ひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼
【課題】ガラス系材料との密着性および靱性を阻害しない手法で高強度化を図ったひずみ検出センサー用の鋼を提供する。
【解決手段】７００〜１０００℃に加熱後に室温まで冷却する熱処理に供したとき、２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ、ただし２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となり、その熱処理後にフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈する性質をもつステンレス鋼。好ましい組成として、質量％で、Ｃ：０.１５％以下、Ｓｉ：２.０％以下、Ｍｎ：３.０％以下、Ｐ：０.１０％以下、Ｓ：０.０３％以下、Ｎｉ：０.６超え〜５.０％、Ｃｒ：１４〜２０％、Ｎ：０.１０％以下を含み、下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となるものが挙げられる。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
【解決手段】７００〜１０００℃に加熱後に室温まで冷却する熱処理に供したとき、２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ、ただし２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となり、その熱処理後にフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈する性質をもつステンレス鋼。好ましい組成として、質量％で、Ｃ：０.１５％以下、Ｓｉ：２.０％以下、Ｍｎ：３.０％以下、Ｐ：０.１０％以下、Ｓ：０.０３％以下、Ｎｉ：０.６超え〜５.０％、Ｃｒ：１４〜２０％、Ｎ：０.１０％以下を含み、下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となるものが挙げられる。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ひずみ検出センサーに用いるための、強度レベルの高いステンレス鋼に関する。
【背景技術】
【０００２】
ひずみ検出センサーは、図１に断面構造を模式的に例示するように、基板１の上に絶縁層２を介して電極３とその間を埋める抵抗体４をもち、さらに電極３と抵抗体４の上から絶縁層５により被覆された構造を有する。基板１に引張方向または圧縮方向のひずみを与えると、基板１の変形に伴って抵抗体４もひずみ、その電気抵抗値が変化する。この電気抵抗の変化が電極３を含む回路で読み取られ、ひずみ量が検出される。
【０００３】
通常、基板１は金属材料で構成され、絶縁層２はガラス系材料で構成される。基板１と絶縁層２とは例えば７００〜１０００℃といった高温での焼成により接合される。したがって、焼成温度で相変態を生じる金属材料を基板１に使用する場合は、変態に伴う体積変化で絶縁層２との接合不良を起こさないよう厳重に工程管理する必要があり、これはセンサーの製造工程において大きな負担となる。
【０００４】
従来、高温で焼成を行わず接着剤で接合するタイプのひずみ検出センサーの場合、基板１に相当する部材には特殊鋼が主に使われていたが、用途によっては耐食性が不足する場合があった。一方、上述したような高温で焼成するタイプの基板１に使用する金属材料として、耐食性が良好で、かつ上記のような焼成温度で相変態を生じない「ステンレス鋼」が挙げられる。ただし、オーステナイト系ステンレス鋼や、フェライト（α）＋オーステナイト（γ）の２相系ステンレス鋼では、ガラス系材料との熱膨張係数の差が大きいため、それに起因した接合不良が問題になりやすい。これに対し、フェライト系ステンレス鋼は熱膨張係数がガラス系材料により近く、また組成調整により８００℃を超えるような高温でもオーステナイトが生じないようにすることもできるので、接合不良を防止する上では有利な鋼種であると言える。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１８０２５５号公報
【特許文献２】特開２００３−４５５３号公報
【特許文献３】特開２００３−１１４１５３号公報
【特許文献４】特開２００４−８３９３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ひずみ検出センサーは、それに負荷される応力が基板１によって負担される構造になっている。このため、高強度を必要とする用途では基板１の肉厚を厚くすることによって対応していた。しかし、自動車をはじめ種々の機械構造物においては、部品の小型・軽量化が強く求められており、肉厚の増大により強度を向上させる手法は得策でない。
【０００７】
上記のようにフェライト系ステンレス鋼はガラス系材料との接合性の面では有利であるものの、ステンレス鋼のなかでは熱処理後の強度レベルが低く、高強度を要する用途に適用するには肉厚の増大に頼らざるを得ない場合がある。そこで、ひずみセンサーの強度向上を図るために、σ相が生成するフェライト＋オーステナイト２相系ステンレス鋼を基板に使用し、σ相による強化を利用する手法が提案されている（特許文献３、４）。しかしながら、σ相はそれ自体が脆化相であるため、基板の靱性確保の点では信頼性に欠ける面がある。
