【課題】環境中のシリコーンに起因する接触燃焼式ガスセンサの感度低下に対応すること。
【解決手段】被毒物質が存在する環境の可燃性ガスの濃度を接触燃焼式ガスセンサＳにより検出するガス測定装置において、前記可燃性ガスの濃度の時間積を演算して感度を補正する感度補正手段２と、前記可燃性ガスの濃度の時間積と前記接触燃焼式ガスセンサＳの感度補正係数との関係を格納し、前記可燃性ガスの濃度の時間積に基づいて前記接触燃焼式ガスセンサの感度を補正するための感度補正係数を出力するデータ記憶手段３と、感度補正手段３からのデータを濃度として出力する濃度表示手段４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】寿命を確保しつつ、被検出ガスを検出可能となるまでの起動時間の短いガスセンサを提供する。
【解決手段】水素濃度に対応した第１信号を出力する第１センサＳ１と、水素濃度に対応した第２信号を出力し、第１センサＳ１に対して耐久性が高くかつ起動の遅い第２センサＳ２と、第１センサＳ１及び第２センサＳ２への通電を制御すると共に、第１信号又は第２信号に基づいて水素濃度を検知するマイコン５１と、を備え、マイコン５１は、起動信号を検知した場合、第１センサＳ１及び第２センサＳ２への通電を開始し、第１センサＳ１が水素を検出可能となってから第２センサＳ２が水素を検出可能となるまで、第１信号に基づいて水素濃度を検知し、第２センサＳ２が水素を検出可能となった後、第２信号に基づいて水素濃度を検知し、第１センサＳ１の印加電圧を通常の電圧Ｖ１よりも低い所定電圧（０Ｖ）にする。 （もっと読む）

【課題】検出容量素子と参照容量素子が基板上の同一面に形成され、参照容量素子も感湿膜を有する容量式湿度センサにおいて、感度を高めつつ体格を小型化する。
【解決手段】検出容量素子３１と参照容量素子３２において、検出用電極３３ａ，３３ｂと参照用電極３４ａ，３４ｂは、基板２０上の同一面２０ａに配置され、同じ構成材料により同じ幅及び厚さを有して形成される。検出用感湿膜３５ａと参照用感湿膜３５ｂは、同じ構成材料により同じ厚さを有して形成される。各容量素子３１，３２の０％ＲＨでの容量値Ｃ１に対する１００％ＲＨでの容量値Ｃ２の比Ｃ２／Ｃ１を、容量値の湿度変化に対する傾きとすると、参照容量素子３２の電極間隔ｄｒは検出容量素子３１の電極間隔ｄｍ及び比Ｃ２／Ｃ１の最大値を示す間隔よりも狭く、且つ、検出容量素子３１のほうが参照容量素子３２よりも比Ｃ２／Ｃ１が大きくなるように、電極間隔ｄｍ，ｄｒが設定される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であって、被検出ガスの濃度を高精度で検出可能なガスセンサを提供する。
【解決手段】第１検出素子３１Ａと第１補償素子３２Ａとを有し、水素の濃度に対応した第１信号を出力する常用検出素子対Ｐ１と、第２検出素子３１Ｂと第２補償素子３２Ｂとを有し、常用検出素子対Ｐ１の劣化判断時、第２信号を出力する基準検出素子対Ｐ２と、常用検出素子対Ｐ１及び基準検出素子対Ｐ２を収容する素子ハウジング１３と、を備え、第１検出素子３１Ａ及び第１補償素子３２Ａの第１並び方向Ｄ１と、第２検出素子３１Ｂ及び第２補償素子３２Ｂの第２並び方向Ｄ２とは、平行であり、常用検出素子対Ｐ１と基準検出素子対Ｐ２とは、第１並び方向Ｄ１及び第２並び方向Ｄ２に直交する直交方向Ｄ５で並んでおり、第１検出素子３１Ａ及び第１補償素子３２Ａの第１並び順と、第２検出素子３１Ｂ及び第２補償素子３２Ｂの第２並び順とは逆である。 （もっと読む）

