【課題】交点オフセットが存在しても、弾性ヒンジに大きな曲げモーメントが作用することがなく、弾性ヒンジに大きい応力が発生し破壊することのない優れた鏡支持機構を得る。
【解決手段】鏡支持機構は、鏡の光軸方向に支持するアキシャル支持機構及び鏡の光軸に垂直な面内方向に支持するラテラル支持機構を備え、上記アキシャル支持機構と上記ラテラル支持機構とを組み合わせ、上記鏡全体としては空間的な剛体運動の６自由度が過不足無く拘束される条件になるように、上記鏡を支持する鏡支持機構において、上記ラテラル支持機構は、上記鏡の側面で上記鏡を面内方向に支持するラテラル拘束部材を有するとともに、上記鏡を上記ラテラル拘束部材を介して外枠構造体と接続され、上記ラテラル拘束部材は、略Ｖ字型をなす２本脚構造の一方の脚部材の両端部に弾性ヒンジを設け、他方の脚部材の片端部に弾性ヒンジを設ける。 （もっと読む）

【課題】ミラーピースの取付け作業及び交換作業が容易なビームダウン型太陽集光装置の二次ミラーを提供する。
【解決手段】ミラーピース５の裏面に予め磁石１１を固着しておき、その磁力によりミラー本体４に取付けため、ミラー本体４に対する取付け作業及び交換作業が容易である。ミラーピース５を取付けるための磁石１１が、サマリウムコバルト磁石又はアルコア磁石であるため、熱的安定性に優れ、高温になってもミラー本体４に対する磁力が低下しない。 （もっと読む）

【課題】製造が容易な投影光学系を有する露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを投影光学系によって基板に投影して該基板を露光する露光装置において、前記投影光学系は、ミラーアセンブリを含み、前記ミラーアセンブリは、前記投影光学系の光軸を折り曲げる第１反射面を有する第１ミラー部材と、前記光軸を折り曲げる第２反射面を有する第２ミラー部材と、前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材を支持する支持機構とを含み、前記支持機構が位置決めされることによって前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材の相互の位置関係が維持されたまま前記第１ミラー部材および前記第２ミラー部材が位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】 反射面へのデブリの付着を低減しつつＤＰＰ発散光を集光させることのできる光源ユニット。
【解決手段】 光源ユニットは、標的材料をプラズマ化し、該プラズマからＥＵＶ光を放出する光源本体と、貫通孔を有する第１反射鏡（１２ａ）と、光源本体と第１反射鏡との間の光路中に配置された第２反射鏡（１２ｂ）と、光源本体から放出されるデブリを第１反射鏡と第２反射鏡との間の光路中において除去するためのデブリ除去機構（２５，２６）とを備えている。光源ユニットは、ＥＵＶ光を、第１反射鏡の反射面、第２反射鏡の反射面、および第１反射鏡の貫通孔を介して、所定の位置に集光する。 （もっと読む）

複数の光学素子モジュール構成部品を有する光学素子モジュールが提供される。そのモジュール構成部品は、光学素子と、光学素子ホルダと、接触素子を含む。光学素子は、第１の熱膨張係数を有する。光学素子ホルダは、第１の接触素子を介して光学素子を保持し、第２の熱膨張係数を有する。第２の熱膨張係数と第１の熱膨張係数は異なる。モジュール構成部品の少なくとも一つは、光学素子と光学素子ホルダ間の相対的な位置における熱起因の位置変化において、光学素子にもたらされる力を少なくとも軽減するように適合される。その位置変化は、複数のモジュール構成部品の温度状況における温度状況変動に由来する。
（もっと読む）

【課題】製造コストと時間を大幅に削減し、高温の状態でより良い安定性と性能を提供し、且つ、シフト，変形，亀裂などの可能性を防ぎ、且つ、異なる機種の投影システムに対して共用できる目的を達成する光路装置を提供する。
【解決手段】 本発明の光路装置は、少なくとも一つの反射板３０１〜３０４，および前記反射板３０１〜３０４の全部、または一部を覆う少なくとも一つのスリーブ３０５を含み、前記反射板３０１〜３０４は、互いに重なって中空パイプとしての光路３０６を形成し、光線をその中に通過させている。 （もっと読む）

【課題】光径を抑えて入射光をコリメートすることができると共に、コリメータと光ファイバとの軸合わせ作業が容易な光入射部を提案すること。
【解決手段】光入射部を光ファイバと、光ファイバと同数のコリメート部を有するコリメータと、アレイ基板とから構成し、コリメート部は光軸を有する同一構成とし、更にその開始は光ファイバ先端からとし、同一ピッチでアレイ状に前記コリメータに形成する。アレイ基板には光ファイバ配列用の溝をコリメート部と等間隔ピッチで形成すると共に、基準面を設け、この基準面とコリメータの一面とを面一に位置合わせすることによって、コリメート部の光軸と光ファイバのコア軸との軸合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】光学部品、ひいては、この光学部品が用いられる光学システムが熱の影響を受け、熱により劣化するのを防止、または少なくとも低減させる。
【解決手段】光が照射されたときに昇温する光学的に有効な少なくとも一つの光学素子と、少なくとも一つの光学素子をキャリア構造内に保持するための少なくとも一つのホルダ要素とを含み、少なくとも一つの光学素子は熱伝導する態様で少なくとも一つのホルダ要素に接続され、また少なくとも一つのホルダ要素には少なくとも一つの光学素子からの熱を放出するための能動冷却装置が少なくとも部分的に設けられた光学部品を提案する。 （もっと読む）