インクジェット記録ヘッドの接合構造
【課題】 トップシートの表面の個別用の接合端子９１に開口するスルーホール内の内部導通電極４４と、フレキシブルフラットケーブルの接合電極部７８との電気的接続を確実にする。
【解決手段】 トップシートの表面に形成された個別用接合端子９１における薄い厚さの表面電極９３部分に開口するスルーホール内の内部導通電極４４を層の厚い外部導電部としての外部電極９５またはダミー部９６で覆う。そのうちの外部電極９５は島状且つ千鳥状に配置させてＸＹ方向に隣接する外部電極９５同士の間隔を大きくし、フレキシブルフラットケーブルの片面に露出する接合電極部７８との電気的接続を確実にすると共に接合電極部７８に接続しているフレキシブルフラットケーブル側の配線の間隔も広くとれるようにする。
【解決手段】 トップシートの表面に形成された個別用接合端子９１における薄い厚さの表面電極９３部分に開口するスルーホール内の内部導通電極４４を層の厚い外部導電部としての外部電極９５またはダミー部９６で覆う。そのうちの外部電極９５は島状且つ千鳥状に配置させてＸＹ方向に隣接する外部電極９５同士の間隔を大きくし、フレキシブルフラットケーブルの片面に露出する接合電極部７８との電気的接続を確実にすると共に接合電極部７８に接続しているフレキシブルフラットケーブル側の配線の間隔も広くとれるようにする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの接合構造に係り、より詳しくは、出力信号を伝達するフレキシブルフラットケーブルに対するインクジェット記録ヘッドにおけるアクチュエータの表面に形成される接合端子の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術のオンディマンド型のインクジェット記録ヘッドにおいては、特許文献１等に開示されているように、複数枚のプレートを積層したキャビティユニットに、２列に配置した複数の圧力室が設けられ、各圧力室に対応する活性部（エネルギー発生手段）を有する圧電アクチュエータがキャビティユニットと接合されている。そして、圧電アクチュエータの各活性部に電圧印加するために、該圧電アクチュエータの上面（表面）にその長手方向の両側縁に沿って上記各活性部と対応した接合端子としての表面電極が設けられ、外部からの制御信号を伝達するためのフレキシブルフラットケーブルにおける接合電極部と圧電アクチュエータの表面電極（接合端子）とが重ねられて接合される。
【０００３】
特許文献１では、圧電アクチュエータは、表面に個別電極のパターンを形成した圧電材料からなるセラミックス材のグリーンシートと、表面にコモン電極のパターンを形成した同じくグリーンシートとを交互に重ねた後その最上層には表面に個別用の表面電極とコモン用の表面電極とが形成された同じくトッププレートとを重ねて後プレスし、その後焼成したものである。
【０００４】
その場合、各シートの積層方向に対応する位置の個別電極同士及び個別用の表面電極を電気的に接続し、同じく積層方向のコモン電極同士及びコモン用の表面電極を電気的に接続するために、各シート及びトッププレートにその板厚方向に貫通するスルーホールを穿設する。そして、前記各シートの表面に対する個別電極やコモン電極の形成時に同時に各スルーホール内に導電性ペーストを充填させるというものであった。
【０００５】
そして、個別電極やコモン電極及びこれらに導通する表面電極は銀−パラジュウム系の導電性ペーストをグリーンシートにスクリーン印刷形成したものである。
【０００６】
他方、特許文献２に示すように、フレキシブルフラットケーブルを、片面に配線を有する複数の基板層の積層体にて構成し、その複数の基板層の少なくとも１つに開口部を有して、その後側に配置された基板層の配線を前記開口部を介して露出させてバンプ電極（接合電極部）を形成し、これを圧電アクチュエータの表面電極に接合することが考えられた。このバンプ電極は、加熱により軟化・溶融状態となる半田合金からなることが一般的であった。
【特許文献１】特開２００２−１９１０２号公報
【特許文献２】特開平１１−１４７３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記シート（トップシート）の積層・プレス後の焼成温度が高いため、特に表面電極の層（膜）厚さが１μｍ程度に薄くなり、しかもスルーホールに充填した導電材の膜が表面電極の表面と接合している箇所（シートの厚さ方向に延びるスルーホールと当該シートの正面との接合角部、スルーホールの開口端）は外部に露出している状態となるから、圧電アクチュエータの取り扱い中にその接合箇所が欠け落ち（剥がれ落ち）てしまい、電気的断線となり易かった。
【０００８】
特に、高密度の記録ができるように、キャビティユニットにおけるノズル数を多くすれば、対応する個別電極、ひいてはそれに対するトップシートにおける個別用表面電極の島状の間隔が狭くなり、且つ各島の面積も小さく形成しなければならず、前記スルーホールの開口端での電気的断線のおそれが高くなるのであった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記技術的課題を解決するため、請求項１に記載の発明のインクジェット記録ヘッドの接合構造は、第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列を有するキャビティユニットと、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータとを備え、圧力室のそれぞれに選択的に駆動電圧を印加するため、アクチュエータの表面に島状に配置された複数の接合端子を有するインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを制御するための制御信号を発信するフレキシブルフラットケーブルとを接続するためのインクジェット記録ヘッドの接合構造であって、前記アクチュエータにおける前記キャビティユニットから最も離れた側のトップシートには、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる前記島状の接合端子を形成し、前記トップシートの板厚方向に貫通するスルーホールに充填した導電材を前記接合端子における膜厚さの薄い表面電極の部位の一部に連通させ、この各スルーホールに充填した導電材にて前記表面電極と前記アクチュエータにおける個別電極との電気的な接続が行えるように構成し、前記表面電極の表面には、当該部位に開口するスルーホールの端部を覆い塞ぐとともに当該開口の端部に密着するように、膜厚の厚い外部導電部を設けたものである。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記外部導電部は、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる外部電極か、前記接合電極とは非接合であるダミー部かのいずれかであり、前記外部導電部がダミー部である表面電極は、当該ダミー部から適宜隔てられた部位に前記外部電極が設けられるように構成したものである。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記隣接する列同士の圧力室が前記第１の方向に互いに半ピッチずつずれるような千鳥状に配置され、前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って延びる方向と平行状に延びるように形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室の間に相当する部位に配置され、前記各外部電極及びダミー部は前記第１の方向の幅寸法が、前記表面電極の前記第１の方向の領域内に収まる幅寸法に形成されているものである。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記アクチュエータは、前記各圧力室ごとに対応する個別電極を有する圧電シートと、複数の前記圧力室に共通するコモン電極を有する圧電シートとが交互に積層され、前記コモン電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応する個別電極同士を接続させるためのダミー個別電極が島状に形成されており、前記個別電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応するコモン電極同士を接続させるためのダミーコモン電極が形成されており、前記トップシートと圧電シートとの間には、少なくとも１枚の拘束シートが介挿され、この拘束シートは、前記トップシートのスルーホールに充填した導電材にて、前記表面電極と電気的に接続されるとともに、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記個別電極と接続されるダミー個別電極と、前記コモン電極と同じパターン形状である導電パターンとを有し、前記拘束シートのスルーホールの位置は、前記トップシートのスルーホールの位置から偏倚しているものである。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第１の方向ととほぼ直交する第２の方向に延び、前記フレキシブルフラットケーブルの表面には、前記トップシートにおける外部電極に対応する位置に個別表面電極が露出しており、該各個別表面電極に接続する配線は前記フレキシブルフラットケーブルの表面に対して非露出状態で配置されているものである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、個別電極用の接合端子では、トップシートの板厚さを貫通させたスルーホール内の内部導通電極が層厚さの薄い表面電極と接続する箇所が圧電アクチュエータの上面として外部に露出するので、各スルーホール部分を含めて内部導通電極の上面部位を層厚さの厚い外部導電部にて充填することにより、内部導通電極と表面電極との接続箇所を保護することができる。
【００１６】
特に、外部導電部をスルーホールの開口の端部に密着するように設けることで、内部導通電極と表面電極との接続が最も脆い箇所を確実に保護することができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、表面電極の表面の一部にスルーホールが開口するので、その部分を覆う外部導電部をフレキシブルフラットケーブルとの接合に適する外部電極とするか、ダミー部とするかのいずれかに選択でき、ダミー部が形成された表面電極には、そのダミー部と適宜隔てて外部電極を形成することにより、フレキシブルフラットケーブルとの重ね接合作業の邪魔にならず、むしろ、重ね接合作業時にフレキシブルフラットケーブルにおける接合電極部分の近傍を平坦状に保持できるという効果を奏する。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、第１及び第２の方向に互いに隣接する個別電極用の外部電極及びこれに対応する個別用接合電極部は、平面視で、千鳥状に配置されているから、当該隣接する外部電極同士（個別用接合電極部同士）の間隔を広く設定することができ、この広い隙間に複数本の配線を互いの間隔を離して通過させることができる。従って、配線間の相互インダクタンスも小さくできる。また、各外部電極の面積を適当に大きくすることができるから、フレキシブルフラットケーブルの個別用接合電極部との重ね位置が多少ずれても、電気的接続に悪影響を及ぼさない。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、トップシートと圧電シートとの間に拘束シートを設けることにより、圧電シートの変形をより大きくして圧力室に伝達することができる。また、拘束シートのスルーホールはトップシートのスルーホールの位置から偏倚しているため、トップシートのスルーホールが形成される第１の部位に設けられた外部電極をフレキシブルフラットケーブルの接合用電極にて押圧するとき、この部位に対応する位置にスルーホールが形成されていない拘束シートにて押圧力を支持できるので、押圧力による変形を防止できるという効果を奏する。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、ダミー部と配線とが平面視で重なっても、当該配線は絶縁材にて被覆されて、電気的に絶縁されているから、ダミー部と配線とが電気的に短絡することがなく、フレキシブルフラットケーブルとアクチュエータとの接合作業がさらに容易になるとともに、接合強度を一層向上させることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明を適用するインクジェット記録ヘッドの各部品の斜視図、図２はキャビティユニット等の斜視図、図３はキャビティユニットの要部の部分拡大斜視図、図４は圧電アクチュエータの第１実施形態の一部切欠き分解斜視図、図５は圧電アクチュエータの第１実施形態の部分拡大断面図、図６は第１実施形態のトップシートにおける接合端子等の位置を示す部分拡大斜視図、図７（ａ）は第１実施形態の表面電極と外部電極と圧力室等との位置関係を示す平面図、図７（ｂ）は第１実施形態の接合端子における表面電極と外部電極との位置関係を示す平面図、図８（ａ）はトップシートにおける表面電極等とスルーホールの開口端部等の断面図、図８（ｂ）は膜厚の大きい外部導電部の断面図、図９（ａ）はフレキシブルフラットケーブルの第１実施形態の下面図、図９（ｂ）はフレキシブルフラットケーブルの第１実施形態の側面図、図１０はフレキシブルフラットケーブルの要部拡大下面図、図１１（ａ）は表面電極と外部電極との位置関係を示す拡大平面図、図１１（ｂ）はバンプ電極と接合端子との接合部を示す拡大側断面図、図１２は圧電アクチュエータの第２実施形態の一部切欠き分解斜視図、図１３は第２実施形態の表面電極と外部電極と圧力室等との位置関係を示す平面図、図１４は第２実施形態の接合端子における表面電極と外部電極との位置関係を示す平面図である。
【００２２】
本発明に係るカラー記録用のインクジェット記録ヘッドは、図示しないが、用紙の搬送方向（副走査方向、以下第１の方向またはＹ方向という）と直交する方向（主走査方向、以下第２の方向、Ｘ方向という）に往復移動するキャリッジに搭載されたヘッドユニット１を有し、そのヘッドユニット１上には、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカラーインクがぞれぞれ充填されたインクカートリッジが着脱可能に搭載されるか、または画像形成装置の本体に静置されたインクカートリッジから図示しない供給パイプ及びキャリッジに搭載されたダンパー室（図示せず）を介して各色のインクが供給されるように構成されている。
【００２３】
