位置決め基台
【課題】支持部材に対する引き抜き及び、転倒モーメントに対する拘束力や抗力があり、外部からの振動により位置精度が損なわれるのを抑制する。
【解決手段】テーブル２と、固定板３とが、３つの連結機構４ａ〜４ｃによって連結されている。連結機構４ａ〜４ｃが、テーブル２に固定されたテーブル側シャフト１１ａ、１１ｂと同心に回転自在に接続されているとともに、固定板３に固定された固定側シャフト１２ａ〜１２ｃと偏心した状態で回転自在に接続された連結部材３１ａ〜３１ｃを有している。テーブル側シャフト１１ａ及び固定側シャフト１２ａ〜１２ｃは互いに平行になっており、連結部材３１ｂ及び連結部材３１ｃが互いに平行となっていない。
【解決手段】テーブル２と、固定板３とが、３つの連結機構４ａ〜４ｃによって連結されている。連結機構４ａ〜４ｃが、テーブル２に固定されたテーブル側シャフト１１ａ、１１ｂと同心に回転自在に接続されているとともに、固定板３に固定された固定側シャフト１２ａ〜１２ｃと偏心した状態で回転自在に接続された連結部材３１ａ〜３１ｃを有している。テーブル側シャフト１１ａ及び固定側シャフト１２ａ〜１２ｃは互いに平行になっており、連結部材３１ｂ及び連結部材３１ｃが互いに平行となっていない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ、Ｘ線、電子線を照射するビーム照射装置など支持対象物の姿勢を制御する位置決め基台に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ、Ｘ線、電子線を照射するビーム照射装置の姿勢を制御する位置決め基台としては、ビーム照射装置を支持するテーブルの下面に、下方に向いた平面を有する平面受け部と下方に突出したＶ字面を有するＶ字面受け部とが形成されており、このテーブルを下方から支持する基台が、テーブルの平面受け部と接する平面用偏心カムとＶ字面受け部の各平面に接する一対のＶ字面用偏心カムとを備えているものが知られている（非特許文献１参照）。この位置決め基台においては、平面用偏心カムを回転させることにより、これに接する平面受け部が昇降する。また、一対のＶ字面用偏心カムはＶ字受け部を挟持するように配置されているため、Ｖ字面用偏心カムの各接触面の位置、及び、接触面間の距離が変化するようにＶ字面用偏心カムを回転させることにより、Ｖ受け部がＶ字面用偏心カムの間で昇降及び水平移動する。このテーブルは、各偏心カムと接するように基台上に載置されているのみで、基台に固定されていない。このため、平面用偏心カム及びＶ字面用偏心カムの回転位置を制御することによって、平面受け部とＶ字面受け部との位置を変化させる。これにより、テーブルを、水平、鉛直、回転の面内３自由度で姿勢制御することが可能となっている。
【０００３】
【非特許文献１】Ｇ．ブロウデン（G.Browden）、Ｐ．ホリック（P.Holik）及びＳ．Ｒ．ワグナー（S.R.Wagner）著、「ファイナルフォーカスビームのためのプレシジョンマグネットムーバ（Precision Magnet Movers for Final Focus Test Beam）」、（米国）、SLAC-PUB-95-6132、１９９５年６月、（Figure 1）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の位置決め基台によると、テーブルが基台に固定されていないため、テーブルに対する引き抜き及び、転倒モーメントに対する拘束力や抗力がない。また、各受け部の平面が接触する偏心カムの曲面上を移動する構成となっているため、各受け部及び各偏心カムの加工精度及び歪みが位置決め精度に大きく影響する。さらに、テーブル上に設置される装置が軽量である場合には、外部からの振動の影響を受けることがある。特に、地震の多い国内においては、ビーム照射装置などを長期間に亘って位置保持するのが難しい。さらに、テーブルの基台に対する荷重方向を鉛直方向に保つ必要があるため、位置決め基台の設置姿勢が制限される。
【０００５】
本発明の主たる目的は、支持部材に対する引き抜き及び、転倒モーメントに対する拘束力や抗力があり、外部からの振動により位置精度が損なわれるのを抑制するとともに、設置に関する自由度が高い位置決め基台を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明の位置決め基台は、支持対象物を支持する支持部材と、設置場所に固定される固定部材と、前記支持部材と前記固定部材とを連結する３つの連結機構とを備えている。前記連結機構が、前記支持部材に固定されている支持側シャフトと、前記固定部材に固定された固定側シャフトと、前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの一方に、回転中心に対して偏心した状態で回転自在に接続されているとともに、前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの他方に、回転中心に対して同心に回転自在に接続された連結部材とを有している。全ての前記連結機構が有する前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトが互いに平行になるように、前記連結機構がそれぞれ配置されている。３つの前記連結部材中に、互いに平行でない２つの前記連結部材がある。
【０００７】
本発明によると、支持部材が連結機構を介して固定部材に連結されているため、支持部材に関する引き抜き及び転倒モーメントに対する拘束力及び抗力が保障される。また、連結部材が、支持側シャフト及び固定側シャフトに回転自在に接続されているため、外部からの振動により支持部材の位置がずれて位置精度が損なわれるのを抑制することができる。さらに、位置決め基台の姿勢が制限されることがなくなり、設置に関する自由度が向上する。
【０００８】
本発明においては、３つの前記連結部材中に、前記支持部材に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾いている２つの前記連結部材があることが好ましい。これによると、互いに反対方向に傾く連結部材に、互いに反対方向のモーメントが加えられるため、これらのモーメントが相殺され、位置決め基台の耐荷重が向上する。
【０００９】
また、本発明においては、前記連結機構間で、前記連結部材と回転中心に対して同心に回転自在に接続された前記支持側シャフト又は前記固定側シャフトが共有されていることが好ましい。これによると、位置決め基台の部品点数が削減され、低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る好適な一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