【０００８】
本発明は、このような現状に鑑み、ガラス系材料と接合する際の焼成プロセスにおける体積変化（変態起因および熱膨張係数起因の体積変化）を接合不良の問題が生じない程度、すなわちセンサーの機能を損なわない程度とし、かつ、脆い析出相に頼ることなく、焼成プロセス後に従来のフェライト系ステンレス鋼よりも大幅な強度向上が実現できる、ひずみ検出センサーに好適な高強度ステンレス鋼を提供しようというものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的は、Ｃｒ：１４〜２０質量％を含み、７００〜１０００℃に加熱後に室温まで冷却する熱処理に供したとき、２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ、ただし２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となり、その熱処理後にフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈する性質をもつ、ひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼によって達成される。
【００１０】
ここで、「室温」とは２０℃±１５℃（ＪＩＳ Ｋ００５０）である。「２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ」とは、当該鋼のＭｓ点が２００℃以下、Ｍｆ点が３５℃以上にあることを意味する。「２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下」とは、当該材料の２００℃における体積をＶ200、体積膨張を伴うマルテンサイト変態を経た後の室温での体積をＶRTとするとき、線膨張測定において、
(ＶRT−Ｖ200)／Ｖ200×１００≦０.５
となることを意味する。ＶRTは室温における任意の温度での測定値が採用できるが、例えば２０℃での値を採用すればよい。この熱処理に供する際の「冷却」は、ひずみ検出センサー製造時に行われる通常の焼成過程における程度の冷却速度であればよく、特段の急冷を要するものではない。
【００１１】
前記熱処理後において、マルテンサイト量が４０体積％以上となるもの、あるいは更にオーステナイト相：１体積％未満、かつσ相：１体積％未満となるものが好適な対象となる。また、この熱履歴後に０.２％耐力が６００Ｎ／ｍｍ2以上となる高強度が得られるものが好適な対象となる。
【００１２】
なお、マルテンサイト量が多くなると、マルテンサイト変態に起因する線膨張ひずみが大きくなるので、前記線膨張ひずみが０.５％以下となるようにマルテンサイト量の上限が制限されることになる。このため本発明では前記熱履歴後におけるマルテンサイト量の上限値を特に規定する必要はないが、例えば９０体積％以下のマルテンサイト量となるものが好適な対象となる。
【００１３】
このような性質を具備する鋼の具体的な化学組成として、質量％で、Ｃ：０.１５％以下、Ｓｉ：２.０％以下、Ｍｎ：３.０以下、Ｐ：０.１０％以下、Ｓ：０.０３％以下、Ｎｉ：０.６超え〜５.０％、Ｃｒ：１４〜２０％、Ｎ：０.１０％以下、Ｎｂ：０〜１.０％、Ｔｉ：０〜０.５％、Ｍｏ：０〜４.０％、Ｃｕ：０〜３.０％、Ａｌ：０〜６.０％、Ｂ：０〜０.０１％、残部Ｆｅおよび不可避的不純物、かつ下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となる組成が挙げられる。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
【００１４】
ここで、Ｎｂ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｃｕ、ＡｌおよびＢは任意元素であり、これらの下限０％は、通常の製鋼工程における分析手法においてその元素の含有量が検出限界以下である場合を意味する。これらの任意元素を含むものとして、Ｎｂ：０.１〜１.０％、Ｔｉ：０.０５〜０.５％、Ｍｏ：０.２〜４.０％、Ｃｕ：０.２〜３.０％、Ａｌ：０.２〜６.０％、Ｂ：０.０００２〜０.０１％の１種または２種以上を含むものが好適な対象となる。
(１)式の元素記号の箇所には質量％で表された当該元素の含有量の値が代入される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ひずみ検出センサー製造時の焼成過程に供したとき、焼成後にフェライト＋マルテンサイトの２相組織を呈することにより、マルテンサイトによる強化作用が得られ、従来のフェライト系ステンレス鋼種では困難であった６００Ｎ／ｍｍ2以上の０.２％耐力を実現することができた。このため、本発明の高強度鋼を用いるとひずみ検出センサーの基材を薄肉化することができ、特に高強度が要求される用途のひずみ検出センサーでは従来より大幅な小型・軽量化が期待できる。そのうえ基板の弾性変形範囲を広くすることができ、センサーの感度向上にも有利である。また、本発明の高強度鋼は、ガラス系材料との熱膨張係数の差および変態に起因する焼成過程での体積変化が小さく抑えられており、基材と絶縁層との間の接合信頼性も高い。したがって本発明は、サイズ、性能、信頼性の各面において優れたひずみ検出センサーの構築に寄与するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