ヘッドユニット１は、図２に示すように、前面（図２における下面）にＹ方向（第１の方向）に複数個のノズル１１ａ（図２参照）が列状に配置され、且つそのノズル列がＸ方向に適宜間隔で複数列（実施形態では５列）を備えたキャビティユニット１０と、その上面に対して接着剤または接着シートを介して接着し積層されるプレート型の圧電アクチュエータ１２と、その背面（上面）に外部機器との電気的接続のために重ね接合された配線基板の１例としてのフレキシブルフラットケーブル４０とにより構成されている。
【００２４】
キャビティユニット１０は図２に示すように構成されている。すなわち、下層から順にノズルプレート１１、カバープレート１５、ダンパープレート１６、二枚のマニホールドプレート１７，１８、２枚のスペーサプレート１９，２０及び圧力室２３が形成されているベースプレート２１の合計８枚の扁平な板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成である。合成樹脂製のノズルプレート１１を除き、各プレート１５〜２１は、４２％ニッケル合金鋼板製であり、それらの板厚さを５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。
【００２５】
前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）の多数のインク噴出用のノズル１１ａが、当該ノズルプレート１１における第１の方向（キャビティユニット１０の長辺方向であり、図２において、Ｙ方向、副走査方向）に沿って千鳥配列状に設けられている。また各ノズル列ＮはＸ方向（主走査方向）に適宜間隔で５列（個別の列には、符号Ｎ１〜Ｎ５を付する、但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）に配列されている。実施形態では、第１列〜第５列の各々のノズル列Ｎの長さは１インチ、各々のノズル１１ａの数は７５個で、つまり配列密度は７５（ｄｐｉ［ドット・パー・インチ］）である。
【００２６】
そして、図２において、右から順番にノズル列Ｎ１〜Ｎ５（但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）とするとき、ノズル列Ｎ１はシアンインク（Ｃ）用であり、ノズル列Ｎ２はイエローインク（Ｙ）用であり、ノズル列Ｎ３はマゼンタインク（Ｍ）用であり、ノズル列Ｎ４及びＮ５はブラックインク（ＢＫ）用とする。
【００２７】
上下マニホールドプレート１７，１８には、Ｙ方向に長いインク通路が各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５に対応して板厚方向に貫通するように形成され、上側の第１スペーサプレート１９と下側のダンパープレート１６とに挟まれて積層されることにより、前記インク通路が５列の共通インク室（マニホールド室）２６となる。そして、図２において、右から順に共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅとするとき、共通インク室２６ａはシアンインク（Ｃ）用であり、共通インク室２６ｂはイエローインク（Ｙ）用であり、共通インク室２６ｃはマゼンタインク（Ｍ）用であり、第４番目と第５番目の共通インク室２６ｄ，２６ｅの対はブラックインク（ＢＫ）用となる。
【００２８】
図２において、ベースプレート２１のＹ方向の一端部にＸ方向に適宜間隔で穿設された４つのインク供給口を右から順に符号３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄとするとき、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃは、右端から順の共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃに対応し、右から４番目のインク供給口３１ｄは、２つの共通インク室２６ｄ，２６ｅの互いに近接した端部に共通に対応している。そして、図２に示すように、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃの位置に対応して、第２スペーサプレート２０及び第１スペーサプレート９１の一端部に穿設されたインク供給通路３２が対応する共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃの一端部に連通している。
【００２９】
また、下側のマニホールドプレート１７の下面に接着されるダンパープレート１６の下面側には、各共通インク室２６に対応する位置にＹ方向に長いダンパー室２７が下面方向にのみ開放するように凹み形成され、その下面側のカバープレート１５にて塞がれて完全な密閉状のダンパー室２７が構成される。
【００３０】
この構成により、圧電アクチュエータ１２の駆動で圧力室２３に作用する圧力波のうち、インクにより伝播されて共通インク室２６の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート１６の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。
【００３１】
第１スペーサプレート１９には、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５のノズル１１ａに対応する絞り部２８がＸ方向に若干長く、Ｙ方向に細幅の凹溝状に形成されている。この各絞り部２８の一端は対応するマニホールドプレート１８における共通インク室２６ａ〜２６ｅに連通し、各絞り部２８の他端は後述するように、上側の第２スペーサプレート２０における上下貫通する連通孔２９に連通するように形成されている（図３参照）。
【００３２】
カバープレート１５、ダンパープレート１６、２枚のマニホールド１７，１８、第１及び第２スペーサプレート１９，２０には、それぞれ、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５毎にノズル１１ａに連通する連通路２５が、共通インク室２６及びダンパー室２７と上下に重ならない位置で上下に貫通するように形成されている。
【００３３】
また、ベースプレート２１には、各ノズル列Ｎ毎に、Ｘ方向に沿って延びる細幅の圧力室２３（各圧力室の列を符合２３−１，２３−２，２３−３，２３−４，２３−５とする）がノズル１１ａの個数に対応してベースプレート２１を厚さ方向に貫通して形成されている。そして、各圧力室２３の長手方向（Ｘ方向）の一端は、第２スペーサプレート２０に穿設された連通孔２９を介して第１スペーサプレート１９における各絞り部２８の他端に連通しており、各圧力室２３の長手方向の他端は、第２スペーサプレート２０に穿設された各連通路２５に連通している。各列の圧力室２３は隔壁２４を介してＹ方向に配置され、圧力室２３は隣接する列の圧力室２３に対してＹ方向に半ピッチずれ、いわゆる千鳥状に配列されている。
【００３４】
これにより、各インク供給口３１ａ〜３１ｄから各共通インク通路２６内に流入したインクは、絞り部２８、連通孔２９を通って各圧力室２３内に分配されたのち、この各圧力室２３内から連通路２５を通って、この圧力室２３に対応するノズル１１ａに至るという構成になっている。
【００３５】
次に、圧電アクチュエータ１２の構成について説明する。圧電アクチュエータ１２は、後に詳述するように、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極３６とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートを活性部（エネルギー発生手段）として有し、任意の個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極３６に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みを発生するものである。該活性部（エネルギー発生手段）は、圧力室２３の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。
【００３６】
即ち、前記活性部は、ノズル１１ａ（圧力室２３）の列方向（第１の方向、Ｙ方向）に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数（５つ）と同じ数だけ、第２の方向（Ｘ方向）に並べられている。また、各活性部は、前記第２の方向（キャビティユニット１０の幅方向、Ｘ方向）に圧力室２３の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔（ピッチＰ）も後述する圧力室２３の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる。
【００３７】
第１実施形態の圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる複数枚（実施形態では７枚）の圧電シート３３，３４とが交互に積層された群と、この群の上面に１枚のシート４６からなる拘束層を積層し、さらにその上面に表面シートとしてのトップシート３５を積層した構造である。拘束層のシ−ト及びトップシ−トは圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良く、電気的絶縁性を有すれば良い。
【００３８】
コモン電極３７を有する最下層の圧電シート３４から上方へ数えて偶数番目の圧電シート３３の上面（平板面）には、図４に示すように、前記キャビティユニット１１における各圧力室２３に対応した真上箇所ごとに細幅の個別電極３６のパターンが、第１の方向（圧電シート３３の長辺方向、図２のＹ方向、各ノズル１１ａの列方向）に沿って列状にスクリーン印刷形成される。
【００３９】
図４は圧電シート３３の一部のみを示し、前述した第１列〜第５列の圧力室列２３−１，２３−２，２３−３，２３−４，２３−５に対応して第１列目〜第５列目の個別電極３６（各列に対して、図４で符号３６−１、３６−２、３６−３、３６−４、３６−５を付する）が形成されている。各個別電極３６のパターンは、その直線部３６ｂは、前記各圧力室２３（図６の点線参照）とほぼ同じ長さで平面視で重複しており、且つ各圧力室よりもやや狭い幅の直線状に形成されている（図７（ａ）参照）。
【００４０】
各個別電極３６における一端部３６ａは、図７（ａ）に示すように、それぞれ平面視で直線部３６ｂに対して屈曲形成されて、圧力室２３の外に延びている。なお、第３列目の個別電極３６−３における一端部３６ａは、図４に示すように、圧力室２３の外側一端に対して交互に外に延びている。
【００４１】
また、この各端部３６ａは、上下に隣接する圧電シート３４における第１の島状個別導通部としてのダミー個別電極３８及び後述する拘束層における上層シート４６の接続パターン５３とそれぞれ少なくとも一部が平面視で重なる（図４、図７（ａ）参照）。そして、各端部３６ａは、圧電シート３４及び上層シート４６を貫通するスルーホール４１内の内部導通電極４２とそれぞれ電気的に接続可能な位置に配置される（図５、図８（ａ）参照）。
【００４２】
さらに、圧電シート３３には、圧電シート３４におけるコモン電極３７と平面視で一部重複する個所であって、圧電シート３３の広幅面における短辺及び長辺に沿う外周部位等にダミーコモン電極４３が形成されている（図４参照）。
【００４３】
コモン電極３７は、最下層の圧電シート３４とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート３４の各表面（上面）にスクリーン印刷形成されるものである（図４参照）。最下層の圧電シート３４におけるコモン電極３７は当該圧電シート３４の上面全体に形成されている。それより上層の各圧電シート３４におけるコモン電極３７は、各圧力室列２３−１〜２３−５ひいては各個別電極列３６−１〜３６−５の配置位置と平面視で重複し、且つ圧電シート３４の長辺に沿ってＹ方向に長い第１電気導通部分３７ａと、圧電シート３４の短辺に沿ってＸ方向に長く、第１電気導通部分３７ａの両端に連結する第２電気導通部分３７ｂとからなる。コモン電極３７はこれら圧電シート３４に形成される島状のダミー個別電極３８の列部分を囲んで形成されている。
【００４４】
平面視略矩形状の各ダミー個別電極３８は、各個別電極３６の直線部３６ｂではなく、各一端部３６ａの少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。
【００４５】
拘束層としての上層シート４６の上面には、図４に示すように、平面視で略矩形型の接続用パターン５３が前記圧電シート３４における各ダミー個別電極３８の少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。また、上層シート４６の上面の短辺に沿う部位等には、圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７の一部及び圧電シ−ト３３におけるダミーコモン電極４３の一部にそれぞれ平面視で重複する位置にコモン導通部としての連絡用パターン５４が形成されている。
【００４６】
そして、最下層の圧電シート３４を除き、それより上層の圧電シート３４、３３及び上層シート４６には、幹部３７ａ，３７ｂ等のコモン電極３７とダミーコモン電極４３との複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極３７、４３の位置において、各圧電シート３４、３３の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール４１内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極（図示せず）を形成する。同様に、複数枚の圧電シート３３における各個別電極３６の端部３６ａと、圧電シート３４における各ダミー個別電極３８と、上層シート４６における連絡用パターン５４には、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、各圧電シート３３、３４、４６の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール４１内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４２が形成されている。その場合、各内部導通電極４２は、上下に隣接する圧電シート３３、３４、４６の箇所で平面視で上下に重複しない位置に適宜距離だけ隔てて形成されている（図６、図７（ａ）、図８（ａ）参照）。
【００４７】
図４〜図７に示すように、圧電アクチュエータ１２の最上層である表面シートとしてのトップシ−ト３５の上面（表面）には、フレキシブルフラットケーブル４０の下面のコモン接続用のバンプ電極５７及び個別接続用のバンプ電極７８とそれぞれ接合させるためのコモン接続用の接合端子（接合電極）９０及び個別接続用の接合端子（接合電極）９１とがそれぞれ島状に形成されている。
