材１１２の破片微粒子を、蒸散用パルスレーザ発生装置１３１が生成する蒸散用パルスレーザ光の照射により加熱し、破片微粒子を蒸発・気化させている。蒸散用パルスレーザ光の照射は制御装置１２５により主パルスレーザ発生装置１２１と同期して時間的に調整されている。更に、破片微粒子が放出される領域を照明光源１４１が照射し、この照明を受けて検出器１４３が破片微粒子の発生を検出して制御装置１２５へ通知している。 （もっと読む）