ファンフィルタユニットの制御装置
【課題】可変抵抗器でモータ回転数を設定するＤＣモータ搭載のファンフィルタユニットにおいて、一つの可変抵抗器で設定回転数の粗調整と微調整との両方を可能にする。
【解決手段】手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段１と、この回転数設定手段１の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段２と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段７と、この切換手段７の出力先を決定する切換先設定手段２０と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段４と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段４からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段３からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものである。
【解決手段】手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段１と、この回転数設定手段１の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段２と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段７と、この切換手段７の出力先を決定する切換先設定手段２０と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段４と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段４からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段３からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットの風量を可変させる制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットは、半導体などの製造装置に組み込まれて、またはクリーンルームの天井部などに設置されて運転され、一定の空間を清浄化している。このファンフィルタユニットは、半導体製造装置やクリーンルームの稼動情況や、設置場所に応じて風量を調節して使用される。通常、ファンはブラシレスＤＣモータで駆動され、マイコンで構成された制御回路が回転数を制御している。従来、このような回転数の設定は、特開平７−３３２７１７号公報（特許文献１）に示すように、手動で操作する可変抵抗器で、０〜１０Ｖの電圧信号をつくり、この電圧をＡ／Ｄ変換回路でディジタル信号に変換してマイコンに与えることで行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３３２７１７号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来の可変抵抗器を手動操作して回転数を設定するファンフィルタユニットでは、回転数を設定する場合、家庭用電気製品で使用される安価な可変抵抗器では操作角度が３００度前後であり、設定する回転数は０〜数１０００回転となり、僅かの操作で設定回転数が大幅に変化するため、設定回転数を微調整することが困難であった。
【０００５】
本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの回転数の設定に関する課題を解決するものであり、安価で回転数を微調整できるファンフィルタユニットの制御装置を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファンフィルタユニットの制御装置は、上記目的を達成するために、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段と、この切換手段の出力先を決定する切換先設定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものである。
【０００７】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【０００８】
また他の手段は、前記切換先設定手段を、手動操作する切換スイッチで構成したものである。
【０００９】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１０】
また他の手段は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し入力値の変化後、所定時間経過後に切換信号を出力する時間カウント手段で構成したものである。
【００１１】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１２】
また他の手段は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントして所定回数を超えたときに切換信号を出力する０Ｖ電圧カウント手段で構成したものである。
【００１３】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１４】
また他の手段は、前記各種構成に対して、前記切換手段からの信号を入力して切換先を表示する表示手段を設けたものである。
【００１５】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、表示手段により微調整モードであることを目視で確認することができ操作性が向上する。
【００１６】
また他の手段は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、微調整量設定手段と、この微調整量設定手段の出力信号に応じて微調整量を決定する第二の微調整量決定手段と、Ａ／Ｄ変換値と前記第二の微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものである。
【００１７】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、微調整量設定手段で微調整量を設定できるため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１８】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、手動で操作する微調整量設定スイッチで構成したものである。
【００１９】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、微調整量設定スイッチで微調整量を設定できるため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００２０】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、手動で操作する微調整量設定スイッチと、第二の微調整量設定スイッチとで構成したものである。
