分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダー
【課題】複数の試料を複数の開口部に位置ずれなく確実かつスムーズに保持できる、分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーを提供する。
【解決手段】複数の開口部１２を有し、試料Ｓが開口部１２を通して露出するように内面側に保持される試料ホルダーを用い、開口部１２に合わせて試料Ｓを保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、試料Ｓを保持させる粘着層１７が形成されたシール部材１５を用い、シール部材１５のマーキングに合わせて、複数の試料Ｓを粘着層１７によりシール部材１５にそれぞれ保持し、このシール部材１５を試料ホルダーの内面に、各試料Ｓが対応する開口部１２に整合するように保持させる。
【解決手段】複数の開口部１２を有し、試料Ｓが開口部１２を通して露出するように内面側に保持される試料ホルダーを用い、開口部１２に合わせて試料Ｓを保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、試料Ｓを保持させる粘着層１７が形成されたシール部材１５を用い、シール部材１５のマーキングに合わせて、複数の試料Ｓを粘着層１７によりシール部材１５にそれぞれ保持し、このシール部材１５を試料ホルダーの内面に、各試料Ｓが対応する開口部１２に整合するように保持させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二次イオン質量分析やＸ線分析等の各種分析方法に用いられる、分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
以前から、試料の組成や濃度、物性等を分析するため、二次イオン質量分析やＸ線分析等の各種分析方法が広く用いられている。この種の分析にあたっては、分析を正確に行うために、試料をホルダーに保持して分析を行うことが一般的である。
【０００３】
例えば、下記特許文献１の従来例には、貫通孔が形成された試料ホルダーが記載されている。そして、この試料ホルダーの裏側に粘着テープを貼って貫通孔の裏側を閉塞して、テープ粘着層を貫通孔内側に向けて配置し、この貫通孔の表側開口から試料を挿入することにより、粘着テープに試料が貼着されて固定されるように構成されている。
【０００４】
また、図７，８に示すような試料ホルダーも用いられている。この試料ホルダー１は、略円形状の貫通孔３が形成された枠状の本体部２０と、この本体部２０の貫通孔３の表側開口に固着されたホルダー板１１と、前記貫通孔３の裏側に嵌め込まれる蓋５とを備えている。また、前記ホルダー板１１には、複数の開口部１２が形成されている。
【０００５】
この試料ホルダー１に試料Ｓを保持する際は、まず、各試料Ｓをホルダー板１１の各開口部１２に整合させて下方に移動させ、試料Ｓを各開口部１２の裏面側周縁に係合させてホルダー板１１の裏面上に載置する。その後、各試料Ｓの裏側にスプリング２５の一端を当接させて配置し、その状態を維持したまま、本体部２０の貫通孔３の裏側に蓋５を嵌め込んで、前記スプリング２５の他端に当接させる。それと共に、本体部２０の４つの角部から本体部中心に向けて形成されたネジ孔７に図示しないネジを螺入して、その先端部を前記蓋５の裏側に係合させることにより、複数の試料Ｓが、ホルダー板１１の複数の開口部１２から露出した状態で装着されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２４７９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１の場合、貫通孔の表側から試料を挿入して、粘着テープに固定するようになっているので、例えば、試料の厚さにバラツキがあった場合、貫通孔の表側開口から大きく出っ張ったり或いは引っ込んだりして、試料と、二次イオン質量分析のイオンビームやＸ線分析のＸ線等の照射源との距離が、一定に保たれないことがあった。そのため、特許文献１では、試料と粘着テープとの間に両面テープを配置して試料の高さを調整しているが、作業が煩雑であった。また、試料ホルダーに複数の貫通孔が形成されていて、複数の試料を保持させる場合には、上記作業を繰り返さなければならないので、時間がかかるというデメリットが生じる。
【０００８】
また、図７，８に示す試料ホルダー１の場合、複数の開口部１２に１つ１つ試料Ｓを整合させて配置しなければならない。更に、開口部１２に配置された試料Ｓは、蓋５が貫通孔３に嵌め込まれることにより、その裏側がスプリング２５に支持されるようになっており、蓋５を嵌め込むまでは開口部１２から位置ずれしやすい不安定な状態となっているので、スプリング２５の配置作業や蓋５の嵌め込み作業を慎重に行わなければならない。このように、図７，８に示す試料ホルダー１の場合も、試料Ｓを保持するまでに多大な労力と時間がかかり、作業性の点で問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、複数の試料を、複数の開口部に位置ずれさせることなく、確実かつスムーズに保持させることができる、分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の１つは、複数の開口部を有し、分析すべき試料が該開口部を通して露出するように内面側に保持される試料ホルダーを用いて、分析用の試料を保持する方法において、
前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材を用い、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、
このシール部材を前記試料ホルダーの内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持させることを特徴とする分析用試料の保持方法を提供する。
【００１１】
