【課題】 動吸振器の板部材の反りや変形による光学部材の平面精度の低下を防止する。
【解決手段】 光走査装置１は、レーザー光源１９と、レンズ１２，１３及びミラー１７を含み、光源からの光ビームを感光体２に導く光学手段と、レンズまたはミラーに取り付けられ、レンズまたはミラーの固有振動数で共振することによってレンズまたはミラーの振動を抑制する動吸振器９０と、を有し、動吸振器は、板部材９１と複数の粘弾性体９２と重錘９３とを備え、板部材は複数の粘弾性体を介してレンズまたはミラーに取り付けられ、重錘は複数の粘弾性体の間に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】反射鏡の湾曲を平坦化して保持する反射鏡保持具と、前記反射鏡保持具を有する光走査装置と、前記光走査装置を有する画像形成装置とを提供する。
【解決手段】反射鏡保持具には、前記反射鏡の鏡面側を支持する支持部材と、前記反射鏡の鏡面の裏面側を押圧して支持する押圧部材と、前記反射鏡の鏡面側または裏面側を押し込む押込部材と、が設けられる。前記支持部材および前記押圧部材が、それぞれ前記反射鏡保持具の両端部に設けられ、かつ、前記押込部材が、前記反射鏡保持具の一端部に設けられる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、光走査装置および画像形成装置に関し、走査領域に広狭のある複数種類の被走査体のいずれにも適用可能とする。
【解決手段】 光ビームを光検出器９６に向けて反射する第１の反射鏡９４ａを、回転多面鏡８３による光ビームの偏向領域Ｐの内側であり、かつ、被走査領域が相対的に狭い第１の被走査体の走査に利用する第１の走査利用領域Ｓａの外側であり、さらに被走査領域が相対的に広い第２の被走査体の走査に利用する第２の走査利用領域Ｓｂの内側に掛かる第１の位置に支持する第１の支持部と、光ビームを光検出器９６に向けて反射する第２の反射鏡９４ｂを、偏向領域Ｐの内側であり、かつ、第２の走査利用領域Ｓｂの外側の第２の位置に支持する第２の支持部とを有する。 （もっと読む）

【課題】通路のコーナー周辺の死角領域をより明確に把握し易くした安全確認ミラーを提供する。
【解決手段】フレネルミラー３の幅方向中心Ｃ１に対して一方側に偏った部分を反射面２として有するので、安全確認ミラーをＴ字路、Ｌ字路、十字路の通路の壁面に設置すると、反射面２には、曲がろうとしている一方向の通路の死角領域が映されて、その状況を把握することができるとともに、不要な方向の状況は映らないようにすることができるので、安全確認ミラー１を見た人は、不要な像によって混乱することがなくなり、通路のコーナー周辺の死角領域をより明確に把握し易くなる。 （もっと読む）

【課題】ハウジング構造体とこの中に配置された光学素子との間に単純で再現可能な接続を有するハウジング構造体を形成すること。
【解決手段】ハウジング構造体は、装着部６若しくは構造モジュールに保持された複数の光学素子５が、複数の接続部材７によって配置されたフレーム構造体１を有している。光学素子５は、取付け状態で、取着部若しくは構造モジュールと接続部材とが、支持ユニットしてフレーム構造体に一体的であるように、取着部６若しくは構造モジュールと接続部材７とによってフレーム構造１に着脱可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】光の反射を行う反射鏡の振動を簡易な構成で低減する。
【解決手段】第２反射ミラー３７の振動を低減する低減部材２００、低減部材２００と第２反射ミラー３７との間に配置され粘弾性を有する粘弾性部材３００が設けられている。低減部材２００は、第２反射ミラー３７の長手方向に沿って設けられるとともに第２反射ミラー３７の第２面３７２に対向配置され、且つ板状に形成された基部２０５を有している。また、基部２０５に接続して設けられ第２反射ミラー３７の一端部に固定される第１固定部２１０、同じく基部２０５に接続して設けられ第２反射ミラー３７の他端部に固定される第２固定部２２０を有している。また、基部２０５に接続して設けられるとともに第１固定部２１０と第２固定部２２０との間に配置され、粘弾性部材３００を押圧する押圧部２３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型で効率よく太陽光を集光するとともに、光電素子の作動温度を抑制する。
【解決手段】太陽光集光システムは、Ｖ字形に配置された一対のフレネル反射器１２を備える。各々のフレネル反射器１２は、焦点を有するフレネル表面１６と、反対側の放熱面２２と、フレネル表面１６に取り付けられ、かつ放熱面２２にパネルマウント１８を介して熱伝導する光電素子１４と、を備える。第１のフレネル反射器１２の焦点が第２のフレネル反射器１２上の光電素子１４を指向し、第２のフレネル反射器１２の焦点が第１のフレネル反射器１２上の光電素子１４を指向するように、両フレネル反射器１２が二面角を有する頂点２３で接続されている。 （もっと読む）