【００２１】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、微調整量設定スイッチで微調整量を設定できるため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。また、二つのスイッチで、プラスとマイナスの微調整が可能になり操作性が向上する。
【００２２】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段で構成したものである。
【００２３】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、可変抵抗器を所定の特殊な操作をすることで、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００２４】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段と、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段とで構成したものである。
【００２５】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、可変抵抗器を所定の特殊な操作をすることで、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、特殊な操作を二つ設けたことで、プラスとマイナスの微調整が可能となり操作性が向上する。
【００２６】
また他の手段は、前記各構成に対して、前記回転数決定手段で決定した回転数を保持する回転数記憶手段を設けた構成としたものである。
【００２７】
この構成により、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、停電やメンテナンスなどで、電源をしゃ断したときでも、電源再投入時に前回の設定回転数に復帰するため操作性が向上する。
【００２８】
また他の手段は、前記各構成に対して、前記回転数決定手段で決定した回転数をパルス出力する回転数パルス出力手段を設けた構成としたものである。
【００２９】
この構成により、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、設定回転数をディジタル測定できるため操作性が向上する。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、１つの可変抵抗器を切換先設定手段で粗調整と微調整とに切換える構成としたため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施の形態１のブロック図
【図２】本発明の実施の形態１の切換スイッチを用いたブロック図
【図３】本発明の実施の形態１の時間カウント手段を用いたブロック図
【図４】本発明の実施の形態１の０Ｖ電圧カウント手段を用いたブロック図
【図５】本発明の実施の形態１の表示手段を用いたブロック図
【図６】本発明の実施の形態２のブロック図
【図７】本発明の実施の形態２の微調整量設定スイッチを用いたブロック図
【図８】本発明の実施の形態２の微調整量設定スイッチと第二の微調整量設定スイッチを用いたブロック図
【図９】本発明の実施の形態２の第二の０Ｖカウント手段を用いたブロック図
【図１０】本発明の実施の形態２の第二の０Ｖ電圧カウント手段とＭＡＸ電圧カウント手段とを用いたブロック図
【図１１】本発明の実施の形態２の回転数記憶手段を用いたブロック図
【図１２】本発明の実施の形態２の回転数パルス出力手段を用いたブロック図
【図１３】本発明の実施の形態１の回転数設定手段の構成を示す図
【図１４】本発明の実施の形態１の時間カウント手段の動作を示す図
【図１５】本発明の実施の形態１の０Ｖ電圧カウント手段の動作を示す図
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明の請求項１記載の発明は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段と、この切換手段の出力先を決定する切換先設定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３３】
本発明の請求項２記載の発明は、前記切換先設定手段を、手動操作する切換スイッチで構成したものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３４】
本発明の請求項３記載の発明は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し入力値の変化後、所定時間経過後に切換信号を出力する時間カウント手段で構成したものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３５】
本発明の請求項４記載の発明は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントして所定回数を超えたときに切換信号を出力する０Ｖ電圧カウント手段で構成したもので、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３６】
本発明の請求項５記載の発明は、前記切換手段からの信号を入力して切換先を表示する表示手段を設けた構成としたものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用と、切換状態を表示するという作用を有する。
【００３７】
本発明の請求項６記載の発明は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、微調整量設定手段と、この微調整量設定手段の出力信号に応じて微調整量を決定する第二の微調整量決定手段と、Ａ／Ｄ変換値と前記第二の微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものであり、微調整量設定手段で微調整するという作用を有する。
【００３８】
本発明の請求項７記載の発明は、前記微調整量設定手段を、手動で操作する微調整量設定スイッチで構成したものであり、微調整量設定スイッチで微調整をするという作用を有する。
【００３９】
本発明の請求項８記載の発明は、前記微調整量設定手段は、手動で操作する微調整量設定スイッチと、第二の微調整量設定スイッチとで構成したものであり、二つの微調整量設定スイッチでプラスとマイナスの微調整をするという作用を有する。
【００４０】
本発明の請求項９記載の発明は、前記微調整量設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段で構成したものであり、可変抵抗器の所定の特殊な操作で微調整をするという作用を有する。
【００４１】
本発明の請求項１０記載の発明は、前記微調整量設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段と、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段とで構成したものであり、可変抵抗器の所定の二つの特殊な操作でプラスとマイナスの微調整をするという作用を有する。
【００４２】