発明者らは詳細な研究の結果、ひずみ検出センサーの焼成過程において適度な量のマルテンサイトが生成して、フェライト＋マルテンサイトの２相組織を呈するようになるステンレス鋼において、マルテンサイトによる強化を実現しながら、焼成過程でガラス系材料との接合不良を引き起こすような体積変化を防止することが可能であることを見出した。
【００１７】
以下、元素含有量における「％」は特にことわらない限り「質量％」を意味する。
ひずみ検出センサーの基板用材料としては、種々の用途への適用を考慮すると、耐食性の観点から１４％以上のＣｒ含有量を必要とする。
【００１８】
また、ひずみ検出センサーの小型・軽量化に十分貢献するには、例えば７００〜１０００℃に１ｈ以上保持したのち冷却するような熱履歴を付与した後に、６００Ｎ／ｍｍ2以上の０.２％耐力を呈する性質が望まれる。このような高強度を得るには、その熱履歴を経た後に約４０体積％以上のマルテンサイトが生成することが望ましい。
【００１９】
ただし、マルテンサイト変態は体積膨張を伴う。あまり高温でマルテンサイト変態が起こると、ガラス系材料との間に接合欠陥が入りやすいため、できるだけ冷却過程の低温域でマルテンサイト変態が生じ、完了することが望ましい。具体的にはＭｓ点およびＭｆ点が２００℃から室温までの間にある場合に、良好な結果が得られることがわかった。
【００２０】
また、マルテンサイトの生成量は、２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となる範囲で許容されることがわかった。これよりマルテンサイト量が多くなると、変態起因の体積膨張による接合不良が顕在化するようになる。
【００２１】
このような、適切なマルテンサイト変態は、下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となる組成にコントロールされたステンレス鋼において実現することが可能となる。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
Ｇ値が６０未満だとマルテンサイトの生成量が不足して焼成後に６００Ｎ／ｍｍ2以上の０.２％耐力を実現することが難しくなる。一方、Ｇ値が９０を超えるとマルテンサイト変態に起因する体積変化が大きくなって、基板と絶縁層（ガラス系材料）との間の接合不良を生じるようになる。Ｇ値は８５以下とすることが一層好ましい。
【００２２】
焼成後においてオーステナイト相が多量に残留するようでは、マルテンサイトによる強度向上効果が十分に得られない。またガラス系材料との熱膨張差が大きくなり好ましくない場合がある。種々検討の結果、７００〜１０００℃から冷却する熱履歴を付与した後に、オーステナイト量が１体積％未満になることが望ましいことがわかった。また、σ相が多量に生成すると靱性を阻害し好ましくない。σ相についても上記熱履歴付与後に１体積％未満になることが望ましい。このような望ましい組織状態は上述のＧ値の適正範囲および下記各元素の適正範囲において実現できる。
【００２３】
焼成後の基板の強度は、そのステンレス鋼を構成する各成分元素の含有量にも大きく依存する。具体的には、Ｃｒ：１４％以上、Ｎｉ：６％超えとすることが必要であり、その他、Ｃ：０.００５％以上、Ｎ：０.００５％以上を確保することが望ましい。
【００２４】
ただし、主としてフェライト生成元素の含有量が多くなりすぎると靱性や加工性が劣化する。具体的には、Ｓｉ：２.０％以下、Ｃｒ：２０％以下、Ｎｂ：１.０％以下、Ｔｉ：０.５％以下、Ｍｏ：４.０％以下、Ａｌ：６.０％以下とすることが望ましい。特にＣｒが多くなるとσ相が生成しやすくなるので注意を要する。
【００２５】
また主としてオーステナイト生成元素の含有量が多くなりすぎると相変態によるガラスとの接合性が劣化する。具体的には、Ｃ：０.１５％以下、Ｍｎ：３.０以下、Ｎｉ：５.０％以下、Ｎ：０.１０％以下、Ｃｕ：３.０％とすることが望ましい。
【００２６】
これら以外にも、例えば、強度向上に有効な元素として、Ｃｏ：３.０％以下、Ｗ：３.０％以下、Ｚｒ：０.５％以下、Ｔａ：１.０％以下を適宜添加することができる。また、製造性（主に熱間加工性）の改善に有効な元素として、Ｙ：０.１％以下、ＲＥＭ（希土類元素）：０.１％以下、Ｍｇ：０.０１％以下、Ｃａ：０.０１％以下を適宜添加することができる。好ましくは、Ｙ：０.００５〜０.１％、ＲＥＭ：０.００５〜０.１％、Ｍｇ：０.０００２〜０.０１％、Ｃａ：０.０００２〜０.０１％の範囲で添加することが効果的である。これらの元素は、上記所望の特性を阻害しない限り、１種を単独で添加してもよいし、２種以上を複合添加してもよい。
【００２７】
このような組成の鋼を用いてひずみ検出センサー基板用の材料を製造するには、通常のステンレス鋼溶製プロセス、およびステンレス鋼板製造プロセスを採用することができる。最終的に板厚０.５〜３.５ｍｍ程度の熱延鋼板または冷延焼鈍鋼板とすればよい。表面仕上げは酸洗仕上げとすればよい。
【実施例】
【００２８】
表１に示す組成の鋼を溶製し、熱間圧延、冷間圧延、焼鈍の工程を経て板厚２.０ｍｍの冷延焼鈍鋼板を得た。これらの鋼板について、ひずみ検出センサーを製造する際の焼成工程を模擬した熱処理として、「昇温速度３℃／ｍｉｎで昇温→９００℃×１ｈ保持→冷却速度３℃／ｍｉｎで室温まで冷却」の熱履歴を付与した。
