ガラス基板収納容器及びガラス基板収納容器を用いたガラス基板の製造方法
【課題】本発明はガラス基板が収納される収納容器本体の蓋を係止する際の発塵がガラス基板に付着することを防止することを課題とする。
【解決手段】ガラス基板収納容器１０は、複数のガラス基板が収納される収納容器本体２０と、ガラス基板の製造ラインの検査工程で使用される第１の蓋３０と、出荷時に使用される第２の蓋４０と、底部蓋５０とを有する。検査工程では、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査終了後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着することにより、係止部１１２と被係止部４５との摺接回数を減少させ、収納容器本体２０に収納されたガラス基板に付着する異物の数を削減する。
【解決手段】ガラス基板収納容器１０は、複数のガラス基板が収納される収納容器本体２０と、ガラス基板の製造ラインの検査工程で使用される第１の蓋３０と、出荷時に使用される第２の蓋４０と、底部蓋５０とを有する。検査工程では、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査終了後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着することにより、係止部１１２と被係止部４５との摺接回数を減少させ、収納容器本体２０に収納されたガラス基板に付着する異物の数を削減する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数のガラス基板を整列した状態に収納するガラス基板収納容器及びガラス基板収納容器を用いたガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、磁気記録媒体用として使用されるガラス基板の製造ラインは、少なくとも以下の工程１〜工程７を含む。
（工程１）フロート法、フュージョン法、またはプレス成形法により成形されたガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に切削加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する（形状付与工程）。
（工程２）ガラス基板の内外周の側面部と面取り部に端面研磨する（研磨工程）。
（工程３）ガラス基板の上下主平面を研磨加工する（研磨工程）。
（工程４）ガラス基板を精密洗浄する（洗浄工程）。
（工程５）洗浄されたガラス基板を乾燥させる（乾燥工程）。
（工程６）乾燥したガラス基板の主平面に付着した異物の数を目視又は光散乱方式表面観察機により検査する（検査工程）。
（工程７）検査したガラス基板をガラス基板収納容器に収納して包装する（出荷工程）。
【０００３】
少なくとも上記工程１〜工程７を含むガラス基板の製造ラインにより製造されたガラス基板は製品として出荷される。
【０００４】
このようなガラス基板の製造ライン各工程間においては、ガラス基板を搬送する手段として、複数のガラス基板を垂直状態の収納する収納容器本体と、当該収納容器本体の上面開口及び側面開口を閉塞する蓋とからなるガラス基板収納容器を用いている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
このガラス基板収納容器は、各ガラス基板同士が接触しないように所定間隔毎に整列された状態に収納するように構成されており、且つ蓋を収納容器本体に装着することで内部が密閉されるため、空気中に浮遊する塵埃等の異物がガラス基板に付着することを防止している。
【０００６】
また、上記ガラス基板収納容器では、収納容器本体側面に設けられた蓋係止部と、蓋の側面閉塞部に設けられた被係止部とを有する。そして、上記ガラス基板の製造ラインにおいて、各工程が終了したガラス基板が収納容器本体内に収納されて所定枚数に達すると、収納容器本体に蓋を装着すると共に、蓋の側面閉塞部に設けられた被係止部を収納容器本体側面の蓋係止部に係止させることで、収納容器本体の上面開口及び側面開口の密閉状態を維持できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開昭６３−４９３８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来のガラス基板収納容器を用いてガラス基板を搬送するガラス基板の製造ラインでは、各工程でガラス基板を収納容器本体内に収納する際、又は収納容器本体内から取り出す際に、上記蓋を収納容器本体に装着して蓋の側面閉塞部に設けられた被係止部が収納容器本体側面の蓋係止部に係止されるため、その度に、蓋係止部及び被係止部が互いに擦られて発塵が発生し、ガラス基板の表面に微小な塵埃が付着するおそれがあった。
【０００９】
また、収納容器本体の蓋を外す際にも蓋係止部及び被係止部が擦られて発塵が発生するため、各工程でガラス基板の収納又は取り出しが行われるにつれてガラス基板の表面に付着する異物の数が増加するおそれがあった。さらに、従来のガラス基板収納容器を用いて各ガラス基板を移動させる方法では、出荷前の検査工程で多数の異物が規定以上に検出されてガラス基板製品としての仕様を満たさない場合が発生している。このように、多数の異物が規定以上に検出されたガラス基板は、不良品として処理される、または研磨工程、洗浄工程、乾燥工程、検査工程を再度実施することになり、歩留りの低下又は生産効率の低下を招く原因になっている。
【００１０】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、各工程での蓋の開閉に伴う発塵を抑制することにより、上記課題を解決したガラス基板収納容器及びガラス基板収納容器を用いたガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
（１）本発明は、複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備え、
前記第１の蓋または前記第２の蓋のうち何れか一つを前記収納容器本体に装着されることを特徴とする。
（２）本発明は、前記ガラス基板が、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法により製造されるものであって、
前記第１の蓋は、少なくとも各工程のうち前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止されることを特徴とする。
（３）本発明の前記収納容器本体は、前記収納室の内壁に前記ガラス基板が垂直状態に収納される収納溝が所定間隔ごとに複数形成されていることを特徴とする。
（４）本発明の前記収納容器本体は、前記側面開口が上方の開口幅が下方の開口幅よりも大きい寸法に形成されたテーパ状傾斜面を有し、
前記第１の蓋及び前記第２の蓋の前記側面閉塞部は、前記側面開口のテーパ状傾斜面に対応した形状を有するテーパ状突部を有し、前記テーパ状突部が前記テーパ状傾斜面に当接して前記収納室を密閉することを特徴とする。
（５）本発明は、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備えたガラス基板収納容器を用い、
前記第１の蓋は、少なくとも前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止されることを特徴とする。
（６）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
