プローブ顕微鏡の探針位置合せ方法およびその方法により操作されるプローブ顕微鏡
【課題】 光学顕微鏡等の試料観察手段に対して、プローブ顕微鏡観察位置を精度よく設定できる位置合せ方法およびプローブ顕微鏡の提供すること。
【解決手段】 試料表面およびカンチレバー形状を光学顕微鏡等の観察可能な手段にて、事前に既知の構造からなる試料を用いて、試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置を確認し、その相対位置関係を記録した後、カンチレバー位置を指定する第一のマーキングと第一のマーキングに連動して表示される前記相対位置関係にある第二のマーキングを製作し、第二のマーキングを基に試料位置合せをするようにした。
【解決手段】 試料表面およびカンチレバー形状を光学顕微鏡等の観察可能な手段にて、事前に既知の構造からなる試料を用いて、試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置を確認し、その相対位置関係を記録した後、カンチレバー位置を指定する第一のマーキングと第一のマーキングに連動して表示される前記相対位置関係にある第二のマーキングを製作し、第二のマーキングを基に試料位置合せをするようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料表面の表面粗さや段差などの形状情報や、誘電率や粘弾性などの物理情報を測定するプローブ顕微鏡の試料測定位置への探針の位置合せ方法およびその方法により操作されるプローブ顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細形状の評価としての形状測定として、原子分解能を有する、原子間力顕微鏡をはじめとする、プローブ顕微鏡が期待されている。プローブ顕微鏡の一種である原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＡＦＭ）は走査トンネル顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＴＭ）の発明者であるＧ．Ｂｉｎｎｉｇらによって考案されて以来、新規な絶縁性物質の表面形状観察手段として期待され、研究が進められている。
【０００３】
プローブ顕微鏡の概略システム構成の一例として、図６を用いて説明する。
【０００４】
測定対象の試料５１は試料を三次元に移動させる微動機構５２上に配置されている。微動機構５２は、電圧を印加すると変形を生じる圧電素子が用いられ、試料５１をこの試料と相対した位置に配置された探針５３に対して微小な位置合せを行うものである。探針５３はカンチレバー５４と称する片持ち状の梁材の先端に構成されている。
【０００５】
一般的なカンチレバーの形状の一例を図７に示す。カンチレバー基板６４に片持ち梁状のカンチレバー５４が設けられ、カンチレバー５４の先端に主に四角垂状で高さは１〜２μｍの微細な探針（プローブ）５３が形成されている。そして、これらのカンチレバー基板６４やカンチレバー５４および探針５３はシリコンまたはシリコン系の材料からなり、異方性エッチング技術などを用いて一体ものとして加工されている。
【０００６】
カンチレバー５４を有したカンチレバー基板６４は、カンチレバーホルダ５５に保持される。
【０００７】
また、微動機構５２は試料５１と探針５３を３次元的に移動させるステージ等からなる粗動機構５６上に構成されている。ここでは、粗動機構５６は、ステッピングモータ駆動によるネジ送り機構が用いられている。
【０００８】
カンチレバー５４側に探針５３が試料表面から受ける原子間力等の物理量力により片持ち状の梁材の変形を検出する変位検出系５７が構成されている。変位検出系５７は、カンチレバー５４の裏面に照射する半導体レーザ５８と、その反射光を検出する４分割された光検出器５９とから構成され、カンチレバー５４の変位により光検出器に入射するする位置が変化することでカンチレバーの変位（たわみ変形）を検出する光てこ検出と呼ばれる方式が使用されている。
【０００９】
光検出器５９の信号はアンプ６０を介して、試料５１と探針５３のＺ軸（鉛直方向）距離を制御するＺ軸制御フィードバック回路６１に送られ、微動機構５２を稼動させて、探針５３と試料５１のＺ軸位置関係が制御される。探針５３と試料５１の面内走査はＸＹ駆動回路６２からの信号により微動機構を走査して行われる。そして、Ｚ軸制御およびＸＹ駆動等はコンピュータおよび制御系６３により制御させる。
【００１０】
粗動機構５６を用いてカンチレバー５４の先端の探針５３を試料５１表面に近づけていく。そして、試料５１表面から探針５３が受ける原子間力や磁気力、粘弾性等の物理量力によるカンチレバー５４の変形を変位検出系５７で検出して、所定の変形に達したときに、測定領域に探針５３が位置合せされたと判断して、粗動機構５６を停止するとともに、試料側または、カンチレバー側に構成された試料５１と探針５３を相対的に移動させる微動機構５２のＺ軸を制御して探針５３と試料５１表面距離を保つ、また、微動機構５２のＺ軸を制御しつつ、粗動機構５６を駆動させて、微動機構５２のＺ軸の変位量を調整して、探針５３と試料５１表面の位置合せを行う。そして、カンチレバー５４の変形値が一定になるように制御し、微動機構５６を試料面内に対して走査しながら計測することで試料面内の形状や物性を視覚的に画像化する。
【００１１】
プローブ顕微鏡で測定したい場所を指定する手段として、光学顕微鏡を用いているのが一般的であり、カンチレバーと試料の間を斜め方向から観察する方法やプリズム等の光学部材を用いて直上観察を行う方法等がある（例えば、特許文献１参照）。斜めから観察した場合、光学顕微鏡と反対側の奥行き具合が不確かな分、位置合せ精度が悪いことになる。その点、直上観察の場合は位置合せがし易いといえる。通常、直上観察の場合、探針のついた方とは逆のカンチレバー背面に光学顕微鏡の焦点をあわせて探針位置を確認し、その位置をもとに、試料表面上に光学顕微鏡の焦点をあわせてプローブ顕微鏡にて観察したい位置を決めることになる。この場合、図８ａに示すように光学顕微鏡７１、探針７２、試料７３の観察対象である７４に対して光路７５と試料と探針を位置合せする位置合せ手段（粗動機構）の移動経路７６が一致している場合、探針７２と試料７３間の近接位置７７においては、問題なく観察対象７４に探針７２を位置合せすることができ、光学顕微鏡７１で観察したい観察対象をプローブ顕微鏡で観察ができる。しかしながら、調整をしない限り光学顕微鏡と粗動機構は異なる部材で構成されているため、装置構成上ずれが生じてしまう。図８ｂに示すように、直上観察の場合でも誤差７８が生じ、位置合せ精度が悪い場合がある。その誤差は光学顕微鏡の焦点位置に対して近接位置７７が大きいほど幾何学的関係の倍率で変動するといえる。探針を試料に近づけて位置合せすればその差は少なくなるといえるが、その場合、光学顕微鏡はカンチレバーの背面を観ているため、カンチレバー観察時の焦点位置と試料を観察時の焦点位置に差がなくなり、試料表面を観察するときカンチレバーの影が邪魔をして試料表面を観察できないことになる。