【００２９】
【表１】
【００３０】
熱処理後の試料について、以下の試験を実施し、各特性を評価した。
・熱処理後のマルテンサイト量： 光学顕微鏡を用いて試料断面の組織観察を行い、面積率法によりマルテンサイト量を求めた。マルテンサイト量が４０体積％以上のものを○、４０体積％未満のものを×とした。
・熱処理後のオーステナイト量： 同様の方法でオーステナイト量を求めた。オーステナイト量が１体積％未満のもの（検出されないものも含む）を○、１体積％以上のものを×とした。
・熱処理後のσ相の量： 同様の方法でσ相の量を求めた。σ相の量が１体積％未満のもの（検出されないものも含む）を○、１体積％以上のものを×とした。
・常温での０.２％耐力： 圧延方向に平行方向のＪＩＳ １３Ｂ号試験片を用いてＪＩＳ Ｚ２２４１に準じて引張試験を行い、０.２％耐力が６００Ｎ／ｍｍ2以上のものを○、６００Ｎ／ｍｍ2未満のものを×とした。
・靱性： ＪＩＳ Ｚ２２４２に準じてＶノッチシャルピー衝撃試験を行い、常温での衝撃値が４０Ｊ／ｃｍ2以上のものを○、４０Ｊ／ｃｍ2未満のものを×とした。
・耐食性： ５％ＮａＣｌに０.２６ｇ／ＬのＣｕＣｌ2を加え酢酸にてｐＨ３.０に調整した液を５０℃で１００ｈ噴霧した後に、試料表面の外観を目視観察し、発銹が認められなかったものを○、認められたものを×とした。
【００３１】
また、前記冷延焼鈍鋼板から板厚２×幅５×長さ５０（ｍｍ）の試験片を切り出して、装置にセットし、上記熱処理と同じ熱履歴を付与して、２００℃から室温（ここでは３０℃）までの間の線膨張ひずみを測定した。線膨張ひずみが生じないものを◎、線膨張ひずみの値が０.５％以下のものを○、０.５％を超えるものを×とした。
【００３２】
さらに、前記冷延焼鈍鋼板から幅２５×長さ１００（ｍｍ）の板を切り出し、これに結晶質ガラスをほぼ均一に塗布し、その状態で炉に入れて上記熱処理と同じ熱履歴を付与した。室温まで冷却したサンプルについて、目視観察にてガラスの剥離状態を調べ、剥離が認められなかったものを○、認められたものを×とした。
これらの結果を表２に示す。なお、表２のＮｏ.は、表１に記載のＮｏ.に対応している。
【００３３】
【表２】
【００３４】
表１、表２から判るように、本発明例のものはフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈して０.２％耐力６００Ｎ／ｍｍ2以上の高強度が得られた。マルテンサイト変態を伴うにもかかわらず、それに起因する体積変化（線膨張ひずみ）が十分に小さいため、ガラス系材料との密着性にも問題なかった。さらに、靱性および耐食性も良好であった。したがってこれらは高強度を要するひずみ検出センサー用の基板材料として好適なものである。
なお、本発明例のものはいずれも２００℃から室温までの間においてマルテンサイト変態が生じた。
【００３５】
これに対し、比較例Ｎｏ.１４はＧ値が低いためマルテンサイト生成量が不十分であり、０.２％耐力に劣った。Ｎｏ.１５はＧ値が高いためマルテンサイトが多量に生成し、それに伴う線膨張ひずみが大きくなってガラス系材料との密着性に劣った。Ｎｏ.１６はＣｒ含有量が高いためσ相が生成し、靱性に劣った。Ｎｏ.１７はＮｉ含有量が高いためマルテンサイト変態が十分に起こらず残留オーステナイトが多くなり、０.２％耐力に劣った。Ｎｏ.１８はＳｉ含有量が高いため靱性に劣った。Ｎｏ.１９はＣｒ含有量が低いため耐食性に劣った。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】ひずみ検出センサーの構造を模式的に表した断面図。
【符号の説明】
【００３７】
１ 基板
２ 絶縁層
３ 電極
４ 抵抗体
５ 絶縁層
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ひずみ検出センサーに用いるための、強度レベルの高いステンレス鋼に関する。
【背景技術】
【０００２】
ひずみ検出センサーは、図１に断面構造を模式的に例示するように、基板１の上に絶縁層２を介して電極３とその間を埋める抵抗体４をもち、さらに電極３と抵抗体４の上から絶縁層５により被覆された構造を有する。基板１に引張方向または圧縮方向のひずみを与えると、基板１の変形に伴って抵抗体４もひずみ、その電気抵抗値が変化する。この電気抵抗の変化が電極３を含む回路で読み取られ、ひずみ量が検出される。
【０００３】
通常、基板１は金属材料で構成され、絶縁層２はガラス系材料で構成される。基板１と絶縁層２とは例えば７００〜１０００℃といった高温での焼成により接合される。したがって、焼成温度で相変態を生じる金属材料を基板１に使用する場合は、変態に伴う体積変化で絶縁層２との接合不良を起こさないよう厳重に工程管理する必要があり、これはセンサーの製造工程において大きな負担となる。
【０００４】
従来、高温で焼成を行わず接着剤で接合するタイプのひずみ検出センサーの場合、基板１に相当する部材には特殊鋼が主に使われていたが、用途によっては耐食性が不足する場合があった。一方、上述したような高温で焼成するタイプの基板１に使用する金属材料として、耐食性が良好で、かつ上記のような焼成温度で相変態を生じない「ステンレス鋼」が挙げられる。ただし、オーステナイト系ステンレス鋼や、フェライト（α）＋オーステナイト（γ）の２相系ステンレス鋼では、ガラス系材料との熱膨張係数の差が大きいため、それに起因した接合不良が問題になりやすい。これに対し、フェライト系ステンレス鋼は熱膨張係数がガラス系材料により近く、また組成調整により８００℃を超えるような高温でもオーステナイトが生じないようにすることもできるので、接合不良を防止する上では有利な鋼種であると言える。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１８０２５５号公報