本発明のもう１つは、分析すべき複数の試料がそれぞれ保持される複数の開口部を有するホルダー板と、前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材と、前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを備え、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、このシール部材を前記ホルダー板の内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持することにより、前記試料が前記開口部から露出するように構成されていることを特徴とする分析装置用試料ホルダーを提供する。
【００１２】
上記発明によれば、シール部材のマーキングに合わせて、複数の試料を配置して、粘着層によりシール部材に保持した後、このシール部材を、試料ホルダーの内面に、各試料が対応する開口部に整合するように保持させるだけの簡単な作業で、複数の試料を、複数の開口部に位置ずれさせることなく、一度の作業で確実に且つスムーズに保持させることができ、試料の保持作業性（装着作業性）を向上させることができる。
【００１３】
本発明の分析用試料の保持方法においては、前記シール部材を介して前記各試料を前記試料ホルダーの内面に保持した後、更に押圧手段によって各試料の背面側を押圧することが好ましい。これによれば、試料の背面が押圧手段により押圧されるようになっているので、試料がホルダー板の開口部に強く押し当てられて、ホルダー板に対して試料をほぼ平行に保持しつつ、開口部に対して試料を位置ずれなく強固に保持することができる。例えば、分析すべき試料の厚みにバラツキがあり、シール部材の粘着層に対する保持力（接着力）が均等に付与されない場合や、分析時の環境等（真空雰囲気下や高温下など）によってシール部材の粘着層の保持力（接着力）が低下した場合等であっても、各試料を開口部に位置ずれなく確実に保持することができる。
【００１４】
本発明の分析用試料の保持方法においては、前記試料ホルダーは、前記試料が配置される複数の開口部を有するホルダー板と、一面が開口された凹状をなし、前記押圧手段が内部に配置され、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを有し、前記ホルダー板の内面に、前記複数の試料を保持したシール部材を保持させ、次いで前記ホルダー板を、各試料の背面に前記押圧手段が配置されるように位置合せして、前記本体部に保持させることが好ましい。また、本発明の分析装置用試料ホルダーにおいては、前記本体部は、一面が開口された凹状をなし、前記ホルダー板に保持された各試料の背面を押圧する押圧手段を内部に有し、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に保持されるように構成されていることが好ましい。
【００１５】
これによれば、開口部を有するホルダー板が、押圧手段が配置される本体部とは別体とされているので、ホルダー板を本体部から取外して、作業スペースの広い場所に配置することができ、試料の保持作業（装着作業）がより容易になる。その後、ホルダー板を、各試料の背面に押圧手段が配置されるように位置合せして、本体部に保持することにより、各試料が押圧手段に押圧された状態で、開口部の内面側に保持させることができる。
【００１６】
本発明の分析用試料の保持方法においては、前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持させ、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分を、梨地様の微細な凹凸面にして、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱めることが好ましい。また、本発明の分析装置用試料ホルダーにおいては、前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持され、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面に形成されて、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱めるように構成されていることが好ましい。
【００１７】
これによれば、シール部材のマーキングが施された箇所に試料を確実に保持させることができると共に、シール部材の試料が保持される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面とされ、試料ホルダー内面への接着力が弱められているので、試料の分析終了後、シール部材をホルダーから容易に引き剥がすことができ、試料を開口部からスムーズに取外すことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、シール部材のマーキングに合わせて、複数の試料を配置して、粘着層によりシール部材に保持した後、同シール部材を、試料ホルダーの内面の開口部に整合して保持させるだけの簡単な作業で、複数の試料を複数の開口部に位置ずれなく、一度の作業で確実に且つスムーズに保持させることができ、作業性を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る分析用試料の保持方法の第１工程を示す斜視図である。
【図２】同保持方法の第２工程を示す斜視図である。
【図３】同保持方法の第３工程を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る分析装置用試料ホルダーの一実施形態を示しており、図３のＩＶ−ＩＶ矢示線で切断した場合の概略断面図である。
【図５】同分析装置用試料ホルダーを、二次イオン質量分析に用いた場合の概略構成図である。
【図６】本発明に係る分析装置用試料ホルダーの他の実施形態を示しており、（ａ）はその一例を示す斜視図、（ｂ）は他の例を示す斜視図である。
【図７】従来の試料ホルダーを示す斜視図である。
【図８】同試料ホルダーの組付け工程を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１〜５を参照して、本発明に係る分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーの一実施形態について説明する。図１は、本発明の分析用試料の保持方法の第１工程を示す斜視図、図２は、同保持方法の第２工程を示す斜視図、図３は、同保持方法の第３工程を示す斜視図、図４は、本発明の分析装置用試料ホルダーにおいて、図３のＩＶ−ＩＶ矢示線で切断した場合の概略断面図、図５は、同分析装置用試料ホルダーを、二次イオン質量分析に用いた場合の概略構成図である。
