【課題】クリーンルームに対する空調運転開始時にクリーンルームの室内気圧が負圧になることがなく、クリーンルームの汚染を防ぐことができる空調運転開始時の室圧制御方法を提供する。
【解決手段】空調運転開始時の室圧制御方法では、ホルムアルデヒドガスによって燻蒸・除染した後のクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂに対する空調運転開始時から所定時間が経過するまでの間に微陽圧保持手段を実行する。微陽圧保持手段では、モーターダンパ１７Ａ，１７Ｂを利用してクリーンルーム１１Ａ，１１Ｂからの空気の排気量を調節し、クリーンルーム１１Ａ，１１Ｂの室内気圧を予め設定された微陽圧に保持する。 （もっと読む）

【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】製造環境などといった略閉じた環境内で消費されるエネルギー量と、当該環境内の空気の最適な品質とを両立させることが可能な、空気の品質の調整および制御に関する技術を提供する。
【解決手段】制御部３０は、ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）２２の最適風量を製造環境２４内に配備された製造装置２６の稼動状態と予め関連付ける。製造装置２６の現在の稼動状態は、電力センサ１２およびエア流量センサ１４によって検出される。制御部３０は、ＦＦＵ２２の換気風量を、検出された稼動状態に予め関連付けられた最適風量へと切替える。その最適風量は、製造装置２６が上記の稼動状態にあるときに目標の空気清浄度を達成するための換気風量と、当該換気風量でＦＦＵ２２を運転させる場合のＦＦＵ２２の消費電力との間の関係に基づいて予め決定される。 （もっと読む）

【課題】室圧制御バルブの寿命を延ばす。
【解決手段】室圧制御システムは、給気バルブＭＡＶ、一般排気バルブＧＥＸ、コントローラ１０５−１，１０５−２，１０６，１０７、差圧センサ１０９を有する。コントローラ１０７は、風量変更制御動作時において給気風量と排気風量を漸次変更し、給気バルブＭＡＶと一般排気バルブＧＥＸのうち室圧制御バルブとして動作させる方のバルブに対する補正制御出力値を、差圧センサ１０９によって計測された圧力差と設定値に基づいて演算し、室圧制御バルブとして動作させる方のバルブに対応する制御出力値と補正制御出力値との合算値が室圧制御バルブを所望の方向と反対の方向に動作させる値である場合、合算値の出力を保留し、合算値が室圧制御バルブを所望の方向に動作させる値である場合、合算値を室圧制御バルブに出力する。 （もっと読む）

【課題】予備の給気ファンや排気ファンを設備しなくても、給気ファンや排気ファンが故障した場合のフェールセーフを確保することが可能であって、予備のファンを設置しない分コストダウンを達成することができる高度安全施設の給排気装置を提供する。
【解決手段】前室３及び作業室２に設けられ給気系９と連通される給気口７ａ，７ｂと、前室及び作業室に設けられ排気系１１と連通される排気口８ａ，８ｂと、給気口及び排気口個々に対し給気系及び排気系に設けられ、給気量や排気量を調節する可変風量型定風量装置１３ａ〜１３ｄと、給気系に設けられ２台で必要給気総量を給気する給気ファン１０ａ，１０ｂと、排気系に設けられ２台で必要排気総量を排気する排気ファン１２ａ，１２ｂと、給気ファン及び排気ファンを個別に運転制御しつつ、給気が作業室から前室へ一方向に向かって流通するように可変風量型定風量装置を個別に制御する制御装置１４を備えた。 （もっと読む）

【課題】対象室の扉が開いたときに通路等の基準室と他の部屋の室圧に対する影響を最小限に抑える。
【解決手段】室圧制御装置は、部屋毎に設置された室圧調整用ダンパ７−３，７−９，８−３，８−９と、扉センサ３−３と、基準室である通路ＨＷとクリーンルームＲ−３との間の扉１−３を開く操作が開始されたことを示す扉開信号が扉センサ３−３から出力されたときに、室圧調整用ダンパ８−３を制御してクリーンルームＲ−３の室圧を扉開時の所定値に減圧し、この減圧を開始すると同時に、室圧調整用ダンパ８−９を制御して通路ＨＷの基準室圧を維持するコントローラ１０ａと、クリーンルームＲ−３の減圧を開始すると同時に、扉１−３を一部開いて停止させ、クリーンルームＲ−３の室圧が扉開時の所定値に達した時点で、扉１−３の開放を再開する扉駆動機構４−３とを備える。 （もっと読む）

【課題】微生物類を効率良く除菌できるエアシャワ−室の清浄方法及びエアシャワ−装置を提供する。
【解決手段】本発明のエアシャワ−室の清浄方法は、エアシャワ−室１０に人又は物が入った場合に、加圧空気の送りを停止した状態で、除菌ガスをエアシャワ−室１０に送り込み、その後、加圧空気を送り込む。更に、その加圧空気の送り込み後、更にエアシャワ−室１０に、当該エアシャワ−室１０の天井側から床面側に空気を除菌ガスと共に送り込む。 （もっと読む）