【特許文献２】特開２００３−４５５３号公報
【特許文献３】特開２００３−１１４１５３号公報
【特許文献４】特開２００４−８３９３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ひずみ検出センサーは、それに負荷される応力が基板１によって負担される構造になっている。このため、高強度を必要とする用途では基板１の肉厚を厚くすることによって対応していた。しかし、自動車をはじめ種々の機械構造物においては、部品の小型・軽量化が強く求められており、肉厚の増大により強度を向上させる手法は得策でない。
【０００７】
上記のようにフェライト系ステンレス鋼はガラス系材料との接合性の面では有利であるものの、ステンレス鋼のなかでは熱処理後の強度レベルが低く、高強度を要する用途に適用するには肉厚の増大に頼らざるを得ない場合がある。そこで、ひずみセンサーの強度向上を図るために、σ相が生成するフェライト＋オーステナイト２相系ステンレス鋼を基板に使用し、σ相による強化を利用する手法が提案されている（特許文献３、４）。しかしながら、σ相はそれ自体が脆化相であるため、基板の靱性確保の点では信頼性に欠ける面がある。
【０００８】
本発明は、このような現状に鑑み、ガラス系材料と接合する際の焼成プロセスにおける体積変化（変態起因および熱膨張係数起因の体積変化）を接合不良の問題が生じない程度、すなわちセンサーの機能を損なわない程度とし、かつ、脆い析出相に頼ることなく、焼成プロセス後に従来のフェライト系ステンレス鋼よりも大幅な強度向上が実現できる、ひずみ検出センサーに好適な高強度ステンレス鋼を提供しようというものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的は、Ｃｒ：１４〜２０質量％を含み、７００〜１０００℃に加熱後に室温まで冷却する熱処理に供したとき、２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ、ただし２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となり、その熱処理後にフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈する性質をもつ、ひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼によって達成される。
【００１０】
ここで、「室温」とは２０℃±１５℃（ＪＩＳ Ｋ００５０）である。「２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ」とは、当該鋼のＭｓ点が２００℃以下、Ｍｆ点が３５℃以上にあることを意味する。「２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下」とは、当該材料の２００℃における体積をＶ200、体積膨張を伴うマルテンサイト変態を経た後の室温での体積をＶRTとするとき、線膨張測定において、
(ＶRT−Ｖ200)／Ｖ200×１００≦０.５
となることを意味する。ＶRTは室温における任意の温度での測定値が採用できるが、例えば２０℃での値を採用すればよい。この熱処理に供する際の「冷却」は、ひずみ検出センサー製造時に行われる通常の焼成過程における程度の冷却速度であればよく、特段の急冷を要するものではない。
【００１１】
前記熱処理後において、マルテンサイト量が４０体積％以上となるもの、あるいは更にオーステナイト相：１体積％未満、かつσ相：１体積％未満となるものが好適な対象となる。また、この熱履歴後に０.２％耐力が６００Ｎ／ｍｍ2以上となる高強度が得られるものが好適な対象となる。
【００１２】
なお、マルテンサイト量が多くなると、マルテンサイト変態に起因する線膨張ひずみが大きくなるので、前記線膨張ひずみが０.５％以下となるようにマルテンサイト量の上限が制限されることになる。このため本発明では前記熱履歴後におけるマルテンサイト量の上限値を特に規定する必要はないが、例えば９０体積％以下のマルテンサイト量となるものが好適な対象となる。
【００１３】
このような性質を具備する鋼の具体的な化学組成として、質量％で、Ｃ：０.１５％以下、Ｓｉ：２.０％以下、Ｍｎ：３.０以下、Ｐ：０.１０％以下、Ｓ：０.０３％以下、Ｎｉ：０.６超え〜５.０％、Ｃｒ：１４〜２０％、Ｎ：０.１０％以下、Ｎｂ：０〜１.０％、Ｔｉ：０〜０.５％、Ｍｏ：０〜４.０％、Ｃｕ：０〜３.０％、Ａｌ：０〜６.０％、Ｂ：０〜０.０１％、残部Ｆｅおよび不可避的不純物、かつ下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となる組成が挙げられる。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
【００１４】