（７）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ガラス基板の各製造工程の作業内容に応じて、被係止部の無い第１の蓋または被係止部を有する第２の蓋のうち何れか一つを収納容器本体に装着されるため、各製造工程での蓋の開閉に伴う発塵を抑制でき、ガラス基板に付着する異物数を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明によるガラス基板収納容器の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２Ａ】収納容器本体の平面図である。
【図２Ｂ】収納容器本体をＸ方向からみた正面図である。
【図２Ｃ】収納容器本体をＹ方向からみた側面図である。
【図３】収納容器本体の縦断面図である。
【図４】収納室の片側内壁を拡大して示す平面図である。
【図５】ガラス基板収納容器の蓋装着状態を示す側面図である。
【図６Ａ】第１の蓋の平面図である。
【図６Ｂ】図６Ａ中Ｂ−Ｂ線に沿う縦断面図である。
【図６Ｃ】図６Ａ中Ｃ−Ｃ線に沿う縦断面図である。
【図６Ｄ】図６Ａ中Ｄ−Ｄ線に沿う縦断面図である。
【図７Ａ】第２の蓋の縦断面図である。
【図７Ｂ】図７Ａ中Ｆ−Ｆ線に沿う縦断面図である。
【図８Ａ】第１の蓋を収納容器本体に装着した状態を示す一部切断した正面図である。
【図８Ｂ】第１の蓋の側面嵌合部が収納容器本体の側面開口に嵌合した状態を示す側断面図である。
【図９Ａ】第２の蓋を収納容器本体に装着した状態を示す一部切断した正面図である。
【図９Ｂ】第２の蓋の側面嵌合部が収納容器本体の側面開口に嵌合した状態を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【実施例１】
【００１５】
〔ガラス基板収納容器１０の構成〕
図１は本発明によるガラス基板収納容器の一実施例を示す分解斜視図である。図１に示されるように、ガラス基板収納容器１０は、複数のガラス基板が収納される収納容器本体２０と、製造ラインの検査工程で使用される第１の蓋３０と、出荷時に使用される第２の蓋４０と、底部蓋５０とを有する。尚、収納容器本体２０、第１の蓋３０、第２の蓋４０、底部蓋５０は、樹脂材（例えば、ポリプロピレン：Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ等）により成形されている。ガラス基板の製造ラインの検査工程では、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査終了後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着する。このように、作業内容に応じて第１の蓋３０と第２の蓋４０とを選択的に装着することにより、後述する係止部１１２と被係止部４５との摺接回数を削減できる。
【００１６】
また、検査工程としては、後述する光散乱方式表面観察機によるガラス基板の主平面に付着した異物数を調べる検査工程１と、ガラス基板の主平面を検査員の目視により検査を行う検査工程２とがある。そして、検査工程１、２により合格（異物数が規定値以下のもの）したガラス基板は、収納容器本体２０に収納される。検査工程１、２では、発塵の少ない第１の蓋３０が使用される。その後の出荷工程では、所定数のガラス基板が収納された収納容器本体２０には、第２の蓋４０が使用され、第２の蓋４０が収納容器本体２０に係止された状態で出荷される。
【００１７】
本実施例において、ガラス基板は、例えば磁気記録媒体用として用いられるもので、主平面部に磁気記録層が形成される前段階として、前述した技術背景の欄で説明したように各製造工程（工程１〜工程７）が行われた後、製品として出荷される。ガラス基板は、例えば、フロート法により形成されたＳｉＯ２を主成分としており、例えば外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、板厚０．６３５ｍｍの寸法形状に形成される。
【００１８】
また、ガラス基板を磁気記録用媒体として使用する場合、主平面部に異物があると、磁気ヘッドが異物に接触してしまうので、ガラス基板の製造ラインにおいては、異物が主平面に付着することを防止することは重要である。
〔収納容器本体２０の構成〕
図２Ａは収納容器本体２０の平面図である。図２Ｂは収納容器本体をＸ方向からみた正面図である。図２Ｃは収納容器本体をＹ方向からみた側面図である。
【００１９】
図２Ａ〜図２Ｃに示されるように、収納容器本体２０は、複数のガラス基板を収納する収納室６０と、収納室６０の上部に開口する上部開口７０と、収納室６０の下部に開口する下部開口８０とを有する。収納室６０のＸ方向の両側内壁には、所定間隔毎に複数の突部９０が設けられている。隣り合う突部９０間には、各ガラス基板Ｗが垂直状態に係合する収納溝９２が形成されている。
【００２０】
上部開口７０の上側周縁部には、第１の蓋３０又は第２の蓋４０が嵌合することで隙間なく密閉される段部７２が形成されている。また、下部開口８０を囲む下側周縁部８２は、底部蓋５０が嵌合することで隙間なく密閉される。
【００２１】
収納容器本体２０は、収納室６０のＹ方向側に対向する一対の側壁部６２を有し、当該一対の側壁部６２には、収納室６０に収納されたガラス基板の主平面部を貫通するセンタ孔が露出する位置までほぼＵ字状に開口された側面開口１１０を有する。側面開口１１０は、上方の開口幅が下方の開口幅よりも大きい寸法に形成されたテーパ状傾斜面１１０ａと、円弧形状に湾曲する湾曲面１１０ｂとを有し、第１の蓋３０、第２の蓋４０の側面閉塞部が上方から嵌合しやすい形状に形成されている。また、側面開口１１０の内周面は、後述するように第１の蓋３０、第２の蓋４０により密閉されるシール面として作用する。
【００２２】
さらに、側面開口１１０の下方には、第２の蓋４０を係止する蓋係止部１１２が下方に延在するように突出している。尚、蓋係止部１１２は、収納容器本体２０のＹ方向の両側に設けても良いし、あるいは何れか一方の側壁部６２に設ける構成としても良い。
【００２３】
図３は収納容器本体１０の縦断面図である。図３に示されるように、複数の突部９０は、収納容器本体２０のＸ方向の両側内壁に沿うように形成されており、各内壁の湾曲部分には、ガラス基板Ｗの外径に応じた曲線を有する円弧形状の載置部１００が設けられている。そして、収納室６０に収納されたガラス基板Ｗ（図３中、一点鎖線で示す）は、外周の下側端部の一部が収納室６０のＸ方向の両側に配された載置部１００に支持される。
【００２４】
収納室６０に収納されたガラス基板を取り出す際は、側面開口１１０を利用すると、ガガラス基板の主平面部に接触せずに、ガラス基板のセンタ孔に治具または指を差し込んで容易にガラス基板を上部開口７０から取り出すことが可能になる。
【００２５】
図４は収納室６０の片側内壁を拡大して示す平面図である。図４に示されるように、複数の突部９０は、夫々横断面形状が台形に形成されており、隣り合う突部９０間にはガラス基板Ｗ（図４中、一点鎖線で示す）を１枚ずつ収納するための収納溝９２が形成される。
【００２６】
また、互いに隣接された一対の突部９０は、所定の傾斜角度α（例えば、α＝３０°〜３５°）を有する傾斜面９４が形成されており、ガラス基板Ｗが各収納溝９２に挿入される際、あるいはガラス基板Ｗを取出す際にガラス基板Ｗの主平面部に接触しないように形成されている。尚、収納溝９２の最小幅（Ｙ方向溝幅の最小値）は、ガラス基板Ｗの厚さよりも僅かに大きい幅寸法に形成されている。
【００２７】
