ペースト塗布装置
【課題】 架台の上に設けたコラムに複数の塗布ヘッドを有するペースト塗布装置において、架台まわりに位置するオペレータによりそれら塗布ヘッドに対するメンテナンス作業を容易にすること。
【解決手段】 各塗布ヘッド２０が基板ステージ１２に対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッド２０のノズルから吐出されるペーストが基板ステージ１２の上の基板１に塗布されるペースト塗布装置において、全ての塗布ヘッド２０がＸ軸方向に関して基板ステージ１２の外側にまで移動し得るようにコラム１３のガイドレール１８が延在されてなるもの。
【解決手段】 各塗布ヘッド２０が基板ステージ１２に対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッド２０のノズルから吐出されるペーストが基板ステージ１２の上の基板１に塗布されるペースト塗布装置において、全ての塗布ヘッド２０がＸ軸方向に関して基板ステージ１２の外側にまで移動し得るようにコラム１３のガイドレール１８が延在されてなるもの。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はペースト塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペースト塗布装置は、例えば液晶表示パネルの製造において、２枚の基板を貼り合せるため、基板に定めた液晶表示パネルの表示領域を囲むように、シール剤等のシール性及び接着性を有するペーストを塗布するものである。
【０００３】
ペースト塗布装置は、特許文献１に記載の如く、架台と、架台の上に設けられる基板ステージと、架台の上に設けられて基板ステージを跨ぐ門型のコラムと、コラムに設けられる複数の塗布ヘッドとを有し、基板ステージとコラムがＹ軸方向に沿って相対移動可能にされ、コラムの横架部の上記Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に延在するガイドレールが設けられ、各塗布ヘッドがコラムのガイドレールに沿って移動可能にされ、各塗布ヘッドが基板ステージに対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッドのノズルから吐出されるペーストが基板ステージの上の基板に塗布されるようになっている。
【０００４】
このようなペースト塗布装置では、各塗布ヘッドがペーストを収容する一定容量のシリンジ等の容器を備え、この容器に連通してペーストを吐出するノズルを備える。そして、各塗布ヘッドの容器に収容してあるペーストの減量に応じて、新旧容器を交換する等のメンテナンス作業を行なうこととしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2008-80204
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ペースト塗布装置では、各塗布ヘッドの新旧容器を交換するときには、それらの塗布ヘッドをコラムの横架部に設けたガイドレールに沿うＸ軸方向の移動限にまで移動し、架台まわりにおけるコラムの脚部近くに位置するオペレータの手をそれらの塗布ヘッドに伸ばして作業する。
【０００７】
しかしながら、各塗布ヘッドのガイドレールに沿うＸ軸方向の移動範囲は、それらのノズルから吐出されるペーストを基板ステージの上の基板に定めた液晶表示パネルの表示領域に塗布し得る塗布動作範囲であれば足り、平面視で、Ｘ軸方向に関する基板ステージの内側に限られる。このため、コラムの横架部に設けたガイドレールに設けた複数の塗布ヘッド、特にガイドレールの中央寄りに位置する塗布ヘッドは、架台まわりに位置するオペレータからみてガイドレールに沿う奥側の遠い位置にあるものになって手が及びにくく、メンテナンス作業性が悪い。このメンテナンス作業性の不都合は、基板の大型化に伴い、コラムの横架部に設けたガイドレールに多数の塗布ヘッドが並置されるほど顕著になる。
【０００８】
本発明の課題は、架台の上に設けたコラムに複数の塗布ヘッドを有するペースト塗布装置において、架台まわりに位置するオペレータによりそれら塗布ヘッドに対するメンテナンス作業を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、架台と、架台の上に設けられる基板ステージと、第１の方向に延びる横架部を備え、架台の上に設けられて基板ステージを第１の方向に跨ぐ門型のコラムと、コラムの横架部に設けられる複数の塗布ヘッドとを有し、基板ステージとコラムが第１の方向と直交する第２の方向に沿って相対移動可能にされ、複数の塗布ヘッドがコラムの横架部に上記第１の方向に延在するガイドレールを介して移動可能にされ、各塗布ヘッドが基板ステージに対して第１の方向と第２の方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッドのノズルから吐出されるペーストが基板ステージの上の基板に塗布されるペースト塗布装置において、全ての塗布ヘッドが第１の方向に関して基板ステージの外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなるようにしたものである。