ガラス製造装置の成形部及びガラス成形品の製造方法
【課題】本発明は、ガラス成形品の大小に関わらず、長時間、安定して製造できるフュージョン法を利用するガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るガラス製造装置の成形部は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部１において、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とする。
【解決手段】本発明に係るガラス製造装置の成形部は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部１において、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ表示基板用板ガラス等のガラス成形品を、フュージョン法を利用して作製するときに用いられるガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、溶融ガラスより連続的にガラス成形品を形成し、極めて薄い板厚の板ガラスを製造する方法として、フュージョン法が知られている。
【０００３】
フュージョン法は、まず、溶融した原料ガラスを樋形状の溝を有するアルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料で形成された成形部に流し込み、成形部の溝の容量以上に流し込むと溝側面の上端から溶融したガラスが溢れ出し、成形部の下端で合流したガラスを垂直方向に引き伸ばし、冷却して固めることによって板ガラスを製造する方法である。フュージョン法では、ガラスの成形時に無理な力がかからず、ガラスへのダメージを少なくして作製することができ、かつ、ガラス成形品の表面が自由表面のみで形成されるために液晶ディスプレイ表示基板用板ガラス等の高い平坦精度が要求されるガラス成形品を製造することに適した方法である（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
しかし、アルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料で形成された成形部は、ガラス成形品の幅に対応する成形部の長さが長くなればなるほど製作することが困難になる。このため幅の広い大型のガラス成形品を製造するための成形部の製作に際しては、一体成形が望ましいが大型のガラス成形の場合、一体成形が不可能になるのでまず成形部を長手方向に幾つかの部分に分けて製作した後で、これらを連結することによって一体とした成形部を製作しなければならない。したがって完成した大型ガラス成形品製造用の成形部には継ぎ目ができてしまう。このため成形されるガラス成形品について、継ぎ目における筋の発生を防止して平坦精度を確保するために、高い精度の研磨仕上げ又は白金によるカバーが必要になる。
【０００５】
さらにアルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料からなる成形部は溶融ガラスとの接触によって侵食を受けるため、成形されるガラス成形品の平坦精度の低下等の経時的な品質低下を生じ、ガラス製造装置の連続使用時間を長くすることができなかった。
【０００６】
そのため、成形部の表面に白金又は白金合金を被覆することによって、耐火セラミックス材料からなる成形部が溶融ガラスとの接触によって侵食されることを抑制し、併せて大型成形品製造用の成形部が有する継ぎ目を保護する方法が提案されている（例えば、特許文献２又は３を参照。）。
【０００７】
【特許文献１】米国特許第３３３８６９６号明細書
【特許文献２】特開２００２−２５５５７５号公報
【特許文献３】特開２００７−１５３７１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし成形部は、耐火物からなる支持部材によって長手方向の両端で支えられているため、ガラス成形品の大型化が進むと、成形部及びガラスの自重によって中央付近に反りが発生する。その結果、成形部から溶融ガラスの溢れる位置によって下方への流量が変化するため、ガラスの厚みが異なる等、均質なガラスの成形が困難になるという問題があった。
【０００９】
また、白金又は白金合金は高温時における剛性が低いことから、成形部に白金又は白金合金を被覆した場合でも成形部の経時的な変形を防止することはできず、上記の問題を解決することはできなかった。
【００１０】
そこで本発明は、溶融ガラスとの接触による成形部の侵食の抑制と、高温時における成形部の剛性の保持を共に満たし、ガラス成形品の大小に関わらず、長時間、安定して製造できる、フュージョン法を利用するガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部の構造及び材料の組成を種々検討した結果、前記成形部における溶融ガラスとの接触部分を、イリジウム又はイリジウム合金で形成し、かつ、酸素との接触を避けることができる成形部であれば、白金又は白金合金と同様に溶融ガラスによる侵食を抑制することができ、かつ、高温度で高い剛性が得られることによって、上記問題を解決できることを見出し、発明を完成した。
【００１２】
すなわち本発明に係るガラス製造装置の成形部は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部において、前記成形部は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係るガラス製造装置の成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された構造を有するか、或いは、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有していてもよい。イリジウム又はイリジウム合金は高温度での剛性が高く、圧縮荷重によりクリープ変形も小さいため、成形部の構造材料又は被覆材料として使用すると成形部の変形を防止することができる。
【００１４】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の構造を有し、前記大気遮蔽手段は、前記中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管である場合が含まれる。成形部の軽量化のためにその内部を中空構造とすることが好ましい。このとき中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスの混合ガスを通気する配管を設けることによって、中空体内面のイリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と接触して酸化され揮発することを防止することができる。
【００１５】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有し、かつ、前記大気遮蔽手段は、前記構造体と前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管である場合が含まれる。前記配管を設けることによって、構造体とそれを被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙及び構造体中に存在する大気によってイリジウム又はイリジウム合金が酸化され揮発することを防止できる。
【００１６】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記大気遮蔽手段は、その外表面のうち溶融ガラスと接触していない表面部分を保護しつつ前記成形部を支持する耐火物材料からなる支持部材であることが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金からなる外表面のうち成形部の長手方向の両端面及びその縁部は溶融ガラスと接触しないため、支持部材によって大気との接触を遮断することによって、その外表面が酸化され揮発することを防止できる。
【００１７】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、大気遮蔽手段として不活性ガスを供給する配管を使用する場合、前記不活性ガスが、窒素ガスであることが好ましい。経済的に酸素を遮断することができる。
【００１８】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の内部空間に、金属又はセラミックスの梁が通されて前記成形部が支持されている場合が含まれる。成形部の剛性を高めて変形を防止できる。
【００１９】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造体はセラミックス又は金属で形成されてなり、前記成形部は前記構造体によって支持されている場合が含まれる。
【００２０】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記金属又はセラミックスの梁又は前記被覆されている構造体の材質がイリジウム又はイリジウム合金である場合が含まれる。
【００２１】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金の厚みが、０．５〜３．０ｍｍであることが好ましい。この厚みであれば成形部に十分な高温強度を付与することができる。
【００２２】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記支持部材によってかけられる両端から内側への圧力により、前記成形部の上面が直線状に保持されることが好ましい。成形部の高温度におけるクリープ変形をさらに防止できる。
【００２３】
本発明に係るガラス成形品の成形方法は、溶融ガラスの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金からなるガラス製造装置の成形部を用いて、フュージョン法によってガラス成形品を製造する方法において、前記成形部を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに、ガラス成形品の大小に関わらず、成形部及びガラスの自重による成形部の反りを低減でき、かつ、成形部が溶融ガラスとの接触によって侵食を受けることを低減できる。この結果、フュージョン法を利用してガラス成形品を長期間、安定して製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明について実施形態を示して詳細に説明するが本発明はこれらの記載に限定して解釈されない。本発明の効果を奏する限り、実施形態は種々の変形をしてもよい。なお、同一部材・同一部位には同一符号を付した。
【００２６】
図１に本実施形態に係るガラス製造装置の概略正面図を示す。ここで最初に図１を使用して、フュージョン法によるガラス成形品の製造方法について説明する。図１に示すように、成形部１の両端９，１０には、上流側支持部材２と下流側支持部材３がそれぞれ係合し、両端９，１０から内側方向へ圧力をかけることによって、成形部の上面４が直線状に保持されている。また上流側支持部材２には、溶融ガラスの導入路５が設けられている。
【００２７】
導入路５は、清澄された溶融ガラスを成形部１の溝部６に供給するために設けられていて、供給された溶融ガラスは、溝部６に沿って上流側支持部材２側から下流側支持部材３側に流動するとともに成形部１の上面４よりオーバーフローする。
【００２８】
オーバーフローした溶融ガラス(不図示)は、成形部１の側面７に沿って流れ、下端８において一体化し、下方に引っ張られることによって板状のガラス成形品が連続的に形成される。
【００２９】
次に本実施形態に係るガラス製造装置の成形部について説明する。図１において、成形部１は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成されている。すなわち、少なくとも溝部６の表面、上面４及び側面７の表面がイリジウム又はイリジウム合金で形成されている。さらに本実施形態に係るガラス製造装置の成形部１は、イリジウム又はイリジウム合金からなる表面のうち溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮断手段を有している。
【００３０】
イリジウム又はイリジウム合金は、溶融ガラスによる侵食を受けにくく、かつ、ガラス製造時の高温度においても高い剛性を有しているため、圧縮荷重によりクリープ変形も小さいため成形部の構造材料又は被覆材料として使用すると成形部の変形を防止することができ、成形部１は長期間、高品質のガラス成形品を製造することができる。
【００３１】
しかし、イリジウム又はイリジウム合金は高温度において大気中の酸素と反応して酸化され揮発し、消耗が進みやすい。そのため、本実施形態に係るガラス製造装置の成形部１では、溶融ガラスと接触していない部分は大気との接触を遮断する大気遮断手段を設けている。大気遮断手段を設けることによって、ガラス製造時の高温度においても、高い剛性を維持しつつ、消耗を抑制することができるため、高品質で精度の高いガラス成形品を長時間連続して製造することが可能となった。以下、成形部１について、５つの形態（第１実施形態から第５実施形態）に分けて説明する。大気遮断手段は各形態によって変形例があり、一緒に説明することとする。
【００３２】