【００１２】
また、プローブ顕微鏡の走査領域は数十ミクロンが一般的で、位置合せ精度が悪い場合、プローブ顕微鏡での走査領域を外れることがある。その場合、プローブ顕微鏡の走査領域を大きくする方法も考えられるが、より小さいものを観察したい場合、プローブ顕微鏡の走査領域が大きいとデータ取得間隔が大きい分、分解能が低下し、観察対象を探すのに時間を要することになる。
【００１３】
また、光学顕微鏡と組み合わせて例として探針とは別の位置に光学顕微鏡を配置し、カンチレバー交換ごとに、既知の試料を基に試料観察位置と探針位置をステージ等の移動機構により調整する方法がある（例えば、特許文献２，３参照）。また、プローブ顕微鏡探針位置とは離れた位置に配置した光学顕微鏡を用いて探針位置を補正する方法がある（例えば、特許文献４，５参照）。この方法においては位置合せ精度的にはあるといえるが、装置が大掛かりとなり、小型の装置に関しては不向きといえる。
【００１４】
そこで、観察したい位置を容易に位置合せできるプローブ顕微鏡が求められている。
【特許文献１】特許 第３０２３６８６号公報
【特許文献２】特許２９０９８２９号公報
【特許文献３】特開平６−２０１３７２
【特許文献４】特開平９−２０３７４０
【特許文献５】特開平４−５８１０２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上記の問題点を解決し、試料表面へのプローブ顕微鏡観察位置とカンチレバー先端の探針とを容易に、かつ、精度よく位置合せを行い得る探針の位置合せ方法ならびにその方法により操作されるプローブ顕微鏡の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
【００１７】
本発明のプローブ顕微鏡は、試料表面およびカンチレバー形状を光学顕微鏡等の観察可能な手段にて、事前に既知の構造からなる試料を用いて、試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置を確認し、その相対位置関係を記録した後、カンチレバー位置を指定する第一のマーキングと第一のマーキングに連動して表示される前記相対位置関係にある第二のマーキングを製作し、第二のマーキングを基に試料位置合せをするようにした。
【００１８】
また、事前に既知の構造からなる試料を用いて、試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置を確認したときの観察手段からのカンチレバーおよび試料観察位置、そして、プローブ顕微鏡観察作業時に行われる観察手段からのカンチレバーおよび試料観察位置の違いに対して幾何学的補正を加えて試料観察時に表示されたマーキングを基に試料位置合せをすることで探針を試料観察位置に位置合せをするようにした。
【発明の効果】
【００１９】
光学顕微鏡等の試料表面およびカンチレバー形状観察可能な手段にて、事前に既知の構造からなる試料を用いて、光学顕微鏡等の試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置間の相対位置を補正されたマーキングにて、試料上の観察対象位置を特定することにより、装置構成上から生じる位置合せ誤差を低減することができ、ソフトウェア的運用による比較的簡単な構造にて精度の良い観察位置の特定が可能になる。
【００２０】
これにより、光学顕微鏡での観察とプローブ顕微鏡観察領域内での精度の良い位置合せができ、測定結果の信頼性が向上したプローブ顕微鏡を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明に係るプローブ顕微鏡の第一実施形態を、図１、図２ａから２ｆを参照して説明する。尚、以下の実施形態では、図６で説明したプローブ顕微鏡の概略システム構成と基本的には同一の構成については、その説明を省略する。
【００２２】
図１は、本発明に係る第一実施形態のプローブ顕微鏡の構成図である。
【００２３】
図６にて説明したようなプローブ顕微鏡ユニット１が除振台の定盤２に構成されている。プローブ顕微鏡ユニット１の上部に構成された光テコ方式によるカンチレバーの変位を検出する機能を有する光学ヘッド３の上方に光学顕微鏡４およびＣＣＤカメラ６がアーム７およびポール８を介して除振台定盤２に設置されている。試料表面およびカンチレバー観察は光学顕微鏡像としてＣＣＤカメラを介してコンピュータ内でデジタル処理されディスプレイ上に表示される。粗い焦点調整としてはポール８に対してアーム７を上下することで行われる。また、カンチレバー表面と試料表面間の微調整的な焦点変更は光学顕微鏡４の焦点調整用リング５を手動操作することで焦点調整を行う。
【００２４】
次に、装置固有の光学顕微鏡の光路と試料、探針間の位置合せをする位置合せ手段（粗動機構）の移動経路の誤差を以下の手順で算出する。
１．既知の構造からなる試料を用意する。本実施例では１０ミクロンピッチで数字が描かれたシリコン製の構造パターンを用いた。
２．カンチレバーを装置にセットする。本実施例ではカンチレバー先端部に探針が形成されているシリコン製のカンチレバーを用いた。
３．カンチレバーに光学顕微鏡の焦点をあわせ比較的観察視野領域が広い光学顕微鏡像を表示する。
４．図２ａに示すように、ＣＣＤ画像１１に示されたカンチレバー１２の先端にある探針１３の位置に探針位置を示す第一のマーキングをする（探針位置決定）。十字マーキング１４はＣＣＤ画像１１上に上書きされ、光学顕微鏡の焦点を変えても表示は残るようにしてある。
５．試料表面に焦点をあわせる。
６．図２ｂに示すように、先の十字マーキング１４をパターン試料１５上の任意観察位置に合わせる。通常、ＣＣＤ画像１１上で中央位置のパターンを選択する。
