説明

ガス検出装置

【課題】フィルタからの微細な粉の落下を防止してガスセンサの出力特性の変化を抑制して、信頼性の高いガス検出装置を提供する。
【解決手段】キャップ40の内径と同等の径寸法を持つ活性炭でなるフィルタ50がキャップ40内奥に配置され、そのフィルタ50を封止するように、PTFEでなる延伸多孔質シート連続多孔質シート60が配置されている。これにより、フィルタからの微細な粉の落下を防止してガスセンサの出力特性の変化を抑制できる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はガス検出装置に関し、更に詳しくは、内蔵されたガスセンサの性能低下を抑制することができるガス検出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
一般にガス検出装置は、ある特定のガス、例えば、メタンガス(CH)、プロパンガス(C)、ブタン(C10)などを選択的に検出して警報を発するガス漏れ警報器を始めとする広い用途で用いられている。このため、ガス検出装置はその性格上、高感度、高選択性、高応答性、高信頼性が要求される。
【0003】
図7に示すように、従来のガス検出装置90としては、ガスセンサ20が搭載されたステム30と、このステム30に被せられる、フィルタ50を有するキャップ40を備えるものが知られている(例えば、特許文献1〜3参照)。
【0004】
ガスセンサ20としては、接触燃焼式のガスセンサが用いられている。このガスセンサ20は、上面側に感応素子部6と補償素子部7を備えており、これらの微妙な熱的バランスを検出する方式で駆動される。感応素子部6ならびに補償素子部7は、直径が例えば10〜50μmの白金コイルまたは平面的な白金パターンなどでなる一対のヒータであり、感応素子部6のみに触媒層が塗布されている。このガスセンサ20は、ステム30を貫通するリード端子31にワイヤ32でボンディングされている。
【0005】
フィルタ50としては、活性炭、白土などを粒状にしたものや、これらを不織布に付着させたものや、バインダーなどで成型されたものがある。このフィルタ50は、100メッシュの金網70でキャップ40内に保持されている。なお、キャップ40の天板には、多数の通気孔41が形成されている。このため、ガスセンサ20の上面側の感応素子部6と補償素子部7は、フィルタ50を通って導入された気体と接触できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開2009−103541号公報
【特許文献2】特開平10−221289号公報
【特許文献3】特開平10−123083号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかしながら、図7に示した従来のガス検出装置90では、フィルタ50から活性炭や白土などの微細な粉が崩れ落ち、ガスセンサ20の感応素子部6と補償素子部7に付着してガスセンサ20の出力特性が変化するという問題があった。このようなガスセンサ20の出力特性の変化が、ガス漏れ警報器が誤作動する原因となっている。
【0008】
そこで、本発明の目的は、フィルタからの微細な粉の落下を防止してガスセンサの出力特性の変化を抑制して、信頼性の高いガス検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の特徴は、ガス検出装置であって、ガスセンサと、内部空間にガスセンサとフィルタとを収納し、外気を前記フィルタ側へ導入可能とする開口部を有するセンサケースと、ガスセンサとフィルタとの間に介在されたフッ素樹脂でなる連続多孔質シートとを備えることを要旨とする。
【0010】
ここで、連続多孔質シートは、ポリテトラフルオロエチレンでなる延伸多孔質シートであることが好ましい。
【0011】
また、ガスセンサは、感応素子部と補償素子部とを備える接触燃焼式のガスセンサを適用できる。
【発明の効果】
【0012】
本発明によれば、フィルタからの微細な粉の落下を防止してガスセンサの出力特性の変化を抑制して、信頼性の高いガス検出装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るガス検出装置の断面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係るガスセンサの平面図である。
【図3】図2のIII−III断面図である。
【図4】ガスセンサの駆動を示す等価回路図である。
【図5】第1の実施の形態に係るガス検出装置の落下試験の結果を示す図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態に係るガス検出装置の断面図である。
【図7】従来のガス検出装置の断面図である。
【図8】従来のガス検出装置の落下試験の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、本発明の実施の形態に係るガス検出装置の詳細について図面を用いて説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部材の寸法の比率などは現実のものと異なる。
【0015】
(第1の実施の形態)