第１実施形態から第５実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ａ,１ｂ,１ｃ,１ｄ,１ｅの断面概略図を、図２〜図６に示す。第１実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ａは、図２に示すように、一体型の成形部１ａであって、イリジウム又はイリジウム合金の単一材料によって成形部１ａ全体が形成されている。図１において、イリジウム又はイリジウム合金からなる成形部１の外表面であってガラスと接触しない表面としては、成形部１の両端９,１０がある。そこで、上流側支持部材２及び下流側支持部材３を大気遮蔽手段として、両端９,１０の端面及びその縁部が大気と接触しないように保護することが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金が高温度において大気中の酸素と反応して酸化され揮発し、消耗することを防止するためである。また、上流側支持部材２と下流側支持部材３は、成形部の両端９，１０から内側方向へ圧力をかけており、これによって成形部の上面４が直線状に保持されている。直線状に保持するためには、支持部材２，３による内側への圧力を調整する圧力調整手段（不図示）を設けることが好ましい。圧力調整手段は、例えば、支持部材２，３間の距離を調整するスライド機構である。クリープ変形の程度は温度によって変化するため、支持部材による内側への圧力は、圧力調整手段によって必要に応じて調整可能である。
【００３３】
第２実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｂは、図３に示すように、セラミックス材料若しくは金属材料で形成される構造体１５ａをイリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層１７によって被覆している構造を有する。なお、構造体１５ａはバルク体である。
【００３４】
一方、第３実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｃは、図４に示すように、セラミック材料若しくは金属材料で形成された構造体１５ｂが内部空間２１を有する中空構造である。この場合、成形部１ｃの軽量化をすることができる。
【００３５】
第２実施形態又は第３実施形態では、図３又は図４において、構造体１５ａ,１５ｂとそれを被覆しているイリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層１７との間隙３０に大気が侵入又は存在した場合に、イリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と反応して酸化され揮発するため、大気遮断手段として成形部１ｂ、１ｃの間隙３０に不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管（図１の配管１１）を設けることが好ましい。例えば、図１に示すように、成形部１ｂ,１ｃの両端９,１０の一方にガス供給用の配管１１を設ける。ここで供給された不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスは、成形部１ｂ,１ｃの構造上の間隙より排出されるが、成形部１ｂ,１ｃの両端９，１０の他方にガス排出用の配管１２をさらに設けてガスを排出してもよい。ここで不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層１７と酸素との接触を経済的に遮断することができる。また、不活性ガス中に混合する水素の比率は、０．１〜２０％が好ましい。さらに、成形部１ｂ,１ｃの両端９,１０の外表面のイリジウム又はイリジウム合金は溶融ガラスと接触しないため、第１実施形態と同様に、支持部材２,３も大気遮断手段とし、溶融ガラスとの非接触部分を大気から支持部材２,３によって遮断してイリジウム又はイリジウム合金を保護することが好ましい。
【００３６】
第４実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｄは、図５に示すように、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体１９ａの構造を有している。成形部の軽量化及び材料コストの低減のためには、成形部１ｄを中空構造とすることが好ましい。この場合、中空体１９ａの内部空間２１に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給することによって、中空体内面のイリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と接触して酸化され揮発することを防止することができる。したがって、大気遮断手段として中空構造の成形部１ｄの内部空間２１に不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管（図１の配管１１）を設けることが好ましい。第２実施形態と同様に、ガス排出用の配管１２をさらに設けてガスを排出してもよい。不活性ガスは窒素ガスであることが好ましい。さらに成形部１ｄにおいても、第１実施形態と同様に、支持部材２,３も大気遮断手段とすることが好ましい。
【００３７】
第５実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｅは、図６に示すように、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体１９ｂの内部空間２１に、金属又はセラミックス材料の梁２３が通されて成形部１ｅが支持されている。梁２３によって成形部１ｅの剛性を高めて変形を防止することができる。梁２３は、金属であれば加工性がよいため、断面が、Ｉ形（例えば図６に示した）、Ｈ形、Ｔ形、溝形、山形（Ｌ形）の部材を使用できる。また、成形部１ｅにおいても、第４実施形態と同様の大気遮断手段、すなわち、不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管を設けることが好ましい。また、ガス排出用の配管１２をさらに設けてもよい。不活性ガスは窒素ガスであることが好ましい。さらに第１実施形態と同様に、支持部材２,３も大気遮断手段とすることが好ましい。
【００３８】
ここで第２、第３及び第５実施形態におけるセラミックス材料の例としては、アルミナ系、ジルコン系、ムライト系、シリカアルミナ等の耐火物セラミックス材料が挙げられ、金属材料の例としては、高温で強度を有するイリジウム、イリジウム合金、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、ニッケル合金等の耐熱性金属材料が挙げられる。
【００３９】
本実施形態に係るガラス製造装置の成形部では、第１〜第５の実施形態のいずれも、支持部材２,３は耐火物材料、例えばアルミナ、ジルコニア、ジルコン、シリコンナイトライド、ボロンナイトライドからなることが好ましい。
【００４０】
本実施形態に係るガラス製造装置の成形部では、イリジウム又はイリジウム合金の被覆層１７の厚みが、０．５〜３．０ｍｍであることが好ましい。０．５ｍｍより薄いと、自重等によって板材が変形するおそれがあり、３．０ｍｍより厚いと板としての表面の平坦性を保つことが難しくなる。
【００４１】
本実施形態に係るイリジウム合金として適した組成を次に説明する。例えば、イリジウムにロジウムを添加することによって、強度向上及び揮発抑制の効果がある。また、レニウム、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、ジルコニウム又はハフニウムを１種類又はこれらのうち２種類以上を組み合わせて添加することによって、強度、加工性及び溶接性が向上する効果がある。上記の添加金属がイリジウムと固溶する範囲においてイリジウム合金を作製し、本実施形態に係るイリジウム合金として使用することが好ましい。
【００４２】
本実施形態に係るロジウムを含有したイリジウム合金では、ロジウムの含有量として０．５〜２５．０原子％、より好ましくは、５．０〜２０．０原子％である。なお、この場合、イリジウムの含有量は、７５.０〜９９．５原子％、好ましくは、８０.０〜９５.０％である。以下、イリジウムの含有量の記載は省略する。ロジウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、２５．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４３】
本実施形態に係るレニウムを含有したイリジウム合金では、レニウムの含有量として０．５〜４０．０原子％、より好ましくは、１．０〜１０．０原子％である。レニウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、４０．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４４】
本実施形態に係るモリブデンを含有したイリジウム合金では、モリブデンの含有量として０．５〜２３．０原子％、より好ましくは、１．０〜１０．０原子％である。モリブデンの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、２３．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４５】
本実施形態に係るタングステンを含有したイリジウム合金では、タングステンの含有量として０．５〜１９．０原子％、より好ましくは、５．０〜１５．０原子％である。タングステンの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、１９．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４６】
本実施形態に係るニオブを含有したイリジウム合金では、ニオブの含有量として０．５〜１６．０原子％、より好ましくは、１．０〜５．０原子％である。ニオブの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、１６．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４７】
本実施形態に係るタンタルを含有したイリジウム合金では、タンタルの含有量として０．５〜１６．０原子％、より好ましくは、１．０〜５．０原子％である。タンタルの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、１６．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４８】
本実施形態に係るジルコニウムを含有したイリジウム合金では、ジルコニウムの含有量として０．５〜７．０原子％、より好ましくは、０．５〜３．０原子％である。ジルコニウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、７．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４９】
本実施形態に係るハフニウムを含有したイリジウム合金では、ハフニウムの含有量として０．５〜９．５原子％、より好ましくは、０．５〜５．０原子％である。ハフニウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、９．５原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００５０】
本実施形態に係るガラス成形品の製造方法は、第１〜第５の各実施形態の成形部１ａ,１ｂ,１ｃ,１ｄ,１ｅを使用して製造する方法の他に、例えば、図１に示すようなフュージョン法を利用したガラス製造装置において、成形部１を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気として製造することもできる。この方法によれば、第１〜第５の各実施形態と同様に成形部のイリジウム又はイリジウム合金が大気と接触することが遮断されて、酸化され揮発することが抑制される。したがって長期間のガラス製造をすることができる。
【実施例】
【００５１】
図１に示すガラス製造装置において、図２、図３及び図６に示したガラス製造装置の成形部を作製し、イリジウム及びイリジウム合金で形成された箇所については、その加工状態（材料加工時の割れの有無、表面の平坦性）を確認した。その後、以下の条件で用いて、窒素ガス雰囲気で、成形部の両端９，１０に支持部材２，３によって内側へ圧力をかけながら、溶融したアルミノシリケートガラスを導入路５より成形部１の溝部６に供給し、上面４よりオーバーフローさせ、１００〜３００ｍ／時間の速度で下方に引っ張り、板ガラスを連続的に製造した。成形部の良否の判別は、連続１週間の使用後冷却、再度１週間使用したときの成形部の状態（表面の揮発の有無、上部の反りの有無）を目視することによって行なった。
【００５２】
（実施例１）
図２の成形部１をイリジウムで作製した。
【００５３】
（実施例２）
図２の成形部１ａをイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００５４】
（実施例３）
図２の成形部１ａをイリジウムにロジウムを２５原子％含有した合金で作製した。
【００５５】
（実施例４）
図２の成形部１ａをイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００５６】
（実施例５）