【課題】ガスの検出感度とガスの脱離を両立することができる有機電界効果トランジスタ式ガスセンサおよびその使用方法を提供する。
【解決手段】有機半導体層を有する電界効果トランジスタ１と、電界効果トランジスタ１の温度を制御する温度制御機構２４とを備える有機電界効果トランジスタ式ガスセンサ３である。 （もっと読む）

【課題】水素センサシステムの校正を精度良く行う。
【解決手段】水素センサシステムは、雰囲気中の水素濃度に応じた出力を示す水素検知素子と、水素検知素子の出力を水素濃度に対応付けるための対応データを記憶する記憶手段と、対応データに基づいて水素検知素子の出力を水素濃度に変換する制御手段とを有しており、制御手段は、水素検知素子の雰囲気が大気状態とみなし得る所定のタイミングで計測された出力に基づいて、水素濃度がゼロの場合の特性を示すゼロ点のズレを補正するゼロ点補正を行い（ステップＳ４）、水素検知素子の劣化度合いに関係するパラメータに基づいて、出力に対する水素濃度の比率を調整する（ステップＳ６）。 （もっと読む）

【課題】小形の計測センサの場合、素子が接続された基板から発生する熱が、素子が検出する温度信号や湿度信号に大きく影響する。この基板からの熱は、素子がどのように基板に取り付けられるかにより、伝わる熱の大きさに違いが生じる。これにより、正しく温度や湿度を測定することが困難である。
【解決手段】本件発明では、本体回路に接続され、湿度に応じた湿度信号を出力する湿度検出部と、本体回路に接続され、湿度検出部近傍の温度信号を出力する温度検出部と、本体回路の発熱量を算出する発熱量算出部と、湿度検出部が検出する湿度信号を温度検出部が検出する温度信号と発熱量算出部が算出した発熱量に基づき補正する湿度補正部と、からなる補正機能付き計測センサを提供する。 （もっと読む）

【課題】検出時間を短縮でき、しかもコストを抑えることができるガス検知システムを提供する。
【解決手段】検知素子Ｓと温度補償素子Ｒとにより構成された接触燃焼式の水素センサ１０において、水素濃度が所定水素濃度未満の場合には、切替スイッチＳＷを固定抵抗Ｒｍ３側に切り替えて、温度補償素子Ｒを熱伝導式で作動させて水素濃度を検出し、水素濃度が所定水素濃度以上の場合には、切替スイッチＳＷを検知素子Ｓ側に切り替えて、温度補償素子Ｒおよび検知素子Ｓを接触燃焼式で動作させて水素濃度を検出する制御装置１９を備える。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの異常判定の精度を向上させることができるガスセンサの制御装置を提供する。
【解決手段】同一構成の常用検知素子回路５０Ａと基準検知素子回路５０Ｂを有する検出部５０と接続され、定期的に基準検知素子回路５０Ｂを起動して常用検知素子回路５０Ａと基準検知素子回路５０Ｂの双方の出力値を比較して、常用検知素子回路５０Ａが正常に出力しているかどうかを判定する異常判定部２１ａを有するガスセンサの制御装置１００において、基準検知素子回路５０Ｂの起動時に当該基準検知素子回路５０Ｂに印加される電圧によって基準検知素子５２が所定の検知可能温度に到達するまでの温度変化が、常用検知素子回路５０Ａの起動時に当該常用検知素子回路５０Ａに印加される電圧によって常用検知素子５１が所定の検知可能温度に到達するまでの温度変化よりもゆるやかになるように基準検知素子回路５０Ｂに印加される電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】接触燃焼式ガスセンサ素子において、ガス感度を損なうことなく、検知素子と補償素子をワンチップに収め、実装が容易に行えること。
【解決手段】シリコン基板上にある絶縁膜の表面と裏面の両面に焼結体およびヒーター部から成る検知素子と補償素子を設ける。また、ヒーター部の周囲に複数の貫通孔を設ける。裏面側に形成したヒーター部の一部が絶縁膜を貫通して表面側の電極部まで延長する。表面と裏面のヒーター部はそれぞれ同一の抵抗材料を用いて同一形状に形成する。最終的に形成されるガスセンサは、検知素子と補償素子で発生する熱をそれぞれ遮断でき、ガス感度が向上し、貫通孔によるガスの流動性向上により応答速度が向上し、また、各素子と導通を取る電極が表面に集約されることで実装が容易になる。 （もっと読む）