本発明の請求項１１記載の発明は、前記回転数決定手段で決定した回転数を保持する回転数記憶手段を設けた構成にしたものであり、請求項１〜１０の作用に加えて、停電復帰時に前回の設定回転数を維持するという作用を有する。
【００４３】
本発明の請求項１２記載の発明は、前記回転数決定手段で決定した回転数をパルス出力する回転数パルス出力手段を設けた構成にしたものであり、請求項１〜１１の作用に加えて、回転数をディジタル測定するという作用を有する。
【００４４】
（実施の形態１）
図１に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段１と、この回転数設定手段１の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段２と、切換先設定手段２０によりＡ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段７と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段４と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段４からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段３からの回転数指示に従いモータ６を制御するモータ制御手段５とを有する構成となっている。
【００４５】
回転数設定手段１は図１３に示すように、可変抵抗器１９からなり、この可変抵抗器１９のつまみを回すことで、０〜１０Ｖの電圧を出力する。この可変抵抗器１９は家庭用電気製品などに使用される一般的なもので、つまみの回転角度は３００度前後である。設定回転数は、例えば、０Ｖで最低回転数、１０Ｖで最高回転数の設定にしている。
【００４６】
Ａ／Ｄ変換手段２は、０〜１０Ｖ電圧をＡ／Ｄ変換してディジタル信号で切換手段７に出力する。切換手段７は、切換先設定手段２０の出力信号（オン・オフ）に応じて、Ａ／Ｄ変換したディジタル信号を、回転数決定手段３、または微調整量決定手段４に出力する。例えば、切換先設定手段２０の出力信号がオフの場合は回転数決定手段３に出力し、切換先設定手段２０の出力信号がオンの場合は微調整量決定手段４に出力する。回転数決定手段３は、Ａ／Ｄ変換手段２の出力を切換手段７を介して得た回転数設定信号と、微調整量決定手段４より得た回転数の微調整量とを加味して設定回転数を決定し、モータ制御手段５に信号出力する。モータ制御手段５はこの設定回転数にてモータ６の回転数制御をする。
【００４７】
上記構成によれば、切換先設定手段２０の出力信号をオフの状態で、設定回転数を粗調整した後、切換先設定手段２０の出力信号をオンにして、設定回転数を微調整することで、目標とする回転数を設定することになるので、ひとつの調整手段によって、粗調整と微調整とができる。すなわち、粗調整によって目標とする回転数に素早く近づけることができ、微調整によって目標とする回転数に正確に設定することが可能となるものである。
【００４８】
図２では、切換先設定手段２０を切換スイッチ８で構成している。
【００４９】
この場合には、切換スイッチ８をオフにして設定回転数を粗調整した後、切換スイッチ８をオフにして設定回転数を微調整することで、目標とする回転数を設定することになる。
【００５０】
図３では、切換先設定手段２０を時間カウント手段９で構成している。
【００５１】
この時間カウント手段９は、回転数設定手段１の出力を監視して、切換手段７にオン・オフの信号を出力するものである。時間カウント手段９は、例えば図１４に示すように、その出力は通常はオフであるが、回転数設定手段１の出力電圧が変化して、その後一定になると、例えば、その１秒後に出力がある一定時間（例えば１分間）オンとなるような機能を有している。即ち、回転数設定手段１を操作して設定回転数を粗調整し、１秒間待った後、可変抵抗器を回すことで微調整ができることになる。
【００５２】
図４では、切換先設定手段２０を０Ｖ電圧カウント手段１０で構成している。
【００５３】
この０Ｖ電圧カウント手段１０は、回転数設定手段１の出力を監視し、切換手段７にオン・オフの信号を出力するものである。０Ｖ電圧カウント手段１０は、例えば、図１５に示すように、その出力は通常はオフであるが、回転数設定手段１の出力電圧が０Ｖになる回数が、ある一定時間（例えば１０秒間）中に、３回になると、出力がある一定時間（例えば１分間）オンとなるような機能を有している。
【００５４】
即ち、回転数設定手段１を操作して設定回転数を粗調整し、その後可変抵抗器のつまみを最小方向に３回まわすことで、設定回転数を微調整することができることになる。
【００５５】
また、図５では、例えばＬＥＤで構成した表示手段１１を設け、切換手段７の切換状態に応じて表示手段１１のＬＥＤを点灯・消灯制御するような構成となっている。
【００５６】
この場合では、例えば切換手段７は、表示手段１１を次のように制御する。設定回転数の粗調整状態の場合は表示手段１１のＬＥＤを消灯し、設定回転数の微調整状態の場合は、表示手段１１のＬＥＤを点灯するようになる。
【００５７】
（実施の形態２）
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。第１の実施の形態と同じ構成については、同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５８】
図６に示すように、本発明の第２の実施の形態によるファンフィルタユニットの制御装置は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段１と、この回転数設定手段１の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段２と、微調整量設定手段２２と、この微調整量設定手段２２の信号を入力して設定回転数の微調整量を決定する第二の微調整量決定手段２１と、Ａ／Ｄ変換手段２の出力と前記第二の微調整量決定手段２１からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータ６を制御するモータ制御手段５とを有する構成となっている。
【００５９】
上記構成において、例えば第二の微調整量決定手段２１は、微調整量設定手段２２の出力信号のオン・オフ回数を監視し、１回のオン・オフで設定回転数を１回転アップするように微調整量を決定して、回転数決定手段３に微調整量を出力する。回転数決定手段３は、Ａ／Ｄ変換手段２の設定回転数に、微調整量を加味して設定回転数を決定することになる。
【００６０】
図７では、微調整量設定手段２２を微調整量設定スイッチ１２で構成している。
【００６１】
この場合では、例えば第二の微調整量決定手段２１は、微調整量設定スイッチ１２のオン・オフ回数を監視し、１回のオン・オフで設定回転数を１回転アップするように微調整量を決定して、回転数決定手段３に微調整量を出力する。回転数決定手段３は、Ａ／Ｄ変換手段２の設定回転数に、微調整量を加味して設定回転数を決定することになる。
【００６２】
図８では、微調整量設定手段２２を、微調整量設定スイッチ１２と、第二の微調整量設定スイッチ１４とで構成している。
【００６３】
この場合では、例えば第二の微調整量決定手段２１は、微調整量設定スイッチ１２のオン・オフ回数を設定回転数がアップする入力として認識し、第二の微調整量設定スイッチ１４のオン・オフ回数を設定回転数がダウンする入力として認識する。
【００６４】