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記塗布ヘッドのうちの少なくとも１つが、第１の方向に関して架台の外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなるようにしたものである。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において更に、前記コラムの横架部が架台に立脚する脚部よりも第１の方向の外側に突き出る突出部を付帯して備え、コラムのガイドレールが上記突出部まで延在されてなるようにしたものである。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、前記コラムの横架部が第１の方向の両外側に前記突出部を付帯して備えるようにしたものである。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかの発明において更に、前記架台の上に２個のコラムが並設されてなるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、架台の上に設けたコラムに複数の塗布ヘッドを有するペースト塗布装置において、架台まわりに位置するオペレータによりそれら塗布ヘッドに対するメンテナンス作業を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１はペースト塗布装置を示す正面図である。
【図２】図２はペースト塗布装置を示す平面図である。
【図３】図３はペースト塗布装置を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１〜図３（図３はＹ軸方向で手前側に位置するコラム１３は省略し、奥側に位置するコラム１３に設けた塗布ヘッド２０が見えるように図示している）に示すペースト塗布装置１０は、架台１１を有し、架台１１の上に基板ステージ１２を設け、ペーストが塗布される基板１を載置可能にする。架台１１には、基板ステージ１２を第１の方向としてのＸ軸方向に跨ぐ門型コラム１３が設置され、コラム１３は両側の脚部１４と、両脚部１４の上部に、第１の方向に沿って架け渡される横架部１５とを有する。コラム１３の両脚部１４は架台１１の基板ステージ１２を挟む両側に設置してあるガイドレール１６上を第２の方向としてのＹ軸方向に沿って移動可能に設けられる。コラム１３は不図示のＹ軸モータによりボールねじ等を回転させることで移動され、その移動位置及び移動距離をＹ軸モータに付帯のエンコーダにより検出される。
【００１７】
ペースト塗布装置１０は、コラム１３の横架部１５に横移動台１７を設置し、横移動台１７はコラム１３の横架部１５の前面に設置してあるガイドレール１８上をＸ軸方向に沿って移動可能に設けられる。横移動台１７は不図示のＸ軸モータによりボールねじ等を回転させることで移動され、その移動位置及び移動距離をＸ軸モータに付帯のエンコーダにより検出される。
【００１８】
ペースト塗布装置１０は、複数の塗布ヘッド２０を有しており、各塗布ヘッド２０が固定されるノズル台２１を横移動台１７に設置し、ノズル台２１は横移動台１７に設けてあるガイドレール（不図示）上をＺ軸方向に移動可能に設けられる。ノズル台２１はＺ軸モータ２４によりボールねじ等を回転させることで移動され、その移動位置をＺ軸モータ２４に付帯のエンコーダにより検出される。
【００１９】
塗布ヘッド２０は、ペーストを収容するシリンジ等の容器２２と、その容器２２に連通してペーストを吐出するノズル２３を有している。塗布ヘッド２０は、気体供給チューブ等を介して気体供給源に接続され、容器２２に供給される気体の圧力により、その内部のペーストをノズル２３から吐出する。
【００２０】
従って、ペースト塗布装置１０においては、制御手段を用いて、塗布ヘッド２０のノズル２３をＺ軸モータ２４により基板１に対するＺ軸方向の待機位置から塗布位置に位置付けた状態で、塗布ヘッド塗布駆動回路により塗布ヘッド２０のノズル２３から所定の塗布条件（吐出圧力、移動速度及びギャップ等）でペーストを吐出させながら、塗布ヘッド移動駆動回路及びコラム移動駆動回路により制御されるＸ軸モータ及びＹ軸モータにより塗布ヘッド２０のノズル２３を基板ステージ１２の上の基板１に対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御する。これにより、塗布ヘッド２０のノズル２３から吐出されるペーストを、基板１の表面に塗布し、この基板１の表面に予め定めたペーストパターンを描画する。
【００２１】
しかるに、ペースト塗布装置１０にあっては、基板１の大型化に対応するため、架台１１の基板ステージ１２を挟む両側に設けてあるガイドレール１６上に、相対する２個のコラム１３、１３を並設している。一方のコラム１３の両脚部１４が架台１１の両側のガイドレール１６上をＹ軸方向に沿って移動可能に設けられ、他方のコラム１３の両脚部１４が架台１１の両側のガイドレール１６上をＹ軸方向に沿って移動可能に設けられている。