従って、ガラス基板Ｗは、収納室６０の上方から収納溝９２に挿入される際、外周縁部が両側の突部９０の傾斜面９４にガイドされて当該収納溝９２の中間位置（最小幅部分）に収納される。
【００２８】
図５はガラス基板収納容器の蓋装着状態を示す側面図である。図５に示されるように、ガラス基板収納容器１０は、検査工程でガラス基板を移動する場合又は保管する場合、収納容器本体２０の上部開口７０及び両側の側面開口１１０が第１の蓋３０によって閉塞されている。また、出荷後は、第２の蓋４０により収納容器本体２０の上部開口７０及び両側の側面開口１１０が閉塞される。これにより、空気中に浮遊する塵埃が収納室６０に侵入することを防止しており、収納室６０に収納されたガラス基板Ｗに塵埃が付着することを防止している。
【００２９】
そして、収納室６０にガラス基板を挿入する際、あるいは収納室６０のガラス基板を取り出す際は、検査工程においては第１の蓋３０が外されて収納容器本体２０の上部開口７０及び側面開口１１０が開放される。また、出荷後は、第２の蓋４０が外されて収納容器本体２０の上部開口７０及び側面開口１１０が開放される。
【００３０】
収納容器本体２０の下部開口８０は、下側周縁部８２に嵌合された底部蓋５０により閉塞されている。
〔第１の蓋３０の構成〕
図６Ａは第１の蓋の平面図である。図６Ｂは図６Ａ中Ｂ−Ｂ線に沿う縦断面図である。図６Ｃは図６Ａ中Ｃ−Ｃ線に沿う縦断面図である。図６Ｄは図６Ａ中Ｄ−Ｄ線に沿う縦断面図である。
【００３１】
図６Ａ〜図６Ｄに示されるように、第１の蓋３０は、収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞する上部閉塞部３２と、側面開口１１０を閉塞する一対の側面閉塞部３４とを有する。上部閉塞部３２の周縁部下面側には、収納容器本体２０の上部開口７０の周縁部７２に嵌合する嵌合部３６が設けられている。側面閉塞部３４は、上部閉塞部３２のＹ方向の両端より下方に延在形成されており、側面開口１１０の内側に嵌合する側面嵌合部３８と、側面開口１１０の周囲を覆うように延在形成されたフランジ部３９とが設けられている。
【００３２】
側面嵌合部３８は、側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに対応した形状を有するテーパ状突部３８ａと、湾曲面１１０ｂに対応した形状を有する円弧状突部３８ｂとを有する。側面嵌合部３８は、テーパ状突部３８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部３８ｂが湾曲面１１０ｂに密着して収納室６０を密閉する。
【００３３】
従って、第１の蓋３０は、後述する第２の蓋４０のような側面開口１１０の外周に係止される被係止部が設けられていないため、収納容器本体６０の上方から下方へかぶせることで、上部閉塞部３２の嵌合部３６が上部開口７０の段部７２に嵌合して上部開口７０を閉塞すると共に、一対の側面閉塞部３４の側面嵌合部３８が側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａ及び湾曲面１１０ｂに密着して側面開口１１０を閉塞できる。
〔第２の蓋４０の構成〕
図７Ａは第２の蓋４０の縦断面図である。図７Ｂは図７Ａ中Ｆ−Ｆ線に沿う縦断面図である。
【００３４】
図７Ａ及び図７Ｂに示されるように、第２の蓋４０は、収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞する上部閉塞部４２と、側面開口１１０を閉塞する側面閉塞部４４と、側面開口１１０の外周に形成された蓋係止部１１２に係止される一対の被係止部４５とを有する。上部閉塞部４２の周縁部下面側には、収納容器本体２０の上部開口７０の周縁部７２に嵌合する嵌合部４６が設けられている。側面閉塞部４４は、側面開口１１０の内側に嵌合する側面嵌合部４８と、側面開口１１０の周囲を覆うように延在形成されたフランジ部４９とが設けられている。
【００３５】
側面嵌合部４８は、側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに対応した形状を有するテーパ状突部４８ａと、湾曲面１１０ｂに対応した形状を有する円弧状突部４８ｂとを有する。側面嵌合部４８は、テーパ状突部４８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部４８ｂが湾曲面１１０ｂに密着して収納室６０を密閉する。
【００３６】
一対の被係止部４５は、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂの外周に嵌合するように同じ曲率半径で湾曲している。また、一対の被係止部４５と円弧状突部４８ｂとの間には、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂの厚さよりも若干小さい隙間４３が形成されている。
【００３７】
また、一対の被係止部４５は、収納容器本体２０の側壁６２に設けられた蓋係止部１１２の両側を挟持する隙間４７が形成されている。この隙間４７は、蓋係止部１１２のＸ方向に幅よりも僅かに小さい隙間であり、蓋係止部１１２の両側に接触するようにフランジ部４９の内側に突出している。
〔第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着した状態について〕
図８Ａは第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着した状態を示す一部切断した正面図である。図８Ｂは第１の蓋３０の側面嵌合部３８が収納容器本体の側面開口１１０に嵌合した状態を示す側断面図である。
【００３８】
図８Ａ及び図８Ｂに示されるように、第１の蓋３０は、上部閉塞部３２が収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞すると共に、側面嵌合部３８が側面開口１１０の内側に密着して収納容器本体２０の側面開口１１０を閉塞する。すなわち、第１の蓋３０が上方から収納容器本体２０に装着されると共に、嵌合部３６が上部開口７０の周縁部７２に嵌合し、さらに側面嵌合部３８のテーパ状突部３８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部３８ｂが湾曲面１１０ｂに密着する。そのため、第１の蓋３０が収納容器本体２０に係止されず、上方から第１の蓋３０をかぶせるようにして収納室６０を密閉できる。
【００３９】
従って、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着する際は、係止部１１２との摺接による発塵がないため、収納室６０に収納された複数のガラス基板Ｗに対し、第１の蓋３０の装着に伴う塵埃（異物）付着を防止できる。
〔第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着した状態について〕
図９Ａは第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着した状態を示す一部切断した正面図である。図９Ｂは第２の蓋４０の側面嵌合部４８が収納容器本体２０の側面開口１１０に嵌合した状態を示す側断面図である。
【００４０】
