光学素子ホルダ
【課題】 構造の簡素化を図り、ミラーの方向を良好に調整できるミラーホルダを提供すること。
【解決手段】 ミラー１１を、その方向を調整して保持するミラーホルダ１０において、ミラーを支持するサポート部材１４と、ベース部材１２と、ベース部材とサポート部材との間に介在された中間部材１３と、中間部材をベース部材に対しに揺動させるための第１支持軸７４を構成する第１支持ねじ１５と、サポート部材を中間部材に対し揺動させるための第２支持軸７５を構成する第２支持ねじ１６と、サポート部材及び中間部材をベース部材側に付勢する引っ張りコイルばね１７と、サポート部材及び中間部材を第１支点軸回りに揺動してミラーの傾きを調整する第１調整ねじ１８と、サポート部材を第２支持軸回りに揺動してミラーの傾きを調整する第２調整ねじ１９とを有し、第１支持軸７４と第２支持軸７５とは直交し、且つミラーの表面７６に一致して設定されたものである。
【解決手段】 ミラー１１を、その方向を調整して保持するミラーホルダ１０において、ミラーを支持するサポート部材１４と、ベース部材１２と、ベース部材とサポート部材との間に介在された中間部材１３と、中間部材をベース部材に対しに揺動させるための第１支持軸７４を構成する第１支持ねじ１５と、サポート部材を中間部材に対し揺動させるための第２支持軸７５を構成する第２支持ねじ１６と、サポート部材及び中間部材をベース部材側に付勢する引っ張りコイルばね１７と、サポート部材及び中間部材を第１支点軸回りに揺動してミラーの傾きを調整する第１調整ねじ１８と、サポート部材を第２支持軸回りに揺動してミラーの傾きを調整する第２調整ねじ１９とを有し、第１支持軸７４と第２支持軸７５とは直交し、且つミラーの表面７６に一致して設定されたものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーなどの光学素子を、その方向調整して保持する光学素子ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー発振器などの光学装置においては、光学素子であるミラーの方向を調整可能に保持するミラーホルダが設置され、ミラーの方向を調整することで、レーザー出力の安定化が図られている。上述のミラーホルダには、図１５に示すジンバル方式のミラーホルダ１０１と、図１７に示すキネマティック方式のミラーホルダ１０２とがある。
【０００３】
図１５に示すミラーホルダ１０１は、固定部１０３に対し第１可動フレーム１０４を回転軸１０６回りに回転し、この第１可動フレーム１０４に対して第２可動フレーム１０５を回転軸１０７回りに回転することで、この第２可動フレーム１０５に支持されたミラー１０８の方向を調整するものである。尚、上記回転軸１０６と回転軸１０７とは、ミラー１０８の中心点１０９において直交して設けられる。
【０００４】
上記第２可動フレーム１０５は、図１６(Ｂ)に示すクランプねじ１１０を緩めることで、回転軸１０７回りに３６０度回転自在とされる。この第２可動フレーム１０５は、クランプねじ１１０を締め付けることで第２アーム１１１と一体となり、第１可動フレーム１０４に設置された微調整つまみ１１２の操作によって、回転軸１０７回りの方向（傾き）が微調整される。また、上記第１可動フレーム１０４は、図１６(Ｃ)に示すクランプねじ１１３を緩めることで、固定部１０３に対し回転軸１０６回りに３６０度回転自在とされる。この第１可動フレーム１０４は、クランプねじ１１３を締め付けることで、当該第１可動フレーム１０４内に配設された第１アーム１１４が固定部１０３と一体となり、第１可動フレーム１０４に設置された微調整つまみ１１５の操作によって、回転軸１０６回りの方向（傾き）が微調整される。
【０００５】
一方、図１７に示すミラーホルダ１０２は、特許文献１に図１８を用いて記載され、また特許文献２に記載されたものでもある。このミラーホルダ１０２は、固定部１２０に対して、ミラー１２１を支持する可動部１２２が、支点部１２３に対して水平及び垂直方向に所定の間隔を置いて配置された第１調整ねじ１２４及び第２調整ねじ１２５の操作によって、上記支持部１２３を支点として互いに直交する方向で方向調整（傾き調整）可能に構成されている。
【特許文献１】米国特許第６,３０４,３９３ Ｂ１号明細書
【特許文献２】特開２００２−２１８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、図１５及び図１６に示すミラーホルダ１０１では、回転軸１０６または１０７回りにミラー１０８の方向を微調整する場合に、ミラー１０８の中心点１０９が移動しないことから良好にミラー１０８の方向を調整することができるが、構造が複雑でコストが上昇してしまう。
【０００７】
また、図１７及び図１８に示すミラーホルダ１０２では、構造が簡単ではあるものの、支点部１２３がミラー１２１から外れた位置にあるため、第１調整ねじ１２４または第２調整ねじ１２５のいずれを用いてミラー１２１の方向を調整する場合にも、ミラー１２１の中心点位置が移動してしまい、ミラー１２１の方向を必ずしも良好に調整しているとは言えない。
【０００８】
本発明の目的は、上述の事情を考慮してなされたものであり、構造の簡素化を図りつつ、光学素子の方向を良好に調整できる光学素子ホルダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、光学素子を、その方向を調整して保持する光学素子ホルダにおいて、上記光学素子を支持するサポート部材と、取付部を備えたベース部材と、このベース部材と上記サポート部材との間に介在された中間部材と、上記ベース部材に設けられ、上記中間部材を上記ベース部材に対して揺動させるための第１支持軸を構成する複数本の第１支持部材と、上記中間部材に設けられ、上記サポート部材を上記中間部材に対して揺動させるための第２支持軸を構成する複数本の第２支持部材と、上記ベース部材と上記サポート部材との間に配設され、このサポート部材及び上記中間部材を上記ベース部材側に付勢する付勢部材と、上記ベース部材に螺装されて先端が上記中間部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材及び上記中間部材を上記第１支持軸回りに揺動させ、上記サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第１調整ねじ部材と、上記中間部材に螺装されて先端が上記サポート部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材を上記第２支持軸回りに揺動させ、当該サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第２調整ねじ部材とを有し、上記第１支持軸と上記第２支持軸とが直交し、これらの第１支持軸及び第２支持軸が、上記サポート部材に支持された上記光学素子の基準面に一致して設定されたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、互いに直交する上記第１支持軸と上記第２支持軸との交点が、サポート部材に支持された光学素子の基準面内に設けられたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記第１支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第１支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第１支持軸が構成され、また、上記第２支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第２支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第２支持軸が構成されることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、上記光学素子がミラーであり、上記基準面が上記ミラーの表面であることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の発明において、上記ベース部材と中間部材には、第１支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第１固定プレートにて固定可能に構成され、更に、上記中間部材とサポート部材には、第２支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第２固定プレートにて固定可能に構成されたことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明において、上記第１調整ねじ部材がベース部材の上部に、第２調整ねじ部材が中間部材の上部に、それぞれ設けられたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、上記第１支点部材及び第２支点部材は支点ねじにて構成され、この支点ねじに螺合する雌ねじ部には、上記支点ねじの頭部が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部が設けられたことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載の発明において、上記ベース部材には、サポート部材に支持された光学素子へ向かう光、または上記光学素子から導かれた光を通過させる切欠き部が設けられたことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８のいずれかに記載の発明において、上記ベース部材の取付部には、取り付け用の穴が２箇所以上設けられたことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれかに記載の発明において、上記付勢部材は、第１支点部材の全ての先端及び第１調整ねじ部材の先端が中間部材に当接し、且つ第２支点部材の全ての先端及び第２調整ねじ部材の先端がサポート部材に当接し得るように、当該付勢部材の数、配設位置及び付勢力の強さが設定されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１乃至４または１０に記載の発明によれば、サポート部材及び中間部材をベース部材に対して揺動させる第１支持軸と、サポート部材を中間部材に対して揺動させる第２支持軸とが直交し、これらの第１支持軸及び第２支持軸が、上記サポート部材に支持された光学素子の基準面に一致して設定されたことから、特に、第１支持軸と第２支持軸との交点が、上記サポート部材に支持された光学素子の基準面内に設けられた場合には、第１調整ねじ部材を用いて光学素子を、サポート部材及び中間部材を介し第１支持軸回りに傾き調整し、または、第２調整ねじ部材を用いて光学素子を、サポート部材を介し第２支持軸回りに傾き調整する場合にも、光学素子の基準面における中心位置が全く或いは殆んど移動しないので、光学素子の方向調整を良好に実施できる。
【００２０】
また、サポート部材及び中間部材がベース部材に対して第１支持軸回りに揺動可能とされ、更に、サポート部材が中間部材に対して第２支持軸回りに揺動可能とされたことから、サポート部材及び中間部材がベース部材に対して３６０度回転可能で、サポート部材が中間部材に対して３６０度回転可能な構造に比べ、装置の構造を簡素化できる。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、ベース部材と中間部材には、第１支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第１固定プレートにて固定可能に構成され、更に、上記中間部材とサポート部材には、第２支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第２固定プレートにて固定可能に構成されたことから、例えば、サポート部材及び中間部材を第１支持軸回りに傾き調整して、この中間部材をベース部材に第１固定プレートを用いて固定し、その後、サポート部材を第２支持軸回りに傾き調整して、このサポート部材を中間部材に第２固定プレートを用いて固定することができるので、サポート部材に支持された光学素子の傾き調整、つまり方向調整の後に、調整位置のロックを確実に実施できる。
