プラズマディスプレイパネルの製造方法
【課題】隔壁の欠陥による表示不良を簡単な方法で低減させ、プラズマディスプレイパネルの製造歩留まりを向上させる。
【解決手段】互いに平行な複数の表示電極対と誘電体層と保護層とを前面基板に形成する前面基板作製ステップと、互いに平行な複数のデータ電極と下地誘電体層と放電セルを仕切る隔壁と蛍光体層とを背面基板に形成する背面基板作製ステップと、間に放電空間を形成するように隔壁を挟んで前面基板と背面基板とを対向配置して封着する封着ステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、背面基板作製ステップが、隔壁の欠陥検査を行う隔壁検査ステップと、隔壁検査ステップの結果に基づいて隔壁欠陥部に隣接する放電セルを不灯にする不灯処理ステップと、を含んでいる。
【解決手段】互いに平行な複数の表示電極対と誘電体層と保護層とを前面基板に形成する前面基板作製ステップと、互いに平行な複数のデータ電極と下地誘電体層と放電セルを仕切る隔壁と蛍光体層とを背面基板に形成する背面基板作製ステップと、間に放電空間を形成するように隔壁を挟んで前面基板と背面基板とを対向配置して封着する封着ステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、背面基板作製ステップが、隔壁の欠陥検査を行う隔壁検査ステップと、隔壁検査ステップの結果に基づいて隔壁欠陥部に隣接する放電セルを不灯にする不灯処理ステップと、を含んでいる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、壁掛けテレビや大型モニター等に用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と略記する）として代表的な交流面放電型ＰＤＰは、前面基板と背面基板とからなり、それらが対向配置されて周囲が封着されるとともに内部に多数の放電セルが形成された構成になっている。
【０００３】
前面基板は、ガラス基板上に互いに平行な複数の表示電極対が形成され、それら表示電極対を覆うように誘電体層が形成されている。さらに誘電体層を覆うように保護層が形成されている。一方、背面基板は、ガラス基板上に互いに平行な複数のデータ電極が形成され、それらデータ電極を覆うように下地誘電体層が形成されている。また、下地誘電体層上には井桁状の隔壁が形成され、さらに誘電体層の表面と隔壁の側面には蛍光体層が形成されている。
【０００４】
前面基板と背面基板は、表示電極対とデータ電極とが交差するように隔壁を挟んで対向配置されるとともに周囲が封着され、内部に放電空間が形成されている。内部の放電空間には放電ガスが封入され、表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成されている。このような構成のＰＤＰの各放電セル内でガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で赤色、緑色および青色の各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。
【０００５】
近年、ＰＤＰの大画面化および高精細化が進展するとともに、製造工程での高い歩留まりが要求される。特に、隔壁形成においては、隔壁の一部または全部が欠落するなどの隔壁欠陥が発生しやすく、その結果、隣接する放電セルが不灯や輝点になるなどの表示不良を発生させる。このような隔壁欠陥の対策として、ディスペンサーなどを用いて隔壁修復部材を隔壁欠陥に塗布し修復する方法が特許文献１や特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−５９６５８号公報
【特許文献２】特開２００５−３１７５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１および特許文献２に開示されている方法は隔壁そのものを修復する方法であるが、隔壁が微細であるために高度な加工技術と多大の労力を必要とするという課題を有している。
【０００８】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、隔壁の欠陥による表示不良を簡単な方法で低減させ、ＰＤＰの製造歩留まりを向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明のＰＤＰの製造方法は、互いに平行な複数の表示電極対と誘電体層と保護層とを前面基板に形成する前面基板作製ステップと、互いに平行な複数のデータ電極と下地誘電体層と放電セルを仕切る隔壁と蛍光体層とを背面基板に形成する背面基板作製ステップと、間に放電空間を形成するように隔壁を挟んで前面基板と背面基板とを対向配置して封着する封着ステップとを備えるＰＤＰの製造方法であって、背面基板作製ステップが、隔壁の欠陥検査を行う隔壁検査ステップと、隔壁検査ステップの結果に基づいて隔壁欠陥部に隣接する放電セルを不灯にする不灯処理ステップと、を含んでいる。
【００１０】
このような方法によれば、隔壁欠陥部によって発生する輝点不良を抑制し、ＰＤＰの製造歩留まりを向上させることができる。
【００１１】
さらに、隔壁検査ステップにおいて隔壁欠陥部の大きさを判定し、隔壁欠陥部の大きさが所定の閾値以上の場合にのみ、隔壁欠陥部に隣接する前記放電セルを不灯にしてもよい。このような方法によれば、輝点不良になる放電セルを確実に抑制することができる。
【００１２】
さらに、背面基板作製ステップは蛍光体層を形成する蛍光体塗布ステップを備え、不灯処理ステップを蛍光体塗布ステップの後に行ってもよい。このような方法によれば不灯処理をより容易に行うことができる。
【００１３】
さらに、不灯処理ステップが、放電セルに不灯処理用部材を挿入することにより不灯処理を行ってもよい。このような方法によれば不灯処理をより容易に行うことができる。
【００１４】