７．探針を試料表面にアプローチしてプローブ顕微鏡観察を行う。測定結果としてたとえば図２ｃのような画像が得られる。
８．図２ｄに示すように、図２ｃのパターン数字１６のプローブ顕微鏡観察結果よりＣＣＤ画像１１に第二のマーキングをする（プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を決定）。第一のマーキングである十字マーキング１４と第二のマーキングである×字マーキング１７の差、１８，１９が装置固有の光学顕微鏡の光路と試料、探針を位置合せする位置合せ手段（粗動機構）の移動経路の誤差となる。そして、第一のマーキング１４と第二のマーキング１７が連動するように相対位置関係として算定し、装置内の記憶手段に記憶する（広観察領域時の相対位置関係の算定と記憶）。
以上の作業にて装置固有の誤差である広観察領域時の相対位置関係の算定が終了する。装置固有の値であるから装置の構成を変えない限り、カンチレバーを交換しても、この作業は行う必要はない。なお、上述の例には、既知の構造からなる試料を用いたが、直接測定に供する試料を用いることも可能である。ただし、既知の構造からなる試料を用いる方が、観察位置を容易に特定しやすいため好ましい。
次に、２回目以降の通常の測定を行う作業を説明する。
１．試料をセットする。
２．カンチレバーを装置にセットする。
３．カンチレバーに光学顕微鏡の焦点をあわせ光学顕微鏡像を表示する。
４．探針位置に第一のマーキングをする（観察時の探針位置）。図２ｅに示すように十字マーキング１４および連動する第二のマーキングである×字マーキング１７（観察時の探針位置と前記記憶した広観察領域時の相対位置関係の算定結果とに基づく前記プローブ顕微鏡観察が実際に行われると仮想した位置）がつけられる。
また、画面上ふたつのマーキング表示をした場合の試料観察の見え方を考慮して、ソフトウェア操作で画面表示において第二のマーキングを表示の有無を切り替えるようにした。
５．試料表面に焦点をあわせる。
６．図２ｆに示すように第二のマーキングである×字マーキング１７が表示される。
第一のマーキング１４と第二のマーキング１７とは連動しているため、区別をするように本実施例ではマーキング形状を変えてある。また、色を変える方法もある。また、試料観察用に観察手段である光学顕微鏡の焦点や倍率を変えた時点で探針位置のマーキングを消してもよい。これは、位置合わせを行うためのマークの誤認を無くし、より確実な位置合せ工程とする点でより好ましい。
７．第二マーキングである×字マーキング１７を実際の探針位置と仮想して試料の観察位置２０にあわせる。
８．探針を試料表面にアプローチしてプローブ顕微鏡観察を行う。
以上のような操作をカンチレバー交換ごとに行い、試料交換のみの場合は第二マーキング１７を用いて試料観察位置を特定すればよい。
【００２５】
本発明に係る第二実施形態に関して図３ａ、３ｂを参照して説明する。基本的手順に関しては第一実施形態と同等である。
【００２６】
図３ａに示すようにＣＣＤ画面２１に示されたカンチレバー２２の先端に探針２３が構成されていない場合、想像してマーキングすることになり、誤差要因となる。そこで、第二実施形態では、探針位置を指定する際に、カンチレバー２２の外形の３点２４，２５，２６を指定し、カンチレバー設計情報より探針の位置を特定するようにした。これによりカンチレバーの先端ではなく内側に構成されている探針位置の作業者による指示誤差を減らすことができ、試料観察位置の特定が可能となる。
【００２７】
第三実施形態では、探針位置を指定する際に、カンチレバーの外形を画像認識ソフトウェアにて特定し、カンチレバー設計情報より探針の位置を特定するようにした。システム的には画像認識機能を付加することになり高価となるが作業者による指示誤差を減らすことができ、試料観察位置のより正確な特定が可能となる。
【００２８】
第四実施形態として、ウェーハ等の大きな試料観察用プローブ顕微鏡に本発明を用いた装置構成について図４を参照して説明する。
【００２９】
ユニット部３１は除振台定盤３２の上に構成されている。除振台としてはパッシブ型やアクティブ型があり、低周波に振動成分が存在する場合はアクティブ型が有効である。また、ユニット部３１は除振台定盤３２上に弾性材３３を介してベース３４上に構成されている。ベース３４上には試料３５を面内方向に位置合わせする粗い位置合せ機構３６であるＸＹステージが用いられている。また、前記粗い位置合せ機構３６上には試料面内回転ステージ３７が構成されており、試料台３８を介して試料３５が固定されている。また、ベース３４にはアーム３９が構成されており、アーム３９には鉛直方向の位置合せ機構であるＺ軸ステージ４０が固定されており、Ｚ軸ステージ４０を介して、微小位置合せ機構である微動機構４１が構成されている。微動機構４１には電圧印加により微小ひずみを生じるピエゾ圧電素子が用いられている。また、微動機構４１の先端にはカンチレバー４２が固定されており、本実施例の装置では、真空吸着による固定方法をもちいている。また、Ｚ軸ステージ４０によりカンチレバー４２の先端の探針を試料３５の表面に位置合せして、カンチレバー４２のたわみ変形を微動機構４１に構成した光テコ機構（図面記載なし）により検出して、試料表面形状を計測する。また、本実施例では光学顕微鏡ユニット４３が構成されている。微動機構４１の先端に設けられたカンチレバー４２付近に鏡を取りつけ、この鏡を介して、カンチレバー４２および試料３５の表面が観察可能である。
【００３０】
前記光学顕微鏡ユニット４３にはＣＣＤカメラおよび倍率変更のズーム機構、焦点調整機構が構成されており、本実施形態の装置では光学顕微鏡の焦点および倍率がコンピュータおよび外部調整できるシステムになっている。倍率や焦点調整が外部制御できることから、最初の観察時に算定した広観察視野領域下での探針位置と実際のプローブ顕微鏡観察位置の相対位置関係に対して、その際に使用した試料の厚み及び観察手段の観察視野領域の変化（高倍率観察）に伴い生じる誤差を考慮して補正することが可能である。具体的には、２回目以降の観察時に探針位置と仮想する第二のマーキング１７は、１回目に決定した値を基準にして、コンピュータおよび外部制御の調整値を用いて、比例的配分等の幾何学的補正を加味して表示するようにした。たとえば図５ａと図５ｂに示すような補正関係４４，４５を加味することになる。補正値に関しては装置固有の値であり、先の探針位置と実際のプローブ顕微鏡観察位置の相対位置関係を算定する場合と同様に、既知形状の試料を用いることで容易に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第一実施形態のプローブ顕微鏡の概要を示す構成図。