図９Ａ及び図９Ｂに示されるように、第２の蓋４０は、上部閉塞部４２が収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞すると共に、側面嵌合部４８が側面開口１１０の内側に密着して収納容器本体２０の側面開口１１０を閉塞する。さらに、フランジ部４９を側方から押圧してフランジ部４９の内側に突出する被係止部４５を側面開口１１０の外周に形成された係止部１１２に係止させる。すなわち、第２の蓋４０が上方から収納容器本体２０に装着されると共に、嵌合部４６が上部開口７０の周縁部７２に嵌合し、さらに側面嵌合部４８のテーパ状突部４８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部４８ｂが湾曲面１１０ｂに密着する。
【００４１】
この後、第２の蓋４０のフランジ部４９が押圧操作されることで、フランジ部４９に設けられた被係止部４５が収納容器本体２０の係止部１１２に係止される。すなわち、一対の被係止部４５と円弧状突部４８ｂとの間に形成された隙間４３には、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂが嵌合され、一対の被係止部４５の隙間４７には、収納容器本体２０の側壁６２に設けられた蓋係止部１１２が嵌合する。従って、一対の被係止部４５は、蓋係止部１１２を挟持すると共に、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂの外周面１１４に密着して確実に係止される。
【００４２】
これにより、第２の蓋４０のフランジ部４９は、収納容器本体２０の側壁６２に係止され、運搬中に外れることがなく、収納室６０を密閉状態に保持できる。検査工程終了後は、この第２の蓋４０が収納容器本体２０に装着されて、収納容器本体２０が密閉状態に保持された状態で出荷される。尚、第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着して蓋係止部１１２に被係止部４５を係止させる際に、発塵が１回発生することになるが、従来のように出荷されるまでの各工程の各作業毎に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着又は脱着させることにより発塵が発生する場合よりも、ガラス基板Ｗに付着する異物の数を大幅に削減できる。
【００４３】
【表１】
表１に、（工程１）〜（工程７）を含むガラス基板の製造方法により造られた磁気記録媒体用ガラス基板を光散乱方式表面観察機（ＫＬＡ Ｔｅｎｃｏｒ社製、製品名：Ｃａｎｄｅｌａ６１００）を用いて検査し、ガラス基板の主平面に付着している異物（０．２μｍ〜１．５μｍのサイズの異物）の数をカウントした結果を示す。表１に示されるように、５個のガラス基板収納容器を検査用サンプルとし、各収納容器本体２０に収納されたガラス基板Ｗを収納容器（表１では「カセット」と表記する）の右端部、中央部、左端部の３箇所から取出し、各ガラス基板Ｗに付着した異物の個数を光散乱方式表面観察機を用いて検査した結果、検査工程では第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着した場合（例１）は、収納容器Ｎｏ．（カセットＮｏ．）１〜５の異物付着数の平均値が、「４０個、５０個、７５個、５３個、５５個」であった。一方、第２の蓋４０のみを使用した従来の場合（例２）は、収納容器Ｎｏ．（カセットＮｏ．）１〜５の異物付着数の平均値が、「１５１個、２４０個、１７６個、１０２個、８０個」であった。
【００４４】
この検査結果により、従来に比べて検査工程では、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査終了後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着することにより、係止部１１２と被係止部４５との摺接回数が減少し、収納容器本体２０に収納されたガラス基板に付着する異物の数を削減することが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
上記実施例では、図２Ｃに示す係止部１１２と、図７Ｂに示す被係止部４５とが嵌合する構成と一例として挙げたが、係止部及び被係止部の形状、構成はこれに限らないのは勿論である。
【００４６】
また、収納容器本体２０に収納されるガラス基板Ｗの枚数や外径、内径、厚さ等の寸法は、適宜選択されるものであり、特定の数値に限定するものではない。
【００４７】
また、上記実施例では、磁気記録媒体用として用いられるガラス基板を例に挙げて説明したが、これに限らず、本発明は他の用途に用いられるガラス基板を収納する容器にも適用できる。
【００４８】
また、本発明が適用できるガラス基板としては、磁気記録媒体用、フォトマスク用、液晶や有機ＥＬ等のディスプレイ用、光ピックアップ素子や光学フィルタ等の光学部品用などのガラス基板が具体的なものとして挙げられる。
【符号の説明】
【００４９】
１０ ガラス基板収納容器
２０ 収納容器本体
３０ 第１の蓋
３２、４２ 上部閉塞部
３４、４４ 側面閉塞部
３６、４６ 嵌合部
３８、４８ 側面嵌合部
３８ａ、４８ａ テーパ状突部
３８ｂ、４８ｂ 円弧状突部
３９、４９ フランジ部
４０ 第２の蓋
４３、４７ 隙間
５０ 底部蓋
６０ 収納室
６２ 側壁部
７０ 上部開口
７２ 段部
８０ 下部開口
８２ 下側周縁部
９０ 突部
９２ 収納溝
９４ 傾斜面
１００ 載置部
１１０ 側面開口
１１０ａ テーパ状傾斜面
１１０ｂ 湾曲面
１１２ 蓋係止部
２００ 挿入ガイド部材
２０２ 挿入用スリット
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数のガラス基板を整列した状態に収納するガラス基板収納容器及びガラス基板収納容器を用いたガラス基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、磁気記録媒体用として使用されるガラス基板の製造ラインは、少なくとも以下の工程１〜工程７を含む。
（工程１）フロート法、フュージョン法、またはプレス成形法により成形されたガラス素基板を、中央部に円形孔を有する円盤形状に切削加工した後、内周側面と外周側面を面取り加工する（形状付与工程）。
（工程２）ガラス基板の内外周の側面部と面取り部に端面研磨する（研磨工程）。
（工程３）ガラス基板の上下主平面を研磨加工する（研磨工程）。
（工程４）ガラス基板を精密洗浄する（洗浄工程）。
（工程５）洗浄されたガラス基板を乾燥させる（乾燥工程）。
（工程６）乾燥したガラス基板の主平面に付着した異物の数を目視又は光散乱方式表面観察機により検査する（検査工程）。
（工程７）検査したガラス基板をガラス基板収納容器に収納して包装する（出荷工程）。
【０００３】
少なくとも上記工程１〜工程７を含むガラス基板の製造ラインにより製造されたガラス基板は製品として出荷される。
【０００４】
このようなガラス基板の製造ライン各工程間においては、ガラス基板を搬送する手段として、複数のガラス基板を垂直状態の収納する収納容器本体と、当該収納容器本体の上面開口及び側面開口を閉塞する蓋とからなるガラス基板収納容器を用いている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
このガラス基板収納容器は、各ガラス基板同士が接触しないように所定間隔毎に整列された状態に収納するように構成されており、且つ蓋を収納容器本体に装着することで内部が密閉されるため、空気中に浮遊する塵埃等の異物がガラス基板に付着することを防止している。
【０００６】