ここで、Ｎｂ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｃｕ、ＡｌおよびＢは任意元素であり、これらの下限０％は、通常の製鋼工程における分析手法においてその元素の含有量が検出限界以下である場合を意味する。これらの任意元素を含むものとして、Ｎｂ：０.１〜１.０％、Ｔｉ：０.０５〜０.５％、Ｍｏ：０.２〜４.０％、Ｃｕ：０.２〜３.０％、Ａｌ：０.２〜６.０％、Ｂ：０.０００２〜０.０１％の１種または２種以上を含むものが好適な対象となる。
(１)式の元素記号の箇所には質量％で表された当該元素の含有量の値が代入される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ひずみ検出センサー製造時の焼成過程に供したとき、焼成後にフェライト＋マルテンサイトの２相組織を呈することにより、マルテンサイトによる強化作用が得られ、従来のフェライト系ステンレス鋼種では困難であった６００Ｎ／ｍｍ2以上の０.２％耐力を実現することができた。このため、本発明の高強度鋼を用いるとひずみ検出センサーの基材を薄肉化することができ、特に高強度が要求される用途のひずみ検出センサーでは従来より大幅な小型・軽量化が期待できる。そのうえ基板の弾性変形範囲を広くすることができ、センサーの感度向上にも有利である。また、本発明の高強度鋼は、ガラス系材料との熱膨張係数の差および変態に起因する焼成過程での体積変化が小さく抑えられており、基材と絶縁層との間の接合信頼性も高い。したがって本発明は、サイズ、性能、信頼性の各面において優れたひずみ検出センサーの構築に寄与するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
発明者らは詳細な研究の結果、ひずみ検出センサーの焼成過程において適度な量のマルテンサイトが生成して、フェライト＋マルテンサイトの２相組織を呈するようになるステンレス鋼において、マルテンサイトによる強化を実現しながら、焼成過程でガラス系材料との接合不良を引き起こすような体積変化を防止することが可能であることを見出した。
【００１７】
以下、元素含有量における「％」は特にことわらない限り「質量％」を意味する。
ひずみ検出センサーの基板用材料としては、種々の用途への適用を考慮すると、耐食性の観点から１４％以上のＣｒ含有量を必要とする。
【００１８】
また、ひずみ検出センサーの小型・軽量化に十分貢献するには、例えば７００〜１０００℃に１ｈ以上保持したのち冷却するような熱履歴を付与した後に、６００Ｎ／ｍｍ2以上の０.２％耐力を呈する性質が望まれる。このような高強度を得るには、その熱履歴を経た後に約４０体積％以上のマルテンサイトが生成することが望ましい。
【００１９】
ただし、マルテンサイト変態は体積膨張を伴う。あまり高温でマルテンサイト変態が起こると、ガラス系材料との間に接合欠陥が入りやすいため、できるだけ冷却過程の低温域でマルテンサイト変態が生じ、完了することが望ましい。具体的にはＭｓ点およびＭｆ点が２００℃から室温までの間にある場合に、良好な結果が得られることがわかった。
【００２０】
また、マルテンサイトの生成量は、２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となる範囲で許容されることがわかった。これよりマルテンサイト量が多くなると、変態起因の体積膨張による接合不良が顕在化するようになる。
【００２１】
このような、適切なマルテンサイト変態は、下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となる組成にコントロールされたステンレス鋼において実現することが可能となる。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
Ｇ値が６０未満だとマルテンサイトの生成量が不足して焼成後に６００Ｎ／ｍｍ2以上の０.２％耐力を実現することが難しくなる。一方、Ｇ値が９０を超えるとマルテンサイト変態に起因する体積変化が大きくなって、基板と絶縁層（ガラス系材料）との間の接合不良を生じるようになる。Ｇ値は８５以下とすることが一層好ましい。
【００２２】
焼成後においてオーステナイト相が多量に残留するようでは、マルテンサイトによる強度向上効果が十分に得られない。またガラス系材料との熱膨張差が大きくなり好ましくない場合がある。種々検討の結果、７００〜１０００℃から冷却する熱履歴を付与した後に、オーステナイト量が１体積％未満になることが望ましいことがわかった。また、σ相が多量に生成すると靱性を阻害し好ましくない。σ相についても上記熱履歴付与後に１体積％未満になることが望ましい。このような望ましい組織状態は上述のＧ値の適正範囲および下記各元素の適正範囲において実現できる。
【００２３】
焼成後の基板の強度は、そのステンレス鋼を構成する各成分元素の含有量にも大きく依存する。具体的には、Ｃｒ：１４％以上、Ｎｉ：６％超えとすることが必要であり、その他、Ｃ：０.００５％以上、Ｎ：０.００５％以上を確保することが望ましい。
【００２４】
ただし、主としてフェライト生成元素の含有量が多くなりすぎると靱性や加工性が劣化する。具体的には、Ｓｉ：２.０％以下、Ｃｒ：２０％以下、Ｎｂ：１.０％以下、Ｔｉ：０.５％以下、Ｍｏ：４.０％以下、Ａｌ：６.０％以下とすることが望ましい。特にＣｒが多くなるとσ相が生成しやすくなるので注意を要する。
【００２５】