【００２２】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３に、それらの横架部１５のそれぞれに横移動台１７を設置し、それらの横移動台１７は各コラム１３の横架部１５の相対する前面のそれぞれに設置してあるガイドレール１８上をＸ軸方向に沿って移動可能に設けられる。
【００２３】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３の横架部１５の相対する前面に設けたガイドレール１８上の横移動台１７のそれぞれに、前述の塗布ヘッド２０のノズル台２１を設置してある。ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３のそれぞれに各６個の塗布ヘッド２０を設け、それらの各塗布ヘッド２０を前述の如くに基板ステージ１２上の基板１に対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御しつつ、各塗布ヘッド２０の容器２２に収容してあるペーストをノズル２３から吐出して基板１の表面に塗布する。そして、ペースト塗布装置１０は、各塗布ヘッド２０の容器２２に収容してあるペーストの使用による減量に応じて、新旧容器２２を交換する等のメンテナンス作業性を向上するため、以下の構成を具備する。
【００２４】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３のそれぞれにおいて、コラム１３の横架部１５を、両側の脚部１４、１４に架設される横架本体部１５Ａと、横架本体部１５Ａの両端部から両側の脚部１４、１４よりもＸ軸方向の外側に突き出る突出部１５Ｂを付帯して備える。図３に示す如く、一方の脚部１４の外側面からＸ軸方向に他方の脚部１４の外側面に渡る長さをＫとするとき、横架本体部１５Ａの長さはＫであり、各突出部１５Ｂは横架本体部１５ＡからＸ軸方向に長さＬだけ突き出る。本実施例では、架台１１のＸ軸方向に沿う長さをＫとしており、架台１１のＸ軸方向に沿う両端面のそれぞれをコラム１３の横架本体部１５Ａの両端面（又は両脚部１４の外側面）のそれぞれに面一としている（図２、図３）。
【００２５】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３のそれぞれにおいて、コラム１３の横架部１５の前面に設けてあるガイドレール１８を、横架本体部１５Ａから突出部１５Ｂまで延在させている。これにより、ガイドレール１８上にそれぞれ横移動台１７を介して設けられる全ての塗布ヘッド２０、本実施例では全６個の塗布ヘッド２０を２分した一方側３個の塗布ヘッド２０と、他方側３個の塗布ヘッド２０が、ガイドレール１８に沿うＸ軸方向に関して、基板ステージ１２の外側にまで移動し得るように、コラム１３のガイドレール１８を横架本体部１５Ａの側から突出部１５Ｂの側にまで延在させたものである。
【００２６】
このとき、ペースト塗布装置１０は、ガイドレール１８上にそれぞれ横移動台１７を介して設けられる少なくとも１つの塗布ヘッド２０、本実施例では全６個の塗布ヘッド２０を２分した一方側３個の塗布ヘッド２０と、他方側３個の塗布ヘッド２０が、ガイドレール１８に沿うＸ軸方向に関して、架台１１の外側にまで移動し得るように、コラム１３のガイドレール１８を横架本体部１５Ａの側から突出部１５Ｂの側にまで延在させている。
【００２７】
従って、ペースト塗布装置１０にあっては、全６個の塗布ヘッド２０がコラム１３の横架部１５における横架本体部１５Ａに延在させたガイドレール１８に沿って、図２、図３の鎖線に示す如くに、基板ステージ１２の上の基板１に対する塗布動作範囲を移動するとき、各塗布ヘッド２０のノズル２３から吐出されるペーストを基板１の表面に塗布する。
【００２８】
また、ガイドレール１８に沿う一方側３個の塗布ヘッド２０と、他方側３個の塗布ヘッド２０が、コラム１３の横架部１５における横架本体部１５Ａから突出部１５Ｂに延在させたガイドレール１８に沿って、図２、図３の実線に示す如くに、基板ステージ１２の外側（本実施例では架台１１の外側でもある）のメンテナンス範囲に移動して停留したとき、架台１１まわりに位置するオペレータの手により各塗布ヘッド２０の新旧容器２２を交換する。
【００２９】
本実施例のペースト塗布装置１０によれば以下の作用効果を奏する。
(a)架台１１の上に設けたコラム１３に複数の塗布ヘッド２０を有するペースト塗布装置１０において、全ての塗布ヘッド２０がＸ軸方向に関して基板ステージ１２の外側のメンテナンス範囲にまで移動し得るようにコラム１３のガイドレール１８が延在されてなるものにした。従って、各塗布ヘッド２０の新旧容器２２を交換等するため、それらの塗布ヘッド２０をコラム１３の横架部１５に設けたガイドレール１８に沿う移動限にまで移動すると、全ての塗布ヘッド２０がコラム１３のガイドレール１８に沿って基板ステージ１２の上の基板１に対する塗布動作範囲を超え、基板ステージ１２の外側のメンテナンス範囲にまで移動して新旧容器２２の交換等のメンテナンスを施され得るものになる。このため、架台１１まわりにおけるコラム１３の脚部１４近くに位置するオペレータにとって、基板ステージ１２の外側に位置付けられる全ての塗布ヘッド２０に手を及ぼし易くするものになり、メンテナンス作業性を向上できる。
【００３０】
