ポンプシステム
【課題】ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異及び人的要因による設定ミスを抑制し、複数のターボ分子ポンプに対して迅速かつ正確な設定を行う。
【解決手段】複数のターボ分子ポンプ装置は、それぞれターボ分子ポンプＴＢと、各ターボ分子ポンプの駆動をそれぞれ制御する複数の電源装置ＣＲとを有する。任意の１台の電源装置１１３は、ターボ分子ポンプ１１４の駆動制御のための制御情報を設定するとともに、通信ケーブル１０７を介して他の電源装置１２３，１３３に入力値を送信する。他の電源装置１２２，１３３は、受信した入力値をターボ分子ポンプＴＢの駆動制御のための制御情報として設定する。
【解決手段】複数のターボ分子ポンプ装置は、それぞれターボ分子ポンプＴＢと、各ターボ分子ポンプの駆動をそれぞれ制御する複数の電源装置ＣＲとを有する。任意の１台の電源装置１１３は、ターボ分子ポンプ１１４の駆動制御のための制御情報を設定するとともに、通信ケーブル１０７を介して他の電源装置１２３，１３３に入力値を送信する。他の電源装置１２２，１３３は、受信した入力値をターボ分子ポンプＴＢの駆動制御のための制御情報として設定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のターボ分子ポンプを制御するターボ分子ポンプシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ターボ分子ポンプは半導体製造装置等の排気装置として用いられている。例えば、複数のターボ分子ポンプと、各ターボ分子ポンプに接続されターボ分子ポンプを駆動制御するコントローラとしての電源装置とを備え、複数の電源装置の背面の通信ポートにケーブルによって接続された１台の集中監視装置を備えたターボ分子ポンプシステムが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３３９９５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、昨今、半導体製造装置等の大型化・高効率化に伴い、複数のターボ分子ポンプを同時使用することに加え同一の設定で使用することが多くなってきている。しかしながら、複数のターボ分子ポンプを設置した状態で設定変更をしたい場合に、各電源装置への設定変更を手動で行うと、設定変更に要する時間が長くなり、その間に各ターボ分子ポンプ間の駆動状態に、使用に際しての支障となる差異が生じるおそれがある。また、複数の電源装置に設定を行うため、１台の電源装置に設定を行う場合に比べ、人的要因による設定ミスが発生する可能性が高まることも懸念される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるターボ分子ポンプシステムは、複数のターボ分子ポンプと、各ターボ分子ポンプをそれぞれ制御する複数の制御装置と、各ターボ分子ポンプの制御に係る制御情報を入力する単一の入力手段と、入力手段より入力された制御情報を各制御装置にそれぞれ設定する設定手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、単一の入力手段より入力された制御情報を各ターボ分子ポンプ制御用の制御装置にそれぞれ設定するようにしたので、複数のターボ分子ポンプに対して迅速かつ正確に制御情報を設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図１〜図５を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本実施形態のターボ分子ポンプシステム１００を示す全体構成図である。ターボ分子ポンプシステム１００は、真空容器１１５，１２５，１３５内を吸引する複数（図では３台）のターボ分子ポンプ１１４，１２４，１３４（以下、これらをＴＢで総称することもある）と、各ターボ分子ポンプＴＢに接続された複数の電源装置１１３，１２３，１３３（以下、これらをＣＲで総称することもある）とを有する。さらにターボ分子ポンプシステム１００は、複数の電源装置ＣＲを通じて複数のターボ分子ポンプＴＢを監視する集中監視装置１０２と、通信ケーブル１０７とを有する。
【０００８】
ここで、ターボ分子ポンプＴＢとそれに接続された電源装置ＣＲとの１組が１台のターボ分子ポンプ装置を構成する。例えば、ターボ分子ポンプ１１４及び電源装置１１３がターボ分子ポンプ装置１１０を、ターボ分子ポンプ１２４及び電源装置１２３がターボ分子ポンプ装置１２０を、ターボ分子ポンプ１３４及び電源装置１３３がターボ分子ポンプ装置１３０をそれぞれ構成する。なお、真空容器および真空容器内を吸引するターボ分子ポンプ装置の数Ｎは３台に限らず、ターボ分子ポンプシステム１００が使用される大型の半導体製造装置等に対応して適宜決められる。本実施の形態では、後述するようにマルチドロップ接続方式を採用しており、３１台分のターボ分子ポンプ装置が接続可能であるが、以下ではＮ＝Ｊ台として説明する。
【０００９】
真空容器１１５，１２５，１３５は、例えば半導体製造用のＣＶＤ装置などの成膜装置やエッチング装置である。
【００１０】
電源装置１１３，１２３，１３３は、各ターボ分子ポンプ１１４，１２４，１３４を駆動制御する機能を有する。これら電源装置１１３，１２３，１３３は、その背面部にそれぞれＲＳ−４８５規格準拠のシリアル通信ポート１１３ａ，１２３ａ，１３３ａおよび遠隔操作端子１１３ｂ，１２３，１３３ｂを有している。各電源装置ＣＲはＩＤ、すなわち識別番号を設定可能である。ＩＤ番号は、例えば電源装置ＣＲに設けられているＬＣＤ液晶パネル（図３）の操作により設定される。本実施の形態においては、電源装置１１３，１２３，１３３からＮ＝Ｊ台目の電源装置まで順に、ＩＤ＝１，２，３，・・・，Ｊが設定されている。
【００１１】
集中監視装置１０２は、ＲＳ−４８５規格準拠のシリアル通信ポート１０２ａおよび遠隔操作端子１０２ｂを有する据置型のコンピュータである。集中監視装置１０２は、通信ケーブル１０７により、電源装置ＣＲの背面部の各通信ポート１１３a，１２３ａ，１３３ａと接続され、各電源装置ＣＲからの情報に基づき各ターボ分子ポンプＴＢの監視を行う。遠隔操作端子１０２ｂと各遠隔操作端子１１３ｂ，１２３ｂ，１３３ｂとをそれぞれ接続し、集中監視装置１０２が各電源装置ＣＲの運転を開始／停止することもできる。集中監視装置１０２は、複数のターボ分子ポンプＴＢについてシーケンシャルに監視を行う。
【００１２】