図１は本発明の一実施の形態である位置決め基台の側面図である。図２は、図１に示すII−II線に関する位置決め基台１の断面図である。図３は、図２に示すIII−III線に関する位置決め基台１の断面図である。位置決め基台１は、レーザ、Ｘ線、電子線を照射するビーム照射装置（支持対象物）Ｍを支持しつつ、ビーム照射装置Ｍの姿勢を高精度に制御する基台である。このビーム照射装置Ｍは、例えば、直線加速器などに用いられる。図１及び図２に示すように、位置決め基台１は、ビーム照射装置Ｍを支持する板形状を有するテーブル（支持部材）２と、設置場所に固定される板形状を有する固定板（固定部材）３と、テーブル２と固定板３とを連結する３つの連結機構４ａ〜４ｃとを有している。３つの連結機構４ａ〜４ｃは、図中左方から右方に向かって、連結機構４ａ、連結機構４ｂ及び連結機構４ｃの順に配列されている。
【００１２】
連結機構４ａは、テーブル２の下面（ビーム照射装置Ｍを支持している面の反対側の面）に固定された一対のテーブル側軸受け２１ａと、その両端近傍が一対のテーブル側軸受け２１ａにより回転中心軸Ｙａを中心に回転自在に支持されているテーブル側シャフト（支持側シャフト）１１ａと、固定板３の上面に固定された一対の固定側軸受け２２ａと、その両端近傍が一対の固定側軸受け２２ａにより回転中心軸Ｘａを中心に回転自在に支持されている固定側シャフト１２ａと、テーブル側シャフト１１ａと固定側シャフト１２ａとを連結する一対の連結部材３１ａとを有している。そして、固定側シャフト１２ａは、固定側軸受け２２ａに支持されている両端近傍の中心軸が回転中心軸Ｘａとなっており、一対の固定側軸受け２２ａ間における中心軸が回転中心軸Ｘａに対して偏心している回転中心軸Ｘａ'となっている。また、固定側シャフト１２ａの端部には、固定側シャフト１２ａを駆動するステッピングモータ４１ａが接続されている。このように、固定側シャフト１２ａの回転中心が、回転中心軸Ｘａとなっている。
【００１３】
図２及び図３に示すように、連結部材３１ａは、一方向に延在した板形状を有しているとともに、その一方がテーブル側シャフト１１ａにおける一対のテーブル側軸受け２１ａ間に接続されており、他方が固定側シャフト１２ａにおける一対の固定側軸受け２２ａ間に接続されている。このため、各連結部材３１ａは、テーブル側シャフト１１ａに対して回転中心軸Ｙａを中心に回転自在となっており、固定側シャフト１２ａに対して回転中心軸Ｘａ'を中心に回転自在となっている。言い換えれば、各連結部材３１ａの一方が、回転中心軸Ｙａと同心にテーブル側シャフト１１ａと回転自在に接続されており、他方が、固定側シャフト１２ａの回転中心軸Ｘａ対して偏心した回転中心軸Ｘａと同心に固定側シャフト１２ａと回転自在に接続されている。
【００１４】
図１及び図２に示すように、連結機構４ｂは、テーブル２の下面に固定された一対のテーブル側軸受け２１ｂと、その両端近傍が一対のテーブル側軸受け２１ｂにより回転中心軸Ｙｂを中心に回転自在に支持されているテーブル側シャフト１１ｂと、固定板３の上面に固定された一対の固定側軸受け２２ｂと、その両端近傍が一対の固定側軸受け２２ｂにより回転中心軸Ｘｂを中心に回転自在に支持されている固定側シャフト１２ｂと、テーブル側シャフト１１ｂと固定側シャフト１２ｂとを連結する一対の連結部材３１ｂとを有している。そして、固定側シャフト１２ｂは、固定側軸受け２２ｂに支持されている両端近傍の中心軸が回転中心軸Ｘｂとなっており、一対の固定側軸受け２２ｂ間における中心軸が回転中心軸Ｘｂに対して偏心している回転中心軸Ｘｂ'となっている。また、固定側シャフト１２ｂの端部には、固定側シャフト１２ｂを駆動するステッピングモータ４１ｂが接続されている。このように、固定側シャフト１２ｂの回転中心が、回転中心軸Ｘｂとなっている。
【００１５】
図２及び図３に示すように、連結部材３１ｂは、一方向に延在した板形状を有しているとともに、その一方がテーブル側シャフト１１ｂにおける一対のテーブル側軸受け２１ｂ間に接続されており、他方が固定側シャフト１２ｂにおける一対の固定側軸受け２２ａ間に接続されている。このため、各連結部材３１ｂは、テーブル側シャフト１１ｂに対して回転中心軸Ｙｂを中心に回転自在となっており、固定側シャフト１２ｂに対して回転中心軸Ｘｂ'を中心に回転自在となっている。
【００１６】
図１及び図２に示すように、連結機構４ｃは、連結機構４ｂに隣接して配置されており、一対のテーブル側軸受け２１ｂと、テーブル側シャフト１１ｂと、固定板３の上面に固定された一対の固定側軸受け２２ｃと、その両端近傍が一対の固定側軸受け２２ｃにより回転中心軸Ｘｃを中心に回転自在に支持されている固定側シャフト１２ｃと、テーブル側シャフト１１ｂと固定側シャフト１２ｃとを連結する一対の連結部材３１ｃとを有している。つまり、連結機構４ｂと連結機構４ｃとの間で、一対のテーブル側軸受け２１ｂ及びテーブル側シャフト１１ｂを共有している。そして、固定側シャフト１２ｃは、固定側軸受け２２ｃに支持されている両端近傍の中心軸が回転中心軸Ｘｃとなっており、一対の固定側軸受け２２ｃ間における中心軸が回転中心軸Ｘｃに対して偏心している回転中心軸Ｘｃ'となっている。また、固定側シャフト１２ｃの端部には、固定側シャフト１２ｃを駆動するステッピングモータ４１ｃが接続されている。このため、固定側シャフト１２ｃの回転中心が、回転中心軸Ｘｃとなっている。
【００１７】
図２及び図３に示すように、連結部材３１ｃは、一方向に延在した板形状を有しているとともに、その一方がテーブル側シャフト１１ｂにおける一対のテーブル側軸受け２１ｂ間に接続されており、他方が固定側シャフト１２ｃにおける一対の固定側軸受け２２ｃ間に接続されている。これにより、各連結部材３１ｃは、テーブル側シャフト１１ｂに対して回転中心軸Ｙｂを中心に回転自在となっており、固定側シャフト１２ｃに対して回転中心軸Ｘｃ'を中心に回転自在となっている。
【００１８】
そして、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向、すなわち鉛直方向に対して互いに反対方向に傾くように配置されている。さらに、これら３つの連結機構４ａ〜４ｃが有する全てのテーブル側シャフト１１ａ、１１ｂ及び固定側シャフト１２ａ〜１２ｃが互いに平行に配置されている。このため、テーブル２からの荷重により、連結部材３１ｂ、３１ｃに接続された固定側シャフト１２ｂ、１２ｃに発生するモーメントが常に互いに反対方向となる。
【００１９】