【課題】内部発熱の影響を受けることなく、被測定空間の相対湿度を精度よく検出する。
【解決手段】湿度検出器１００内の天井側に第１の温度センサ５を設ける。湿度検出器１００内の床側に第２の温度センサ４を設ける。第２の温度センサ４は湿度センサ３の近傍の温度を計測する周囲温度センサを兼ねる。第１の温度センサ５と第２の温度センサ４が計測する２地点間の温度差ΔＴに基づいて内部発熱の度合いを特定し、この特定した内部発熱の度合いと湿度センサ３の近傍の温度（周囲温度）Ｔ０とに基づいて湿度補正係数α”（α”＝α×α’）を特定する。この特定した温度補正係数α”を用いて計測相対湿度Ｈ１を補正する。 （もっと読む）

【構成】
半導体基板の空洞に、薄膜ヒータをメタンの燃焼触媒で被覆した検知片と、薄膜ヒータを補償用材料で被覆した補償片とを設け、ブリッジ回路に組み込む。検知片がメタンの着火点以上に昇温しないように、駆動回路により電力を加えた際のブリッジ回路の出力を０点出力とし、複数の０点出力を基に基準値を発生させて記憶する。検知片がメタンの着火点以上の温度でのブリッジ回路の出力を、基準値により補正してメタンを検出する。
【効果】
半導体基板の空洞にヒータ薄膜を設けた接触燃焼式メタンセンサに対して、ヒータ抵抗のドリフトを補正する。 （もっと読む）

【課題】 比較的製造が容易で、信頼性が高く高感度で長寿命の接触燃焼式ガスセンサ及びその製造方法の提供。
【解決手段】 相互に熱隔離した検知素子１及び参照素子２を対にして備える接触燃焼式ガスセンサにおいて、検知素子１は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を混合した反応膜１ａを備え、参照素子２は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を含まず前記反応膜１ａと熱容量が等しい非反応膜２ａを備え、検知素子１及び参照素子２に、各々の電極線４に繋がる端子５を備える接触燃焼式ガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】水素濃度を測定するガス濃度測定装置において、水素濃度の測定精度の低下を抑制する。
【解決手段】燃料ガスに含まれる水素のガス濃度を測定するガス濃度測定装置であって、燃料ガスの温度を検知する温度検知部として機能する温度補償抵抗体４４と、通電されて発熱する発熱部として機能する加温抵抗体４３と、加温抵抗体４３の温度が温度補償抵抗体４４の温度よりも一定温度高くなるように、加温抵抗体４３への通電量を制御する測定用制御回路５１と、温度補償抵抗体４４および加温抵抗体４３それぞれを収容する収容室４１ａが内部に形成された収容部４１と、水素流路１０４ａを流れる燃料ガスを収容室４１ａへと導く細孔部４１ｂと、を備え、細孔部４１ｂは、その流路断面積が水素流路１０４ａの流路断面積および収容室４１ａの流路断面積よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】高信頼性で生産性良いガスセンサを提供する。
【解決手段】マウントベース２には、電極ピン５、５が埋設されたピンステイ３と、電極ピン６、６が埋設されたピンステイ４が嵌合固定されている。一対の電極ピン５には検知素子７が接続固定されている。また、一対の電極ピン６には補償素子８が接続固定されている。１はキャップで、検知素子７と補償素子８の間に配置され断熱作用を奏する熱遮蔽板１ａを有するものである。前記キャップ１は、ほぼ円筒状に形成されているが、その外周部の一部には平坦面１ｂが形成されている。この平坦面１ｂはキャップ１の外周部に対向する位置関係で２箇所に設けられている。このように、キャップ１外周部の一部に平坦面１ｂを形成したことにより、外形形状として現れるこの平坦面１ｂを位置基準として用いることができるため、マウントベース２とキャップ１の正確な位置決めが可能になる。 （もっと読む）