ターボ分子ポンプシステム１００の起動後は、各電源装置ＣＲが対応する各ターボ分子ポンプＴＢをそれぞれ制御する。各電源装置ＣＲは、集中監視装置１０２からの定期的な問い合わせに応答して、制御しているターボ分子ポンプの運転状態信号（回転速度、電流、電圧等）を集中監視装置１０２へ送信する。集中監視装置１０２は受信した各運転状態信号に基づき監視情報を表示し、オペレータは各ターボ分子ポンプＴＢの運転状況を監視する。各電源装置ＣＲは異常を検出すると集中監視装置１０２に異常信号を送信し、集中監視装置１０２は異常信号を受信するとアラームを出力し、オペレータへ異常を報知する。
【００１３】
各電源装置ＣＲ同士は、ＲＳ−４８５規格準拠のシリアル通信ポート１１３a、１２３ａ、１３３ａを介して通信ケーブル１０７により接続されている。ＲＳ−４８５規格は、トポロジ（接続形態）として、１対の信号線上に複数のノードを接続できるマルチドロップ接続が可能である。このマルチドロップ接続においては、これらのノードはすべてシングル・ペア・ワイヤーに接続され、送信と受信は同じ２つのワイヤーに配分される。ＲＳ−４８５仕様では接続環境上で３２ノードが可能である。本実施形態では、シングル・ペア・ワイヤーの通信ケーブル１０７に、集中監視装置１０２及びＪ台分の電源装置ＣＲがマルチドロップ接続され、これにより任意の電源装置ＣＲ間でシリアル通信におけるハンドシェイクが可能となっている。
【００１４】
本実施形態の通信ネットワークは、マスタ・スレーブ方式の動作を可能としている。マスタ・スレーブ方式は、１つのノード（マスタ）のみが通信ネットワークの支配権をもつことによって、通信の衝突を回避する方式で、複数のノードうち１つのノード(マスタ）に他のノード(スレーブ)の処理を管理させる方式である。例えば、オペレータが電源装置１１３をマスタ用として操作し信号の送信を開始したとする。この場合、マスタ用電源装置１１３は、スレーブ用電源装置１２３宛てに信号１１１ａを送信し、電源装置１２３との通信が完了後に、次のスレーブ用電源装置１３３宛てに信号１１１ｂを送信する、という通信制御が可能である。他の電源装置１２３、１３３が信号の送信源（マスタ）となった場合も同様である。
【００１５】
図２は、ターボ分子ポンプ装置１１０の構成をより詳細に示すブロック図である。なお、他のターボ分子ポンプ装置１２０，１３０の構成も同様である。電源装置１１３は、主制御部２１０、ＭＭＩ部２２０、通信制御部２３０及びポンプ制御部２４０を有する。ポンプ制御部２４０は、温度制御部２４１、磁気軸受駆動部２４２、モータ駆動部２４３を含む。ＭＭＩ部２２０は、表示部２２１ａ及び入力部２２１ｂの機能を外部へ提供する正面パネル２２１を含む。電源装置１１３は、商用電源２０９から電力供給を受け動作する。
【００１６】
ターボ分子ポンプ１１４は、定常回転時、ロータ（不図示）の回転軸が磁気軸受２６０ａによって、磁力で浮上して支承される磁気軸受型ターボ分子ポンプである。このターボ分子ポンプ１１４のベースにはヒータ２５０ａが設けられ、生成物が付着しやすいガスを排気する場合には、このヒータ２５０ａによりポンプ温度を上昇させて生成物の付着を抑制する。その際、冷却装置２５０ｂによる冷却とヒータ２５０ａによる加熱とを制御してポンプ温度の制御を行う。
【００１７】
冷却装置２５０ｂは冷却水によりターボ分子ポンプの冷却を行うものであり、電磁バルブ等により流量を調節することにより冷却効果の制御を行う。ヒータ２５０ａ及び冷却装置２５０ｂには、電源装置１１３の温度制御部２４１から制御電流が供給され、ポンプ温度が制御される。温度センサ部２５０は、ベースの温度を検出し、主制御部２１０へその信号を入力する。主制御部２１０は、温度センサ部２５０で検出される温度をポンプ温度として用いる。
【００１８】
磁気軸受２６０ａには、電源装置１１３の磁気軸受駆動部２４２から制御電流が供給され、ロータの回転軸が磁気支承される。磁気軸受センサ部２６０は、ロータとタッチダウンベアリングとの間のギャップを検出し、主制御部２１０へその信号を入力する。
【００１９】
モータ２７０ａは、例えば、ブラシレスＤＣモータまたは誘導モータであり、モータ２７０ａには、電源装置１１３のモータ駆動部２４３から制御電流が供給され、ロータの回転軸（不図示）が回転される。モータセンサ部２７０は、モータ回転速度を検出し、主制御部２１０へその信号を入力する。
【００２０】
主制御部２１０は、温度センサ部２５０からの信号、磁気軸受センサ部２６０からの信号、およびモータセンサ部２７０からの信号に基づき、温度制御部２４１、磁気軸受駆動部２４２、およびモータ駆動部２４３をそれぞれ制御する。また、主制御部２１０は、不図示のシステムメモリを含んでおり、自身へ入力された信号データをシステムメモリへ記憶する。この信号データは、通信制御部２３０の通信ポート１１３aを介して集中監視装置１０２によって読み出し可能である。
【００２１】
ポンプ制御に必要な指令やパラメータ等は、主制御部２１０に接続されたＭＭＩ部２２０の表示部２２１ａ及び入力部２２１ｂを用いることにより、オペレータが手動で主制御部２１０に入力可能である。すなわち、オペレータは、表示部２２１ａに表示されたターボ分子ポンプ１１４の運転状態を見ながら、入力部２２１ｂを操作して、ターボ分子ポンプ１１４の運転を制御することができる。電源装置１１３に設けられた通信制御部２３０の通信ポート１１３aを介して、他の装置等外部からの指令を主制御部２１０に入力することもできる。
【００２２】
図３は、電源装置１１３の正面パネル２２１を示す外観図である。なお、他の電源装置１２３，１３３についても同様である。正面パネル２２１には、表示部２２１ａと入力部２２１ｂが設けられている。表示部２２１ａは、液晶表示パネルおよびＬＥＤ表示灯を含み、主制御部２１０のシステムメモリに記憶されたデータに基づきターボ分子ポンプ１１４の状態を表示するとともに、電源装置１１３の設定状態等も表示する。入力部２２１ｂは押しボタンスイッチおよび切替スイッチを含み、これらのスイッチ操作により電源装置１１３自体および電源装置１１３によるターボ分子ポンプ１１４の運転状態を制御することができる。
【００２３】
各電源装置ＣＲへの制御情報の設定は以下のように行われる。予め正面パネル２２１を介して各電源装置ＣＲのＩＤ番号を設定しておく。次いで、オペレータはマスタ用電源装置１１３の正面パネル２２１を介してターボ分子ポンプ１１４用のポンプ温度設定値ｔを入力後、ＳＥＴボタン３０３を押下操作する。これにより電源装置１１３はポンプ温度設定値ｔを設定すると共にスレーブ用電源装置１２３にポンプ温度設定値ｔを送信する。スレーブ用電源装置１２３は受信したポンプ温度設定値ｔを設定し、マスタ用電源装置１１３はその設定応答を確認すると、次のスレーブ用電源装置１３３にポンプ温度設定値ｔを送信する。スレーブ用電源装置１３３は受信したポンプ温度設定値ｔを設定し、マスタ用電源装置１１３はその設定応答を確認すると、さらに次の他の電源装置にポンプ温度設定値ｔを順次送信する。
