説明

エアフィルタ濾材およびそれを用いたエアフィルタユニット

【課題】濾過有効面積が大きいエアフィルタ濾材およびそれを用いたエアフィルタユニットを提供する。
【解決手段】本発明のエアフィルタ濾材は、複数の孔を有するPTFE多孔質膜を含み、積層構造を有するエアフィルタ濾材であって、PTFE多孔質膜を2層含み、2層のPTFE多孔質のうちの気体の流れの上流側に配置されたPTFE多孔質膜2aに、その厚み方向に貫通する複数の開口3aが形成されていることを特徴とする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、エアフィルタ濾材およびそれを用いたエアフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、クリーンルームで使用されるエアフィルタ濾材には、ガラス繊維にバインダーを加えて抄紙したものが多く用いられてきた。しかし、このような濾材には、その中に小繊維が存在し、折り曲げ加工時に発塵するという問題があった。さらにこの濾材には、フッ酸等の化学薬品と接触すると発塵するという問題もあった(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
そのため、近年では、クリーンな材料であるポリテトラフルオロエチレン(以下「PTFE」という)多孔質膜を含むエアフィルタ濾材が様々な分野で使用されている。PTFE多孔質膜は、その表面で粉塵等を捕捉する典型的な表面濾過タイプの濾材であり、優れた粉塵捕集性能を有している(例えば、特許文献2参照)。
【特許文献1】特開昭63−16019号公報
【特許文献2】特開平07−196831号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、PTFE多孔質膜は、優れた粉塵捕集性能を有する反面、多くの粉塵を含む空気の清浄化に用いると、早期に圧力損失が増大してしまうという欠点がある。そのため、プリーツ加工等を施すことにより、PTFE多孔質膜の表面積、すなわち、有効濾過面積を大きくして、使用に伴う圧力損失の増大を抑制する試みがなされているが、プリーツ加工による濾過有効面積の増大には限界があった。
【0005】
本発明は、より濾過有効面積の大きいエアフィルタ濾材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明のエアフィルタ濾材は、複数の孔を有するPTFE多孔質膜を含み、積層構造を有するエアフィルタ濾材であって、前記PTFE多孔質膜を2層含み、前記2層のPTFE多孔質膜のうちの気体の流れの上流側に配置されたPTFE多孔質膜に、その厚み方向に貫通する開口が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0007】
本発明では、2層のPTFE多孔質膜のうちの気体の流れの上流側に配置されたPTFE多孔質膜に、その厚み方向に貫通する開口が形成されているので、当該PTFE多孔質膜については、気体の流れの上流側の面のみならず、開口を構成する面も濾過に寄与する。開口を通過した粉塵等は、もう一方のPTFE多孔質膜によって捕捉される。すなわち、本発明のエアフィルタ濾材では、開口が形成されていない従来のPTFE多孔質膜よりも、有効濾過面積が、開口を構成する面の面積程大きくなっており、この有効濾過面積の増大により、使用に伴う圧力損失の上昇や目詰まりが抑制され、長寿命化されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【0008】
以下に、本発明のエアフィルタ濾材およびそれを用いたエアフィルタユニットの一例を、図面を用いて説明する。
【0009】
図1のAに本実施形態のエアフィルタ濾材の断面図を、図1のBに、本実施形態のエアフィルタ濾材の分解斜視図を示している。
【0010】
図1に示すように、本実施形態のエアフィルタ濾材1は、複数の孔を有するPTFE多孔質膜2a,2bを含み、2層のPTFE多孔質膜2a,2bのうちの、気体の流れの上流側に配置されたPTFE多孔質2aに、その厚み方向に貫通する複数の開口3aが形成されている。そのため、PTFE多孔質膜2aについては、気体の流れの上流側の面21aのみならず、開口3aを構成する面31aも濾過に寄与する。開口3aの下流側端は、PTFE多孔質2bの表面21bによって塞がれているので、開口3aを通過する粉塵等は、PTFE多孔質膜2bの表面21bによって捕捉される。すなわち、本実施形態のエアフィルタ濾材1では、開口3aが形成されていない1層のPTFE多孔質膜よりも、有効濾過面積が、各開口3aを構成する面31aの面積の総和程度大きいことになる。この有効濾過面積の増大によって、本実施形態のエアフィルタ濾材1では、使用に伴う圧力損失の上昇や目詰まりが抑制され、長寿命化されている。