【００４８】
接合端子９０及び接合端子９１は、それぞれ、トップシ−ト３５の表面に形成される層厚さの薄い表面電極９２（９３）と層厚さの厚い外部導電部としての外部電極９４（９５）とからなる。トップシ−ト３５の接合端子９０及び接合端子９１と、対応する上層シート４６の連絡用パターン５４及び接続用パターン５３とそれぞれ上下方向に電気的に接続するためには、前記と同様に、トップシ−ト３５の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール４１内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４４が形成されている。
【００４９】
表面電極９２（９３）は、個別電極３６、コモン電極３７、ダミー個別電極３８、ダミーコモン電極４３、スルーホール４１内に充填する内部導通電極４２，４４、接続用パターン５３及び連絡用パターン５４と同様の銀−パラジュウム系導電部材（導電性ペースト）を用いて圧電シート３３、３４及びトップシート３５の元材料であるグリーンシートの表面にスクリーン印刷形成した後、圧電シート３３、３４及びトップシート３５を所定の順に積層し、プレスした後、さらに焼成して形成される。なお、スルーホール４１は各圧電シート３３，３４及びトップシート３５にパターン印刷する前に穿設され、スルーホール４１内への内部導通電極４２，４４の充填はパターン印刷時に同時に行われる。
【００５０】
前記焼成により、図８（ａ）に示すように、スルーホール４１内の内部導通電極４２，４４はやせ細り、スルーホール４１の内壁に筒状に張りつく。特に、トップシート３５の表面（上面）におけるコモン電極用の接合端子９０（表面電極９２）及び個別電極用の接合端子９１（表面電極９３）に対するそれぞれスルーホール４１の開口端部では、内部導通電極４２，４４が平面視でほぼリング状で極めて厚さが薄い状態（例えば、焼成後の厚さ１μｍ程度）である。
【００５１】
そのため、その後、層厚さの厚い（例えば、焼成後の厚さ１０μｍ程度）外部導電部としての外部電極９４，９５（及び後述するダミー部９６）にてスルーホール４１の開口端部を広い面積にわたって覆うことで、トップシート３５の表面が取り扱い中に治具等で擦れてても、スルーホール４１の内面の内部導通電極４２，４４は外部電極９４，９５に広い面積て電気的に接続される結果、電気的断線事故が発生しないのである。しかも、外部導電部としての外部電極９４，９５（及び後述するダミー部９６）は、図８（ｂ）に示されるように、スルーホール４１の内部まで充填され、スルーホール４１の開口端部において内部導通電極４４に密着しているので、内部導通電極４４の極めて厚さが薄い部分を補強し、電気的断線を確実に防ぐことができる。
【００５２】
また、図８（ｂ）に示されるように、上層シート４６に形成されたスルーホール４１の位置は、トップシート３５に設けられたスルーホール３５の位置から偏倚している。よって、トップシート３５のスルーホール４１の開口端部を覆うように形成された外部電極９４，９５が、後述するフレキシブルフラットケーブル４０の接合電極部７７、７８にて押圧されるとき、トップシート３５のスルーホール４１が形成された部位は、上層シート４６のスルーホール４１が形成されていない部位にて支持されるので、フレキシブルフラットケーブル４０を押圧したときの変形を防止できる。
【００５３】
なお、前記表面電極９２（９３）の焼成後に、外部導電部としての外部電極９４（９５）及び後述するダミー部９６は銀−ガラスフリット系の厚膜用の導電性ペースト（コモン電極３７、個別電極３６と同じ材料）を用いて表面に印刷形成した後に前記焼成温度より低い温度で焼成して形成される。
【００５４】
個別接続用の接合端子（接合電極）９１の構成をさらに詳述すると、トップシ−ト３５の上面には、上層シ−ト４６における各接続用パターン５３にそれぞれ平面視で少なくとも一部が重複するように、層（膜）厚さの薄い表面電極９３が一定間隔で配置形成されている。この各表面電極９３は、図６、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、トップシ−ト３５の短辺縁（第２の方向、Ｘ方向）ひいては各個別電極３６における各直線部３６ｂと略平行であって、図７（ｂ）に示すように、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室２３、２３の間の隔壁２４の上方に位置させる。従って、圧力室２３の第１の方向の配置間隔Ｐ０と同じ間隔にて表面電極９３が配置され、且つ圧力室２３の配置と半ピッチずれて表面電極９３が配置されることになる。そして、表面電極９３の大部分は隔壁２４の幅寸法Ｗ１よりも狭い幅寸法Ｗ２（Ｗ２＞Ｗ１）を有する細幅部９３ａであり、この細幅部９３ａに連接して広幅部９３ｂが形成される。広幅部９３ｂの幅寸法Ｗ３は隔壁２４の幅寸法Ｗ１より若干広く設定されている。実施形態では、圧力室２３の第１の方向の配置間隔Ｐ０は 0.339μm 、表面電極９３のＷ１＝ 120μm 〜 150μm 、Ｗ２＝ 100μm 、Ｗ３＝ 150〜300 μm 程度であり、Ｗ３＝ 200〜220 μm 程度が好ましい。広幅部９３ｂの長さ寸法Ｌ３＝ 360μm 程度である。また、表面電極９３の層厚さは１〜２μm 程度である。
【００５５】
そして、この広幅部９３ｂの表面に後に付着する外部電極９５の平面視の大きさは広幅部９３ｂの面積よりも小さく、且つ外部電極９５の平面視の周囲縁が広幅部９３ｂの周囲縁よりも内周側に位置するように配置されている。実施形態では外部電極９５の幅寸法Ｗ４≒ 150〜 200μm 程度であり、外部電極９５の周囲縁と広幅部９３ｂの周囲縁との間の平面視の間隔寸法Ｗ５が25μm 程度あることが望ましい（図９（ａ）参照）。外部電極９５の層厚さは10μm 〜20μm である。
【００５６】
同様に、コモン接続用の接合端子９０における層厚さの薄い表面電極９２は、上層シ−ト４６における連絡用パターン５４の少なくとも一部に平面視で重複するように配置され、且つトップシ−ト３５の上面のうち外周縁寄り部位に帯状等にて形成されている（図４参照）また、表面電極９２の表面に後付けとしての層厚さの厚い外部電極９４を適宜形状にて配置する。
【００５７】
個別電極用の接合端子９１では、トップシート３５の板厚さを貫通させた内部導通電極４４が表面電極９３と接続する箇所が圧電アクチュエータ２０の上面として外部に露出するので、各スルーホール４１部分を含めて内部導通電極４４の上面部位を前記外部導電部としての外部電極９５と同じ材料で厚い膜厚（例えば、焼成後の層厚さが１０μｍ程度）にて充填するようにしたダミー部９６を形成することにより、内部導通電極４４と表面電極９３との接続箇所を保護することができる（図８（ｂ）参照）。
【００５８】
そして、図６、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示す実施形態では、平面視において、隣接する列同士の圧力室２３は、その列の延びる方向（Ｙ方向）に互いに半ピッチずつずれるような千鳥状に配置される。そして、個別電極３６の一端部３６ａやダミー個別電極３８及び接続用パターン５３も、各圧力室２３の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室２３の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位に配置されている。
【００５９】
従って、トップシート３５の表面に対して直交するように板厚を貫通して形成される各スルーホール４１の位置ひいては内部導通電極４４に接続させる各接合端子９１における表面電極９３の一部の位置も、各圧力室２３の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室２３の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位に配置されている。なお、表面電極９３全体としては、第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びる方向と平行状に延びるように形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位（隔壁２４の上方）に配置されている。
【００６０】
しかも、各外部電極９５及びダミー部９６は、ＸＹ両方向の幅寸法が、表面電極９３のＸＹ両方向の領域内に形成されている。
【００６１】
そして、図６及び図７（ｂ）に示す、Ｙ方向に並ぶ接合端子９１の１つのおきに外部電極９５がＸ方向の一方の端部と他方の端部とに交互に形成されいるので、平面視において、ＸＹ両方向に隣接する外部電極９５の間の距離を大きく採ることができながら、各外部電極９５の面積も大きくすることができる。
【００６２】
次に、前記第１実施形態の圧電アクチュエータ２０の表面における多数のコモン用接合端子９０及び個別用接合端子９１にそれぞれ電気的に接合するための第１実施形態のフレキシブルフラットケーブル４０におけるコモン用の接合電極部７７、個別用の接合電極部７８及びこれらの各接合電極部７７、７８と外部素子に接続するための配線７９の配置等の構成について、図９（ａ）、図９（ｂ）及び図１０を参照しながら説明する。
【００６３】
フレキシブルフラットケーブル４０は、トップシート３５の上面に重ねられ、ノズル列と直交する方向（Ｘ方向）に外方へ突出して配置される（図１参照）。フレキシブルフラットケーブル４０は、電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなる帯状のベース材１００の片面に銅箔からなるコモン用の接合電極部７７、個別用の接合電極部７８、微細な配線７９がフォトレジスト法等により形成され、これらの表面を電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなるカバーレイ１０１にて被覆させたものであり、配線７９の他端はベース材１００に搭載された駆動用の集積回路１０２に電気的に接合されており、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の複数の端子１０５と集積回路１０２とが接続されている。なお、島状の個別用の接合電極部７８に相当する箇所はトップシート３５における島状の接合端子９１の外部電極９５とそれぞれ対面する箇所であって、その対面するベース材１００の箇所に孔（開口部）を開けて、その孔（開口部）部位に半田合金からなるバンプ電極１０３を固着している（図９（ｂ）参照）。同様に、帯状のコモン用の接合電極部７７（後述する７７−１及び７７−２）のうち、トップシート３５における島状の接合端子９０の外部電極９４とそれぞれ対面する箇所に孔（開口部）を開けて、その孔（開口部）部位にバンプ電極１０３を固着している。
【００６４】
フレキシブルフラットケーブル４０において、図９（ａ）に示すように、コモン接合電極部７７は、第２の方向（Ｘ方向、アクチュエータの短辺方向）に沿って延びる対の側縁に沿って形成された帯状の２本の第１コモン接合電極部７７−１を少なくとも有する。実施形態では、第１の方向（Ｙ方向、アクチュエータの長辺方向）に沿って延びる側縁に沿って形成された帯状の１本の第２コモン接合電極部７７−２を有し、さらに、第２コモン接合電極部７７−２の両端が各第１コモン接合電極部７７−１の先端部に電気的に接続されている。２本の第１コモン接合電極部７７−１の他端部は、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の接続端子１０４に電気的に接続されている。
【００６５】
他方、個別接合電極部７８は、第１圧力室列２３−１，第２圧力室列２３−２，第３圧力室列２３−３，第４圧力室列２３−４，第５圧力室列２３−５ひいてはこれに対応する列状の外部電極９５に対向するように、第１の方向（Ｙ方向）に延びて千鳥状に配置されている。図９（ａ）において、第１圧力室列２３−１に対応する個別接合電極部の群を第１群７８−１で示し、第２圧力室列２３−２に対応するものを第２群７８−２、第３圧力室列２３−３に対応するものを第３群７８−３、第４圧力室列２３−４に対応するものを第４群７８−４、第５圧力室列２３−５に対応するものを第５群７８−５で示す。
【００６６】
そして、全ての列の各個別接合電極部７８に接続する配線７９は、第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びるような配線パターンにて形成されている。そして、配線７９の中途部は隣接する個別接合電極部７８の間を通過するように適宜Ｙ方向に屈曲形成されている（図１０参照）。
【００６７】
駆動用の集積回路１０２は、外部機器（記録装置本体側の制御基板）からシリアル転送されてくる記録データを、各ノズルに対応するパラレルデータに変換し、かつ記録データに対応した所定電圧の波形信号を生成して、各配線７９に出力するものである。集積回路１０２とアクチュエータ１２との間の接続は、ノズル数に対応した配線７９を上記のように高密度に形成する必要があるが、集積回路１０２よりも制御基板側では、記録データをシリアル転送するので、低密度な配線パターンでよい。
【００６８】
半田合金製のバンプ電極１０３を接合するときは当該バンプ電極１０３をコモン用接合端子９０の外部電極９４及び個別用接合端子９１の外部電極９５にそれぞれ重ねて加熱押圧して接合する。その場合、図１１（ｂ）に示すように、バンプ電極１０３の溶融した半田合金は、外部電極９５の上面及び側面を覆い、且つ表面電極９３における広幅部９３ｂの表面を周縁近傍の箇所まで覆う。そして、銀−パラジュウム系の導電ペーストからなる広幅部９３ｂ（表面電極９３）の表面は溶融した半田合金との濡れ性が大きい一方、銀−ガラスフリット系導電ペーストからなる外部電極９５と半田合金とは共晶結合して接合強度は高い。
【００６９】
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、外部電極９５の側縁（周縁）から表面電極９３の広幅部９３ｂの側縁（周縁）までの寸法Ｗ５が大きいと、外部電極９５の側縁と広幅部９３ｂの表面との間の隅肉部（フィレット）１０３ａ（図１１（ｂ）参照）の肉厚さも厚くすることができる。その結果、温度変化（変動）の大きいもと（使用状態等）での繰り返し使用により、フレキシブルフラットケーブル４０が大きく伸縮した場合、バンプ電極１０３の間隔が伸縮し、これに接合されている外部電極９５との間の隅肉部（フィレット）１０３ａに大きい応力集中が作用しても、厚みの厚い隅肉部（フィレット）１０３ａであれば、当該隅肉部１０３ａの断面の半径を大きくでき、材料力学でいう圧力集中係数（形状係数）を小さくでき、応力集中の悪影響を緩和させることができる。従って、熱衝撃を受けた場合や繰り返し応力（疲労）を受けても、前記隅肉部１０３ａに亀裂が発生難いから電気的断線事故も発生しないのである。
