プラズマ発生装置はイオン化室（５）を囲繞するハウジング（２０）を備え、前記イオン化室（５）の中に開口した少なくとも１本の作動流体供給配管（３０）を備え、前記イオン化室（５）は少なくとも１つの出口開口（２１）を有する。プラズマ発生装置は更に、少なくとも１つの電気コイルアセンブリ（４）を備え、該コイルアセンブリは前記イオン化室（５）の少なくとも一部領域を囲繞しており、前記コイルアセンブリ（４）は高周波交流電流源（ＡＣ）に電気接続されており、該高周波交流電流源（ＡＣ）は前記コイルアセンブリ（４）の少なくとも１つのコイルに高周波交流電流を供給するように構成されている。プラズマ発生装置は、更なる電流源（ＤＣ）を備えており、該電流源は、直流電圧または前記高周波交流電流源（ＡＣ）が供給する電圧の周波数より低い周波数の交流電圧を、前記コイルアセンブリ（４）の少なくとも１つのコイルに供給するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】高い放電パワー及び処理速度で、温度の影響を受けやすい材料の真空でのプラズマビームの処理を行なう。
【解決方法】堆積する給送ガスがプラズマビームに注入される間、イオンソース給送ガスが導入される、陰となったギャップを有する、液冷のアノードと特徴とする、グリッドのないホール電流イオンソースが提供される。陰になったギャップは、非伝導性堆積物がほぼないように保たれる、アノード表面の、良好な電気的に活動している領域を提供する。アノード放電領域は、イオンソースの内部への放電の移動を防ぐため、絶縁的にシールされる。伝導性コーティングを堆積させている間、アノードの電気的絶縁を保つために、アノードと非アノードの構成部品の間に、真空のギャップも使用される。ホール電流イオンソースの磁界は、放電電流か周期的な交番電流により駆動される電磁石で作られる。 （もっと読む）

【課題】イオンエンジンを小型化する。
【解決手段】正の荷電粒子と負の荷電粒子を含むプラズマ集合体を包囲し、開口を有する容器と、開口の外側に設けられる電極と、電極の正負の極性を変更する電極極性変更手段と、を備え、電極極性変更手段により、電極の極性を負に設定することによって、開口から正の荷電粒子を噴射させ、電極極性変更手段により、電極の極性を正に設定することによって、開口から負の荷電粒子を噴射させることを可能とするイオン噴射装置。 （もっと読む）

【課題】プラズマの電気アークと異常な放電を抑制し、基板の表面処理の質を改善するジェットプラズマ銃とそれを用いたプラズマ装置を提供する。
【解決手段】ジェットプラズマ銃は、基板１３０の表面を処理するためのプラズマ１１０を噴出させる。前記ジェットプラズマ銃は、プラズマ生成部１７１と、プラズマノズル１７３と、障壁２７５とを有しており、プラズマ生成部１７１はプラズマを生成し、基板１３０とプラズマ生成部１７１の間に配設されたプラズマノズル１７３は、プラズマ生成部１７１に対向する第１の開口部と、基板１３０に対向する第２の開口部を備えている。プラズマノズル１７３と基板１３０との間に配される絶縁体とされる障壁２７５は、前記第２の開口部に連通する通孔を有する。プラズマ１１０は前記通孔とプラズマノズル１７３を介して基板１３０に到達する。 （もっと読む）

【課題】高性能で、安定してプラズマを発生させ且つ長寿命の荷電粒子放出装置を提供すること。
【解決手段】内部に形成されたプラズマ生成空間（２２ａ）を有するチェンバー（２２）と、通電時に前記プラズマ生成空間（２２ａ）にプラズマ生成用の誘導磁界を発生させる誘導磁界発生コイル（２６）と、前記チェンバー（２２）内部にプラズマ発生用のガスを供給するガス供給源（２１）と、前記チェンバー（２２）内部に対向して配置された一対の放電端部（２４ａ，２４ｂ）を有し、前記プラズマ生成空間（２２ａ）内に配置されて、前記誘導磁界による電磁誘導で誘導電流が流れて、前記放電端部（２４ａ，２４ｂ）間で放電を発生させることでプラズマ生成用の電子を供給する放電電極（２４）と、を備えた荷電粒子放出装置（４ｂ）。 （もっと読む）

チャンバ壁およびこのチャンバ壁の外側に配置されている磁石装置によって包囲されているイオン化チャンバを備えたイオン加速装置に関して、チャンバ壁に生じた損失熱を導出し、磁石装置の永久磁石ボディを保護するための措置が有利な解決手段として提供される。
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アース電位にあるカソードと高電圧電位にあるアノードとの間の静電的な加速場とガス供給部を有するイオン加速装置に対して、ガス供給部内に、ガスを通す開放気孔を有する絶縁体を挿入することを提案する。さらに、殊にこのようなイオン加速装置に対して、および、この種の絶縁体を有する、高電圧にある別の構成部分の耐コロナ性の絶縁に適した高電圧絶縁装置を記載する。
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イオン化チャンバ内に配置されているアノードで、作動中に、無視できない損失熱エネルギーが生じてしまう静電イオン加速装置に対して、アノードのビーム冷却を伴う装置を提案する。当該装置は、コストのかかる付加的な冷却措置を必要としない。
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【課題】原料ガスのリークの抑制と、装置コストの低減化とを図り得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】原料ガスに電圧を印加してこれをプラズマ化させるイオン発生部２と、接地電位に接続され、且つ、処理対象物１２が配置される処理部３と、イオン発生部２と処理部３とを電気的に絶縁する絶縁部４と、ガス導入口１４から導入された原料ガスをイオン発生部２に導くためのガス導入路５とを備えるプラズマ処理装置を用いる。イオン発生部２、絶縁部４、及び処理部３は、これらの接合体の内部にチャンバー１となる空間が設けられるように形成される。ガス導入口１４は、処理部３に設けられる。ガス導入路５は、チャンバー１の側壁の内部に形成された孔５ａ〜５ｃを備え、ガス導入口１４とイオン発生部２とを電気的に絶縁する。 （もっと読む）

【課題】この真空アーク放電発生方法は，誘電体の所定の場所に放電を迅速に発生させ，誘電体に与える放電影響，誘電体の放電発生のし易い領域等を検出する。
【解決手段】この真空アーク放電発生方法は，真空環境を模擬した真空チャンバ１内に太陽電池セル等の誘導体を模擬したクーポン２を配設し，クーポン２に対して相対移動可能な隔置状態の２本の針電極５を接触させ，針電極５間に高電圧パルスを印加してクーポン２の表面上に沿面放電を発生させ，クーポン２の領域に発生した沿面放電によりプラズマ状態を発生させ，クーポン２に対してプラズマを介して真空アーク放電を誘発させる。 （もっと読む）