【００２２】
請求項６に記載の発明によれば、第１調整ねじ部材がベース部材の上部に、第２調整ねじ部材が中間部材の上部にそれぞれ設けられたことから、これらの第１調整ねじ部材及び第２調整ねじ部材の操作を光学素子ホルダの上方から容易に実施できるので、操作性を向上させることができる。
【００２３】
請求項７に記載の発明によれば、支点ねじが螺合する雌ねじ部には、支点ねじの頭部が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部が設けられたことから、支点ねじに頭部近傍までねじ山が形成されるが、この頭部近傍のねじ山が不完全な場合にも、この不完全なねじ山部分が雌ねじ部の逃げ部に位置付けられるので、支点ねじを、雌ねじ部が形成された部材に頭部が接触する位置まで確実に締め付けて取り付けることができる。
【００２４】
請求項８に記載の発明によれば、ベース部材には、サポート部材に支持された光学素子へ向かう光、または光学素子から導かれた光を通過させる切欠き部が設けられたことから、例えば、光学素子の傾きが最大角度近くに設定されて当該光学素子の方向が調整されたときでも、この光学素子はその機能を十分に果たすことができる。
【００２５】
請求項９に記載の発明によれば、ベース部材の取付部には取り付け用の穴が２箇所以上設けられたことから、これら２箇所以上の取り付け用穴に取付ボルトなどを挿通することによって、光学素子ホルダを安定して取り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面に基づき説明する。
図１は、本発明に係る光学素子ホルダの一実施の形態であるミラーホルダを示し、（Ａ）が正面図、（Ｂ）が右側面図、（Ｃ）が平面図、（Ｄ）が背面図である。図５は、図１（Ｄ）のV‐V線に沿う断面図である。図６は、図１（Ｄ）のVI‐VI線に沿う断面図である。図７は、図１（Ｄ）のVII‐VII線に沿う断面図である。図８は、図１（Ｃ）において一部を図１（Ｄ）のVIII‐VIII線において切断した箇所を示す一部切欠き平面図である。
【００２７】
図１に示す光学素子ホルダとしてのミラーホルダ１０は、光学素子としてのミラー１１を、その方向を調整して保持するものであり、ベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４を有して構成される。これらのベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４が、第１支点部材としての２本の第１支点ねじ１５、第２支点部材としての２本の第２支点ねじ１６、付勢部材としての引っ張りコイルばね１７、第１調整ねじ部材としての第１調整ねじ１８、及び第２調整ねじ部材としての第２調整ねじ１９を用いて、後述の如く作動的に結合される。
【００２８】
ベース部材１２とサポート部材１４との間に中間部材１３が介在される。これらのベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４は略四角形のプレート形状であり、例えばアルミニウム材にて構成される。また、第１支点ねじ１５、第２支点ねじ１６、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９はステンレス材にて構成される。
【００２９】
ベース部材１２は、図１０に示すように、ベース本体２０の下部に取付部２１が一体成形して構成される。ベース本体２０の中央位置には、光を通過させるための開口２２が形成され、この開口２２に連通して切欠き部２３が形成される。この切欠き部２３も、開口２２と同様に、ミラーホルダ１０に保持されたミラー１１へ向かう光（入射光）、または上記ミラー１１から導かれる光（ミラー１１からの反射光またはミラー１１を透過した透過光）を通過させるものである。
【００３０】
上記ベース本体２０の上部及び下部には、図５に示す如く第１支点ねじ１５を螺装するためのねじ穴２４が形成されている。このねじ穴２４の内周には、図１０（Ｄ）に示すように雌ねじ２５が形成されるが、この雌ねじ２５には、第１支点ねじ１５の頭部２６が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部２７が設けられる。第１支点ねじ１５には頭部２６近傍位置までねじ山が形成されているが、この頭部２６近傍位置のねじ山は不完全な場合が多い。第１支点ねじ１５がねじ穴２４の雌ねじ部２５に螺合されたとき、この第１支点ねじ１５の頭部２６近傍位置のねじ山部分がねじ穴２４における雌ねじ部２５の逃げ部２７に位置付けられることで、第１支点ねじ１５は、その頭部２６がベース部材１２のベース本体２０に当接するまでねじ込まれて固定される。
【００３１】
図１０に示す上記ベース本体２０における上部コーナ部には、図７の如く第１調整ねじ１８を螺装するためのねじブッシュ２８を螺合するねじ穴２９が形成されている。また、ベース本体２０には、開口２２の周囲における複数の所定位置に、図８の如く引っ張りコイルばね１７が貫通する貫通孔３０が形成される。この貫通孔３０を臨むベース本体２０の背面側に、引っ張りコイルばね１７を係止する係止ピン３１(図８)を嵌合する嵌合溝３２が形成されている。
【００３２】
上記ベース本体２０の正面側には、図１（Ｂ）の如く第２支点ねじ１６の頭部３３を収容可能な収容凹部３４が、図１０（Ｂ）に示すように形成される。また、ベース本体２０の天面３５には、図４の如く第１固定プレート３６をビス固定するためのねじ穴３７が形成されている。更に、ベース部材１２の取付部２１には、複数（例えば２個）の取付穴３８が形成され、これらの取付穴３８に図示しない取付ボルトが挿通されてねじ込まれることで、ベース部材１２が、つまりミラーホルダ１０が所定位置に据え付けられる。
【００３３】
前記中間部材１３は、図１１に示すように、中央位置に光を通過させるための開口３９が形成される。この開口３９は、中間部材１３とベース部材１２との組みつけ状態で、ベース部材１２の開口２２と同軸になるよう設けられる。この開口３９は、図１１（Ａ）の上下方向に長軸を有する楕円形状に形成される。また、中間部材１３の上部及び下部は正面側へ突出し、この突出部４０に、図７の如く第１支点ねじ１５を配設ための凹陥部４１が形成される。これらの凹陥部４１の底部に、第１支点ねじ１５の先端部が当接するすり鉢形状、つまり断面三角形状の窪み部４２が、図１１に示すように設けられる。
【００３４】
上記中間部材１３には、図１１（Ａ）における左および右位置に、図６の如く第２支点ねじ１６を螺装するためのねじ穴４３が形成されている。このねじ穴４３の内周には、図１１（Ｅ）に示すように雌ねじ部４４が形成されるが、この雌ねじ部４４には、第２支点ねじ１６の頭部３３が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部４５が設けられる。第２支点ねじ１６にも、第１支点ねじ１５と同様に、頭部３３近傍位置までねじ山が形成され、この頭部３３近傍位置のねじ山は不完全な場合が多い。この第２支点ねじ１６がねじ穴４３の雌ねじ部４４に螺合されたときに、この第２支点ねじ１６の頭部３３近傍位置のねじ山部分がねじ穴４３における雌ねじ部４４の逃げ部４５に位置付けられることで、第２支点ねじ１６は、その頭部３３が中間部材１３に当接するまでねじ込まれて固定される。
【００３５】
上記中間部材１３には、図１１に示すように、上部コーナー部においてベース部材１２のねじ穴２９に対応する位置に、図７の如く第１調整ねじ１８の先端部が当接するための座４６が埋設される。この座４６は、焼き入れ処理されて硬度が高められたものが好ましい。また、中間部材１３の上部コーナー部において座４６と反対の位置に、図７の如く第２調整ねじ１９を螺装するためのねじブッシュ４７を螺合するねじ穴４８が形成されている。
【００３６】
上記中間部材１３には、図１１に示す開口３９の周囲における複数の所定位置に、図８の如く引っ張りコイルばね１８が貫通する貫通孔４９が形成される。この貫通孔４９は、中間部材１３とベース部材１２との組み付け状態で、ベース部材１２の貫通孔３０と同軸になる位置に設けられる。また、中間部材１３の天面５０には、図４及び図１（Ｃ）の如く第１固定プレート３６をビス固定するためのねじ穴５１が形成されている。更に、中間部材１３には、一方の側面５２に、図３及び図１（Ｂ）の如く第２固定プレート５５をビス固定するためのねじ穴５３が形成されている。
【００３７】
前記サポート部材１４は、図１２に示すように、中央位置に、光を通過させるための開口５４が形成される。この開口５４は、ベース部材１２及び中間部材１３との組み付け状態で、これらの開口２２及び３９と同軸に設けられる。この開口５４は、直径が中間部材１３の開口３９の短軸とほぼ等しい円形状に形成される。これらの開口５４及び３９内に、図６に示すように、ミラー１１を装着するミラーケース５６の筒部５７が配置される。サポート部材１４は、このミラーケース５６を介してミラー１１を支持する。
【００３８】
ここで、上記ミラーケース５６は、図１３に示すように、筒部５７の一端に取付フランジ５８が一体成形されて構成され、取付フランジ５８の適宜位置に、取り付け用のねじ穴５９が形成される。筒部５７には、内周面に段部６０が形成される。ミラー１１は、この段部６０に係止され、中間リング６１を介してねじリング６２が螺装されることにより筒部５７内に装着される。取付フランジ５８のねじ穴５９とサポート部材１４に形成されたねじ穴６３（図１２）とに取付ビス６４を螺合することによって、取付フランジ５８がサポート部材１４に固定されて、ミラーケース５６がサポート部材１４に取り付けられる。
【００３９】
上記サポート部材１４は、図１２に示すように、上部及び下部に、図１（Ａ）の如く中間部材１３の突出部４０を収容するための収容凹部６５が形成される。また、図１２に示すサポート部材１４には、左右位置に、図６の如く中間部材１３のねじ穴４３に螺装された第２支点ねじ１６の先端部が当接するすり鉢形状、つまり断面三角形状の窪み部６６が、図１２（Ｄ）に示すように形成されている。更に、上記サポート部材１４には、上部コーナー部において中間部材１３のねじ穴４８に対応する位置に、図７の如く第２調整ねじ１９の先端部が当接するための座６７が埋設されている。この座６７は、前記座４６と同様に、焼き入れ処理されて硬度が高められたものが好ましい。
【００４０】
図１２に示すサポート部材１４には、開口５４の周囲における複数の所定位置に、図８の如く突っ張りコイルばね１７が貫通する貫通孔６８が形成される。この貫通孔６８は、ベース部材１２及び中間部材１３との組み付け状態で、ベース部材１２の貫通孔３０及び中間部材１３の貫通孔４９と同軸となる位置に設けられる。これらの貫通孔６８内には、図２及び図８の如く引っ張りコイルばね１７を係止するための係止ピン６９を、貫通孔６８の直径方向に嵌入する嵌入穴７０が形成されている。また、サポート部材１４には、一方の側面７１に、図３及び図１（Ｂ）の如く第２固定プレート５５をビス固定するためのねじ穴７２が形成されている。
【００４１】
前記第１支点ねじ１５は、図１（Ｄ）及び図５に示すように、ベース部材１２のねじ穴２４に螺合される。この第１支点ねじ１５は、図９に示すように、先端に鋼球７３が埋設されて球面形状部分を備え、この鋼球７３が中間部材１３の窪み部４２に当接する。２本の第１支点ねじ１５における鋼球７３の中心Ｏを連ねた直線が第１支点軸７４となり、この第１支点軸７４を中心に中間部材１３が、サポート部材１４と共にベース部材１２に対し揺動可能に構成される。この中間部材１３の揺動方向を、図１（Ｃ）及び図７に矢印Ａで示す。この第１支点軸７４は、図９に示すように、サポート部材１４に支持されたミラー１１の基準面としての表面７６に一致する位置に設定される。尚、第１支点ねじ１５の先端部の鋼球７３は、中間部材１３の窪み部４２にリング状に接触して線接触状態となる。
【００４２】