【００７０】
なお、前記応力集中は、フレキシブルフラットケーブル４０の幅方向（第１の方向、Ｙ方向）の収縮時に大きくなるので、これに耐久性を持たせるためには、各島状の外部電極９５におけるＹ方向と直交するＸ方向に延びる側縁とそれに対応する広幅部９３ｂの表面との間の隅肉部１０３ａの肉厚を大きくする必要である。そのためには、広幅部９３ｂのＸ方向の幅寸法Ｗ３に対する外部電極９５の幅寸法Ｗ４を可及的に小さくすることで、隅肉部１０３ａが形成される土台（領域）となる広幅部９３ｂの幅寸法Ｗ５を大きくすることが望ましいのである。
【００７１】
個別用の接合端子９１ひいては表面電極９３及び外部電極９５を、キャビティユニット１０における圧力室２３の配列の間、即ち隔壁２４上に相当する箇所に配置すれば、フレキシブルフラットケーブル４０のバンフ電極１０３を外部電極９５と対面させて押圧するとき、隔壁２４にて押圧力を支持でき、空洞である圧力室２３の変形を防止できるという効果を奏する。
【００７２】
また、互いに隣接する個別電極用の外部電極９５及びこれに対応するバンプ電極１０３（個別用接合電極部７８）は、平面視で、千鳥状に配置されているから、当該隣接する外部電極９５同士（バンプ電極１０３同士）の間隔を広く設定することができ、この広い隙間に複数本の配線７９を互いの間隔を離して通過させることができる。従って、配線７９間の相互インダクタンスも小さくできる。なお、ダミー部９６と配線７９とが平面視で重なっても、当該配線７９はカバーレイ１０１にて被覆されて、電気的に絶縁されているから、ダミー部９６と配線７９とが電気的に短絡することがない。また、各外部電極９５の面積を適当に大きくすることができるから、フレキシブルフラットケーブル４０のバンフ電極１０３との重ね位置が多少ずれても、電気的接続に悪影響を及ぼさない。外部電極９５とダミー部９６とは同じ導電性ペーストであるので、１つの工程で同時に形成することができる。
【００７３】
前記第１実施形態では、ノズルの列は５列ひいては個別用の接合端子９１、個別接合電極７８が千鳥配列で１０列であったが、図１２〜図１４に示すのは、ノズル列が４列であり、従って、圧電アクチュエータ１２のトップシート３５の表面に個別用の接合端子９１が千鳥状且つ島状で４列に形成されたものを示す。この実施形態では、圧電アクチュエータ１２を構成するシートの最下層から数えて第１層、第３層、第５層の圧電シート３４の表面（上面）にはコモン電極３７（３７ａ、３７ｂ）が形成され、第３層、第５層の圧電シート３４の表面（上面）には、ダミー個別電極３８が島状且つ千鳥状に形成されている。他方、第２層、第４層、第６層の圧電シート３３の表面（上面）には、個別電極３６がＹ方向に１列状で、且つＸ方向に４列配置で千鳥状に配列されており、また、各圧電シート３３の表面（上面）の側縁を囲むように、ダミーコモン電極４３が帯状に形成された点は第１実施形態とほぼ同じである。
【００７４】
第７層及び第８層は拘束層であって、各圧力室２３に対する活性部の変位が大きくなるように、換言すると最上層であるトップシート３５の方向への変位を小さくするためである。そして、第７層のシート５０の表面（上面）には、島状且つ千鳥状のダミー個別電極３８及び帯状のダミーコモン電極４３が形成されている。第８層のシート５１の表面には、最上層（第９層）のトップシート３５の表面のコモン用接合端子９０、個別用接合端子９１へのそれぞれの電気的接続のための帯状の連結用パターン５４及び島状且つ千鳥状の接続用パターン５３が形成されている。これらのパターンは、第３層及び第５層の圧電シートと全く同じである。第７層のシート５０、第８層のシート５１及びトップシート３５は圧電シート３３，３４と同じ材料である。このようなシートを積層・プレスした後焼成すると、シート表面の導電体パターン部分の収縮率が高いため、導電体パターンの面積がシートの積層方向の中心部に対して積層の下層側と上層側とで大きく相違するときには、導電性パターンの面積が大きい側（コモン電極が位置するシート側）で凹となるように湾曲してしまう。そこで、前記第８層の導電体パターンの面積を大きくするようにして、積層の下層側と上層側とで導電体パターンの面積をバランス良く配置し、湾曲変形を防止するのである。しかも、第８層の導電体パターンを第３層及び第５層の導電体パターンと全く同じにすることで部品の共通化を図っている。
【００７５】
なお、第１層以外の上層のシートにスルーホールを設けそれに導電性ペーストを充填した内部導通電極４２、４４により積層方向にコモン電極３７、ダミーコモン電極４３及び接合端子９０を電気的に接続すること、個別電極３６、ダミー個別電極３８及び接合端子９１を接続することは第１実施形態と同じである。
【００７６】
ところで、第２実施形態におけるトップシート３５の個別用の接合端子９１も、第１実施形態とほぼ同じく、トップシート３５の表面に対して直交するように板厚を貫通して形成される各スルーホール４１の位置ひいては内部導通電極４４に接続させる各接合端子９１における表面電極９３の位置も、各圧力室２３の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室２３の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位に配置されている。なお、表面電極９３全体としては、第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びる方向と平行状に延びるように平面視ほぼ矩形状に形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位（隔壁２４の上方）に配置されている（図１３参照）。
【００７７】
そして、第２実施形態においては、図１４に示すように、スルーホール４１の上端の開口縁ひいては内部導通電極４４を平面視で見るとき、それぞれの圧力室２３の列に対応して一直線上に並んでいる。この各スルーホール４１の上端の開口縁を覆い、ひいては内部導通電極４４との電気的接続を確実にするための外部導電部として、外部電極９５またはダミー部９６が設けられている。しかも、各外部電極９５及びダミー部９６は、ＸＹ両方向の幅寸法が同一であり、表面電極９３のＸＹ両方向の領域内に形成されている。
【００７８】
第２実施形態では、図１４に示すように、Ｙ方向に並ぶ接合端子９１の１つおきに、表面電極９３のＸ方向の端部にて内部導通電極４４と重なるようにダミー部９６が設けられ、且つ、それら表面電極９３のＸ方向の他端部に外部電極９５が設けられており、このように、１つの表面電極９３上にダミー部９６と外部電極９５とが設けられたものをＹ方向に挟んで１つおきの位置の接合端子９１には、内部導通電極４４と重なるように外部電極９５のみが設けられている。換言すると、ここでは、ダミー部９６と外部電極９５とが兼用されていることになる。いずれにしても、平面視において、ＸＹ両方向に千鳥配列されて隣接する接合端子９１上での外部電極９５も千鳥状に配列されているから、これら隣接する外部電極９５の間の距離を大きく採ることができ、第１実施形態と同様にフレキシブルフラットケーブル４０の表面に露出している個別接合電極部７８（バンプ部１０３）と重ねて電気的に接続した場合に、配線７９の配置間隔を広くすることができるなど、第１実施形態と同じ作用・効果を奏することができる。
【００７９】
これらダミー部９６、外部電極９４（９５）は平面視矩形状、小判型または楕円状等の適宜形状を採用し得る。本発明は３列以上の個別用の接合端子９１に対して適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の第１実施形態における圧電式インクジェット記録ヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。
【図２】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの一部分解斜視図である。
【図４】第１実施形態の圧電アクチュエータの一部切欠き分解斜視図である。
【図５】圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大断面図である。
【図６】トップシートの表面の接合端子等の配置を示す一部切欠き斜視図である。
【図７】（ａ）は圧力室と個別電極と接続用パターンと個別用の接合端子等の配置を示す部分拡大平面図、（ｂ）は個別用の接合端子における表面電極と外部電極等の配置関係を示す部分拡大平面図である。
【図８】（ａ）はトップシートにおけるスルーホールの開口上端が開放された状態を示す断面図、（ｂ）は外部導電部としての外部電極またはダミー部で覆った状態を示す断面図である。
【図９】（ａ）はフレキシブルフラットケーブルにおけるコモン接合電極、個別接合電極、配線、集積回路等の配置関係を示す概略平面図、（ｂ）は側面図である。
【図１０】コモン接合電極、個別接合電極、配線を示す一部切欠き拡大図である。
【図１１】（ａ）は個別用の接合端子における表面電極と外部電極と配置関係を示す部分拡大平面図、（ｂ）は図１１（ａ）のXIb −XIb 線矢視で示すバンプ電極との接合状態を示す拡大断面図である。
【図１２】第２実施形態の圧電アクチュエータの一部切欠き分解斜視図である。
【図１３】圧力室と個別電極と接続用パターンと個別用の接合端子等の配置を示す部分拡大平面図である。
【図１４】個別用の接合端子における表面電極と外部電極等の配置関係を示す部分拡大平面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１ インクジェット記録ヘッド
１１ キャビティユニット
１１ａ ノズル
１２ 圧電アクチュエータ
２２ ベースプレート
２３ 圧力室
３３，３４ 圧電シート
３５ トップシート
３６ 個別電極
３７ コモン電極
４０ フラットケーブル
５０、５１ 拘束層としてのシート
５３ 接続用パターン
５４ 連絡用パターン
７７ コモン用の接合電極部
７８ 個別用の接合電極部
７９ 配線
９０ コモン用接合端子
９１ 個別用接合端子
９２、９３ 表面電極
９４、９５ 外部導電部としての外部電極
９６ 外部導電部としてのダミー部
１０２ 集積回路
１０３ バンプ電極
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの接合構造に係り、より詳しくは、出力信号を伝達するフレキシブルフラットケーブルに対するインクジェット記録ヘッドにおけるアクチュエータの表面に形成される接合端子の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術のオンディマンド型のインクジェット記録ヘッドにおいては、特許文献１等に開示されているように、複数枚のプレートを積層したキャビティユニットに、２列に配置した複数の圧力室が設けられ、各圧力室に対応する活性部（エネルギー発生手段）を有する圧電アクチュエータがキャビティユニットと接合されている。そして、圧電アクチュエータの各活性部に電圧印加するために、該圧電アクチュエータの上面（表面）にその長手方向の両側縁に沿って上記各活性部と対応した接合端子としての表面電極が設けられ、外部からの制御信号を伝達するためのフレキシブルフラットケーブルにおける接合電極部と圧電アクチュエータの表面電極（接合端子）とが重ねられて接合される。
【０００３】
特許文献１では、圧電アクチュエータは、表面に個別電極のパターンを形成した圧電材料からなるセラミックス材のグリーンシートと、表面にコモン電極のパターンを形成した同じくグリーンシートとを交互に重ねた後その最上層には表面に個別用の表面電極とコモン用の表面電極とが形成された同じくトッププレートとを重ねて後プレスし、その後焼成したものである。
【０００４】
その場合、各シートの積層方向に対応する位置の個別電極同士及び個別用の表面電極を電気的に接続し、同じく積層方向のコモン電極同士及びコモン用の表面電極を電気的に接続するために、各シート及びトッププレートにその板厚方向に貫通するスルーホールを穿設する。そして、前記各シートの表面に対する個別電極やコモン電極の形成時に同時に各スルーホール内に導電性ペーストを充填させるというものであった。
【０００５】
そして、個別電極やコモン電極及びこれらに導通する表面電極は銀−パラジュウム系の導電性ペーストをグリーンシートにスクリーン印刷形成したものである。
【０００６】
他方、特許文献２に示すように、フレキシブルフラットケーブルを、片面に配線を有する複数の基板層の積層体にて構成し、その複数の基板層の少なくとも１つに開口部を有して、その後側に配置された基板層の配線を前記開口部を介して露出させてバンプ電極（接合電極部）を形成し、これを圧電アクチュエータの表面電極に接合することが考えられた。このバンプ電極は、加熱により軟化・溶融状態となる半田合金からなることが一般的であった。
【特許文献１】特開２００２−１９１０２号公報
【特許文献２】特開平１１−１４７３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記シート（トップシート）の積層・プレス後の焼成温度が高いため、特に表面電極の層（膜）厚さが１μｍ程度に薄くなり、しかもスルーホールに充填した導電材の膜が表面電極の表面と接合している箇所（シートの厚さ方向に延びるスルーホールと当該シートの正面との接合角部、スルーホールの開口端）は外部に露出している状態となるから、圧電アクチュエータの取り扱い中にその接合箇所が欠け落ち（剥がれ落ち）てしまい、電気的断線となり易かった。
【０００８】