【課題】反射素子と、反射素子に取り付けられた支持ベース要素と、ミラーモジュールと熱のやり取りを行うための熱交換要素とからなるミラーモジュールを提供する。
【解決手段】ミラーモジュール、より詳細には、反射素子は、熱負荷によって発生し得る変形に対して安定化され、該安定化されたミラーモジュールは、一方では、熱交換要素と、他方では、反射素子およびベース要素との間で熱のやり取りを行うために、より詳細には、反射素子を冷却するために、ヒートポンプ、例えば、ペルチェ素子を含み、該ミラーモジュールにおいて、反射素子の形状を安定化させるように、熱流量が測定され、ミラーモジュールを安定化させる方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】副走査方向におけるカラー画像の色ずれを低減できる走査光学装置及びこれを搭載した画像形成装置を提供する。
【解決手段】筐体(30)と、この筐体内に取り付けられており、複数個の光源からの走査光を所定方向に偏向走査する回転多面鏡(42)と、モータ軸(46)を介して回転多面鏡を回転駆動させる駆動ユニット(44)と、筐体内にて傾斜した状態で主走査方向に沿って配置されており、回転多面鏡からの走査光を所定方向に折り返す平面鏡(52a,52b,54a,54b,56a,56b)と、筐体内に形成されており、この平面鏡の両端部分を支持するミラー支持部材(70a,70b)とを具備し、このミラー支持部材は、平面鏡の両端部分のうち、温度の高くなる端部分を１点で支持する単点支持部(71)と、温度の低くなる端部分を複数点で支持する多点支持部(72,73)とを備える。 （もっと読む）

【課題】反射型光学素子の傾き調整を行っても、投影映像と反射面の位置関係のズレが少ない保持構造を備えた画像投影装置を実現する。
【解決手段】反射型光学素子６を角度調節可能に保持固定する保持構造を有し、反射型光学素子は、外周部に投影映像画面の中心光軸に直交し投影映像画面の一辺に平行な第１の方向に軸芯を持つガイド軸１１，１２を有し、ガイド軸を第１保持部材２０に設けた溝部２１，２２に回転可能に保持され、第１保持部材２０は、外周部に第１の方向と直交する方向の第２の方向に設けられ投影映像画面の中心光軸に直交する軸芯を持つガイド軸２４，２５を有し、ガイド軸を第２保持部材３０に設けた溝部３１，３２に回転可能に保持される構造であり、反射型光学素子のガイド軸と第１保持部材のガイド軸の軸芯は、反射型光学素子の反射面と投影映像画面の中心光軸とが交わる点に接するように構成した。 （もっと読む）