(b)塗布ヘッド２０のうちの少なくとも１つが、Ｘ軸方向に関して架台１１の外側にまで移動し得るようにコラム１３のガイドレール１８が延在されてなるようにした。従って、架台１１まわりにおけるコラム１３の脚部１４近くに位置するオペレータにとって、架台１１の外側にまで移動する塗布ヘッド２０に手を一層及ぼし易くし、メンテナンス作業性を一層向上できる。
【００３１】
(c)コラム１３の横架部１５が架台１１に立脚する脚部１４よりもＸ軸方向の外側に突き出る突出部１５Ｂを付帯して備え、コラム１３のガイドレール１８が上記突出部１５Ｂまで延在されてなるようにした。従って、架台１１まわりにおけるコラム１３の脚部１４近くに位置するオペレータにとって、コラム１３の脚部１４よりも外側に突き出る横架部１５の突出部１５Ｂにまで移動する塗布ヘッド２０に手を一層及ぼし易くし、メンテナンス作業性を一層向上できる。
【００３２】
(d)コラム１３の横架部１５が、ガイドレール１８における塗布ヘッド２０のための塗布動作範囲を担う部分が設けられる横架本体部１５Ａの機械的精度（強度、剛度、寸法）を高くし、ガイドレール１８における塗布ヘッド２０のためのメンテナンス範囲を担う部分が設けられる突出部１５Ｂの機械的精度を低くすることができる。これにより、コラム１３の製作が容易になり、特に基板１が大型化しても、大型のコラム１３を単一体にすることなく、コラム１３の横架部１５を横架本体部１５Ａと突出部１５Ｂに分割して低コスト化できる。
【００３３】
(e)コラム１３の横架部１５がＸ軸方向の両外側に突出部１５Ｂを付帯して備えることにより、コラム１３の横架部１５の両側で上述(c)、(d)を実現できる。
【００３４】
(f)架台１１の上に２個のコラム１３、１３を並設することにより、相対する２個のコラム１３、１３の横架部１５に設けたガイドレール１８のそれぞれに複数の塗布ヘッド２０を設ける。大型の基板１に必要とされる多数の塗布ヘッド２０を２個のコラム１３、１３に設けるものにしながら、各コラム１３に設けた塗布ヘッド２０のメンテナンス作業性等を上述(a)〜(e)により向上できる。
【００３５】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、ペースト塗布装置１０は架台１１の基板ステージ１２を挟む両側に設けてあるガイドレール１６上に１個のコラム１３だけを設けるものでも良い。
【００３６】
また、ペースト塗布装置１０は、コラム１３の横架部１５に設ける突出部１５Ｂを、横架本体部１５Ａの一端部の側（片側）にだけ設けても良い。
【００３７】
また、ペースト塗布装置１０において、コラム１３は、両脚部１４と横架本体部１５Ａと突出部１５Ｂを一体成形した単一体としても良いが、両脚部１４と横架本体部１５Ａを一体成形し、別体の突出部１５Ｂをその横架本体部１５Ａにボルト等により接合した組立体としても良い。また、コラム１３は、横架部１５（横架本体部１５Ａと突出部１５Ｂを一体としても良く、別体の横架本体部１５Ａに突出部１５Ｂをボルト等により接合しても良い）と、両脚部１４を別体にしてそれらをボルト等により接合した組立体としても良い。コラム１３の各部を上述の如くに別体化することにより、コラム１３の輸送性が向上する。
【００３８】
また、ペースト塗布装置１０において、架台１１にコラム１３が固定化され、架台１１の上の基板ステージ１２が移動するものでも良い。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、架台の上に設けたコラムに複数の塗布ヘッドを有するペースト塗布装置において、架台まわりに位置するオペレータによりそれら塗布ヘッドに対するメンテナンス作業を容易にすることができる。
【符号の説明】
【００４０】
１ 基板
１０ ペースト塗布装置
１１ 架台
１２ 基板ステージ
１３ コラム
１４ 脚部
１５ 横架部
１５Ａ 横架本体部
１５Ｂ 突出部
１８ ガイドレール
２０ 塗布ヘッド
２２ 容器
２３ ノズル
【技術分野】
【０００１】
本発明はペースト塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペースト塗布装置は、例えば液晶表示パネルの製造において、２枚の基板を貼り合せるため、基板に定めた液晶表示パネルの表示領域を囲むように、シール剤等のシール性及び接着性を有するペーストを塗布するものである。
【０００３】
ペースト塗布装置は、特許文献１に記載の如く、架台と、架台の上に設けられる基板ステージと、架台の上に設けられて基板ステージを跨ぐ門型のコラムと、コラムに設けられる複数の塗布ヘッドとを有し、基板ステージとコラムがＹ軸方向に沿って相対移動可能にされ、コラムの横架部の上記Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に延在するガイドレールが設けられ、各塗布ヘッドがコラムのガイドレールに沿って移動可能にされ、各塗布ヘッドが基板ステージに対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッドのノズルから吐出されるペーストが基板ステージの上の基板に塗布されるようになっている。
【０００４】