このように、各固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転位置により、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂの位置が決定される。そして、図示しない制御装置がステッピングモータ４１ａ〜４１ｃを制御して、連結機構４ａ〜４ｃの各固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転位置を制御する。これにより、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂに固定されるテーブル２の姿勢が制御される。この位置決め基台１の動作には、テーブル２を上下方向に移動させる上下動作、テーブル２を連結機構４ａ〜４ｃの配列方向（図中左右方向）に沿って水平に移動させる水平動作、及び、各テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂの上下方向に関する位置関係によりテーブル２を回転させる回転動作があり、これらを組み合わせることによって、テーブル２の姿勢、すなわち、ビーム照射装置Ｍの姿勢が３自由度で制御可能となっている。なお、どのような動作を行った場合においても、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾くようになっている。
【００２０】
次に、図４〜図６を参照しつつ、位置決め基台１の動作について説明する。図４は、位置決め基台１の上下動作を説明するための図である。図５は、位置決め基台１の水平動作を説明するための図であり、図５（ａ）の状態を基準とし、図５（ｂ）がテーブル２を図中左方に水平移動させた状態を示しており、図５（ｃ）がテーブル２を図中右方に水平移動させた状態を示している。図６は、位置決め基台１の回転動作を説明するための図であり、図６（ａ）の状態を基準とし、図６（ｂ）がテーブル２を図中反時計回りに回転させた状態を示しており、図６（ｃ）がテーブル２を図中時計回りに回転させた状態を示している。なお、図４〜図６においては、位置決め基台１を構成する各部材の接続構造を模式的に示している。
【００２１】
まず、上下動作について説明する。図４（ａ）〜図４（ｃ）に示すように、図４（ａ）の状態からテーブル２を上昇させるときは、固定側シャフト１２ａ、１２ｂを、図中時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｃを、図中反時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを上昇させるとともに、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを上昇させる。このように、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂが同時に上昇することでこれらに固定されたテーブル２が上昇する。
【００２２】
逆に、図４（ｃ）の状態からテーブル２を降下させるときは、固定側シャフト１２ａ、１２ｂを、図中反時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｃを、図中時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを降下させるとともに、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを降下させる。このように、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂが同時に降下することでこれらに固定されたテーブル２が降下する。
【００２３】
なお、図４（ａ）〜図４（ｃ）においては、連結機構４ａ〜４ｃにおける、回転中心軸Ｘａ〜Ｘｃに対する回転中心軸Ｘａ'〜Ｘｃ'の偏心距離、連結部材３１ａ〜３１ｂにおける回転中心軸Ｘａ'〜Ｘｃ'から回転中心軸Ｙａ、Ｙｂまでの直線距離及び荷重方向に対する傾斜角度が同じであるため、各固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転を同期させる。上下動作においては、連結機構４ａ〜４ｃの状態により固定側シャフト１２ａ〜１２ｃ毎に回転量が決定される。すなわち、上下動作を開始する状態によって、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転方向、回転速度及び回転量が変化する。したがって、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転量は必ずしも一致するものではない。
【００２４】
次に、水平動作について説明する。図５（ｂ）に示すように、図５（ａ）の状態からテーブル２を図中左方に水平移動させるときは、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃを、図中反時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ｂ、３１ｃがテーブル側軸受け２１ａ、２１ｂと共にテーブル２を図中左方に水平移動させる。逆に、図５（ｃ）に示すように、図５（ａ）の状態からテーブル２を図中右方に水平移動させるときは、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃを、図中時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ｂ、３１ｃがテーブル側軸受け２１ａ、２１ｂと共にテーブル２を図中右方に水平移動させる。
【００２５】
最後に、回転動作について説明する。図６（ｂ）に示すように、図６（ａ）の状態からテーブル２を図中反時計方向に回転させるときは、固定側シャフト１２ａ、１２ｂを、図中時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｃを、図中反時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを降下させ、同時に、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを上昇させる。このように、テーブル側軸受け２１ａが降下し、テーブル側軸受け２１ｂが上昇することで、これらに固定されたテーブル２が図中反時計方向に回転する。
【００２６】
