【課題】反射鏡定位構造及びそのレーザスキャン装置を提供する。
【解決手段】
本考案の反射鏡定位構造は、反射鏡を支持することに用い、反射鏡収納部材と、支持部材と、を含む。反射鏡収納部材は、収納部及び該収納部と接続するガイド柱を有し、該反射鏡の一端が該収納部に固定される。支持部材は、該反射鏡収納部材を支持することに用い、溝と、固定部材と、を含み、該溝は、該反射鏡収納部材の該ガイド柱を支持することに用い、該ガイド柱が該溝に突出し、該固定部材は、該溝付近に設置され、該ガイド柱を固定することに用い、該反射鏡を該反射鏡定位構造に固定可能にする。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの機械的強度の低下を抑制してハーフミラーの検査を可能とする機構が設けられた光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】光ピックアップ装置１０では、射出成形された樹脂材料から成るハウジング１２の内部に各種光学素子が収納されている。光学素子の１つであるハーフミラー２２の露出部３２は、ハウジング１２の底面部３４から外部に露出している。露出している３２の反射面は、ハウジング１２の底面部３４を外側から溝状に窪ませた溝部３０を経由して外部に面している。ハーフミラー２２の据付角度を確認する際には、溝部３０を経由してオートコリメータからの光線をハーフミラー２２に照射する。 （もっと読む）

【課題】複数のスポークを有するスパイダにＥＵＶの斜入射集光器（ＧＩＣシェル）を固定するための調節クリップが開示される。
【解決手段】クリップ１０が備える基体は、スパイダのスポークに固定され、上面を有する。クリップ１０が備えるフォーク部材２０は、端部に端部パッド３６を有する突起３０を２つ保持すると共に、突起３０の端部とは反対側の端部に第１ヒンジ部３８を保持する。ヒンジリーフ６０は基体の上面に固定され、第１ヒンジ部３８と動作可能に係合する第２ヒンジ部６１を有し、フォーク部材２０を回転調節可能にするヒンジが形成される。ＧＩＣシェルは、２つの端部パッド３６によるクリップの自己調節によって光学的に位置合わせされる。ＧＩＣシェルが位置合わせされると、端部パッド３６がＧＩＣシェルの外面に固定される。これにより、クリップは、ＧＩＣシェルをスパイダに対して定位置に固定する剛性支持部材となる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成、容易な作業でダイクロイックミラーの傾斜角が調整可能なプロジェクターを提供する。
【解決手段】プロジェクターは、光源と、光源から射出された光束のうちＧ光を反射し、Ｒ光を透過して入射する光束を分離するＧ光反射ダイクロイックミラー３３２と、Ｇ光反射ダイクロイックミラー３３２を収納する光学部品用筐体４と、Ｇ光反射ダイクロイックミラー３３２の一端を保持し、光軸Ｌに対して略垂直に延びる回転軸６Ｊを中心にして光学部品用筐体４に回転可能に支持される保持部材６と、Ｇ光反射ダイクロイックミラー３３２にて分離された光束を画像情報に応じて変調し、画像光を形成する光学装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の変位量を簡易な構成で計測することができる変位センサ、駆動装置、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の変位量を計測可能に構成され、圧電部材５３に対する電圧の印加に伴って、圧電部材５３から駆動力が伝達されて凹面鏡４１に対して接触する接触位置まで変位する接触部材５８と、接触部材５８の変位量を計測する受光素子６２と、受光素子６２の計測結果に基づき、接触部材５８が接触位置まで変位したか否かを判別すると共に、接触部材５８が接触位置まで変位した旨を判別した時点での接触部材５８の位置を、凹面鏡４１の変位量を計測する際の基準となるスケール６０の原点として設定する制御装置６４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 監視する対象物を確実に監視することができる反射鏡回転装置を提供すること。
【解決手段】 反射鏡２と、反射鏡２が固定された第１回転軸３と、第１回転軸３を両端で回転可能に支持している第１支持部材４と、第１回転軸３と直交して配置され、第１支持部材４が固定された第２回転軸５と、第２回転軸５を両端で回転可能に支持している第２支持部材６とを含む反射鏡回転装置１である。２つの回転軸３，５周りの回転を組み合わせることによって反射鏡２を上下左右に向けて自由に回転させることができるので、反射鏡２を広範囲の領域に向けることが可能であり、反射鏡２を対象物の動きに対応させて自由に動かすことができ、監視者は反射鏡２を用いてその対象物を確実に視認して監視することができる。 （もっと読む）