【００２４】
このような複数の電源装置ＣＲに順次設定値を設定する処理が、ＳＥＴボタン３０３の１度の押下操作で可能とした点に本実施の形態の特徴がある。ここで、どの電源装置ＣＲをマスタ用とするかはオペレータの自由であり、任意な１台の電源装置ＣＲをマスタ用に選ぶことができる。すなわち、本実施の形態は、任意の１台の電源装置ＣＲについてターボ分子ポンプ用の入力とそのコピー操作が行われると、その１台のターボ分子ポンプ用の入力が設定され、他のターボ分子ポンプに対して同設定が順次コピーされることに特徴がある。以下では、この設定内容のコピー機能を実現する処理について説明する。
【００２５】
図４は、本実施形態における上述のマスタ用電源装置１１３に関わる処理手順を示すフローチャートである。図５は、本実施形態における上述のスレーブ用電源装置１２３，１３３に関わる処理手順を示すフローチャートである。図４、５の処理手順は、各電源装置の主制御部２１０に含まれる不図示のＣＰＵが実行する制御処理の内容を示し、各主制御部２１０のＣＰＵがシステムメモリに記憶されている制御プログラムを読み出して実行することにより行われる。
【００２６】
以下では、電源装置１１３がマスタ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを設定・送信し、他の電源装置（例えば電源装置１２３）がスレーブ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを受信・設定する場合を例に、処理を説明する。
【００２７】
（マスタ用制御プログラム）
オペレータが、正面パネル２２１において、表示部２２１ａに表示されたメニュー画面から「温度設定値変更」をＳＥＬＥＣＴボン３０１によって選択し、「温度設定値変更」入力画面を表示するためにＤＩＳＰＬＡＹボタン３０４を押下操作すると、図４に示す設定送信処理が開始される。なお、以下の各ステップの処理はＣＰＵが主体となって実行される。
【００２８】
まず、ステップＳ４０２で、表示部２２１ａに「温度設定値変更」入力画面を表示し、正面パネル２２１からの入力状況を監視する。例えば、−ボタン３０２ａ及び＋ボタン３０２ｂの操作によりポンプ温度設定値が所望の値に表示され、さらにＳＥＴボタン３０３の操作により表示中のポンプ温度設定値ｔが入力されると、ステップＳ４０４に進む。
【００２９】
ステップＳ４０４では、システムメモリ上のバッファにポンプ温度設定値ｔを一時的に格納する。ステップＳ４０６では、正面パネル２２１のＳＥＴボタン３０３の押下操作の有無を判定する。ＳＥＴボタン３０３の押下有りと判定されると、ステップＳ４０８に進む。
【００３０】
ステップＳ４０８では、バッファに記憶したポンプ温度設定値ｔをシステムメモリ上の温度制御設定値エリアに格納し設定する。これにより、主制御部２１０は、温度センサ部２５０からの信号に基づいて所定のポンプ温度ｔとなるように電源装置１１３の温度制御部２４１を制御することができる。ステップＳ４１０では、システムメモリ上のＩＤエリアに初期値１を入力し、ステップＳ４１２に進む。
【００３１】
ステップＳ４１２では、ＩＤエリアの値が３１（接続可能な電源装置ＣＲの数）を超えたか否かを判定する。ＩＤ≦３１の場合にはステップＳ４１４へ進む。ステップＳ４１４では、ＩＤエリアの値が、電源装置ＣＲの立ち上げ時にシステムメモリへ読み込んであった設定ＩＤ（自ＩＤ）と異なるか否かを判定する。ＩＤ≠自ＩＤの場合にはステップＳ４１６に進み、ＩＤ＝自ＩＤの場合にはステップＳ４２４に進む。
【００３２】
ステップＳ４１６では、ＩＤエリアの値と温度制御設定値エリアのポンプ温度設定値ｔを格納した温度制御設定値コマンドとを編集し、その温度制御設定値コマンドを通信制御部２３０の通信ポート１１３aを介して通信ケーブル１０７へ送信する。
【００３３】
次いでステップＳ４１８で、送信した温度制御設定値コマンドに対するいずれかのターボ分子ポンプ装置からの応答を監視するためのタイマを起動する。ステップＳ４２０では、温度制御設定値コマンドに対する応答受信の有無を判定する。応答無しの場合にはステップＳ４２２へ進み、応答有りの場合にはステップＳ４２４へ進む。
【００３４】
ステップＳ４２２では、タイマがタイムアウトしたか否かを判定する。タイムアウトでない場合にはステップＳ４２０へ戻る。タイムアウトの場合には、温度制御設定値コマンドに付加したＩＤの電源装置ＣＲからの応答が無いため、その電源装置ＣＲが停止又は故障等している、あるいは電源装置ＣＲが接続されていないと判断し、ステップＳ４２４へ処理を進める。
【００３５】
ステップＳ４２４では、システムメモリ上のＩＤエリアをインクリメント（＋１）し、ステップＳ４１２へ戻る。ステップＳ４１２では、ＩＤエリアの値が３１（接続可能な電源装置ＣＲの数）を超えたか否かを判定する。ＩＤ＞３１の場合には、全ての電源装置ＣＲにポンプ温度設定値ｔを格納した温度制御設定値コマンドを送信終了したと判断し、リターンする。
【００３６】
（スレーブ用制御プログラム）
電源装置１２３が通信ポート１２３aを介して通信ケーブル１０７からのコマンドを検知すると、図５に示す応答処理が開始される。
【００３７】
ステップＳ５０２では、温度制御設定値コマンドか否かを判定する。温度制御設定値コマンドの場合にはステップＳ５０４に進み、温度制御設定値コマンド以外の場合にはリターンする。ステップＳ５０４では、温度制御設定値コマンドに付加されているＩＤが電源装置１２３の立ち上げ時にシステムメモリへ読み込んであった設定ＩＤ（自ＩＤ＝２）と同じか否かを判定する。コマンドの付加ＩＤ＝自ＩＤの場合にはステップＳ５０６に進み、コマンドの付加ＩＤ≠自ＩＤの場合にはリターンする。
【００３８】
ステップＳ５０６では、温度制御設定値コマンド中のポンプ温度設定値ｔをシステムメモリ上の温度制御設定値エリアに格納し設定する。これにより、主制御部２１０は、ターボ分子ポンプ１２４の温度センサ部２５０からの信号に基づいて所定のポンプ温度ｔとなるように電源装置１２３の温度制御部２４１を制御することができる。次いでステップＳ５０８で、温度制御設定値コマンドに対する応答を通信制御部の通信ポート１２３aを介して通信ケーブル１０７へ送信し、リターンする。
【００３９】
本実施の形態によれば、以下のような作用効果を奏することができる。