逆に、図６（ｃ）に示すように、図６（ａ）の状態からテーブル２を図中時計方向に回転させるときは、固定側シャフト１２ａを、図中反時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｂ、１２ｃを、図中時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを上昇させ、同時に、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを降下させる。このように、テーブル側軸受け２１ａが上昇し、テーブル側軸受け２１ｂが降下することで、これらに固定されたテーブル２が図中時計方向に回転する。
【００２７】
なお、上下動作と同様に水平動作及び回転動作においても、連結機構４ａ〜４ｃの状態により固定側シャフト１２ａ〜１２ｃ毎に回転量が決定される。すなわち、水平動作及び回転移動を開始する状態、すなわちテーブル２の姿勢によって、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転方向、回転速度及び回転量が変化する。
【００２８】
以上、説明した実施の形態によると、テーブル２が連結機構４ａ〜４ｃを介して固定板３に連結されているため、テーブル２に関する引き抜き及び転倒モーメントに対する拘束力及び抗力が保障される。また、連結部材３１ａ〜３１ｃが、テーブル側シャフト１１ａ〜１１ｃ及び固定側シャフト１２ａ〜１２ｃに回転自在に接続されているため、外部からの振動によりテーブル２の位置がずれて位置精度が損なわれることがない。また、位置決め基台１の姿勢が制限されることがなくなり、設置に関する自由度が向上する。
【００２９】
また、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾くように配置されているため、連結部材３１ｂ、３１ｃに、互いに反対方向のモーメントが加えられることになる。これにより、これらのモーメントが相殺され、位置決め基台１の耐荷重が向上する。
【００３０】
さらに、連結機構４ｂと連結機構４ｃとの間で、一対のテーブル側軸受け２１ｂ及びテーブル側シャフト１１ｂを共有しているため、位置決め基台１の部品点数が削減され、低コスト化を図ることができる。
【００３１】
以上、本発明に係る一実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものでなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述の実施形態においては、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾くように配置される構成であるが、各連結機構の連結部材が互い平行でないように配置されていれば、これらが同じ方向に傾いていてもよい。
【００３２】
また、上述の実施形態においては、連結機構４ｂと連結機構４ｃとの間で、一対のテーブル側軸受け２１ｂ及びテーブル側シャフト１１ｂを共有する構成となっているが、各連結機構の間でにおいて、テーブル側軸受け及びテーブル側シャフトを共有しない構成であってもよい。
【００３３】
さらに、上述の実施形態においては、連結機構４ａ〜４ｃにおいて、各連結部材３１ａの一方が、回転中心軸Ｙａと同心にテーブル側シャフト１１ａと回転自在に接続されており、他方が、固定側シャフト１２ａの回転中心軸Ｘａ対して偏心した回転中心軸Ｘａと同心に固定側シャフト１２ａと回転自在に接続されている構成であるが、各連結部材の一方が、テーブル側シャフトの回転中心に対して偏心した状態でテーブル側シャフトと回転自在に接続されており、他方が、固定側シャフトの回転中心と同心に固定側シャフトと回転自在に接続されている構成であってもよい。
【００３４】
加えて、上述の実施形態においては、テーブル２及び固定板３が板形状を有する構成であるが、テーブル及び設置場所に固定される固定部材は、任意の形状を有していてもよい。例えば、３つの連結機構４ａ〜４ｃのうち、連結機構４ｂのみが他の連結機構４ａ、４ｃより下方に位置するように、固定部材の表面に段差が形成されていてもよい。これによると、位置決め基台の重心位置が下がるため、位置決め基台が安定する。
【００３５】
さらに、上述の実施形態においては、テーブル２と固定板３とが３つの連結機構４ａ〜４ｃにより連結される構成であるが、テーブル２と固定板３とが４つ以上の連結機構で連結される構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施の形態に係る位置決め基台の側面図である。
【図２】図１に示すII-II線に関する位置決め基台の断面図である。
【図３】図２に示すIII-III線に関する位置決め基台の断面図である。
【図４】図１に示す位置決め基台の上下動作を説明するための図である。
【図５】図１に示す位置決め基台の水平動作を説明するための図である。
【図６】図１に示す位置決め基台の回転動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３７】
１ 位置決め基台
２ テーブル
３ 固定板
４ａ〜４ｃ 連結機構
１１ａ、１１ｂ テーブル側シャフト
１２ａ〜１２ｃ 固定側シャフト
３１ａ〜３１ｃ 連結部材
４１ａ〜４１ｃ ステッピングモータ
Ｍ ビーム照射装置
Ｘａ〜Ｘｃ 回転中心軸
Ｘａ'〜Ｘｃ' 回転中心軸
Ｙａ、Ｙｂ 回転中心軸
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ、Ｘ線、電子線を照射するビーム照射装置など支持対象物の姿勢を制御する位置決め基台に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ、Ｘ線、電子線を照射するビーム照射装置の姿勢を制御する位置決め基台としては、ビーム照射装置を支持するテーブルの下面に、下方に向いた平面を有する平面受け部と下方に突出したＶ字面を有するＶ字面受け部とが形成されており、このテーブルを下方から支持する基台が、テーブルの平面受け部と接する平面用偏心カムとＶ字面受け部の各平面に接する一対のＶ字面用偏心カムとを備えているものが知られている（非特許文献１参照）。この位置決め基台においては、平面用偏心カムを回転させることにより、これに接する平面受け部が昇降する。また、一対のＶ字面用偏心カムはＶ字受け部を挟持するように配置されているため、Ｖ字面用偏心カムの各接触面の位置、及び、接触面間の距離が変化するようにＶ字面用偏心カムを回転させることにより、Ｖ受け部がＶ字面用偏心カムの間で昇降及び水平移動する。このテーブルは、各偏心カムと接するように基台上に載置されているのみで、基台に固定されていない。このため、平面用偏心カム及びＶ字面用偏心カムの回転位置を制御することによって、平面受け部とＶ字面受け部との位置を変化させる。これにより、テーブルを、水平、鉛直、回転の面内３自由度で姿勢制御することが可能となっている。