【課題】１つの空調機に接続された複数の部屋の室圧の変動を簡単な制御で抑制することができる室圧制御装置を提供する。
【解決手段】給気通路を介して空調機と接続された部屋の室圧を目標値に制御するための室圧制御装置１０であって、給気通路に設けられた第１の圧力計５１によって計測された給気通路の静圧の計測値と給気通路の静圧の目標値との第１の偏差値から２次関数特性に基づいて、常に目標値に対する偏差値によって制御量を決めることにより、空調機の風量制御量を求める空調機制御部１４と、この部屋に設けられた第２の圧力計５２によって計測されたこの部屋の室圧の計測値とこの部屋の室圧の目標値との第２の偏差値から２次関数特性に基づいて、この部屋内の空気を排気するための排気ダンパ４１の開度制御量を求める排気ダンパ制御部１６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームの室内気圧を常時設定気圧に保持することができる室内気圧制御システムを提供する。
【解決手段】室内気圧制御システム１０では、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因の非発生時に、近接コントローラ２３，２４がセンサ２６，２７から出力された測定気圧を参照しつつ制御ダンパ２１，２２のダンパ開度を微調整してルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持し、変動要因の発生時に、遠隔操作コントローラ２５がダンパ２１，２２のダンパ開度を所定の開度にする操作指令をコントローラ２３，２４に出力し、コントローラ２３，２４がコントローラ２５から出力された操作指令に従ってダンパ２１，２２のダンパ開度を所定の開度に調整する。 （もっと読む）

【課題】
グローブを有する安全キャビネットの作業において、ケミカル汚染またはバイオ汚染を防止しながらグローブを用いた作業の作業性を向上させる。
【解決手段】
安全キャビネット１では、本体キャビネット１ａ内に作業空間３が形成されている。作業空間内の空気をフィルタ１１，１２を介して外部へ送風機５が排気する。作業空間の前面には、上下に移動可能に前面シャッター４が配置されている。前面シャッターの下部であって作業空間の前面に作業開口部６が形成されている。前面シャッターに、左右に移動可能でかつ引き戸状に重なりあう複数の小窓１８ａ〜１８ｃを設ける。そして、この複数の小窓のいずれかの作業空間側に、作業空間での作業用の一対のグローブを気密に取り付け可能なグローブポートを取り付ける。 （もっと読む）

【課題】発光素子の影響を受けずに照度を検出する。
【解決手段】ヒュームフードモニタ１３は、情報通知用の発光素子１３１と、ヒュームフードモニタに照射される光の照度を検出する照度検出素子１３２および信号増幅部１３３と、発光素子１３１が消灯状態のときに照度検出を実施させる制御演算部１３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の室内用集塵システムでは、床面中央部の塵埃を巻き上げ浮遊する塵埃を増やしてしまっていた。
【解決手段】室内の側壁面に回転軸を鉛直方向にして設置されたクロスフローファン１０を有する送風手段７と、室内に気流を発生させながら塵埃を回収する集塵手段８と、前記送風手段７に人体検知手段１１を備えることで、送風手段７は人体検知手段１１の検知方向に鉛直方向に幅広く気流を発生させることができ、人体の足元から頭部までの全域から発生する塵埃を集塵手段に送風して効率よく集塵することができる。 （もっと読む）