（１）単一の電源装置１１３に入力されたターボ分子ポンプＴＢの制御情報をこの電源装置１１３に設定するとともに、通信ケーブル１０７を介して他の電源装置１２３，１３３にも送信し、設定するようにした。これにより各ターボ分子ポンプ用の制御情報の設定を個別に行う場合に比べ、ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異および人的要因による設定ミスが抑制され、複数のターボ分子ポンプＴＢの制御情報を迅速かつ正確に設定変更することができる。
【００４０】
（２）複数の電源装置ＣＲのうち、任意の電源装置１１３をマスター用、他の電源装置１２３，１３３をスレーブ用として、マスター用電源装置１１３に設定された制御情報をスレーブ用電源装置１２３，１３３にコピーするようにした。これにより制御情報入力用の入力装置を電源装置ＣＲとは別に設ける必要がなく、構成が簡単である。
（３）各電源装置ＣＲにシリアル通信ポート１１３ａ，１２３ａ，１３３ａ、制御情報入力用の入力部２２１ｂ、制御情報設定用および制御用の主制御部２１０等を設け、マスター用およびスレーブ用の電源装置ＣＲを同一の装置構成としたので、コストを低減できる。
（４）複数の電源装置ＣＲをシリアル通信ポートを介してマルチドロップ接続するようにしたので、配線ラインの取り回しが容易である。
【００４１】
なお、上記実施の形態では、マスタ用に選んだ任意の電源装置（第１の制御装置）１１３の入力部２２１ｂの操作により、ターボ分子ポンプ用の制御情報を入力するとともに、他の電源装置（第２の制御装置）１２３，１３３へのそのコピー操作を行う場合を示したが、制御情報を入力する入力手段と制御情報を設定する設定手段を電源装置ＣＲとは別に設けてもよい。例えば図１、２の構成においてマスタ用に集中監視装置１０２を適用してもよい。
【００４２】
この場合、集中監視装置１０２は、各電源装置ＣＲからの情報に基づく各ターボ分子ポンプの監視に加え、各ターボ分子ポンプＴＢの制御も可能とする。具体的には、集中監視装置１０２が図４に示したマスタ用制御プログラムを実行可能なように、集中監視装置１０２のプログラムを改修する。この場合、ステップＳ４０８及びＳ４１４の処理は不要である。これにより、集中監視装置１０２から、任意な１台の電源装置ＣＲに対するターボ分子ポンプ用の入力とそのコピー操作が行われると、その１台のターボ分子ポンプ用の入力が設定され、他のターボ分子ポンプＴＢに対して同設定が順次コピーされる。この構成においても、各ターボ分子ポンプ用の設定を手動で行うことに比べ、ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異及び人的要因による設定ミスが抑制される。
【００４３】
上記実施の形態では、制御装置としての各電源装置ＣＲをマルチドロップ接続するようにしたが、マルチドロップ接続を適用しない構成も可能である。例えばそれぞれの電源装置ＣＲと集中監視装置１０２とをポイントツーポイント（１対１）で接続するようにしてもよい。上記実施の形態では、電源装置１１３がマスタ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを設定・送信し、他の電源装置１２３，１３３がスレーブ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを受信・設定する場合を例に説明したが、他の制御情報を同様に設定するようにしてもよい。例えばロータのギャップ値や回転速度の設定を同様に行うようにしてもよい。
【００４４】
上記実施の形態では、電源装置ＣＲの構成として、ターボ分子ポンプＴＢの制御情報を手動で入力する入力部２２１ｂと、制御情報を送受信するためのシリアル通信ポート１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと、制御情報を設定するとともにターボ分子ポンプＴＢを制御する主制御部２１０とを設けたが、これら入力部、通信部、設定部、および制御部の構成はこれに限らない。すなわち、本発明の特徴、機能を実現できる限り、本発明は実施の形態のターボ分子ポンプシステムに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態に係るターボ分子ポンプシステムを示す全体構成図。
【図２】本発明の実施の形態に係るターボ分子ポンプ装置の構成をより詳細に示すブロック図。
【図３】本発明の実施の形態に係る電源装置の正面パネルを示す外観図。
【図４】本発明の実施の形態に係るマスタ用電源装置に関わる処理手順を示すフローチャート。
【図５】本発明の実施の形態に係るスレーブ用電源装置に関わる処理手順を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００４６】
１００ ターボ分子ポンプシステム
１０２ 集中監視装置
１０２ａ、１１３ａ、１２３ａ、１３３ａ 通信ポート
１０２ｂ、１１３ｂ、１２３ｂ、１３３ｂ 遠隔操作端子
１０７ 通信ケーブル
１１０、１２０、１３０ ターボ分子ポンプ装置
１１３、１２３、１３３ 電源装置
１１４、１２４、１３４ ターボ分子ポンプ
２１０ 主制御部
２２１ｂ 入力部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のターボ分子ポンプを制御するターボ分子ポンプシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ターボ分子ポンプは半導体製造装置等の排気装置として用いられている。例えば、複数のターボ分子ポンプと、各ターボ分子ポンプに接続されターボ分子ポンプを駆動制御するコントローラとしての電源装置とを備え、複数の電源装置の背面の通信ポートにケーブルによって接続された１台の集中監視装置を備えたターボ分子ポンプシステムが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３３９９５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、昨今、半導体製造装置等の大型化・高効率化に伴い、複数のターボ分子ポンプを同時使用することに加え同一の設定で使用することが多くなってきている。しかしながら、複数のターボ分子ポンプを設置した状態で設定変更をしたい場合に、各電源装置への設定変更を手動で行うと、設定変更に要する時間が長くなり、その間に各ターボ分子ポンプ間の駆動状態に、使用に際しての支障となる差異が生じるおそれがある。