ねじ部材締付け方法および管継手
【課題】 専用工具を新たに製作することなく、従来と同じ作業を行うだけで、締め忘れ防止機能が付加された締付けを行うことが可能なねじ部材方法およびこのねじ部材締付け方法を可能とする構成とされた管継手を提供する。
【解決手段】 管継手1は、第１および第２の管状継手部材2,3と、両継手部材2,3を結合するためのおねじ部材4およびめねじ部材5とを備えている。おねじ部材4およびめねじ部材5に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠き6,7が設けられている。図に示す手締め状態では、おねじ部材4の切欠き6とめねじ部材5の切欠き7とが対向している。そして、工具による本締めを行った後には、おねじ部材4の切欠き6とめねじ部材5の切欠き7との位置関係が変化し、本締めが行われたことが確認できる。
【解決手段】 管継手1は、第１および第２の管状継手部材2,3と、両継手部材2,3を結合するためのおねじ部材4およびめねじ部材5とを備えている。おねじ部材4およびめねじ部材5に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠き6,7が設けられている。図に示す手締め状態では、おねじ部材4の切欠き6とめねじ部材5の切欠き7とが対向している。そして、工具による本締めを行った後には、おねじ部材4の切欠き6とめねじ部材5の切欠き7との位置関係が変化し、本締めが行われたことが確認できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、おねじ部材とめねじ部材との締付けを行うねじ部材締付け方法およびおねじ部材とめねじ部材とが締め付けられることで結合される管継手に関する。
【背景技術】
【０００２】
互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材を備えている管継手において、継手部材同士は、適宜なねじ手段で締め付けられるが、このねじ手段として、第１および第２の継手部材のいずれか一方におねじ部が形成され、継手部材のおねじ部にねじ合わされた袋ナットによって、両継手部材が結合されるものや、第１および第２の継手部材がいずれもおねじ部が形成されていないスリーブとされ、別体とされたおねじ部材と袋ナットとによって、両継手部材が結合されるものが知られている（特許文献１）。
【０００３】
このような管継手の締付けを行う場合、シール機能を確保するには、適正な締付けが必要であり、締め忘れを防止することが重要である。締め忘れを防止してねじ部材を締め付ける方法として、マーカ付締付工具を使用することが提案されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−９６３２９号公報
【特許文献２】特許第４５８５９３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１の管継手を配管途中において締め付ける場合、締付けのための工具をねじ部材の軸方向に直交する方向から嵌める必要があり、上記特許文献２のマーカ付締付工具では、このような管継手を締め付けることは不可能であり、管継手専用の締め忘れ防止機能付きの締付けが課題となっている。しかしながら、専用工具を新たに製作するには多くの手間とコストがかかるという問題がある。
【０００６】
この発明の目的は、専用工具を新たに製作することなく、従来と同じ作業を行うだけで、締め忘れ防止機能が付加された締付けを行うことが可能なねじ部材方法およびこのねじ部材締付け方法を可能とする構成とされた管継手を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明によるねじ部材締付け方法は、おねじ部材とめねじ部材とを相対回転させることで締付けを行うねじ部材締付け方法であって、手で締め付けた状態におけるおねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことが確認可能とされていることを特徴とするものである。
【０００８】
本締めのための工具は、従来から使用されている二股部を有するレンチなどとされ、この締付けのための専用工具は不要である。
【０００９】
各ねじ部材は、通常、六角柱状部分を有しているので、例えば、各ねじ部材の１つの角に切欠きを設けておき、手締めを行った際に、これらの切欠きが互いに対向するように、各ねじ部材を形成しておく。このようにしておいて、本締めを行うと、切欠き同士の位置関係が変化することから、切欠きが互いに対向していれば、締付けが未だであり、切欠き同士の位置関係が変化していれば、締付けが完了していると判定することができる。
【００１０】
おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きを設けておき、この切欠きの回転方向の位置関係の変化によって、本締めが行われたことを判定することが好ましい。
【００１１】
通常のねじ部材では、多数のねじ部材を手で締め付けた場合、おねじ部材の六角柱状部分の１つの角とめねじ部材の六角柱状部分の１つの角とが常に合致するようにはなっていない。ねじ加工始め位置を示す切欠きを例えば各ねじ部材の１つの角に設けることで、ねじ加工始め位置を示す切欠きを含めて全てのねじ部材が同じ形状となり、どのねじ部材の組合せについても、回転方向の位置関係が同じになり、本締めが行われたことの判定が容易となる。
【００１２】