このようなペースト塗布装置では、各塗布ヘッドがペーストを収容する一定容量のシリンジ等の容器を備え、この容器に連通してペーストを吐出するノズルを備える。そして、各塗布ヘッドの容器に収容してあるペーストの減量に応じて、新旧容器を交換する等のメンテナンス作業を行なうこととしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2008-80204
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ペースト塗布装置では、各塗布ヘッドの新旧容器を交換するときには、それらの塗布ヘッドをコラムの横架部に設けたガイドレールに沿うＸ軸方向の移動限にまで移動し、架台まわりにおけるコラムの脚部近くに位置するオペレータの手をそれらの塗布ヘッドに伸ばして作業する。
【０００７】
しかしながら、各塗布ヘッドのガイドレールに沿うＸ軸方向の移動範囲は、それらのノズルから吐出されるペーストを基板ステージの上の基板に定めた液晶表示パネルの表示領域に塗布し得る塗布動作範囲であれば足り、平面視で、Ｘ軸方向に関する基板ステージの内側に限られる。このため、コラムの横架部に設けたガイドレールに設けた複数の塗布ヘッド、特にガイドレールの中央寄りに位置する塗布ヘッドは、架台まわりに位置するオペレータからみてガイドレールに沿う奥側の遠い位置にあるものになって手が及びにくく、メンテナンス作業性が悪い。このメンテナンス作業性の不都合は、基板の大型化に伴い、コラムの横架部に設けたガイドレールに多数の塗布ヘッドが並置されるほど顕著になる。
【０００８】
本発明の課題は、架台の上に設けたコラムに複数の塗布ヘッドを有するペースト塗布装置において、架台まわりに位置するオペレータによりそれら塗布ヘッドに対するメンテナンス作業を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、架台と、架台の上に設けられる基板ステージと、第１の方向に延びる横架部を備え、架台の上に設けられて基板ステージを第１の方向に跨ぐ門型のコラムと、コラムの横架部に設けられる複数の塗布ヘッドとを有し、基板ステージとコラムが第１の方向と直交する第２の方向に沿って相対移動可能にされ、複数の塗布ヘッドがコラムの横架部に上記第１の方向に延在するガイドレールを介して移動可能にされ、各塗布ヘッドが基板ステージに対して第１の方向と第２の方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッドのノズルから吐出されるペーストが基板ステージの上の基板に塗布されるペースト塗布装置において、全ての塗布ヘッドが第１の方向に関して基板ステージの外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなるようにしたものである。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記塗布ヘッドのうちの少なくとも１つが、第１の方向に関して架台の外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなるようにしたものである。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において更に、前記コラムの横架部が架台に立脚する脚部よりも第１の方向の外側に突き出る突出部を付帯して備え、コラムのガイドレールが上記突出部まで延在されてなるようにしたものである。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、前記コラムの横架部が第１の方向の両外側に前記突出部を付帯して備えるようにしたものである。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかの発明において更に、前記架台の上に２個のコラムが並設されてなるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、架台の上に設けたコラムに複数の塗布ヘッドを有するペースト塗布装置において、架台まわりに位置するオペレータによりそれら塗布ヘッドに対するメンテナンス作業を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１はペースト塗布装置を示す正面図である。
【図２】図２はペースト塗布装置を示す平面図である。
【図３】図３はペースト塗布装置を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１〜図３（図３はＹ軸方向で手前側に位置するコラム１３は省略し、奥側に位置するコラム１３に設けた塗布ヘッド２０が見えるように図示している）に示すペースト塗布装置１０は、架台１１を有し、架台１１の上に基板ステージ１２を設け、ペーストが塗布される基板１を載置可能にする。架台１１には、基板ステージ１２を第１の方向としてのＸ軸方向に跨ぐ門型コラム１３が設置され、コラム１３は両側の脚部１４と、両脚部１４の上部に、第１の方向に沿って架け渡される横架部１５とを有する。コラム１３の両脚部１４は架台１１の基板ステージ１２を挟む両側に設置してあるガイドレール１６上を第２の方向としてのＹ軸方向に沿って移動可能に設けられる。コラム１３は不図示のＹ軸モータによりボールねじ等を回転させることで移動され、その移動位置及び移動距離をＹ軸モータに付帯のエンコーダにより検出される。