特に、高密度の記録ができるように、キャビティユニットにおけるノズル数を多くすれば、対応する個別電極、ひいてはそれに対するトップシートにおける個別用表面電極の島状の間隔が狭くなり、且つ各島の面積も小さく形成しなければならず、前記スルーホールの開口端での電気的断線のおそれが高くなるのであった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記技術的課題を解決するため、請求項１に記載の発明のインクジェット記録ヘッドの接合構造は、第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列を有するキャビティユニットと、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータとを備え、圧力室のそれぞれに選択的に駆動電圧を印加するため、アクチュエータの表面に島状に配置された複数の接合端子を有するインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを制御するための制御信号を発信するフレキシブルフラットケーブルとを接続するためのインクジェット記録ヘッドの接合構造であって、前記アクチュエータにおける前記キャビティユニットから最も離れた側のトップシートには、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる前記島状の接合端子を形成し、前記トップシートの板厚方向に貫通するスルーホールに充填した導電材を前記接合端子における膜厚さの薄い表面電極の部位の一部に連通させ、この各スルーホールに充填した導電材にて前記表面電極と前記アクチュエータにおける個別電極との電気的な接続が行えるように構成し、前記表面電極の表面には、当該部位に開口するスルーホールの端部を覆い塞ぐとともに当該開口の端部に密着するように、膜厚の厚い外部導電部を設けたものである。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記外部導電部は、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる外部電極か、前記接合電極とは非接合であるダミー部かのいずれかであり、前記外部導電部がダミー部である表面電極は、当該ダミー部から適宜隔てられた部位に前記外部電極が設けられるように構成したものである。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記隣接する列同士の圧力室が前記第１の方向に互いに半ピッチずつずれるような千鳥状に配置され、前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って延びる方向と平行状に延びるように形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室の間に相当する部位に配置され、前記各外部電極及びダミー部は前記第１の方向の幅寸法が、前記表面電極の前記第１の方向の領域内に収まる幅寸法に形成されているものである。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記アクチュエータは、前記各圧力室ごとに対応する個別電極を有する圧電シートと、複数の前記圧力室に共通するコモン電極を有する圧電シートとが交互に積層され、前記コモン電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応する個別電極同士を接続させるためのダミー個別電極が島状に形成されており、前記個別電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応するコモン電極同士を接続させるためのダミーコモン電極が形成されており、前記トップシートと圧電シートとの間には、少なくとも１枚の拘束シートが介挿され、この拘束シートは、前記トップシートのスルーホールに充填した導電材にて、前記表面電極と電気的に接続されるとともに、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記個別電極と接続されるダミー個別電極と、前記コモン電極と同じパターン形状である導電パターンとを有し、前記拘束シートのスルーホールの位置は、前記トップシートのスルーホールの位置から偏倚しているものである。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第１の方向ととほぼ直交する第２の方向に延び、前記フレキシブルフラットケーブルの表面には、前記トップシートにおける外部電極に対応する位置に個別表面電極が露出しており、該各個別表面電極に接続する配線は前記フレキシブルフラットケーブルの表面に対して非露出状態で配置されているものである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、個別電極用の接合端子では、トップシートの板厚さを貫通させたスルーホール内の内部導通電極が層厚さの薄い表面電極と接続する箇所が圧電アクチュエータの上面として外部に露出するので、各スルーホール部分を含めて内部導通電極の上面部位を層厚さの厚い外部導電部にて充填することにより、内部導通電極と表面電極との接続箇所を保護することができる。
【００１６】
特に、外部導電部をスルーホールの開口の端部に密着するように設けることで、内部導通電極と表面電極との接続が最も脆い箇所を確実に保護することができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、表面電極の表面の一部にスルーホールが開口するので、その部分を覆う外部導電部をフレキシブルフラットケーブルとの接合に適する外部電極とするか、ダミー部とするかのいずれかに選択でき、ダミー部が形成された表面電極には、そのダミー部と適宜隔てて外部電極を形成することにより、フレキシブルフラットケーブルとの重ね接合作業の邪魔にならず、むしろ、重ね接合作業時にフレキシブルフラットケーブルにおける接合電極部分の近傍を平坦状に保持できるという効果を奏する。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、第１及び第２の方向に互いに隣接する個別電極用の外部電極及びこれに対応する個別用接合電極部は、平面視で、千鳥状に配置されているから、当該隣接する外部電極同士（個別用接合電極部同士）の間隔を広く設定することができ、この広い隙間に複数本の配線を互いの間隔を離して通過させることができる。従って、配線間の相互インダクタンスも小さくできる。また、各外部電極の面積を適当に大きくすることができるから、フレキシブルフラットケーブルの個別用接合電極部との重ね位置が多少ずれても、電気的接続に悪影響を及ぼさない。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、トップシートと圧電シートとの間に拘束シートを設けることにより、圧電シートの変形をより大きくして圧力室に伝達することができる。また、拘束シートのスルーホールはトップシートのスルーホールの位置から偏倚しているため、トップシートのスルーホールが形成される第１の部位に設けられた外部電極をフレキシブルフラットケーブルの接合用電極にて押圧するとき、この部位に対応する位置にスルーホールが形成されていない拘束シートにて押圧力を支持できるので、押圧力による変形を防止できるという効果を奏する。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、ダミー部と配線とが平面視で重なっても、当該配線は絶縁材にて被覆されて、電気的に絶縁されているから、ダミー部と配線とが電気的に短絡することがなく、フレキシブルフラットケーブルとアクチュエータとの接合作業がさらに容易になるとともに、接合強度を一層向上させることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明を適用するインクジェット記録ヘッドの各部品の斜視図、図２はキャビティユニット等の斜視図、図３はキャビティユニットの要部の部分拡大斜視図、図４は圧電アクチュエータの第１実施形態の一部切欠き分解斜視図、図５は圧電アクチュエータの第１実施形態の部分拡大断面図、図６は第１実施形態のトップシートにおける接合端子等の位置を示す部分拡大斜視図、図７（ａ）は第１実施形態の表面電極と外部電極と圧力室等との位置関係を示す平面図、図７（ｂ）は第１実施形態の接合端子における表面電極と外部電極との位置関係を示す平面図、図８（ａ）はトップシートにおける表面電極等とスルーホールの開口端部等の断面図、図８（ｂ）は膜厚の大きい外部導電部の断面図、図９（ａ）はフレキシブルフラットケーブルの第１実施形態の下面図、図９（ｂ）はフレキシブルフラットケーブルの第１実施形態の側面図、図１０はフレキシブルフラットケーブルの要部拡大下面図、図１１（ａ）は表面電極と外部電極との位置関係を示す拡大平面図、図１１（ｂ）はバンプ電極と接合端子との接合部を示す拡大側断面図、図１２は圧電アクチュエータの第２実施形態の一部切欠き分解斜視図、図１３は第２実施形態の表面電極と外部電極と圧力室等との位置関係を示す平面図、図１４は第２実施形態の接合端子における表面電極と外部電極との位置関係を示す平面図である。
【００２２】
本発明に係るカラー記録用のインクジェット記録ヘッドは、図示しないが、用紙の搬送方向（副走査方向、以下第１の方向またはＹ方向という）と直交する方向（主走査方向、以下第２の方向、Ｘ方向という）に往復移動するキャリッジに搭載されたヘッドユニット１を有し、そのヘッドユニット１上には、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカラーインクがぞれぞれ充填されたインクカートリッジが着脱可能に搭載されるか、または画像形成装置の本体に静置されたインクカートリッジから図示しない供給パイプ及びキャリッジに搭載されたダンパー室（図示せず）を介して各色のインクが供給されるように構成されている。
【００２３】
ヘッドユニット１は、図２に示すように、前面（図２における下面）にＹ方向（第１の方向）に複数個のノズル１１ａ（図２参照）が列状に配置され、且つそのノズル列がＸ方向に適宜間隔で複数列（実施形態では５列）を備えたキャビティユニット１０と、その上面に対して接着剤または接着シートを介して接着し積層されるプレート型の圧電アクチュエータ１２と、その背面（上面）に外部機器との電気的接続のために重ね接合された配線基板の１例としてのフレキシブルフラットケーブル４０とにより構成されている。
【００２４】
キャビティユニット１０は図２に示すように構成されている。すなわち、下層から順にノズルプレート１１、カバープレート１５、ダンパープレート１６、二枚のマニホールドプレート１７，１８、２枚のスペーサプレート１９，２０及び圧力室２３が形成されているベースプレート２１の合計８枚の扁平な板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成である。合成樹脂製のノズルプレート１１を除き、各プレート１５〜２１は、４２％ニッケル合金鋼板製であり、それらの板厚さを５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。
【００２５】
前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）の多数のインク噴出用のノズル１１ａが、当該ノズルプレート１１における第１の方向（キャビティユニット１０の長辺方向であり、図２において、Ｙ方向、副走査方向）に沿って千鳥配列状に設けられている。また各ノズル列ＮはＸ方向（主走査方向）に適宜間隔で５列（個別の列には、符号Ｎ１〜Ｎ５を付する、但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）に配列されている。実施形態では、第１列〜第５列の各々のノズル列Ｎの長さは１インチ、各々のノズル１１ａの数は７５個で、つまり配列密度は７５（ｄｐｉ［ドット・パー・インチ］）である。
【００２６】
そして、図２において、右から順番にノズル列Ｎ１〜Ｎ５（但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）とするとき、ノズル列Ｎ１はシアンインク（Ｃ）用であり、ノズル列Ｎ２はイエローインク（Ｙ）用であり、ノズル列Ｎ３はマゼンタインク（Ｍ）用であり、ノズル列Ｎ４及びＮ５はブラックインク（ＢＫ）用とする。
【００２７】
上下マニホールドプレート１７，１８には、Ｙ方向に長いインク通路が各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５に対応して板厚方向に貫通するように形成され、上側の第１スペーサプレート１９と下側のダンパープレート１６とに挟まれて積層されることにより、前記インク通路が５列の共通インク室（マニホールド室）２６となる。そして、図２において、右から順に共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅとするとき、共通インク室２６ａはシアンインク（Ｃ）用であり、共通インク室２６ｂはイエローインク（Ｙ）用であり、共通インク室２６ｃはマゼンタインク（Ｍ）用であり、第４番目と第５番目の共通インク室２６ｄ，２６ｅの対はブラックインク（ＢＫ）用となる。
【００２８】
図２において、ベースプレート２１のＹ方向の一端部にＸ方向に適宜間隔で穿設された４つのインク供給口を右から順に符号３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄとするとき、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃは、右端から順の共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃに対応し、右から４番目のインク供給口３１ｄは、２つの共通インク室２６ｄ，２６ｅの互いに近接した端部に共通に対応している。そして、図２に示すように、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃの位置に対応して、第２スペーサプレート２０及び第１スペーサプレート９１の一端部に穿設されたインク供給通路３２が対応する共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃの一端部に連通している。
【００２９】
また、下側のマニホールドプレート１７の下面に接着されるダンパープレート１６の下面側には、各共通インク室２６に対応する位置にＹ方向に長いダンパー室２７が下面方向にのみ開放するように凹み形成され、その下面側のカバープレート１５にて塞がれて完全な密閉状のダンパー室２７が構成される。
【００３０】
この構成により、圧電アクチュエータ１２の駆動で圧力室２３に作用する圧力波のうち、インクにより伝播されて共通インク室２６の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート１６の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。
【００３１】
第１スペーサプレート１９には、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５のノズル１１ａに対応する絞り部２８がＸ方向に若干長く、Ｙ方向に細幅の凹溝状に形成されている。この各絞り部２８の一端は対応するマニホールドプレート１８における共通インク室２６ａ〜２６ｅに連通し、各絞り部２８の他端は後述するように、上側の第２スペーサプレート２０における上下貫通する連通孔２９に連通するように形成されている（図３参照）。
【００３２】