【００２１】
まず、この実施形態における分析装置用試料ホルダー１０（以下、「ホルダー１０」という）について説明する。図３に示すように、このホルダー１０は、分析すべき複数の試料Ｓがそれぞれ装着される複数の開口部１２を有するホルダー板１１と、前記開口部１２に合わせて前記試料Ｓを載置すべき箇所にマーキング１８が施され、かつ、前記試料Ｓを接着させる粘着層１７が形成されたシール部材１５と、前記ホルダー板１１が着脱可能に装着される本体部２０とを備えている。
【００２２】
前記ホルダー板１１は、本体部２０の円形状をなした凹部２１（後述する）に対応して円板状をなしている。このホルダー板１１には、分析すべき試料Ｓが装着される開口部１２が形成されている。この実施形態での開口部１２は、四角形の板状をなす試料Ｓに対応して四角孔状をなしており、かつ、その大きさは、試料Ｓよりも小さく形成されている。その結果、試料Ｓが開口部１２の内面側周縁に係合して、開口部１２の外面側開口から抜け出ないように抜け止め保持されるようになっている（図４参照）。なお、開口部１２は、分析すべき試料Ｓの形状に対応して、丸孔状や楕円形状等としてもよく、試料Ｓを抜け止め保持できる形状であればよい。また、ホルダー板１１の周縁部には、所定間隔を設けて複数のネジ挿通孔１３が形成されている。
【００２３】
更に、ホルダー板１１には、シール部材１５に接着された複数の試料Ｓを、対応する開口部１２に整合させるための、整合手段が設けられている。この実施形態では、ホルダー板１１の内面側に、シール部材１５の外周形状に適合したシール部材外形線１４が罫書きにより施されている（図２参照）。このシール部材外形線１４は、略円形状をなすと共に、直線状に横切る位置合わせ線１４ａを有している。なお、整合手段として、ホルダー板１１の内面側に、シール部材１５に適合する凹部等を設けてもよく、特に限定されるものではない。
【００２４】
上記ホルダー板１１に接着されるシール部材１５は、この実施形態の場合、略円形状の薄板状をなすと共に、カット部１６により外周の一部が直線状に横切るようにカットされた形状となっている（図１参照）。このシール部材１５のホルダー板１１側の内面全体には、粘着層１７が形成されている。
【００２５】
また、シール部材１５の粘着層１７側の内面であって、前記ホルダー板１１に形成された複数の開口部１２に整合した位置に、マーキング１８がそれぞれ施されており、このマーキング１８に合わせて試料Ｓが接着されるようになっている。この実施形態におけるマーキング１８は、開口部１２に対応して配置され、試料Ｓとほぼ同じ大きさの四角形状をなしている。なお、マーキング１８は、試料Ｓの形状に適合する形状とすればよく、四角形状に限定されるものではない。また、ホルダー板１１の開口部１２の中心に整合するように、○印や×印等のマーキング１８を施してもよく、試料Ｓを対応する開口部１２に整合させることができればよい。
【００２６】
そして、シール部材１５外周のカット部１６を、ホルダー板１１の位置合わせ線１４ａに合わせた後、シール部材１５をホルダー板１１に押し付けることにより、複数の開口部１２に複数の試料Ｓがそれぞれ整合して配置され、開口部１２から露出した状態で、ホルダー板１１にシール部材１５が接着されるようになっている。
【００２７】
また、シール部材１５の材質としては、ポリウレタン、ポリイミド等の合成樹脂を用いることができ、その中でも比較的軟質で伸縮性を有するポリウレタンを用いることが好ましい。伸縮性を有する材質でシール部材１５が形成されている場合、試料Ｓの厚みにバラツキがあっても、その厚さ変化に対応して、シール部材１５が適宜変形するようになるので、シール部材１５と試料Ｓとの接着力を保持して、シール部材１５から試料Ｓが剥がれ落ちるのを抑制することができる。
【００２８】
また、シール部材内面の粘着層１７の材質としては、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂等を用いることができ、真空状態や加圧状態、高温状態等においても十分な接着力を保持できる、シリコン系樹脂を用いることが好ましい。
【００２９】
上記ホルダー板１１が脱着可能に装着される本体部２０は、所定厚さで形成された台座状をなしている（図３参照）。その上面中央には、上方が開口した凹部２１が所定深さで形成されている。この凹部２１は、円板状をなしたホルダー板１１に対応して円形状をなし、かつ、その内径はホルダー板１１の外径よりも小さく形成され、本体部２０上にホルダー板１１を載置したときに、凹部２１の上方開口部の周縁に係合して凹部２１が閉塞されるようになっている。また、本体部２０の上面の凹部２１外周には、その周方向に沿って、前記ホルダー板１１の複数のネジ挿通孔１３に対応する位置に、複数のネジ孔２２が形成されている。したがって、ホルダー板１１のネジ挿通孔１３を通してネジ３０を挿入し、本体部２０の対応するネジ孔２２にそれぞれ螺着することにより、本体部２０に対してホルダー板１１を着脱可能に装着することができる。
【００３０】
また、本体部２０の凹部２１の内部には、ホルダー板１１の複数の開口部１２、及び、各開口部１２に整合配置される各試料Ｓに対応した位置に、各試料Ｓの背面を押圧する押圧手段が配置されている。この実施形態での押圧手段は、スプリング２５とされており、その下端が凹部２１の底部２１ａの所定位置に当接支持されていると共に、本体部２０上面にホルダー板１１がセットされたときに、スプリング２５の上端が、シール部材１５に弾性的に当接して試料Ｓの背面を押圧し、試料Ｓが常時ホルダー板１１側へ向けて弾性付勢されるようになっている。なお、押圧手段として、本体部２０の底部２１ａを貫通して凹部２１に連通するネジ孔を設け、このネジ孔から図示しないネジを凹部２１内に挿入し、その上端部で試料Ｓの背面を押圧してもよく、特に限定されるものではない。
【００３１】
また、凹部２１の底部２１ａには、スプリング２５の下端を支持するための突部や、窪み等を形成しておくことが好ましい。この場合、本体部２０にホルダー板１１を装着するまでの間、スプリング２５を立設した状態に安定して支持することができると共に、ホルダー板装着後も、スプリング２５の位置ずれを防止して、所定位置の試料Ｓの背面を確実に押圧することができる。