また、上記ガラス基板収納容器では、収納容器本体側面に設けられた蓋係止部と、蓋の側面閉塞部に設けられた被係止部とを有する。そして、上記ガラス基板の製造ラインにおいて、各工程が終了したガラス基板が収納容器本体内に収納されて所定枚数に達すると、収納容器本体に蓋を装着すると共に、蓋の側面閉塞部に設けられた被係止部を収納容器本体側面の蓋係止部に係止させることで、収納容器本体の上面開口及び側面開口の密閉状態を維持できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開昭６３−４９３８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来のガラス基板収納容器を用いてガラス基板を搬送するガラス基板の製造ラインでは、各工程でガラス基板を収納容器本体内に収納する際、又は収納容器本体内から取り出す際に、上記蓋を収納容器本体に装着して蓋の側面閉塞部に設けられた被係止部が収納容器本体側面の蓋係止部に係止されるため、その度に、蓋係止部及び被係止部が互いに擦られて発塵が発生し、ガラス基板の表面に微小な塵埃が付着するおそれがあった。
【０００９】
また、収納容器本体の蓋を外す際にも蓋係止部及び被係止部が擦られて発塵が発生するため、各工程でガラス基板の収納又は取り出しが行われるにつれてガラス基板の表面に付着する異物の数が増加するおそれがあった。さらに、従来のガラス基板収納容器を用いて各ガラス基板を移動させる方法では、出荷前の検査工程で多数の異物が規定以上に検出されてガラス基板製品としての仕様を満たさない場合が発生している。このように、多数の異物が規定以上に検出されたガラス基板は、不良品として処理される、または研磨工程、洗浄工程、乾燥工程、検査工程を再度実施することになり、歩留りの低下又は生産効率の低下を招く原因になっている。
【００１０】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、各工程での蓋の開閉に伴う発塵を抑制することにより、上記課題を解決したガラス基板収納容器及びガラス基板収納容器を用いたガラス基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
（１）本発明は、複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備え、
前記第１の蓋または前記第２の蓋のうち何れか一つを前記収納容器本体に装着されることを特徴とする。
（２）本発明は、前記ガラス基板が、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法により製造されるものであって、
前記第１の蓋は、少なくとも各工程のうち前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止されることを特徴とする。
（３）本発明の前記収納容器本体は、前記収納室の内壁に前記ガラス基板が垂直状態に収納される収納溝が所定間隔ごとに複数形成されていることを特徴とする。
（４）本発明の前記収納容器本体は、前記側面開口が上方の開口幅が下方の開口幅よりも大きい寸法に形成されたテーパ状傾斜面を有し、
前記第１の蓋及び前記第２の蓋の前記側面閉塞部は、前記側面開口のテーパ状傾斜面に対応した形状を有するテーパ状突部を有し、前記テーパ状突部が前記テーパ状傾斜面に当接して前記収納室を密閉することを特徴とする。
（５）本発明は、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備えたガラス基板収納容器を用い、
前記第１の蓋は、少なくとも前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止されることを特徴とする。
（６）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
（７）本発明の前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ガラス基板の各製造工程の作業内容に応じて、被係止部の無い第１の蓋または被係止部を有する第２の蓋のうち何れか一つを収納容器本体に装着されるため、各製造工程での蓋の開閉に伴う発塵を抑制でき、ガラス基板に付着する異物数を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明によるガラス基板収納容器の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２Ａ】収納容器本体の平面図である。
【図２Ｂ】収納容器本体をＸ方向からみた正面図である。
【図２Ｃ】収納容器本体をＹ方向からみた側面図である。
【図３】収納容器本体の縦断面図である。
【図４】収納室の片側内壁を拡大して示す平面図である。
【図５】ガラス基板収納容器の蓋装着状態を示す側面図である。
【図６Ａ】第１の蓋の平面図である。
【図６Ｂ】図６Ａ中Ｂ−Ｂ線に沿う縦断面図である。
【図６Ｃ】図６Ａ中Ｃ−Ｃ線に沿う縦断面図である。
【図６Ｄ】図６Ａ中Ｄ−Ｄ線に沿う縦断面図である。
【図７Ａ】第２の蓋の縦断面図である。
【図７Ｂ】図７Ａ中Ｆ−Ｆ線に沿う縦断面図である。
【図８Ａ】第１の蓋を収納容器本体に装着した状態を示す一部切断した正面図である。
【図８Ｂ】第１の蓋の側面嵌合部が収納容器本体の側面開口に嵌合した状態を示す側断面図である。
【図９Ａ】第２の蓋を収納容器本体に装着した状態を示す一部切断した正面図である。
【図９Ｂ】第２の蓋の側面嵌合部が収納容器本体の側面開口に嵌合した状態を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【実施例１】
【００１５】
〔ガラス基板収納容器１０の構成〕
図１は本発明によるガラス基板収納容器の一実施例を示す分解斜視図である。図１に示されるように、ガラス基板収納容器１０は、複数のガラス基板が収納される収納容器本体２０と、製造ラインの検査工程で使用される第１の蓋３０と、出荷時に使用される第２の蓋４０と、底部蓋５０とを有する。尚、収納容器本体２０、第１の蓋３０、第２の蓋４０、底部蓋５０は、樹脂材（例えば、ポリプロピレン：Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ等）により成形されている。ガラス基板の製造ラインの検査工程では、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査終了後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着する。このように、作業内容に応じて第１の蓋３０と第２の蓋４０とを選択的に装着することにより、後述する係止部１１２と被係止部４５との摺接回数を削減できる。
【００１６】
また、検査工程としては、後述する光散乱方式表面観察機によるガラス基板の主平面に付着した異物数を調べる検査工程１と、ガラス基板の主平面を検査員の目視により検査を行う検査工程２とがある。そして、検査工程１、２により合格（異物数が規定値以下のもの）したガラス基板は、収納容器本体２０に収納される。検査工程１、２では、発塵の少ない第１の蓋３０が使用される。その後の出荷工程では、所定数のガラス基板が収納された収納容器本体２０には、第２の蓋４０が使用され、第２の蓋４０が収納容器本体２０に係止された状態で出荷される。
【００１７】
本実施例において、ガラス基板は、例えば磁気記録媒体用として用いられるもので、主平面部に磁気記録層が形成される前段階として、前述した技術背景の欄で説明したように各製造工程（工程１〜工程７）が行われた後、製品として出荷される。ガラス基板は、例えば、フロート法により形成されたＳｉＯ２を主成分としており、例えば外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、板厚０．６３５ｍｍの寸法形状に形成される。