【0011】
開口3aは、図1に示した例では、複数個形成されており、開口3aはそれぞれ独立しているが、開口3aの数はこれに制限されず、例えば、1つであってもよい。
【0012】
PTFE多孔質膜2aを平面視したときに見える開口3aの形状は、図1のBに示した例では長方形であるが、これに制限されず、例えば、円、楕円、長方形、正方形および連続したW字(図6参照)からなる群から選ばれる少なくとも1種が挙げられる。開口3aの形状は、なかでも、開口3aを構成する面の面積が大きい、連続したW字状が好ましい。
【0013】
図2に示すように、本実施形態のエアフィルタ濾材1では、PTFE多孔質膜2aを第1のPTFE多孔質膜2aとし、PTFE多孔質膜2aに接して配置されたPTFE多孔質膜2bを第2のPTFE多孔質膜2bとすると、第1のPTFE多孔質膜2aのみならず、第2のPTFE多孔質膜2bにも、その厚み方向に貫通する複数の開口3bが形成されている。このように、第2のPTFE多孔質膜2bにも開口3bが形成されていると、例えば、図1に示した例よりも、圧力損失を低くすることができ、動力コストを低減できる。
【0014】
但し、この場合、第1のPTFE多孔質膜2aに形成された開口3aと、第2のPTFE多孔質膜2bに形成された開口3bとが連通しないように、第1のPTFE多孔質膜2aと第2のPTFE多孔質膜2bとが積層される。
【0015】
図2のAに示すように、開口3aと開口3bとの平面方向のずれ幅Lは、例えば、第1のPTFE多孔質膜2aの厚さDと第2のPTFE多孔質膜2bの厚さEとの総和以上であると好ましい。開口3aと開口3bとが平面方向に、第1のPTFE多孔質膜2aの厚さDと第2のPTFE多孔質膜2bの厚さEとの総和以上離れていると、開口3aを通過した粉塵が、開口3b内に入るおそれが低減され、エアフィルタ濾材の捕集効率の低下を抑制できる。
【0016】
第2のPTFE多孔質膜2bにも開口3bが形成された形態のエフィルタ濾材1では、第1のPTFE多孔質膜2aと第2のPTFE多孔質膜2bとが接して接合されていることが望ましい。第1のPTFE多孔質膜2aと第2のPTFE多孔質膜2bとが接して接合されていると、第1のPTFE多孔質膜2aの開口3aを通過した粉塵が、第2のPTFE多孔質膜2bの開口3bに入りエアフィルタ濾材の捕集効率が低下することを、より一層抑制できる。
【0017】
尚、PTFE多孔質膜2bを平面視したときに見える開口3bの形状について、特に制限はなく、例えば、開口3aと同じであればよい。
【0018】
開口3a,3bが形成されていない箇所におけるPTFE多孔質膜2a、2bの圧力損失について、特に制限はないが、例えば、35Pa〜2000Paが適当である。尚、本明細書において、圧力損失は、透過する空気の面速を36cm/secに調整して測定した値である。
【0019】
PTFE多孔質膜2a、2bの、開口3a,3bが形成されていない箇所における捕集効率について、特に制限はないが、例えば、99.0%〜99.9999%が適当である。尚、本明細書において、捕集効率は、粒径0.3μm〜0.5μmの粒子を透過させて測定した値である。
【0020】
PTFE多孔質膜2a、2bの厚みについて、特に制限はないが、1μm〜100μm、さらには、2μm〜50μmが好ましい。
【0021】
次に、PTFE多孔質膜の作製方法の一例を説明する。まず、PTFEファインパウダーに液状潤滑剤を加えて、ペースト状の混和物を作製する。PTFEファインパウダーとしては、特に制限はなく、市販のものを使用できる。液状潤滑剤としては、PTFEファインパウダーの表面を濡らすことができ、抽出や加熱により除去できるものであれば特に制限はなく、例えば、流動パラフィン、ナフサ等の炭化水素を使用できる。これらの液状潤滑剤は、単独で使用しても良く、2種以上を併用してもよい。液状潤滑剤の添加量は、PTFEファインパウダーの種類、液状潤滑剤の種類、後述するシート成形の条件等により異なるが、例えば、PTFEファインパウダー100重量部に対して5〜50重量部程度が適当である。
【0022】