図２の成形部１ａをイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金で作製した。
【００５７】
（実施例６）
図２の成形部１ａをイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００５８】
（実施例７）
図２の成形部１ａをイリジウムにモリブデンを４０．０原子％含有した合金で作製した。
【００５９】
（実施例８）
図２の成形部１ａをイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６０】
（実施例９）
図２の成形部１ａをイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金で作製した。
【００６１】
（実施例１０）
図２の成形部１ａをイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６２】
（実施例１１）
図２の成形部１ａをイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金で作製した。
【００６３】
（実施例１２）
図２の成形部１ａをイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６４】
（実施例１３）
図２の成形部１ａをイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金で作製した。
【００６５】
（実施例１４）
図２の成形部１ａをイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６６】
（実施例１５）
図２の成形部１ａをイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金で作製した。
【００６７】
（実施例１６）
図２の成形部１ａをイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６８】
（実施例１７）
図２の成形部１ａをイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金で作製した。
【００６９】
（実施例１８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７０】
（実施例１９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７１】
（実施例２０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７２】
（実施例２１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７３】
（実施例２２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７４】
（実施例２３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７５】
（実施例２４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７６】
（実施例２５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７７】
（実施例２６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７８】
（実施例２７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７９】
（実施例２８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８０】
（実施例２９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８１】
（実施例３０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８２】
（実施例３１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８３】
（実施例３２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８４】
（実施例３３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８５】
（実施例３４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８６】
（実施例３５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８７】
（実施例３６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８８】
（実施例３７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８９】
（実施例３８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９０】
（実施例３９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９１】
（実施例４０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９２】
（実施例４１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９３】
（実施例４２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９４】
（実施例４３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９５】
（実施例４４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９６】
（実施例４５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９７】
（実施例４６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９８】
（実施例４７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９９】
（実施例４８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１００】
（実施例４９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０１】
（実施例５０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０２】
（実施例５１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０３】
(実施例５２)
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０４】
(実施例５３)
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０５】
（実施例５４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０６】
（実施例５５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０７】
（実施例５６）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０８】
（実施例５７）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０９】
（実施例５８）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１０】
（実施例５９）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１１】
（実施例６０）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１２】
（実施例６１）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１３】
（実施例６２）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１４】
（実施例６３）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１５】
（実施例６４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１６】
（実施例６５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１７】
（実施例６６）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１８】
（実施例６７）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１９】
（実施例６８）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２０】
（実施例６９）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２１】
（実施例７０）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２２】
（実施例７１）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２３】
（実施例７２）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２４】
（実施例７３）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２５】
（実施例７４）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２６】
（実施例７５）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２７】
（実施例７６）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２８】
（実施例７７）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２９】
（実施例７８）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３０】
（実施例７９）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３１】
（実施例８０）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３２】
（実施例８１）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３３】
（実施例８２）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３４】
（実施例８３）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３５】
（実施例８４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３６】
（実施例８５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３７】
（比較例１）
図２の成形部１ａをジルコンで作製した。
【０１３８】
（比較例２）
図２の成形部１ａをイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金で作製した。
【０１３９】
（比較例３）
図２の成形部１ａをイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金で作製した。
【０１４０】
（比較例４）
図２の成形部１ａをイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金で作製した。
【０１４１】
（比較例５）
図２の成形部１ａをイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金で作製した。
【０１４２】
（比較例６）
図２の成形部１ａをイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金で作製した。
【０１４３】
（比較例７）
図２の成形部１ａをイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金で作製した。
【０１４４】
（比較例８）
図２の成形部１ａをイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金で作製した。
【０１４５】
（比較例９）