また、複数の電源装置に設定を行うため、１台の電源装置に設定を行う場合に比べ、人的要因による設定ミスが発生する可能性が高まることも懸念される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるターボ分子ポンプシステムは、複数のターボ分子ポンプと、各ターボ分子ポンプをそれぞれ制御する複数の制御装置と、各ターボ分子ポンプの制御に係る制御情報を入力する単一の入力手段と、入力手段より入力された制御情報を各制御装置にそれぞれ設定する設定手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、単一の入力手段より入力された制御情報を各ターボ分子ポンプ制御用の制御装置にそれぞれ設定するようにしたので、複数のターボ分子ポンプに対して迅速かつ正確に制御情報を設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図１〜図５を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本実施形態のターボ分子ポンプシステム１００を示す全体構成図である。ターボ分子ポンプシステム１００は、真空容器１１５，１２５，１３５内を吸引する複数（図では３台）のターボ分子ポンプ１１４，１２４，１３４（以下、これらをＴＢで総称することもある）と、各ターボ分子ポンプＴＢに接続された複数の電源装置１１３，１２３，１３３（以下、これらをＣＲで総称することもある）とを有する。さらにターボ分子ポンプシステム１００は、複数の電源装置ＣＲを通じて複数のターボ分子ポンプＴＢを監視する集中監視装置１０２と、通信ケーブル１０７とを有する。
【０００８】
ここで、ターボ分子ポンプＴＢとそれに接続された電源装置ＣＲとの１組が１台のターボ分子ポンプ装置を構成する。例えば、ターボ分子ポンプ１１４及び電源装置１１３がターボ分子ポンプ装置１１０を、ターボ分子ポンプ１２４及び電源装置１２３がターボ分子ポンプ装置１２０を、ターボ分子ポンプ１３４及び電源装置１３３がターボ分子ポンプ装置１３０をそれぞれ構成する。なお、真空容器および真空容器内を吸引するターボ分子ポンプ装置の数Ｎは３台に限らず、ターボ分子ポンプシステム１００が使用される大型の半導体製造装置等に対応して適宜決められる。本実施の形態では、後述するようにマルチドロップ接続方式を採用しており、３１台分のターボ分子ポンプ装置が接続可能であるが、以下ではＮ＝Ｊ台として説明する。
【０００９】
真空容器１１５，１２５，１３５は、例えば半導体製造用のＣＶＤ装置などの成膜装置やエッチング装置である。
【００１０】
電源装置１１３，１２３，１３３は、各ターボ分子ポンプ１１４，１２４，１３４を駆動制御する機能を有する。これら電源装置１１３，１２３，１３３は、その背面部にそれぞれＲＳ−４８５規格準拠のシリアル通信ポート１１３ａ，１２３ａ，１３３ａおよび遠隔操作端子１１３ｂ，１２３，１３３ｂを有している。各電源装置ＣＲはＩＤ、すなわち識別番号を設定可能である。ＩＤ番号は、例えば電源装置ＣＲに設けられているＬＣＤ液晶パネル（図３）の操作により設定される。本実施の形態においては、電源装置１１３，１２３，１３３からＮ＝Ｊ台目の電源装置まで順に、ＩＤ＝１，２，３，・・・，Ｊが設定されている。
【００１１】
集中監視装置１０２は、ＲＳ−４８５規格準拠のシリアル通信ポート１０２ａおよび遠隔操作端子１０２ｂを有する据置型のコンピュータである。集中監視装置１０２は、通信ケーブル１０７により、電源装置ＣＲの背面部の各通信ポート１１３a，１２３ａ，１３３ａと接続され、各電源装置ＣＲからの情報に基づき各ターボ分子ポンプＴＢの監視を行う。遠隔操作端子１０２ｂと各遠隔操作端子１１３ｂ，１２３ｂ，１３３ｂとをそれぞれ接続し、集中監視装置１０２が各電源装置ＣＲの運転を開始／停止することもできる。集中監視装置１０２は、複数のターボ分子ポンプＴＢについてシーケンシャルに監視を行う。
【００１２】
ターボ分子ポンプシステム１００の起動後は、各電源装置ＣＲが対応する各ターボ分子ポンプＴＢをそれぞれ制御する。各電源装置ＣＲは、集中監視装置１０２からの定期的な問い合わせに応答して、制御しているターボ分子ポンプの運転状態信号（回転速度、電流、電圧等）を集中監視装置１０２へ送信する。集中監視装置１０２は受信した各運転状態信号に基づき監視情報を表示し、オペレータは各ターボ分子ポンプＴＢの運転状況を監視する。各電源装置ＣＲは異常を検出すると集中監視装置１０２に異常信号を送信し、集中監視装置１０２は異常信号を受信するとアラームを出力し、オペレータへ異常を報知する。
【００１３】
各電源装置ＣＲ同士は、ＲＳ−４８５規格準拠のシリアル通信ポート１１３a、１２３ａ、１３３ａを介して通信ケーブル１０７により接続されている。ＲＳ−４８５規格は、トポロジ（接続形態）として、１対の信号線上に複数のノードを接続できるマルチドロップ接続が可能である。このマルチドロップ接続においては、これらのノードはすべてシングル・ペア・ワイヤーに接続され、送信と受信は同じ２つのワイヤーに配分される。ＲＳ−４８５仕様では接続環境上で３２ノードが可能である。本実施形態では、シングル・ペア・ワイヤーの通信ケーブル１０７に、集中監視装置１０２及びＪ台分の電源装置ＣＲがマルチドロップ接続され、これにより任意の電源装置ＣＲ間でシリアル通信におけるハンドシェイクが可能となっている。
【００１４】
本実施形態の通信ネットワークは、マスタ・スレーブ方式の動作を可能としている。マスタ・スレーブ方式は、１つのノード（マスタ）のみが通信ネットワークの支配権をもつことによって、通信の衝突を回避する方式で、複数のノードうち１つのノード(マスタ）に他のノード(スレーブ)の処理を管理させる方式である。例えば、オペレータが電源装置１１３をマスタ用として操作し信号の送信を開始したとする。この場合、マスタ用電源装置１１３は、スレーブ用電源装置１２３宛てに信号１１１ａを送信し、電源装置１２３との通信が完了後に、次のスレーブ用電源装置１３３宛てに信号１１１ｂを送信する、という通信制御が可能である。他の電源装置１２３、１３３が信号の送信源（マスタ）となった場合も同様である。
【００１５】
図２は、ターボ分子ポンプ装置１１０の構成をより詳細に示すブロック図である。なお、他のターボ分子ポンプ装置１２０，１３０の構成も同様である。電源装置１１３は、主制御部２１０、ＭＭＩ部２２０、通信制御部２３０及びポンプ制御部２４０を有する。ポンプ制御部２４０は、温度制御部２４１、磁気軸受駆動部２４２、モータ駆動部２４３を含む。ＭＭＩ部２２０は、表示部２２１ａ及び入力部２２１ｂの機能を外部へ提供する正面パネル２２１を含む。電源装置１１３は、商用電源２０９から電力供給を受け動作する。
【００１６】