図９では、微調整量設定手段２２を、第二の０Ｖカウント手段２３で構成している。
【００６５】
この第二の０Ｖカウント手段２３は、回転数設定手段１の出力電圧を監視し、その出力が０Ｖになる回数をカウントし、たとえば１回で、設定回転数を１回転ダウンするように微調整量を第二の微調整量決定手段２１に出力する。第二の微調整量決定手段２１は、Ａ／Ｄ変換手段２からの設定回転数指示にこの微調整量を加味して、設定回転数を決定する。
【００６６】
図１０では、微調整量設定手段２２を、回転数設定手段１の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を第二の微調整量決定手段２１に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段２３と、回転数設定手段１の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を第二の微調整量決定手段２１に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段１６とで構成している。
【００６７】
第二の０Ｖカウント手段２３は、回転数設定手段１の出力電圧を監視し、その出力電圧が０Ｖになる回数をカウントし、たとえば１回で、設定回転数を１回転ダウンするように微調整量を第二の微調整量決定手段２１に出力する。また、ＭＡＸ電圧カウント手段１６は、回転数設定手段１の出力電圧を監視し、その出力がＭＡＸ電圧になる回数をカウントし、たとえば１回で、設定回転数を１回転アップするように微調整量を第二の微調整量決定手段２１に出力する。第二の微調整量決定手段２１は、Ａ／Ｄ変換手段２からの設定回転数指示にこれらの微調整量を加味して、設定回転数を決定する。
【００６８】
図１１では、さらに回転数記憶手段１７を追加した一例を示している。
【００６９】
この回転数記憶手段１７は回転数決定手段３が決定した設定回転数を常に記憶する。回転数記憶手段１７を設けない場合には、電源をしゃ断すると、微調整量が記憶されていないため、電源を再投入した時には微調整量がゼロとなる。これに対して、回転数記憶手段１７が電源投入時に記憶回転数を回転数決定手段３に指示することで、前回の微調整量を加味した設定回転数で制御することになる。この回転数記憶手段１７は、実施の形態１、すなわち図１〜５に対して適用してもよい。
【００７０】
図１２では、回転数パルス出力手段１８を追加した一例を示している。
【００７１】
この回転数パルス出力手段１８は回転数決定手段３が決定した設定回転数を受けて、例えば１回転毎に１つのパルスを出力する。パルスカウンタなどでこのパルス出力を計測することで設定回転数を直読できることになる。この回転数パルス出力手段１８についても、実施の形態１、すなわち図１〜５に対して適用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
可変抵抗器でモータの回転数を設定する制御、またはオーディオ機器などで音量を設定する制御などに利用できる。
【符号の説明】
【００７３】
１ 回転数設定手段
２ Ａ／Ｄ変換手段
３ 回転数決定手段
４ 微調整量決定手段
５ モータ制御手段
６ モータ
７ 切換手段
８ 切換スイッチ
９ 時間カウント手段
１０ ０Ｖ電圧カウント手段
１１ 表示手段
１２ 微調整量設定スイッチ
１４ 第二の微調整量設定スイッチ
１５ ０Ｖ電圧カウント手段
１６ ＭＡＸ電圧カウント手段
１７ 回転数記憶手段
１８ 回転数パルス出力手段
１９ 可変抵抗器
２０ 切換先設定手段
２１ 第二の微調整量決定手段
２２ 微調整量設定手段
２３ 第二の０Ｖ電圧カウント手段
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットの風量を可変させる制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットは、半導体などの製造装置に組み込まれて、またはクリーンルームの天井部などに設置されて運転され、一定の空間を清浄化している。このファンフィルタユニットは、半導体製造装置やクリーンルームの稼動情況や、設置場所に応じて風量を調節して使用される。通常、ファンはブラシレスＤＣモータで駆動され、マイコンで構成された制御回路が回転数を制御している。従来、このような回転数の設定は、特開平７−３３２７１７号公報（特許文献１）に示すように、手動で操作する可変抵抗器で、０〜１０Ｖの電圧信号をつくり、この電圧をＡ／Ｄ変換回路でディジタル信号に変換してマイコンに与えることで行われていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３３２７１７号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来の可変抵抗器を手動操作して回転数を設定するファンフィルタユニットでは、回転数を設定する場合、家庭用電気製品で使用される安価な可変抵抗器では操作角度が３００度前後であり、設定する回転数は０〜数１０００回転となり、僅かの操作で設定回転数が大幅に変化するため、設定回転数を微調整することが困難であった。
【０００５】
本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの回転数の設定に関する課題を解決するものであり、安価で回転数を微調整できるファンフィルタユニットの制御装置を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファンフィルタユニットの制御装置は、上記目的を達成するために、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段と、この切換手段の出力先を決定する切換先設定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものである。
【０００７】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【０００８】
また他の手段は、前記切換先設定手段を、手動操作する切換スイッチで構成したものである。
【０００９】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１０】
また他の手段は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し入力値の変化後、所定時間経過後に切換信号を出力する時間カウント手段で構成したものである。
【００１１】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１２】
また他の手段は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントして所定回数を超えたときに切換信号を出力する０Ｖ電圧カウント手段で構成したものである。
【００１３】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１４】
また他の手段は、前記各種構成に対して、前記切換手段からの信号を入力して切換先を表示する表示手段を設けたものである。
【００１５】