図２の成形部１ａをイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金で作製した。
【０１４６】
（比較例１０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．３ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１４７】
（比較例１１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１４８】
（比較例１２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１４９】
（比較例１３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５０】
（比較例１４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５１】
（比較例１５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５２】
（比較例１６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５３】
（比較例１７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５４】
（比較例１８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５５】
（比較例１９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５６】
（比較例２０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５７】
（比較例２１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５８】
（比較例２２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５９】
（比較例２３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６０】
（比較例２４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６１】
（比較例２５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６２】
（比較例２６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６３】
（比較例２７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６４】
（比較例２８）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．３ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６５】
（比較例２９）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６６】
（比較例３０）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６７】
（比較例３１）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６８】
（比較例３２）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６９】
（比較例３３）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７０】
（比較例３４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７１】
（比較例３５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７２】
（比較例３６）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７３】
（比較例３７）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７４】
（比較例３８）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７５】
（比較例３９）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７６】
（比較例４０）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７７】
（比較例４１）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７８】
（比較例４２）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７９】
（比較例４３）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１８０】
（比較例４４）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１８１】
（比較例４５）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１８２】
（比較例４６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８３】
（比較例４７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８４】
（比較例４８）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８５】
（比較例４９）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８６】
【表１】
【０１８７】
【表２】
【０１８８】
【表３】
【０１８９】
【表４】
【０１９０】
結果を表１〜表４に示した。実施例１〜８５については、使用後冷却時及び再使用後も反り等もなく、問題がないことが確認されたが、比較例１、１０及び２８については、上部で反り等が確認され、再度使用することができなかった。また、比較例２〜９、１１及び２９については、表面の平坦性に差があり、ガラスの厚みが箇所によって差が生じる恐れがある為、使用することができなかった。また、比較例１２〜２７、比較例３０〜４５については、板材の加工時に割れが確認され、ガラス製造装置の成形部として使用することができなかった。また、比較例４６〜４９については、イリジウムの表面揮発が確認され、再度使用することができなかった。
【図面の簡単な説明】
【０１９１】
【図１】本発明の実施形態の一例を示すガラス製造装置の正面概略図である。
【図２】本発明の第１実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図３】本発明の第２実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図４】本発明の第３実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図５】本発明の第４実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図６】本発明の第５実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【符号の説明】
【０１９２】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ 成形部
２ 上流側支持部材
３ 下流側支持部材
４ 上面
５ 導入路
６ 溝部
７ 側面
８ 下端
９，１０ 側端
１１ ガス供給用配管
１２ ガス排出用配管
１５ａ、１５ｂ 構造体
１７ 被覆層
１９ａ、１９ｂ 中空体
２１ 内部空間
２３ 梁
３０ 間隙
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ表示基板用板ガラス等のガラス成形品を、フュージョン法を利用して作製するときに用いられるガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、溶融ガラスより連続的にガラス成形品を形成し、極めて薄い板厚の板ガラスを製造する方法として、フュージョン法が知られている。
【０００３】
フュージョン法は、まず、溶融した原料ガラスを樋形状の溝を有するアルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料で形成された成形部に流し込み、成形部の溝の容量以上に流し込むと溝側面の上端から溶融したガラスが溢れ出し、成形部の下端で合流したガラスを垂直方向に引き伸ばし、冷却して固めることによって板ガラスを製造する方法である。フュージョン法では、ガラスの成形時に無理な力がかからず、ガラスへのダメージを少なくして作製することができ、かつ、ガラス成形品の表面が自由表面のみで形成されるために液晶ディスプレイ表示基板用板ガラス等の高い平坦精度が要求されるガラス成形品を製造することに適した方法である（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
しかし、アルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料で形成された成形部は、ガラス成形品の幅に対応する成形部の長さが長くなればなるほど製作することが困難になる。このため幅の広い大型のガラス成形品を製造するための成形部の製作に際しては、一体成形が望ましいが大型のガラス成形の場合、一体成形が不可能になるのでまず成形部を長手方向に幾つかの部分に分けて製作した後で、これらを連結することによって一体とした成形部を製作しなければならない。したがって完成した大型ガラス成形品製造用の成形部には継ぎ目ができてしまう。このため成形されるガラス成形品について、継ぎ目における筋の発生を防止して平坦精度を確保するために、高い精度の研磨仕上げ又は白金によるカバーが必要になる。
【０００５】
さらにアルミナ系、ジルコン系等の耐火セラミックス材料からなる成形部は溶融ガラスとの接触によって侵食を受けるため、成形されるガラス成形品の平坦精度の低下等の経時的な品質低下を生じ、ガラス製造装置の連続使用時間を長くすることができなかった。
【０００６】
そのため、成形部の表面に白金又は白金合金を被覆することによって、耐火セラミックス材料からなる成形部が溶融ガラスとの接触によって侵食されることを抑制し、併せて大型成形品製造用の成形部が有する継ぎ目を保護する方法が提案されている（例えば、特許文献２又は３を参照。）。
【０００７】
【特許文献１】米国特許第３３３８６９６号明細書
【特許文献２】特開２００２−２５５５７５号公報
【特許文献３】特開２００７−１５３７１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし成形部は、耐火物からなる支持部材によって長手方向の両端で支えられているため、ガラス成形品の大型化が進むと、成形部及びガラスの自重によって中央付近に反りが発生する。その結果、成形部から溶融ガラスの溢れる位置によって下方への流量が変化するため、ガラスの厚みが異なる等、均質なガラスの成形が困難になるという問題があった。
【０００９】
また、白金又は白金合金は高温時における剛性が低いことから、成形部に白金又は白金合金を被覆した場合でも成形部の経時的な変形を防止することはできず、上記の問題を解決することはできなかった。
【００１０】
そこで本発明は、溶融ガラスとの接触による成形部の侵食の抑制と、高温時における成形部の剛性の保持を共に満たし、ガラス成形品の大小に関わらず、長時間、安定して製造できる、フュージョン法を利用するガラス製造装置の成形部及びそれを用いたガラス成形品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部の構造及び材料の組成を種々検討した結果、前記成形部における溶融ガラスとの接触部分を、イリジウム又はイリジウム合金で形成し、かつ、酸素との接触を避けることができる成形部であれば、白金又は白金合金と同様に溶融ガラスによる侵食を抑制することができ、かつ、高温度で高い剛性が得られることによって、上記問題を解決できることを見出し、発明を完成した。
【００１２】
すなわち本発明に係るガラス製造装置の成形部は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部において、前記成形部は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係るガラス製造装置の成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された構造を有するか、或いは、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有していてもよい。イリジウム又はイリジウム合金は高温度での剛性が高く、圧縮荷重によりクリープ変形も小さいため、成形部の構造材料又は被覆材料として使用すると成形部の変形を防止することができる。