[ガス検出装置の概略構成]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るガス検出装置80Aを示す断面図である。ガス検出装置80Aは、ガスセンサ20が搭載されたステム30と、このステム30に被せられる、フィルタ50を有するキャップ40を備える。これらステム30とキャップ40は、結合した状態で内部空間を有するセンサケースを構成する。
【0016】
ステム30は、電気絶縁性を持つ円形の基板であり、一対のリード端子31が貫通されている。このステム30の上面には、ガスセンサ20が搭載され、ガスセンサ20の図示しないパッド部とリード端子31とがボンディングワイヤー32で接続されている。
【0017】
キャップ40は円筒容器形状であり、その下部開口部がステム30の上面周縁と当接もしくは嵌合した状態で結合されるようになっている。キャップ40の上壁には、複数の通気孔41が形成されている。また、この上壁の内側空間には、キャップ40の内径と同等の径寸法を持つフィルタ50が配置され、その下方に連続多孔質シート60が配置されている。したがって、この連続多孔質シート60は、キャップ40の上部の空間に配置されたフィルタ50を封止するように配置されている。
【0018】
本実施の形態で用いるフィルタ50は、従来と同様に、活性炭フィルタを用いている。なお、フィルタ50としては、活性炭以外に、白土などを粒状にしたもの、不織布に付着させたもの、バインダーなどで成型したものなどを適用してもよい。
【0019】
連続多孔質シート60は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)でなる延伸多孔質シートを用いる。本実施の形態において、PTFEでなる延伸多孔質シートは、厚さ3〜500μmのePTFE(四フッ化エチレン)を延伸加工しなるものであり、例えば平均孔径30nmの微細な多孔質構造を持つ。
【0020】
本実施の形態のガスセンサ20は、図3に示すように、シリコン基板1と、このシリコン基板1上に順次、形成された酸化シリコン(SiO)膜2,窒化シリコン(SiN)膜3,酸化ハフニウム(HfO)膜4の積層構造でなる絶縁膜5と、この絶縁膜5上の互いに離れた領域に設けられた感応素子部6,補償素子部7と、を備えた接触燃焼式のガスセンサで構成されている。
【0021】
図2および図3に示すように、感応素子部6は、絶縁膜5上にジグザグ状に屈曲した形状に形成されセンサ抵抗8Rsと、センサ抵抗8Rsの両端に一体に形成された接続用パッド部8a,8bと、センサ抵抗8Rsを覆うように形成された多孔質触媒層9と、を備えてなる。感応素子部6では、触媒層9がパラジウム(Pd)などの触媒を担持している。
【0022】
図2および図3に示すように、補償素子部7は、多孔質体層11の構成を除いて感応素子部6とほぼ同様の構成である。この補償素子部7は、絶縁膜5上に形成されたリファレンス抵抗10Rrと、リファレンス抵抗10Rrの両端に一体に形成された接続用パッド部10a,10bと、リファレンス抵抗10Rrを覆うように形成された多孔質体層11と、を備えなる。
【0023】
リファレンス抵抗10Rrは、上記感応素子部6のセンサ抵抗8Rsと同一形状に形成されている。接続用パッド部10a,10bは、上記感応素子部6の接続用パッド部8a,8bと同一形状に形成されている。また、多孔質体層11は、上記感応素子部6の多孔質体触媒層9と同一形状に形成されている。
【0024】
感応素子部6におけるセンサ抵抗8Rsと接続用パッド部8a,8bでなる一体のパターンや、補償素子部7におけるリファレンス抵抗10Rrと接続用パッド部10a,10bでなる一体のパターンは、例えば、印刷法やフォトリソグラフィー技術などを用いて形成することができる。
【0025】
図3に示すように、シリコン基板1には、多孔質体触媒層9と多孔質体層11とにそれぞれ対応する領域に、下面側から酸化シリコン膜2を露呈させるような開口部1a,1bが形成されている。このガスセンサ20では、これら開口部1a,1bを形成することにより熱容量を小さくしている。
【0026】
図2および図3に示すように、このガスセンサ20は、上面側に感応素子部6と補償素子部7を備えており、これらの微妙な熱的バランスを検出する方式で駆動される。感応素子部6ならびに補償素子部7は、平面的にジグザグに屈曲する白金パターンでなる一対のヒータで構成したが、直径が例えば10〜50μmの白金コイルを用いたガスセンサ構成としてもよい。
【0027】
図3に示すように、本実施の形態のガス検出装置80Aでは、ガスセンサ20を含めて、4つの抵抗10Rr,8Rs,R1,R2からなるブリッジ回路を有している。リファレンス抵抗10Rr(補償素子部7)は、一端が電源電圧側に接続され、他端がセンサ抵抗8Rs側に接続されている。センサ抵抗8Rs(感応素子部6)は、リファレンス抵抗10Rrと直列接続され、他端が電源電圧側に接続されている。
【0028】
抵抗R1は、リファレンス抵抗10Rrと並列接続され、一端が電源電圧側に接続され、他端が抵抗R2に接続されている。抵抗R2は、抵抗R1と直列接続され、他端が電源電圧側に接続されている。
【0029】