【０００３】
【非特許文献１】Ｇ．ブロウデン（G.Browden）、Ｐ．ホリック（P.Holik）及びＳ．Ｒ．ワグナー（S.R.Wagner）著、「ファイナルフォーカスビームのためのプレシジョンマグネットムーバ（Precision Magnet Movers for Final Focus Test Beam）」、（米国）、SLAC-PUB-95-6132、１９９５年６月、（Figure 1）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の位置決め基台によると、テーブルが基台に固定されていないため、テーブルに対する引き抜き及び、転倒モーメントに対する拘束力や抗力がない。また、各受け部の平面が接触する偏心カムの曲面上を移動する構成となっているため、各受け部及び各偏心カムの加工精度及び歪みが位置決め精度に大きく影響する。さらに、テーブル上に設置される装置が軽量である場合には、外部からの振動の影響を受けることがある。特に、地震の多い国内においては、ビーム照射装置などを長期間に亘って位置保持するのが難しい。さらに、テーブルの基台に対する荷重方向を鉛直方向に保つ必要があるため、位置決め基台の設置姿勢が制限される。
【０００５】
本発明の主たる目的は、支持部材に対する引き抜き及び、転倒モーメントに対する拘束力や抗力があり、外部からの振動により位置精度が損なわれるのを抑制するとともに、設置に関する自由度が高い位置決め基台を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明の位置決め基台は、支持対象物を支持する支持部材と、設置場所に固定される固定部材と、前記支持部材と前記固定部材とを連結する３つの連結機構とを備えている。前記連結機構が、前記支持部材に固定されている支持側シャフトと、前記固定部材に固定された固定側シャフトと、前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの一方に、回転中心に対して偏心した状態で回転自在に接続されているとともに、前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの他方に、回転中心に対して同心に回転自在に接続された連結部材とを有している。全ての前記連結機構が有する前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトが互いに平行になるように、前記連結機構がそれぞれ配置されている。３つの前記連結部材中に、互いに平行でない２つの前記連結部材がある。
【０００７】
本発明によると、支持部材が連結機構を介して固定部材に連結されているため、支持部材に関する引き抜き及び転倒モーメントに対する拘束力及び抗力が保障される。また、連結部材が、支持側シャフト及び固定側シャフトに回転自在に接続されているため、外部からの振動により支持部材の位置がずれて位置精度が損なわれるのを抑制することができる。さらに、位置決め基台の姿勢が制限されることがなくなり、設置に関する自由度が向上する。
【０００８】
本発明においては、３つの前記連結部材中に、前記支持部材に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾いている２つの前記連結部材があることが好ましい。これによると、互いに反対方向に傾く連結部材に、互いに反対方向のモーメントが加えられるため、これらのモーメントが相殺され、位置決め基台の耐荷重が向上する。
【０００９】
また、本発明においては、前記連結機構間で、前記連結部材と回転中心に対して同心に回転自在に接続された前記支持側シャフト又は前記固定側シャフトが共有されていることが好ましい。これによると、位置決め基台の部品点数が削減され、低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る好適な一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
図１は本発明の一実施の形態である位置決め基台の側面図である。図２は、図１に示すII−II線に関する位置決め基台１の断面図である。図３は、図２に示すIII−III線に関する位置決め基台１の断面図である。位置決め基台１は、レーザ、Ｘ線、電子線を照射するビーム照射装置（支持対象物）Ｍを支持しつつ、ビーム照射装置Ｍの姿勢を高精度に制御する基台である。このビーム照射装置Ｍは、例えば、直線加速器などに用いられる。図１及び図２に示すように、位置決め基台１は、ビーム照射装置Ｍを支持する板形状を有するテーブル（支持部材）２と、設置場所に固定される板形状を有する固定板（固定部材）３と、テーブル２と固定板３とを連結する３つの連結機構４ａ〜４ｃとを有している。３つの連結機構４ａ〜４ｃは、図中左方から右方に向かって、連結機構４ａ、連結機構４ｂ及び連結機構４ｃの順に配列されている。
【００１２】
連結機構４ａは、テーブル２の下面（ビーム照射装置Ｍを支持している面の反対側の面）に固定された一対のテーブル側軸受け２１ａと、その両端近傍が一対のテーブル側軸受け２１ａにより回転中心軸Ｙａを中心に回転自在に支持されているテーブル側シャフト（支持側シャフト）１１ａと、固定板３の上面に固定された一対の固定側軸受け２２ａと、その両端近傍が一対の固定側軸受け２２ａにより回転中心軸Ｘａを中心に回転自在に支持されている固定側シャフト１２ａと、テーブル側シャフト１１ａと固定側シャフト１２ａとを連結する一対の連結部材３１ａとを有している。そして、固定側シャフト１２ａは、固定側軸受け２２ａに支持されている両端近傍の中心軸が回転中心軸Ｘａとなっており、一対の固定側軸受け２２ａ間における中心軸が回転中心軸Ｘａに対して偏心している回転中心軸Ｘａ'となっている。また、固定側シャフト１２ａの端部には、固定側シャフト１２ａを駆動するステッピングモータ４１ａが接続されている。このように、固定側シャフト１２ａの回転中心が、回転中心軸Ｘａとなっている。
【００１３】
図２及び図３に示すように、連結部材３１ａは、一方向に延在した板形状を有しているとともに、その一方がテーブル側シャフト１１ａにおける一対のテーブル側軸受け２１ａ間に接続されており、他方が固定側シャフト１２ａにおける一対の固定側軸受け２２ａ間に接続されている。このため、各連結部材３１ａは、テーブル側シャフト１１ａに対して回転中心軸Ｙａを中心に回転自在となっており、固定側シャフト１２ａに対して回転中心軸Ｘａ'を中心に回転自在となっている。言い換えれば、各連結部材３１ａの一方が、回転中心軸Ｙａと同心にテーブル側シャフト１１ａと回転自在に接続されており、他方が、固定側シャフト１２ａの回転中心軸Ｘａ対して偏心した回転中心軸Ｘａと同心に固定側シャフト１２ａと回転自在に接続されている。