この発明による管継手は、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材と、両継手部材を結合するためのおねじ部材およびめねじ部材とを備えている管継手において、おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きが設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
この管継手によると、上記の締付け方法を行うことができ、切欠きが互いに対向していれば、締付けが未だであり、切欠き同士の位置関係が変化していれば、締付けが完了していると判定することができる。
【００１４】
上記の管継手において、手で締め付けを行ったときには、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとが対向するようになされており、工具による本締めを行った後には、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとの位置関係が変化することで、本締めが行われたことが確認可能とされていることが好ましい。
【００１５】
このようにすると、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとを目視するだけで、本締めが行われたかどうかを判定することができ、判定が容易となる。なお、本締め時の締付け量は、例えば、角度にして９０°に設定され、このようにすると、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとを目視するのではなく、おねじ部材の六角柱状部分の角とめねじ部材の六角柱状部分の角とがずれていることの確認だけで、本締めが完了していると判定できる。
【００１６】
なお、管継手の継手部材同士を結合するねじ手段としては、例えば、第１および第２の継手部材のいずれか一方におねじ部（おねじ部材）が形成され、継手部材のおねじ部にねじ合わされた袋ナット（めねじ部材）によって、両継手部材が結合されてもよく、第１および第２の継手部材がいずれもおねじ部が形成されていないスリーブとされ、別体とされたおねじ部材と袋ナット（めねじ部材）とによって、両継手部材が結合されてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
この発明のねじ部材締付け方法によると、手で締め付けた状態におけるおねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことを判定するので、専用工具を新たに製作することなく、従来と同じ作業を行うだけで、締め忘れ防止機能が付加された締付けを行うことができる。
【００１８】
この発明の管継手によると、おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きが設けられているので、上記のねじ部材締付け方法を適用することができ、したがって、専用工具を新たに製作することなく、従来と同じ作業を行うだけで、締め忘れ防止機能が付加された締付けを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、この発明による管継手の手締め前の状態を示す斜視図である。
【図２】図２は、この発明による管継手の手締め後の状態を示す斜視図である。
【図３】図３は、この発明による管継手の本締め後の状態を示す斜視図である。
【図４】図４は、この発明による締付け方法および管継手で使用されるおねじ部材を示す斜視図で、（ａ）は、ねじ加工前の形状を、（ｂ）は、ねじ加工後の形状をそれぞれ示している。
【図５】図５は、この発明による締付け方法および管継手で使用されるめねじ部材を示す斜視図で、（ａ）は、ねじ加工前の形状を、（ｂ）は、ねじ加工後の形状をそれぞれ示している。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００２１】
図１から図３までには、この発明による管継手を示している。
【００２２】
管継手(1)は、互いに連通する流体通路（図示略）を有している第１および第２の管状継手部材(2)(3)と、両継手部材(2)(3)同士の間に介在させられたシール手段（図示略）と、継手部材(2)(3)同士を結合するおねじ部材(4)およびめねじ部材(5)とを備えている。
【００２３】
おねじ部材(4)は、六角形の外周面を有している。めねじ部材(5)は、袋ナットと称されているもので、同様の六角形の外周面を有している。
【００２４】
おねじ部材(4)およびめねじ部材(5)に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠き(6)(7)が設けられている。
【００２５】
図４および図５は、おねじ部材(4)およびめねじ部材(5)にねじを形成する際のねじ加工の工程を示している。
【００２６】
図４（ａ）に示すように、おねじ部材(4)には、ねじを加工する前に、その六角柱状部分の１つの角に、切欠き(6)が設けられる。そして、図４（ｂ）に示すように、切欠き(6)が設けられた位置をねじ加工始めとして、おねじ(4a)が形成される。
【００２７】
同様にして、図５（ａ）に示すように、めねじ部材(5)には、ねじを加工する前に、その六角柱状部分の１つの角に、切欠き(7)が設けられる。そして、図５（ｂ）に示すように、切欠き(7)が設けられた位置をねじ加工始めとして、めねじ(5a)が形成される。
【００２８】
上記のようにしてねじが形成されたおねじ部材(4)およびめねじ部材(5)を使用することで、管継手(1)においては、図１に示すように、切欠き(6)(7)同士を合わせた位置が締付け開始位置となり、手で締め付けを行ったときには、図２に示すように、おねじ部材(4)の切欠き(6)とめねじ部材(5)の切欠き(7)とが対向する。
【００２９】