【００１４】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の構造を有し、前記大気遮蔽手段は、前記中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管である場合が含まれる。成形部の軽量化のためにその内部を中空構造とすることが好ましい。このとき中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスの混合ガスを通気する配管を設けることによって、中空体内面のイリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と接触して酸化され揮発することを防止することができる。
【００１５】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有し、かつ、前記大気遮蔽手段は、前記構造体と前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管である場合が含まれる。前記配管を設けることによって、構造体とそれを被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙及び構造体中に存在する大気によってイリジウム又はイリジウム合金が酸化され揮発することを防止できる。
【００１６】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記大気遮蔽手段は、その外表面のうち溶融ガラスと接触していない表面部分を保護しつつ前記成形部を支持する耐火物材料からなる支持部材であることが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金からなる外表面のうち成形部の長手方向の両端面及びその縁部は溶融ガラスと接触しないため、支持部材によって大気との接触を遮断することによって、その外表面が酸化され揮発することを防止できる。
【００１７】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、大気遮蔽手段として不活性ガスを供給する配管を使用する場合、前記不活性ガスが、窒素ガスであることが好ましい。経済的に酸素を遮断することができる。
【００１８】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の内部空間に、金属又はセラミックスの梁が通されて前記成形部が支持されている場合が含まれる。成形部の剛性を高めて変形を防止できる。
【００１９】
本発明に係るガラス製造装置の成形部には、イリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造体はセラミックス又は金属で形成されてなり、前記成形部は前記構造体によって支持されている場合が含まれる。
【００２０】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記金属又はセラミックスの梁又は前記被覆されている構造体の材質がイリジウム又はイリジウム合金である場合が含まれる。
【００２１】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金の厚みが、０．５〜３．０ｍｍであることが好ましい。この厚みであれば成形部に十分な高温強度を付与することができる。
【００２２】
本発明に係るガラス製造装置の成形部では、前記支持部材によってかけられる両端から内側への圧力により、前記成形部の上面が直線状に保持されることが好ましい。成形部の高温度におけるクリープ変形をさらに防止できる。
【００２３】
本発明に係るガラス成形品の成形方法は、溶融ガラスの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金からなるガラス製造装置の成形部を用いて、フュージョン法によってガラス成形品を製造する方法において、前記成形部を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は、フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに、ガラス成形品の大小に関わらず、成形部及びガラスの自重による成形部の反りを低減でき、かつ、成形部が溶融ガラスとの接触によって侵食を受けることを低減できる。この結果、フュージョン法を利用してガラス成形品を長期間、安定して製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明について実施形態を示して詳細に説明するが本発明はこれらの記載に限定して解釈されない。本発明の効果を奏する限り、実施形態は種々の変形をしてもよい。なお、同一部材・同一部位には同一符号を付した。
【００２６】
図１に本実施形態に係るガラス製造装置の概略正面図を示す。ここで最初に図１を使用して、フュージョン法によるガラス成形品の製造方法について説明する。図１に示すように、成形部１の両端９，１０には、上流側支持部材２と下流側支持部材３がそれぞれ係合し、両端９，１０から内側方向へ圧力をかけることによって、成形部の上面４が直線状に保持されている。また上流側支持部材２には、溶融ガラスの導入路５が設けられている。
【００２７】
導入路５は、清澄された溶融ガラスを成形部１の溝部６に供給するために設けられていて、供給された溶融ガラスは、溝部６に沿って上流側支持部材２側から下流側支持部材３側に流動するとともに成形部１の上面４よりオーバーフローする。
【００２８】
オーバーフローした溶融ガラス(不図示)は、成形部１の側面７に沿って流れ、下端８において一体化し、下方に引っ張られることによって板状のガラス成形品が連続的に形成される。
【００２９】
次に本実施形態に係るガラス製造装置の成形部について説明する。図１において、成形部１は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成されている。すなわち、少なくとも溝部６の表面、上面４及び側面７の表面がイリジウム又はイリジウム合金で形成されている。さらに本実施形態に係るガラス製造装置の成形部１は、イリジウム又はイリジウム合金からなる表面のうち溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮断手段を有している。
【００３０】
イリジウム又はイリジウム合金は、溶融ガラスによる侵食を受けにくく、かつ、ガラス製造時の高温度においても高い剛性を有しているため、圧縮荷重によりクリープ変形も小さいため成形部の構造材料又は被覆材料として使用すると成形部の変形を防止することができ、成形部１は長期間、高品質のガラス成形品を製造することができる。
【００３１】
しかし、イリジウム又はイリジウム合金は高温度において大気中の酸素と反応して酸化され揮発し、消耗が進みやすい。そのため、本実施形態に係るガラス製造装置の成形部１では、溶融ガラスと接触していない部分は大気との接触を遮断する大気遮断手段を設けている。大気遮断手段を設けることによって、ガラス製造時の高温度においても、高い剛性を維持しつつ、消耗を抑制することができるため、高品質で精度の高いガラス成形品を長時間連続して製造することが可能となった。以下、成形部１について、５つの形態（第１実施形態から第５実施形態）に分けて説明する。大気遮断手段は各形態によって変形例があり、一緒に説明することとする。
【００３２】
第１実施形態から第５実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ａ,１ｂ,１ｃ,１ｄ,１ｅの断面概略図を、図２〜図６に示す。第１実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ａは、図２に示すように、一体型の成形部１ａであって、イリジウム又はイリジウム合金の単一材料によって成形部１ａ全体が形成されている。図１において、イリジウム又はイリジウム合金からなる成形部１の外表面であってガラスと接触しない表面としては、成形部１の両端９,１０がある。そこで、上流側支持部材２及び下流側支持部材３を大気遮蔽手段として、両端９,１０の端面及びその縁部が大気と接触しないように保護することが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金が高温度において大気中の酸素と反応して酸化され揮発し、消耗することを防止するためである。また、上流側支持部材２と下流側支持部材３は、成形部の両端９，１０から内側方向へ圧力をかけており、これによって成形部の上面４が直線状に保持されている。直線状に保持するためには、支持部材２，３による内側への圧力を調整する圧力調整手段（不図示）を設けることが好ましい。圧力調整手段は、例えば、支持部材２，３間の距離を調整するスライド機構である。クリープ変形の程度は温度によって変化するため、支持部材による内側への圧力は、圧力調整手段によって必要に応じて調整可能である。
【００３３】
第２実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｂは、図３に示すように、セラミックス材料若しくは金属材料で形成される構造体１５ａをイリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層１７によって被覆している構造を有する。なお、構造体１５ａはバルク体である。
【００３４】
一方、第３実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｃは、図４に示すように、セラミック材料若しくは金属材料で形成された構造体１５ｂが内部空間２１を有する中空構造である。この場合、成形部１ｃの軽量化をすることができる。
【００３５】
第２実施形態又は第３実施形態では、図３又は図４において、構造体１５ａ,１５ｂとそれを被覆しているイリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層１７との間隙３０に大気が侵入又は存在した場合に、イリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と反応して酸化され揮発するため、大気遮断手段として成形部１ｂ、１ｃの間隙３０に不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管（図１の配管１１）を設けることが好ましい。例えば、図１に示すように、成形部１ｂ,１ｃの両端９,１０の一方にガス供給用の配管１１を設ける。ここで供給された不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスは、成形部１ｂ,１ｃの構造上の間隙より排出されるが、成形部１ｂ,１ｃの両端９，１０の他方にガス排出用の配管１２をさらに設けてガスを排出してもよい。ここで不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。イリジウム又はイリジウム合金からなる被覆層１７と酸素との接触を経済的に遮断することができる。また、不活性ガス中に混合する水素の比率は、０．１〜２０％が好ましい。さらに、成形部１ｂ,１ｃの両端９,１０の外表面のイリジウム又はイリジウム合金は溶融ガラスと接触しないため、第１実施形態と同様に、支持部材２,３も大気遮断手段とし、溶融ガラスとの非接触部分を大気から支持部材２,３によって遮断してイリジウム又はイリジウム合金を保護することが好ましい。
【００３６】
第４実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｄは、図５に示すように、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体１９ａの構造を有している。成形部の軽量化及び材料コストの低減のためには、成形部１ｄを中空構造とすることが好ましい。この場合、中空体１９ａの内部空間２１に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給することによって、中空体内面のイリジウム又はイリジウム合金が大気中の酸素と接触して酸化され揮発することを防止することができる。したがって、大気遮断手段として中空構造の成形部１ｄの内部空間２１に不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管（図１の配管１１）を設けることが好ましい。第２実施形態と同様に、ガス排出用の配管１２をさらに設けてガスを排出してもよい。不活性ガスは窒素ガスであることが好ましい。さらに成形部１ｄにおいても、第１実施形態と同様に、支持部材２,３も大気遮断手段とすることが好ましい。
【００３７】
第５実施形態に係るガラス製造装置の成形部１ｅは、図６に示すように、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体１９ｂの内部空間２１に、金属又はセラミックス材料の梁２３が通されて成形部１ｅが支持されている。梁２３によって成形部１ｅの剛性を高めて変形を防止することができる。梁２３は、金属であれば加工性がよいため、断面が、Ｉ形（例えば図６に示した）、Ｈ形、Ｔ形、溝形、山形（Ｌ形）の部材を使用できる。また、成形部１ｅにおいても、第４実施形態と同様の大気遮断手段、すなわち、不活性ガス又は不活性ガスと水素との混合ガスを供給する配管を設けることが好ましい。また、ガス排出用の配管１２をさらに設けてもよい。不活性ガスは窒素ガスであることが好ましい。さらに第１実施形態と同様に、支持部材２,３も大気遮断手段とすることが好ましい。