さらに、不灯処理用部材が放電で発生する真空紫外線を吸収する材料であってもよい。このような方法によれば不灯処理をより効果的に行うことができる。
【００１５】
さらに、不灯処理ステップが、放電セルの蛍光体層を除去することにより不灯処理を行ってもよい。このような方法によれば不灯処理をより効果的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明のＰＤＰの製造方法によれば、隔壁の欠陥による表示不良を簡単な方法で低減させ、ＰＤＰの製造歩留まりを向上させることを目的とする。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法により作製されるＰＤＰの分解斜視図である。
【図２】同ＰＤＰの電極配列図である。
【図３】実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法の示すフローチャートである。
【図４】隔壁欠陥部を示す背面基板の斜視図である。
【図５】実施の形態１における不灯処理ステップを示すフローチャートである。
【図６】実施の形態１における不灯処理を示す背面基板の断面図である。
【図７】実施の形態２における不灯処理を示す背面基板の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態によるＰＤＰの製造方法について図面を用いて説明する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法により作製されるＰＤＰの分解斜視図である。図１に示すように、ＰＤＰ１０は、前面基板１１と背面基板１７とから構成されている。ガラス製の前面基板１１上には、走査電極１２と維持電極１３とで対をなす表示電極対１４が互いに平行に複数対形成されている。走査電極１２および維持電極１３は、走査電極１２−維持電極１３−維持電極１３−走査電極１２の配列で繰り返すパターンで形成されている。走査電極１２および維持電極１３は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などの導電性金属酸化物からなる幅の広い透明電極の上に、導電性を高めるために銀（Ａｇ）などの金属を含む幅の狭いバス電極を積層して形成されている。さらに、表示電極対１４を覆うように誘電体層１５および保護膜１６が形成されている。
【００２０】
誘電体層１５は、膜厚が約４０μｍの酸化ビスマス系低融点ガラスまたは酸化亜鉛系低融点ガラスから形成されている。保護膜１６は、膜厚が約０．８μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主体とするアルカリ土類酸化物からなる薄膜層であり、誘電体層１５をイオンスパッタから保護するとともに放電開始電圧などの放電特性を安定させるために設けられている。
【００２１】
ガラス製の背面基板１７上には、銀を主成分とする導電性材料からなる互いに平行な複数のデータ電極１８が形成され、データ電極１８を覆うように下地誘電体層１９が形成されている。下地誘電体層１９は、誘電体層１５と同様の材料であってもよいが、可視光反射層としての働きも兼ねるように酸化チタン（ＴｉＯ２）粒子を混合した材料であってもよい。下地誘電体層１９上には井桁状の隔壁２０が形成されており、隔壁２０はデータ電極１８と平行な主隔壁２０ａと、これに直交する補助隔壁２０ｂとから構成されている。
【００２２】
下地誘電体層１９の表面と隔壁２０の側面とには、赤色蛍光体層２３ａ、緑色蛍光体層２３ｂ、青色蛍光体層２３ｃの各色の蛍光体層２３が形成されている。隔壁２０は、例えば低融点ガラス材料を用いて約０．１２ｍｍの高さに形成されている。蛍光体層２３は、青色蛍光体としてＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕを、緑色蛍光体としてＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎを、赤色蛍光体として（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕなどをそれぞれ用いて約１５μｍの膜厚に形成されている。
【００２３】
前面基板１１と背面基板１７は、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差するように、隔壁２０を挟んで対向配置され、その周囲（画像表示領域外部）を封着材によって封着してその内部に放電空間が形成されている。放電空間にはキセノン（Ｘｅ）などを含む放電ガスが約６０ｋＰａの圧力で封入されている。放電空間は井桁状の隔壁２０によって複数の区画に仕切られており、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差する部分に放電セル２４が形成されている。そしてこれらの放電セル２４が放電、発光することにより画像が表示される。なお、ＰＤＰ１０の構造は上述したものに限られるわけではなく、隔壁２０がストライプ状であってもよい。
【００２４】
図２はＰＤＰ１０の電極配列図である。行方向にｎ本の走査電極ＳＣ１〜ＳＣｎ（図１の走査電極１２）およびｎ本の維持電極ＳＵ１〜ＳＵｎ（図１の維持電極１３）が配列され、列方向にｍ本のデータ電極Ｄ１〜Ｄｍ（図１のデータ電極１８）が配列されている。そして、１対の走査電極ＳＣｉおよび維持電極ＳＵｉ（ｉ＝１〜ｎ）と１つのデータ電極Ｄｊ（ｊ＝１〜ｍ）とが交差した部分に放電セル２４が形成され、放電セル２４は放電空間内にｍ×ｎ個形成されている。
【００２５】
次に、このようなＰＤＰ１０の製造方法について説明する。図３は、実施の形態１におけるＰＤＰ１０の製造方法を示すフローチャートである。以下、フローチャートに従って説明する。
【００２６】
（１）前面基板作製ステップ