【００１４】
図１及び図２に示すように、連結機構４ｂは、テーブル２の下面に固定された一対のテーブル側軸受け２１ｂと、その両端近傍が一対のテーブル側軸受け２１ｂにより回転中心軸Ｙｂを中心に回転自在に支持されているテーブル側シャフト１１ｂと、固定板３の上面に固定された一対の固定側軸受け２２ｂと、その両端近傍が一対の固定側軸受け２２ｂにより回転中心軸Ｘｂを中心に回転自在に支持されている固定側シャフト１２ｂと、テーブル側シャフト１１ｂと固定側シャフト１２ｂとを連結する一対の連結部材３１ｂとを有している。そして、固定側シャフト１２ｂは、固定側軸受け２２ｂに支持されている両端近傍の中心軸が回転中心軸Ｘｂとなっており、一対の固定側軸受け２２ｂ間における中心軸が回転中心軸Ｘｂに対して偏心している回転中心軸Ｘｂ'となっている。また、固定側シャフト１２ｂの端部には、固定側シャフト１２ｂを駆動するステッピングモータ４１ｂが接続されている。このように、固定側シャフト１２ｂの回転中心が、回転中心軸Ｘｂとなっている。
【００１５】
図２及び図３に示すように、連結部材３１ｂは、一方向に延在した板形状を有しているとともに、その一方がテーブル側シャフト１１ｂにおける一対のテーブル側軸受け２１ｂ間に接続されており、他方が固定側シャフト１２ｂにおける一対の固定側軸受け２２ａ間に接続されている。このため、各連結部材３１ｂは、テーブル側シャフト１１ｂに対して回転中心軸Ｙｂを中心に回転自在となっており、固定側シャフト１２ｂに対して回転中心軸Ｘｂ'を中心に回転自在となっている。
【００１６】
図１及び図２に示すように、連結機構４ｃは、連結機構４ｂに隣接して配置されており、一対のテーブル側軸受け２１ｂと、テーブル側シャフト１１ｂと、固定板３の上面に固定された一対の固定側軸受け２２ｃと、その両端近傍が一対の固定側軸受け２２ｃにより回転中心軸Ｘｃを中心に回転自在に支持されている固定側シャフト１２ｃと、テーブル側シャフト１１ｂと固定側シャフト１２ｃとを連結する一対の連結部材３１ｃとを有している。つまり、連結機構４ｂと連結機構４ｃとの間で、一対のテーブル側軸受け２１ｂ及びテーブル側シャフト１１ｂを共有している。そして、固定側シャフト１２ｃは、固定側軸受け２２ｃに支持されている両端近傍の中心軸が回転中心軸Ｘｃとなっており、一対の固定側軸受け２２ｃ間における中心軸が回転中心軸Ｘｃに対して偏心している回転中心軸Ｘｃ'となっている。また、固定側シャフト１２ｃの端部には、固定側シャフト１２ｃを駆動するステッピングモータ４１ｃが接続されている。このため、固定側シャフト１２ｃの回転中心が、回転中心軸Ｘｃとなっている。
【００１７】
図２及び図３に示すように、連結部材３１ｃは、一方向に延在した板形状を有しているとともに、その一方がテーブル側シャフト１１ｂにおける一対のテーブル側軸受け２１ｂ間に接続されており、他方が固定側シャフト１２ｃにおける一対の固定側軸受け２２ｃ間に接続されている。これにより、各連結部材３１ｃは、テーブル側シャフト１１ｂに対して回転中心軸Ｙｂを中心に回転自在となっており、固定側シャフト１２ｃに対して回転中心軸Ｘｃ'を中心に回転自在となっている。
【００１８】
そして、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向、すなわち鉛直方向に対して互いに反対方向に傾くように配置されている。さらに、これら３つの連結機構４ａ〜４ｃが有する全てのテーブル側シャフト１１ａ、１１ｂ及び固定側シャフト１２ａ〜１２ｃが互いに平行に配置されている。このため、テーブル２からの荷重により、連結部材３１ｂ、３１ｃに接続された固定側シャフト１２ｂ、１２ｃに発生するモーメントが常に互いに反対方向となる。
【００１９】
このように、各固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転位置により、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂの位置が決定される。そして、図示しない制御装置がステッピングモータ４１ａ〜４１ｃを制御して、連結機構４ａ〜４ｃの各固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転位置を制御する。これにより、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂに固定されるテーブル２の姿勢が制御される。この位置決め基台１の動作には、テーブル２を上下方向に移動させる上下動作、テーブル２を連結機構４ａ〜４ｃの配列方向（図中左右方向）に沿って水平に移動させる水平動作、及び、各テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂの上下方向に関する位置関係によりテーブル２を回転させる回転動作があり、これらを組み合わせることによって、テーブル２の姿勢、すなわち、ビーム照射装置Ｍの姿勢が３自由度で制御可能となっている。なお、どのような動作を行った場合においても、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾くようになっている。
【００２０】
次に、図４〜図６を参照しつつ、位置決め基台１の動作について説明する。図４は、位置決め基台１の上下動作を説明するための図である。図５は、位置決め基台１の水平動作を説明するための図であり、図５（ａ）の状態を基準とし、図５（ｂ）がテーブル２を図中左方に水平移動させた状態を示しており、図５（ｃ）がテーブル２を図中右方に水平移動させた状態を示している。図６は、位置決め基台１の回転動作を説明するための図であり、図６（ａ）の状態を基準とし、図６（ｂ）がテーブル２を図中反時計回りに回転させた状態を示しており、図６（ｃ）がテーブル２を図中時計回りに回転させた状態を示している。なお、図４〜図６においては、位置決め基台１を構成する各部材の接続構造を模式的に示している。
【００２１】
まず、上下動作について説明する。図４（ａ）〜図４（ｃ）に示すように、図４（ａ）の状態からテーブル２を上昇させるときは、固定側シャフト１２ａ、１２ｂを、図中時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｃを、図中反時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを上昇させるとともに、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを上昇させる。このように、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂが同時に上昇することでこれらに固定されたテーブル２が上昇する。