カバープレート１５、ダンパープレート１６、２枚のマニホールド１７，１８、第１及び第２スペーサプレート１９，２０には、それぞれ、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５毎にノズル１１ａに連通する連通路２５が、共通インク室２６及びダンパー室２７と上下に重ならない位置で上下に貫通するように形成されている。
【００３３】
また、ベースプレート２１には、各ノズル列Ｎ毎に、Ｘ方向に沿って延びる細幅の圧力室２３（各圧力室の列を符合２３−１，２３−２，２３−３，２３−４，２３−５とする）がノズル１１ａの個数に対応してベースプレート２１を厚さ方向に貫通して形成されている。そして、各圧力室２３の長手方向（Ｘ方向）の一端は、第２スペーサプレート２０に穿設された連通孔２９を介して第１スペーサプレート１９における各絞り部２８の他端に連通しており、各圧力室２３の長手方向の他端は、第２スペーサプレート２０に穿設された各連通路２５に連通している。各列の圧力室２３は隔壁２４を介してＹ方向に配置され、圧力室２３は隣接する列の圧力室２３に対してＹ方向に半ピッチずれ、いわゆる千鳥状に配列されている。
【００３４】
これにより、各インク供給口３１ａ〜３１ｄから各共通インク通路２６内に流入したインクは、絞り部２８、連通孔２９を通って各圧力室２３内に分配されたのち、この各圧力室２３内から連通路２５を通って、この圧力室２３に対応するノズル１１ａに至るという構成になっている。
【００３５】
次に、圧電アクチュエータ１２の構成について説明する。圧電アクチュエータ１２は、後に詳述するように、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極３６とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートを活性部（エネルギー発生手段）として有し、任意の個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極３６に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みを発生するものである。該活性部（エネルギー発生手段）は、圧力室２３の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。
【００３６】
即ち、前記活性部は、ノズル１１ａ（圧力室２３）の列方向（第１の方向、Ｙ方向）に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数（５つ）と同じ数だけ、第２の方向（Ｘ方向）に並べられている。また、各活性部は、前記第２の方向（キャビティユニット１０の幅方向、Ｘ方向）に圧力室２３の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔（ピッチＰ）も後述する圧力室２３の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる。
【００３７】
第１実施形態の圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる複数枚（実施形態では７枚）の圧電シート３３，３４とが交互に積層された群と、この群の上面に１枚のシート４６からなる拘束層を積層し、さらにその上面に表面シートとしてのトップシート３５を積層した構造である。拘束層のシ−ト及びトップシ−トは圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良く、電気的絶縁性を有すれば良い。
【００３８】
コモン電極３７を有する最下層の圧電シート３４から上方へ数えて偶数番目の圧電シート３３の上面（平板面）には、図４に示すように、前記キャビティユニット１１における各圧力室２３に対応した真上箇所ごとに細幅の個別電極３６のパターンが、第１の方向（圧電シート３３の長辺方向、図２のＹ方向、各ノズル１１ａの列方向）に沿って列状にスクリーン印刷形成される。
【００３９】
図４は圧電シート３３の一部のみを示し、前述した第１列〜第５列の圧力室列２３−１，２３−２，２３−３，２３−４，２３−５に対応して第１列目〜第５列目の個別電極３６（各列に対して、図４で符号３６−１、３６−２、３６−３、３６−４、３６−５を付する）が形成されている。各個別電極３６のパターンは、その直線部３６ｂは、前記各圧力室２３（図６の点線参照）とほぼ同じ長さで平面視で重複しており、且つ各圧力室よりもやや狭い幅の直線状に形成されている（図７（ａ）参照）。
【００４０】
各個別電極３６における一端部３６ａは、図７（ａ）に示すように、それぞれ平面視で直線部３６ｂに対して屈曲形成されて、圧力室２３の外に延びている。なお、第３列目の個別電極３６−３における一端部３６ａは、図４に示すように、圧力室２３の外側一端に対して交互に外に延びている。
【００４１】
また、この各端部３６ａは、上下に隣接する圧電シート３４における第１の島状個別導通部としてのダミー個別電極３８及び後述する拘束層における上層シート４６の接続パターン５３とそれぞれ少なくとも一部が平面視で重なる（図４、図７（ａ）参照）。そして、各端部３６ａは、圧電シート３４及び上層シート４６を貫通するスルーホール４１内の内部導通電極４２とそれぞれ電気的に接続可能な位置に配置される（図５、図８（ａ）参照）。
【００４２】
さらに、圧電シート３３には、圧電シート３４におけるコモン電極３７と平面視で一部重複する個所であって、圧電シート３３の広幅面における短辺及び長辺に沿う外周部位等にダミーコモン電極４３が形成されている（図４参照）。
【００４３】
コモン電極３７は、最下層の圧電シート３４とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート３４の各表面（上面）にスクリーン印刷形成されるものである（図４参照）。最下層の圧電シート３４におけるコモン電極３７は当該圧電シート３４の上面全体に形成されている。それより上層の各圧電シート３４におけるコモン電極３７は、各圧力室列２３−１〜２３−５ひいては各個別電極列３６−１〜３６−５の配置位置と平面視で重複し、且つ圧電シート３４の長辺に沿ってＹ方向に長い第１電気導通部分３７ａと、圧電シート３４の短辺に沿ってＸ方向に長く、第１電気導通部分３７ａの両端に連結する第２電気導通部分３７ｂとからなる。コモン電極３７はこれら圧電シート３４に形成される島状のダミー個別電極３８の列部分を囲んで形成されている。
【００４４】
平面視略矩形状の各ダミー個別電極３８は、各個別電極３６の直線部３６ｂではなく、各一端部３６ａの少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。
【００４５】
拘束層としての上層シート４６の上面には、図４に示すように、平面視で略矩形型の接続用パターン５３が前記圧電シート３４における各ダミー個別電極３８の少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。また、上層シート４６の上面の短辺に沿う部位等には、圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７の一部及び圧電シ−ト３３におけるダミーコモン電極４３の一部にそれぞれ平面視で重複する位置にコモン導通部としての連絡用パターン５４が形成されている。
【００４６】
そして、最下層の圧電シート３４を除き、それより上層の圧電シート３４、３３及び上層シート４６には、幹部３７ａ，３７ｂ等のコモン電極３７とダミーコモン電極４３との複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極３７、４３の位置において、各圧電シート３４、３３の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール４１内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極（図示せず）を形成する。同様に、複数枚の圧電シート３３における各個別電極３６の端部３６ａと、圧電シート３４における各ダミー個別電極３８と、上層シート４６における連絡用パターン５４には、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、各圧電シート３３、３４、４６の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール４１内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４２が形成されている。その場合、各内部導通電極４２は、上下に隣接する圧電シート３３、３４、４６の箇所で平面視で上下に重複しない位置に適宜距離だけ隔てて形成されている（図６、図７（ａ）、図８（ａ）参照）。
【００４７】
図４〜図７に示すように、圧電アクチュエータ１２の最上層である表面シートとしてのトップシ−ト３５の上面（表面）には、フレキシブルフラットケーブル４０の下面のコモン接続用のバンプ電極５７及び個別接続用のバンプ電極７８とそれぞれ接合させるためのコモン接続用の接合端子（接合電極）９０及び個別接続用の接合端子（接合電極）９１とがそれぞれ島状に形成されている。
【００４８】
接合端子９０及び接合端子９１は、それぞれ、トップシ−ト３５の表面に形成される層厚さの薄い表面電極９２（９３）と層厚さの厚い外部導電部としての外部電極９４（９５）とからなる。トップシ−ト３５の接合端子９０及び接合端子９１と、対応する上層シート４６の連絡用パターン５４及び接続用パターン５３とそれぞれ上下方向に電気的に接続するためには、前記と同様に、トップシ−ト３５の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール４１内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４４が形成されている。
【００４９】
表面電極９２（９３）は、個別電極３６、コモン電極３７、ダミー個別電極３８、ダミーコモン電極４３、スルーホール４１内に充填する内部導通電極４２，４４、接続用パターン５３及び連絡用パターン５４と同様の銀−パラジュウム系導電部材（導電性ペースト）を用いて圧電シート３３、３４及びトップシート３５の元材料であるグリーンシートの表面にスクリーン印刷形成した後、圧電シート３３、３４及びトップシート３５を所定の順に積層し、プレスした後、さらに焼成して形成される。なお、スルーホール４１は各圧電シート３３，３４及びトップシート３５にパターン印刷する前に穿設され、スルーホール４１内への内部導通電極４２，４４の充填はパターン印刷時に同時に行われる。
【００５０】
前記焼成により、図８（ａ）に示すように、スルーホール４１内の内部導通電極４２，４４はやせ細り、スルーホール４１の内壁に筒状に張りつく。特に、トップシート３５の表面（上面）におけるコモン電極用の接合端子９０（表面電極９２）及び個別電極用の接合端子９１（表面電極９３）に対するそれぞれスルーホール４１の開口端部では、内部導通電極４２，４４が平面視でほぼリング状で極めて厚さが薄い状態（例えば、焼成後の厚さ１μｍ程度）である。
【００５１】
そのため、その後、層厚さの厚い（例えば、焼成後の厚さ１０μｍ程度）外部導電部としての外部電極９４，９５（及び後述するダミー部９６）にてスルーホール４１の開口端部を広い面積にわたって覆うことで、トップシート３５の表面が取り扱い中に治具等で擦れてても、スルーホール４１の内面の内部導通電極４２，４４は外部電極９４，９５に広い面積て電気的に接続される結果、電気的断線事故が発生しないのである。しかも、外部導電部としての外部電極９４，９５（及び後述するダミー部９６）は、図８（ｂ）に示されるように、スルーホール４１の内部まで充填され、スルーホール４１の開口端部において内部導通電極４４に密着しているので、内部導通電極４４の極めて厚さが薄い部分を補強し、電気的断線を確実に防ぐことができる。
【００５２】
また、図８（ｂ）に示されるように、上層シート４６に形成されたスルーホール４１の位置は、トップシート３５に設けられたスルーホール３５の位置から偏倚している。よって、トップシート３５のスルーホール４１の開口端部を覆うように形成された外部電極９４，９５が、後述するフレキシブルフラットケーブル４０の接合電極部７７、７８にて押圧されるとき、トップシート３５のスルーホール４１が形成された部位は、上層シート４６のスルーホール４１が形成されていない部位にて支持されるので、フレキシブルフラットケーブル４０を押圧したときの変形を防止できる。
【００５３】
なお、前記表面電極９２（９３）の焼成後に、外部導電部としての外部電極９４（９５）及び後述するダミー部９６は銀−ガラスフリット系の厚膜用の導電性ペースト（コモン電極３７、個別電極３６と同じ材料）を用いて表面に印刷形成した後に前記焼成温度より低い温度で焼成して形成される。
【００５４】
個別接続用の接合端子（接合電極）９１の構成をさらに詳述すると、トップシ−ト３５の上面には、上層シ−ト４６における各接続用パターン５３にそれぞれ平面視で少なくとも一部が重複するように、層（膜）厚さの薄い表面電極９３が一定間隔で配置形成されている。この各表面電極９３は、図６、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、トップシ−ト３５の短辺縁（第２の方向、Ｘ方向）ひいては各個別電極３６における各直線部３６ｂと略平行であって、図７（ｂ）に示すように、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室２３、２３の間の隔壁２４の上方に位置させる。従って、圧力室２３の第１の方向の配置間隔Ｐ０と同じ間隔にて表面電極９３が配置され、且つ圧力室２３の配置と半ピッチずれて表面電極９３が配置されることになる。そして、表面電極９３の大部分は隔壁２４の幅寸法Ｗ１よりも狭い幅寸法Ｗ２（Ｗ２＞Ｗ１）を有する細幅部９３ａであり、この細幅部９３ａに連接して広幅部９３ｂが形成される。広幅部９３ｂの幅寸法Ｗ３は隔壁２４の幅寸法Ｗ１より若干広く設定されている。実施形態では、圧力室２３の第１の方向の配置間隔Ｐ０は 0.339μm 、表面電極９３のＷ１＝ 120μm 〜 150μm 、Ｗ２＝ 100μm 、Ｗ３＝ 150〜300 μm 程度であり、Ｗ３＝ 200〜220 μm 程度が好ましい。広幅部９３ｂの長さ寸法Ｌ３＝ 360μm 程度である。また、表面電極９３の層厚さは１〜２μm 程度である。
【００５５】
そして、この広幅部９３ｂの表面に後に付着する外部電極９５の平面視の大きさは広幅部９３ｂの面積よりも小さく、且つ外部電極９５の平面視の周囲縁が広幅部９３ｂの周囲縁よりも内周側に位置するように配置されている。実施形態では外部電極９５の幅寸法Ｗ４≒ 150〜 200μm 程度であり、外部電極９５の周囲縁と広幅部９３ｂの周囲縁との間の平面視の間隔寸法Ｗ５が25μm 程度あることが望ましい（図９（ａ）参照）。外部電極９５の層厚さは10μm 〜20μm である。