【図２】（ａ）〜（ｆ） 本発明の第一実施形態の作業を説明した状態図。
【図３】（ａ）〜（ｂ） 本発明の第二実施形態の作業を説明した状態図
【図４】本発明の第四実施形態に用いたプローブ顕微鏡の概要を示す構成図。
【図５】（ａ）〜（ｂ） 本発明の第四実施形態のマーキング状態を説明した状態図。
【図６】プローブ顕微鏡の概略システムを示す構成図。
【図７】一般的なカンチレバー形状を示した構成図。
【図８】（ａ）〜（ｂ） 位置合せ誤差の発生状態を説明した図。
【符号の説明】
【００３２】
１ プローブ顕微鏡ユニット
２，３２ 除振台の定盤
３ 光学ヘッド
４，７１ 光学顕微鏡
５ 焦点調整用リング
６ ＣＣＤカメラ
７ アーム
８ ポール
１１，２１ ＣＣＤ画像
１２，２２，４２，５４ カンチレバー
１３，２３ 探針
１４ 十字マーキング
１５ パターン試料
１６ パターン数字
１７ ×字マーキング
１８、１９ 誤差
２０、７４ 試料の観察対象
２４，２５，２６ カンチレバー外形点
３１ ユニット部
３３ 弾性材
３４ ベース
３５，５１，７３ 試料
３６ ＸＹステージ
３７ 回転ステージ
３８ 試料台
３９ アーム
４０ Ｚ軸ステージ
４１，５２ 微動機構
４３ 光学顕微鏡ユニット
４４、４５ 補正値
５３，７２ 探針
５５ カンチレバーホルダ
５６ 粗動機構
５７ 変位検出系
５８ 半導体レーザ
５９ 光検出器
６０ アンプ
６１ Ｚ軸制御フィードバック回路
６２ ＸＹ駆動回路
６３ コンピュータおよび制御系
６４ カンチレバー基板
７５ 光路
７６ 位置合せ手段（粗動機構）の移動経路
７７ 近接位置
７８ 誤差
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料表面の表面粗さや段差などの形状情報や、誘電率や粘弾性などの物理情報を測定するプローブ顕微鏡の試料測定位置への探針の位置合せ方法およびその方法により操作されるプローブ顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細形状の評価としての形状測定として、原子分解能を有する、原子間力顕微鏡をはじめとする、プローブ顕微鏡が期待されている。プローブ顕微鏡の一種である原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＡＦＭ）は走査トンネル顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＴＭ）の発明者であるＧ．Ｂｉｎｎｉｇらによって考案されて以来、新規な絶縁性物質の表面形状観察手段として期待され、研究が進められている。
【０００３】
プローブ顕微鏡の概略システム構成の一例として、図６を用いて説明する。
【０００４】
測定対象の試料５１は試料を三次元に移動させる微動機構５２上に配置されている。微動機構５２は、電圧を印加すると変形を生じる圧電素子が用いられ、試料５１をこの試料と相対した位置に配置された探針５３に対して微小な位置合せを行うものである。探針５３はカンチレバー５４と称する片持ち状の梁材の先端に構成されている。
【０００５】
一般的なカンチレバーの形状の一例を図７に示す。カンチレバー基板６４に片持ち梁状のカンチレバー５４が設けられ、カンチレバー５４の先端に主に四角垂状で高さは１〜２μｍの微細な探針（プローブ）５３が形成されている。そして、これらのカンチレバー基板６４やカンチレバー５４および探針５３はシリコンまたはシリコン系の材料からなり、異方性エッチング技術などを用いて一体ものとして加工されている。
【０００６】
カンチレバー５４を有したカンチレバー基板６４は、カンチレバーホルダ５５に保持される。
【０００７】
また、微動機構５２は試料５１と探針５３を３次元的に移動させるステージ等からなる粗動機構５６上に構成されている。ここでは、粗動機構５６は、ステッピングモータ駆動によるネジ送り機構が用いられている。
【０００８】
カンチレバー５４側に探針５３が試料表面から受ける原子間力等の物理量力により片持ち状の梁材の変形を検出する変位検出系５７が構成されている。変位検出系５７は、カンチレバー５４の裏面に照射する半導体レーザ５８と、その反射光を検出する４分割された光検出器５９とから構成され、カンチレバー５４の変位により光検出器に入射するする位置が変化することでカンチレバーの変位（たわみ変形）を検出する光てこ検出と呼ばれる方式が使用されている。
【０００９】
光検出器５９の信号はアンプ６０を介して、試料５１と探針５３のＺ軸（鉛直方向）距離を制御するＺ軸制御フィードバック回路６１に送られ、微動機構５２を稼動させて、探針５３と試料５１のＺ軸位置関係が制御される。探針５３と試料５１の面内走査はＸＹ駆動回路６２からの信号により微動機構を走査して行われる。そして、Ｚ軸制御およびＸＹ駆動等はコンピュータおよび制御系６３により制御させる。
【００１０】
粗動機構５６を用いてカンチレバー５４の先端の探針５３を試料５１表面に近づけていく。そして、試料５１表面から探針５３が受ける原子間力や磁気力、粘弾性等の物理量力によるカンチレバー５４の変形を変位検出系５７で検出して、所定の変形に達したときに、測定領域に探針５３が位置合せされたと判断して、粗動機構５６を停止するとともに、試料側または、カンチレバー側に構成された試料５１と探針５３を相対的に移動させる微動機構５２のＺ軸を制御して探針５３と試料５１表面距離を保つ、また、微動機構５２のＺ軸を制御しつつ、粗動機構５６を駆動させて、微動機構５２のＺ軸の変位量を調整して、探針５３と試料５１表面の位置合せを行う。そして、カンチレバー５４の変形値が一定になるように制御し、微動機構５６を試料面内に対して走査しながら計測することで試料面内の形状や物性を視覚的に画像化する。
【００１１】