【００２２】
逆に、図４（ｃ）の状態からテーブル２を降下させるときは、固定側シャフト１２ａ、１２ｂを、図中反時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｃを、図中時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを降下させるとともに、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを降下させる。このように、テーブル側軸受け２１ａ、２１ｂが同時に降下することでこれらに固定されたテーブル２が降下する。
【００２３】
なお、図４（ａ）〜図４（ｃ）においては、連結機構４ａ〜４ｃにおける、回転中心軸Ｘａ〜Ｘｃに対する回転中心軸Ｘａ'〜Ｘｃ'の偏心距離、連結部材３１ａ〜３１ｂにおける回転中心軸Ｘａ'〜Ｘｃ'から回転中心軸Ｙａ、Ｙｂまでの直線距離及び荷重方向に対する傾斜角度が同じであるため、各固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転を同期させる。上下動作においては、連結機構４ａ〜４ｃの状態により固定側シャフト１２ａ〜１２ｃ毎に回転量が決定される。すなわち、上下動作を開始する状態によって、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転方向、回転速度及び回転量が変化する。したがって、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転量は必ずしも一致するものではない。
【００２４】
次に、水平動作について説明する。図５（ｂ）に示すように、図５（ａ）の状態からテーブル２を図中左方に水平移動させるときは、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃを、図中反時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ｂ、３１ｃがテーブル側軸受け２１ａ、２１ｂと共にテーブル２を図中左方に水平移動させる。逆に、図５（ｃ）に示すように、図５（ａ）の状態からテーブル２を図中右方に水平移動させるときは、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃを、図中時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ｂ、３１ｃがテーブル側軸受け２１ａ、２１ｂと共にテーブル２を図中右方に水平移動させる。
【００２５】
最後に、回転動作について説明する。図６（ｂ）に示すように、図６（ａ）の状態からテーブル２を図中反時計方向に回転させるときは、固定側シャフト１２ａ、１２ｂを、図中時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｃを、図中反時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを降下させ、同時に、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを上昇させる。このように、テーブル側軸受け２１ａが降下し、テーブル側軸受け２１ｂが上昇することで、これらに固定されたテーブル２が図中反時計方向に回転する。
【００２６】
逆に、図６（ｃ）に示すように、図６（ａ）の状態からテーブル２を図中時計方向に回転させるときは、固定側シャフト１２ａを、図中反時計方向に回転させ、固定側シャフト１２ｂ、１２ｃを、図中時計方向に回転させる。これにより、連結部材３１ａがテーブル側軸受け２１ａを上昇させ、同時に、連結部材３１ｂ、３１ｃが、テーブル側軸受け２１ｂを降下させる。このように、テーブル側軸受け２１ａが上昇し、テーブル側軸受け２１ｂが降下することで、これらに固定されたテーブル２が図中時計方向に回転する。
【００２７】
なお、上下動作と同様に水平動作及び回転動作においても、連結機構４ａ〜４ｃの状態により固定側シャフト１２ａ〜１２ｃ毎に回転量が決定される。すなわち、水平動作及び回転移動を開始する状態、すなわちテーブル２の姿勢によって、固定側シャフト１２ａ〜１２ｃの回転方向、回転速度及び回転量が変化する。
【００２８】
以上、説明した実施の形態によると、テーブル２が連結機構４ａ〜４ｃを介して固定板３に連結されているため、テーブル２に関する引き抜き及び転倒モーメントに対する拘束力及び抗力が保障される。また、連結部材３１ａ〜３１ｃが、テーブル側シャフト１１ａ〜１１ｃ及び固定側シャフト１２ａ〜１２ｃに回転自在に接続されているため、外部からの振動によりテーブル２の位置がずれて位置精度が損なわれることがない。また、位置決め基台１の姿勢が制限されることがなくなり、設置に関する自由度が向上する。
【００２９】
また、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾くように配置されているため、連結部材３１ｂ、３１ｃに、互いに反対方向のモーメントが加えられることになる。これにより、これらのモーメントが相殺され、位置決め基台１の耐荷重が向上する。
【００３０】
さらに、連結機構４ｂと連結機構４ｃとの間で、一対のテーブル側軸受け２１ｂ及びテーブル側シャフト１１ｂを共有しているため、位置決め基台１の部品点数が削減され、低コスト化を図ることができる。
【００３１】
以上、本発明に係る一実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものでなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述の実施形態においては、連結機構４ｂの連結部材３１ｂと連結機構４ｃの連結部材３１ｃとが、テーブル２に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾くように配置される構成であるが、各連結機構の連結部材が互い平行でないように配置されていれば、これらが同じ方向に傾いていてもよい。
【００３２】
また、上述の実施形態においては、連結機構４ｂと連結機構４ｃとの間で、一対のテーブル側軸受け２１ｂ及びテーブル側シャフト１１ｂを共有する構成となっているが、各連結機構の間でにおいて、テーブル側軸受け及びテーブル側シャフトを共有しない構成であってもよい。