【００１７】
ペースト塗布装置１０は、コラム１３の横架部１５に横移動台１７を設置し、横移動台１７はコラム１３の横架部１５の前面に設置してあるガイドレール１８上をＸ軸方向に沿って移動可能に設けられる。横移動台１７は不図示のＸ軸モータによりボールねじ等を回転させることで移動され、その移動位置及び移動距離をＸ軸モータに付帯のエンコーダにより検出される。
【００１８】
ペースト塗布装置１０は、複数の塗布ヘッド２０を有しており、各塗布ヘッド２０が固定されるノズル台２１を横移動台１７に設置し、ノズル台２１は横移動台１７に設けてあるガイドレール（不図示）上をＺ軸方向に移動可能に設けられる。ノズル台２１はＺ軸モータ２４によりボールねじ等を回転させることで移動され、その移動位置をＺ軸モータ２４に付帯のエンコーダにより検出される。
【００１９】
塗布ヘッド２０は、ペーストを収容するシリンジ等の容器２２と、その容器２２に連通してペーストを吐出するノズル２３を有している。塗布ヘッド２０は、気体供給チューブ等を介して気体供給源に接続され、容器２２に供給される気体の圧力により、その内部のペーストをノズル２３から吐出する。
【００２０】
従って、ペースト塗布装置１０においては、制御手段を用いて、塗布ヘッド２０のノズル２３をＺ軸モータ２４により基板１に対するＺ軸方向の待機位置から塗布位置に位置付けた状態で、塗布ヘッド塗布駆動回路により塗布ヘッド２０のノズル２３から所定の塗布条件（吐出圧力、移動速度及びギャップ等）でペーストを吐出させながら、塗布ヘッド移動駆動回路及びコラム移動駆動回路により制御されるＸ軸モータ及びＹ軸モータにより塗布ヘッド２０のノズル２３を基板ステージ１２の上の基板１に対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御する。これにより、塗布ヘッド２０のノズル２３から吐出されるペーストを、基板１の表面に塗布し、この基板１の表面に予め定めたペーストパターンを描画する。
【００２１】
しかるに、ペースト塗布装置１０にあっては、基板１の大型化に対応するため、架台１１の基板ステージ１２を挟む両側に設けてあるガイドレール１６上に、相対する２個のコラム１３、１３を並設している。一方のコラム１３の両脚部１４が架台１１の両側のガイドレール１６上をＹ軸方向に沿って移動可能に設けられ、他方のコラム１３の両脚部１４が架台１１の両側のガイドレール１６上をＹ軸方向に沿って移動可能に設けられている。
【００２２】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３に、それらの横架部１５のそれぞれに横移動台１７を設置し、それらの横移動台１７は各コラム１３の横架部１５の相対する前面のそれぞれに設置してあるガイドレール１８上をＸ軸方向に沿って移動可能に設けられる。
【００２３】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３の横架部１５の相対する前面に設けたガイドレール１８上の横移動台１７のそれぞれに、前述の塗布ヘッド２０のノズル台２１を設置してある。ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３のそれぞれに各６個の塗布ヘッド２０を設け、それらの各塗布ヘッド２０を前述の如くに基板ステージ１２上の基板１に対してＸ軸方向とＹ軸方向に移動制御しつつ、各塗布ヘッド２０の容器２２に収容してあるペーストをノズル２３から吐出して基板１の表面に塗布する。そして、ペースト塗布装置１０は、各塗布ヘッド２０の容器２２に収容してあるペーストの使用による減量に応じて、新旧容器２２を交換する等のメンテナンス作業性を向上するため、以下の構成を具備する。
【００２４】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３のそれぞれにおいて、コラム１３の横架部１５を、両側の脚部１４、１４に架設される横架本体部１５Ａと、横架本体部１５Ａの両端部から両側の脚部１４、１４よりもＸ軸方向の外側に突き出る突出部１５Ｂを付帯して備える。図３に示す如く、一方の脚部１４の外側面からＸ軸方向に他方の脚部１４の外側面に渡る長さをＫとするとき、横架本体部１５Ａの長さはＫであり、各突出部１５Ｂは横架本体部１５ＡからＸ軸方向に長さＬだけ突き出る。本実施例では、架台１１のＸ軸方向に沿う長さをＫとしており、架台１１のＸ軸方向に沿う両端面のそれぞれをコラム１３の横架本体部１５Ａの両端面（又は両脚部１４の外側面）のそれぞれに面一としている（図２、図３）。
【００２５】
ペースト塗布装置１０は、２個のコラム１３、１３のそれぞれにおいて、コラム１３の横架部１５の前面に設けてあるガイドレール１８を、横架本体部１５Ａから突出部１５Ｂまで延在させている。これにより、ガイドレール１８上にそれぞれ横移動台１７を介して設けられる全ての塗布ヘッド２０、本実施例では全６個の塗布ヘッド２０を２分した一方側３個の塗布ヘッド２０と、他方側３個の塗布ヘッド２０が、ガイドレール１８に沿うＸ軸方向に関して、基板ステージ１２の外側にまで移動し得るように、コラム１３のガイドレール１８を横架本体部１５Ａの側から突出部１５Ｂの側にまで延在させたものである。
【００２６】