【００３２】
次に、上記構造をなしたホルダー１０を用いた、本発明による分析用試料の保持方法について説明する。
【００３３】
まず、本体部２０からホルダー板１１を取外しておくと共に、図１に示すように、シール部材１５の各マーキング１８に合わせて、各試料Ｓをそれぞれ載置する。その結果、図２に示すように、シール部材１５の複数のマーキング１８に、複数の試料Ｓを整合した状態でそれぞれ接着させることができる。
【００３４】
この状態で、同図２に示すように、ホルダー板１１内面のシール部材外形線１４の位置合わせ線１４ａに、シール部材１５外周のカット部１６を位置合わせし、その後、シール部材１５をホルダー板１１に向けて押し付ける。すると、複数の開口部１２に複数の試料Ｓがそれぞれ整合して配置されると共に、シール部材１５の試料Ｓが接着された箇所以外の粘着層１７がホルダー板１１の内面に接着されて、各試料Ｓが開口部１２を通して露出するように開口部１２の内面側に装着された状態で、ホルダー板１１にシール部材１５を接着することができる。
【００３５】
このとき、この実施形態では、ホルダー板１１に、シール部材１５に接着された複数の試料Ｓを、対応する開口部１２に整合させるための整合手段（ここではシール部材外形線１４）を設けたので、複数の試料Ｓを、複数の開口部１２にスムーズに位置合わせすることができ、試料Ｓの開口部１２への装着作業性を向上させることができる。
【００３６】
また、この実施形態においては、ホルダー板１１が本体部２０とは別体とされているので、ホルダー板１１を本体部２０から取外して作業スペースの広い場所に配置することができ、上記の試料Ｓの装着作業を容易かつ短時間で行うことができる。
【００３７】
更に、この実施形態では、ホルダー板１１に、四角形状の試料Ｓに対して相似する四角孔状をなすと共に、それよりも小さい開口部１２を設けたので、開口部１２の内面側の各辺周縁に、試料Ｓの各辺がそれぞれ係合するので、開口部１２に対して試料Ｓをしっかりと装着できるようになっている。
【００３８】
一方、本体部２０の凹部２１の内部の、開口部１２及び試料Ｓに整合した位置に、スプリング２５を配置し、その下端部を底部２１ａに当接させて立設した状態に保持させる。この状態で、図３に示すようにホルダー板１１の各ネジ挿通孔１３を、本体部２０の各ネジ孔２２に整合させて、本体部２０上面にホルダー板１１を載置する。その後、互いに連通したネジ挿通孔１３及びネジ孔２２に、ネジ３０を挿入して螺着することにより、図４に示すように、凹部２１の上方開口が閉塞され、各試料Ｓの背面がスプリング２５に弾性付勢された状態で、本体部２０にホルダー板１１を装着することができる。
【００３９】
以上のように、シール部材１５のマーキング１８に合わせて、複数の試料Ｓを配置して、粘着層１７によりシール部材１５に接着した後、このシール部材１５を、ホルダー板１１の内面に、各試料Ｓが対応する開口部１２に整合するように接着するだけの簡単な作業で、複数の試料Ｓを、複数の開口部１２に位置ずれさせることなく、一度の作業で確実に且つスムーズに装着させることができ、試料Ｓの装着作業性を向上させることができる。
【００４０】
また、上記の本体部２０にホルダー板１１が装着された状態では、試料Ｓの背面がスプリング２５により押圧されるようになっているので、試料Ｓがホルダー板１１の開口部１２に強く押し当てられることとなり、ホルダー板１１に対して試料Ｓをほぼ平行に保持しつつ、同試料Ｓを開口部１２に対して位置ずれなく強固に装着することができる。
【００４１】
例えば、分析すべき試料Ｓが厚かったり薄かったりして、その厚みにバラツキがあると、同試料Ｓを覆うシール部材１５が伸びたり縮んだりして、粘着層１７の接着力が試料Ｓに均等に付与されない事態が生じることがある。このように試料Ｓの厚みにバラツキがあるような場合でも、スプリング２５により粘着層１７が試料Ｓの背面に押し当てられるため、その接着力を維持することができると共に、各試料Ｓを開口部１２に位置ずれなく確実に装着することができる。
【００４２】
上記のようにしてホルダー１０に試料Ｓが装着されるが、このホルダー１０は、例えば、二次イオン質量分析による好適に用いることができる。なお、ホルダー１０は、二次イオン質量分析のみならず、Ｘ線分析等の試料載置用としても用いることができ、特に限定されるものではない。上記二次イオン質量分析法は、ビーム状の一次イオンを試料表面に照射し、そのイオンが試料表面に衝突して、スパッタリングされることにより生じる二次イオンを質量分析することにより、試料の元素又は化合物の同定、及び、濃度の測定を行う分析法である。
【００４３】
この二次イオン質量分析を行う二次イオン質量分析装置には、電磁場併用のセクタ型二次イオン分析装置、高周波電界を用いた四重極型二次イオン分析装置、飛行時間型二次イオン分析装置が知られている。図５には、セクタ型二次イオン質量分析装置５０の概略構成図が示されている。このセクタ型二次イオン質量分析装置５０は、ホルダー１０がセットされるケーシング５１と、同ホルダー１０に装着された試料Ｓにビーム状の一次イオンを照射する一次イオン源５２と、スパッタリングにより発生した二次イオンに電場を付与する電場発生部５３と、同二次イオンに磁場を付与する磁場発生部５４と、検出器５５とを有している。そして、一次イオン源５２から生じたビーム状の一次イオンを細束して試料Ｓに照射し、スパッタリングにより発生した二次イオンを、電場発生部５３及び磁場発生部５４により、電場及び磁場を付与して偏光させて、検出器５５で検出されるようになっている。
【００４４】
そして、本発明においては、ホルダー板１１の開口部１２の内面側に装着された試料Ｓは、シール部材１５により保持されて、開口部１２の内面側周縁に係合した状態となっているので、開口部１２の外面側（表側）から試料Ｓまでの距離を所定距離に維持することができるようになっている。そのため、本発明を上記二次イオン質量分析に用いた場合、試料Ｓの厚さにバラツキ等があっても、試料Ｓと、上記一次イオン源５２との距離を常に一定に保持することができるので、その分析精度を向上させることができる。
【００４５】
また、試料Ｓの背面がスプリング２５により押圧されて、試料Ｓが常時ホルダー板１１側へ向けて弾性付勢されるようになっているので、試料Ｓを開口部１２の内面側周縁に試料Ｓをしっかりと係合させて、開口部１２に装着された状態に確実に維持することができる。