また主としてオーステナイト生成元素の含有量が多くなりすぎると相変態によるガラスとの接合性が劣化する。具体的には、Ｃ：０.１５％以下、Ｍｎ：３.０以下、Ｎｉ：５.０％以下、Ｎ：０.１０％以下、Ｃｕ：３.０％とすることが望ましい。
【００２６】
これら以外にも、例えば、強度向上に有効な元素として、Ｃｏ：３.０％以下、Ｗ：３.０％以下、Ｚｒ：０.５％以下、Ｔａ：１.０％以下を適宜添加することができる。また、製造性（主に熱間加工性）の改善に有効な元素として、Ｙ：０.１％以下、ＲＥＭ（希土類元素）：０.１％以下、Ｍｇ：０.０１％以下、Ｃａ：０.０１％以下を適宜添加することができる。好ましくは、Ｙ：０.００５〜０.１％、ＲＥＭ：０.００５〜０.１％、Ｍｇ：０.０００２〜０.０１％、Ｃａ：０.０００２〜０.０１％の範囲で添加することが効果的である。これらの元素は、上記所望の特性を阻害しない限り、１種を単独で添加してもよいし、２種以上を複合添加してもよい。
【００２７】
このような組成の鋼を用いてひずみ検出センサー基板用の材料を製造するには、通常のステンレス鋼溶製プロセス、およびステンレス鋼板製造プロセスを採用することができる。最終的に板厚０.５〜３.５ｍｍ程度の熱延鋼板または冷延焼鈍鋼板とすればよい。表面仕上げは酸洗仕上げとすればよい。
【実施例】
【００２８】
表１に示す組成の鋼を溶製し、熱間圧延、冷間圧延、焼鈍の工程を経て板厚２.０ｍｍの冷延焼鈍鋼板を得た。これらの鋼板について、ひずみ検出センサーを製造する際の焼成工程を模擬した熱処理として、「昇温速度３℃／ｍｉｎで昇温→９００℃×１ｈ保持→冷却速度３℃／ｍｉｎで室温まで冷却」の熱履歴を付与した。
【００２９】
【表１】
【００３０】
熱処理後の試料について、以下の試験を実施し、各特性を評価した。
・熱処理後のマルテンサイト量： 光学顕微鏡を用いて試料断面の組織観察を行い、面積率法によりマルテンサイト量を求めた。マルテンサイト量が４０体積％以上のものを○、４０体積％未満のものを×とした。
・熱処理後のオーステナイト量： 同様の方法でオーステナイト量を求めた。オーステナイト量が１体積％未満のもの（検出されないものも含む）を○、１体積％以上のものを×とした。
・熱処理後のσ相の量： 同様の方法でσ相の量を求めた。σ相の量が１体積％未満のもの（検出されないものも含む）を○、１体積％以上のものを×とした。
・常温での０.２％耐力： 圧延方向に平行方向のＪＩＳ １３Ｂ号試験片を用いてＪＩＳ Ｚ２２４１に準じて引張試験を行い、０.２％耐力が６００Ｎ／ｍｍ2以上のものを○、６００Ｎ／ｍｍ2未満のものを×とした。
・靱性： ＪＩＳ Ｚ２２４２に準じてＶノッチシャルピー衝撃試験を行い、常温での衝撃値が４０Ｊ／ｃｍ2以上のものを○、４０Ｊ／ｃｍ2未満のものを×とした。
・耐食性： ５％ＮａＣｌに０.２６ｇ／ＬのＣｕＣｌ2を加え酢酸にてｐＨ３.０に調整した液を５０℃で１００ｈ噴霧した後に、試料表面の外観を目視観察し、発銹が認められなかったものを○、認められたものを×とした。
【００３１】
また、前記冷延焼鈍鋼板から板厚２×幅５×長さ５０（ｍｍ）の試験片を切り出して、装置にセットし、上記熱処理と同じ熱履歴を付与して、２００℃から室温（ここでは３０℃）までの間の線膨張ひずみを測定した。線膨張ひずみが生じないものを◎、線膨張ひずみの値が０.５％以下のものを○、０.５％を超えるものを×とした。
【００３２】
さらに、前記冷延焼鈍鋼板から幅２５×長さ１００（ｍｍ）の板を切り出し、これに結晶質ガラスをほぼ均一に塗布し、その状態で炉に入れて上記熱処理と同じ熱履歴を付与した。室温まで冷却したサンプルについて、目視観察にてガラスの剥離状態を調べ、剥離が認められなかったものを○、認められたものを×とした。
これらの結果を表２に示す。なお、表２のＮｏ.は、表１に記載のＮｏ.に対応している。
【００３３】
【表２】
【００３４】
表１、表２から判るように、本発明例のものはフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈して０.２％耐力６００Ｎ／ｍｍ2以上の高強度が得られた。マルテンサイト変態を伴うにもかかわらず、それに起因する体積変化（線膨張ひずみ）が十分に小さいため、ガラス系材料との密着性にも問題なかった。さらに、靱性および耐食性も良好であった。したがってこれらは高強度を要するひずみ検出センサー用の基板材料として好適なものである。
なお、本発明例のものはいずれも２００℃から室温までの間においてマルテンサイト変態が生じた。
【００３５】
これに対し、比較例Ｎｏ.１４はＧ値が低いためマルテンサイト生成量が不十分であり、０.２％耐力に劣った。Ｎｏ.１５はＧ値が高いためマルテンサイトが多量に生成し、それに伴う線膨張ひずみが大きくなってガラス系材料との密着性に劣った。Ｎｏ.１６はＣｒ含有量が高いためσ相が生成し、靱性に劣った。Ｎｏ.１７はＮｉ含有量が高いためマルテンサイト変態が十分に起こらず残留オーステナイトが多くなり、０.２％耐力に劣った。Ｎｏ.１８はＳｉ含有量が高いため靱性に劣った。Ｎｏ.１９はＣｒ含有量が低いため耐食性に劣った。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】ひずみ検出センサーの構造を模式的に表した断面図。
【符号の説明】
【００３７】
１ 基板
２ 絶縁層
３ 電極
４ 抵抗体