そして、スパナなどの工具による本締めを行った後には、図３に示すように、おねじ部材(4)の切欠き(6)とめねじ部材(5)の切欠き(7)との位置関係が変化し、本締めが行われたことが確認できる。
【００３０】
本締め時の締付け量は、角度にして約９０°に（６０°の倍数とならないように）設定され、これにより、おねじ部材(4)の六角柱状部分の角とめねじ部材(5)の六角柱状部分の角とがずれていることの確認だけで、本締めが完了していると判定できる。
【００３１】
なお、管継手は、公知のものであるので、その内部構成は省略しているが、上記発明は、種々の管継手に適用可能である。例えば、上記において、おねじ部材が別部材とされているものが示されているが、第１継手部材におねじ部を設けることで、おねじ部材を不要とすることができる。この場合のおねじ部材は、第１継手部材のおねじ部または第１継手部材自体となる。
【００３２】
また、手で締め付けた状態におけるおねじ部材(4)とめねじ部材(5)との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材(4)とめねじ部材(5)との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことを判定するという上記のねじ部材締付け方法は、管継手(1)以外であっても、おねじ部材とめねじ部材との締付けに適用することができる。
【符号の説明】
【００３３】
(1)：管継手、(2)：第１継手部材、(3)：第２継手部材、(4)：おねじ部材、(5)：めねじ部材、(6)：切欠き、(7)：切欠き
【技術分野】
【０００１】
この発明は、おねじ部材とめねじ部材との締付けを行うねじ部材締付け方法およびおねじ部材とめねじ部材とが締め付けられることで結合される管継手に関する。
【背景技術】
【０００２】
互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材を備えている管継手において、継手部材同士は、適宜なねじ手段で締め付けられるが、このねじ手段として、第１および第２の継手部材のいずれか一方におねじ部が形成され、継手部材のおねじ部にねじ合わされた袋ナットによって、両継手部材が結合されるものや、第１および第２の継手部材がいずれもおねじ部が形成されていないスリーブとされ、別体とされたおねじ部材と袋ナットとによって、両継手部材が結合されるものが知られている（特許文献１）。
【０００３】
このような管継手の締付けを行う場合、シール機能を確保するには、適正な締付けが必要であり、締め忘れを防止することが重要である。締め忘れを防止してねじ部材を締め付ける方法として、マーカ付締付工具を使用することが提案されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−９６３２９号公報
【特許文献２】特許第４５８５９３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１の管継手を配管途中において締め付ける場合、締付けのための工具をねじ部材の軸方向に直交する方向から嵌める必要があり、上記特許文献２のマーカ付締付工具では、このような管継手を締め付けることは不可能であり、管継手専用の締め忘れ防止機能付きの締付けが課題となっている。しかしながら、専用工具を新たに製作するには多くの手間とコストがかかるという問題がある。
【０００６】
この発明の目的は、専用工具を新たに製作することなく、従来と同じ作業を行うだけで、締め忘れ防止機能が付加された締付けを行うことが可能なねじ部材方法およびこのねじ部材締付け方法を可能とする構成とされた管継手を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明によるねじ部材締付け方法は、おねじ部材とめねじ部材とを相対回転させることで締付けを行うねじ部材締付け方法であって、手で締め付けた状態におけるおねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことが確認可能とされていることを特徴とするものである。
【０００８】
本締めのための工具は、従来から使用されている二股部を有するレンチなどとされ、この締付けのための専用工具は不要である。
【０００９】
各ねじ部材は、通常、六角柱状部分を有しているので、例えば、各ねじ部材の１つの角に切欠きを設けておき、手締めを行った際に、これらの切欠きが互いに対向するように、各ねじ部材を形成しておく。このようにしておいて、本締めを行うと、切欠き同士の位置関係が変化することから、切欠きが互いに対向していれば、締付けが未だであり、切欠き同士の位置関係が変化していれば、締付けが完了していると判定することができる。
【００１０】
おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きを設けておき、この切欠きの回転方向の位置関係の変化によって、本締めが行われたことを判定することが好ましい。
【００１１】
通常のねじ部材では、多数のねじ部材を手で締め付けた場合、おねじ部材の六角柱状部分の１つの角とめねじ部材の六角柱状部分の１つの角とが常に合致するようにはなっていない。ねじ加工始め位置を示す切欠きを例えば各ねじ部材の１つの角に設けることで、ねじ加工始め位置を示す切欠きを含めて全てのねじ部材が同じ形状となり、どのねじ部材の組合せについても、回転方向の位置関係が同じになり、本締めが行われたことの判定が容易となる。
【００１２】