【００４６】
なお、上記二次イオン分析では、ホルダー１が真空雰囲気化に置かれると共に、イオンビームにより高温になるため、シール部材１５が軟質化しやすくなって、粘着層１７の試料Ｓに対する接着力を保持できないことがある。このような場合でも、上記スプリング２５により試料Ｓの背面が押圧されるため、試料Ｓを開口部１２に整合して装着された状態に維持することができるので、上記二次イオン分析装置の一次イオン源５２と、試料Ｓとの距離をより確実に保持することができ、分析精度をより一層高めることができる。
【００４７】
図６には、本発明に係る分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーの、他の実施形態が示されている。この実施形態では、前記実施形態と比べてシール部材の構造が異なっている。すなわち、図６（ａ），（ｂ）に示すシール部材１５ａ，１５ｂは、各試料Ｓが接着される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面に形成されて、ホルダー板１１の内面への接着力を弱めるように構成されている。
【００４８】
図６（ａ）に示すシール部材１５ａは、その粘着層１７が、マーキング１８が施され試料Ｓが接着される平滑なフラット面１７ａと、このフラット面１７ａ以外の部分に設けられ、梨地様の微細な凹凸が無数に形成された凹凸面１７ｂとからなり、フラット面１７ａの試料Ｓに対する接着力に対して、凹凸面１７ｂのホルダー板１１の内面に対する接着力が弱くなるように構成されている。
【００４９】
これによれば、シール部材１５ａのフラット面１７ａに試料Ｓを確実に装着させることができると共に、ホルダー板１１の内面への接着力が弱められた凹凸面１７ｂが、ホルダー板１１に接着してシール部材１５ａが装着されるようになっているので、試料Ｓの分析終了後、シール部材１５ａをホルダー板１１から容易に引き剥がすことができ、試料Ｓを開口部１２からスムーズに取外すことができる。
【００５０】
一方、図６（ｂ）に示すシール部材１５ｂは、その粘着層１７が、複数のマーキング１８を囲むように形成された平滑なフラット面１７ａと、その外周に環状に設けられ、ホルダー板１１内面への接着力が弱められた凹凸面１７ｂとから構成されている。この態様によっても、試料Ｓを確実に装着することができると共に、試料Ｓの分析終了後、シール部材１５ｂをホルダー板１１から容易に引き剥がして、試料Ｓを開口部１２からスムーズに取外すことができるという効果が得られる。
【００５１】
なお、前記実施形態では、前記シール部材１５をホルダー板１１に粘着層１７による接着力で保持させるようにしたが、シール部材１５を別の手段でホルダー板１１に保持させることもできる。
【符号の説明】
【００５２】
１ 試料ホルダー
３ 貫通孔
５ 蓋
７ ネジ孔
１０ 分析装置用試料ホルダー（ホルダー）
１１ ホルダー板
１２ 開口部
１３ ネジ挿通孔
１４ シール部材外形線
１４ａ 位置合わせ線
１５，１５ａ，１５ｂ シール部材
１６ カット部
１７ 粘着層
１７ａ フラット面
１７ｂ 凹凸面
１８ マーキング
２０ 本体部
２１ 凹部
２１ａ 底部
２２ ネジ孔
２５ スプリング
３０ ネジ
５０ セクタ型二次イオン質量分析装置
５１ ケーシング
５２ 一次イオン源
５３ 電場発生部
５４ 磁場発生部
５５ 検出器
Ｓ 試料
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二次イオン質量分析やＸ線分析等の各種分析方法に用いられる、分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
以前から、試料の組成や濃度、物性等を分析するため、二次イオン質量分析やＸ線分析等の各種分析方法が広く用いられている。この種の分析にあたっては、分析を正確に行うために、試料をホルダーに保持して分析を行うことが一般的である。
【０００３】
例えば、下記特許文献１の従来例には、貫通孔が形成された試料ホルダーが記載されている。そして、この試料ホルダーの裏側に粘着テープを貼って貫通孔の裏側を閉塞して、テープ粘着層を貫通孔内側に向けて配置し、この貫通孔の表側開口から試料を挿入することにより、粘着テープに試料が貼着されて固定されるように構成されている。
【０００４】
また、図７，８に示すような試料ホルダーも用いられている。この試料ホルダー１は、略円形状の貫通孔３が形成された枠状の本体部２０と、この本体部２０の貫通孔３の表側開口に固着されたホルダー板１１と、前記貫通孔３の裏側に嵌め込まれる蓋５とを備えている。また、前記ホルダー板１１には、複数の開口部１２が形成されている。
【０００５】
この試料ホルダー１に試料Ｓを保持する際は、まず、各試料Ｓをホルダー板１１の各開口部１２に整合させて下方に移動させ、試料Ｓを各開口部１２の裏面側周縁に係合させてホルダー板１１の裏面上に載置する。その後、各試料Ｓの裏側にスプリング２５の一端を当接させて配置し、その状態を維持したまま、本体部２０の貫通孔３の裏側に蓋５を嵌め込んで、前記スプリング２５の他端に当接させる。それと共に、本体部２０の４つの角部から本体部中心に向けて形成されたネジ孔７に図示しないネジを螺入して、その先端部を前記蓋５の裏側に係合させることにより、複数の試料Ｓが、ホルダー板１１の複数の開口部１２から露出した状態で装着されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２４７９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１の場合、貫通孔の表側から試料を挿入して、粘着テープに固定するようになっているので、例えば、試料の厚さにバラツキがあった場合、貫通孔の表側開口から大きく出っ張ったり或いは引っ込んだりして、試料と、二次イオン質量分析のイオンビームやＸ線分析のＸ線等の照射源との距離が、一定に保たれないことがあった。そのため、特許文献１では、試料と粘着テープとの間に両面テープを配置して試料の高さを調整しているが、作業が煩雑であった。また、試料ホルダーに複数の貫通孔が形成されていて、複数の試料を保持させる場合には、上記作業を繰り返さなければならないので、時間がかかるというデメリットが生じる。
【０００８】