ガラス製の前面基板１１上に薄膜プロセスなどを用いて、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などの導電性金属酸化物からなる幅の広い透明電極１２ａ、１３ａを形成し、フォトリソグラフィ法などを用いて互いに平行な複数のライン状にパターニングする。次に、透明電極１２ａ、１３ａ上に銀などの導電性の良い材料を含むペーストをスクリーン印刷でライン状に形成し、これを所定の温度で焼成して固化させ走査電極１２と維持電極１３を形成する。走査電極１２と維持電極１３とは対をなして表示電極対１４を構成している。次に、表示電極対１４を覆うように酸化ビスマス系低融点ガラスなどを含むペーストをダイコート法などにより塗布し、その後、これを焼成して固化させ誘電体層１５を形成する。次に、誘電体層１５を覆うように酸化マグネシウムなどからなる保護膜１６を真空蒸着法により形成する。
【００２７】
（２）背面基板作製ステップ
ガラス製の背面基板１７上に銀などの導電性の良い材料を含むペーストをスクリーン印刷し、互いに平行な複数のライン状に形成する。これを所定の温度で焼成して固化させてデータ電極１８を形成する。次に、データ電極１８を覆うように酸化ビスマス系低融点ガラスと酸化チタン粒子とを含むペーストをダイコート法などにより塗布し、その後、これを焼成して固化させ下地誘電体層１９を形成する。次に、下地誘電体層１９上に低融点ガラスとフィラーなどを含むペーストを塗布し、これをフォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いて井桁状にパターニングする。その後、これを焼成して固化させて隔壁２０を形成する。次に、下地誘電体層１９の表面と隔壁２０の側面に赤、緑、青各色の蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを印刷法などにより塗布し、その後、これを約１００℃で乾燥することによって蛍光体層２３を形成する。
【００２８】
本発明では、この後、隔壁２０の検査をして隔壁２０に発生した欠陥とそのサイズを判定し、その結果に基づいて不灯処理を行うようにしている。不灯処理の詳細については後述する。
【００２９】
（３）封着材塗布ステップ
前面基板１１と背面基板１７の少なくとも一方の周囲（画像表示領域外部）に、ガラスフリットからなる封着材を塗布する。
【００３０】
（４）封着ステップ
封着ステップは、前面基板１１と背面基板１７とを封着材により貼り付けて封着するステップである。前面基板１１と周囲に封着材を塗布した背面基板１７とを、隔壁２０を挟んで対向配置して位置合わせし、その後、クリップなどで仮固定する。仮固定した前面基板１１と背面基板１７とを、ヒーターを内蔵した焼成炉（図示せず）の内部に配置する。次に、ヒーターをオンにして焼成炉の温度を上昇させる。焼成炉内部の温度が封着材の軟化点温度以上になると、封着材が軟化溶融して前面基板１１と背面基板１７とが封着される。
【００３１】
（５）排気ステップ
排気ステップでは、背面基板１７の隅部に形成した吸排気用のガラス管（図示せず）を介してＰＤＰ１０内部の放電空間の空気および不純ガスを排気する。
【００３２】
（６）放電ガス供給ステップ
放電ガス供給ステップでは吸排気用のガラス管を介してＰＤＰ１０の内部へ放電ガスを供給する。放電ガスは、例えば６０ｋＰａの圧力のキセノン（Ｘｅ）：１０％、ネオン（Ｎｅ）：９０％の混合ガスである。その後、吸排気用のガラス管をバーナーなどで加熱して封止する（チップオフ）。以上の工程によりＰＤＰ１０の組み立てが完了する。その後、一定時間、ＰＤＰ１０の各電極間に電圧をかけて放電させ、特性を安定させるエージングを行いＰＤＰ１０が完成する。
【００３３】
次に、本発明の特徴である不灯処理方法について説明する。
【００３４】
図４は、隔壁２０に欠陥が発生した場合の、隔壁欠陥部２１を示す背面基板１７の斜視図であり、隣接する異なる色の蛍光体層２３を仕切る主隔壁２０ａに欠陥が生じた場合について示している。図４において、図１と同じ構成については同じ符号を用い説明を省略する。図４に示すように、背面基板１７には、隔壁２０の製造条件のばらつきなどに起因して、主隔壁２０ａの一部が欠損した隔壁欠陥部２１が発生する場合がある。従来、このような隔壁欠陥部２１が主隔壁２０ａに存在した場合には、ディスペンサーなどを用いて隔壁修復部材を塗布して主隔壁２０ａを修復していた。しかしながら、このような修復作業は高精度な加工技術と多大な労力を必要とし、生産性を大幅に低下させていた。
【００３５】
このような隔壁欠陥部２１が存在する場合のＰＤＰ１０の画像表示品質について詳細に調べた。その結果、隔壁欠陥部２１が存在することによって、隣接するセルが不灯になる場合と輝点になる場合とがある。
【００３６】
輝点の発生による画像表示品質不良は、画面全体を黒表示する際にも点灯するためにその輝点が目立ちやすい。そのために、画面内に１点でも輝点があるとそのＰＤＰ１０は完全に不良品として扱われる。一方、不灯は、画面内に数点の不灯があったとしても目立ちにくく認知しにくい。そのため、ある個数以下の不灯を有していてもそのＰＤＰ１０は良品として取り扱うことが可能となる。
【００３７】
したがって、隔壁欠陥部２１によって輝点となる放電セル２４を、不灯セルに変えることによって良品とし、ＰＤＰ１０の製造歩留まりを大きく向上させることができる。
【００３８】
図５は、本実施の形態１における不灯処理ステップを示すフローチャートである。背面基板作製ステップの隔壁形成ステップ、蛍光体塗布ステップを終えた背面基板１７は隔壁検査ステップに移され、隔壁２０の隔壁欠陥部２１の有無とその隔壁欠陥部２１のサイズの特定が行われる。
【００３９】
隔壁欠陥部２１のサイズが小さければ輝点不良にはならないため、良否を判定する隔壁欠陥部２１のサイズの閾値をあらかじめ設定する。隔壁欠陥部２１のサイズがこの閾値未満の背面基板１７はそのまま次のステップに進み、隔壁欠陥部２１のサイズが閾値以上の背面基板１７は、隔壁欠陥部２１に隣接する放電セル２４に対する不灯処理ステップを経て次のステップに進む。すなわち、所定サイズの隔壁欠陥部２１が存在する場合には、その隔壁欠陥部２１に隣接する放電セル２４を不灯にするように処理をすることで、輝点による画像表示品質不良をなくすことができる。