前記第２支点ねじ１６は、図１（Ｄ）及び図６に示すように、中間部材１３のねじ穴４３に螺合される。この第２支点ねじ１６は、第１支点ねじ１５と同様に、図９に示すように、先端に鋼球７３が埋設されて球面形状部分を備え、この鋼球７３がサポート部材１４の窪み部６６に当接する。２本の第２支点ねじ１６における鋼球７３の中心Ｏを連ねた直線が第２支点軸７５となり、この第２支点軸７５を中心にサポート部材１４が中間部材１３に対し揺動可能に構成される。このサポート部材１４の揺動方向を図１（Ｂ）及び図５に矢印Ｂで示す。この第２支点軸７５は、図９に示すように、第１支点軸７４の場合と同様に、サポート部材１４に支持されたミラー１１の表面７６に一致する位置に設定される。尚、第２支点ねじ１６の先端の鋼球７３は、サポート部材１４の窪み部６６にリング形状に接触して線接触状態となる。
【００４３】
図１に示すように、第１支点ねじ１５が構成する第１支点軸７４と、第２支点ねじ１６が構成する第２支点軸７５とは互いに直交し、その交点Ｐは、サポート部材１４に支持されたミラー１１の表面７６の面内に設定される。特に、本実施の形態では、第１支点軸７４と第２支点軸７５との交点Ｐは、ミラー１１の表面７６の面内において、当該ミラー１１の光軸が当該ミラー１１の表面７６を横切る当該ミラー１１の中心点Ｑと一致する。従って、中間部材１３及びサポート部材１４がベース部材１２に対し第１支点軸７４回りに揺動する場合にも、更に、サポート部材１４が中間部材１３に対し第２支点軸７５回りに揺動する場合にも、サポート部材１４に支持されたミラー１１は、その中心点Ｑが移動することがない。
【００４４】
前記引っ張りコイルばね１７は、図８に示すように、ベース部材１２の貫通孔３０、中間部材１３の貫通孔４９及びサポート部材１４の貫通孔６８を貫通して配置される。そして、この引っ張りコイルばね１７は、図１（Ｄ）及び図２にも示すように、一端が係止ピン３１を用いてベース部材１２に支持され、他端が係止ピン６９を介してサポート部材１４に支持される。この引っ張りコイルばね１７による引っ張り方向の付勢力によって、中間部材１３及びサポート部材１４がベース部材１２の方向に付勢されて、ベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４が組み付けられる。
【００４５】
前記第１調整ねじ１８は、図７に示すように、ねじブッシュ２８を介してベース部材１２に螺装され、先端が中間部材１３の座４６に当接する。この第１調整ねじ１８の先端には、第１支点ねじ１５及び第２支点ねじ１６と同様に鋼球８３が埋設されており、この鋼球８３が座４６に点接触する。第１調整ねじ１８が回転操作されることによって、引っ張りコイルばね１７と連係して、つまり引っ張りコイルばね１７の付勢力に抗しまたは付勢力の作用で、中間部材１３及びサポート部材１４は、ベース部材１２に対し第１支点軸７４回りに矢印Ａ方向に揺動して、図１（Ａ）に示すように、サポート部材１４に支持されたミラー１１の第１支点軸７４回りの傾きを調整可能とする。
【００４６】
前記第２調整ねじ１９は、図７に示すように、ねじブッシュ４７を介して中間部材１３に螺装され、先端がサポート部材１４の座６７に当接する。この第２調整ねじ１９の先端には、第１調整ねじ１８と同様に鋼球８３が埋設されて構成され、この鋼球８３が座６７に点接触する。第２調整ねじ１９が回転操作されることによって、引っ張りコイルばね１７と連係して、つまり引っ張りコイルばね１７の付勢力に抗しまたは付勢力の作用で、サポート部材１４は中間部材１３に対し第２支点軸７５回りに図１（Ｂ）に示す矢印Ｂ方向に揺動して、図１（Ａ）に示すように、サポート部材１４に支持されたミラー１１の第２支点軸７５回りの傾きを調整可能とする。
【００４７】
図１（Ｄ）に示すように、第１調整ねじ１８は、ベース部材１２の上部における一方側（図１（Ｄ）の左側）のコーナ部に、また、第２調整ねじ１９は、中間部材１３の上部における他方側（図１（Ｄ）の右側）のコーナ部にそれぞれ配置される。これにより、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９の操作がミラーホルダ１０の上方から容易に実施可能とされる。
【００４８】
尚、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９は、図７に示す鋼球８３を含めてステンレス材にて構成されるが、上記ねじブッシュ２８及び４７は真鍮またはほう金にて構成されて、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９の回転操作の感触が滑らかになるよう設けられる。
【００４９】
図４に示すように、ベース部材１２と中間部材１３には、第１支点軸７４（図１（Ａ））に直交する天面３５、５０がそれぞれ形成され、これらの天面３５及び５０は同一平面位置に設けられる。これらの天面３５と天面５０に第１固定プレート３６が、図１（Ｃ）に示すように、取付ビス７７及び操作ビス７８を用いて固定されて、中間部材１３がベース部材１２に一体化されてロックされる。例えば、取付ビス７７はベース部材１２のねじ穴３７（図１０（Ｃ））に螺合され、操作ビス７８は中間部材１３のねじ穴５１（図１１（Ｄ））に螺合される。
【００５０】
上記第１固定プレート３６は、図１（Ｃ）に示すように、例えば取付ビス７７を用いてベース部材１２の天面３５に固定され、操作ビス７８を緩めた状態で第１調整ねじ１８が操作されて、中間部材１３及びサポート部材１４が第１支点軸７４回りに矢印Ａ方向に揺動され、この第１支点軸７４回りのミラー１１の傾きが調整された後、操作ビス７８の締め付けによって中間部材１３の天面５０に固定される。従って、図４に示すように、第１固定プレート３６には、操作ビス７８が挿通される箇所に、第１支点軸７４からねじ穴５１へ向かって伸びる直線に対しほぼ垂直に延びる長孔７９が形成されている。
【００５１】
図３に示すように、中間部材１３とサポート部材１４には、第２支点軸７５（図１（Ａ））に直交する側面５２、７１がそれぞれ形成され、これらの側面５２及び７１は同一平面位置に設けられる。これらの側面５２と側面７１に第２固定プレート５５が、図１（Ｂ）に示すように、取付ビス８０及び操作ビス８１を用いて固定されて、サポート部材１４が中間部材１３に一体化されてロックされる。例えば、取付ビス８０は、サポート部材１４のねじ穴７２（図１２（Ｂ））に螺合され、操作ビス８１は、中間部材１３のねじ穴５３（図３）に螺合される。
【００５２】
上記第２固定プレート５５は、図１（Ｂ）に示すように、例えば取付ビス８０を用いてサポート部材１４の側面７１に固定され、操作ビス８１を緩めた状態で第２調整ねじ１９が操作されて、サポート部材１４が第２支点軸７５回りに矢印Ｂ方向に揺動され、この第２支点軸７５回りのミラー１１の傾きが調整された後、操作ビス８１の締め付けによって中間部材１３の側面５２に固定される。従って、図３に示すように、第２固定プレート５５には、操作ビス８１が挿通される箇所に、第２支点軸７５からねじ穴５３へ向かって伸びる直線に対しほぼ垂直に延びる長孔８２が形成されている。
【００５３】
ところで、中間部材１３及びサポート部材１４をベース部材１２方向へ付勢する前記引っ張りコイルばね１７(図８)は、２本の第１支点ねじ１５(図５)の先端の鋼球７３が中間部材１３の窪み部４２に、第１調整ねじ１８(図７)の先端の鋼球８３が中間部材１３の座４６にそれぞれ当接し、更に、２本の第２支点ねじ１６(図６)の先端の鋼球７３がサポート部材１４の窪み部６６に、第２調整ねじ１９(図７)の先端の鋼球８３がサポート部材１４の座６７にそれぞれ当接し得るように、引っ張りコイルばね１７の本数、配設位置及び付勢力の強さが設定されている。
【００５４】
例えば、図１４に示すように、第１支点軸７４と第２支点軸７５の交点Ｐの位置を原点（０，０）とし、第２支点軸７５をＸ軸、第１支点軸７４をＹ軸としたとき、右左の第２支点ねじ１６の位置をそれぞれ１（Ｌ１Ｘ，０）、２（Ｌ２Ｘ，０）とし、３本の引っ張りコイルばね１７の軸心位置をそれぞれ３（Ｌ３Ｘ，Ｌ３Ｙ）、４（Ｌ４Ｘ，Ｌ４Ｙ）、７（Ｌ７Ｘ，Ｌ７Ｙ）とし、第２調整ねじ１９の位置を５（Ｌ５Ｘ，Ｌ５Ｙ）とし、第１調整ねじ１８の位置を６（Ｌ６Ｘ，Ｌ６Ｙ）とし、上下の第１支点ねじ１５の位置をそれぞれ８（０，Ｌ８Ｙ）、９（０，Ｌ９Ｙ）とする。
【００５５】
図１２（Ａ）の紙面に垂直で裏面へ向かう方向を正としたとき、サポート部材１４において、右左の窪み部６６へ第２支点ねじ１６から作用する力はそれぞれＦ１，Ｆ２となり、貫通孔６８内の係止ピン６９へ引っ張りコイルばね１７から作用する力はＦ３、Ｆ４、Ｆ７となり、座６７へ第２調整ねじ１９から作用する力はＦ５となる。そこで、サポート部材１４に作用する力の釣合式は式（１）となり、Ｘ軸（第２支点軸７５）回りのモーメントの釣合式は式（２）となり、Ｙ軸（第１支点軸７４）回りのモーメントの釣合式は式（３）となる。
Ｆ１+Ｆ２+Ｆ３+Ｆ４+Ｆ５+Ｆ７＝０ ……（１）
Ｆ５Ｌ５Ｙ+Ｆ３Ｌ３Ｙ+Ｆ４Ｌ４Ｙ+Ｆ７Ｌ７Ｙ＝０ ……（２）
Ｆ１Ｌ１Ｘ+Ｆ３Ｌ３Ｘ+Ｆ５Ｌ５Ｘ+Ｆ２Ｌ２Ｘ+Ｆ４Ｌ４Ｘ+Ｆ７Ｌ７Ｘ＝０ ……（３）
【００５６】
また、図１１（Ａ）の紙面に垂直で裏面へ向かう方向を正としたとき、中間部材１３において、右左のねじ穴４３に第２支点ねじ１６を介して作用する力（反作用）は−Ｆ１、−Ｆ２となり、ねじ穴４８に第２調整ねじ１９を介して作用する力（反作用）は−Ｆ５となり、座４６に第１調整ねじ１８から作用する力はＦ６となり、上下の窪み部４２に第１支点ねじ１５から作用する力はそれぞれＦ８、Ｆ９となる。そこで、中間部材１３に作用する力の釣合式は式（４）となり、Ｘ軸（第２支点軸７５）回りのモーメントの釣合式は式（５）となり、Ｙ軸（第１支点軸７４）回りのモーメントの釣合式は式（６）となる。
−Ｆ１−Ｆ２−Ｆ５+Ｆ６+Ｆ８+Ｆ９＝０ ……（４）
−Ｆ５Ｌ５Ｙ+Ｆ６Ｌ６Ｙ+Ｆ８Ｌ８Ｙ+Ｆ９Ｌ９Ｙ＝０ ……（５）
−Ｆ１Ｌ１Ｘ−Ｆ５Ｌ５Ｘ−Ｆ２Ｌ２Ｘ+Ｆ６Ｌ６Ｘ＝０ ……（６）
【００５７】
更に、図１０（Ａ）の紙面に垂直で裏面へ向かう方向を正としたとき、ベース部材１２において、貫通孔３０内の引っ張りコイルばね１７から係止ピン３１を介して作用する力（反作用）は−Ｆ３、−Ｆ４、−Ｆ７となり、ねじ穴２９に第１調整ねじ１８を介して作用する力（反作用）は−Ｆ６となり、上下のねじ穴２４に第１支点ねじ１５を介して作用する力（反作用）は−Ｆ８、−Ｆ９となる。そこで、このベース部材１２に作用する力の釣合式は式（７）となり、Ｘ軸（第２支点軸７５）回りのモーメントの釣合式は式（８）となり、Ｙ軸（第１支点軸７４）回りのモーメントの釣合式は式（９）となる。
−Ｆ３−Ｆ４−Ｆ６−Ｆ７−Ｆ８−Ｆ９＝０ ……（７）
−Ｆ３Ｌ３Ｙ−Ｆ４Ｌ４Ｙ−Ｆ６Ｌ６Ｙ−Ｆ８Ｌ８Ｙ−Ｆ７Ｌ７Ｙ−Ｆ９Ｌ９Ｙ＝０……（８）
−Ｆ３Ｌ３Ｘ−Ｆ４Ｌ４Ｘ−Ｆ６Ｌ６Ｘ−Ｆ７Ｌ７Ｘ＝０ ……（９）
【００５８】
上記力Ｆ１、Ｆ２、Ｆ５、Ｆ６、Ｆ８及びＦ９が正となって、第２支点ねじ１６及び第２調整ねじ１９の先端がサポート部材１４に当接し、第１調整ねじ１８及び第１支点ねじ１５の先端が中間部材１３に当接し得るようにパラメータ（力Ｆ１〜Ｆ９及び各位置１〜９）を決定する。
【００５９】
例えば、引っ張りコイルばね１７に関しＦ３＝Ｆ４＝Ｆ７＝−１０Ｎ（引っ張りばね）とし、第２支点ねじ１６の位置に関しＬ１Ｘ＝２０、Ｌ２Ｘ＝−２０とし、引っ張りコイルばね１７の位置に関し（Ｌ３Ｘ，Ｌ３Ｙ）＝（２０，１０）、（Ｌ４Ｘ，Ｌ４Ｙ）＝（−２０，１０）、（Ｌ７Ｘ，Ｌ７Ｙ）＝（−２０，−１０）とし、第２調整ねじ１９の位置に関し（Ｌ５Ｘ，Ｌ５Ｙ）＝（２０，２０）とし、第１調整ねじ１８の位置に関し（Ｌ６Ｘ，Ｌ６Ｙ）＝（−２０，２０）とし、第１支点ねじ１５の位置に関しＬ８Ｙ＝２０，Ｌ９Ｙ＝−２０とすると、Ｆ１＝５Ｎ、Ｆ２＝２０Ｎ、Ｆ５＝５Ｎ、Ｆ６＝１０Ｎ、Ｆ８＝（１５／２）Ｎ、Ｆ９＝（２５／２）Ｎとなる。
【００６０】
以上のように構成されたことから、上記実施の形態によれば、次の効果（１）〜（７）を奏する。