この構成により、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えることができ、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、表示手段により微調整モードであることを目視で確認することができ操作性が向上する。
【００１６】
また他の手段は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、微調整量設定手段と、この微調整量設定手段の出力信号に応じて微調整量を決定する第二の微調整量決定手段と、Ａ／Ｄ変換値と前記第二の微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものである。
【００１７】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、微調整量設定手段で微調整量を設定できるため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００１８】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、手動で操作する微調整量設定スイッチで構成したものである。
【００１９】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、微調整量設定スイッチで微調整量を設定できるため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００２０】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、手動で操作する微調整量設定スイッチと、第二の微調整量設定スイッチとで構成したものである。
【００２１】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、微調整量設定スイッチで微調整量を設定できるため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。また、二つのスイッチで、プラスとマイナスの微調整が可能になり操作性が向上する。
【００２２】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段で構成したものである。
【００２３】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、可変抵抗器を所定の特殊な操作をすることで、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られる。
【００２４】
また他の手段は、前記微調整量設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段と、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段とで構成したものである。
【００２５】
この構成により、可変抵抗器で設定回転数を粗調整したうえで、可変抵抗器を所定の特殊な操作をすることで、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、特殊な操作を二つ設けたことで、プラスとマイナスの微調整が可能となり操作性が向上する。
【００２６】
また他の手段は、前記各構成に対して、前記回転数決定手段で決定した回転数を保持する回転数記憶手段を設けた構成としたものである。
【００２７】
この構成により、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、停電やメンテナンスなどで、電源をしゃ断したときでも、電源再投入時に前回の設定回転数に復帰するため操作性が向上する。
【００２８】
また他の手段は、前記各構成に対して、前記回転数決定手段で決定した回転数をパルス出力する回転数パルス出力手段を設けた構成としたものである。
【００２９】
この構成により、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットが得られ、また、設定回転数をディジタル測定できるため操作性が向上する。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、１つの可変抵抗器を切換先設定手段で粗調整と微調整とに切換える構成としたため、設定回転数を微調整することが可能なファンフィルタユニットの制御装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施の形態１のブロック図
【図２】本発明の実施の形態１の切換スイッチを用いたブロック図
【図３】本発明の実施の形態１の時間カウント手段を用いたブロック図
【図４】本発明の実施の形態１の０Ｖ電圧カウント手段を用いたブロック図
【図５】本発明の実施の形態１の表示手段を用いたブロック図
【図６】本発明の実施の形態２のブロック図
【図７】本発明の実施の形態２の微調整量設定スイッチを用いたブロック図
【図８】本発明の実施の形態２の微調整量設定スイッチと第二の微調整量設定スイッチを用いたブロック図
【図９】本発明の実施の形態２の第二の０Ｖカウント手段を用いたブロック図
【図１０】本発明の実施の形態２の第二の０Ｖ電圧カウント手段とＭＡＸ電圧カウント手段とを用いたブロック図
【図１１】本発明の実施の形態２の回転数記憶手段を用いたブロック図
【図１２】本発明の実施の形態２の回転数パルス出力手段を用いたブロック図
【図１３】本発明の実施の形態１の回転数設定手段の構成を示す図
【図１４】本発明の実施の形態１の時間カウント手段の動作を示す図
【図１５】本発明の実施の形態１の０Ｖ電圧カウント手段の動作を示す図
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明の請求項１記載の発明は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段と、この切換手段の出力先を決定する切換先設定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３３】
本発明の請求項２記載の発明は、前記切換先設定手段を、手動操作する切換スイッチで構成したものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３４】
本発明の請求項３記載の発明は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し入力値の変化後、所定時間経過後に切換信号を出力する時間カウント手段で構成したものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３５】
本発明の請求項４記載の発明は、前記切換先設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントして所定回数を超えたときに切換信号を出力する０Ｖ電圧カウント手段で構成したもので、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用を有する。
【００３６】
本発明の請求項５記載の発明は、前記切換手段からの信号を入力して切換先を表示する表示手段を設けた構成としたものであり、１つの可変抵抗器を粗調整と微調整とに切換えるという作用と、切換状態を表示するという作用を有する。