また、図７，８に示す試料ホルダー１の場合、複数の開口部１２に１つ１つ試料Ｓを整合させて配置しなければならない。更に、開口部１２に配置された試料Ｓは、蓋５が貫通孔３に嵌め込まれることにより、その裏側がスプリング２５に支持されるようになっており、蓋５を嵌め込むまでは開口部１２から位置ずれしやすい不安定な状態となっているので、スプリング２５の配置作業や蓋５の嵌め込み作業を慎重に行わなければならない。このように、図７，８に示す試料ホルダー１の場合も、試料Ｓを保持するまでに多大な労力と時間がかかり、作業性の点で問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、複数の試料を、複数の開口部に位置ずれさせることなく、確実かつスムーズに保持させることができる、分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の１つは、複数の開口部を有し、分析すべき試料が該開口部を通して露出するように内面側に保持される試料ホルダーを用いて、分析用の試料を保持する方法において、
前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材を用い、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、
このシール部材を前記試料ホルダーの内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持させることを特徴とする分析用試料の保持方法を提供する。
【００１１】
本発明のもう１つは、分析すべき複数の試料がそれぞれ保持される複数の開口部を有するホルダー板と、前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材と、前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを備え、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、このシール部材を前記ホルダー板の内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持することにより、前記試料が前記開口部から露出するように構成されていることを特徴とする分析装置用試料ホルダーを提供する。
【００１２】
上記発明によれば、シール部材のマーキングに合わせて、複数の試料を配置して、粘着層によりシール部材に保持した後、このシール部材を、試料ホルダーの内面に、各試料が対応する開口部に整合するように保持させるだけの簡単な作業で、複数の試料を、複数の開口部に位置ずれさせることなく、一度の作業で確実に且つスムーズに保持させることができ、試料の保持作業性（装着作業性）を向上させることができる。
【００１３】
本発明の分析用試料の保持方法においては、前記シール部材を介して前記各試料を前記試料ホルダーの内面に保持した後、更に押圧手段によって各試料の背面側を押圧することが好ましい。これによれば、試料の背面が押圧手段により押圧されるようになっているので、試料がホルダー板の開口部に強く押し当てられて、ホルダー板に対して試料をほぼ平行に保持しつつ、開口部に対して試料を位置ずれなく強固に保持することができる。例えば、分析すべき試料の厚みにバラツキがあり、シール部材の粘着層に対する保持力（接着力）が均等に付与されない場合や、分析時の環境等（真空雰囲気下や高温下など）によってシール部材の粘着層の保持力（接着力）が低下した場合等であっても、各試料を開口部に位置ずれなく確実に保持することができる。
【００１４】
本発明の分析用試料の保持方法においては、前記試料ホルダーは、前記試料が配置される複数の開口部を有するホルダー板と、一面が開口された凹状をなし、前記押圧手段が内部に配置され、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを有し、前記ホルダー板の内面に、前記複数の試料を保持したシール部材を保持させ、次いで前記ホルダー板を、各試料の背面に前記押圧手段が配置されるように位置合せして、前記本体部に保持させることが好ましい。また、本発明の分析装置用試料ホルダーにおいては、前記本体部は、一面が開口された凹状をなし、前記ホルダー板に保持された各試料の背面を押圧する押圧手段を内部に有し、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に保持されるように構成されていることが好ましい。
【００１５】
これによれば、開口部を有するホルダー板が、押圧手段が配置される本体部とは別体とされているので、ホルダー板を本体部から取外して、作業スペースの広い場所に配置することができ、試料の保持作業（装着作業）がより容易になる。その後、ホルダー板を、各試料の背面に押圧手段が配置されるように位置合せして、本体部に保持することにより、各試料が押圧手段に押圧された状態で、開口部の内面側に保持させることができる。
【００１６】
本発明の分析用試料の保持方法においては、前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持させ、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分を、梨地様の微細な凹凸面にして、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱めることが好ましい。また、本発明の分析装置用試料ホルダーにおいては、前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持され、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面に形成されて、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱めるように構成されていることが好ましい。
【００１７】