（１）図１に示すサポート部材１４及び中間部材１３をベース部材１２に対して揺動させる第１支点軸７４と、サポート部材１４を中間部材１３に対して揺動させる第２支点軸７５とが直交し、これらの第１支点軸７４及び第２支点軸７５が、サポート部材１４に支持されたミラー１５の表面７６(図９)に一致して設けられたことから、特に、第１支点軸７４と第２支点軸７５との交点Ｐが、サポート部材１４に支持されたミラー１５の表面７６内における中心点Ｑに設けられた場合には、第１調整ねじ１８を用いてミラー１１を、サポート部材１４及び中間部材１３を介し第１支点軸７４回りに傾き調整し、または、第２調整ねじ１９を用いてミラー１１を、サポート部材１４を介し第２支点軸７５回りに傾き調整する場合にも、ミラー１１の表面７６における中心点Ｑが全く移動しないので、ミラー１５の方向調整を良好に実施できる。
【００６１】
（２）サポート部材１４及び中間部材１３がベース部材１２に対し第１支点軸７４回りに揺動可能とされ、更に、サポート部材１４が中間部材１３に対して第２支点軸７５回りに揺動可能とされたことから、図１５に示すジンバル方式のミラーホルダ１０１のように、第１可動フレーム１０４が固定部１０３に対して３６０度回転可能で、第２可動フレーム１０５が第１可動フレーム１０４に対して３６０度回転可能な構造に比べ、ミラーホルダ１０の装置構造を簡素化でき、そのコストを低減できる。
【００６２】
（３）ベース部材１２と中間部材１３には、第１支点軸７４(図４)に直交する天面３５、５０がそれぞれ形成され、これらの天面３５、５０が第１固定プレート３６にて固定可能に構成される。更に、中間部材１３とサポート部材１４には、第２支点軸７５(図３)に直交する側面５２、７１がそれぞれ形成され、これらの側面５２、７１が第２固定プレート５５にて固定可能に構成される。これらのことから、例えば、サポート部材１４及び中間部材１３を第１支点軸７４回りに傾き調整して、この中間部材１３をベース部材１２に第１固定プレート３６を用いて固定し、その後、サポート部材１４を第２支点軸７５回りに傾き調整して、このサポート部材１４を中間部材１３に第２固定プレート５５を用いて固定することができるので、サポート部材１４に支持されたミラー１１の傾き調整、つまり方向調整の後に、調整位置のロックを確実に実施できる。
【００６３】
（４）第１調整ねじ１８(図１)がベース部材１２の上部に、第２調整ねじ１９が中間部材１３の上部にそれぞれ設けられたことから、これらの第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９の操作をミラーホルダ１０の上方から容易に実施できるので、その操作性を向上させることができる。
【００６４】
（５）第１支点ねじ１５(図５)が螺合するベース部材１２におけるねじ穴２４の雌ねじ部２５、第２支点ねじ１６(図６)が螺合する中間部材１３におけるねじ穴４３の雌ねじ部４４には、第１支点ねじ１５の頭部２６、第２支点ねじ１６の頭部３３がそれぞれ位置づけられる位置に、ねじ溝が形成されない逃げ部２７、４５が設けられたことから、第１支点ねじ１５、第２支点ねじ１６には、それぞれの頭部２６、３３近傍までねじ山が形成されるが、これらの頭部近傍のねじ山が不完全な場合にも、これらの不完全なねじ山部分が雌ねじ部２５の逃げ部２７、雌ねじ部４４の逃げ部４５のそれぞれに位置づけられるので、第１支点ねじ１５を、その頭部２６がベース部材１２に位置する位置まで確実に締め付けて取り付けることができ、また、第２支点ねじ１６を、その頭部３３が中間部材１３に接触する位置まで確実に締め付けて取り付けることができる。
【００６５】
（６）ベース部材１２(図１(Ｄ))には、サポート部材１４に支持されたミラー１１へ向かう光、またはミラー１１から導かれた光を通過させる切欠き部２３が設けられたことから、例えばミラー１１の傾きが最大角度（例えば４５度）近くに設定されて当該ミラー１１の方向が調整されたときでも、このミラー１１はその機能を十分に果たすことができる。
【００６６】
（７）ベース部材１２(図１０)の取付部２１には、取付孔３８が２箇所を設けられたことから、これら２箇所の取付孔３８に取付ボルト（不図示）などを挿通することによって、ミラーホルダ９を安定して据え付けることができる。
【００６７】
以上、本発明を上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、上記実施の形態では、第１支点軸７４と第２支点軸７５との交点Ｐは、サポート部材１４に支持されたミラー１１の中心点Ｑと一致するものを述べたが、上記ミラー１１の表面７６内の任意の位置にあってもよい。また、上記実施の形態では、光学素子がミラー１１の場合を述べたが、レンズや光学フィルタなどであってもよい。光学素子がレンズの場合には、当該レンズの肉厚の中心を通り光軸に垂直な面が基準面として設定される。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明に係る光学素子ホルダの一実施の形態であるミラーホルダを示し、（Ａ）が正面図、（Ｂ）が右側面図、（Ｃ）が平面図、（Ｄ）が背面図である。
【図２】図１(Ａ）のミラーホルダにおいてミラーケース５６を取り除いて示す正面図である。
【図３】図１（Ｂ）の操作ビス８１を取り除いて示すミラーホルダの右側面図である。
【図４】図１（Ｃ）の操作ビス７８を取り除いて示すミラーホルダの平面図である。
【図５】図１（Ｄ）のV‐V線に沿う断面図である。
【図６】図１（Ｄ）のVI‐VI線に沿う断面図である。
【図７】図１（Ｄ）のVII‐VII線に沿う断面図である。
【図８】図１（Ｃ）において一部を図１（Ｄ）のVIII‐VIII線において切断した箇所を示す一部切欠き平面図である。
【図９】図５及び図６における支点ねじ先端とミラーとの関係を示す側面図である。
【図１０】図１のベース部材を示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１０（Ａ）の右側面図、（Ｃ）が図１０（Ａ）の平面図、（Ｄ）が図１０（Ａ）のＤ‐Ｄ線に沿う断面図である。
【図１１】図１の中間部材を示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１１（Ａ）の左側面図、（Ｃ）が図１１（Ａ）の右側面図、（Ｄ）が図１１（Ａ）のＤ‐Ｄ線に沿う断面図、（Ｅ）が図１１（Ａ）のＥ‐Ｅ線に沿う断面図、（Ｆ）が図１１（Ａ）の正面図である。
【図１２】図１のサポート部材を示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１２（Ａ）の左側面図、（Ｃ）が図１２（Ａ）の平面図であって、その一部に図１２（Ａ）のＣ‐Ｃ線において切断した箇所を含む図、（Ｄ）が図１２（Ａ）のＤ‐Ｄ線に沿う断面図、（Ｅ）が図１２（Ａ）の正面図である。
【図１３】図１のミラーケースを示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１３（Ａ）のＢ‐Ｂ線に沿う断面図、（Ｃ）が図１３（Ａ）の正面図である。
【図１４】図１（Ｄ）と同様なミラーホルダの背面図である。
【図１５】従来におけるジンバル式のミラーホルダを示す斜視図である。
【図１６】図１５のミラーホルダを示し、（Ａ）が縦断面図、（Ｂ）が図１６（Ａ）のＢ‐Ｂ線に沿う断面図、（Ｃ）が図１６（Ａ）のＣ‐Ｃ線に沿う断面図である。
【図１７】従来におけるキネマティック式のミラーホルダを示す斜視図である。
【図１８】図１７と同様なミラーホルダの分解斜視図である。
【符号の説明】
【００６９】
１０ ミラーホルダ（光学素子ホルダ）
１１ ミラー（光学素子）
１２ ベース部材
１３ 中間部材
１４ サポート部材
１５ 第１支点ねじ（第１支点部材）
１６ 第２支点ねじ（第２支点部材）
１７ 引っ張りコイルばね（付勢部材）
１８ 第１調整ねじ（第１調整ねじ部材）
１９ 第２調整ねじ（第２調整ねじ部材）
２１ 取付部
２３ 切欠き部
２５ 雌ねじ部
２７ 逃げ部
３５ 天面（平面）
３６ 第１固定プレート
３８ 取付穴
４４ 雌ねじ部
４５ 逃げ部
５０ 天面（平面）
５２ 側面（平面）
５５ 第２固定プレート
７３ 鋼球
７４ 第１支点軸
７５ 第２支点軸
７６ 表面（基準面）
７７ 取付ビス
７８ 操作ビス
８０ 取付ビス
８１ 操作ビス
Ｐ 第１支点軸と第２支点軸との交点
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーなどの光学素子を、その方向調整して保持する光学素子ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー発振器などの光学装置においては、光学素子であるミラーの方向を調整可能に保持するミラーホルダが設置され、ミラーの方向を調整することで、レーザー出力の安定化が図られている。上述のミラーホルダには、図１５に示すジンバル方式のミラーホルダ１０１と、図１７に示すキネマティック方式のミラーホルダ１０２とがある。
【０００３】
図１５に示すミラーホルダ１０１は、固定部１０３に対し第１可動フレーム１０４を回転軸１０６回りに回転し、この第１可動フレーム１０４に対して第２可動フレーム１０５を回転軸１０７回りに回転することで、この第２可動フレーム１０５に支持されたミラー１０８の方向を調整するものである。尚、上記回転軸１０６と回転軸１０７とは、ミラー１０８の中心点１０９において直交して設けられる。
【０００４】
上記第２可動フレーム１０５は、図１６(Ｂ)に示すクランプねじ１１０を緩めることで、回転軸１０７回りに３６０度回転自在とされる。この第２可動フレーム１０５は、クランプねじ１１０を締め付けることで第２アーム１１１と一体となり、第１可動フレーム１０４に設置された微調整つまみ１１２の操作によって、回転軸１０７回りの方向（傾き）が微調整される。また、上記第１可動フレーム１０４は、図１６(Ｃ)に示すクランプねじ１１３を緩めることで、固定部１０３に対し回転軸１０６回りに３６０度回転自在とされる。この第１可動フレーム１０４は、クランプねじ１１３を締め付けることで、当該第１可動フレーム１０４内に配設された第１アーム１１４が固定部１０３と一体となり、第１可動フレーム１０４に設置された微調整つまみ１１５の操作によって、回転軸１０６回りの方向（傾き）が微調整される。
【０００５】
一方、図１７に示すミラーホルダ１０２は、特許文献１に図１８を用いて記載され、また特許文献２に記載されたものでもある。このミラーホルダ１０２は、固定部１２０に対して、ミラー１２１を支持する可動部１２２が、支点部１２３に対して水平及び垂直方向に所定の間隔を置いて配置された第１調整ねじ１２４及び第２調整ねじ１２５の操作によって、上記支持部１２３を支点として互いに直交する方向で方向調整（傾き調整）可能に構成されている。
【特許文献１】米国特許第６,３０４,３９３ Ｂ１号明細書
【特許文献２】特開２００２−２１８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、図１５及び図１６に示すミラーホルダ１０１では、回転軸１０６または１０７回りにミラー１０８の方向を微調整する場合に、ミラー１０８の中心点１０９が移動しないことから良好にミラー１０８の方向を調整することができるが、構造が複雑でコストが上昇してしまう。
【０００７】
また、図１７及び図１８に示すミラーホルダ１０２では、構造が簡単ではあるものの、支点部１２３がミラー１２１から外れた位置にあるため、第１調整ねじ１２４または第２調整ねじ１２５のいずれを用いてミラー１２１の方向を調整する場合にも、ミラー１２１の中心点位置が移動してしまい、ミラー１２１の方向を必ずしも良好に調整しているとは言えない。
【０００８】
