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国際特許分類[H05G1/02]の内容

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【課題】 製造コストを低減でき、製造歩留まりの高いX線管装置を提供する。
【解決手段】 X線管装置は、陽極35、陽極に照射する電子を放出する陰極36、並びに陽極及び陰極を収納した真空外囲器31を有したX線管30と、X線管を収納したハウジング20と、X線管及びハウジング間を満たす冷却液7とを備えている。ハウジング7は、X線不透過材を含む固体の電気的絶縁材を主成分とする材料で形成されている。 (もっと読む)


【課題】 X線管が結露した状態であるか否かを判定して、X線管を破損することを防止することができる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】 一次X線を筐体14の出射窓14aから出射するX線管10と、試料Sで発生した蛍光X線の強度を検出する検出器30と、入力操作される入力装置82と、入力装置82から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット11に高電圧を印加するとともにフィラメント12に低電圧を印加することにより、検出器30で検出された蛍光X線の強度を取得する制御部50とを備える蛍光X線分析装置1であって、X線管10の外側筐体14の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ17を備え、制御部50は、入力装置82から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ17で検出された水分情報に基づいて、ターゲット11に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット11に電圧を印加しない。 (もっと読む)


【課題】 高密度化した検出器内部の冷却を効率良く行うことが可能なX線CT装置を提供する。
【解決手段】 DASチップ21は、基板13の表裏にそれぞれ設けられる。基板13の表側には、DASチップ21aおよびDASチップ21bが配置される。DASチップ21aは、基板13の正面から見た右上に配置されている。DASチップ21bは基板13の正面から見た左下に配置されている。すなわち、DASチップ21aと21bとは、基板13上において、左右方向および上下方向に互いにずれた位置に配置される。したがって、DASチップ21aと21bとが重なりあうことがなく互いに離れた位置に配置される。 (もっと読む)


【課題】振幅の減衰や波形の歪みを十分に抑制しながら、ピエゾ素子の振動を細孔板に伝達してターゲットのドロップレットを的確に生成するEUV光源装置を提供する。
【解決手段】EUV光発生チャンバ2と、ターゲット物質供給部と、を具備するEUV光源装置であって、囲繞壁と、その囲繞壁の出口端に設けた微細孔を有する細孔板23と、囲繞壁に繋がりピエゾ素子25と対向する底面22とを備えて、ターゲット物質を溶解した状態で収納し、ターゲット物質を微細孔から噴射してドロップレット29にする細管28において、ピエゾ素子25が、底面22に当接し底面を介して細管28に振動を与えてドロップレット29の形成を助勢する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、X線の焦点の変位を低減したX線源を提供する。
【解決手段】本発明に係るX線源1の支持部材60は、X線管保持部6の一端側においてX線出射窓27hを露出させた状態でX線管保持部6に固定されてX線管保持部6の荷重を支持すると共に、X線管保持部6の他端側でX線管保持部6から離間させられている。このような構成により、X線管保持部6が熱膨張した場合に、このX線管保持部6は、支持部材60の固定側を基準にして、X線管保持部6の一端側から他端側に伸び、この伸び分を、支持部材60とX線管保持部6との間の隙間Sに逃がすことができる。従って、X線の焦点の変位量を可能な限り小さくすることができる。 (もっと読む)


【課題】熱の放出特性を向上させることができ、しかも、長期にわたって信頼性の高いX線管装置を提供する。
【解決手段】X線管装置は、陽極ターゲット35a、陰極36、並びに真空外囲器31を有したX線管30と、ハウジング20と、冷却液7と、冷却液に直接若しくは間接的に接した筒部46、並びに筒部の一端側を閉塞しハウジングの外側に露出した底部47を有し、真空外囲器の一部を形成する高電圧絶縁部材40と、底部に設けられ陽極ターゲットに高電圧を供給する高電圧供給端子44と、筒部の内面に接合された接合部35cを含み、真空外囲器の内部に位置し陽極ターゲットを支持する支持体35bと、を備えている。 (もっと読む)


【課題】ベローズを用いないX線発生装置、及び、このX線発生装置を備えたX線検査装置を得る。
【解決手段】X線発生装置1は、略直方体をなし、上部に開口部10aを有した金属製の容器10と、X線管12と、容器10内の底に設けられ、X線管12を支持している支持部材11と、容器10内に充填され、X線管12を浸漬して冷却する絶縁油13と、開口部10aにおける容器10内部側の外縁に接合され、容器10の内外を連通させている筒状部材14と、開口部10aを密閉する蓋部材15と、容器10、絶縁油13及び蓋部材15に囲まれ、不活性ガスが充填されている空間16とを備えている。 (もっと読む)


【課題】X線管格納容器は容器内外を結ぶ接続端子などの構造から複雑な形状となり、一般に鋳造よって造形されている。散乱する不要X線の遮蔽は極めて重要であるがこの形状に合わせて鉛を貼るので、熟練を要している。鉛の数片をバーナー溶接するので作業性、労働安全衛生上からも十二分な配慮が必要である。
【解決手段】帯状の鉛を主構造体、部品に分けて取り付け、これらを組み立てることによって、機能的に不要X線を遮蔽する。また主構造体を規格のパイプを使い鉛の貼り付けを容易にし、パイプその特性を利用してX線管の容器への格納を容易にし、金型代が不要となり大幅なコストダウが出来た。 (もっと読む)


【課題】絶縁油の酸化による絶縁耐電圧の劣化を抑制することができるX線発生装置及びX線検査装置を得る。
【解決手段】開口部10aを有しており、X線管12を内包し支持する容器10と、容器10内に充填され、X線管12を浸漬して、絶縁する第1の絶縁油13と、第1の絶縁油13の膨張、収縮を緩衝するために開口部10aを閉塞するように取り付けられたベローズ15とを含むX線発生装置1であって、開口部10a及びベローズ15の外部とともに形成した密閉空間(第1の外部容器17、管18、及び第2の外部容器19の内部空間)を内部に有し、前記密閉空間に気体及び第2の絶縁油20が貯留されている貯留器16を備えているものである。 (もっと読む)


【課題】回転陽極より発生する振動を効率よく低減できるようにしたX線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極4fを支持する回転陽極支持手段10とX線管取り付け手段14との間に、回転陽極が回転する際発生する振動を減衰する防振部材10bを介在させたことにより、回転陽極や回転陽極支持手段等の製作精度や組み立て精度等が原因で振動が発生しても、防振部材により吸収、減衰されるため、X線管取り付け手段よりハウジング2側へ伝播される振動や、これに伴う騒音を大幅に低減することができる上、防振部材により回転陽極支持手段が軟支持構造となって、回転陽極より発生する振動を抑制するため、回転陽極自体の振動を軽減することもできる。 (もっと読む)


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