この発明による管継手は、互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材と、両継手部材を結合するためのおねじ部材およびめねじ部材とを備えている管継手において、おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きが設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
この管継手によると、上記の締付け方法を行うことができ、切欠きが互いに対向していれば、締付けが未だであり、切欠き同士の位置関係が変化していれば、締付けが完了していると判定することができる。
【００１４】
上記の管継手において、手で締め付けを行ったときには、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとが対向するようになされており、工具による本締めを行った後には、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとの位置関係が変化することで、本締めが行われたことが確認可能とされていることが好ましい。
【００１５】
このようにすると、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとを目視するだけで、本締めが行われたかどうかを判定することができ、判定が容易となる。なお、本締め時の締付け量は、例えば、角度にして９０°に設定され、このようにすると、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとを目視するのではなく、おねじ部材の六角柱状部分の角とめねじ部材の六角柱状部分の角とがずれていることの確認だけで、本締めが完了していると判定できる。
【００１６】
なお、管継手の継手部材同士を結合するねじ手段としては、例えば、第１および第２の継手部材のいずれか一方におねじ部（おねじ部材）が形成され、継手部材のおねじ部にねじ合わされた袋ナット（めねじ部材）によって、両継手部材が結合されてもよく、第１および第２の継手部材がいずれもおねじ部が形成されていないスリーブとされ、別体とされたおねじ部材と袋ナット（めねじ部材）とによって、両継手部材が結合されてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
この発明のねじ部材締付け方法によると、手で締め付けた状態におけるおねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことを判定するので、専用工具を新たに製作することなく、従来と同じ作業を行うだけで、締め忘れ防止機能が付加された締付けを行うことができる。
【００１８】
この発明の管継手によると、おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きが設けられているので、上記のねじ部材締付け方法を適用することができ、したがって、専用工具を新たに製作することなく、従来と同じ作業を行うだけで、締め忘れ防止機能が付加された締付けを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、この発明による管継手の手締め前の状態を示す斜視図である。
【図２】図２は、この発明による管継手の手締め後の状態を示す斜視図である。
【図３】図３は、この発明による管継手の本締め後の状態を示す斜視図である。
【図４】図４は、この発明による締付け方法および管継手で使用されるおねじ部材を示す斜視図で、（ａ）は、ねじ加工前の形状を、（ｂ）は、ねじ加工後の形状をそれぞれ示している。
【図５】図５は、この発明による締付け方法および管継手で使用されるめねじ部材を示す斜視図で、（ａ）は、ねじ加工前の形状を、（ｂ）は、ねじ加工後の形状をそれぞれ示している。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００２１】
図１から図３までには、この発明による管継手を示している。
【００２２】
管継手(1)は、互いに連通する流体通路（図示略）を有している第１および第２の管状継手部材(2)(3)と、両継手部材(2)(3)同士の間に介在させられたシール手段（図示略）と、継手部材(2)(3)同士を結合するおねじ部材(4)およびめねじ部材(5)とを備えている。
【００２３】
おねじ部材(4)は、六角形の外周面を有している。めねじ部材(5)は、袋ナットと称されているもので、同様の六角形の外周面を有している。
【００２４】
おねじ部材(4)およびめねじ部材(5)に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠き(6)(7)が設けられている。
【００２５】
図４および図５は、おねじ部材(4)およびめねじ部材(5)にねじを形成する際のねじ加工の工程を示している。
【００２６】
図４（ａ）に示すように、おねじ部材(4)には、ねじを加工する前に、その六角柱状部分の１つの角に、切欠き(6)が設けられる。そして、図４（ｂ）に示すように、切欠き(6)が設けられた位置をねじ加工始めとして、おねじ(4a)が形成される。
【００２７】
同様にして、図５（ａ）に示すように、めねじ部材(5)には、ねじを加工する前に、その六角柱状部分の１つの角に、切欠き(7)が設けられる。そして、図５（ｂ）に示すように、切欠き(7)が設けられた位置をねじ加工始めとして、めねじ(5a)が形成される。
【００２８】
上記のようにしてねじが形成されたおねじ部材(4)およびめねじ部材(5)を使用することで、管継手(1)においては、図１に示すように、切欠き(6)(7)同士を合わせた位置が締付け開始位置となり、手で締め付けを行ったときには、図２に示すように、おねじ部材(4)の切欠き(6)とめねじ部材(5)の切欠き(7)とが対向する。
【００２９】