このとき、ペースト塗布装置１０は、ガイドレール１８上にそれぞれ横移動台１７を介して設けられる少なくとも１つの塗布ヘッド２０、本実施例では全６個の塗布ヘッド２０を２分した一方側３個の塗布ヘッド２０と、他方側３個の塗布ヘッド２０が、ガイドレール１８に沿うＸ軸方向に関して、架台１１の外側にまで移動し得るように、コラム１３のガイドレール１８を横架本体部１５Ａの側から突出部１５Ｂの側にまで延在させている。
【００２７】
従って、ペースト塗布装置１０にあっては、全６個の塗布ヘッド２０がコラム１３の横架部１５における横架本体部１５Ａに延在させたガイドレール１８に沿って、図２、図３の鎖線に示す如くに、基板ステージ１２の上の基板１に対する塗布動作範囲を移動するとき、各塗布ヘッド２０のノズル２３から吐出されるペーストを基板１の表面に塗布する。
【００２８】
また、ガイドレール１８に沿う一方側３個の塗布ヘッド２０と、他方側３個の塗布ヘッド２０が、コラム１３の横架部１５における横架本体部１５Ａから突出部１５Ｂに延在させたガイドレール１８に沿って、図２、図３の実線に示す如くに、基板ステージ１２の外側（本実施例では架台１１の外側でもある）のメンテナンス範囲に移動して停留したとき、架台１１まわりに位置するオペレータの手により各塗布ヘッド２０の新旧容器２２を交換する。
【００２９】
本実施例のペースト塗布装置１０によれば以下の作用効果を奏する。
(a)架台１１の上に設けたコラム１３に複数の塗布ヘッド２０を有するペースト塗布装置１０において、全ての塗布ヘッド２０がＸ軸方向に関して基板ステージ１２の外側のメンテナンス範囲にまで移動し得るようにコラム１３のガイドレール１８が延在されてなるものにした。従って、各塗布ヘッド２０の新旧容器２２を交換等するため、それらの塗布ヘッド２０をコラム１３の横架部１５に設けたガイドレール１８に沿う移動限にまで移動すると、全ての塗布ヘッド２０がコラム１３のガイドレール１８に沿って基板ステージ１２の上の基板１に対する塗布動作範囲を超え、基板ステージ１２の外側のメンテナンス範囲にまで移動して新旧容器２２の交換等のメンテナンスを施され得るものになる。このため、架台１１まわりにおけるコラム１３の脚部１４近くに位置するオペレータにとって、基板ステージ１２の外側に位置付けられる全ての塗布ヘッド２０に手を及ぼし易くするものになり、メンテナンス作業性を向上できる。
【００３０】
(b)塗布ヘッド２０のうちの少なくとも１つが、Ｘ軸方向に関して架台１１の外側にまで移動し得るようにコラム１３のガイドレール１８が延在されてなるようにした。従って、架台１１まわりにおけるコラム１３の脚部１４近くに位置するオペレータにとって、架台１１の外側にまで移動する塗布ヘッド２０に手を一層及ぼし易くし、メンテナンス作業性を一層向上できる。
【００３１】
(c)コラム１３の横架部１５が架台１１に立脚する脚部１４よりもＸ軸方向の外側に突き出る突出部１５Ｂを付帯して備え、コラム１３のガイドレール１８が上記突出部１５Ｂまで延在されてなるようにした。従って、架台１１まわりにおけるコラム１３の脚部１４近くに位置するオペレータにとって、コラム１３の脚部１４よりも外側に突き出る横架部１５の突出部１５Ｂにまで移動する塗布ヘッド２０に手を一層及ぼし易くし、メンテナンス作業性を一層向上できる。
【００３２】
(d)コラム１３の横架部１５が、ガイドレール１８における塗布ヘッド２０のための塗布動作範囲を担う部分が設けられる横架本体部１５Ａの機械的精度（強度、剛度、寸法）を高くし、ガイドレール１８における塗布ヘッド２０のためのメンテナンス範囲を担う部分が設けられる突出部１５Ｂの機械的精度を低くすることができる。これにより、コラム１３の製作が容易になり、特に基板１が大型化しても、大型のコラム１３を単一体にすることなく、コラム１３の横架部１５を横架本体部１５Ａと突出部１５Ｂに分割して低コスト化できる。
【００３３】
(e)コラム１３の横架部１５がＸ軸方向の両外側に突出部１５Ｂを付帯して備えることにより、コラム１３の横架部１５の両側で上述(c)、(d)を実現できる。
【００３４】
(f)架台１１の上に２個のコラム１３、１３を並設することにより、相対する２個のコラム１３、１３の横架部１５に設けたガイドレール１８のそれぞれに複数の塗布ヘッド２０を設ける。大型の基板１に必要とされる多数の塗布ヘッド２０を２個のコラム１３、１３に設けるものにしながら、各コラム１３に設けた塗布ヘッド２０のメンテナンス作業性等を上述(a)〜(e)により向上できる。
【００３５】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、ペースト塗布装置１０は架台１１の基板ステージ１２を挟む両側に設けてあるガイドレール１６上に１個のコラム１３だけを設けるものでも良い。
【００３６】
また、ペースト塗布装置１０は、コラム１３の横架部１５に設ける突出部１５Ｂを、横架本体部１５Ａの一端部の側（片側）にだけ設けても良い。
【００３７】
また、ペースト塗布装置１０において、コラム１３は、両脚部１４と横架本体部１５Ａと突出部１５Ｂを一体成形した単一体としても良いが、両脚部１４と横架本体部１５Ａを一体成形し、別体の突出部１５Ｂをその横架本体部１５Ａにボルト等により接合した組立体としても良い。また、コラム１３は、横架部１５（横架本体部１５Ａと突出部１５Ｂを一体としても良く、別体の横架本体部１５Ａに突出部１５Ｂをボルト等により接合しても良い）と、両脚部１４を別体にしてそれらをボルト等により接合した組立体としても良い。コラム１３の各部を上述の如くに別体化することにより、コラム１３の輸送性が向上する。