ターボ分子ポンプ１１４は、定常回転時、ロータ（不図示）の回転軸が磁気軸受２６０ａによって、磁力で浮上して支承される磁気軸受型ターボ分子ポンプである。このターボ分子ポンプ１１４のベースにはヒータ２５０ａが設けられ、生成物が付着しやすいガスを排気する場合には、このヒータ２５０ａによりポンプ温度を上昇させて生成物の付着を抑制する。その際、冷却装置２５０ｂによる冷却とヒータ２５０ａによる加熱とを制御してポンプ温度の制御を行う。
【００１７】
冷却装置２５０ｂは冷却水によりターボ分子ポンプの冷却を行うものであり、電磁バルブ等により流量を調節することにより冷却効果の制御を行う。ヒータ２５０ａ及び冷却装置２５０ｂには、電源装置１１３の温度制御部２４１から制御電流が供給され、ポンプ温度が制御される。温度センサ部２５０は、ベースの温度を検出し、主制御部２１０へその信号を入力する。主制御部２１０は、温度センサ部２５０で検出される温度をポンプ温度として用いる。
【００１８】
磁気軸受２６０ａには、電源装置１１３の磁気軸受駆動部２４２から制御電流が供給され、ロータの回転軸が磁気支承される。磁気軸受センサ部２６０は、ロータとタッチダウンベアリングとの間のギャップを検出し、主制御部２１０へその信号を入力する。
【００１９】
モータ２７０ａは、例えば、ブラシレスＤＣモータまたは誘導モータであり、モータ２７０ａには、電源装置１１３のモータ駆動部２４３から制御電流が供給され、ロータの回転軸（不図示）が回転される。モータセンサ部２７０は、モータ回転速度を検出し、主制御部２１０へその信号を入力する。
【００２０】
主制御部２１０は、温度センサ部２５０からの信号、磁気軸受センサ部２６０からの信号、およびモータセンサ部２７０からの信号に基づき、温度制御部２４１、磁気軸受駆動部２４２、およびモータ駆動部２４３をそれぞれ制御する。また、主制御部２１０は、不図示のシステムメモリを含んでおり、自身へ入力された信号データをシステムメモリへ記憶する。この信号データは、通信制御部２３０の通信ポート１１３aを介して集中監視装置１０２によって読み出し可能である。
【００２１】
ポンプ制御に必要な指令やパラメータ等は、主制御部２１０に接続されたＭＭＩ部２２０の表示部２２１ａ及び入力部２２１ｂを用いることにより、オペレータが手動で主制御部２１０に入力可能である。すなわち、オペレータは、表示部２２１ａに表示されたターボ分子ポンプ１１４の運転状態を見ながら、入力部２２１ｂを操作して、ターボ分子ポンプ１１４の運転を制御することができる。電源装置１１３に設けられた通信制御部２３０の通信ポート１１３aを介して、他の装置等外部からの指令を主制御部２１０に入力することもできる。
【００２２】
図３は、電源装置１１３の正面パネル２２１を示す外観図である。なお、他の電源装置１２３，１３３についても同様である。正面パネル２２１には、表示部２２１ａと入力部２２１ｂが設けられている。表示部２２１ａは、液晶表示パネルおよびＬＥＤ表示灯を含み、主制御部２１０のシステムメモリに記憶されたデータに基づきターボ分子ポンプ１１４の状態を表示するとともに、電源装置１１３の設定状態等も表示する。入力部２２１ｂは押しボタンスイッチおよび切替スイッチを含み、これらのスイッチ操作により電源装置１１３自体および電源装置１１３によるターボ分子ポンプ１１４の運転状態を制御することができる。
【００２３】
各電源装置ＣＲへの制御情報の設定は以下のように行われる。予め正面パネル２２１を介して各電源装置ＣＲのＩＤ番号を設定しておく。次いで、オペレータはマスタ用電源装置１１３の正面パネル２２１を介してターボ分子ポンプ１１４用のポンプ温度設定値ｔを入力後、ＳＥＴボタン３０３を押下操作する。これにより電源装置１１３はポンプ温度設定値ｔを設定すると共にスレーブ用電源装置１２３にポンプ温度設定値ｔを送信する。スレーブ用電源装置１２３は受信したポンプ温度設定値ｔを設定し、マスタ用電源装置１１３はその設定応答を確認すると、次のスレーブ用電源装置１３３にポンプ温度設定値ｔを送信する。スレーブ用電源装置１３３は受信したポンプ温度設定値ｔを設定し、マスタ用電源装置１１３はその設定応答を確認すると、さらに次の他の電源装置にポンプ温度設定値ｔを順次送信する。
【００２４】
このような複数の電源装置ＣＲに順次設定値を設定する処理が、ＳＥＴボタン３０３の１度の押下操作で可能とした点に本実施の形態の特徴がある。ここで、どの電源装置ＣＲをマスタ用とするかはオペレータの自由であり、任意な１台の電源装置ＣＲをマスタ用に選ぶことができる。すなわち、本実施の形態は、任意の１台の電源装置ＣＲについてターボ分子ポンプ用の入力とそのコピー操作が行われると、その１台のターボ分子ポンプ用の入力が設定され、他のターボ分子ポンプに対して同設定が順次コピーされることに特徴がある。以下では、この設定内容のコピー機能を実現する処理について説明する。
【００２５】
図４は、本実施形態における上述のマスタ用電源装置１１３に関わる処理手順を示すフローチャートである。図５は、本実施形態における上述のスレーブ用電源装置１２３，１３３に関わる処理手順を示すフローチャートである。図４、５の処理手順は、各電源装置の主制御部２１０に含まれる不図示のＣＰＵが実行する制御処理の内容を示し、各主制御部２１０のＣＰＵがシステムメモリに記憶されている制御プログラムを読み出して実行することにより行われる。
【００２６】
以下では、電源装置１１３がマスタ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを設定・送信し、他の電源装置（例えば電源装置１２３）がスレーブ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを受信・設定する場合を例に、処理を説明する。
【００２７】
（マスタ用制御プログラム）
オペレータが、正面パネル２２１において、表示部２２１ａに表示されたメニュー画面から「温度設定値変更」をＳＥＬＥＣＴボン３０１によって選択し、「温度設定値変更」入力画面を表示するためにＤＩＳＰＬＡＹボタン３０４を押下操作すると、図４に示す設定送信処理が開始される。なお、以下の各ステップの処理はＣＰＵが主体となって実行される。
【００２８】
まず、ステップＳ４０２で、表示部２２１ａに「温度設定値変更」入力画面を表示し、正面パネル２２１からの入力状況を監視する。例えば、−ボタン３０２ａ及び＋ボタン３０２ｂの操作によりポンプ温度設定値が所望の値に表示され、さらにＳＥＴボタン３０３の操作により表示中のポンプ温度設定値ｔが入力されると、ステップＳ４０４に進む。
【００２９】
ステップＳ４０４では、システムメモリ上のバッファにポンプ温度設定値ｔを一時的に格納する。ステップＳ４０６では、正面パネル２２１のＳＥＴボタン３０３の押下操作の有無を判定する。ＳＥＴボタン３０３の押下有りと判定されると、ステップＳ４０８に進む。
