【課題】少なくとも圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させる。
【解決手段】圧電素子は、複数の個別電極と、前記各個別電極上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成され、前記個別電極に対して共通の電極となる共通電極とを有している。更に、圧電素子における前記個別電極の上において、前記共通電極に覆われていない領域には、この領域を覆う保護膜を有している。 （もっと読む）

【課題】初期撓みを抑制しつつ圧電素子の駆動による振動板の変位量を向上させることが困難であった。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された基板と、第１電極、一方側において第１電極と接する圧電体層および圧電体層の他方側に形成された第２電極を有し、前記圧力発生室に対応して形成され圧電素子と、を備える液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子間に形成された中間セグメントと、引張応力を有する所定の素材で形成され、前記圧電素子と中間セグメントとの間を接続する接続膜とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子が、ＡＬＣＶＤ法により形成された酸化アルミニウム膜を含む保護膜１００によって覆うようにする。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、上部電極、下部電極ともにテニウム酸ストロンチウム（ＳＲＯ）を用い、経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、電極１４と、電極１４上に形成されＳＲＯからなる電極１５と、電極１５上に形成されたＰＺＴからなる電気−機械変換膜１６と、電気−機械変換膜１６上に形成されＳＲＯからなる個別電極１７と、電極１７上に形成された個別電極１８とを有し、厚さ方向におけるＳｒの分布を、ＳＩＭＳを用いた２次イオン強度比を用いて表したとき、ＰＺＴの厚さの１／２の位置でのＳｒの同強度を、電極１５のＳＲＯの厚さの１／２の位置でのＳｒの同強度で除すると、０．０１以下である。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、下地電極にルテニウム酸ストロンチウムを用い、、膜剥がれに対する耐久性を向上し経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、化学式ＡＢＯ３で記述されるペロブスカイト構造を有し、Ａ＝Ｌａ、Ｓｒ、Ｂ＝Ｍｎ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕの何れか１つ以上から構成されている密着層１３と、密着層１３上に形成されたＰｔ族の金属からなる電極１４と、電極１４上に形成された電極１５と、電極１５上に形成された電気−機械変換膜１６と、膜１６上に形成された電極１７と、電極１７上に形成されたＰｔ族の金属からなる電極１８とを有し、電極１５、１７は、ＳＲＯ等からなる。 （もっと読む）

【課題】圧電体の上面から圧電体の外表面に沿うように配線を引き出すことなく、圧電体を挟む一方の電極を取り出して、素子としての信頼性を向上させる電気機械変換素子を提供する。
【解決手段】電気機械変換素子１は、薄膜からなる圧電体８と、圧電体８を挟む２つの電極７，９と、一方の電極（例えば上電極９）と導通する第１の電極取出層４と、他方の電極（例えば下電極７）と導通する第２の電極取出層１０とを基板２上に有している。第１の電極取出層４は、圧電体８よりも基板２側に位置している。一方の電極９は、圧電体８を基板２と垂直な方向に貫通する連結部２１を介して、第１の電極取出層４と連結されている。 （もっと読む）

【課題】振動板の絶縁破壊が抑えられ、駆動回路の損傷が抑えられた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】ノズルプレート３１が導電性セラミックスからなり、ノズルプレート３１は接地されているので、ノズルプレート３１に電荷が蓄積しにくく、電荷がノズル開口３１０から圧力発生室３２０を満たしたインクを流れて、振動板３３に到達しにくい。したがって、振動板３３に蓄積した電荷による振動板３３の絶縁破壊を抑えることができ、駆動回路３７０の損傷が抑えられたインクジェット式記録ヘッド１００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】振動板の絶縁破壊が抑えられ、駆動回路の損傷が抑えられた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】絶縁性のノズルプレート３１に蓄積した電荷が、ノズル開口３１０から圧力発生室３２０を満たしたインクを流れ、振動板３３に到達する。振動板３３に到達した電荷は、振動板３３が導電性セラミックスからなり、振動板３３が接地されているので、振動板３３を通じて逃げる。したがって、振動板３３に蓄積した電荷による振動板３３の絶縁破壊が抑えられ、駆動回路３７０の損傷が抑えられたインクジェット式記録ヘッド１００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を繰り返し駆動させても、安定した圧電特性を得ることが可能な電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板２２、下部電極１２と、電気機械変換膜１６、及び上部電極１８がこの順に積層された構成とされ、下部電極１２が、一般式（１）：ＡＢＯ_３で表され、Ａサイト元素とＢサイト元素との組成比率Ａ／Ｂが１．１以上であるペロブスカイト型導電性酸化物を主成分とし、電気機械変換膜１６が、化学溶液法により形成された、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするペロブスカイト型酸化物強誘電体からなる。一般式（１）中、Ａは、Ｌａ、Ｓｒから選ばれる少なくとも１種のＡサイト元素を示し、Ｂは、Ｎｉ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｃｏ、Ｒｕから選ばれる少なくとも１種を主成分とするＢサイト元素を示す。 （もっと読む）