次に、ペースト状の混和物をシート状に成形する。成形方法としては、例えば、混和物をロット状に押し出した後、(1)対になったロールにより圧延する方法や、(2)板状に押し出してシート状にする方法が挙げられる。(1)および(2)の両方の方法を組み合わせてもよい。シート状成形体の厚みは、後に行われる延伸条件等により異なるが、例えば、0.1mm〜0.5mmである。尚、得られたシート状成形体に含まれる液状潤滑剤は、延伸工程の前に、加熱法または抽出法等により除去しておくことが好ましい。抽出法に使用する溶媒について特に制限はないが、例えば、ノルマルデカン、ドデカン、ナフサ、ケロシン、流動パラフィン等が挙げられる。
【0023】
次に、シート状成形体を、一軸方向または2軸方向に延伸してPTFE多孔質膜を得る。延伸条件は、適宜設定できるが、例えば、シート状成形体の長手方向の長さが2倍〜30倍となるように、30℃〜320℃で延伸し、次いで、シート状成形体の幅方向の長さが2倍〜30倍となるように、30℃〜320℃で延伸する。以上のようにして作製されたPTFE多孔質膜は、未焼成の状態では強度が弱いため、熱処理を行うことが望ましい。熱処理はPTFE多孔質膜の融点(327℃)以上で行う。
【0024】
次に、PTFE多孔質膜に開口を形成する。開口は、金型を用いた打ち抜きや、刃物等による切断により形成できる。
【0025】
図3に示すように、本実施形態のエアフィルタ濾材1は、2層のPTFE多孔質膜2a,2bのうちのいずれかのPTFE多孔質膜に積層された通気性支持層4を備えていてもよい。図3に示した例では、通気性支持層4は、2層のPTFE多孔質膜2a,2bよりも気体の流れの下流側に配置されているが、PTFE多孔質膜2aとPTFE多孔質膜2bとの間や、PTFE多孔質膜2aよりも気体の流れの上流側に配置されていてもよい。
【0026】
通気性支持層4は、その厚みが10μm〜500μmであり、圧力損失が1Pa〜100Paであることが好ましい。
【0027】
図4に示すように、本実施形態のエアフィルタ濾材1は、PTFE多孔質膜2aよりもさらに上流側に配置されたプレフィルタ5を備えていてもよい。この場合、プレフィルタ5の厚みは、例えば、プレフィルタと開口が形成されていないPTFE多孔質膜とからなる従来のエアフィルタ濾材の上記プレフィルタの厚みよりも薄くてもよい。プレフィルタの厚みが厚いほど、プレフィルタとしての機能は高まるが、その反面プリーツ加工性が悪くなる。本実施形態のエアフィルタ濾材1では、上記従来のエアフィルタ濾材よりもPTFE多孔質膜の有効濾過面積が大きいので、プレフィルタ5の厚みを従来のエアフィルタ濾材のプレフィルタの厚みよりも薄くしても、従来のエアフィルタ濾材と同等またはそれ以上に、使用に伴う圧力損失の上昇や目詰まりを抑制できる。したがって、本実施形態のエアフィルタ濾材1では、使用に伴う圧力損失の上昇や目詰まりの抑制と、優れたプリーツ加工性とを両立できる。
【0028】
プレフィルタ5は、その厚みは10μm〜500μm、捕集効率は10%〜99%であり、圧力損失は30Pa〜700Paであることが好ましい。
【0029】
通気性支持層4やプレフィルタ5の材料としては、特に制限はないが、ポリオレフィン(ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)等)、ポリアミド、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート(PET)等)、芳香族ポリアミドまたはこれらの複合材等を用いることができる。通気性支持層4やプレフィルタ5には、例えば、フェルト、不織布、織布、メッシュ(網目状シート)、その他の多孔材料を用いることができる。
【0030】
通気性支持層4またはプレフィルタ5とPTFE多孔質膜との接合は、例えば、熱ラミネート、接着剤ラミネート、加熱溶着、超音波溶着、振動溶着等の方法により行える。隣り合うPTFE多孔質膜どうしの接合は、接着剤による接着や、隣り合うPTFE多孔質膜を重ねた状態で焼成することにより行える。
【0031】
エアフィルタ濾材の厚みは、10μm〜600μmであり、さらには、20μm〜500μmであると好ましい。捕集効率は、99.97%以上であると好ましい。捕集効率の上限について特に制限はなく、高いほどよい。圧力損失は、0.05kPa〜3.5kPa、さらには0.1kPa〜2.0kPaであると好ましい。
【0032】
尚、図1〜図4に示した例では、いずれも、2層のPTFE多孔質膜を含んでいるが、本実施形態のエアフィルタ濾材では、PTFE多孔質膜の層数について2層以上であれば特に制限はなく、PTFE多孔質膜2a、2bよりも下流側に、さらに別のPTFE多孔質膜を1層以上含んでいてもよい。
【0033】
図5は、本実施形態のエアフィルタ濾材1を用いたエアフィルタユニットの斜視図である。エアフィルタ濾材1は、プリーツ加工されており、アルミニウム等からなる支持枠22等で枠付けされている。