ＥＵＶまたはＵＶリソグラフィ装置の部材（４００）の２つの部位（４０１、４０３）の接合を改善し、時間経過にともなって接合部位（４０１、４０３）における追加的な応力が生じる蓋然性を低減させる。ＥＵＶまたはＵＶリソグラフィ装置の部材（４００）が、接着材料（４０５）で互いに接合される２つの部位（４０１、４０３）を有し、前記接着材料（４０５）が、当該接着材料（４０５）を周囲のガス環境から絶縁する保護層（４０７）で覆われる。 （もっと読む）

光学素子（22）とハウジング（24）とのマウントは、複数の光学素子マウンティングパッド（28）を備えた光学素子マウント（26）と、光学素子マウンティングパッドを一緒にリンクする光学素子接続表面（30）とを有する光学素子を含む。ハウジングは、ハウジングマウントを含み、ハウジングマウントは、複数のハウジングマウンティングパッドと、ハウジング接続表面とを有する。ハウジング接続表面は、ハウジングマウンティングパッドを一緒にリンクする。各それぞれの要素のマウンティングパッドにおいてのみ、光学素子とハウジングが接触するように、光学素子マウントとハウジングマウントとを互いにマウントする。 （もっと読む）

ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学系は、放射線源から物体視野に照明光ビームを誘導するのに使用される。少なくとも１つのＥＵＶミラー（１３）は、照明光ビームを形成するための非平面ミラートポグラフィを有する反射面（２９）を有する。ＥＵＶミラー（１３）は、その前に配置された少なくとも１つのＥＵＶ減衰器を有する。ＥＵＶミラー（１３）の反射面（２９）に対面する減衰器面は、ミラートポグラフィを補完するように設計された減衰器トポグラフィを有し、それによって減衰器面のうちの少なくともある一定の区画は、反射面（２９）から一定の間隔の位置に配置される。その結果は、可能な限り少ない望ましくない放射線損失しか伴わずに物体視野にわたる照明パラメータ、例えば、照明強度分布又は照明角度分布の望ましくない変化を補正することができる照明光学系である。 （もっと読む）

【課題】筐体の副走査方向の長さを短くして反射部材を筐体に取付けることができ、小型化を図ることができる画像読取装置および画像読取装置を備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】クリップ９３を、筐体４１の側板４１ａの副走査方向端部に形成された切欠き部９１に挿通され、副走査方向に曲折されるとともに曲折箇所において反射ミラー６０ａの副走査方向他側面Ｂ１に当接する屈曲部９４と、屈曲部９４の上端から主走査方向と略直交する反射ミラー６０ａの高さ方向に突出して設けられ、切欠き部９１の内周縁の内側に位置する側板４１ａの内面に係合する係合爪９４ａと、開口穴９２に嵌合され、開口穴９２に設けられた突起９２ａに嵌合する嵌合穴９５ａを有する嵌合部９５と、屈曲部９４と嵌合部９５を連接し、側板４１ａに対向する連接部９６とを備えたものから構成する。 （もっと読む）

【課題】光学装置の２つの物体の間に所定の接触力または所定の接触面圧を生成するための方法において、２つの物体の間の高伝熱を単純な方法で確保する。
【解決手段】第１の物体(108)と第２の物体(109)と接続デバイスと(111)を有する光学装置のための接続装置において、第１の物体(108)は、接触領域(110)にて層状様式で第２の物体(109)と接触し、接続デバイス(111)は、第２の物体(109)に接続し、かつ少なくとも１つの接触ユニット(112)を介して第１の物体(108)に接続する。接触ユニット(112)は、複数の分離した接触素子(112.4)を備え、各接触素子(112.4)は、弾性変形したバネユニット(112.5)を介して第２の物体(109)に接続され、接触力への寄与を生成する。 （もっと読む）