そして、スパナなどの工具による本締めを行った後には、図３に示すように、おねじ部材(4)の切欠き(6)とめねじ部材(5)の切欠き(7)との位置関係が変化し、本締めが行われたことが確認できる。
【００３０】
本締め時の締付け量は、角度にして約９０°に（６０°の倍数とならないように）設定され、これにより、おねじ部材(4)の六角柱状部分の角とめねじ部材(5)の六角柱状部分の角とがずれていることの確認だけで、本締めが完了していると判定できる。
【００３１】
なお、管継手は、公知のものであるので、その内部構成は省略しているが、上記発明は、種々の管継手に適用可能である。例えば、上記において、おねじ部材が別部材とされているものが示されているが、第１継手部材におねじ部を設けることで、おねじ部材を不要とすることができる。この場合のおねじ部材は、第１継手部材のおねじ部または第１継手部材自体となる。
【００３２】
また、手で締め付けた状態におけるおねじ部材(4)とめねじ部材(5)との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材(4)とめねじ部材(5)との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことを判定するという上記のねじ部材締付け方法は、管継手(1)以外であっても、おねじ部材とめねじ部材との締付けに適用することができる。
【符号の説明】
【００３３】
(1)：管継手、(2)：第１継手部材、(3)：第２継手部材、(4)：おねじ部材、(5)：めねじ部材、(6)：切欠き、(7)：切欠き
【特許請求の範囲】
【請求項１】
おねじ部材とめねじ部材とを相対回転させることで締付けを行うねじ部材締付け方法であって、
手で締め付けた状態におけるおねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことを判定することを特徴とするねじ部材締付け方法。
【請求項２】
おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きを設けておき、この切欠きの回転方向の位置関係の変化によって、本締めが行われたことを判定することを特徴とする請求項１のねじ部材締付け方法。
【請求項３】
互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材と、両継手部材を結合するためのおねじ部材およびめねじ部材とを備えている管継手において、
おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きが設けられていることを特徴とする管継手。
【請求項４】
手で締め付けを行ったときには、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとが対向するようになされており、工具による本締めを行った後には、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとの位置関係が変化することで、本締めが行われたことが確認可能とされていることを特徴とする請求項３の管継手。
【請求項１】
おねじ部材とめねじ部材とを相対回転させることで締付けを行うねじ部材締付け方法であって、
手で締め付けた状態におけるおねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係を設定しておき、手で締め付けた後に工具による本締付けを行った際におねじ部材とめねじ部材との回転方向の位置関係が変化することにより、本締めが行われたことを判定することを特徴とするねじ部材締付け方法。
【請求項２】
おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きを設けておき、この切欠きの回転方向の位置関係の変化によって、本締めが行われたことを判定することを特徴とする請求項１のねじ部材締付け方法。
【請求項３】
互いに連通する流体通路を有している第１および第２の管状継手部材と、両継手部材を結合するためのおねじ部材およびめねじ部材とを備えている管継手において、
おねじ部材およびめねじ部材に、それぞれねじ加工始め位置を示す切欠きが設けられていることを特徴とする管継手。
【請求項４】
手で締め付けを行ったときには、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとが対向するようになされており、工具による本締めを行った後には、おねじ部材の切欠きとめねじ部材の切欠きとの位置関係が変化することで、本締めが行われたことが確認可能とされていることを特徴とする請求項３の管継手。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１３−６６９６９（Ｐ２０１３−６６９６９Ａ）
【公開日】平成２５年４月１８日（２０１３．４．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２０６７５３（Ｐ２０１１−２０６７５３）
【出願日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【出願人】（３９００３３８５７）株式会社フジキン (148)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月１８日（２０１３．４．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【出願人】（３９００３３８５７）株式会社フジキン (148)
【Ｆターム（参考）】
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