【００３７】
本発明の請求項６記載の発明は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、微調整量設定手段と、この微調整量設定手段の出力信号に応じて微調整量を決定する第二の微調整量決定手段と、Ａ／Ｄ変換値と前記第二の微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものであり、微調整量設定手段で微調整するという作用を有する。
【００３８】
本発明の請求項７記載の発明は、前記微調整量設定手段を、手動で操作する微調整量設定スイッチで構成したものであり、微調整量設定スイッチで微調整をするという作用を有する。
【００３９】
本発明の請求項８記載の発明は、前記微調整量設定手段は、手動で操作する微調整量設定スイッチと、第二の微調整量設定スイッチとで構成したものであり、二つの微調整量設定スイッチでプラスとマイナスの微調整をするという作用を有する。
【００４０】
本発明の請求項９記載の発明は、前記微調整量設定手段を、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段で構成したものであり、可変抵抗器の所定の特殊な操作で微調整をするという作用を有する。
【００４１】
本発明の請求項１０記載の発明は、前記微調整量設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段と、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段とで構成したものであり、可変抵抗器の所定の二つの特殊な操作でプラスとマイナスの微調整をするという作用を有する。
【００４２】
本発明の請求項１１記載の発明は、前記回転数決定手段で決定した回転数を保持する回転数記憶手段を設けた構成にしたものであり、請求項１〜１０の作用に加えて、停電復帰時に前回の設定回転数を維持するという作用を有する。
【００４３】
本発明の請求項１２記載の発明は、前記回転数決定手段で決定した回転数をパルス出力する回転数パルス出力手段を設けた構成にしたものであり、請求項１〜１１の作用に加えて、回転数をディジタル測定するという作用を有する。
【００４４】
（実施の形態１）
図１に示すように、ファンフィルタユニットの制御装置は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段１と、この回転数設定手段１の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段２と、切換先設定手段２０によりＡ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段７と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段４と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段４からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段３からの回転数指示に従いモータ６を制御するモータ制御手段５とを有する構成となっている。
【００４５】
回転数設定手段１は図１３に示すように、可変抵抗器１９からなり、この可変抵抗器１９のつまみを回すことで、０〜１０Ｖの電圧を出力する。この可変抵抗器１９は家庭用電気製品などに使用される一般的なもので、つまみの回転角度は３００度前後である。設定回転数は、例えば、０Ｖで最低回転数、１０Ｖで最高回転数の設定にしている。
【００４６】
Ａ／Ｄ変換手段２は、０〜１０Ｖ電圧をＡ／Ｄ変換してディジタル信号で切換手段７に出力する。切換手段７は、切換先設定手段２０の出力信号（オン・オフ）に応じて、Ａ／Ｄ変換したディジタル信号を、回転数決定手段３、または微調整量決定手段４に出力する。例えば、切換先設定手段２０の出力信号がオフの場合は回転数決定手段３に出力し、切換先設定手段２０の出力信号がオンの場合は微調整量決定手段４に出力する。回転数決定手段３は、Ａ／Ｄ変換手段２の出力を切換手段７を介して得た回転数設定信号と、微調整量決定手段４より得た回転数の微調整量とを加味して設定回転数を決定し、モータ制御手段５に信号出力する。モータ制御手段５はこの設定回転数にてモータ６の回転数制御をする。
【００４７】
上記構成によれば、切換先設定手段２０の出力信号をオフの状態で、設定回転数を粗調整した後、切換先設定手段２０の出力信号をオンにして、設定回転数を微調整することで、目標とする回転数を設定することになるので、ひとつの調整手段によって、粗調整と微調整とができる。すなわち、粗調整によって目標とする回転数に素早く近づけることができ、微調整によって目標とする回転数に正確に設定することが可能となるものである。
【００４８】
図２では、切換先設定手段２０を切換スイッチ８で構成している。
【００４９】
この場合には、切換スイッチ８をオフにして設定回転数を粗調整した後、切換スイッチ８をオフにして設定回転数を微調整することで、目標とする回転数を設定することになる。
【００５０】
図３では、切換先設定手段２０を時間カウント手段９で構成している。
【００５１】
この時間カウント手段９は、回転数設定手段１の出力を監視して、切換手段７にオン・オフの信号を出力するものである。時間カウント手段９は、例えば図１４に示すように、その出力は通常はオフであるが、回転数設定手段１の出力電圧が変化して、その後一定になると、例えば、その１秒後に出力がある一定時間（例えば１分間）オンとなるような機能を有している。即ち、回転数設定手段１を操作して設定回転数を粗調整し、１秒間待った後、可変抵抗器を回すことで微調整ができることになる。
【００５２】
図４では、切換先設定手段２０を０Ｖ電圧カウント手段１０で構成している。
【００５３】
この０Ｖ電圧カウント手段１０は、回転数設定手段１の出力を監視し、切換手段７にオン・オフの信号を出力するものである。０Ｖ電圧カウント手段１０は、例えば、図１５に示すように、その出力は通常はオフであるが、回転数設定手段１の出力電圧が０Ｖになる回数が、ある一定時間（例えば１０秒間）中に、３回になると、出力がある一定時間（例えば１分間）オンとなるような機能を有している。
【００５４】
即ち、回転数設定手段１を操作して設定回転数を粗調整し、その後可変抵抗器のつまみを最小方向に３回まわすことで、設定回転数を微調整することができることになる。
【００５５】
また、図５では、例えばＬＥＤで構成した表示手段１１を設け、切換手段７の切換状態に応じて表示手段１１のＬＥＤを点灯・消灯制御するような構成となっている。
【００５６】
この場合では、例えば切換手段７は、表示手段１１を次のように制御する。設定回転数の粗調整状態の場合は表示手段１１のＬＥＤを消灯し、設定回転数の微調整状態の場合は、表示手段１１のＬＥＤを点灯するようになる。
【００５７】
（実施の形態２）
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。第１の実施の形態と同じ構成については、同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５８】