プローブ顕微鏡で測定したい場所を指定する手段として、光学顕微鏡を用いているのが一般的であり、カンチレバーと試料の間を斜め方向から観察する方法やプリズム等の光学部材を用いて直上観察を行う方法等がある（例えば、特許文献１参照）。斜めから観察した場合、光学顕微鏡と反対側の奥行き具合が不確かな分、位置合せ精度が悪いことになる。その点、直上観察の場合は位置合せがし易いといえる。通常、直上観察の場合、探針のついた方とは逆のカンチレバー背面に光学顕微鏡の焦点をあわせて探針位置を確認し、その位置をもとに、試料表面上に光学顕微鏡の焦点をあわせてプローブ顕微鏡にて観察したい位置を決めることになる。この場合、図８ａに示すように光学顕微鏡７１、探針７２、試料７３の観察対象である７４に対して光路７５と試料と探針を位置合せする位置合せ手段（粗動機構）の移動経路７６が一致している場合、探針７２と試料７３間の近接位置７７においては、問題なく観察対象７４に探針７２を位置合せすることができ、光学顕微鏡７１で観察したい観察対象をプローブ顕微鏡で観察ができる。しかしながら、調整をしない限り光学顕微鏡と粗動機構は異なる部材で構成されているため、装置構成上ずれが生じてしまう。図８ｂに示すように、直上観察の場合でも誤差７８が生じ、位置合せ精度が悪い場合がある。その誤差は光学顕微鏡の焦点位置に対して近接位置７７が大きいほど幾何学的関係の倍率で変動するといえる。探針を試料に近づけて位置合せすればその差は少なくなるといえるが、その場合、光学顕微鏡はカンチレバーの背面を観ているため、カンチレバー観察時の焦点位置と試料を観察時の焦点位置に差がなくなり、試料表面を観察するときカンチレバーの影が邪魔をして試料表面を観察できないことになる。
【００１２】
また、プローブ顕微鏡の走査領域は数十ミクロンが一般的で、位置合せ精度が悪い場合、プローブ顕微鏡での走査領域を外れることがある。その場合、プローブ顕微鏡の走査領域を大きくする方法も考えられるが、より小さいものを観察したい場合、プローブ顕微鏡の走査領域が大きいとデータ取得間隔が大きい分、分解能が低下し、観察対象を探すのに時間を要することになる。
【００１３】
また、光学顕微鏡と組み合わせて例として探針とは別の位置に光学顕微鏡を配置し、カンチレバー交換ごとに、既知の試料を基に試料観察位置と探針位置をステージ等の移動機構により調整する方法がある（例えば、特許文献２，３参照）。また、プローブ顕微鏡探針位置とは離れた位置に配置した光学顕微鏡を用いて探針位置を補正する方法がある（例えば、特許文献４，５参照）。この方法においては位置合せ精度的にはあるといえるが、装置が大掛かりとなり、小型の装置に関しては不向きといえる。
【００１４】
そこで、観察したい位置を容易に位置合せできるプローブ顕微鏡が求められている。
【特許文献１】特許 第３０２３６８６号公報
【特許文献２】特許２９０９８２９号公報
【特許文献３】特開平６−２０１３７２
【特許文献４】特開平９−２０３７４０
【特許文献５】特開平４−５８１０２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上記の問題点を解決し、試料表面へのプローブ顕微鏡観察位置とカンチレバー先端の探針とを容易に、かつ、精度よく位置合せを行い得る探針の位置合せ方法ならびにその方法により操作されるプローブ顕微鏡の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
【００１７】
本発明のプローブ顕微鏡は、試料表面およびカンチレバー形状を光学顕微鏡等の観察可能な手段にて、事前に既知の構造からなる試料を用いて、試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置を確認し、その相対位置関係を記録した後、カンチレバー位置を指定する第一のマーキングと第一のマーキングに連動して表示される前記相対位置関係にある第二のマーキングを製作し、第二のマーキングを基に試料位置合せをするようにした。
【００１８】
また、事前に既知の構造からなる試料を用いて、試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置を確認したときの観察手段からのカンチレバーおよび試料観察位置、そして、プローブ顕微鏡観察作業時に行われる観察手段からのカンチレバーおよび試料観察位置の違いに対して幾何学的補正を加えて試料観察時に表示されたマーキングを基に試料位置合せをすることで探針を試料観察位置に位置合せをするようにした。
【発明の効果】
【００１９】
光学顕微鏡等の試料表面およびカンチレバー形状観察可能な手段にて、事前に既知の構造からなる試料を用いて、光学顕微鏡等の試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置間の相対位置を補正されたマーキングにて、試料上の観察対象位置を特定することにより、装置構成上から生じる位置合せ誤差を低減することができ、ソフトウェア的運用による比較的簡単な構造にて精度の良い観察位置の特定が可能になる。
【００２０】
これにより、光学顕微鏡での観察とプローブ顕微鏡観察領域内での精度の良い位置合せができ、測定結果の信頼性が向上したプローブ顕微鏡を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明に係るプローブ顕微鏡の第一実施形態を、図１、図２ａから２ｆを参照して説明する。尚、以下の実施形態では、図６で説明したプローブ顕微鏡の概略システム構成と基本的には同一の構成については、その説明を省略する。
【００２２】
図１は、本発明に係る第一実施形態のプローブ顕微鏡の構成図である。
【００２３】
図６にて説明したようなプローブ顕微鏡ユニット１が除振台の定盤２に構成されている。プローブ顕微鏡ユニット１の上部に構成された光テコ方式によるカンチレバーの変位を検出する機能を有する光学ヘッド３の上方に光学顕微鏡４およびＣＣＤカメラ６がアーム７およびポール８を介して除振台定盤２に設置されている。試料表面およびカンチレバー観察は光学顕微鏡像としてＣＣＤカメラを介してコンピュータ内でデジタル処理されディスプレイ上に表示される。粗い焦点調整としてはポール８に対してアーム７を上下することで行われる。また、カンチレバー表面と試料表面間の微調整的な焦点変更は光学顕微鏡４の焦点調整用リング５を手動操作することで焦点調整を行う。
【００２４】
次に、装置固有の光学顕微鏡の光路と試料、探針間の位置合せをする位置合せ手段（粗動機構）の移動経路の誤差を以下の手順で算出する。
１．既知の構造からなる試料を用意する。本実施例では１０ミクロンピッチで数字が描かれたシリコン製の構造パターンを用いた。
２．カンチレバーを装置にセットする。本実施例ではカンチレバー先端部に探針が形成されているシリコン製のカンチレバーを用いた。