【００３８】
また、ペースト塗布装置１０において、架台１１にコラム１３が固定化され、架台１１の上の基板ステージ１２が移動するものでも良い。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、架台の上に設けたコラムに複数の塗布ヘッドを有するペースト塗布装置において、架台まわりに位置するオペレータによりそれら塗布ヘッドに対するメンテナンス作業を容易にすることができる。
【符号の説明】
【００４０】
１ 基板
１０ ペースト塗布装置
１１ 架台
１２ 基板ステージ
１３ コラム
１４ 脚部
１５ 横架部
１５Ａ 横架本体部
１５Ｂ 突出部
１８ ガイドレール
２０ 塗布ヘッド
２２ 容器
２３ ノズル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
架台と、架台の上に設けられる基板ステージと、第１の方向に延びる横架部を備え、架台の上に設けられて基板ステージを第１の方向に跨ぐ門型のコラムと、コラムの横架部に設けられる複数の塗布ヘッドとを有し、
基板ステージとコラムが第１の方向と直交する第２の方向に沿って相対移動可能にされ、複数の塗布ヘッドがコラムの横架部に上記第１の方向に延在するガイドレールを介して移動可能にされ、
各塗布ヘッドが基板ステージに対して第１の方向と第２の方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッドのノズルから吐出されるペーストが基板ステージの上の基板に塗布されるペースト塗布装置において、
全ての塗布ヘッドが第１の方向に関して基板ステージの外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記塗布ヘッドのうちの少なくとも１つが、第１の方向に関して架台の外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなる請求項１に記載のペースト塗布装置。
【請求項３】
前記コラムの横架部が架台に立脚する脚部よりも第１の方向の外側に突き出る突出部を付帯して備え、コラムのガイドレールが上記突出部まで延在されてなる請求項１又は２に記載のペースト塗布装置。
【請求項４】
前記コラムの横架部が第１の方向の両外側に前記突出部を付帯して備える請求項３に記載のペースト塗布装置。
【請求項５】
前記架台の上に２個のコラムが並設されてなる請求項１〜４のいずれかに記載のペースト塗布装置。
【請求項１】
架台と、架台の上に設けられる基板ステージと、第１の方向に延びる横架部を備え、架台の上に設けられて基板ステージを第１の方向に跨ぐ門型のコラムと、コラムの横架部に設けられる複数の塗布ヘッドとを有し、
基板ステージとコラムが第１の方向と直交する第２の方向に沿って相対移動可能にされ、複数の塗布ヘッドがコラムの横架部に上記第１の方向に延在するガイドレールを介して移動可能にされ、
各塗布ヘッドが基板ステージに対して第１の方向と第２の方向に移動制御されつつ、各塗布ヘッドのノズルから吐出されるペーストが基板ステージの上の基板に塗布されるペースト塗布装置において、
全ての塗布ヘッドが第１の方向に関して基板ステージの外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記塗布ヘッドのうちの少なくとも１つが、第１の方向に関して架台の外側にまで移動し得るようにコラムのガイドレールが延在されてなる請求項１に記載のペースト塗布装置。
【請求項３】
前記コラムの横架部が架台に立脚する脚部よりも第１の方向の外側に突き出る突出部を付帯して備え、コラムのガイドレールが上記突出部まで延在されてなる請求項１又は２に記載のペースト塗布装置。
【請求項４】
前記コラムの横架部が第１の方向の両外側に前記突出部を付帯して備える請求項３に記載のペースト塗布装置。
【請求項５】
前記架台の上に２個のコラムが並設されてなる請求項１〜４のいずれかに記載のペースト塗布装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−５６４２４（Ｐ２０１１−５６４２４Ａ）
【公開日】平成２３年３月２４日（２０１１．３．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２０９８４０（Ｐ２００９−２０９８４０）
【出願日】平成２１年９月１０日（２００９．９．１０）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年３月２４日（２０１１．３．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月１０日（２００９．９．１０）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
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