本発明の目的は、上述の事情を考慮してなされたものであり、構造の簡素化を図りつつ、光学素子の方向を良好に調整できる光学素子ホルダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、光学素子を、その方向を調整して保持する光学素子ホルダにおいて、上記光学素子を支持するサポート部材と、取付部を備えたベース部材と、このベース部材と上記サポート部材との間に介在された中間部材と、上記ベース部材に設けられ、上記中間部材を上記ベース部材に対して揺動させるための第１支持軸を構成する複数本の第１支持部材と、上記中間部材に設けられ、上記サポート部材を上記中間部材に対して揺動させるための第２支持軸を構成する複数本の第２支持部材と、上記ベース部材と上記サポート部材との間に配設され、このサポート部材及び上記中間部材を上記ベース部材側に付勢する付勢部材と、上記ベース部材に螺装されて先端が上記中間部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材及び上記中間部材を上記第１支持軸回りに揺動させ、上記サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第１調整ねじ部材と、上記中間部材に螺装されて先端が上記サポート部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材を上記第２支持軸回りに揺動させ、当該サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第２調整ねじ部材とを有し、上記第１支持軸と上記第２支持軸とが直交し、これらの第１支持軸及び第２支持軸が、上記サポート部材に支持された上記光学素子の基準面に一致して設定されたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、互いに直交する上記第１支持軸と上記第２支持軸との交点が、サポート部材に支持された光学素子の基準面内に設けられたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記第１支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第１支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第１支持軸が構成され、また、上記第２支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第２支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第２支持軸が構成されることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、上記光学素子がミラーであり、上記基準面が上記ミラーの表面であることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の発明において、上記ベース部材と中間部材には、第１支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第１固定プレートにて固定可能に構成され、更に、上記中間部材とサポート部材には、第２支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第２固定プレートにて固定可能に構成されたことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明において、上記第１調整ねじ部材がベース部材の上部に、第２調整ねじ部材が中間部材の上部に、それぞれ設けられたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、上記第１支点部材及び第２支点部材は支点ねじにて構成され、この支点ねじに螺合する雌ねじ部には、上記支点ねじの頭部が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部が設けられたことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７のいずれかに記載の発明において、上記ベース部材には、サポート部材に支持された光学素子へ向かう光、または上記光学素子から導かれた光を通過させる切欠き部が設けられたことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８のいずれかに記載の発明において、上記ベース部材の取付部には、取り付け用の穴が２箇所以上設けられたことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれかに記載の発明において、上記付勢部材は、第１支点部材の全ての先端及び第１調整ねじ部材の先端が中間部材に当接し、且つ第２支点部材の全ての先端及び第２調整ねじ部材の先端がサポート部材に当接し得るように、当該付勢部材の数、配設位置及び付勢力の強さが設定されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１乃至４または１０に記載の発明によれば、サポート部材及び中間部材をベース部材に対して揺動させる第１支持軸と、サポート部材を中間部材に対して揺動させる第２支持軸とが直交し、これらの第１支持軸及び第２支持軸が、上記サポート部材に支持された光学素子の基準面に一致して設定されたことから、特に、第１支持軸と第２支持軸との交点が、上記サポート部材に支持された光学素子の基準面内に設けられた場合には、第１調整ねじ部材を用いて光学素子を、サポート部材及び中間部材を介し第１支持軸回りに傾き調整し、または、第２調整ねじ部材を用いて光学素子を、サポート部材を介し第２支持軸回りに傾き調整する場合にも、光学素子の基準面における中心位置が全く或いは殆んど移動しないので、光学素子の方向調整を良好に実施できる。
【００２０】
また、サポート部材及び中間部材がベース部材に対して第１支持軸回りに揺動可能とされ、更に、サポート部材が中間部材に対して第２支持軸回りに揺動可能とされたことから、サポート部材及び中間部材がベース部材に対して３６０度回転可能で、サポート部材が中間部材に対して３６０度回転可能な構造に比べ、装置の構造を簡素化できる。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、ベース部材と中間部材には、第１支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第１固定プレートにて固定可能に構成され、更に、上記中間部材とサポート部材には、第２支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第２固定プレートにて固定可能に構成されたことから、例えば、サポート部材及び中間部材を第１支持軸回りに傾き調整して、この中間部材をベース部材に第１固定プレートを用いて固定し、その後、サポート部材を第２支持軸回りに傾き調整して、このサポート部材を中間部材に第２固定プレートを用いて固定することができるので、サポート部材に支持された光学素子の傾き調整、つまり方向調整の後に、調整位置のロックを確実に実施できる。
【００２２】
請求項６に記載の発明によれば、第１調整ねじ部材がベース部材の上部に、第２調整ねじ部材が中間部材の上部にそれぞれ設けられたことから、これらの第１調整ねじ部材及び第２調整ねじ部材の操作を光学素子ホルダの上方から容易に実施できるので、操作性を向上させることができる。
【００２３】
請求項７に記載の発明によれば、支点ねじが螺合する雌ねじ部には、支点ねじの頭部が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部が設けられたことから、支点ねじに頭部近傍までねじ山が形成されるが、この頭部近傍のねじ山が不完全な場合にも、この不完全なねじ山部分が雌ねじ部の逃げ部に位置付けられるので、支点ねじを、雌ねじ部が形成された部材に頭部が接触する位置まで確実に締め付けて取り付けることができる。
【００２４】
請求項８に記載の発明によれば、ベース部材には、サポート部材に支持された光学素子へ向かう光、または光学素子から導かれた光を通過させる切欠き部が設けられたことから、例えば、光学素子の傾きが最大角度近くに設定されて当該光学素子の方向が調整されたときでも、この光学素子はその機能を十分に果たすことができる。
【００２５】
請求項９に記載の発明によれば、ベース部材の取付部には取り付け用の穴が２箇所以上設けられたことから、これら２箇所以上の取り付け用穴に取付ボルトなどを挿通することによって、光学素子ホルダを安定して取り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面に基づき説明する。
図１は、本発明に係る光学素子ホルダの一実施の形態であるミラーホルダを示し、（Ａ）が正面図、（Ｂ）が右側面図、（Ｃ）が平面図、（Ｄ）が背面図である。図５は、図１（Ｄ）のV‐V線に沿う断面図である。図６は、図１（Ｄ）のVI‐VI線に沿う断面図である。図７は、図１（Ｄ）のVII‐VII線に沿う断面図である。図８は、図１（Ｃ）において一部を図１（Ｄ）のVIII‐VIII線において切断した箇所を示す一部切欠き平面図である。
【００２７】
図１に示す光学素子ホルダとしてのミラーホルダ１０は、光学素子としてのミラー１１を、その方向を調整して保持するものであり、ベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４を有して構成される。これらのベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４が、第１支点部材としての２本の第１支点ねじ１５、第２支点部材としての２本の第２支点ねじ１６、付勢部材としての引っ張りコイルばね１７、第１調整ねじ部材としての第１調整ねじ１８、及び第２調整ねじ部材としての第２調整ねじ１９を用いて、後述の如く作動的に結合される。
【００２８】
ベース部材１２とサポート部材１４との間に中間部材１３が介在される。これらのベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４は略四角形のプレート形状であり、例えばアルミニウム材にて構成される。また、第１支点ねじ１５、第２支点ねじ１６、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９はステンレス材にて構成される。
【００２９】
ベース部材１２は、図１０に示すように、ベース本体２０の下部に取付部２１が一体成形して構成される。ベース本体２０の中央位置には、光を通過させるための開口２２が形成され、この開口２２に連通して切欠き部２３が形成される。この切欠き部２３も、開口２２と同様に、ミラーホルダ１０に保持されたミラー１１へ向かう光（入射光）、または上記ミラー１１から導かれる光（ミラー１１からの反射光またはミラー１１を透過した透過光）を通過させるものである。
【００３０】
上記ベース本体２０の上部及び下部には、図５に示す如く第１支点ねじ１５を螺装するためのねじ穴２４が形成されている。このねじ穴２４の内周には、図１０（Ｄ）に示すように雌ねじ２５が形成されるが、この雌ねじ２５には、第１支点ねじ１５の頭部２６が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部２７が設けられる。第１支点ねじ１５には頭部２６近傍位置までねじ山が形成されているが、この頭部２６近傍位置のねじ山は不完全な場合が多い。第１支点ねじ１５がねじ穴２４の雌ねじ部２５に螺合されたとき、この第１支点ねじ１５の頭部２６近傍位置のねじ山部分がねじ穴２４における雌ねじ部２５の逃げ部２７に位置付けられることで、第１支点ねじ１５は、その頭部２６がベース部材１２のベース本体２０に当接するまでねじ込まれて固定される。
【００３１】
図１０に示す上記ベース本体２０における上部コーナ部には、図７の如く第１調整ねじ１８を螺装するためのねじブッシュ２８を螺合するねじ穴２９が形成されている。また、ベース本体２０には、開口２２の周囲における複数の所定位置に、図８の如く引っ張りコイルばね１７が貫通する貫通孔３０が形成される。この貫通孔３０を臨むベース本体２０の背面側に、引っ張りコイルばね１７を係止する係止ピン３１(図８)を嵌合する嵌合溝３２が形成されている。
【００３２】
上記ベース本体２０の正面側には、図１（Ｂ）の如く第２支点ねじ１６の頭部３３を収容可能な収容凹部３４が、図１０（Ｂ）に示すように形成される。また、ベース本体２０の天面３５には、図４の如く第１固定プレート３６をビス固定するためのねじ穴３７が形成されている。更に、ベース部材１２の取付部２１には、複数（例えば２個）の取付穴３８が形成され、これらの取付穴３８に図示しない取付ボルトが挿通されてねじ込まれることで、ベース部材１２が、つまりミラーホルダ１０が所定位置に据え付けられる。
【００３３】