【００３８】
ここで第２、第３及び第５実施形態におけるセラミックス材料の例としては、アルミナ系、ジルコン系、ムライト系、シリカアルミナ等の耐火物セラミックス材料が挙げられ、金属材料の例としては、高温で強度を有するイリジウム、イリジウム合金、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、ニッケル合金等の耐熱性金属材料が挙げられる。
【００３９】
本実施形態に係るガラス製造装置の成形部では、第１〜第５の実施形態のいずれも、支持部材２,３は耐火物材料、例えばアルミナ、ジルコニア、ジルコン、シリコンナイトライド、ボロンナイトライドからなることが好ましい。
【００４０】
本実施形態に係るガラス製造装置の成形部では、イリジウム又はイリジウム合金の被覆層１７の厚みが、０．５〜３．０ｍｍであることが好ましい。０．５ｍｍより薄いと、自重等によって板材が変形するおそれがあり、３．０ｍｍより厚いと板としての表面の平坦性を保つことが難しくなる。
【００４１】
本実施形態に係るイリジウム合金として適した組成を次に説明する。例えば、イリジウムにロジウムを添加することによって、強度向上及び揮発抑制の効果がある。また、レニウム、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、ジルコニウム又はハフニウムを１種類又はこれらのうち２種類以上を組み合わせて添加することによって、強度、加工性及び溶接性が向上する効果がある。上記の添加金属がイリジウムと固溶する範囲においてイリジウム合金を作製し、本実施形態に係るイリジウム合金として使用することが好ましい。
【００４２】
本実施形態に係るロジウムを含有したイリジウム合金では、ロジウムの含有量として０．５〜２５．０原子％、より好ましくは、５．０〜２０．０原子％である。なお、この場合、イリジウムの含有量は、７５.０〜９９．５原子％、好ましくは、８０.０〜９５.０％である。以下、イリジウムの含有量の記載は省略する。ロジウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、２５．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４３】
本実施形態に係るレニウムを含有したイリジウム合金では、レニウムの含有量として０．５〜４０．０原子％、より好ましくは、１．０〜１０．０原子％である。レニウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、４０．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４４】
本実施形態に係るモリブデンを含有したイリジウム合金では、モリブデンの含有量として０．５〜２３．０原子％、より好ましくは、１．０〜１０．０原子％である。モリブデンの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、２３．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４５】
本実施形態に係るタングステンを含有したイリジウム合金では、タングステンの含有量として０．５〜１９．０原子％、より好ましくは、５．０〜１５．０原子％である。タングステンの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、１９．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４６】
本実施形態に係るニオブを含有したイリジウム合金では、ニオブの含有量として０．５〜１６．０原子％、より好ましくは、１．０〜５．０原子％である。ニオブの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、１６．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４７】
本実施形態に係るタンタルを含有したイリジウム合金では、タンタルの含有量として０．５〜１６．０原子％、より好ましくは、１．０〜５．０原子％である。タンタルの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、１６．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４８】
本実施形態に係るジルコニウムを含有したイリジウム合金では、ジルコニウムの含有量として０．５〜７．０原子％、より好ましくは、０．５〜３．０原子％である。ジルコニウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、７．０原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００４９】
本実施形態に係るハフニウムを含有したイリジウム合金では、ハフニウムの含有量として０．５〜９．５原子％、より好ましくは、０．５〜５．０原子％である。ハフニウムの含有量が０．５原子％より少ないと、熱歪みにより変形が生じてしまう。また、９．５原子％より多いと、強度があるために変形しづらく、製品の加工時に割れの発生等が起こってしまう。
【００５０】
本実施形態に係るガラス成形品の製造方法は、第１〜第５の各実施形態の成形部１ａ,１ｂ,１ｃ,１ｄ,１ｅを使用して製造する方法の他に、例えば、図１に示すようなフュージョン法を利用したガラス製造装置において、成形部１を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気として製造することもできる。この方法によれば、第１〜第５の各実施形態と同様に成形部のイリジウム又はイリジウム合金が大気と接触することが遮断されて、酸化され揮発することが抑制される。したがって長期間のガラス製造をすることができる。
【実施例】
【００５１】
図１に示すガラス製造装置において、図２、図３及び図６に示したガラス製造装置の成形部を作製し、イリジウム及びイリジウム合金で形成された箇所については、その加工状態（材料加工時の割れの有無、表面の平坦性）を確認した。その後、以下の条件で用いて、窒素ガス雰囲気で、成形部の両端９，１０に支持部材２，３によって内側へ圧力をかけながら、溶融したアルミノシリケートガラスを導入路５より成形部１の溝部６に供給し、上面４よりオーバーフローさせ、１００〜３００ｍ／時間の速度で下方に引っ張り、板ガラスを連続的に製造した。成形部の良否の判別は、連続１週間の使用後冷却、再度１週間使用したときの成形部の状態（表面の揮発の有無、上部の反りの有無）を目視することによって行なった。
【００５２】
（実施例１）
図２の成形部１をイリジウムで作製した。
【００５３】
（実施例２）
図２の成形部１ａをイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００５４】
（実施例３）
図２の成形部１ａをイリジウムにロジウムを２５原子％含有した合金で作製した。
【００５５】
（実施例４）
図２の成形部１ａをイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００５６】
（実施例５）
図２の成形部１ａをイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金で作製した。
【００５７】
（実施例６）
図２の成形部１ａをイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００５８】
（実施例７）
図２の成形部１ａをイリジウムにモリブデンを４０．０原子％含有した合金で作製した。
【００５９】
（実施例８）
図２の成形部１ａをイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６０】
（実施例９）
図２の成形部１ａをイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金で作製した。
【００６１】
（実施例１０）
図２の成形部１ａをイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６２】
（実施例１１）
図２の成形部１ａをイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金で作製した。
【００６３】
（実施例１２）
図２の成形部１ａをイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６４】
（実施例１３）
図２の成形部１ａをイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金で作製した。
【００６５】
（実施例１４）
図２の成形部１ａをイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６６】
（実施例１５）
図２の成形部１ａをイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金で作製した。
【００６７】
（実施例１６）
図２の成形部１ａをイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金で作製した。
【００６８】
（実施例１７）
図２の成形部１ａをイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金で作製した。
【００６９】
（実施例１８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７０】
（実施例１９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７１】
（実施例２０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７２】
（実施例２１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７３】
（実施例２２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７４】
（実施例２３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７５】
（実施例２４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７６】
（実施例２５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７７】
（実施例２６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７８】
（実施例２７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００７９】
（実施例２８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８０】
（実施例２９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８１】
（実施例３０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８２】
（実施例３１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８３】
（実施例３２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８４】
（実施例３３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８５】
（実施例３４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８６】
（実施例３５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８７】
（実施例３６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８８】
（実施例３７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００８９】
（実施例３８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９０】
（実施例３９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９１】
（実施例４０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９２】
（実施例４１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９３】
（実施例４２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９４】
（実施例４３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９５】
（実施例４４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９６】
（実施例４５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９７】