【0034】
以下に、実施例および比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。尚、圧力損失、捕集効率、濾材の厚みは下記の方法に従って測定した。
【0035】
(1)圧力損失
サンプルを有効面積が100cm2となるように円形ホルダーにセットし、入口側から大気塵を供給しつつ、入口側と出口側に圧力差を与え、このサンプルを通過する空気の透過速度を流量計で面速36cm/sに調整した。この状態で、圧力損失(初期値)を圧力計(マノメーター)で測定した。尚、大気塵とは、雰囲気中に浮遊している塵埃をいう。
【0036】
(2)捕集効率
捕集効率は、JIS K 3803に規定された除菌用空気濾過デプスフィルタのエアロゾル捕集試験方法に従って測定した。サンプルをホルダーにセットし、サンプルを通過する空気の線速を5.3cm/sに調整しながら、サンプルの上流側に粒子を供給した。上流側の粒子濃度(個/リットル)とサンプルを透過してきた下流側の粒子濃度(個/リットル)とをパーティクルカウンターで測定し、その測定値を下記式(数1)に代入して捕集効率を求めた。尚、試験には、粒子径0.3μm〜0.5μmのジオクチルフタレート(DOP)粒子を用いた。
【0037】
(数1)
捕集効率(%)=(1−(下流側の粒子濃度/上流側の粒子濃度))×100
(3)濾材の厚み
ダイアルシックネスゲージ(測定子径:5mmφ、最少目盛り:1μm)を用いて3点測定し、その平均値を求めた。
【実施例1】
【0038】
PTFEファインパウダー(ダイキン工業(株)製、F−104)100重量部に対して液状潤滑剤(流動パラフィン)30重量部を均一に混合してペースト状にし、得られた混和物をペースト押出により丸棒状に成形した。次いで、丸棒状の成形物を厚みが0.2mmとなるように圧延してシート状にした後、得られたシート状成形体から液状潤滑剤をノルマルデカンにより抽出除去した。次いで、シート状成形体をその長さが15倍になるように300℃で延伸した後、テンターを用いて幅方向の長さが20倍となるように100℃で延伸してPTFE多孔質膜を得た。PTFE多孔質膜の厚みは20μmであり、圧力損失は0.82kPaであり、捕集効率は99.98%であった。
【0039】
次に、図6のAに示すように、PTFE多孔質膜に、打ち抜き機により、連続したW字状の開口を複数個形成した。山間隔Gは10mmとし、山高さHは8.7mmとし、スリット間隔Jは1.2mmとした。図6のBに示すように、スリット幅Fは、0.5mmとした。
【0040】
次に、開口が形成されたPTFE多孔質膜と、開口が形成されていないPTFE多孔質膜とを重ね合わせ、380℃の雰囲気中で20秒間焼成して、2層構造のエアフィルタ濾材(厚み40μm)を得た。開口が形成されたPTFE多孔質膜を気体の流れの上流側に向けて測定したエアフィルタ濾材の圧力損失は1.40kPaであり、捕集効率は99.994%であった。
【実施例2】
【0041】
実施例1で作製した、開口が形成されたPTFE多孔質膜を2枚用意し、これらを重ねあわせ、380℃の雰囲気中で20秒間焼成して、2層構造のエアフィルタ濾材(厚み40μm)を得た。2枚のPTFE多孔質膜の重ね合わせは、一方のPTFE多孔質膜の開口と他方のPTFE多孔質膜の開口とが平面方向に40μmずれるようにした。得られたエアフィルタ濾材の圧力損失は1.15kPaであり、捕集効率は99.988%であった。
【0042】
(比較例)
比較例では、実施例1で作製した、開口が形成されてないPTFE多孔質膜2枚をエアフィルタ濾材とした(厚み40μm、圧力損失1.40kPa、捕集効率99.994%)。
【0043】
図7に、エアフィルタ濾材の圧力損失の経時変化を示している。図7に示した結果から、実施例1,2のエアフィルア濾材では、比較例のエアフィルタ濾材よりも、使用に伴う圧力損失の上昇が抑制されていることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【0044】
以上のように、本発明のエアフィルタ濾材およびこれを用いたエアフィルタユニットは、濾過有効面積が大きいので、使用に伴う圧力損失の上昇や目詰まりが抑制され、長寿命化されているので有用である。
【図面の簡単な説明】
【0045】
【図1】Aは、本発明のエアフィルタ濾材の一例を示す断面図、Bは、Aに示したエアフィルタ濾材の分解斜視図
【図2】Aは、本発明のエアフィルタ濾材の他の例を示す分解斜視図、Bは、Aに示したエアフィルタ濾材の平面図
【図3】本発明のエアフィルタ濾材の他の例を示す断面図