【００４０】
図６は、本発明の実施の形態１における不灯処理方法を示す背面基板１７の断面図である。図６において図１と同じ構成については同じ符号を用い、説明を省略する。実施の形態１では閾値以上のサイズを有する隔壁欠陥部２１に隣接する左右両方の放電セル２４を不灯処理するようにしている。
【００４１】
図６に示すように、隔壁欠陥部２１が存在すると、隔壁欠陥部２１に隣接する赤色蛍光体層２３ａが形成された赤色放電セル２４ａと緑色蛍光体層２３ｂが形成され緑色放電セル２４ｂのどちらか一方もしくは両方が輝点不良の放電セル２４となる。そこで実施の形態１では、赤色蛍光体層２３ａおよび緑色蛍光体層２３ｂの上に、不灯処理部材３０を形成し、これにより輝点不良の発生を抑制している。すなわち、不灯処理部材３０が放電セル２４に存在することによって放電空間の容積を小さくして、放電の発生を阻止することができる。また、不灯処理部材３０は、放電で発生する真空紫外線を吸収する材料としてもよい。赤色放電セル２４ａまたは緑色放電セル２４ｂで放電が発生したとしても、放電で発生した真空紫外線を不灯処理部材３０が吸収し、赤色蛍光体層２３ａおよび緑色蛍光体層２３ｂに到達することはない。このように隔壁欠陥部２１に隣接した赤色放電セル２４ａおよび緑色放電セル２４ｂの不灯処理をより効果的に行うことができる。
【００４２】
なお、図６では隔壁欠陥部２１が赤色蛍光体層２３ａと緑色蛍光体層２３ｂに隣接する場合を示したが、隔壁欠陥部２１が緑色蛍光体層２３ｂと青色蛍光体層２３ｃに隣接する場合、青色蛍光体層２３ｃと赤色蛍光体層２３ａに隣接する場合であっても同様である。
【００４３】
（実施の形態２）
図７は、本実施の形態２における不灯処理方法を示す背面基板１７の断面図である。図７において図１と同じ構成については同じ符号を用い、説明を省略する。実施の形態２では、隣接する放電セル２４の蛍光体層２３を除去することにより不灯処理を行っている。すなわち、放電が発生したとしても、その放電セル２４には蛍光体層２３がないため、発光輝度は低くなり輝点として認知しないようにすることができる。
【００４４】
図７においては、隔壁欠陥部２１に隣接する赤色放電セル２４ａ、緑色放電セル２４ｂの赤色蛍光体層２３ａ、緑色蛍光体層２３ｂを除去している。なお、隔壁欠陥部２１が緑色蛍光体層２３ｂと青色蛍光体層２３ｃに隣接する場合、あるいは青色蛍光体層２３ｃと赤色蛍光体層２３ａに隣接する場合であっても同様である。
【００４５】
なお、以上の説明では、蛍光体層２３を形成する蛍光体塗布ステップの後に隔壁検査ステップを行っているが、隔壁形成ステップの直後に隔壁検査ステップを行い、その情報に基づいて蛍光体塗布ステップの後に不灯処理ステップを行ってもよい。
【００４６】
また、実施の形態１および実施の形態２では、隣接する放電セル２４の両方に不灯処理を行う場合について述べたが、各色の放電セル２４のサイズや各色蛍光体の視感度などを考慮して、いずれか一方の放電セル２４のみに不灯処理をしてもよい。
【００４７】
以上述べたように、本実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によれば、微細な隔壁を修復する作業をせずに、表示品質を大きく低下させる輝点の発生による不良を簡単な方法で抑制することができ、ＰＤＰの製造歩留まりを大きく向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明によるＰＤＰの製造方法によれば、表示品質を大きく低下させる輝点不良を簡単な方法で抑制することができるので、表示装置の製造歩留まり向上に有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１０ ＰＤＰ
１１ 前面基板
１２ 走査電極
１２ａ，１３ａ 透明電極
１３ 維持電極
１４ 表示電極対
１５ 誘電体層
１６ 保護膜
１７ 背面基板
１８ データ電極
１９ 下地誘電体層
２０ 隔壁
２０ａ 主隔壁
２０ｂ 補助隔壁
２１ 隔壁欠陥部
２３ 蛍光体層
２３ａ 赤色蛍光体層
２３ｂ 緑色蛍光体層
２３ｃ 青色蛍光体層
２４ 放電セル
２４ａ 赤色放電セル
２４ｂ 緑色放電セル
２４ｃ 青色放電セル
３０ 不灯処理部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、壁掛けテレビや大型モニター等に用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と略記する）として代表的な交流面放電型ＰＤＰは、前面基板と背面基板とからなり、それらが対向配置されて周囲が封着されるとともに内部に多数の放電セルが形成された構成になっている。
【０００３】
前面基板は、ガラス基板上に互いに平行な複数の表示電極対が形成され、それら表示電極対を覆うように誘電体層が形成されている。さらに誘電体層を覆うように保護層が形成されている。一方、背面基板は、ガラス基板上に互いに平行な複数のデータ電極が形成され、それらデータ電極を覆うように下地誘電体層が形成されている。また、下地誘電体層上には井桁状の隔壁が形成され、さらに誘電体層の表面と隔壁の側面には蛍光体層が形成されている。
【０００４】
前面基板と背面基板は、表示電極対とデータ電極とが交差するように隔壁を挟んで対向配置されるとともに周囲が封着され、内部に放電空間が形成されている。内部の放電空間には放電ガスが封入され、表示電極対とデータ電極とが対向する部分に放電セルが形成されている。このような構成のＰＤＰの各放電セル内でガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で赤色、緑色および青色の各色の蛍光体を励起発光させてカラー表示を行っている。
【０００５】