図６に示すように、本発明の第２の実施の形態によるファンフィルタユニットの制御装置は、手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段１と、この回転数設定手段１の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段２と、微調整量設定手段２２と、この微調整量設定手段２２の信号を入力して設定回転数の微調整量を決定する第二の微調整量決定手段２１と、Ａ／Ｄ変換手段２の出力と前記第二の微調整量決定手段２１からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータ６を制御するモータ制御手段５とを有する構成となっている。
【００５９】
上記構成において、例えば第二の微調整量決定手段２１は、微調整量設定手段２２の出力信号のオン・オフ回数を監視し、１回のオン・オフで設定回転数を１回転アップするように微調整量を決定して、回転数決定手段３に微調整量を出力する。回転数決定手段３は、Ａ／Ｄ変換手段２の設定回転数に、微調整量を加味して設定回転数を決定することになる。
【００６０】
図７では、微調整量設定手段２２を微調整量設定スイッチ１２で構成している。
【００６１】
この場合では、例えば第二の微調整量決定手段２１は、微調整量設定スイッチ１２のオン・オフ回数を監視し、１回のオン・オフで設定回転数を１回転アップするように微調整量を決定して、回転数決定手段３に微調整量を出力する。回転数決定手段３は、Ａ／Ｄ変換手段２の設定回転数に、微調整量を加味して設定回転数を決定することになる。
【００６２】
図８では、微調整量設定手段２２を、微調整量設定スイッチ１２と、第二の微調整量設定スイッチ１４とで構成している。
【００６３】
この場合では、例えば第二の微調整量決定手段２１は、微調整量設定スイッチ１２のオン・オフ回数を設定回転数がアップする入力として認識し、第二の微調整量設定スイッチ１４のオン・オフ回数を設定回転数がダウンする入力として認識する。
【００６４】
図９では、微調整量設定手段２２を、第二の０Ｖカウント手段２３で構成している。
【００６５】
この第二の０Ｖカウント手段２３は、回転数設定手段１の出力電圧を監視し、その出力が０Ｖになる回数をカウントし、たとえば１回で、設定回転数を１回転ダウンするように微調整量を第二の微調整量決定手段２１に出力する。第二の微調整量決定手段２１は、Ａ／Ｄ変換手段２からの設定回転数指示にこの微調整量を加味して、設定回転数を決定する。
【００６６】
図１０では、微調整量設定手段２２を、回転数設定手段１の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を第二の微調整量決定手段２１に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段２３と、回転数設定手段１の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を第二の微調整量決定手段２１に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段１６とで構成している。
【００６７】
第二の０Ｖカウント手段２３は、回転数設定手段１の出力電圧を監視し、その出力電圧が０Ｖになる回数をカウントし、たとえば１回で、設定回転数を１回転ダウンするように微調整量を第二の微調整量決定手段２１に出力する。また、ＭＡＸ電圧カウント手段１６は、回転数設定手段１の出力電圧を監視し、その出力がＭＡＸ電圧になる回数をカウントし、たとえば１回で、設定回転数を１回転アップするように微調整量を第二の微調整量決定手段２１に出力する。第二の微調整量決定手段２１は、Ａ／Ｄ変換手段２からの設定回転数指示にこれらの微調整量を加味して、設定回転数を決定する。
【００６８】
図１１では、さらに回転数記憶手段１７を追加した一例を示している。
【００６９】
この回転数記憶手段１７は回転数決定手段３が決定した設定回転数を常に記憶する。回転数記憶手段１７を設けない場合には、電源をしゃ断すると、微調整量が記憶されていないため、電源を再投入した時には微調整量がゼロとなる。これに対して、回転数記憶手段１７が電源投入時に記憶回転数を回転数決定手段３に指示することで、前回の微調整量を加味した設定回転数で制御することになる。この回転数記憶手段１７は、実施の形態１、すなわち図１〜５に対して適用してもよい。
【００７０】
図１２では、回転数パルス出力手段１８を追加した一例を示している。
【００７１】
この回転数パルス出力手段１８は回転数決定手段３が決定した設定回転数を受けて、例えば１回転毎に１つのパルスを出力する。パルスカウンタなどでこのパルス出力を計測することで設定回転数を直読できることになる。この回転数パルス出力手段１８についても、実施の形態１、すなわち図１〜５に対して適用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
可変抵抗器でモータの回転数を設定する制御、またはオーディオ機器などで音量を設定する制御などに利用できる。
【符号の説明】
【００７３】
１ 回転数設定手段
２ Ａ／Ｄ変換手段
３ 回転数決定手段
４ 微調整量決定手段
５ モータ制御手段
６ モータ
７ 切換手段
８ 切換スイッチ
９ 時間カウント手段
１０ ０Ｖ電圧カウント手段
１１ 表示手段
１２ 微調整量設定スイッチ
１４ 第二の微調整量設定スイッチ
１５ ０Ｖ電圧カウント手段
１６ ＭＡＸ電圧カウント手段
１７ 回転数記憶手段
１８ 回転数パルス出力手段
１９ 可変抵抗器
２０ 切換先設定手段
２１ 第二の微調整量決定手段
２２ 微調整量設定手段
２３ 第二の０Ｖ電圧カウント手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段と、この切換手段の出力先を決定する切換先設定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成されるファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項２】
前記切換先設定手段は、手動操作する切換スイッチで構成される請求項１記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項３】
前記切換先設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し入力値の変化後、所定時間経過後に切換信号を出力する時間カウント手段で構成される請求項１記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項４】
前記切換先設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントして所定回数を超えたときに切換信号を出力する０Ｖ電圧カウント手段で構成される請求項１記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項５】
前記切換手段からの信号を入力して切換先を表示する表示手段を設けた、請求項１〜４のいずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項６】