【００３０】
ステップＳ４０８では、バッファに記憶したポンプ温度設定値ｔをシステムメモリ上の温度制御設定値エリアに格納し設定する。これにより、主制御部２１０は、温度センサ部２５０からの信号に基づいて所定のポンプ温度ｔとなるように電源装置１１３の温度制御部２４１を制御することができる。ステップＳ４１０では、システムメモリ上のＩＤエリアに初期値１を入力し、ステップＳ４１２に進む。
【００３１】
ステップＳ４１２では、ＩＤエリアの値が３１（接続可能な電源装置ＣＲの数）を超えたか否かを判定する。ＩＤ≦３１の場合にはステップＳ４１４へ進む。ステップＳ４１４では、ＩＤエリアの値が、電源装置ＣＲの立ち上げ時にシステムメモリへ読み込んであった設定ＩＤ（自ＩＤ）と異なるか否かを判定する。ＩＤ≠自ＩＤの場合にはステップＳ４１６に進み、ＩＤ＝自ＩＤの場合にはステップＳ４２４に進む。
【００３２】
ステップＳ４１６では、ＩＤエリアの値と温度制御設定値エリアのポンプ温度設定値ｔを格納した温度制御設定値コマンドとを編集し、その温度制御設定値コマンドを通信制御部２３０の通信ポート１１３aを介して通信ケーブル１０７へ送信する。
【００３３】
次いでステップＳ４１８で、送信した温度制御設定値コマンドに対するいずれかのターボ分子ポンプ装置からの応答を監視するためのタイマを起動する。ステップＳ４２０では、温度制御設定値コマンドに対する応答受信の有無を判定する。応答無しの場合にはステップＳ４２２へ進み、応答有りの場合にはステップＳ４２４へ進む。
【００３４】
ステップＳ４２２では、タイマがタイムアウトしたか否かを判定する。タイムアウトでない場合にはステップＳ４２０へ戻る。タイムアウトの場合には、温度制御設定値コマンドに付加したＩＤの電源装置ＣＲからの応答が無いため、その電源装置ＣＲが停止又は故障等している、あるいは電源装置ＣＲが接続されていないと判断し、ステップＳ４２４へ処理を進める。
【００３５】
ステップＳ４２４では、システムメモリ上のＩＤエリアをインクリメント（＋１）し、ステップＳ４１２へ戻る。ステップＳ４１２では、ＩＤエリアの値が３１（接続可能な電源装置ＣＲの数）を超えたか否かを判定する。ＩＤ＞３１の場合には、全ての電源装置ＣＲにポンプ温度設定値ｔを格納した温度制御設定値コマンドを送信終了したと判断し、リターンする。
【００３６】
（スレーブ用制御プログラム）
電源装置１２３が通信ポート１２３aを介して通信ケーブル１０７からのコマンドを検知すると、図５に示す応答処理が開始される。
【００３７】
ステップＳ５０２では、温度制御設定値コマンドか否かを判定する。温度制御設定値コマンドの場合にはステップＳ５０４に進み、温度制御設定値コマンド以外の場合にはリターンする。ステップＳ５０４では、温度制御設定値コマンドに付加されているＩＤが電源装置１２３の立ち上げ時にシステムメモリへ読み込んであった設定ＩＤ（自ＩＤ＝２）と同じか否かを判定する。コマンドの付加ＩＤ＝自ＩＤの場合にはステップＳ５０６に進み、コマンドの付加ＩＤ≠自ＩＤの場合にはリターンする。
【００３８】
ステップＳ５０６では、温度制御設定値コマンド中のポンプ温度設定値ｔをシステムメモリ上の温度制御設定値エリアに格納し設定する。これにより、主制御部２１０は、ターボ分子ポンプ１２４の温度センサ部２５０からの信号に基づいて所定のポンプ温度ｔとなるように電源装置１２３の温度制御部２４１を制御することができる。次いでステップＳ５０８で、温度制御設定値コマンドに対する応答を通信制御部の通信ポート１２３aを介して通信ケーブル１０７へ送信し、リターンする。
【００３９】
本実施の形態によれば、以下のような作用効果を奏することができる。
（１）単一の電源装置１１３に入力されたターボ分子ポンプＴＢの制御情報をこの電源装置１１３に設定するとともに、通信ケーブル１０７を介して他の電源装置１２３，１３３にも送信し、設定するようにした。これにより各ターボ分子ポンプ用の制御情報の設定を個別に行う場合に比べ、ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異および人的要因による設定ミスが抑制され、複数のターボ分子ポンプＴＢの制御情報を迅速かつ正確に設定変更することができる。
【００４０】
（２）複数の電源装置ＣＲのうち、任意の電源装置１１３をマスター用、他の電源装置１２３，１３３をスレーブ用として、マスター用電源装置１１３に設定された制御情報をスレーブ用電源装置１２３，１３３にコピーするようにした。これにより制御情報入力用の入力装置を電源装置ＣＲとは別に設ける必要がなく、構成が簡単である。
（３）各電源装置ＣＲにシリアル通信ポート１１３ａ，１２３ａ，１３３ａ、制御情報入力用の入力部２２１ｂ、制御情報設定用および制御用の主制御部２１０等を設け、マスター用およびスレーブ用の電源装置ＣＲを同一の装置構成としたので、コストを低減できる。
（４）複数の電源装置ＣＲをシリアル通信ポートを介してマルチドロップ接続するようにしたので、配線ラインの取り回しが容易である。
【００４１】
なお、上記実施の形態では、マスタ用に選んだ任意の電源装置（第１の制御装置）１１３の入力部２２１ｂの操作により、ターボ分子ポンプ用の制御情報を入力するとともに、他の電源装置（第２の制御装置）１２３，１３３へのそのコピー操作を行う場合を示したが、制御情報を入力する入力手段と制御情報を設定する設定手段を電源装置ＣＲとは別に設けてもよい。例えば図１、２の構成においてマスタ用に集中監視装置１０２を適用してもよい。
【００４２】
この場合、集中監視装置１０２は、各電源装置ＣＲからの情報に基づく各ターボ分子ポンプの監視に加え、各ターボ分子ポンプＴＢの制御も可能とする。具体的には、集中監視装置１０２が図４に示したマスタ用制御プログラムを実行可能なように、集中監視装置１０２のプログラムを改修する。この場合、ステップＳ４０８及びＳ４１４の処理は不要である。これにより、集中監視装置１０２から、任意な１台の電源装置ＣＲに対するターボ分子ポンプ用の入力とそのコピー操作が行われると、その１台のターボ分子ポンプ用の入力が設定され、他のターボ分子ポンプＴＢに対して同設定が順次コピーされる。この構成においても、各ターボ分子ポンプ用の設定を手動で行うことに比べ、ターボ分子ポンプ各々の間の駆動状態の時間的な差異及び人的要因による設定ミスが抑制される。
【００４３】