前記中間部材１３は、図１１に示すように、中央位置に光を通過させるための開口３９が形成される。この開口３９は、中間部材１３とベース部材１２との組みつけ状態で、ベース部材１２の開口２２と同軸になるよう設けられる。この開口３９は、図１１（Ａ）の上下方向に長軸を有する楕円形状に形成される。また、中間部材１３の上部及び下部は正面側へ突出し、この突出部４０に、図７の如く第１支点ねじ１５を配設ための凹陥部４１が形成される。これらの凹陥部４１の底部に、第１支点ねじ１５の先端部が当接するすり鉢形状、つまり断面三角形状の窪み部４２が、図１１に示すように設けられる。
【００３４】
上記中間部材１３には、図１１（Ａ）における左および右位置に、図６の如く第２支点ねじ１６を螺装するためのねじ穴４３が形成されている。このねじ穴４３の内周には、図１１（Ｅ）に示すように雌ねじ部４４が形成されるが、この雌ねじ部４４には、第２支点ねじ１６の頭部３３が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部４５が設けられる。第２支点ねじ１６にも、第１支点ねじ１５と同様に、頭部３３近傍位置までねじ山が形成され、この頭部３３近傍位置のねじ山は不完全な場合が多い。この第２支点ねじ１６がねじ穴４３の雌ねじ部４４に螺合されたときに、この第２支点ねじ１６の頭部３３近傍位置のねじ山部分がねじ穴４３における雌ねじ部４４の逃げ部４５に位置付けられることで、第２支点ねじ１６は、その頭部３３が中間部材１３に当接するまでねじ込まれて固定される。
【００３５】
上記中間部材１３には、図１１に示すように、上部コーナー部においてベース部材１２のねじ穴２９に対応する位置に、図７の如く第１調整ねじ１８の先端部が当接するための座４６が埋設される。この座４６は、焼き入れ処理されて硬度が高められたものが好ましい。また、中間部材１３の上部コーナー部において座４６と反対の位置に、図７の如く第２調整ねじ１９を螺装するためのねじブッシュ４７を螺合するねじ穴４８が形成されている。
【００３６】
上記中間部材１３には、図１１に示す開口３９の周囲における複数の所定位置に、図８の如く引っ張りコイルばね１８が貫通する貫通孔４９が形成される。この貫通孔４９は、中間部材１３とベース部材１２との組み付け状態で、ベース部材１２の貫通孔３０と同軸になる位置に設けられる。また、中間部材１３の天面５０には、図４及び図１（Ｃ）の如く第１固定プレート３６をビス固定するためのねじ穴５１が形成されている。更に、中間部材１３には、一方の側面５２に、図３及び図１（Ｂ）の如く第２固定プレート５５をビス固定するためのねじ穴５３が形成されている。
【００３７】
前記サポート部材１４は、図１２に示すように、中央位置に、光を通過させるための開口５４が形成される。この開口５４は、ベース部材１２及び中間部材１３との組み付け状態で、これらの開口２２及び３９と同軸に設けられる。この開口５４は、直径が中間部材１３の開口３９の短軸とほぼ等しい円形状に形成される。これらの開口５４及び３９内に、図６に示すように、ミラー１１を装着するミラーケース５６の筒部５７が配置される。サポート部材１４は、このミラーケース５６を介してミラー１１を支持する。
【００３８】
ここで、上記ミラーケース５６は、図１３に示すように、筒部５７の一端に取付フランジ５８が一体成形されて構成され、取付フランジ５８の適宜位置に、取り付け用のねじ穴５９が形成される。筒部５７には、内周面に段部６０が形成される。ミラー１１は、この段部６０に係止され、中間リング６１を介してねじリング６２が螺装されることにより筒部５７内に装着される。取付フランジ５８のねじ穴５９とサポート部材１４に形成されたねじ穴６３（図１２）とに取付ビス６４を螺合することによって、取付フランジ５８がサポート部材１４に固定されて、ミラーケース５６がサポート部材１４に取り付けられる。
【００３９】
上記サポート部材１４は、図１２に示すように、上部及び下部に、図１（Ａ）の如く中間部材１３の突出部４０を収容するための収容凹部６５が形成される。また、図１２に示すサポート部材１４には、左右位置に、図６の如く中間部材１３のねじ穴４３に螺装された第２支点ねじ１６の先端部が当接するすり鉢形状、つまり断面三角形状の窪み部６６が、図１２（Ｄ）に示すように形成されている。更に、上記サポート部材１４には、上部コーナー部において中間部材１３のねじ穴４８に対応する位置に、図７の如く第２調整ねじ１９の先端部が当接するための座６７が埋設されている。この座６７は、前記座４６と同様に、焼き入れ処理されて硬度が高められたものが好ましい。
【００４０】
図１２に示すサポート部材１４には、開口５４の周囲における複数の所定位置に、図８の如く突っ張りコイルばね１７が貫通する貫通孔６８が形成される。この貫通孔６８は、ベース部材１２及び中間部材１３との組み付け状態で、ベース部材１２の貫通孔３０及び中間部材１３の貫通孔４９と同軸となる位置に設けられる。これらの貫通孔６８内には、図２及び図８の如く引っ張りコイルばね１７を係止するための係止ピン６９を、貫通孔６８の直径方向に嵌入する嵌入穴７０が形成されている。また、サポート部材１４には、一方の側面７１に、図３及び図１（Ｂ）の如く第２固定プレート５５をビス固定するためのねじ穴７２が形成されている。
【００４１】
前記第１支点ねじ１５は、図１（Ｄ）及び図５に示すように、ベース部材１２のねじ穴２４に螺合される。この第１支点ねじ１５は、図９に示すように、先端に鋼球７３が埋設されて球面形状部分を備え、この鋼球７３が中間部材１３の窪み部４２に当接する。２本の第１支点ねじ１５における鋼球７３の中心Ｏを連ねた直線が第１支点軸７４となり、この第１支点軸７４を中心に中間部材１３が、サポート部材１４と共にベース部材１２に対し揺動可能に構成される。この中間部材１３の揺動方向を、図１（Ｃ）及び図７に矢印Ａで示す。この第１支点軸７４は、図９に示すように、サポート部材１４に支持されたミラー１１の基準面としての表面７６に一致する位置に設定される。尚、第１支点ねじ１５の先端部の鋼球７３は、中間部材１３の窪み部４２にリング状に接触して線接触状態となる。
【００４２】
前記第２支点ねじ１６は、図１（Ｄ）及び図６に示すように、中間部材１３のねじ穴４３に螺合される。この第２支点ねじ１６は、第１支点ねじ１５と同様に、図９に示すように、先端に鋼球７３が埋設されて球面形状部分を備え、この鋼球７３がサポート部材１４の窪み部６６に当接する。２本の第２支点ねじ１６における鋼球７３の中心Ｏを連ねた直線が第２支点軸７５となり、この第２支点軸７５を中心にサポート部材１４が中間部材１３に対し揺動可能に構成される。このサポート部材１４の揺動方向を図１（Ｂ）及び図５に矢印Ｂで示す。この第２支点軸７５は、図９に示すように、第１支点軸７４の場合と同様に、サポート部材１４に支持されたミラー１１の表面７６に一致する位置に設定される。尚、第２支点ねじ１６の先端の鋼球７３は、サポート部材１４の窪み部６６にリング形状に接触して線接触状態となる。
【００４３】
図１に示すように、第１支点ねじ１５が構成する第１支点軸７４と、第２支点ねじ１６が構成する第２支点軸７５とは互いに直交し、その交点Ｐは、サポート部材１４に支持されたミラー１１の表面７６の面内に設定される。特に、本実施の形態では、第１支点軸７４と第２支点軸７５との交点Ｐは、ミラー１１の表面７６の面内において、当該ミラー１１の光軸が当該ミラー１１の表面７６を横切る当該ミラー１１の中心点Ｑと一致する。従って、中間部材１３及びサポート部材１４がベース部材１２に対し第１支点軸７４回りに揺動する場合にも、更に、サポート部材１４が中間部材１３に対し第２支点軸７５回りに揺動する場合にも、サポート部材１４に支持されたミラー１１は、その中心点Ｑが移動することがない。
【００４４】
前記引っ張りコイルばね１７は、図８に示すように、ベース部材１２の貫通孔３０、中間部材１３の貫通孔４９及びサポート部材１４の貫通孔６８を貫通して配置される。そして、この引っ張りコイルばね１７は、図１（Ｄ）及び図２にも示すように、一端が係止ピン３１を用いてベース部材１２に支持され、他端が係止ピン６９を介してサポート部材１４に支持される。この引っ張りコイルばね１７による引っ張り方向の付勢力によって、中間部材１３及びサポート部材１４がベース部材１２の方向に付勢されて、ベース部材１２、中間部材１３及びサポート部材１４が組み付けられる。
【００４５】
前記第１調整ねじ１８は、図７に示すように、ねじブッシュ２８を介してベース部材１２に螺装され、先端が中間部材１３の座４６に当接する。この第１調整ねじ１８の先端には、第１支点ねじ１５及び第２支点ねじ１６と同様に鋼球８３が埋設されており、この鋼球８３が座４６に点接触する。第１調整ねじ１８が回転操作されることによって、引っ張りコイルばね１７と連係して、つまり引っ張りコイルばね１７の付勢力に抗しまたは付勢力の作用で、中間部材１３及びサポート部材１４は、ベース部材１２に対し第１支点軸７４回りに矢印Ａ方向に揺動して、図１（Ａ）に示すように、サポート部材１４に支持されたミラー１１の第１支点軸７４回りの傾きを調整可能とする。
【００４６】
前記第２調整ねじ１９は、図７に示すように、ねじブッシュ４７を介して中間部材１３に螺装され、先端がサポート部材１４の座６７に当接する。この第２調整ねじ１９の先端には、第１調整ねじ１８と同様に鋼球８３が埋設されて構成され、この鋼球８３が座６７に点接触する。第２調整ねじ１９が回転操作されることによって、引っ張りコイルばね１７と連係して、つまり引っ張りコイルばね１７の付勢力に抗しまたは付勢力の作用で、サポート部材１４は中間部材１３に対し第２支点軸７５回りに図１（Ｂ）に示す矢印Ｂ方向に揺動して、図１（Ａ）に示すように、サポート部材１４に支持されたミラー１１の第２支点軸７５回りの傾きを調整可能とする。
【００４７】
図１（Ｄ）に示すように、第１調整ねじ１８は、ベース部材１２の上部における一方側（図１（Ｄ）の左側）のコーナ部に、また、第２調整ねじ１９は、中間部材１３の上部における他方側（図１（Ｄ）の右側）のコーナ部にそれぞれ配置される。これにより、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９の操作がミラーホルダ１０の上方から容易に実施可能とされる。
【００４８】
尚、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９は、図７に示す鋼球８３を含めてステンレス材にて構成されるが、上記ねじブッシュ２８及び４７は真鍮またはほう金にて構成されて、第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９の回転操作の感触が滑らかになるよう設けられる。
【００４９】
図４に示すように、ベース部材１２と中間部材１３には、第１支点軸７４（図１（Ａ））に直交する天面３５、５０がそれぞれ形成され、これらの天面３５及び５０は同一平面位置に設けられる。これらの天面３５と天面５０に第１固定プレート３６が、図１（Ｃ）に示すように、取付ビス７７及び操作ビス７８を用いて固定されて、中間部材１３がベース部材１２に一体化されてロックされる。例えば、取付ビス７７はベース部材１２のねじ穴３７（図１０（Ｃ））に螺合され、操作ビス７８は中間部材１３のねじ穴５１（図１１（Ｄ））に螺合される。
【００５０】
上記第１固定プレート３６は、図１（Ｃ）に示すように、例えば取付ビス７７を用いてベース部材１２の天面３５に固定され、操作ビス７８を緩めた状態で第１調整ねじ１８が操作されて、中間部材１３及びサポート部材１４が第１支点軸７４回りに矢印Ａ方向に揺動され、この第１支点軸７４回りのミラー１１の傾きが調整された後、操作ビス７８の締め付けによって中間部材１３の天面５０に固定される。従って、図４に示すように、第１固定プレート３６には、操作ビス７８が挿通される箇所に、第１支点軸７４からねじ穴５１へ向かって伸びる直線に対しほぼ垂直に延びる長孔７９が形成されている。
【００５１】
図３に示すように、中間部材１３とサポート部材１４には、第２支点軸７５（図１（Ａ））に直交する側面５２、７１がそれぞれ形成され、これらの側面５２及び７１は同一平面位置に設けられる。これらの側面５２と側面７１に第２固定プレート５５が、図１（Ｂ）に示すように、取付ビス８０及び操作ビス８１を用いて固定されて、サポート部材１４が中間部材１３に一体化されてロックされる。例えば、取付ビス８０は、サポート部材１４のねじ穴７２（図１２（Ｂ））に螺合され、操作ビス８１は、中間部材１３のねじ穴５３（図３）に螺合される。