（実施例４６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９８】
（実施例４７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【００９９】
（実施例４８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１００】
（実施例４９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０１】
（実施例５０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０２】
（実施例５１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０３】
(実施例５２)
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０４】
(実施例５３)
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０５】
（実施例５４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０６】
（実施例５５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０７】
（実施例５６）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０８】
（実施例５７）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２５．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１０９】
（実施例５８）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１０】
（実施例５９）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１１】
（実施例６０）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１２】
（実施例６１）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４０．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１３】
（実施例６２）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１４】
（実施例６３）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１５】
（実施例６４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１６】
（実施例６５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２３．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１７】
（実施例６６）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１８】
（実施例６７）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１１９】
（実施例６８）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２０】
（実施例６９）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを１９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２１】
（実施例７０）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２２】
（実施例７１）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２３】
（実施例７２）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２４】
（実施例７３）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２５】
（実施例７４）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２６】
（実施例７５）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２７】
（実施例７６）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２８】
（実施例７７）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１６．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１２９】
（実施例７８）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３０】
（実施例７９）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３１】
（実施例８０）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３２】
（実施例８１）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを７．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３３】
（実施例８２）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３４】
（実施例８３）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３５】
（実施例８４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを０．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３６】
（実施例８５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを９．５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１３７】
（比較例１）
図２の成形部１ａをジルコンで作製した。
【０１３８】
（比較例２）
図２の成形部１ａをイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金で作製した。
【０１３９】
（比較例３）
図２の成形部１ａをイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金で作製した。
【０１４０】
（比較例４）
図２の成形部１ａをイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金で作製した。
【０１４１】
（比較例５）
図２の成形部１ａをイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金で作製した。
【０１４２】
（比較例６）
図２の成形部１ａをイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金で作製した。
【０１４３】
（比較例７）
図２の成形部１ａをイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金で作製した。
【０１４４】
（比較例８）
図２の成形部１ａをイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金で作製した。
【０１４５】
（比較例９）
図２の成形部１ａをイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金で作製した。
【０１４６】
（比較例１０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．３ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１４７】
（比較例１１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１４８】
（比較例１２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１４９】
（比較例１３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５０】
（比較例１４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５１】
（比較例１５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５２】
（比較例１６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５３】
（比較例１７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５４】
（比較例１８）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５５】
（比較例１９）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５６】
（比較例２０）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５７】
（比較例２１）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５８】
（比較例２２）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１５９】
（比較例２３）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６０】
（比較例２４）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６１】
（比較例２５）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６２】
（比較例２６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６３】
（比較例２７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６４】
（比較例２８）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．３ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６５】
（比較例２９）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６６】
（比較例３０）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６７】
（比較例３１）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにロジウムを２７原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６８】
（比較例３２）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１６９】
（比較例３３）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにレニウムを４２原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７０】
（比較例３４）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７１】
（比較例３５）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにモリブデンを２５原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７２】
（比較例３６）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７３】
（比較例３７）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタングステンを２１原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７４】
（比較例３８）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７５】