上記実施の形態では、制御装置としての各電源装置ＣＲをマルチドロップ接続するようにしたが、マルチドロップ接続を適用しない構成も可能である。例えばそれぞれの電源装置ＣＲと集中監視装置１０２とをポイントツーポイント（１対１）で接続するようにしてもよい。上記実施の形態では、電源装置１１３がマスタ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを設定・送信し、他の電源装置１２３，１３３がスレーブ用電源装置としてポンプ温度設定値ｔを受信・設定する場合を例に説明したが、他の制御情報を同様に設定するようにしてもよい。例えばロータのギャップ値や回転速度の設定を同様に行うようにしてもよい。
【００４４】
上記実施の形態では、電源装置ＣＲの構成として、ターボ分子ポンプＴＢの制御情報を手動で入力する入力部２２１ｂと、制御情報を送受信するためのシリアル通信ポート１１３ａ，１２３ａ，１３３ａと、制御情報を設定するとともにターボ分子ポンプＴＢを制御する主制御部２１０とを設けたが、これら入力部、通信部、設定部、および制御部の構成はこれに限らない。すなわち、本発明の特徴、機能を実現できる限り、本発明は実施の形態のターボ分子ポンプシステムに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態に係るターボ分子ポンプシステムを示す全体構成図。
【図２】本発明の実施の形態に係るターボ分子ポンプ装置の構成をより詳細に示すブロック図。
【図３】本発明の実施の形態に係る電源装置の正面パネルを示す外観図。
【図４】本発明の実施の形態に係るマスタ用電源装置に関わる処理手順を示すフローチャート。
【図５】本発明の実施の形態に係るスレーブ用電源装置に関わる処理手順を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００４６】
１００ ターボ分子ポンプシステム
１０２ 集中監視装置
１０２ａ、１１３ａ、１２３ａ、１３３ａ 通信ポート
１０２ｂ、１１３ｂ、１２３ｂ、１３３ｂ 遠隔操作端子
１０７ 通信ケーブル
１１０、１２０、１３０ ターボ分子ポンプ装置
１１３、１２３、１３３ 電源装置
１１４、１２４、１３４ ターボ分子ポンプ
２１０ 主制御部
２２１ｂ 入力部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のターボ分子ポンプと、
前記各ターボ分子ポンプをそれぞれ制御する複数の制御装置と、
前記各ターボ分子ポンプの制御に係る制御情報を入力する単一の入力手段と、
前記入力手段より入力された制御情報を前記各制御装置にそれぞれ設定する設定手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記複数の制御装置は、第１の制御装置および第１の制御装置以外の第２の制御装置からなり、
前記入力手段は、前記第１の制御装置に設けられ、
前記設定手段は、前記入力手段により入力された制御情報を前記第１の制御装置に設定するとともに、前記入力手段により入力された制御情報を前記第２の制御装置にそれぞれ送信し、設定することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記各制御装置は、
前記制御情報を送受信するための通信部と、
前記制御情報を手動で入力する入力部と、
前記入力部により入力された制御情報または前記通信部を介して入力された制御情報を設定する設定部と、
前記設定された制御情報に基づいて前記各ターボ分子ポンプを制御する制御部とをそれぞれ有し、
前記第１の制御装置の設定部は、前記入力部により入力された制御情報を設定し、
前記第２の制御装置の設定部は、前記通信部を介して入力された制御情報を設定することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【請求項４】
請求項３に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記複数の制御装置は、前記通信部を介して互いにマルチドロップ接続されていることを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【請求項１】
複数のターボ分子ポンプと、
前記各ターボ分子ポンプをそれぞれ制御する複数の制御装置と、
前記各ターボ分子ポンプの制御に係る制御情報を入力する単一の入力手段と、
前記入力手段より入力された制御情報を前記各制御装置にそれぞれ設定する設定手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記複数の制御装置は、第１の制御装置および第１の制御装置以外の第２の制御装置からなり、
前記入力手段は、前記第１の制御装置に設けられ、
前記設定手段は、前記入力手段により入力された制御情報を前記第１の制御装置に設定するとともに、前記入力手段により入力された制御情報を前記第２の制御装置にそれぞれ送信し、設定することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記各制御装置は、
前記制御情報を送受信するための通信部と、
前記制御情報を手動で入力する入力部と、
前記入力部により入力された制御情報または前記通信部を介して入力された制御情報を設定する設定部と、
前記設定された制御情報に基づいて前記各ターボ分子ポンプを制御する制御部とをそれぞれ有し、
前記第１の制御装置の設定部は、前記入力部により入力された制御情報を設定し、
前記第２の制御装置の設定部は、前記通信部を介して入力された制御情報を設定することを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【請求項４】
請求項３に記載のターボ分子ポンプシステムにおいて、
前記複数の制御装置は、前記通信部を介して互いにマルチドロップ接続されていることを特徴とするターボ分子ポンプシステム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−５９９０８（Ｐ２０１０−５９９０８Ａ）
【公開日】平成２２年３月１８日（２０１０．３．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２２８２６７（Ｐ２００８−２２８２６７）
【出願日】平成２０年９月５日（２００８．９．５）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年３月１８日（２０１０．３．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月５日（２００８．９．５）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
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