【００５２】
上記第２固定プレート５５は、図１（Ｂ）に示すように、例えば取付ビス８０を用いてサポート部材１４の側面７１に固定され、操作ビス８１を緩めた状態で第２調整ねじ１９が操作されて、サポート部材１４が第２支点軸７５回りに矢印Ｂ方向に揺動され、この第２支点軸７５回りのミラー１１の傾きが調整された後、操作ビス８１の締め付けによって中間部材１３の側面５２に固定される。従って、図３に示すように、第２固定プレート５５には、操作ビス８１が挿通される箇所に、第２支点軸７５からねじ穴５３へ向かって伸びる直線に対しほぼ垂直に延びる長孔８２が形成されている。
【００５３】
ところで、中間部材１３及びサポート部材１４をベース部材１２方向へ付勢する前記引っ張りコイルばね１７(図８)は、２本の第１支点ねじ１５(図５)の先端の鋼球７３が中間部材１３の窪み部４２に、第１調整ねじ１８(図７)の先端の鋼球８３が中間部材１３の座４６にそれぞれ当接し、更に、２本の第２支点ねじ１６(図６)の先端の鋼球７３がサポート部材１４の窪み部６６に、第２調整ねじ１９(図７)の先端の鋼球８３がサポート部材１４の座６７にそれぞれ当接し得るように、引っ張りコイルばね１７の本数、配設位置及び付勢力の強さが設定されている。
【００５４】
例えば、図１４に示すように、第１支点軸７４と第２支点軸７５の交点Ｐの位置を原点（０，０）とし、第２支点軸７５をＸ軸、第１支点軸７４をＹ軸としたとき、右左の第２支点ねじ１６の位置をそれぞれ１（Ｌ１Ｘ，０）、２（Ｌ２Ｘ，０）とし、３本の引っ張りコイルばね１７の軸心位置をそれぞれ３（Ｌ３Ｘ，Ｌ３Ｙ）、４（Ｌ４Ｘ，Ｌ４Ｙ）、７（Ｌ７Ｘ，Ｌ７Ｙ）とし、第２調整ねじ１９の位置を５（Ｌ５Ｘ，Ｌ５Ｙ）とし、第１調整ねじ１８の位置を６（Ｌ６Ｘ，Ｌ６Ｙ）とし、上下の第１支点ねじ１５の位置をそれぞれ８（０，Ｌ８Ｙ）、９（０，Ｌ９Ｙ）とする。
【００５５】
図１２（Ａ）の紙面に垂直で裏面へ向かう方向を正としたとき、サポート部材１４において、右左の窪み部６６へ第２支点ねじ１６から作用する力はそれぞれＦ１，Ｆ２となり、貫通孔６８内の係止ピン６９へ引っ張りコイルばね１７から作用する力はＦ３、Ｆ４、Ｆ７となり、座６７へ第２調整ねじ１９から作用する力はＦ５となる。そこで、サポート部材１４に作用する力の釣合式は式（１）となり、Ｘ軸（第２支点軸７５）回りのモーメントの釣合式は式（２）となり、Ｙ軸（第１支点軸７４）回りのモーメントの釣合式は式（３）となる。
Ｆ１+Ｆ２+Ｆ３+Ｆ４+Ｆ５+Ｆ７＝０ ……（１）
Ｆ５Ｌ５Ｙ+Ｆ３Ｌ３Ｙ+Ｆ４Ｌ４Ｙ+Ｆ７Ｌ７Ｙ＝０ ……（２）
Ｆ１Ｌ１Ｘ+Ｆ３Ｌ３Ｘ+Ｆ５Ｌ５Ｘ+Ｆ２Ｌ２Ｘ+Ｆ４Ｌ４Ｘ+Ｆ７Ｌ７Ｘ＝０ ……（３）
【００５６】
また、図１１（Ａ）の紙面に垂直で裏面へ向かう方向を正としたとき、中間部材１３において、右左のねじ穴４３に第２支点ねじ１６を介して作用する力（反作用）は−Ｆ１、−Ｆ２となり、ねじ穴４８に第２調整ねじ１９を介して作用する力（反作用）は−Ｆ５となり、座４６に第１調整ねじ１８から作用する力はＦ６となり、上下の窪み部４２に第１支点ねじ１５から作用する力はそれぞれＦ８、Ｆ９となる。そこで、中間部材１３に作用する力の釣合式は式（４）となり、Ｘ軸（第２支点軸７５）回りのモーメントの釣合式は式（５）となり、Ｙ軸（第１支点軸７４）回りのモーメントの釣合式は式（６）となる。
−Ｆ１−Ｆ２−Ｆ５+Ｆ６+Ｆ８+Ｆ９＝０ ……（４）
−Ｆ５Ｌ５Ｙ+Ｆ６Ｌ６Ｙ+Ｆ８Ｌ８Ｙ+Ｆ９Ｌ９Ｙ＝０ ……（５）
−Ｆ１Ｌ１Ｘ−Ｆ５Ｌ５Ｘ−Ｆ２Ｌ２Ｘ+Ｆ６Ｌ６Ｘ＝０ ……（６）
【００５７】
更に、図１０（Ａ）の紙面に垂直で裏面へ向かう方向を正としたとき、ベース部材１２において、貫通孔３０内の引っ張りコイルばね１７から係止ピン３１を介して作用する力（反作用）は−Ｆ３、−Ｆ４、−Ｆ７となり、ねじ穴２９に第１調整ねじ１８を介して作用する力（反作用）は−Ｆ６となり、上下のねじ穴２４に第１支点ねじ１５を介して作用する力（反作用）は−Ｆ８、−Ｆ９となる。そこで、このベース部材１２に作用する力の釣合式は式（７）となり、Ｘ軸（第２支点軸７５）回りのモーメントの釣合式は式（８）となり、Ｙ軸（第１支点軸７４）回りのモーメントの釣合式は式（９）となる。
−Ｆ３−Ｆ４−Ｆ６−Ｆ７−Ｆ８−Ｆ９＝０ ……（７）
−Ｆ３Ｌ３Ｙ−Ｆ４Ｌ４Ｙ−Ｆ６Ｌ６Ｙ−Ｆ８Ｌ８Ｙ−Ｆ７Ｌ７Ｙ−Ｆ９Ｌ９Ｙ＝０……（８）
−Ｆ３Ｌ３Ｘ−Ｆ４Ｌ４Ｘ−Ｆ６Ｌ６Ｘ−Ｆ７Ｌ７Ｘ＝０ ……（９）
【００５８】
上記力Ｆ１、Ｆ２、Ｆ５、Ｆ６、Ｆ８及びＦ９が正となって、第２支点ねじ１６及び第２調整ねじ１９の先端がサポート部材１４に当接し、第１調整ねじ１８及び第１支点ねじ１５の先端が中間部材１３に当接し得るようにパラメータ（力Ｆ１〜Ｆ９及び各位置１〜９）を決定する。
【００５９】
例えば、引っ張りコイルばね１７に関しＦ３＝Ｆ４＝Ｆ７＝−１０Ｎ（引っ張りばね）とし、第２支点ねじ１６の位置に関しＬ１Ｘ＝２０、Ｌ２Ｘ＝−２０とし、引っ張りコイルばね１７の位置に関し（Ｌ３Ｘ，Ｌ３Ｙ）＝（２０，１０）、（Ｌ４Ｘ，Ｌ４Ｙ）＝（−２０，１０）、（Ｌ７Ｘ，Ｌ７Ｙ）＝（−２０，−１０）とし、第２調整ねじ１９の位置に関し（Ｌ５Ｘ，Ｌ５Ｙ）＝（２０，２０）とし、第１調整ねじ１８の位置に関し（Ｌ６Ｘ，Ｌ６Ｙ）＝（−２０，２０）とし、第１支点ねじ１５の位置に関しＬ８Ｙ＝２０，Ｌ９Ｙ＝−２０とすると、Ｆ１＝５Ｎ、Ｆ２＝２０Ｎ、Ｆ５＝５Ｎ、Ｆ６＝１０Ｎ、Ｆ８＝（１５／２）Ｎ、Ｆ９＝（２５／２）Ｎとなる。
【００６０】
以上のように構成されたことから、上記実施の形態によれば、次の効果（１）〜（７）を奏する。
（１）図１に示すサポート部材１４及び中間部材１３をベース部材１２に対して揺動させる第１支点軸７４と、サポート部材１４を中間部材１３に対して揺動させる第２支点軸７５とが直交し、これらの第１支点軸７４及び第２支点軸７５が、サポート部材１４に支持されたミラー１５の表面７６(図９)に一致して設けられたことから、特に、第１支点軸７４と第２支点軸７５との交点Ｐが、サポート部材１４に支持されたミラー１５の表面７６内における中心点Ｑに設けられた場合には、第１調整ねじ１８を用いてミラー１１を、サポート部材１４及び中間部材１３を介し第１支点軸７４回りに傾き調整し、または、第２調整ねじ１９を用いてミラー１１を、サポート部材１４を介し第２支点軸７５回りに傾き調整する場合にも、ミラー１１の表面７６における中心点Ｑが全く移動しないので、ミラー１５の方向調整を良好に実施できる。
【００６１】
（２）サポート部材１４及び中間部材１３がベース部材１２に対し第１支点軸７４回りに揺動可能とされ、更に、サポート部材１４が中間部材１３に対して第２支点軸７５回りに揺動可能とされたことから、図１５に示すジンバル方式のミラーホルダ１０１のように、第１可動フレーム１０４が固定部１０３に対して３６０度回転可能で、第２可動フレーム１０５が第１可動フレーム１０４に対して３６０度回転可能な構造に比べ、ミラーホルダ１０の装置構造を簡素化でき、そのコストを低減できる。
【００６２】
（３）ベース部材１２と中間部材１３には、第１支点軸７４(図４)に直交する天面３５、５０がそれぞれ形成され、これらの天面３５、５０が第１固定プレート３６にて固定可能に構成される。更に、中間部材１３とサポート部材１４には、第２支点軸７５(図３)に直交する側面５２、７１がそれぞれ形成され、これらの側面５２、７１が第２固定プレート５５にて固定可能に構成される。これらのことから、例えば、サポート部材１４及び中間部材１３を第１支点軸７４回りに傾き調整して、この中間部材１３をベース部材１２に第１固定プレート３６を用いて固定し、その後、サポート部材１４を第２支点軸７５回りに傾き調整して、このサポート部材１４を中間部材１３に第２固定プレート５５を用いて固定することができるので、サポート部材１４に支持されたミラー１１の傾き調整、つまり方向調整の後に、調整位置のロックを確実に実施できる。
【００６３】
（４）第１調整ねじ１８(図１)がベース部材１２の上部に、第２調整ねじ１９が中間部材１３の上部にそれぞれ設けられたことから、これらの第１調整ねじ１８及び第２調整ねじ１９の操作をミラーホルダ１０の上方から容易に実施できるので、その操作性を向上させることができる。
【００６４】
（５）第１支点ねじ１５(図５)が螺合するベース部材１２におけるねじ穴２４の雌ねじ部２５、第２支点ねじ１６(図６)が螺合する中間部材１３におけるねじ穴４３の雌ねじ部４４には、第１支点ねじ１５の頭部２６、第２支点ねじ１６の頭部３３がそれぞれ位置づけられる位置に、ねじ溝が形成されない逃げ部２７、４５が設けられたことから、第１支点ねじ１５、第２支点ねじ１６には、それぞれの頭部２６、３３近傍までねじ山が形成されるが、これらの頭部近傍のねじ山が不完全な場合にも、これらの不完全なねじ山部分が雌ねじ部２５の逃げ部２７、雌ねじ部４４の逃げ部４５のそれぞれに位置づけられるので、第１支点ねじ１５を、その頭部２６がベース部材１２に位置する位置まで確実に締め付けて取り付けることができ、また、第２支点ねじ１６を、その頭部３３が中間部材１３に接触する位置まで確実に締め付けて取り付けることができる。
【００６５】
（６）ベース部材１２(図１(Ｄ))には、サポート部材１４に支持されたミラー１１へ向かう光、またはミラー１１から導かれた光を通過させる切欠き部２３が設けられたことから、例えばミラー１１の傾きが最大角度（例えば４５度）近くに設定されて当該ミラー１１の方向が調整されたときでも、このミラー１１はその機能を十分に果たすことができる。
【００６６】
（７）ベース部材１２(図１０)の取付部２１には、取付孔３８が２箇所を設けられたことから、これら２箇所の取付孔３８に取付ボルト（不図示）などを挿通することによって、ミラーホルダ９を安定して据え付けることができる。
【００６７】
以上、本発明を上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、上記実施の形態では、第１支点軸７４と第２支点軸７５との交点Ｐは、サポート部材１４に支持されたミラー１１の中心点Ｑと一致するものを述べたが、上記ミラー１１の表面７６内の任意の位置にあってもよい。また、上記実施の形態では、光学素子がミラー１１の場合を述べたが、レンズや光学フィルタなどであってもよい。光学素子がレンズの場合には、当該レンズの肉厚の中心を通り光軸に垂直な面が基準面として設定される。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明に係る光学素子ホルダの一実施の形態であるミラーホルダを示し、（Ａ）が正面図、（Ｂ）が右側面図、（Ｃ）が平面図、（Ｄ）が背面図である。
【図２】図１(Ａ）のミラーホルダにおいてミラーケース５６を取り除いて示す正面図である。
【図３】図１（Ｂ）の操作ビス８１を取り除いて示すミラーホルダの右側面図である。
【図４】図１（Ｃ）の操作ビス７８を取り除いて示すミラーホルダの平面図である。
【図５】図１（Ｄ）のV‐V線に沿う断面図である。
【図６】図１（Ｄ）のVI‐VI線に沿う断面図である。
【図７】図１（Ｄ）のVII‐VII線に沿う断面図である。
【図８】図１（Ｃ）において一部を図１（Ｄ）のVIII‐VIII線において切断した箇所を示す一部切欠き平面図である。
【図９】図５及び図６における支点ねじ先端とミラーとの関係を示す側面図である。
【図１０】図１のベース部材を示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１０（Ａ）の右側面図、（Ｃ）が図１０（Ａ）の平面図、（Ｄ）が図１０（Ａ）のＤ‐Ｄ線に沿う断面図である。
【図１１】図１の中間部材を示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１１（Ａ）の左側面図、（Ｃ）が図１１（Ａ）の右側面図、（Ｄ）が図１１（Ａ）のＤ‐Ｄ線に沿う断面図、（Ｅ）が図１１（Ａ）のＥ‐Ｅ線に沿う断面図、（Ｆ）が図１１（Ａ）の正面図である。