【００１８】
また、ガラス基板を磁気記録用媒体として使用する場合、主平面部に異物があると、磁気ヘッドが異物に接触してしまうので、ガラス基板の製造ラインにおいては、異物が主平面に付着することを防止することは重要である。
〔収納容器本体２０の構成〕
図２Ａは収納容器本体２０の平面図である。図２Ｂは収納容器本体をＸ方向からみた正面図である。図２Ｃは収納容器本体をＹ方向からみた側面図である。
【００１９】
図２Ａ〜図２Ｃに示されるように、収納容器本体２０は、複数のガラス基板を収納する収納室６０と、収納室６０の上部に開口する上部開口７０と、収納室６０の下部に開口する下部開口８０とを有する。収納室６０のＸ方向の両側内壁には、所定間隔毎に複数の突部９０が設けられている。隣り合う突部９０間には、各ガラス基板Ｗが垂直状態に係合する収納溝９２が形成されている。
【００２０】
上部開口７０の上側周縁部には、第１の蓋３０又は第２の蓋４０が嵌合することで隙間なく密閉される段部７２が形成されている。また、下部開口８０を囲む下側周縁部８２は、底部蓋５０が嵌合することで隙間なく密閉される。
【００２１】
収納容器本体２０は、収納室６０のＹ方向側に対向する一対の側壁部６２を有し、当該一対の側壁部６２には、収納室６０に収納されたガラス基板の主平面部を貫通するセンタ孔が露出する位置までほぼＵ字状に開口された側面開口１１０を有する。側面開口１１０は、上方の開口幅が下方の開口幅よりも大きい寸法に形成されたテーパ状傾斜面１１０ａと、円弧形状に湾曲する湾曲面１１０ｂとを有し、第１の蓋３０、第２の蓋４０の側面閉塞部が上方から嵌合しやすい形状に形成されている。また、側面開口１１０の内周面は、後述するように第１の蓋３０、第２の蓋４０により密閉されるシール面として作用する。
【００２２】
さらに、側面開口１１０の下方には、第２の蓋４０を係止する蓋係止部１１２が下方に延在するように突出している。尚、蓋係止部１１２は、収納容器本体２０のＹ方向の両側に設けても良いし、あるいは何れか一方の側壁部６２に設ける構成としても良い。
【００２３】
図３は収納容器本体１０の縦断面図である。図３に示されるように、複数の突部９０は、収納容器本体２０のＸ方向の両側内壁に沿うように形成されており、各内壁の湾曲部分には、ガラス基板Ｗの外径に応じた曲線を有する円弧形状の載置部１００が設けられている。そして、収納室６０に収納されたガラス基板Ｗ（図３中、一点鎖線で示す）は、外周の下側端部の一部が収納室６０のＸ方向の両側に配された載置部１００に支持される。
【００２４】
収納室６０に収納されたガラス基板を取り出す際は、側面開口１１０を利用すると、ガガラス基板の主平面部に接触せずに、ガラス基板のセンタ孔に治具または指を差し込んで容易にガラス基板を上部開口７０から取り出すことが可能になる。
【００２５】
図４は収納室６０の片側内壁を拡大して示す平面図である。図４に示されるように、複数の突部９０は、夫々横断面形状が台形に形成されており、隣り合う突部９０間にはガラス基板Ｗ（図４中、一点鎖線で示す）を１枚ずつ収納するための収納溝９２が形成される。
【００２６】
また、互いに隣接された一対の突部９０は、所定の傾斜角度α（例えば、α＝３０°〜３５°）を有する傾斜面９４が形成されており、ガラス基板Ｗが各収納溝９２に挿入される際、あるいはガラス基板Ｗを取出す際にガラス基板Ｗの主平面部に接触しないように形成されている。尚、収納溝９２の最小幅（Ｙ方向溝幅の最小値）は、ガラス基板Ｗの厚さよりも僅かに大きい幅寸法に形成されている。
【００２７】
従って、ガラス基板Ｗは、収納室６０の上方から収納溝９２に挿入される際、外周縁部が両側の突部９０の傾斜面９４にガイドされて当該収納溝９２の中間位置（最小幅部分）に収納される。
【００２８】
図５はガラス基板収納容器の蓋装着状態を示す側面図である。図５に示されるように、ガラス基板収納容器１０は、検査工程でガラス基板を移動する場合又は保管する場合、収納容器本体２０の上部開口７０及び両側の側面開口１１０が第１の蓋３０によって閉塞されている。また、出荷後は、第２の蓋４０により収納容器本体２０の上部開口７０及び両側の側面開口１１０が閉塞される。これにより、空気中に浮遊する塵埃が収納室６０に侵入することを防止しており、収納室６０に収納されたガラス基板Ｗに塵埃が付着することを防止している。
【００２９】
そして、収納室６０にガラス基板を挿入する際、あるいは収納室６０のガラス基板を取り出す際は、検査工程においては第１の蓋３０が外されて収納容器本体２０の上部開口７０及び側面開口１１０が開放される。また、出荷後は、第２の蓋４０が外されて収納容器本体２０の上部開口７０及び側面開口１１０が開放される。
【００３０】
収納容器本体２０の下部開口８０は、下側周縁部８２に嵌合された底部蓋５０により閉塞されている。
〔第１の蓋３０の構成〕
図６Ａは第１の蓋の平面図である。図６Ｂは図６Ａ中Ｂ−Ｂ線に沿う縦断面図である。図６Ｃは図６Ａ中Ｃ−Ｃ線に沿う縦断面図である。図６Ｄは図６Ａ中Ｄ−Ｄ線に沿う縦断面図である。
【００３１】
図６Ａ〜図６Ｄに示されるように、第１の蓋３０は、収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞する上部閉塞部３２と、側面開口１１０を閉塞する一対の側面閉塞部３４とを有する。上部閉塞部３２の周縁部下面側には、収納容器本体２０の上部開口７０の周縁部７２に嵌合する嵌合部３６が設けられている。側面閉塞部３４は、上部閉塞部３２のＹ方向の両端より下方に延在形成されており、側面開口１１０の内側に嵌合する側面嵌合部３８と、側面開口１１０の周囲を覆うように延在形成されたフランジ部３９とが設けられている。
【００３２】
側面嵌合部３８は、側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに対応した形状を有するテーパ状突部３８ａと、湾曲面１１０ｂに対応した形状を有する円弧状突部３８ｂとを有する。側面嵌合部３８は、テーパ状突部３８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部３８ｂが湾曲面１１０ｂに密着して収納室６０を密閉する。
【００３３】
従って、第１の蓋３０は、後述する第２の蓋４０のような側面開口１１０の外周に係止される被係止部が設けられていないため、収納容器本体６０の上方から下方へかぶせることで、上部閉塞部３２の嵌合部３６が上部開口７０の段部７２に嵌合して上部開口７０を閉塞すると共に、一対の側面閉塞部３４の側面嵌合部３８が側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａ及び湾曲面１１０ｂに密着して側面開口１１０を閉塞できる。
〔第２の蓋４０の構成〕
図７Ａは第２の蓋４０の縦断面図である。図７Ｂは図７Ａ中Ｆ−Ｆ線に沿う縦断面図である。
【００３４】
図７Ａ及び図７Ｂに示されるように、第２の蓋４０は、収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞する上部閉塞部４２と、側面開口１１０を閉塞する側面閉塞部４４と、側面開口１１０の外周に形成された蓋係止部１１２に係止される一対の被係止部４５とを有する。上部閉塞部４２の周縁部下面側には、収納容器本体２０の上部開口７０の周縁部７２に嵌合する嵌合部４６が設けられている。側面閉塞部４４は、側面開口１１０の内側に嵌合する側面嵌合部４８と、側面開口１１０の周囲を覆うように延在形成されたフランジ部４９とが設けられている。