近年、ＰＤＰの大画面化および高精細化が進展するとともに、製造工程での高い歩留まりが要求される。特に、隔壁形成においては、隔壁の一部または全部が欠落するなどの隔壁欠陥が発生しやすく、その結果、隣接する放電セルが不灯や輝点になるなどの表示不良を発生させる。このような隔壁欠陥の対策として、ディスペンサーなどを用いて隔壁修復部材を隔壁欠陥に塗布し修復する方法が特許文献１や特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−５９６５８号公報
【特許文献２】特開２００５−３１７５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１および特許文献２に開示されている方法は隔壁そのものを修復する方法であるが、隔壁が微細であるために高度な加工技術と多大の労力を必要とするという課題を有している。
【０００８】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、隔壁の欠陥による表示不良を簡単な方法で低減させ、ＰＤＰの製造歩留まりを向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明のＰＤＰの製造方法は、互いに平行な複数の表示電極対と誘電体層と保護層とを前面基板に形成する前面基板作製ステップと、互いに平行な複数のデータ電極と下地誘電体層と放電セルを仕切る隔壁と蛍光体層とを背面基板に形成する背面基板作製ステップと、間に放電空間を形成するように隔壁を挟んで前面基板と背面基板とを対向配置して封着する封着ステップとを備えるＰＤＰの製造方法であって、背面基板作製ステップが、隔壁の欠陥検査を行う隔壁検査ステップと、隔壁検査ステップの結果に基づいて隔壁欠陥部に隣接する放電セルを不灯にする不灯処理ステップと、を含んでいる。
【００１０】
このような方法によれば、隔壁欠陥部によって発生する輝点不良を抑制し、ＰＤＰの製造歩留まりを向上させることができる。
【００１１】
さらに、隔壁検査ステップにおいて隔壁欠陥部の大きさを判定し、隔壁欠陥部の大きさが所定の閾値以上の場合にのみ、隔壁欠陥部に隣接する前記放電セルを不灯にしてもよい。このような方法によれば、輝点不良になる放電セルを確実に抑制することができる。
【００１２】
さらに、背面基板作製ステップは蛍光体層を形成する蛍光体塗布ステップを備え、不灯処理ステップを蛍光体塗布ステップの後に行ってもよい。このような方法によれば不灯処理をより容易に行うことができる。
【００１３】
さらに、不灯処理ステップが、放電セルに不灯処理用部材を挿入することにより不灯処理を行ってもよい。このような方法によれば不灯処理をより容易に行うことができる。
【００１４】
さらに、不灯処理用部材が放電で発生する真空紫外線を吸収する材料であってもよい。このような方法によれば不灯処理をより効果的に行うことができる。
【００１５】
さらに、不灯処理ステップが、放電セルの蛍光体層を除去することにより不灯処理を行ってもよい。このような方法によれば不灯処理をより効果的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明のＰＤＰの製造方法によれば、隔壁の欠陥による表示不良を簡単な方法で低減させ、ＰＤＰの製造歩留まりを向上させることを目的とする。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法により作製されるＰＤＰの分解斜視図である。
【図２】同ＰＤＰの電極配列図である。
【図３】実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法の示すフローチャートである。
【図４】隔壁欠陥部を示す背面基板の斜視図である。
【図５】実施の形態１における不灯処理ステップを示すフローチャートである。
【図６】実施の形態１における不灯処理を示す背面基板の断面図である。
【図７】実施の形態２における不灯処理を示す背面基板の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態によるＰＤＰの製造方法について図面を用いて説明する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法により作製されるＰＤＰの分解斜視図である。図１に示すように、ＰＤＰ１０は、前面基板１１と背面基板１７とから構成されている。ガラス製の前面基板１１上には、走査電極１２と維持電極１３とで対をなす表示電極対１４が互いに平行に複数対形成されている。走査電極１２および維持電極１３は、走査電極１２−維持電極１３−維持電極１３−走査電極１２の配列で繰り返すパターンで形成されている。走査電極１２および維持電極１３は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などの導電性金属酸化物からなる幅の広い透明電極の上に、導電性を高めるために銀（Ａｇ）などの金属を含む幅の狭いバス電極を積層して形成されている。さらに、表示電極対１４を覆うように誘電体層１５および保護膜１６が形成されている。
【００２０】
誘電体層１５は、膜厚が約４０μｍの酸化ビスマス系低融点ガラスまたは酸化亜鉛系低融点ガラスから形成されている。保護膜１６は、膜厚が約０．８μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主体とするアルカリ土類酸化物からなる薄膜層であり、誘電体層１５をイオンスパッタから保護するとともに放電開始電圧などの放電特性を安定させるために設けられている。
【００２１】
ガラス製の背面基板１７上には、銀を主成分とする導電性材料からなる互いに平行な複数のデータ電極１８が形成され、データ電極１８を覆うように下地誘電体層１９が形成されている。下地誘電体層１９は、誘電体層１５と同様の材料であってもよいが、可視光反射層としての働きも兼ねるように酸化チタン（ＴｉＯ２）粒子を混合した材料であってもよい。下地誘電体層１９上には井桁状の隔壁２０が形成されており、隔壁２０はデータ電極１８と平行な主隔壁２０ａと、これに直交する補助隔壁２０ｂとから構成されている。