３．カンチレバーに光学顕微鏡の焦点をあわせ比較的観察視野領域が広い光学顕微鏡像を表示する。
４．図２ａに示すように、ＣＣＤ画像１１に示されたカンチレバー１２の先端にある探針１３の位置に探針位置を示す第一のマーキングをする（探針位置決定）。十字マーキング１４はＣＣＤ画像１１上に上書きされ、光学顕微鏡の焦点を変えても表示は残るようにしてある。
５．試料表面に焦点をあわせる。
６．図２ｂに示すように、先の十字マーキング１４をパターン試料１５上の任意観察位置に合わせる。通常、ＣＣＤ画像１１上で中央位置のパターンを選択する。
７．探針を試料表面にアプローチしてプローブ顕微鏡観察を行う。測定結果としてたとえば図２ｃのような画像が得られる。
８．図２ｄに示すように、図２ｃのパターン数字１６のプローブ顕微鏡観察結果よりＣＣＤ画像１１に第二のマーキングをする（プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を決定）。第一のマーキングである十字マーキング１４と第二のマーキングである×字マーキング１７の差、１８，１９が装置固有の光学顕微鏡の光路と試料、探針を位置合せする位置合せ手段（粗動機構）の移動経路の誤差となる。そして、第一のマーキング１４と第二のマーキング１７が連動するように相対位置関係として算定し、装置内の記憶手段に記憶する（広観察領域時の相対位置関係の算定と記憶）。
以上の作業にて装置固有の誤差である広観察領域時の相対位置関係の算定が終了する。装置固有の値であるから装置の構成を変えない限り、カンチレバーを交換しても、この作業は行う必要はない。なお、上述の例には、既知の構造からなる試料を用いたが、直接測定に供する試料を用いることも可能である。ただし、既知の構造からなる試料を用いる方が、観察位置を容易に特定しやすいため好ましい。
次に、２回目以降の通常の測定を行う作業を説明する。
１．試料をセットする。
２．カンチレバーを装置にセットする。
３．カンチレバーに光学顕微鏡の焦点をあわせ光学顕微鏡像を表示する。
４．探針位置に第一のマーキングをする（観察時の探針位置）。図２ｅに示すように十字マーキング１４および連動する第二のマーキングである×字マーキング１７（観察時の探針位置と前記記憶した広観察領域時の相対位置関係の算定結果とに基づく前記プローブ顕微鏡観察が実際に行われると仮想した位置）がつけられる。
また、画面上ふたつのマーキング表示をした場合の試料観察の見え方を考慮して、ソフトウェア操作で画面表示において第二のマーキングを表示の有無を切り替えるようにした。
５．試料表面に焦点をあわせる。
６．図２ｆに示すように第二のマーキングである×字マーキング１７が表示される。
第一のマーキング１４と第二のマーキング１７とは連動しているため、区別をするように本実施例ではマーキング形状を変えてある。また、色を変える方法もある。また、試料観察用に観察手段である光学顕微鏡の焦点や倍率を変えた時点で探針位置のマーキングを消してもよい。これは、位置合わせを行うためのマークの誤認を無くし、より確実な位置合せ工程とする点でより好ましい。
７．第二マーキングである×字マーキング１７を実際の探針位置と仮想して試料の観察位置２０にあわせる。
８．探針を試料表面にアプローチしてプローブ顕微鏡観察を行う。
以上のような操作をカンチレバー交換ごとに行い、試料交換のみの場合は第二マーキング１７を用いて試料観察位置を特定すればよい。
【００２５】
本発明に係る第二実施形態に関して図３ａ、３ｂを参照して説明する。基本的手順に関しては第一実施形態と同等である。
【００２６】
図３ａに示すようにＣＣＤ画面２１に示されたカンチレバー２２の先端に探針２３が構成されていない場合、想像してマーキングすることになり、誤差要因となる。そこで、第二実施形態では、探針位置を指定する際に、カンチレバー２２の外形の３点２４，２５，２６を指定し、カンチレバー設計情報より探針の位置を特定するようにした。これによりカンチレバーの先端ではなく内側に構成されている探針位置の作業者による指示誤差を減らすことができ、試料観察位置の特定が可能となる。
【００２７】
第三実施形態では、探針位置を指定する際に、カンチレバーの外形を画像認識ソフトウェアにて特定し、カンチレバー設計情報より探針の位置を特定するようにした。システム的には画像認識機能を付加することになり高価となるが作業者による指示誤差を減らすことができ、試料観察位置のより正確な特定が可能となる。
【００２８】
第四実施形態として、ウェーハ等の大きな試料観察用プローブ顕微鏡に本発明を用いた装置構成について図４を参照して説明する。
【００２９】
ユニット部３１は除振台定盤３２の上に構成されている。除振台としてはパッシブ型やアクティブ型があり、低周波に振動成分が存在する場合はアクティブ型が有効である。また、ユニット部３１は除振台定盤３２上に弾性材３３を介してベース３４上に構成されている。ベース３４上には試料３５を面内方向に位置合わせする粗い位置合せ機構３６であるＸＹステージが用いられている。また、前記粗い位置合せ機構３６上には試料面内回転ステージ３７が構成されており、試料台３８を介して試料３５が固定されている。また、ベース３４にはアーム３９が構成されており、アーム３９には鉛直方向の位置合せ機構であるＺ軸ステージ４０が固定されており、Ｚ軸ステージ４０を介して、微小位置合せ機構である微動機構４１が構成されている。微動機構４１には電圧印加により微小ひずみを生じるピエゾ圧電素子が用いられている。また、微動機構４１の先端にはカンチレバー４２が固定されており、本実施例の装置では、真空吸着による固定方法をもちいている。また、Ｚ軸ステージ４０によりカンチレバー４２の先端の探針を試料３５の表面に位置合せして、カンチレバー４２のたわみ変形を微動機構４１に構成した光テコ機構（図面記載なし）により検出して、試料表面形状を計測する。また、本実施例では光学顕微鏡ユニット４３が構成されている。微動機構４１の先端に設けられたカンチレバー４２付近に鏡を取りつけ、この鏡を介して、カンチレバー４２および試料３５の表面が観察可能である。
【００３０】