【００３５】
側面嵌合部４８は、側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに対応した形状を有するテーパ状突部４８ａと、湾曲面１１０ｂに対応した形状を有する円弧状突部４８ｂとを有する。側面嵌合部４８は、テーパ状突部４８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部４８ｂが湾曲面１１０ｂに密着して収納室６０を密閉する。
【００３６】
一対の被係止部４５は、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂの外周に嵌合するように同じ曲率半径で湾曲している。また、一対の被係止部４５と円弧状突部４８ｂとの間には、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂの厚さよりも若干小さい隙間４３が形成されている。
【００３７】
また、一対の被係止部４５は、収納容器本体２０の側壁６２に設けられた蓋係止部１１２の両側を挟持する隙間４７が形成されている。この隙間４７は、蓋係止部１１２のＸ方向に幅よりも僅かに小さい隙間であり、蓋係止部１１２の両側に接触するようにフランジ部４９の内側に突出している。
〔第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着した状態について〕
図８Ａは第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着した状態を示す一部切断した正面図である。図８Ｂは第１の蓋３０の側面嵌合部３８が収納容器本体の側面開口１１０に嵌合した状態を示す側断面図である。
【００３８】
図８Ａ及び図８Ｂに示されるように、第１の蓋３０は、上部閉塞部３２が収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞すると共に、側面嵌合部３８が側面開口１１０の内側に密着して収納容器本体２０の側面開口１１０を閉塞する。すなわち、第１の蓋３０が上方から収納容器本体２０に装着されると共に、嵌合部３６が上部開口７０の周縁部７２に嵌合し、さらに側面嵌合部３８のテーパ状突部３８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部３８ｂが湾曲面１１０ｂに密着する。そのため、第１の蓋３０が収納容器本体２０に係止されず、上方から第１の蓋３０をかぶせるようにして収納室６０を密閉できる。
【００３９】
従って、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着する際は、係止部１１２との摺接による発塵がないため、収納室６０に収納された複数のガラス基板Ｗに対し、第１の蓋３０の装着に伴う塵埃（異物）付着を防止できる。
〔第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着した状態について〕
図９Ａは第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着した状態を示す一部切断した正面図である。図９Ｂは第２の蓋４０の側面嵌合部４８が収納容器本体２０の側面開口１１０に嵌合した状態を示す側断面図である。
【００４０】
図９Ａ及び図９Ｂに示されるように、第２の蓋４０は、上部閉塞部４２が収納容器本体２０の上部開口７０を閉塞すると共に、側面嵌合部４８が側面開口１１０の内側に密着して収納容器本体２０の側面開口１１０を閉塞する。さらに、フランジ部４９を側方から押圧してフランジ部４９の内側に突出する被係止部４５を側面開口１１０の外周に形成された係止部１１２に係止させる。すなわち、第２の蓋４０が上方から収納容器本体２０に装着されると共に、嵌合部４６が上部開口７０の周縁部７２に嵌合し、さらに側面嵌合部４８のテーパ状突部４８ａが側面開口１１０のテーパ状傾斜面１１０ａに当接し、且つ円弧状突部４８ｂが湾曲面１１０ｂに密着する。
【００４１】
この後、第２の蓋４０のフランジ部４９が押圧操作されることで、フランジ部４９に設けられた被係止部４５が収納容器本体２０の係止部１１２に係止される。すなわち、一対の被係止部４５と円弧状突部４８ｂとの間に形成された隙間４３には、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂが嵌合され、一対の被係止部４５の隙間４７には、収納容器本体２０の側壁６２に設けられた蓋係止部１１２が嵌合する。従って、一対の被係止部４５は、蓋係止部１１２を挟持すると共に、側面開口１１０の湾曲面１１０ｂの外周面１１４に密着して確実に係止される。
【００４２】
これにより、第２の蓋４０のフランジ部４９は、収納容器本体２０の側壁６２に係止され、運搬中に外れることがなく、収納室６０を密閉状態に保持できる。検査工程終了後は、この第２の蓋４０が収納容器本体２０に装着されて、収納容器本体２０が密閉状態に保持された状態で出荷される。尚、第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着して蓋係止部１１２に被係止部４５を係止させる際に、発塵が１回発生することになるが、従来のように出荷されるまでの各工程の各作業毎に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着又は脱着させることにより発塵が発生する場合よりも、ガラス基板Ｗに付着する異物の数を大幅に削減できる。
【００４３】
【表１】
表１に、（工程１）〜（工程７）を含むガラス基板の製造方法により造られた磁気記録媒体用ガラス基板を光散乱方式表面観察機（ＫＬＡ Ｔｅｎｃｏｒ社製、製品名：Ｃａｎｄｅｌａ６１００）を用いて検査し、ガラス基板の主平面に付着している異物（０．２μｍ〜１．５μｍのサイズの異物）の数をカウントした結果を示す。表１に示されるように、５個のガラス基板収納容器を検査用サンプルとし、各収納容器本体２０に収納されたガラス基板Ｗを収納容器（表１では「カセット」と表記する）の右端部、中央部、左端部の３箇所から取出し、各ガラス基板Ｗに付着した異物の個数を光散乱方式表面観察機を用いて検査した結果、検査工程では第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着した場合（例１）は、収納容器Ｎｏ．（カセットＮｏ．）１〜５の異物付着数の平均値が、「４０個、５０個、７５個、５３個、５５個」であった。一方、第２の蓋４０のみを使用した従来の場合（例２）は、収納容器Ｎｏ．（カセットＮｏ．）１〜５の異物付着数の平均値が、「１５１個、２４０個、１７６個、１０２個、８０個」であった。
【００４４】
この検査結果により、従来に比べて検査工程では、第１の蓋３０を収納容器本体２０に装着し、検査終了後の出荷時に第２の蓋４０を収納容器本体２０に装着することにより、係止部１１２と被係止部４５との摺接回数が減少し、収納容器本体２０に収納されたガラス基板に付着する異物の数を削減することが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
上記実施例では、図２Ｃに示す係止部１１２と、図７Ｂに示す被係止部４５とが嵌合する構成と一例として挙げたが、係止部及び被係止部の形状、構成はこれに限らないのは勿論である。
【００４６】
また、収納容器本体２０に収納されるガラス基板Ｗの枚数や外径、内径、厚さ等の寸法は、適宜選択されるものであり、特定の数値に限定するものではない。
【００４７】