【課題】感光体における複数のビームの副走査方向の間隔を調整できる新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】ＬＤ４は、ビームＢ１，Ｂ２を放射する。コリメータレンズ６は、ＬＤ４が放射したビームＢ１，Ｂ２を平行光に変換する。シリンドリカルレンズ１４は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２を、副走査方向に集光する。ポリゴンミラー１８は、シリンドリカルレンズ１４により集光されたビームＢ１，Ｂ２を偏向する。ミラー１０は、ビームＢ１，Ｂ２が通過する経路上においてコリメータレンズ６とシリンドリカルレンズ１４との間に設けられ、かつ、シリンドリカルレンズ１４の主点位置からシリンドリカルレンズ１４の焦点距離Ｌだけ離れた位置に設けられている。ミラー１０は、コリメータレンズ６により平行光に変換されたビームＢ１，Ｂ２の進行方向を副走査方向に傾けることができる。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学特性を高精度に調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に固定される第２永久磁石７２と、第２永久磁石７２に対向して配置される第１永久磁石７１と、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて、第１永久磁石７１を第２永久磁石７２に対して相対距離が変化するように変位させる変位機構８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学特性を精度よく調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に対して当接する当接部材７０と、当接部材７０に連結され、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて変位する変位部材６５と、アクチュエータ６１からの駆動力に基づき変位する連結部材５７，６３を有し、該連結部材５７，６３の変位量を拡大して変位部材６５に伝達する変位拡大機構７３と、当接部材７０と変位部材６５との間に設けられ、変位拡大機構７３から伝達される変位部材６５の変位量を縮小して当接部材７０に伝達するコイルスプリング６９と、変位部材６５の変位量を計測する変位センサ６７と、変位センサ６７の計測結果に基づき、変位部材６５の変位量を制御する制御機構６８とを備える。 （もっと読む）

【課題】商品等の物品に付されているシンボルが読取部に正しくかざされているか否かを、オペレータが目視により容易に確認できるようにする。
【解決手段】ＣＣＤカメラ３１をケース６０に収納する。ケース６０のＣＣＤカメラ３１における撮像素子の撮像面と対向する面に、物品に付されたシンボルを位置させるための読取枠１５を形成する。ケース６０より外側の読取枠１５の領域内に位置する物品を照射するためのＬＥＤ光源１７，１８を取り付ける。ＬＥＤ光源１７，１８によって照射される物品からの反射光の一部を透過させ、残りを反射させるハーフミラー１６を、読取枠１５に嵌め込む。 （もっと読む）

【課題】複写機等の画像形成装置に搭載される光走査装置等に備えられる光学装置に用いられる振動ミラーの位置及び角度を高精度で調整する位置角度調整装置及び方法、かかる光学装置及びその製造方法、かかる光学装置を備えた光走査装置、これを有するかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】光学装置の所定の位置に所定の姿勢で設置される固定部材３１を、当該所定の位置及び当該所定の姿勢と同一視される位置及び姿勢で固定する位置決め固定部５２ａと、固定部材３１に固定された状態で振動ミラーモジュール２８に含まれる振動ミラーが光学装置の所定の位置に所定の姿勢で位置決めされるように、振動ミラーモジュール２８を保持した保持部材６１の位置、姿勢を、位置決め固定部５２ａに前記位置及び姿勢で固定された固定部材３１に対して、ＸＹＺ軸上及びこれらの軸の周りの角度αβγでそれぞれ設定する位置角度設定手段とを用いる。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成でカラーレジ補正を行なうことができ、色ずれを抑制することができる光走査装置等を提供する。
【解決手段】レーザー光束ＬＹ，ＬＭ，ＬＣ，ＬＫを出射する複数のレーザー光源５１と、レーザー光束ＬＹ，ＬＭ，ＬＣ，ＬＫが対応する感光体ドラム３１Ｙ，３１Ｍ，３１Ｃ，３１Ｋ上を直線状に走査するように回転多面鏡を移動させる走査手段と、レーザー光束ＬＹ，ＬＭ，ＬＣ，ＬＫが、予め定められた角度に対し小さい角度で入射するように配置する平面反射鏡６２Ｙ，６２Ｍ，６２Ｃ，６２Ｋと、大きい角度で入射するように配置する平面反射鏡６３Ｙ，６３Ｍ，６３Ｃ，６３Ｋとからなる複数の平面反射鏡を備える偏向後光学系と、平面反射鏡６２Ｙ，６２Ｍ，６２Ｃ，６２Ｋおよび平面反射鏡６３Ｙ，６３Ｍ，６３Ｃ，６３Ｋの角度を変更する角度変更手段と、を備えることを特徴とする光走査装置２６。 （もっと読む）