温度制御装置（１９）を用いて、少なくとも１個の光学体（１７）を有する光学アセンブリ（１６）の温度を制御する。光学体（１７）の温度は、熱流に作用されうる少なくとも１つの光学面（１８）を用いて制御する。温度制御装置（１９）は、光学体 （１７）または光学体（１７）と熱的に連結した伝熱体から放出された熱流を受けるヒートシンク（２０）を有する。ヒートシンク（２０）は、光学面（１８）の周辺領域（２２）に隣接配置する。温度制御装置（１９）は、少なくとも１個の加熱体（２９）を備える加熱装置（２８）を有し、加熱体は、光学体（１７）に隣接配置する。加熱体（２９）は、物理的な熱橋部（３２）を介してヒートシンク（２０）に連結する。 （もっと読む）

【課題】導光ミラーの側面で反射された迷光が感光体ドラムに導びかれて画像品質を劣化させることを防ぐことができる走査光学装置を提供する。
【解決手段】光源から放射されたビーム光束を偏向走査する偏向器と、偏向器で偏向走査された有効画像領域内のビーム光束を被走査面に導く結像光学系と、偏向器で偏向走査された有効画像領域外のビーム光束を反射して検出素子に導く立体形状の導光ミラー２８を有する検出光学系と、を備え、導光ミラー２８は、その反射面に垂直な回転軸を中心として回転することによって、反射面に隣接する側面と偏向後の走査平面内で像高中心の光軸に垂直な線分とが交差している。 （もっと読む）

【課題】 熱的展開を伴う巻尺および前記巻尺を備える展開可能な構造を提供する。
【解決手段】 本発明は、少なくとも２層の堆積を含む巻尺（１０）であって、この巻尺（１０）が複合材料（１１）をベースとした支持層と呼ばれる第１の層と、使用状態において、その要素を巻かれたまたは折り畳まれた位置に維持するために、ポリマーがガラス状態にあるような高いガラス転移温度を有する前記ポリマーをベースとした最上層（１２）と呼ばれる層とを含むことを特徴とする巻尺（１０）に関する。
本発明は、さらに、とりわけ宇宙用途を対象とした前記巻尺を含む展開可能な構造に関する。 （もっと読む）

特にマイクロリソグラフィのための光学装置は光学モジュール（１０４）と、支持構造部（１０９）と、結合装置（１０８）とを備える。結合装置は、第１結合部（１１０．１）と第２結合部（１１０．２）とを有する少なくとも１つの結合ユニット（１１０）を備え、第１結合部は光学モジュールに、第２結合部は支持構造部に結合されている。第１結合部は、第１主曲率（Ｋ１−１）を有する第１接触面（１１０．３）を備え、第１主曲率は第１主曲率軸線（ＡＫ２−１）を規定し、第２結合部は、第２主曲率を有する第２接触面を備え、第１主曲率は第２主曲率軸線を規定する。第２主曲率は第１主曲率に適合されており、組付け状態で第１接触面は第２接触面に接触する。結合装置は、第１結合部および第２結合部に作用する位置決め装置の少なくとも一部を備え、位置決め装置は、組付け状態となる前の調整状態で前記第１接触面と第２接触面との間の狭い間隙を非接触に保持するように構成されており、第１接触面と第２接触面との間における第１主曲率軸線を中心とした補償のための移動は、第１結合部と第２結合部との間における補償のための移動により力作用が生じることなしに可能となる。
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【課題】半導体デバイス露光装置等の精密光学機械において、光学素子の変形を抑制することのできる光学素子保持機構等を提供する。
【解決手段】光学系鏡筒内のミラー１（光学素子）は、３組の保持部材セット１０で保持されている。これら保持部材セット１０は、ミラー１側周面に１２０°振り分けられて分散配置されている。保持部材セット１０は、リングに連結される連結部材１８を備えている。連結部材１８の内側には、ミラー１側周面に接着剤１７で接着される接着部材１６と、この接着部材１６からミラー１の周方向の双方向にそれぞれ延びる２枚の板バネ１１とが設けられている。板バネ１１は、２枚のバネ片１２が剛体片１３を挟んで直列に接続されてなる。板バネ１１はミラー１の径方向に容易に変形できる。そのため、ミラー１の不均一な局所変形を小さく抑えることができる。 （もっと読む）