また、上記実施例では、磁気記録媒体用として用いられるガラス基板を例に挙げて説明したが、これに限らず、本発明は他の用途に用いられるガラス基板を収納する容器にも適用できる。
【００４８】
また、本発明が適用できるガラス基板としては、磁気記録媒体用、フォトマスク用、液晶や有機ＥＬ等のディスプレイ用、光ピックアップ素子や光学フィルタ等の光学部品用などのガラス基板が具体的なものとして挙げられる。
【符号の説明】
【００４９】
１０ ガラス基板収納容器
２０ 収納容器本体
３０ 第１の蓋
３２、４２ 上部閉塞部
３４、４４ 側面閉塞部
３６、４６ 嵌合部
３８、４８ 側面嵌合部
３８ａ、４８ａ テーパ状突部
３８ｂ、４８ｂ 円弧状突部
３９、４９ フランジ部
４０ 第２の蓋
４３、４７ 隙間
５０ 底部蓋
６０ 収納室
６２ 側壁部
７０ 上部開口
７２ 段部
８０ 下部開口
８２ 下側周縁部
９０ 突部
９２ 収納溝
９４ 傾斜面
１００ 載置部
１１０ 側面開口
１１０ａ テーパ状傾斜面
１１０ｂ 湾曲面
１１２ 蓋係止部
２００ 挿入ガイド部材
２０２ 挿入用スリット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備え、
前記第１の蓋または前記第２の蓋のうち何れか一つを前記収納容器本体に装着することを特徴とするガラス基板収納容器。
【請求項２】
前記ガラス基板が、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法により製造されるものであって、
前記第１の蓋は、少なくとも各工程のうち前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止される請求項１に記載のガラス基板収納容器。
【請求項３】
前記収納容器本体は、前記収納室の内壁に前記ガラス基板が垂直状態に収納される収納溝が所定間隔ごとに複数形成されている請求項１または２に記載のガラス基板収納容器。
【請求項４】
前記収納容器本体は、前記側面開口が上方の開口幅が下方の開口幅よりも大きい寸法に形成されたテーパ状傾斜面を有し、
前記第１の蓋及び前記第２の蓋の前記側面閉塞部は、前記側面開口のテーパ状傾斜面に対応した形状を有するテーパ状突部を有し、前記テーパ状突部が前記テーパ状傾斜面に当接して前記収納室を密閉する請求項１乃至３の何れかに記載のガラス基板収納容器。
【請求項５】
板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備えたガラス基板収納容器を用い、
前記第１の蓋は、少なくとも前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止されることを特徴とするガラス基板収納容器を用いたガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項１〜４の何れかに記載のガラス基板収納容器。
【請求項７】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項５に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項１】
複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備え、
前記第１の蓋または前記第２の蓋のうち何れか一つを前記収納容器本体に装着することを特徴とするガラス基板収納容器。
【請求項２】
前記ガラス基板が、板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法により製造されるものであって、
前記第１の蓋は、少なくとも各工程のうち前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止される請求項１に記載のガラス基板収納容器。
【請求項３】
前記収納容器本体は、前記収納室の内壁に前記ガラス基板が垂直状態に収納される収納溝が所定間隔ごとに複数形成されている請求項１または２に記載のガラス基板収納容器。
【請求項４】
前記収納容器本体は、前記側面開口が上方の開口幅が下方の開口幅よりも大きい寸法に形成されたテーパ状傾斜面を有し、
前記第１の蓋及び前記第２の蓋の前記側面閉塞部は、前記側面開口のテーパ状傾斜面に対応した形状を有するテーパ状突部を有し、前記テーパ状突部が前記テーパ状傾斜面に当接して前記収納室を密閉する請求項１乃至３の何れかに記載のガラス基板収納容器。
【請求項５】
板形状を有するガラス基板の形状付与工程と、前記ガラス基板の研磨工程と、前記ガラス基板の洗浄工程と、前記ガラス基板の乾燥工程と、前記ガラス基板の検査工程と、前記ガラス基板の出荷工程とを少なくとも有するガラス基板の製造方法において、
複数のガラス基板が整列された状態に収納される収納室、及び当該収納室に連通された上部開口及び側面開口、及び該側面開口の周辺に形成された蓋係止部を有する収納容器本体と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部を有する第１の蓋と、
前記収納容器本体の前記上部開口を閉塞する上面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記側面開口を閉塞する側面閉塞部、及び前記収納容器本体の前記蓋係止部に係止される被係止部を有する第２の蓋と、
を備えたガラス基板収納容器を用い、
前記第１の蓋は、少なくとも前記ガラス基板の検査工程において、前記複数のガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、
前記第２の蓋は、前記ガラス基板の出荷工程において、出荷するガラス基板が収納された前記収納容器本体に装着されて前記上部開口及び前記側面開口を閉塞し、且つ前記被係止部が前記収納容器本体の蓋係止部に係止されることを特徴とするガラス基板収納容器を用いたガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項１〜４の何れかに記載のガラス基板収納容器。
【請求項７】
前記ガラス基板は、磁気記録媒体用ガラス基板である請求項５に記載のガラス基板の製造方法。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図６Ｃ】
【図６Ｄ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図６Ｃ】
【図６Ｄ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【公開番号】特開２０１２−８１９７３（Ｐ２０１２−８１９７３Ａ）
【公開日】平成２４年４月２６日（２０１２．４．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２２８４０４（Ｐ２０１０−２２８４０４）
【出願日】平成２２年１０月８日（２０１０．１０．８）
【出願人】（０００００００４４）旭硝子株式会社 (2,665)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年４月２６日（２０１２．４．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１０月８日（２０１０．１０．８）
【出願人】（０００００００４４）旭硝子株式会社 (2,665)
【Ｆターム（参考）】
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