本実施の形態に係るガス検出装置80Aでは、外部から通気孔41を介してキャップ40内に進入したガスがフィルタ50で被検知ガス以外のガスが吸着され、検知用ガスが連続多孔質シート60の連続多孔質構造内を通過してガスセンサ20の検知面に到達することができる。
【0030】
フィルタ50に含まれる微細な粉などは、連続多孔質シート60を通過することができないため、ガスセンサ20の検知面に微細な粉が堆積することを抑制できる。このため、本実施の形態に係るガス検出装置80Aでは、フィルタ50からの微細な粉の落下を防止してガスセンサ20の出力特性の変化を抑制することができ誤作動が発生することを抑制できる。したがって、長期間に亘って検知性能の劣化の少ない信頼性の高いガス検出装置80Aを提供することが可能となる。
【0031】
このような構成の本実施の形態に係るガス検出装置80Aは、ガス漏れ警報器意外に各種のガス種検出装置、ガス濃度測定装置など各種のガス検出装置に適用して長期間信頼性を保つことを可能にする。
(実験例)
図5は、上記第1の実施の形態に係るガス検出装置80Aを作製し、そのガス検出装置80Aを落下させるときの向き姿勢をそれぞれ変え、素子(活性炭などの粒状体の)粒径0.1mmとして落下試験を3回行ったときの、ガス検出装置80Aの出力変化量を測定したものである。なお、図5に示すガス検出装置の模式図は落下方向に対する姿勢を示している。
【0032】
比較例の落下による実験例の結果は、図8に示す。この比較例では、図7に示す従来のガス検出装置90を用いた。ガス検出装置90のサイズは、第1の実施の形態に係るガス検出装置80Aと同等である。
【0033】
図5および図8に示した実験例の結果から、本実施の形態に係るガス検出装置80Aでは、粒径0.1mmの粒状体がフィルタ50側に存在しても、連続多孔質シート60でガスセンサ20側へ落下することが防止できることが判る。すなわち、あらゆる角度の姿勢で落下させた測定結果においても、出力変化の範囲が、規格範囲すなわち0±5mV以内であった。
【0034】
これに対して、比較例では、素子粒径1mmの場合は、出力特性の変化が規格範囲すなわち0±5mV以内の範囲であるが、素子粒径0.1mmの場合では、ほとんどの姿勢での落下でも規格範囲すなわち0±5mV以内の範囲を越えて出力が低下してしまうことが判る。
【0035】
(第2の実施の形態)
図6は、本発明の第2の実施の形態に係るガス検出装置80Bを示している。本実施の形態のガス検出装置80Bの構成は、上記第1の実施の形態に係るガス検出装置80Aの連続多孔質シート60の直下に、100メッシュ程度の金網70を配置した点が異なるだけである。
【0036】
本発明では、金網70を連続多孔質シート60の直下に配置しておくことにより、撓みやすい連続多孔質シート60を金網70で支持することができ、落下時や振動時などに連続多孔質シート60が損傷することを抑制できる。
【0037】
なお、本実施の形態では、100メッシュ程度の金網70を連続多孔質シート60の直下に配置したが、それよいも粗い隙間を持つ金網や、枠構造体を配置する構成としてもよい。
【0038】
(その他の実施の形態)
以上、本発明の第1および第2の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、構成の要旨に付随する各種の設計変更が可能である。例えば、上記実施の形態では、連続多孔質シート60として、PTFEでなる延伸多孔質シートを用いたが、他のフッ素樹脂でなる連続多孔質シートを用いても勿論よい。
【0039】
また、上記第1の実施の形態では、平面的な白金ヒータを持つガスセンサ20を本発明に適用したが、これに限定されるものではなく、センサ面を持つ各種のガスセンサが適用できることは云うまでもない。
【0040】
さらに、図1および図6に示したガス検出装置80A、80Bにおいては、フィルタ50と連続多孔質シート60とを僅かに離間させて示したが、接合するように配置させても勿論よい。
【符号の説明】
【0041】
20…ガスセンサ
30…ステム
40…キャップ
41…通気孔
50…フィルタ
80A、80B…ガス検出装置


【特許請求の範囲】
【請求項1】
ガスセンサと、
前記内部空間に前記ガスセンサとフィルタとを収納し、外気を前記フィルタ側へ導入可能とする開口部を有するセンサケースと、
前記ガスセンサと前記フィルタとの間に介在されたフッ素樹脂でなる連続多孔質シートと、
を備えることを特徴とするガス検出装置。
【請求項2】
前記連続多孔質シートは、ポリテトラフルオロエチレンでなる延伸多孔質シートであることを特徴とする請求項1に記載のガス検出装置。
【請求項3】
前記ガスセンサは、感応素子部と補償素子部とを備える接触燃焼式のガスセンサであることを特徴とする請求項1に記載のガス検出装置。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【公開番号】特開2011−133290(P2011−133290A)
【公開日】平成23年7月7日(2011.7.7)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−291748(P2009−291748)
【出願日】平成21年12月24日(2009.12.24)
【出願人】(000006895)矢崎総業株式会社 (7,019)
【Fターム(参考)】