【課題】ドライエアを生成する除湿機の運転動力の低減とプロセス間のクロスコンタミネーションを防止できる薄膜製造の環境維持方法及びその装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の薄膜製造方法は、薄膜を製造する第１のチャンバー２０と、前記第１のチャンバー２０よりも室内を低湿度に設定した第２のチャンバー３０と、を隣接配置して、前記第２のチャンバー３０から前記第１のチャンバー２０へドライエアを供給し、前記第２のチャンバー３０内の湿度をセンシングして、前記第２のチャンバー３０内の湿度の測定値に基づいて、前記第２のチャンバー３０への前記ドライエアの供給量を制御することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】比較的安価に、かつクリーンルームの機能を活かしつつ、確実にクリーンルーム内における金属汚染を抑制することのできるクリーンルーム内金属汚染防止システムを提供する。
【解決手段】作業空間１２から床下空間２４へ排気された気体をＦＦＵ１８を介して作業空間１２へ循環させる垂直層流型のクリーンルーム１０における金属汚染防止システムであって、熔解ガス発生源が配置される作業空間１２の一部を隔離して熔解ガス発生領域１４を確保する隔壁１６と、床下空間２４において隔壁１６ａに接続し、熔解ガス流入領域２８を確保する開閉床３０と、開閉床３０の開閉を行うモータ３２と、熔解ガス流入領域２８からクリーンルーム系外へ接続された排気経路４４を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】給気ダクトへの余分な空気の流入を防ぐことができるダクト収容ボックスを提供する。
【解決手段】ダクト収容ボックス１０Ａは、工場の内外を隔てる壁１５の開口１６に取り付けられたガラリ１２と、ガラリ１２に連接されて壁１５の内側に施設され、クリーンルームに空気を送り込む給気装置の給気ダクト１１の延出端部２２がつながるチャンバー１３とを有する。チャンバー１３は、頂底壁１７，１８および両側壁１９，２０と、ガラリ１２に対向する後側壁２１とから形成されている。後側壁２１には、ガラリ１２からチャンバー１３に進入した空気の圧力に応じてチャンバー１３内の空気をチャンバー１３外に排出する逆止弁ダンパ２８Ａを備えた第１排気ユニット２９が設置されている。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームから排気する空気を一定に保持することができ、クリーンルーム内の室内気圧を設定圧力に保持することができる排気装置を提供する。
【解決手段】排気装置１４は、クリーンルーム１１，１２につながる排気ダクト２６、空気をクリーンルーム１１，１２から排気する排気ファン２９、旋回羽根３９の旋回によってダクト２６を通る空気の量を調節するモータダンパ３０、ダクト２６を通る空気の圧力を測定する圧力センサ２８、ダンパ３０の羽根３９の開度を調節するコントローラ３８を有する。コントローラ３８は、センサ２８から出力された測定圧力と設定圧力とを比較する圧力比較手段、空気排気口３１の外側に吹く風の影響で測定圧力が設定圧力の範囲から外れると、ダンパ３０の羽根３９の開度を調節して測定圧力を設定圧力の範囲内に戻す圧力制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】部屋に対する給排気の開始時に、室圧制御の目標値方向への室圧変化を確保することが可能な室圧制御システムを提供することを課題とする。
【解決手段】室圧制御システムにおいて、設定室圧に維持される部屋への給排気の開始過程で、給排気通路を閉状態から開状態へ移行させることで通気量を変化させる際に、給排気の開始後、給排気通路の開度が所定の開度に達してから、給排気通路の開状態への移行終了までに要する時間を、通常の開閉所要時間よりも長くなるように調整する変化速度制御を開始することとした。 （もっと読む）

【課題】気圧異常を作業者が知覚しうる調剤用クリーンルームユニットを実現する。
【解決手段】開き戸６０を装備した作業ユニット３０と、作業台４１を有するクリーンベンチ４０と、作業ルーム３４に清浄な空気を送給しつつクリーンベンチ４０から排気する圧力調整可能な給排気系（７１，７２等）と、作業ルーム３４の気圧を陰圧か他の圧力に切り替えて異質な調剤作業の遂行を可能にする制御装置２２とを備え、給排気経路に微差圧計８１〜８６を付設し、その検出結果が正常か異常か表示する差圧表示器８０を作業ルーム３４内に設置する。差圧表示器８０は警報音も出す。作業ルーム３４より作業台４１上の方が高圧になった異常時には、作業用開口の閉塞を作業者に促し、シャッタ４２を自動で閉め、常閉ダンパ９０を自動で開くことで、劇薬の被爆を回避する。 （もっと読む）

【課題】開き戸開閉時の気圧変化が穏やかな調剤用クリーンルームユニットを実現する。
【解決手段】開き戸６０を装備した作業ユニット３０と、作業台４１を有するクリーンベンチ４０と、作業ルーム３４に清浄な空気を送給しつつクリーンベンチ４０から排気する圧力調整可能な給排気系（７１，７２等）と、作業ルーム３４の気圧を陰圧か他の圧力に切り替えて異質な調剤作業の遂行を可能にする制御装置２２とを備え、開き戸６０の開閉時には、ダンパ操作部材の手動操作に応じて又は開き戸６０の開閉や操作を検出して自動で、給気側ダンパ１８，排気側ダンパ１５，常閉ダンパ９０を開かせる。 （もっと読む）

【課題】可変抵抗器でモータ回転数を設定するＤＣモータ搭載のファンフィルタユニットにおいて、一つの可変抵抗器で設定回転数の粗調整と微調整との両方を可能にする。
【解決手段】手動操作する可変抵抗器からなる回転数設定手段１と、この回転数設定手段１の出力電圧をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換手段２と、Ａ／Ｄ変換値の出力先を切換える切換手段７と、この切換手段７の出力先を決定する切換先設定手段２０と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値を入力して回転数の微調整量を決定する微調整量決定手段４と、前記切換手段７で切換えられたＡ／Ｄ変換値と前記微調整量決定手段４からの微調整量とを入力して回転数を決定する回転数決定手段３と、前記回転数決定手段３からの回転数指示に従いモータを制御するモータ制御手段とで構成したものである。 （もっと読む）