【００２２】
下地誘電体層１９の表面と隔壁２０の側面とには、赤色蛍光体層２３ａ、緑色蛍光体層２３ｂ、青色蛍光体層２３ｃの各色の蛍光体層２３が形成されている。隔壁２０は、例えば低融点ガラス材料を用いて約０．１２ｍｍの高さに形成されている。蛍光体層２３は、青色蛍光体としてＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕを、緑色蛍光体としてＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎを、赤色蛍光体として（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕなどをそれぞれ用いて約１５μｍの膜厚に形成されている。
【００２３】
前面基板１１と背面基板１７は、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差するように、隔壁２０を挟んで対向配置され、その周囲（画像表示領域外部）を封着材によって封着してその内部に放電空間が形成されている。放電空間にはキセノン（Ｘｅ）などを含む放電ガスが約６０ｋＰａの圧力で封入されている。放電空間は井桁状の隔壁２０によって複数の区画に仕切られており、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差する部分に放電セル２４が形成されている。そしてこれらの放電セル２４が放電、発光することにより画像が表示される。なお、ＰＤＰ１０の構造は上述したものに限られるわけではなく、隔壁２０がストライプ状であってもよい。
【００２４】
図２はＰＤＰ１０の電極配列図である。行方向にｎ本の走査電極ＳＣ１〜ＳＣｎ（図１の走査電極１２）およびｎ本の維持電極ＳＵ１〜ＳＵｎ（図１の維持電極１３）が配列され、列方向にｍ本のデータ電極Ｄ１〜Ｄｍ（図１のデータ電極１８）が配列されている。そして、１対の走査電極ＳＣｉおよび維持電極ＳＵｉ（ｉ＝１〜ｎ）と１つのデータ電極Ｄｊ（ｊ＝１〜ｍ）とが交差した部分に放電セル２４が形成され、放電セル２４は放電空間内にｍ×ｎ個形成されている。
【００２５】
次に、このようなＰＤＰ１０の製造方法について説明する。図３は、実施の形態１におけるＰＤＰ１０の製造方法を示すフローチャートである。以下、フローチャートに従って説明する。
【００２６】
（１）前面基板作製ステップ
ガラス製の前面基板１１上に薄膜プロセスなどを用いて、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などの導電性金属酸化物からなる幅の広い透明電極１２ａ、１３ａを形成し、フォトリソグラフィ法などを用いて互いに平行な複数のライン状にパターニングする。次に、透明電極１２ａ、１３ａ上に銀などの導電性の良い材料を含むペーストをスクリーン印刷でライン状に形成し、これを所定の温度で焼成して固化させ走査電極１２と維持電極１３を形成する。走査電極１２と維持電極１３とは対をなして表示電極対１４を構成している。次に、表示電極対１４を覆うように酸化ビスマス系低融点ガラスなどを含むペーストをダイコート法などにより塗布し、その後、これを焼成して固化させ誘電体層１５を形成する。次に、誘電体層１５を覆うように酸化マグネシウムなどからなる保護膜１６を真空蒸着法により形成する。
【００２７】
（２）背面基板作製ステップ
ガラス製の背面基板１７上に銀などの導電性の良い材料を含むペーストをスクリーン印刷し、互いに平行な複数のライン状に形成する。これを所定の温度で焼成して固化させてデータ電極１８を形成する。次に、データ電極１８を覆うように酸化ビスマス系低融点ガラスと酸化チタン粒子とを含むペーストをダイコート法などにより塗布し、その後、これを焼成して固化させ下地誘電体層１９を形成する。次に、下地誘電体層１９上に低融点ガラスとフィラーなどを含むペーストを塗布し、これをフォトリソグラフィ法やサンドブラスト法を用いて井桁状にパターニングする。その後、これを焼成して固化させて隔壁２０を形成する。次に、下地誘電体層１９の表面と隔壁２０の側面に赤、緑、青各色の蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを印刷法などにより塗布し、その後、これを約１００℃で乾燥することによって蛍光体層２３を形成する。
【００２８】
本発明では、この後、隔壁２０の検査をして隔壁２０に発生した欠陥とそのサイズを判定し、その結果に基づいて不灯処理を行うようにしている。不灯処理の詳細については後述する。
【００２９】
（３）封着材塗布ステップ
前面基板１１と背面基板１７の少なくとも一方の周囲（画像表示領域外部）に、ガラスフリットからなる封着材を塗布する。
【００３０】
（４）封着ステップ
封着ステップは、前面基板１１と背面基板１７とを封着材により貼り付けて封着するステップである。前面基板１１と周囲に封着材を塗布した背面基板１７とを、隔壁２０を挟んで対向配置して位置合わせし、その後、クリップなどで仮固定する。仮固定した前面基板１１と背面基板１７とを、ヒーターを内蔵した焼成炉（図示せず）の内部に配置する。次に、ヒーターをオンにして焼成炉の温度を上昇させる。焼成炉内部の温度が封着材の軟化点温度以上になると、封着材が軟化溶融して前面基板１１と背面基板１７とが封着される。
【００３１】
（５）排気ステップ
排気ステップでは、背面基板１７の隅部に形成した吸排気用のガラス管（図示せず）を介してＰＤＰ１０内部の放電空間の空気および不純ガスを排気する。
【００３２】
（６）放電ガス供給ステップ
放電ガス供給ステップでは吸排気用のガラス管を介してＰＤＰ１０の内部へ放電ガスを供給する。放電ガスは、例えば６０ｋＰａの圧力のキセノン（Ｘｅ）：１０％、ネオン（Ｎｅ）：９０％の混合ガスである。その後、吸排気用のガラス管をバーナーなどで加熱して封止する（チップオフ）。以上の工程によりＰＤＰ１０の組み立てが完了する。その後、一定時間、ＰＤＰ１０の各電極間に電圧をかけて放電させ、特性を安定させるエージングを行いＰＤＰ１０が完成する。