【課題】絶縁性と圧電性が良好で、鉛とカリウムを含まない圧電材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされるペロブスカイト型金属酸化物１ｍｏｌに対して、銅をｙ×０．０５ｍｏｌ％以上ｙ×２ｍｏｌ％以下含むことを特徴とする圧電材料である。一般式（１）（Ｎａ_ｘＢａ_１−ｙ）（Ｎｂ_ｙＴｉ_１−ｙ）Ｏ_３（式中、 ０．８０≦ｘ≦０．９５、０．８５≦ｙ≦０．９５） （もっと読む）

【課題】配向制御層をスパッタ法で形成するためにエッチング工程が必要になるとともに無駄な材料消費が生じる。
【解決手段】第１の電極上に電気機械変換素子を形成する素子形成領域の表面改質を行う工程と、素子形成領域に配向制御層となるゾルゲル液を第１の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、配向制御層を成膜する工程と、成膜された配向制御層上に電気機械変換膜となるゾルゲル液を第２の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、電気機械変換膜を成膜する工程と、成膜された電気機械変換膜上に第２の電極を形成する工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの電極が破断されて分断されることを防止する。
【解決手段】
圧電アクチュエータ７は、圧電材料からなり、圧力室２４と対向するように配置された圧電層４１と、圧電層４１の一方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた個別電極４２と、圧電層４１の他方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた共通電極とを有し、個別電極４２に、局部的に電極厚さが大きい補強部４２ａが環状に設けられている。この補強部４２ａが設けられているため、個別電極４２の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】ダミー溝６の底面に堆積した電極材料８の電気的分離を、電極分離手段の高精度の位置合わせを行う必要が無く、チャンネルの狭ピッチ化、狭幅化に対応できる液体噴射ヘッド１の製造方法を提供する。
【解決手段】第一ベース基板２の上に圧電体基板３を接合する積層基板形成工程Ｓ１と、圧電体基板３を貫通し第一ベース基板２に達する吐出溝５とダミー溝６とを交互に並列に形成する溝形成工程Ｓ２と、吐出溝５とダミー溝６の内表面に電極材料８を堆積する電極材料堆積工程Ｓ３と、カバープレート９を接合するカバープレート接合工程Ｓ４と、第一ベース基板２の一部を除去し、電極材料８を除去する第一ベース基板除去工程Ｓ５と、第一ベース基板２に第二ベース基板１０を接合してダミー溝６の開口を閉塞する第二ベース基板接合工程Ｓ６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】配向制御層を成膜する際に全面成膜することなく必要な部分だけパターニングして成膜でき、配向制御層を薄膜化できる電気機械変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の電極４１と、配向制御層４２と、電気機械変換膜４３と、第２の電極４４とを積層して成る電気機械変換素子４０を製造する電気機械変換素子の製造方法において、第１の電極４１の表面側に配向制御層４２を形成する配向制御層形成工程で、第１の電極４１の表面側に液体吐出ヘッドのノズルを対向させるとともに、ゾルから成る配向制御層前駆体溶液を吐出することにより第１の電極４１に配向制御層前駆体溶液を塗布し、塗布した配向制御層前駆体溶液を熱処理して第１の電極４１上で結晶化するゾルゲル法により、第１の電極４１に配向制御層４２を形成する。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を提供することを目的とする。
を提供する。
【解決手段】圧電素子３００は、第１電極６０と、第１電極上に設けられた圧電体層７０
と、圧電体層上に設けられた第２電極８０と、第２電極上に設けられた絶縁膜（保護膜）
１００とを具備し、第２電極の絶縁膜と接触する領域に、凹凸部８３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 電解メッキによって圧電部材に電極を形成する。
【解決手段】 駆動電圧の印加に伴う無鉛圧電部材の変形によってインクを吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記無鉛圧電部材に第１導電パターンを形成し、前記無鉛圧電部材のうち、少なくとも前記第１導電パターンを形成する領域以外の領域に、絶縁層を形成し、電解メッキによって前記第１導電パターン上に第２導電パターンを形成することにより、前記駆動電圧の印加に用いられる電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上が十分に得られる圧電体素子などを提供する。
【解決手段】基板２３０と、基板２３０の上に形成された下部電極層２４２と、この下部電極層２４２の上に形成された圧電体層２４３と、この圧電体層２４３の上に形成された上部電極層２４４とを備えた圧電体素子２４０であって、下部電極層２４２が化学式ＡＢＯ3で示され、ＡサイトとＢサイトの比率（Ａ／Ｂ）が１.１以上でなる導電性酸化物からなり、圧電体層２４３がＣＳＤ法により形成された、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするペロブスカイト型酸化物強誘電体材料からなる。 （もっと読む）

【課題】引出部が第２電極を圧電層の一方の面に引き出すための機能を果たしているかを検査する。
【解決手段】圧電層４０、４１となるグリーンシートにスルーホール３７、３８ａ、３８ｂを形成する。次に、圧電層４０、４１となるグリーンシートの一方の面に共通電極４４、４５を形成する。その後、３枚のグリーンシートを積層して、焼成する。続いて、第１圧電層４０の上面からスルーホール３７、３８内に充填材６５、６６を充填して、引出部６８、６９を形成する。その後、スルーホール３７、３８内の充填材６５、６６の導通状態を検査し、圧電アクチュエータ３２の不良を判別する。そして、不良と判別されなかった第１圧電層４０の上面に、個別電極４３、及び、複数の引出部６８、６９のそれぞれを互いに接続させる引出電極４６、４７を形成する。 （もっと読む）