これによれば、シール部材のマーキングが施された箇所に試料を確実に保持させることができると共に、シール部材の試料が保持される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面とされ、試料ホルダー内面への接着力が弱められているので、試料の分析終了後、シール部材をホルダーから容易に引き剥がすことができ、試料を開口部からスムーズに取外すことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、シール部材のマーキングに合わせて、複数の試料を配置して、粘着層によりシール部材に保持した後、同シール部材を、試料ホルダーの内面の開口部に整合して保持させるだけの簡単な作業で、複数の試料を複数の開口部に位置ずれなく、一度の作業で確実に且つスムーズに保持させることができ、作業性を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る分析用試料の保持方法の第１工程を示す斜視図である。
【図２】同保持方法の第２工程を示す斜視図である。
【図３】同保持方法の第３工程を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る分析装置用試料ホルダーの一実施形態を示しており、図３のＩＶ−ＩＶ矢示線で切断した場合の概略断面図である。
【図５】同分析装置用試料ホルダーを、二次イオン質量分析に用いた場合の概略構成図である。
【図６】本発明に係る分析装置用試料ホルダーの他の実施形態を示しており、（ａ）はその一例を示す斜視図、（ｂ）は他の例を示す斜視図である。
【図７】従来の試料ホルダーを示す斜視図である。
【図８】同試料ホルダーの組付け工程を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１〜５を参照して、本発明に係る分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーの一実施形態について説明する。図１は、本発明の分析用試料の保持方法の第１工程を示す斜視図、図２は、同保持方法の第２工程を示す斜視図、図３は、同保持方法の第３工程を示す斜視図、図４は、本発明の分析装置用試料ホルダーにおいて、図３のＩＶ−ＩＶ矢示線で切断した場合の概略断面図、図５は、同分析装置用試料ホルダーを、二次イオン質量分析に用いた場合の概略構成図である。
【００２１】
まず、この実施形態における分析装置用試料ホルダー１０（以下、「ホルダー１０」という）について説明する。図３に示すように、このホルダー１０は、分析すべき複数の試料Ｓがそれぞれ装着される複数の開口部１２を有するホルダー板１１と、前記開口部１２に合わせて前記試料Ｓを載置すべき箇所にマーキング１８が施され、かつ、前記試料Ｓを接着させる粘着層１７が形成されたシール部材１５と、前記ホルダー板１１が着脱可能に装着される本体部２０とを備えている。
【００２２】
前記ホルダー板１１は、本体部２０の円形状をなした凹部２１（後述する）に対応して円板状をなしている。このホルダー板１１には、分析すべき試料Ｓが装着される開口部１２が形成されている。この実施形態での開口部１２は、四角形の板状をなす試料Ｓに対応して四角孔状をなしており、かつ、その大きさは、試料Ｓよりも小さく形成されている。その結果、試料Ｓが開口部１２の内面側周縁に係合して、開口部１２の外面側開口から抜け出ないように抜け止め保持されるようになっている（図４参照）。なお、開口部１２は、分析すべき試料Ｓの形状に対応して、丸孔状や楕円形状等としてもよく、試料Ｓを抜け止め保持できる形状であればよい。また、ホルダー板１１の周縁部には、所定間隔を設けて複数のネジ挿通孔１３が形成されている。
【００２３】
更に、ホルダー板１１には、シール部材１５に接着された複数の試料Ｓを、対応する開口部１２に整合させるための、整合手段が設けられている。この実施形態では、ホルダー板１１の内面側に、シール部材１５の外周形状に適合したシール部材外形線１４が罫書きにより施されている（図２参照）。このシール部材外形線１４は、略円形状をなすと共に、直線状に横切る位置合わせ線１４ａを有している。なお、整合手段として、ホルダー板１１の内面側に、シール部材１５に適合する凹部等を設けてもよく、特に限定されるものではない。
【００２４】
上記ホルダー板１１に接着されるシール部材１５は、この実施形態の場合、略円形状の薄板状をなすと共に、カット部１６により外周の一部が直線状に横切るようにカットされた形状となっている（図１参照）。このシール部材１５のホルダー板１１側の内面全体には、粘着層１７が形成されている。
【００２５】
また、シール部材１５の粘着層１７側の内面であって、前記ホルダー板１１に形成された複数の開口部１２に整合した位置に、マーキング１８がそれぞれ施されており、このマーキング１８に合わせて試料Ｓが接着されるようになっている。この実施形態におけるマーキング１８は、開口部１２に対応して配置され、試料Ｓとほぼ同じ大きさの四角形状をなしている。なお、マーキング１８は、試料Ｓの形状に適合する形状とすればよく、四角形状に限定されるものではない。また、ホルダー板１１の開口部１２の中心に整合するように、○印や×印等のマーキング１８を施してもよく、試料Ｓを対応する開口部１２に整合させることができればよい。
【００２６】
そして、シール部材１５外周のカット部１６を、ホルダー板１１の位置合わせ線１４ａに合わせた後、シール部材１５をホルダー板１１に押し付けることにより、複数の開口部１２に複数の試料Ｓがそれぞれ整合して配置され、開口部１２から露出した状態で、ホルダー板１１にシール部材１５が接着されるようになっている。
【００２７】
また、シール部材１５の材質としては、ポリウレタン、ポリイミド等の合成樹脂を用いることができ、その中でも比較的軟質で伸縮性を有するポリウレタンを用いることが好ましい。伸縮性を有する材質でシール部材１５が形成されている場合、試料Ｓの厚みにバラツキがあっても、その厚さ変化に対応して、シール部材１５が適宜変形するようになるので、シール部材１５と試料Ｓとの接着力を保持して、シール部材１５から試料Ｓが剥がれ落ちるのを抑制することができる。
【００２８】
また、シール部材内面の粘着層１７の材質としては、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂等を用いることができ、真空状態や加圧状態、高温状態等においても十分な接着力を保持できる、シリコン系樹脂を用いることが好ましい。
【００２９】