手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、微調整量設定手段と、この微調整量設定手段の出力信号に応じて微調整量を決定する第二の微調整量決定手段と、Ａ／Ｄ変換値と前記第二の微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成されるファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項７】
前記微調整量設定手段は、手動で操作する微調整量設定スイッチで構成される請求項６のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項８】
前記微調整量設定手段は、手動で操作する微調整量設定スイッチと、第二の微調整量設定スイッチとで構成される請求項６に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項９】
前記微調整量設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段で構成される請求項６記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１０】
前記微調整量設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段と、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段とで構成される請求項６記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１１】
前記回転数決定手段で決定した回転数を保持する回転数記憶手段を設けた、請求項１〜１０いずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１２】
前記回転数決定手段で決定した回転数をパルス出力する回転数パルス出力手段を設けた、請求項１〜１１いずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１】
手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段と、この切換手段の出力先を決定する切換先設定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段と、前記切換手段で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成されるファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項２】
前記切換先設定手段は、手動操作する切換スイッチで構成される請求項１記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項３】
前記切換先設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し入力値の変化後、所定時間経過後に切換信号を出力する時間カウント手段で構成される請求項１記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項４】
前記切換先設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントして所定回数を超えたときに切換信号を出力する０Ｖ電圧カウント手段で構成される請求項１記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項５】
前記切換手段からの信号を入力して切換先を表示する表示手段を設けた、請求項１〜４のいずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項６】
手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段と、この回転数設定手段の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段と、微調整量設定手段と、この微調整量設定手段の出力信号に応じて微調整量を決定する第二の微調整量決定手段と、Ａ／Ｄ変換値と前記第二の微調整量決定手段からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段と、前記回転数決定手段からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成されるファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項７】
前記微調整量設定手段は、手動で操作する微調整量設定スイッチで構成される請求項６のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項８】
前記微調整量設定手段は、手動で操作する微調整量設定スイッチと、第二の微調整量設定スイッチとで構成される請求項６に記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項９】
前記微調整量設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段で構成される請求項６記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１０】
前記微調整量設定手段は、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が０Ｖとなる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力する第二の０Ｖ電圧カウント手段と、前記回転数設定手段の出力電圧を入力し、入力値が所定の最大電圧となる回数をカウントしてカウント数を前記第二の微調整量決定手段に信号出力するＭＡＸ電圧カウント手段とで構成される請求項６記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１１】
前記回転数決定手段で決定した回転数を保持する回転数記憶手段を設けた、請求項１〜１０いずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【請求項１２】
前記回転数決定手段で決定した回転数をパルス出力する回転数パルス出力手段を設けた、請求項１〜１１いずれかに記載のファンフィルタユニットの制御装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１０−２４２９９８（Ｐ２０１０−２４２９９８Ａ）
【公開日】平成２２年１０月２８日（２０１０．１０．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−８９９３１（Ｐ２００９−８９９３１）
【出願日】平成２１年４月２日（２００９．４．２）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月２８日（２０１０．１０．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年４月２日（２００９．４．２）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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