【００３３】
さらに、上述の実施形態においては、連結機構４ａ〜４ｃにおいて、各連結部材３１ａの一方が、回転中心軸Ｙａと同心にテーブル側シャフト１１ａと回転自在に接続されており、他方が、固定側シャフト１２ａの回転中心軸Ｘａ対して偏心した回転中心軸Ｘａと同心に固定側シャフト１２ａと回転自在に接続されている構成であるが、各連結部材の一方が、テーブル側シャフトの回転中心に対して偏心した状態でテーブル側シャフトと回転自在に接続されており、他方が、固定側シャフトの回転中心と同心に固定側シャフトと回転自在に接続されている構成であってもよい。
【００３４】
加えて、上述の実施形態においては、テーブル２及び固定板３が板形状を有する構成であるが、テーブル及び設置場所に固定される固定部材は、任意の形状を有していてもよい。例えば、３つの連結機構４ａ〜４ｃのうち、連結機構４ｂのみが他の連結機構４ａ、４ｃより下方に位置するように、固定部材の表面に段差が形成されていてもよい。これによると、位置決め基台の重心位置が下がるため、位置決め基台が安定する。
【００３５】
さらに、上述の実施形態においては、テーブル２と固定板３とが３つの連結機構４ａ〜４ｃにより連結される構成であるが、テーブル２と固定板３とが４つ以上の連結機構で連結される構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施の形態に係る位置決め基台の側面図である。
【図２】図１に示すII-II線に関する位置決め基台の断面図である。
【図３】図２に示すIII-III線に関する位置決め基台の断面図である。
【図４】図１に示す位置決め基台の上下動作を説明するための図である。
【図５】図１に示す位置決め基台の水平動作を説明するための図である。
【図６】図１に示す位置決め基台の回転動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３７】
１ 位置決め基台
２ テーブル
３ 固定板
４ａ〜４ｃ 連結機構
１１ａ、１１ｂ テーブル側シャフト
１２ａ〜１２ｃ 固定側シャフト
３１ａ〜３１ｃ 連結部材
４１ａ〜４１ｃ ステッピングモータ
Ｍ ビーム照射装置
Ｘａ〜Ｘｃ 回転中心軸
Ｘａ'〜Ｘｃ' 回転中心軸
Ｙａ、Ｙｂ 回転中心軸
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持対象物を支持する支持部材と、
設置場所に固定される固定部材と、
前記支持部材と前記固定部材とを連結する３つの連結機構とを備えており、
前記連結機構が、
前記支持部材に固定されている支持側シャフトと、
前記固定部材に固定された固定側シャフトと、
前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの一方に、回転中心に対して偏心した状態で回転自在に接続されているとともに、前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの他方に、回転中心に対して同心に回転自在に接続された連結部材とを有しており、
全ての前記連結機構が有する前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトが互いに平行になるように、前記連結機構がそれぞれ配置されており、
３つの前記連結部材中に、互いに平行でない２つの前記連結部材があることを特徴とする位置決め基台。
【請求項２】
３つの前記連結部材中に、前記支持部材に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾いている２つの前記連結部材があることを特徴とする位置決め基台。
【請求項３】
前記連結機構間で、前記連結部材と回転中心に対して同心に回転自在に接続された前記支持側シャフト又は前記固定側シャフトが共有されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決め基台。
【請求項１】
支持対象物を支持する支持部材と、
設置場所に固定される固定部材と、
前記支持部材と前記固定部材とを連結する３つの連結機構とを備えており、
前記連結機構が、
前記支持部材に固定されている支持側シャフトと、
前記固定部材に固定された固定側シャフトと、
前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの一方に、回転中心に対して偏心した状態で回転自在に接続されているとともに、前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトの他方に、回転中心に対して同心に回転自在に接続された連結部材とを有しており、
全ての前記連結機構が有する前記支持側シャフト及び前記固定側シャフトが互いに平行になるように、前記連結機構がそれぞれ配置されており、
３つの前記連結部材中に、互いに平行でない２つの前記連結部材があることを特徴とする位置決め基台。
【請求項２】
３つの前記連結部材中に、前記支持部材に関する荷重方向に対して互いに反対方向に傾いている２つの前記連結部材があることを特徴とする位置決め基台。
【請求項３】
前記連結機構間で、前記連結部材と回転中心に対して同心に回転自在に接続された前記支持側シャフト又は前記固定側シャフトが共有されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決め基台。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００８−２２９８１６（Ｐ２００８−２２９８１６Ａ）
【公開日】平成２０年１０月２日（２００８．１０．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−７６６０６（Ｐ２００７−７６６０６）
【出願日】平成１９年３月２３日（２００７．３．２３）
【出願人】（０００２２４９９４）特許機器株式会社 (59)
【出願人】（５０４１３７９１２）国立大学法人 東京大学 (1,942)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月２日（２００８．１０．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年３月２３日（２００７．３．２３）
【出願人】（０００２２４９９４）特許機器株式会社 (59)
【出願人】（５０４１３７９１２）国立大学法人 東京大学 (1,942)
【Ｆターム（参考）】
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