【００５６】
同様に、コモン接続用の接合端子９０における層厚さの薄い表面電極９２は、上層シ−ト４６における連絡用パターン５４の少なくとも一部に平面視で重複するように配置され、且つトップシ−ト３５の上面のうち外周縁寄り部位に帯状等にて形成されている（図４参照）また、表面電極９２の表面に後付けとしての層厚さの厚い外部電極９４を適宜形状にて配置する。
【００５７】
個別電極用の接合端子９１では、トップシート３５の板厚さを貫通させた内部導通電極４４が表面電極９３と接続する箇所が圧電アクチュエータ２０の上面として外部に露出するので、各スルーホール４１部分を含めて内部導通電極４４の上面部位を前記外部導電部としての外部電極９５と同じ材料で厚い膜厚（例えば、焼成後の層厚さが１０μｍ程度）にて充填するようにしたダミー部９６を形成することにより、内部導通電極４４と表面電極９３との接続箇所を保護することができる（図８（ｂ）参照）。
【００５８】
そして、図６、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示す実施形態では、平面視において、隣接する列同士の圧力室２３は、その列の延びる方向（Ｙ方向）に互いに半ピッチずつずれるような千鳥状に配置される。そして、個別電極３６の一端部３６ａやダミー個別電極３８及び接続用パターン５３も、各圧力室２３の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室２３の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位に配置されている。
【００５９】
従って、トップシート３５の表面に対して直交するように板厚を貫通して形成される各スルーホール４１の位置ひいては内部導通電極４４に接続させる各接合端子９１における表面電極９３の一部の位置も、各圧力室２３の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室２３の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位に配置されている。なお、表面電極９３全体としては、第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びる方向と平行状に延びるように形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位（隔壁２４の上方）に配置されている。
【００６０】
しかも、各外部電極９５及びダミー部９６は、ＸＹ両方向の幅寸法が、表面電極９３のＸＹ両方向の領域内に形成されている。
【００６１】
そして、図６及び図７（ｂ）に示す、Ｙ方向に並ぶ接合端子９１の１つのおきに外部電極９５がＸ方向の一方の端部と他方の端部とに交互に形成されいるので、平面視において、ＸＹ両方向に隣接する外部電極９５の間の距離を大きく採ることができながら、各外部電極９５の面積も大きくすることができる。
【００６２】
次に、前記第１実施形態の圧電アクチュエータ２０の表面における多数のコモン用接合端子９０及び個別用接合端子９１にそれぞれ電気的に接合するための第１実施形態のフレキシブルフラットケーブル４０におけるコモン用の接合電極部７７、個別用の接合電極部７８及びこれらの各接合電極部７７、７８と外部素子に接続するための配線７９の配置等の構成について、図９（ａ）、図９（ｂ）及び図１０を参照しながら説明する。
【００６３】
フレキシブルフラットケーブル４０は、トップシート３５の上面に重ねられ、ノズル列と直交する方向（Ｘ方向）に外方へ突出して配置される（図１参照）。フレキシブルフラットケーブル４０は、電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなる帯状のベース材１００の片面に銅箔からなるコモン用の接合電極部７７、個別用の接合電極部７８、微細な配線７９がフォトレジスト法等により形成され、これらの表面を電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなるカバーレイ１０１にて被覆させたものであり、配線７９の他端はベース材１００に搭載された駆動用の集積回路１０２に電気的に接合されており、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の複数の端子１０５と集積回路１０２とが接続されている。なお、島状の個別用の接合電極部７８に相当する箇所はトップシート３５における島状の接合端子９１の外部電極９５とそれぞれ対面する箇所であって、その対面するベース材１００の箇所に孔（開口部）を開けて、その孔（開口部）部位に半田合金からなるバンプ電極１０３を固着している（図９（ｂ）参照）。同様に、帯状のコモン用の接合電極部７７（後述する７７−１及び７７−２）のうち、トップシート３５における島状の接合端子９０の外部電極９４とそれぞれ対面する箇所に孔（開口部）を開けて、その孔（開口部）部位にバンプ電極１０３を固着している。
【００６４】
フレキシブルフラットケーブル４０において、図９（ａ）に示すように、コモン接合電極部７７は、第２の方向（Ｘ方向、アクチュエータの短辺方向）に沿って延びる対の側縁に沿って形成された帯状の２本の第１コモン接合電極部７７−１を少なくとも有する。実施形態では、第１の方向（Ｙ方向、アクチュエータの長辺方向）に沿って延びる側縁に沿って形成された帯状の１本の第２コモン接合電極部７７−２を有し、さらに、第２コモン接合電極部７７−２の両端が各第１コモン接合電極部７７−１の先端部に電気的に接続されている。２本の第１コモン接合電極部７７−１の他端部は、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の接続端子１０４に電気的に接続されている。
【００６５】
他方、個別接合電極部７８は、第１圧力室列２３−１，第２圧力室列２３−２，第３圧力室列２３−３，第４圧力室列２３−４，第５圧力室列２３−５ひいてはこれに対応する列状の外部電極９５に対向するように、第１の方向（Ｙ方向）に延びて千鳥状に配置されている。図９（ａ）において、第１圧力室列２３−１に対応する個別接合電極部の群を第１群７８−１で示し、第２圧力室列２３−２に対応するものを第２群７８−２、第３圧力室列２３−３に対応するものを第３群７８−３、第４圧力室列２３−４に対応するものを第４群７８−４、第５圧力室列２３−５に対応するものを第５群７８−５で示す。
【００６６】
そして、全ての列の各個別接合電極部７８に接続する配線７９は、第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びるような配線パターンにて形成されている。そして、配線７９の中途部は隣接する個別接合電極部７８の間を通過するように適宜Ｙ方向に屈曲形成されている（図１０参照）。
【００６７】
駆動用の集積回路１０２は、外部機器（記録装置本体側の制御基板）からシリアル転送されてくる記録データを、各ノズルに対応するパラレルデータに変換し、かつ記録データに対応した所定電圧の波形信号を生成して、各配線７９に出力するものである。集積回路１０２とアクチュエータ１２との間の接続は、ノズル数に対応した配線７９を上記のように高密度に形成する必要があるが、集積回路１０２よりも制御基板側では、記録データをシリアル転送するので、低密度な配線パターンでよい。
【００６８】
半田合金製のバンプ電極１０３を接合するときは当該バンプ電極１０３をコモン用接合端子９０の外部電極９４及び個別用接合端子９１の外部電極９５にそれぞれ重ねて加熱押圧して接合する。その場合、図１１（ｂ）に示すように、バンプ電極１０３の溶融した半田合金は、外部電極９５の上面及び側面を覆い、且つ表面電極９３における広幅部９３ｂの表面を周縁近傍の箇所まで覆う。そして、銀−パラジュウム系の導電ペーストからなる広幅部９３ｂ（表面電極９３）の表面は溶融した半田合金との濡れ性が大きい一方、銀−ガラスフリット系導電ペーストからなる外部電極９５と半田合金とは共晶結合して接合強度は高い。
【００６９】
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、外部電極９５の側縁（周縁）から表面電極９３の広幅部９３ｂの側縁（周縁）までの寸法Ｗ５が大きいと、外部電極９５の側縁と広幅部９３ｂの表面との間の隅肉部（フィレット）１０３ａ（図１１（ｂ）参照）の肉厚さも厚くすることができる。その結果、温度変化（変動）の大きいもと（使用状態等）での繰り返し使用により、フレキシブルフラットケーブル４０が大きく伸縮した場合、バンプ電極１０３の間隔が伸縮し、これに接合されている外部電極９５との間の隅肉部（フィレット）１０３ａに大きい応力集中が作用しても、厚みの厚い隅肉部（フィレット）１０３ａであれば、当該隅肉部１０３ａの断面の半径を大きくでき、材料力学でいう圧力集中係数（形状係数）を小さくでき、応力集中の悪影響を緩和させることができる。従って、熱衝撃を受けた場合や繰り返し応力（疲労）を受けても、前記隅肉部１０３ａに亀裂が発生難いから電気的断線事故も発生しないのである。
【００７０】
なお、前記応力集中は、フレキシブルフラットケーブル４０の幅方向（第１の方向、Ｙ方向）の収縮時に大きくなるので、これに耐久性を持たせるためには、各島状の外部電極９５におけるＹ方向と直交するＸ方向に延びる側縁とそれに対応する広幅部９３ｂの表面との間の隅肉部１０３ａの肉厚を大きくする必要である。そのためには、広幅部９３ｂのＸ方向の幅寸法Ｗ３に対する外部電極９５の幅寸法Ｗ４を可及的に小さくすることで、隅肉部１０３ａが形成される土台（領域）となる広幅部９３ｂの幅寸法Ｗ５を大きくすることが望ましいのである。
【００７１】
個別用の接合端子９１ひいては表面電極９３及び外部電極９５を、キャビティユニット１０における圧力室２３の配列の間、即ち隔壁２４上に相当する箇所に配置すれば、フレキシブルフラットケーブル４０のバンフ電極１０３を外部電極９５と対面させて押圧するとき、隔壁２４にて押圧力を支持でき、空洞である圧力室２３の変形を防止できるという効果を奏する。
【００７２】
また、互いに隣接する個別電極用の外部電極９５及びこれに対応するバンプ電極１０３（個別用接合電極部７８）は、平面視で、千鳥状に配置されているから、当該隣接する外部電極９５同士（バンプ電極１０３同士）の間隔を広く設定することができ、この広い隙間に複数本の配線７９を互いの間隔を離して通過させることができる。従って、配線７９間の相互インダクタンスも小さくできる。なお、ダミー部９６と配線７９とが平面視で重なっても、当該配線７９はカバーレイ１０１にて被覆されて、電気的に絶縁されているから、ダミー部９６と配線７９とが電気的に短絡することがない。また、各外部電極９５の面積を適当に大きくすることができるから、フレキシブルフラットケーブル４０のバンフ電極１０３との重ね位置が多少ずれても、電気的接続に悪影響を及ぼさない。外部電極９５とダミー部９６とは同じ導電性ペーストであるので、１つの工程で同時に形成することができる。
【００７３】
前記第１実施形態では、ノズルの列は５列ひいては個別用の接合端子９１、個別接合電極７８が千鳥配列で１０列であったが、図１２〜図１４に示すのは、ノズル列が４列であり、従って、圧電アクチュエータ１２のトップシート３５の表面に個別用の接合端子９１が千鳥状且つ島状で４列に形成されたものを示す。この実施形態では、圧電アクチュエータ１２を構成するシートの最下層から数えて第１層、第３層、第５層の圧電シート３４の表面（上面）にはコモン電極３７（３７ａ、３７ｂ）が形成され、第３層、第５層の圧電シート３４の表面（上面）には、ダミー個別電極３８が島状且つ千鳥状に形成されている。他方、第２層、第４層、第６層の圧電シート３３の表面（上面）には、個別電極３６がＹ方向に１列状で、且つＸ方向に４列配置で千鳥状に配列されており、また、各圧電シート３３の表面（上面）の側縁を囲むように、ダミーコモン電極４３が帯状に形成された点は第１実施形態とほぼ同じである。
【００７４】
第７層及び第８層は拘束層であって、各圧力室２３に対する活性部の変位が大きくなるように、換言すると最上層であるトップシート３５の方向への変位を小さくするためである。そして、第７層のシート５０の表面（上面）には、島状且つ千鳥状のダミー個別電極３８及び帯状のダミーコモン電極４３が形成されている。第８層のシート５１の表面には、最上層（第９層）のトップシート３５の表面のコモン用接合端子９０、個別用接合端子９１へのそれぞれの電気的接続のための帯状の連結用パターン５４及び島状且つ千鳥状の接続用パターン５３が形成されている。これらのパターンは、第３層及び第５層の圧電シートと全く同じである。第７層のシート５０、第８層のシート５１及びトップシート３５は圧電シート３３，３４と同じ材料である。このようなシートを積層・プレスした後焼成すると、シート表面の導電体パターン部分の収縮率が高いため、導電体パターンの面積がシートの積層方向の中心部に対して積層の下層側と上層側とで大きく相違するときには、導電性パターンの面積が大きい側（コモン電極が位置するシート側）で凹となるように湾曲してしまう。そこで、前記第８層の導電体パターンの面積を大きくするようにして、積層の下層側と上層側とで導電体パターンの面積をバランス良く配置し、湾曲変形を防止するのである。しかも、第８層の導電体パターンを第３層及び第５層の導電体パターンと全く同じにすることで部品の共通化を図っている。
【００７５】
なお、第１層以外の上層のシートにスルーホールを設けそれに導電性ペーストを充填した内部導通電極４２、４４により積層方向にコモン電極３７、ダミーコモン電極４３及び接合端子９０を電気的に接続すること、個別電極３６、ダミー個別電極３８及び接合端子９１を接続することは第１実施形態と同じである。
【００７６】
ところで、第２実施形態におけるトップシート３５の個別用の接合端子９１も、第１実施形態とほぼ同じく、トップシート３５の表面に対して直交するように板厚を貫通して形成される各スルーホール４１の位置ひいては内部導通電極４４に接続させる各接合端子９１における表面電極９３の位置も、各圧力室２３の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室２３の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位に配置されている。なお、表面電極９３全体としては、第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びる方向と平行状に延びるように平面視ほぼ矩形状に形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室２３の間に相当する部位（隔壁２４の上方）に配置されている（図１３参照）。
【００７７】