【課題】温度検出素子を必要とすることなく検出ユニットの出力を確実に温度補償すること。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサ11、補償素子12、基準抵抗14,15をブリッジ接続した検出ユニット1と、前記検出ユニット1の出力に基づいてをガス濃度を検出するガス濃度演算手段20とを備えたガス測定装置において、前記検出ユニットの補償素子12と基準抵抗13とに発生する負荷電圧を検出して、前記ガス濃度演算手段20のガス濃度を補正する温度補正手段22を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ面内における金属配線の抵抗分布のばらつきを抑え、得られるデバイスの特性や精度を面内で均一化させることが可能なマスクを提供する。
【解決手段】本発明のマスクは、金属配線を有するデバイス１０を基板２の一面上に多数形成する際に、該基板の一面に対向配置されて用いられるマスクであって、個々の前記デバイスが配される前記基板上の位置に応じて、それぞれのデバイスが有する前記金属配線に対応する部位の形状を変えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定感度、熱応答速度および測定精度がより向上した接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】 触媒膜を有しこの触媒膜に接触した測定ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出する検知素子およびこの検知素子の温度補償を行うための補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサにおいて、
前記検知素子および前記補償素子をダイヤモンド構造を有する導電性炭素質で形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式のガスセンサを用いたガス分析装置において、センサ抵抗Ｒ_S とリファ抵抗Ｒ_R の温度を精度良く制御して、低濃度の検出やガス種同定の能力を向上させる。
【解決手段】ブリッジ電圧Ｖ_B に対してリファ抵抗Ｒ_R に直列に接続された固定抵抗（温度測定用抵抗）Ｒ₂ の端子間電圧Ｖ₂ を計装アンプａｐ２で検出する。分圧回路３によりブリッジ電圧Ｖ_B の分圧電圧（分圧抵抗Ｒ₄ の端子間電圧）と固定抵抗Ｒ₂ の端子間電圧Ｖ₂ の差Ｖ₁ を計装アンプａｐ１で検出する。電圧Ｖ₂ を電圧Ｖ₁ で割り算し、温度に対応するデータを得る。マイクロコントローラ２により、ガス計測時に実時間で温度に対応するデータを検出し、ブリッジ電圧Ｖ_B を制御する。センサ抵抗Ｒ_S に直列に接続された固定抵抗Ｒ₁ を温度測定用抵抗として同様な処理をしてもよい。 （もっと読む）

【課題】複数の発熱抵抗体を有する可燃性ガス検出装置において、発熱抵抗体の異常の検知精度を向上させる。
【解決手段】通常動作期間（０〜Ｔ１，Ｔ３〜Ｔ１’）は、第１発熱抵抗体３４１を使用して、被検出雰囲気の可燃性ガスのガス濃度Ｘ１を検出し、判定動作期間（Ｔ１〜Ｔ３，Ｔ１’〜Ｔ３’）だけ、第２発熱抵抗体３４２も使用してガス濃度Ｘ２を検出し、両検出結果Ｘ１，Ｘ２を比較することで、第１発熱抵抗体３４１の異常の有無を判定する。しかも、通常動作期間では、第１発熱抵抗体３４１のみ通電し、判定動作期間では、第１発熱抵抗体３４１および第２発熱抵抗体３４２を、一方への通電時には他方が非通電（通電停止）となるように、交互に通電制御を行う。 （もっと読む）