【課題】 組立調整が容易で部品点数も少ない簡便な構成で、どちらの方向の走査線曲がりも調整可能な走査光学装置を提供する。
【解決手段】 半導体レーザとコリメータレンズを具備した光源装置と、光源装置から出射されたレーザ光束を偏向する偏向手段と、偏向手段により偏向されたレーザ光束を感光体上に結像走査する結像光学系と、光学的に偏向手段と感光体の間に配置される直方体の折り返しミラーと、これらを収容する光学箱とを有し、折返しミラーの両端を反射面側とその反対側から挟んで固定する構成であって、反射面側とその反対側から当接する部分とが互いに交差しており、折返しミラーは反射面と平行な平面内でスライド調整可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性および耐久性の高いミラー位置調整装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ミラー位置調整装置は、パルスモーターから伝達される動力によって回転するとともに、ＶＩＰＡ板などの光部品から出射された光を受光可能な受光面を有するステージを有する。また、ミラー位置調整装置は、ステージの受光面上に設けられ、ステージが回転することで移動するとともに、光部品から出射された光を反射させるミラーを有する。また、ミラー位置調整装置は、一端をステージに、他端を支持部材に接続され、受光面に対する垂線と平行になるようにステージに接続されたシャフトを有する。 （もっと読む）

【課題】全長の長い投影光学系であってもそれを必要な設置場所に容易に設置できるとともに、設置場所における組立調整を短時間に行う。
【解決手段】下部鏡筒６Ａと上部鏡筒６Ｂとを有する投影光学系ＰＯの組立方法は、投影光学系ＰＯの光学特性が調整された状態で、下部鏡筒６Ａと上部鏡筒６Ｂとの相対位置関係を記憶し、下部鏡筒６Ａと上部鏡筒６Ｂとを分解する工程と、次に下部鏡筒６Ａと上部鏡筒６Ｂとを互いに固定する際、記憶された相対位置関係に基づいて、下部鏡筒６Ａと上部鏡筒６Ｂとの相対位置を調整する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 主反射鏡部を構成する主反射鏡支持構造、及び副反射鏡を支持する副反射鏡支持構造の熱変形による指向方向の誤差を算出し、指向方向を補正することができる望遠鏡装置を得ることを目的とする。
【解決手段】 感度係数記憶部１９に主反射鏡支持構造と副反射鏡支持構造の温度変化に対する、主反射鏡の鏡面と副反射鏡の位置の熱変形による変位量を表す感度係数を記憶する。測定された温度データ群と感度係数記憶部１９に記憶された感度係数により、熱変形計算部２０において主反射鏡の鏡面と副反射鏡の位置の変位量を算出する。上記の変位量に基づきパラボラ推定計算部２１で変形後のパラボラ形状を推定して算出する。推定したパラボラ形状に基づき指向誤差計算部２２において指向誤差を算出し、ＡＺ／ＥＬ補正角計算部２３において駆動の補正角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、しかも短時間で光学部品の位置調整を行うことが可能な、光学部品の固定構造を提供する。
【解決手段】画像を投影する光学部品を、保持部材を介して載置台に固定される光学部品の固定構造において、前記載置台に突設した突設部と、前記保持部材に設けられ、前記突設部が６軸方向に移動可能且つ遊貫自在に嵌合している第１の貫通孔と、前記保持部材の載置台と対向しない面に固定された板状の調整プレートと、該調整プレートの前記保持部材に設けられた貫通孔と対向する位置に設けられ、前記突設部が６軸方向に移動可能且つ遊貫自在に嵌合している第２の貫通孔と、を有し、前記第１の貫通孔、前記第２の貫通孔と前記突設部の位置関係を調整し、該調整した位置で、前記突設部の前記調整プレートからの突出部と、前記調整プレートとを接着剤によって固着し、前記光学部品を載置台に取り付ける。 （もっと読む）

平行光ビーム二次元整列アレイを発生させるビーム整列システムであって、長尺で前縁、第１側縁及び第２側縁のあるベース並びに個別のヨー調整及びピッチ調整が可能な複数個のベース側反射器を有するビーム整列室と、それぞれ光ビームアレイを発生させる複数個の光源アレイと、を備える。本ビーム整列システムでは、光源アレイのうちベース側反射器と対をなすもので生じた光ビームアレイがそのベース側反射器にてビーム整列室の長手方向沿いに反射され、それらの光ビームアレイで平行光ビーム二次元整列アレイが形成される。
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【課題】光学ベンチ内での光学部品の受動的位置合わせを容易にするためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】溝は、光学ベンチ内にエッチングされる。溝は、２つの部分を有する。第１の部分は、導光体として働くように構成される。第２の部分は、光学部品を受け入れるように構成される。光学部品は、第１の部分内に挿入され、第２の部分内に移動される。光学部品は、光学ベンチに接着されてもよい。 （もっと読む）

【課題】光学部材としての性能を低下させることなく、複数のミラー要素を保持できる保持装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】入射側フライアイミラー２１は、平面状の設置面４１を有するベース部材４０と、設置面４１に取付面が密着するように配置される複数のミラー要素４２とを備えている。ミラー要素４２は、その収容凹部内に設置面４１上に配置される規制部材４６が収容されることにより第１の方向Ａへの移動が規制される。また、ミラー要素４２は、第２の方向Ｂにおける両側に配置される一対の接触部５０，５１に挟持されることにより第２の方向Ｂへの移動が規制される。さらに、ミラー要素４２は、ベース部材４０側に付勢された状態で固定される。 （もっと読む）