【００３３】
次に、本発明の特徴である不灯処理方法について説明する。
【００３４】
図４は、隔壁２０に欠陥が発生した場合の、隔壁欠陥部２１を示す背面基板１７の斜視図であり、隣接する異なる色の蛍光体層２３を仕切る主隔壁２０ａに欠陥が生じた場合について示している。図４において、図１と同じ構成については同じ符号を用い説明を省略する。図４に示すように、背面基板１７には、隔壁２０の製造条件のばらつきなどに起因して、主隔壁２０ａの一部が欠損した隔壁欠陥部２１が発生する場合がある。従来、このような隔壁欠陥部２１が主隔壁２０ａに存在した場合には、ディスペンサーなどを用いて隔壁修復部材を塗布して主隔壁２０ａを修復していた。しかしながら、このような修復作業は高精度な加工技術と多大な労力を必要とし、生産性を大幅に低下させていた。
【００３５】
このような隔壁欠陥部２１が存在する場合のＰＤＰ１０の画像表示品質について詳細に調べた。その結果、隔壁欠陥部２１が存在することによって、隣接するセルが不灯になる場合と輝点になる場合とがある。
【００３６】
輝点の発生による画像表示品質不良は、画面全体を黒表示する際にも点灯するためにその輝点が目立ちやすい。そのために、画面内に１点でも輝点があるとそのＰＤＰ１０は完全に不良品として扱われる。一方、不灯は、画面内に数点の不灯があったとしても目立ちにくく認知しにくい。そのため、ある個数以下の不灯を有していてもそのＰＤＰ１０は良品として取り扱うことが可能となる。
【００３７】
したがって、隔壁欠陥部２１によって輝点となる放電セル２４を、不灯セルに変えることによって良品とし、ＰＤＰ１０の製造歩留まりを大きく向上させることができる。
【００３８】
図５は、本実施の形態１における不灯処理ステップを示すフローチャートである。背面基板作製ステップの隔壁形成ステップ、蛍光体塗布ステップを終えた背面基板１７は隔壁検査ステップに移され、隔壁２０の隔壁欠陥部２１の有無とその隔壁欠陥部２１のサイズの特定が行われる。
【００３９】
隔壁欠陥部２１のサイズが小さければ輝点不良にはならないため、良否を判定する隔壁欠陥部２１のサイズの閾値をあらかじめ設定する。隔壁欠陥部２１のサイズがこの閾値未満の背面基板１７はそのまま次のステップに進み、隔壁欠陥部２１のサイズが閾値以上の背面基板１７は、隔壁欠陥部２１に隣接する放電セル２４に対する不灯処理ステップを経て次のステップに進む。すなわち、所定サイズの隔壁欠陥部２１が存在する場合には、その隔壁欠陥部２１に隣接する放電セル２４を不灯にするように処理をすることで、輝点による画像表示品質不良をなくすことができる。
【００４０】
図６は、本発明の実施の形態１における不灯処理方法を示す背面基板１７の断面図である。図６において図１と同じ構成については同じ符号を用い、説明を省略する。実施の形態１では閾値以上のサイズを有する隔壁欠陥部２１に隣接する左右両方の放電セル２４を不灯処理するようにしている。
【００４１】
図６に示すように、隔壁欠陥部２１が存在すると、隔壁欠陥部２１に隣接する赤色蛍光体層２３ａが形成された赤色放電セル２４ａと緑色蛍光体層２３ｂが形成され緑色放電セル２４ｂのどちらか一方もしくは両方が輝点不良の放電セル２４となる。そこで実施の形態１では、赤色蛍光体層２３ａおよび緑色蛍光体層２３ｂの上に、不灯処理部材３０を形成し、これにより輝点不良の発生を抑制している。すなわち、不灯処理部材３０が放電セル２４に存在することによって放電空間の容積を小さくして、放電の発生を阻止することができる。また、不灯処理部材３０は、放電で発生する真空紫外線を吸収する材料としてもよい。赤色放電セル２４ａまたは緑色放電セル２４ｂで放電が発生したとしても、放電で発生した真空紫外線を不灯処理部材３０が吸収し、赤色蛍光体層２３ａおよび緑色蛍光体層２３ｂに到達することはない。このように隔壁欠陥部２１に隣接した赤色放電セル２４ａおよび緑色放電セル２４ｂの不灯処理をより効果的に行うことができる。
【００４２】
なお、図６では隔壁欠陥部２１が赤色蛍光体層２３ａと緑色蛍光体層２３ｂに隣接する場合を示したが、隔壁欠陥部２１が緑色蛍光体層２３ｂと青色蛍光体層２３ｃに隣接する場合、青色蛍光体層２３ｃと赤色蛍光体層２３ａに隣接する場合であっても同様である。
【００４３】
（実施の形態２）
図７は、本実施の形態２における不灯処理方法を示す背面基板１７の断面図である。図７において図１と同じ構成については同じ符号を用い、説明を省略する。実施の形態２では、隣接する放電セル２４の蛍光体層２３を除去することにより不灯処理を行っている。すなわち、放電が発生したとしても、その放電セル２４には蛍光体層２３がないため、発光輝度は低くなり輝点として認知しないようにすることができる。
【００４４】
図７においては、隔壁欠陥部２１に隣接する赤色放電セル２４ａ、緑色放電セル２４ｂの赤色蛍光体層２３ａ、緑色蛍光体層２３ｂを除去している。なお、隔壁欠陥部２１が緑色蛍光体層２３ｂと青色蛍光体層２３ｃに隣接する場合、あるいは青色蛍光体層２３ｃと赤色蛍光体層２３ａに隣接する場合であっても同様である。
【００４５】
なお、以上の説明では、蛍光体層２３を形成する蛍光体塗布ステップの後に隔壁検査ステップを行っているが、隔壁形成ステップの直後に隔壁検査ステップを行い、その情報に基づいて蛍光体塗布ステップの後に不灯処理ステップを行ってもよい。
【００４６】
また、実施の形態１および実施の形態２では、隣接する放電セル２４の両方に不灯処理を行う場合について述べたが、各色の放電セル２４のサイズや各色蛍光体の視感度などを考慮して、いずれか一方の放電セル２４のみに不灯処理をしてもよい。
【００４７】