【図4】本発明のエアフィルタ濾材の他の例を示す断面図
【図5】本発明のエアフィルタユニットの一例を示す断面図
【図6】Aは、実施例のエアフィルタ濾材を構成するPTFE多孔質膜に形成された開口の形状を説明する平面図、BはAのK部分の拡大図
【図7】実施例のエアフィルタ濾材の圧力損失の経時変化を示したグラフ
【符号の説明】
【0046】
1 エアフィルタ濾材
2a,2b PTFE多孔質膜
3a,3b 開口
4 通気性支持層
21 エアフィルタユニット

【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の孔を有するポリテトラフルオロエチレン多孔質膜を含み、積層構造を有するエアフィルタ濾材であって、
前記ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜を2層含み、
前記2層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜のうちの気体の流れの上流側に配置されたポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に、その厚み方向に貫通する開口が形成されていることを特徴とするエアフィルタ濾材。
【請求項2】
前記上流側に配置されたポリテトラフルオロエチレン多孔質膜を第1のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜とし、前記第1のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に接して配置されたもう一方のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜を第2のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜とすると、
前記第2のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に、その厚み方向に貫通する複数の開口が形成されており、
前記第1のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜の前記開口と、前記第2のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜の前記開口とが連通しないように、前記第1のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記第2のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜とが積層されている請求項1に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項3】
前記第1のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と前記第2のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜とが接合されている請求項2に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項4】
前記2層のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜のうちのいずれかのポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に積層された通気性支持層をさらに含む請求項1〜3のいずれかの項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項5】
粒子径0.3μm〜0.5μmの粒子の捕集効率が99.97%以上である請求項1〜4のいずれかの項に記載のエアフィルタ濾材。
【請求項6】
請求項1〜5のいずれかの項に記載のエアフィルタ濾材を用いたことを特徴とするエアフィルタユニット。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【公開番号】特開2006−26531(P2006−26531A)
【公開日】平成18年2月2日(2006.2.2)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2004−208939(P2004−208939)
【出願日】平成16年7月15日(2004.7.15)
【出願人】(000003964)日東電工株式会社 (5,557)
【Fターム(参考)】