前記光学顕微鏡ユニット４３にはＣＣＤカメラおよび倍率変更のズーム機構、焦点調整機構が構成されており、本実施形態の装置では光学顕微鏡の焦点および倍率がコンピュータおよび外部調整できるシステムになっている。倍率や焦点調整が外部制御できることから、最初の観察時に算定した広観察視野領域下での探針位置と実際のプローブ顕微鏡観察位置の相対位置関係に対して、その際に使用した試料の厚み及び観察手段の観察視野領域の変化（高倍率観察）に伴い生じる誤差を考慮して補正することが可能である。具体的には、２回目以降の観察時に探針位置と仮想する第二のマーキング１７は、１回目に決定した値を基準にして、コンピュータおよび外部制御の調整値を用いて、比例的配分等の幾何学的補正を加味して表示するようにした。たとえば図５ａと図５ｂに示すような補正関係４４，４５を加味することになる。補正値に関しては装置固有の値であり、先の探針位置と実際のプローブ顕微鏡観察位置の相対位置関係を算定する場合と同様に、既知形状の試料を用いることで容易に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第一実施形態のプローブ顕微鏡の概要を示す構成図。
【図２】（ａ）〜（ｆ） 本発明の第一実施形態の作業を説明した状態図。
【図３】（ａ）〜（ｂ） 本発明の第二実施形態の作業を説明した状態図
【図４】本発明の第四実施形態に用いたプローブ顕微鏡の概要を示す構成図。
【図５】（ａ）〜（ｂ） 本発明の第四実施形態のマーキング状態を説明した状態図。
【図６】プローブ顕微鏡の概略システムを示す構成図。
【図７】一般的なカンチレバー形状を示した構成図。
【図８】（ａ）〜（ｂ） 位置合せ誤差の発生状態を説明した図。
【符号の説明】
【００３２】
１ プローブ顕微鏡ユニット
２，３２ 除振台の定盤
３ 光学ヘッド
４，７１ 光学顕微鏡
５ 焦点調整用リング
６ ＣＣＤカメラ
７ アーム
８ ポール
１１，２１ ＣＣＤ画像
１２，２２，４２，５４ カンチレバー
１３，２３ 探針
１４ 十字マーキング
１５ パターン試料
１６ パターン数字
１７ ×字マーキング
１８、１９ 誤差
２０、７４ 試料の観察対象
２４，２５，２６ カンチレバー外形点
３１ ユニット部
３３ 弾性材
３４ ベース
３５，５１，７３ 試料
３６ ＸＹステージ
３７ 回転ステージ
３８ 試料台
３９ アーム
４０ Ｚ軸ステージ
４１，５２ 微動機構
４３ 光学顕微鏡ユニット
４４、４５ 補正値
５３，７２ 探針
５５ カンチレバーホルダ
５６ 粗動機構
５７ 変位検出系
５８ 半導体レーザ
５９ 光検出器
６０ アンプ
６１ Ｚ軸制御フィードバック回路
６２ ＸＹ駆動回路
６３ コンピュータおよび制御系
６４ カンチレバー基板
７５ 光路
７６ 位置合せ手段（粗動機構）の移動経路
７７ 近接位置
７８ 誤差
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に探針を有したカンチレバーと、該カンチレバーと試料との距離を制御する粗動機構および微動機構と、前記試料表面と前記カンチレバー先端の探針位置を観察可能な観察手段と、前記試料および前記探針位置を相対的に移動させる移動機構とを備え、前記探針を試料表面に近接または接触させて、前記試料表面の形状情報または物理情報を計測するプローブ顕微鏡における試料の任意の観察位置への探針の位置合せ方法において、
前記観察手段によって前記試料表面上における前記カンチレバー先端の探針位置を決定する工程と、
該探針位置を目標として前記探針を試料表面に近接又は接触させてプローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を決定する工程と、
前記探針位置および前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置の広観察視野領域時の相対位置関係を算定する工程と、
１回目の観察時に前記広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果を記憶する工程と、
次回以降の試料観察位置に対する探針の位置合わせの際、観察時の探針位置と前記記憶した広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果とに基づくプローブ顕微鏡観察が実際に行われると仮想した位置を試料の観察位置へ位置合せする工程と、
を備えることを特徴とするプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項２】
前記記憶した広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果に基づき前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を探針位置と仮想して試料観察位置へ位置合せする工程が、
前記探針位置および前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を、前記プローブ顕微鏡観察時に前記観察手段により観察したそれぞれの点から狭観察視野領域時の相対位置関係を算定し記憶する工程と、
前記広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果と前記狭観察視野領域時の相対位置関係の算定結果の差異に基づいて観察視野領域の広狭に対する幾何学的補正値を算定する工程と、
該幾何学的補正値に基づいて前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置の位置情報を補正する工程と、を更に含むことを特徴とする請求項１に記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項３】
前記１回目の観察時の前記広観察視野領域時の相対位置関係が、既知構造の試料を用いた観察とし、前記探針位置およびプローブ顕微鏡の実際の観察位置の読み取りを容易にしたことを特長とする請求項１又は２のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項４】
前記カンチレバーの探針へのマーキングが、前記観察手段によりカンチレバー外形を選択し、カンチレバー設計形状情報をもとに、探針位置をマーキングすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項５】
カンチレバー外形の選択方法がカンチレバー外形の少なくても３点の頂点を選択することで、カンチレバー設計形状情報をもとに、探針位置をマーキングすることを特徴とする請求項４に記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項６】