【図１２】図１のサポート部材を示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１２（Ａ）の左側面図、（Ｃ）が図１２（Ａ）の平面図であって、その一部に図１２（Ａ）のＣ‐Ｃ線において切断した箇所を含む図、（Ｄ）が図１２（Ａ）のＤ‐Ｄ線に沿う断面図、（Ｅ）が図１２（Ａ）の正面図である。
【図１３】図１のミラーケースを示し、（Ａ）が背面図、（Ｂ）が図１３（Ａ）のＢ‐Ｂ線に沿う断面図、（Ｃ）が図１３（Ａ）の正面図である。
【図１４】図１（Ｄ）と同様なミラーホルダの背面図である。
【図１５】従来におけるジンバル式のミラーホルダを示す斜視図である。
【図１６】図１５のミラーホルダを示し、（Ａ）が縦断面図、（Ｂ）が図１６（Ａ）のＢ‐Ｂ線に沿う断面図、（Ｃ）が図１６（Ａ）のＣ‐Ｃ線に沿う断面図である。
【図１７】従来におけるキネマティック式のミラーホルダを示す斜視図である。
【図１８】図１７と同様なミラーホルダの分解斜視図である。
【符号の説明】
【００６９】
１０ ミラーホルダ（光学素子ホルダ）
１１ ミラー（光学素子）
１２ ベース部材
１３ 中間部材
１４ サポート部材
１５ 第１支点ねじ（第１支点部材）
１６ 第２支点ねじ（第２支点部材）
１７ 引っ張りコイルばね（付勢部材）
１８ 第１調整ねじ（第１調整ねじ部材）
１９ 第２調整ねじ（第２調整ねじ部材）
２１ 取付部
２３ 切欠き部
２５ 雌ねじ部
２７ 逃げ部
３５ 天面（平面）
３６ 第１固定プレート
３８ 取付穴
４４ 雌ねじ部
４５ 逃げ部
５０ 天面（平面）
５２ 側面（平面）
５５ 第２固定プレート
７３ 鋼球
７４ 第１支点軸
７５ 第２支点軸
７６ 表面（基準面）
７７ 取付ビス
７８ 操作ビス
８０ 取付ビス
８１ 操作ビス
Ｐ 第１支点軸と第２支点軸との交点
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子を、その方向を調整して保持する光学素子ホルダにおいて、
上記光学素子を支持するサポート部材と、
取付部を備えたベース部材と、
このベース部材と上記サポート部材との間に介在された中間部材と、
上記ベース部材に設けられ、上記中間部材を上記ベース部材に対して揺動させるための第１支持軸を構成する複数本の第１支持部材と、
上記中間部材に設けられ、上記サポート部材を上記中間部材に対して揺動させるための第２支持軸を構成する複数本の第２支持部材と、
上記ベース部材と上記サポート部材との間に配設され、このサポート部材及び上記中間部材を上記ベース部材側に付勢する付勢部材と、
上記ベース部材に螺装されて先端が上記中間部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材及び上記中間部材を上記第１支持軸回りに揺動させ、上記サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第１調整ねじ部材と、
上記中間部材に螺装されて先端が上記サポート部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材を上記第２支持軸回りに揺動させ、当該サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第２調整ねじ部材とを有し、
上記第１支持軸と上記第２支持軸とが直交し、これらの第１支持軸及び第２支持軸が、上記サポート部材に支持された上記光学素子の基準面に一致して設定されたことを特徴とする光学素子ホルダ。
【請求項２】
互いに直交する上記第１支持軸と上記第２支持軸との交点が、サポート部材に支持された光学素子の基準面内に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の光学素子ホルダ。
【請求項３】
上記第１支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第１支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第１支持軸が構成され、また、上記第２支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第２支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第２支持軸が構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子ホルダ。
【請求項４】
上記光学素子がミラーであり、上記基準面が上記ミラーの表面であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項５】
上記ベース部材と中間部材には、第１支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第１固定プレートにて固定可能に構成され、更に、上記中間部材とサポート部材には、第２支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第２固定プレートにて固定可能に構成されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項６】
上記第１調整ねじ部材がベース部材の上部に、第２調整ねじ部材が中間部材の上部に、それぞれ設けられたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項７】
上記第１支点部材及び第２支点部材は支点ねじにて構成され、この支点ねじに螺合する雌ねじ部には、上記支点ねじの頭部が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部が設けられたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項８】
上記ベース部材には、サポート部材に支持された光学素子へ向かう光、または上記光学素子から導かれた光を通過させる切欠き部が設けられたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項９】
上記ベース部材の取付部には、取り付け用の穴が２箇所以上設けられたことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項１０】
上記付勢部材は、第１支点部材の全ての先端及び第１調整ねじ部材の先端が中間部材に当接し、且つ第２支点部材の全ての先端及び第２調整ねじ部材の先端がサポート部材に当接し得るように、当該付勢部材の数、配設位置及び付勢力の強さが設定されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項１】
光学素子を、その方向を調整して保持する光学素子ホルダにおいて、
上記光学素子を支持するサポート部材と、
取付部を備えたベース部材と、
このベース部材と上記サポート部材との間に介在された中間部材と、
上記ベース部材に設けられ、上記中間部材を上記ベース部材に対して揺動させるための第１支持軸を構成する複数本の第１支持部材と、
上記中間部材に設けられ、上記サポート部材を上記中間部材に対して揺動させるための第２支持軸を構成する複数本の第２支持部材と、
上記ベース部材と上記サポート部材との間に配設され、このサポート部材及び上記中間部材を上記ベース部材側に付勢する付勢部材と、
上記ベース部材に螺装されて先端が上記中間部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材及び上記中間部材を上記第１支持軸回りに揺動させ、上記サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第１調整ねじ部材と、
上記中間部材に螺装されて先端が上記サポート部材に当接し、上記付勢部材と連係して、上記サポート部材を上記第２支持軸回りに揺動させ、当該サポート部材に支持された上記光学素子の傾きを調整可能とする第２調整ねじ部材とを有し、
上記第１支持軸と上記第２支持軸とが直交し、これらの第１支持軸及び第２支持軸が、上記サポート部材に支持された上記光学素子の基準面に一致して設定されたことを特徴とする光学素子ホルダ。
【請求項２】
互いに直交する上記第１支持軸と上記第２支持軸との交点が、サポート部材に支持された光学素子の基準面内に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の光学素子ホルダ。
【請求項３】
上記第１支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第１支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第１支持軸が構成され、また、上記第２支持部材は、その先端に球面形状部分を備え、複数の当該第２支持部材における上記球面形状部分の中心を連ねた直線にて第２支持軸が構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子ホルダ。
【請求項４】
上記光学素子がミラーであり、上記基準面が上記ミラーの表面であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項５】
上記ベース部材と中間部材には、第１支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第１固定プレートにて固定可能に構成され、更に、上記中間部材とサポート部材には、第２支持軸に直交する平面がそれぞれ形成され、これらの平面が第２固定プレートにて固定可能に構成されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項６】
上記第１調整ねじ部材がベース部材の上部に、第２調整ねじ部材が中間部材の上部に、それぞれ設けられたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項７】
上記第１支点部材及び第２支点部材は支点ねじにて構成され、この支点ねじに螺合する雌ねじ部には、上記支点ねじの頭部が位置付けられる近傍に、ねじ溝が形成されない逃げ部が設けられたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項８】
上記ベース部材には、サポート部材に支持された光学素子へ向かう光、または上記光学素子から導かれた光を通過させる切欠き部が設けられたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項９】
上記ベース部材の取付部には、取り付け用の穴が２箇所以上設けられたことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項１０】
上記付勢部材は、第１支点部材の全ての先端及び第１調整ねじ部材の先端が中間部材に当接し、且つ第２支点部材の全ての先端及び第２調整ねじ部材の先端がサポート部材に当接し得るように、当該付勢部材の数、配設位置及び付勢力の強さが設定されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の光学素子ホルダ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２００６−１７１３５０（Ｐ２００６−１７１３５０Ａ）
【公開日】平成１８年６月２９日（２００６．６．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−３６３６１３（Ｐ２００４−３６３６１３）
【出願日】平成１６年１２月１５日（２００４．１２．１５）
【出願人】（５９２２５３７３６）シグマ光機株式会社 (46)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年６月２９日（２００６．６．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年１２月１５日（２００４．１２．１５）
【出願人】（５９２２５３７３６）シグマ光機株式会社 (46)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]