そして、第２実施形態においては、図１４に示すように、スルーホール４１の上端の開口縁ひいては内部導通電極４４を平面視で見るとき、それぞれの圧力室２３の列に対応して一直線上に並んでいる。この各スルーホール４１の上端の開口縁を覆い、ひいては内部導通電極４４との電気的接続を確実にするための外部導電部として、外部電極９５またはダミー部９６が設けられている。しかも、各外部電極９５及びダミー部９６は、ＸＹ両方向の幅寸法が同一であり、表面電極９３のＸＹ両方向の領域内に形成されている。
【００７８】
第２実施形態では、図１４に示すように、Ｙ方向に並ぶ接合端子９１の１つおきに、表面電極９３のＸ方向の端部にて内部導通電極４４と重なるようにダミー部９６が設けられ、且つ、それら表面電極９３のＸ方向の他端部に外部電極９５が設けられており、このように、１つの表面電極９３上にダミー部９６と外部電極９５とが設けられたものをＹ方向に挟んで１つおきの位置の接合端子９１には、内部導通電極４４と重なるように外部電極９５のみが設けられている。換言すると、ここでは、ダミー部９６と外部電極９５とが兼用されていることになる。いずれにしても、平面視において、ＸＹ両方向に千鳥配列されて隣接する接合端子９１上での外部電極９５も千鳥状に配列されているから、これら隣接する外部電極９５の間の距離を大きく採ることができ、第１実施形態と同様にフレキシブルフラットケーブル４０の表面に露出している個別接合電極部７８（バンプ部１０３）と重ねて電気的に接続した場合に、配線７９の配置間隔を広くすることができるなど、第１実施形態と同じ作用・効果を奏することができる。
【００７９】
これらダミー部９６、外部電極９４（９５）は平面視矩形状、小判型または楕円状等の適宜形状を採用し得る。本発明は３列以上の個別用の接合端子９１に対して適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の第１実施形態における圧電式インクジェット記録ヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。
【図２】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの一部分解斜視図である。
【図４】第１実施形態の圧電アクチュエータの一部切欠き分解斜視図である。
【図５】圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大断面図である。
【図６】トップシートの表面の接合端子等の配置を示す一部切欠き斜視図である。
【図７】（ａ）は圧力室と個別電極と接続用パターンと個別用の接合端子等の配置を示す部分拡大平面図、（ｂ）は個別用の接合端子における表面電極と外部電極等の配置関係を示す部分拡大平面図である。
【図８】（ａ）はトップシートにおけるスルーホールの開口上端が開放された状態を示す断面図、（ｂ）は外部導電部としての外部電極またはダミー部で覆った状態を示す断面図である。
【図９】（ａ）はフレキシブルフラットケーブルにおけるコモン接合電極、個別接合電極、配線、集積回路等の配置関係を示す概略平面図、（ｂ）は側面図である。
【図１０】コモン接合電極、個別接合電極、配線を示す一部切欠き拡大図である。
【図１１】（ａ）は個別用の接合端子における表面電極と外部電極と配置関係を示す部分拡大平面図、（ｂ）は図１１（ａ）のXIb −XIb 線矢視で示すバンプ電極との接合状態を示す拡大断面図である。
【図１２】第２実施形態の圧電アクチュエータの一部切欠き分解斜視図である。
【図１３】圧力室と個別電極と接続用パターンと個別用の接合端子等の配置を示す部分拡大平面図である。
【図１４】個別用の接合端子における表面電極と外部電極等の配置関係を示す部分拡大平面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１ インクジェット記録ヘッド
１１ キャビティユニット
１１ａ ノズル
１２ 圧電アクチュエータ
２２ ベースプレート
２３ 圧力室
３３，３４ 圧電シート
３５ トップシート
３６ 個別電極
３７ コモン電極
４０ フラットケーブル
５０、５１ 拘束層としてのシート
５３ 接続用パターン
５４ 連絡用パターン
７７ コモン用の接合電極部
７８ 個別用の接合電極部
７９ 配線
９０ コモン用接合端子
９１ 個別用接合端子
９２、９３ 表面電極
９４、９５ 外部導電部としての外部電極
９６ 外部導電部としてのダミー部
１０２ 集積回路
１０３ バンプ電極
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列を有するキャビティユニットと、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータとを備え、圧力室のそれぞれに選択的に駆動電圧を印加するため、アクチュエータの表面に島状に配置された複数の接合端子を有するインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを制御するための制御信号を発信するフレキシブルフラットケーブルとを接続するためのインクジェット記録ヘッドの接合構造であって、
前記アクチュエータにおける前記キャビティユニットから最も離れた側のトップシートには、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる前記島状の接合端子を形成し、
前記トップシートの板厚方向に貫通するスルーホールに充填した導電材を前記接合端子における膜厚さの薄い表面電極の部位の一部に連通させ、この各スルーホールに充填した導電材にて前記表面電極と前記アクチュエータにおける個別電極との電気的な接続が行えるように構成し、
前記表面電極の表面には、当該部位に開口するスルーホールの端部を覆い塞ぐとともに当該開口の端部に密着するように、膜厚の厚い外部導電部を設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項２】
前記外部導電部は、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる外部電極か、前記接合電極とは非接合であるダミー部かのいずれかであり、
前記外部導電部がダミー部である表面電極は、当該ダミー部から適宜隔てられた部位に前記外部電極が設けられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項３】
前記隣接する列同士の圧力室が前記第１の方向に互いに半ピッチずつずれるような千鳥状に配置され、
前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、
前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って延びる方向と平行状に延びるように形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室の間に相当する部位に配置され、
前記各外部電極及びダミー部は前記第１の方向の幅寸法が、前記表面電極の前記第１の方向の領域内に収まる幅寸法に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項４】
前記アクチュエータは、前記各圧力室ごとに対応する個別電極を有する圧電シートと、複数の前記圧力室に共通するコモン電極を有する圧電シートとが交互に積層され、
前記コモン電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応する個別電極同士を接続させるためのダミー個別電極が島状に形成されており、
前記個別電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応するコモン電極同士を接続させるためのダミーコモン電極が形成されており、
前記トップシートと圧電シートとの間には、少なくとも１枚の拘束シートが介挿され、 この拘束シートは、前記トップシートのスルーホールに充填した導電材にて、前記表面電極と電気的に接続されるとともに、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて前記個別電極と接続されるダミー個別電極と、前記コモン電極と同じパターン形状である導電パターンとを有し、
前記拘束シートのスルーホールの位置は、前記トップシートのスルーホールの位置から偏倚していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項５】
前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第１の方向ととほぼ直交する第２の方向に延び、
前記フレキシブルフラットケーブルの表面には、前記トップシートにおける外部電極に対応する位置に個別表面電極が露出しており、該各個別表面電極に接続する配線は前記フレキシブルフラットケーブルの表面に対して非露出状態で配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項１】
第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列を有するキャビティユニットと、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータとを備え、圧力室のそれぞれに選択的に駆動電圧を印加するため、アクチュエータの表面に島状に配置された複数の接合端子を有するインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを制御するための制御信号を発信するフレキシブルフラットケーブルとを接続するためのインクジェット記録ヘッドの接合構造であって、
前記アクチュエータにおける前記キャビティユニットから最も離れた側のトップシートには、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる前記島状の接合端子を形成し、
前記トップシートの板厚方向に貫通するスルーホールに充填した導電材を前記接合端子における膜厚さの薄い表面電極の部位の一部に連通させ、この各スルーホールに充填した導電材にて前記表面電極と前記アクチュエータにおける個別電極との電気的な接続が行えるように構成し、
前記表面電極の表面には、当該部位に開口するスルーホールの端部を覆い塞ぐとともに当該開口の端部に密着するように、膜厚の厚い外部導電部を設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項２】
前記外部導電部は、前記フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極と重ね接合させる外部電極か、前記接合電極とは非接合であるダミー部かのいずれかであり、
前記外部導電部がダミー部である表面電極は、当該ダミー部から適宜隔てられた部位に前記外部電極が設けられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項３】
前記隣接する列同士の圧力室が前記第１の方向に互いに半ピッチずつずれるような千鳥状に配置され、
前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室の配列に対応させて同じく半ピッチずつずれるような千鳥状であって、且つ相隣接する圧力室の列の相対向する部位に対応するように接近させて配置され、
前記各接合端子における表面電極は、前記各圧力室が前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って延びる方向と平行状に延びるように形成され、且つ各列の前記第１の方向に相隣接する圧力室の間に相当する部位に配置され、
前記各外部電極及びダミー部は前記第１の方向の幅寸法が、前記表面電極の前記第１の方向の領域内に収まる幅寸法に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項４】
前記アクチュエータは、前記各圧力室ごとに対応する個別電極を有する圧電シートと、複数の前記圧力室に共通するコモン電極を有する圧電シートとが交互に積層され、
前記コモン電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応する個別電極同士を接続させるためのダミー個別電極が島状に形成されており、
前記個別電極を有する各圧電シートには、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて、前記積層方向に対応するコモン電極同士を接続させるためのダミーコモン電極が形成されており、
前記トップシートと圧電シートとの間には、少なくとも１枚の拘束シートが介挿され、 この拘束シートは、前記トップシートのスルーホールに充填した導電材にて、前記表面電極と電気的に接続されるとともに、その積層方向に貫通するスルーホールに充填した導電材にて前記個別電極と接続されるダミー個別電極と、前記コモン電極と同じパターン形状である導電パターンとを有し、
前記拘束シートのスルーホールの位置は、前記トップシートのスルーホールの位置から偏倚していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項５】
前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第１の方向ととほぼ直交する第２の方向に延び、
前記フレキシブルフラットケーブルの表面には、前記トップシートにおける外部電極に対応する位置に個別表面電極が露出しており、該各個別表面電極に接続する配線は前記フレキシブルフラットケーブルの表面に対して非露出状態で配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００６−１５５３９（Ｐ２００６−１５５３９Ａ）
【公開日】平成１８年１月１９日（２００６．１．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−１９３８８５（Ｐ２００４−１９３８８５）
【出願日】平成１６年６月３０日（２００４．６．３０）
【出願人】（０００００５２６７）ブラザー工業株式会社 (13,856)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１月１９日（２００６．１．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年６月３０日（２００４．６．３０）
【出願人】（０００００５２６７）ブラザー工業株式会社 (13,856)
【Ｆターム（参考）】
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