（比較例３９）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにニオブを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７６】
（比較例４０）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７７】
（比較例４１）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにタンタルを１８原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７８】
（比較例４２）
図６の梁２３にジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１７９】
（比較例４３）
図６の梁２３にイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムにジルコニウムを９．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１８０】
（比較例４４）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を０．５ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１８１】
（比較例４５）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムにハフニウムを１１．０原子％含有した合金を３．０ｍｍの厚さで被覆して作製した。
【０１８２】
（比較例４６）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてジルコンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８３】
（比較例４７）
図３の成形部１ｂの構造体１５ａとしてイリジウムを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８４】
（比較例４８）
図６の梁２３にモリブデンを用い、その被覆層１７にイリジウムを０．５ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８５】
（比較例４９）
図６の梁２３にタングステンを用い、その被覆層１７にイリジウムを３．０ｍｍの厚さで被覆して作製し、大気雰囲気で溶解した。
【０１８６】
【表１】
【０１８７】
【表２】
【０１８８】
【表３】
【０１８９】
【表４】
【０１９０】
結果を表１〜表４に示した。実施例１〜８５については、使用後冷却時及び再使用後も反り等もなく、問題がないことが確認されたが、比較例１、１０及び２８については、上部で反り等が確認され、再度使用することができなかった。また、比較例２〜９、１１及び２９については、表面の平坦性に差があり、ガラスの厚みが箇所によって差が生じる恐れがある為、使用することができなかった。また、比較例１２〜２７、比較例３０〜４５については、板材の加工時に割れが確認され、ガラス製造装置の成形部として使用することができなかった。また、比較例４６〜４９については、イリジウムの表面揮発が確認され、再度使用することができなかった。
【図面の簡単な説明】
【０１９１】
【図１】本発明の実施形態の一例を示すガラス製造装置の正面概略図である。
【図２】本発明の第１実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図３】本発明の第２実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図４】本発明の第３実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図５】本発明の第４実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【図６】本発明の第５実施形態を示すガラス製造装置の成形部の断面概略図である。
【符号の説明】
【０１９２】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ 成形部
２ 上流側支持部材
３ 下流側支持部材
４ 上面
５ 導入路
６ 溝部
７ 側面
８ 下端
９，１０ 側端
１１ ガス供給用配管
１２ ガス排出用配管
１５ａ、１５ｂ 構造体
１７ 被覆層
１９ａ、１９ｂ 中空体
２１ 内部空間
２３ 梁
３０ 間隙
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部において、前記成形部は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とするガラス製造装置の成形部。
【請求項２】
前記成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された構造を有するか、或いは、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有することを特徴とする請求項１に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項３】
前記成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の構造を有し、前記大気遮蔽手段は、前記中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項４】
前記成形部は、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有し、かつ、前記大気遮蔽手段は、前記構造体と前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項５】
前記大気遮蔽手段は、前記成形部の外表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分を保護しつつ前記成形部を支持する耐火物材料からなる支持部材であることを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項６】
前記不活性ガスが、窒素ガスであることを特徴とする請求項３又は４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項７】
前記イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の内部空間に、金属又はセラミックスの梁が通されて前記成形部が支持されていることを特徴とする請求項３に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項８】
前記イリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造体はセラミックス又は金属で形成されてなり、前記成形部は前記構造体によって支持されていることを特徴とする請求項４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項９】
前記金属がイリジウム又はイリジウム合金であることを特徴とする請求項７又は８に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項１０】
前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金の厚みが、０．５〜３．０ｍｍであることを特徴とする請求項２又は４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項１１】
前記成形部は、前記支持部材によってかけられる両端から内側への圧力により、前記成形部の上面が直線状に保持されることを特徴とする請求項５に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項１２】
溶融ガラスの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金からなるガラス製造装置の成形部を用いて、フュージョン法によってガラス成形品を製造する方法において、前記成形部を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気とすることを特徴とするガラス成形品の製造方法。
【請求項１】
フュージョン法を利用してガラス成形品を製造するときに用いられるガラス製造装置の成形部において、前記成形部は、溶融ガラスとの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金で形成され、かつ、前記イリジウム又はイリジウム合金からなる部分の表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分と大気との接触を遮断する大気遮蔽手段を有することを特徴とするガラス製造装置の成形部。
【請求項２】
前記成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された構造を有するか、或いは、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有することを特徴とする請求項１に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項３】
前記成形部は、イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の構造を有し、前記大気遮蔽手段は、前記中空体の内部空間に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項４】
前記成形部は、構造体をイリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造を有し、かつ、前記大気遮蔽手段は、前記構造体と前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金との間隙に不活性ガス又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガスを供給するための配管であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項５】
前記大気遮蔽手段は、前記成形部の外表面のうち前記溶融ガラスと接触していない表面部分を保護しつつ前記成形部を支持する耐火物材料からなる支持部材であることを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項６】
前記不活性ガスが、窒素ガスであることを特徴とする請求項３又は４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項７】
前記イリジウム又はイリジウム合金で形成された中空体の内部空間に、金属又はセラミックスの梁が通されて前記成形部が支持されていることを特徴とする請求項３に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項８】
前記イリジウム又はイリジウム合金が被覆している構造体はセラミックス又は金属で形成されてなり、前記成形部は前記構造体によって支持されていることを特徴とする請求項４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項９】
前記金属がイリジウム又はイリジウム合金であることを特徴とする請求項７又は８に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項１０】
前記被覆しているイリジウム又はイリジウム合金の厚みが、０．５〜３．０ｍｍであることを特徴とする請求項２又は４に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項１１】
前記成形部は、前記支持部材によってかけられる両端から内側への圧力により、前記成形部の上面が直線状に保持されることを特徴とする請求項５に記載のガラス製造装置の成形部。
【請求項１２】
溶融ガラスの接触部分がイリジウム又はイリジウム合金からなるガラス製造装置の成形部を用いて、フュージョン法によってガラス成形品を製造する方法において、前記成形部を取り囲む製造雰囲気を、不活性ガス雰囲気又は水素ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気とすることを特徴とするガラス成形品の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００９−３５４６６（Ｐ２００９−３５４６６Ａ）
【公開日】平成２１年２月１９日（２００９．２．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２０３６８８（Ｐ２００７−２０３６８８）
【出願日】平成１９年８月３日（２００７．８．３）
【出願人】（０００１３６５６１）株式会社フルヤ金属 (48)
【公開日】平成２１年２月１９日（２００９．２．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年８月３日（２００７．８．３）
【出願人】（０００１３６５６１）株式会社フルヤ金属 (48)
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