以上述べたように、本実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によれば、微細な隔壁を修復する作業をせずに、表示品質を大きく低下させる輝点の発生による不良を簡単な方法で抑制することができ、ＰＤＰの製造歩留まりを大きく向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明によるＰＤＰの製造方法によれば、表示品質を大きく低下させる輝点不良を簡単な方法で抑制することができるので、表示装置の製造歩留まり向上に有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１０ ＰＤＰ
１１ 前面基板
１２ 走査電極
１２ａ，１３ａ 透明電極
１３ 維持電極
１４ 表示電極対
１５ 誘電体層
１６ 保護膜
１７ 背面基板
１８ データ電極
１９ 下地誘電体層
２０ 隔壁
２０ａ 主隔壁
２０ｂ 補助隔壁
２１ 隔壁欠陥部
２３ 蛍光体層
２３ａ 赤色蛍光体層
２３ｂ 緑色蛍光体層
２３ｃ 青色蛍光体層
２４ 放電セル
２４ａ 赤色放電セル
２４ｂ 緑色放電セル
２４ｃ 青色放電セル
３０ 不灯処理部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行な複数の表示電極対と誘電体層と保護層とを前面基板に形成する前面基板作製ステップと、互いに平行な複数のデータ電極と下地誘電体層と放電セルを仕切る隔壁と蛍光体層とを背面基板に形成する背面基板作製ステップと、間に放電空間を形成するように前記隔壁を挟んで前記前面基板と前記背面基板とを対向配置して封着する封着ステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記背面基板作製ステップが、前記隔壁の欠陥検査を行う隔壁検査ステップと、前記隔壁検査ステップの結果に基づいて隔壁欠陥部に隣接する前記放電セルを不灯にする不灯処理ステップと、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記隔壁検査ステップにおいて前記隔壁欠陥部の大きさを判定し、前記隔壁欠陥部の大きさが所定の閾値以上の場合にのみ、前記隔壁欠陥部に隣接する前記放電セルを不灯にすることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記背面基板作製ステップは前記蛍光体層を形成する蛍光体塗布ステップを備え、前記不灯処理ステップを前記蛍光体塗布ステップの後に行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記不灯処理ステップが、前記放電セルに不灯処理用部材を挿入することにより不灯処理を行うことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記不灯処理用部材が放電で発生する真空紫外線を吸収する材料であることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
前記不灯処理ステップが、前記放電セルの前記蛍光体層を除去することにより不灯処理を行うことを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１】
互いに平行な複数の表示電極対と誘電体層と保護層とを前面基板に形成する前面基板作製ステップと、互いに平行な複数のデータ電極と下地誘電体層と放電セルを仕切る隔壁と蛍光体層とを背面基板に形成する背面基板作製ステップと、間に放電空間を形成するように前記隔壁を挟んで前記前面基板と前記背面基板とを対向配置して封着する封着ステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記背面基板作製ステップが、前記隔壁の欠陥検査を行う隔壁検査ステップと、前記隔壁検査ステップの結果に基づいて隔壁欠陥部に隣接する前記放電セルを不灯にする不灯処理ステップと、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記隔壁検査ステップにおいて前記隔壁欠陥部の大きさを判定し、前記隔壁欠陥部の大きさが所定の閾値以上の場合にのみ、前記隔壁欠陥部に隣接する前記放電セルを不灯にすることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記背面基板作製ステップは前記蛍光体層を形成する蛍光体塗布ステップを備え、前記不灯処理ステップを前記蛍光体塗布ステップの後に行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記不灯処理ステップが、前記放電セルに不灯処理用部材を挿入することにより不灯処理を行うことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記不灯処理用部材が放電で発生する真空紫外線を吸収する材料であることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
前記不灯処理ステップが、前記放電セルの前記蛍光体層を除去することにより不灯処理を行うことを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−２３８５３９（Ｐ２０１１−２３８５３９Ａ）
【公開日】平成２３年１１月２４日（２０１１．１１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１１０７５１（Ｐ２０１０−１１０７５１）
【出願日】平成２２年５月１３日（２０１０．５．１３）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１１月２４日（２０１１．１１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年５月１３日（２０１０．５．１３）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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