５ 絶縁層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃｒ：１４〜２０質量％を含み、７００〜１０００℃に加熱後に室温まで冷却する熱処理に供したとき、２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ、ただし２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となり、その熱処理後にフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈する、ひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項２】
前記熱処理後にマルテンサイト量が４０体積％以上となる請求項１に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項３】
前記熱処理後に０.２％耐力が６００Ｎ／ｍｍ2以上となる請求項１または２に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項４】
前記熱処理後にオーステナイト相：１体積％未満、かつσ相：１体積％未満となる請求項１〜３に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項５】
質量％で、Ｃ：０.１５％以下、Ｓｉ：２.０％以下、Ｍｎ：３.０以下、Ｐ：０.１０％以下、Ｓ：０.０３％以下、Ｎｉ：０.６超え〜５.０％、Ｃｒ：１４〜２０％、Ｎ：０.１０％以下、Ｎｂ：０〜１.０％、Ｔｉ：０〜０.５％、Ｍｏ：０〜４.０％、Ｃｕ：０〜３.０％、Ａｌ：０〜６.０％、Ｂ：０〜０.０１％、残部Ｆｅおよび不可避的不純物、かつ下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となる化学組成を有する請求項１〜４に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
【請求項６】
Ｎｂ：０.１〜１.０％、Ｔｉ：０.０５〜０.５％、Ｍｏ：０.２〜４.０％、Ｃｕ：０.２〜３.０％、Ａｌ：０.２〜６.０％、Ｂ：０.０００２〜０.０１％の１以上を満たす請求項５に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項１】
Ｃｒ：１４〜２０質量％を含み、７００〜１０００℃に加熱後に室温まで冷却する熱処理に供したとき、２００℃から室温までの間でマルテンサイト変態を生じ、ただし２００℃から室温までの間の線膨張ひずみが０.５％以下となり、その熱処理後にフェライト＋マルテンサイト２相組織を呈する、ひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項２】
前記熱処理後にマルテンサイト量が４０体積％以上となる請求項１に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項３】
前記熱処理後に０.２％耐力が６００Ｎ／ｍｍ2以上となる請求項１または２に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項４】
前記熱処理後にオーステナイト相：１体積％未満、かつσ相：１体積％未満となる請求項１〜３に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【請求項５】
質量％で、Ｃ：０.１５％以下、Ｓｉ：２.０％以下、Ｍｎ：３.０以下、Ｐ：０.１０％以下、Ｓ：０.０３％以下、Ｎｉ：０.６超え〜５.０％、Ｃｒ：１４〜２０％、Ｎ：０.１０％以下、Ｎｂ：０〜１.０％、Ｔｉ：０〜０.５％、Ｍｏ：０〜４.０％、Ｃｕ：０〜３.０％、Ａｌ：０〜６.０％、Ｂ：０〜０.０１％、残部Ｆｅおよび不可避的不純物、かつ下記(１)式で定義されるＧ値が６０〜９０となる化学組成を有する請求項１〜４に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
Ｇ＝４２０Ｃ＋４７０Ｎ＋１１.５(Ｃｒ＋Ｓｉ)＋２３Ｎｉ＋７Ｍｎ＋１８９ …(１)
【請求項６】
Ｎｂ：０.１〜１.０％、Ｔｉ：０.０５〜０.５％、Ｍｏ：０.２〜４.０％、Ｃｕ：０.２〜３.０％、Ａｌ：０.２〜６.０％、Ｂ：０.０００２〜０.０１％の１以上を満たす請求項５に記載のひずみ検出センサー基板用ステンレス鋼。
【図１】
【公開番号】特開２００６−２７４３９１（Ｐ２００６−２７４３９１Ａ）
【公開日】平成１８年１０月１２日（２００６．１０．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−９７７７４（Ｐ２００５−９７７７４）
【出願日】平成１７年３月３０日（２００５．３．３０）
【出願人】（０００００４５８１）日新製鋼株式会社 (1,178)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１０月１２日（２００６．１０．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年３月３０日（２００５．３．３０）
【出願人】（０００００４５８１）日新製鋼株式会社 (1,178)
【Ｆターム（参考）】
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