前記カンチレバーの探針へのマーキングが、前記観察手段の情報を画像認識し、カンチレバー設計形状情報をもとに、探針位置をマーキングすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項７】
次回以降の試料観察位置に対する探針の位置合わせの際、観察時の探針位置と前記記憶した広観察領域時の相対位置関係の算定結果とに基づくプローブ顕微鏡観察が実際に行われると仮想した位置のみを表示し、前記観察時の探針位置を非表示とすることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法により操作されることを特徴とするプローブ顕微鏡。
【請求項１】
先端に探針を有したカンチレバーと、該カンチレバーと試料との距離を制御する粗動機構および微動機構と、前記試料表面と前記カンチレバー先端の探針位置を観察可能な観察手段と、前記試料および前記探針位置を相対的に移動させる移動機構とを備え、前記探針を試料表面に近接または接触させて、前記試料表面の形状情報または物理情報を計測するプローブ顕微鏡における試料の任意の観察位置への探針の位置合せ方法において、
前記観察手段によって前記試料表面上における前記カンチレバー先端の探針位置を決定する工程と、
該探針位置を目標として前記探針を試料表面に近接又は接触させてプローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を決定する工程と、
前記探針位置および前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置の広観察視野領域時の相対位置関係を算定する工程と、
１回目の観察時に前記広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果を記憶する工程と、
次回以降の試料観察位置に対する探針の位置合わせの際、観察時の探針位置と前記記憶した広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果とに基づくプローブ顕微鏡観察が実際に行われると仮想した位置を試料の観察位置へ位置合せする工程と、
を備えることを特徴とするプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項２】
前記記憶した広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果に基づき前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を探針位置と仮想して試料観察位置へ位置合せする工程が、
前記探針位置および前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置を、前記プローブ顕微鏡観察時に前記観察手段により観察したそれぞれの点から狭観察視野領域時の相対位置関係を算定し記憶する工程と、
前記広観察視野領域時の相対位置関係の算定結果と前記狭観察視野領域時の相対位置関係の算定結果の差異に基づいて観察視野領域の広狭に対する幾何学的補正値を算定する工程と、
該幾何学的補正値に基づいて前記プローブ顕微鏡観察を実際に行った位置の位置情報を補正する工程と、を更に含むことを特徴とする請求項１に記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項３】
前記１回目の観察時の前記広観察視野領域時の相対位置関係が、既知構造の試料を用いた観察とし、前記探針位置およびプローブ顕微鏡の実際の観察位置の読み取りを容易にしたことを特長とする請求項１又は２のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項４】
前記カンチレバーの探針へのマーキングが、前記観察手段によりカンチレバー外形を選択し、カンチレバー設計形状情報をもとに、探針位置をマーキングすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項５】
カンチレバー外形の選択方法がカンチレバー外形の少なくても３点の頂点を選択することで、カンチレバー設計形状情報をもとに、探針位置をマーキングすることを特徴とする請求項４に記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項６】
前記カンチレバーの探針へのマーキングが、前記観察手段の情報を画像認識し、カンチレバー設計形状情報をもとに、探針位置をマーキングすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項７】
次回以降の試料観察位置に対する探針の位置合わせの際、観察時の探針位置と前記記憶した広観察領域時の相対位置関係の算定結果とに基づくプローブ顕微鏡観察が実際に行われると仮想した位置のみを表示し、前記観察時の探針位置を非表示とすることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のプローブ顕微鏡の探針の位置合せ方法により操作されることを特徴とするプローブ顕微鏡。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１０−３８５４３（Ｐ２０１０−３８５４３Ａ）
【公開日】平成２２年２月１８日（２０１０．２．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１９７９４１（Ｐ２００８−１９７９４１）
【出願日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【出願人】（５０３４６０３２３）エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 (330)
【公開日】平成２２年２月１８日（２０１０．２．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【出願人】（５０３４６０３２３）エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 (330)
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