上記ホルダー板１１が脱着可能に装着される本体部２０は、所定厚さで形成された台座状をなしている（図３参照）。その上面中央には、上方が開口した凹部２１が所定深さで形成されている。この凹部２１は、円板状をなしたホルダー板１１に対応して円形状をなし、かつ、その内径はホルダー板１１の外径よりも小さく形成され、本体部２０上にホルダー板１１を載置したときに、凹部２１の上方開口部の周縁に係合して凹部２１が閉塞されるようになっている。また、本体部２０の上面の凹部２１外周には、その周方向に沿って、前記ホルダー板１１の複数のネジ挿通孔１３に対応する位置に、複数のネジ孔２２が形成されている。したがって、ホルダー板１１のネジ挿通孔１３を通してネジ３０を挿入し、本体部２０の対応するネジ孔２２にそれぞれ螺着することにより、本体部２０に対してホルダー板１１を着脱可能に装着することができる。
【００３０】
また、本体部２０の凹部２１の内部には、ホルダー板１１の複数の開口部１２、及び、各開口部１２に整合配置される各試料Ｓに対応した位置に、各試料Ｓの背面を押圧する押圧手段が配置されている。この実施形態での押圧手段は、スプリング２５とされており、その下端が凹部２１の底部２１ａの所定位置に当接支持されていると共に、本体部２０上面にホルダー板１１がセットされたときに、スプリング２５の上端が、シール部材１５に弾性的に当接して試料Ｓの背面を押圧し、試料Ｓが常時ホルダー板１１側へ向けて弾性付勢されるようになっている。なお、押圧手段として、本体部２０の底部２１ａを貫通して凹部２１に連通するネジ孔を設け、このネジ孔から図示しないネジを凹部２１内に挿入し、その上端部で試料Ｓの背面を押圧してもよく、特に限定されるものではない。
【００３１】
また、凹部２１の底部２１ａには、スプリング２５の下端を支持するための突部や、窪み等を形成しておくことが好ましい。この場合、本体部２０にホルダー板１１を装着するまでの間、スプリング２５を立設した状態に安定して支持することができると共に、ホルダー板装着後も、スプリング２５の位置ずれを防止して、所定位置の試料Ｓの背面を確実に押圧することができる。
【００３２】
次に、上記構造をなしたホルダー１０を用いた、本発明による分析用試料の保持方法について説明する。
【００３３】
まず、本体部２０からホルダー板１１を取外しておくと共に、図１に示すように、シール部材１５の各マーキング１８に合わせて、各試料Ｓをそれぞれ載置する。その結果、図２に示すように、シール部材１５の複数のマーキング１８に、複数の試料Ｓを整合した状態でそれぞれ接着させることができる。
【００３４】
この状態で、同図２に示すように、ホルダー板１１内面のシール部材外形線１４の位置合わせ線１４ａに、シール部材１５外周のカット部１６を位置合わせし、その後、シール部材１５をホルダー板１１に向けて押し付ける。すると、複数の開口部１２に複数の試料Ｓがそれぞれ整合して配置されると共に、シール部材１５の試料Ｓが接着された箇所以外の粘着層１７がホルダー板１１の内面に接着されて、各試料Ｓが開口部１２を通して露出するように開口部１２の内面側に装着された状態で、ホルダー板１１にシール部材１５を接着することができる。
【００３５】
このとき、この実施形態では、ホルダー板１１に、シール部材１５に接着された複数の試料Ｓを、対応する開口部１２に整合させるための整合手段（ここではシール部材外形線１４）を設けたので、複数の試料Ｓを、複数の開口部１２にスムーズに位置合わせすることができ、試料Ｓの開口部１２への装着作業性を向上させることができる。
【００３６】
また、この実施形態においては、ホルダー板１１が本体部２０とは別体とされているので、ホルダー板１１を本体部２０から取外して作業スペースの広い場所に配置することができ、上記の試料Ｓの装着作業を容易かつ短時間で行うことができる。
【００３７】
更に、この実施形態では、ホルダー板１１に、四角形状の試料Ｓに対して相似する四角孔状をなすと共に、それよりも小さい開口部１２を設けたので、開口部１２の内面側の各辺周縁に、試料Ｓの各辺がそれぞれ係合するので、開口部１２に対して試料Ｓをしっかりと装着できるようになっている。
【００３８】
一方、本体部２０の凹部２１の内部の、開口部１２及び試料Ｓに整合した位置に、スプリング２５を配置し、その下端部を底部２１ａに当接させて立設した状態に保持させる。この状態で、図３に示すようにホルダー板１１の各ネジ挿通孔１３を、本体部２０の各ネジ孔２２に整合させて、本体部２０上面にホルダー板１１を載置する。その後、互いに連通したネジ挿通孔１３及びネジ孔２２に、ネジ３０を挿入して螺着することにより、図４に示すように、凹部２１の上方開口が閉塞され、各試料Ｓの背面がスプリング２５に弾性付勢された状態で、本体部２０にホルダー板１１を装着することができる。
【００３９】
以上のように、シール部材１５のマーキング１８に合わせて、複数の試料Ｓを配置して、粘着層１７によりシール部材１５に接着した後、このシール部材１５を、ホルダー板１１の内面に、各試料Ｓが対応する開口部１２に整合するように接着するだけの簡単な作業で、複数の試料Ｓを、複数の開口部１２に位置ずれさせることなく、一度の作業で確実に且つスムーズに装着させることができ、試料Ｓの装着作業性を向上させることができる。
【００４０】
また、上記の本体部２０にホルダー板１１が装着された状態では、試料Ｓの背面がスプリング２５により押圧されるようになっているので、試料Ｓがホルダー板１１の開口部１２に強く押し当てられることとなり、ホルダー板１１に対して試料Ｓをほぼ平行に保持しつつ、同試料Ｓを開口部１２に対して位置ずれなく強固に装着することができる。
【００４１】
例えば、分析すべき試料Ｓが厚かったり薄かったりして、その厚みにバラツキがあると、同試料Ｓを覆うシール部材１５が伸びたり縮んだりして、粘着層１７の接着力が試料Ｓに均等に付与されない事態が生じることがある。このように試料Ｓの厚みにバラツキがあるような場合でも、スプリング２５により粘着層１７が試料Ｓの背面に押し当てられるため、その接着力を維持することができると共に、各試料Ｓを開口部１２に位置ずれなく確実に装着することができる。
【００４２】
上記のようにしてホルダー１０に試料Ｓが装着されるが、このホルダー１０は、例えば、二次イオン質量分析による好適に用いることができる。なお、ホルダー１０は、二次イオン質量分析のみならず、Ｘ線分析等の試料載置用としても用いることができ、特に限定されるものではない。上記二次イオン質量分析法は、ビーム状の一次イオンを試料表面に照射し、そのイオンが試料表面に衝突して、スパッタリングされることにより生じる二次イオンを質量分析することにより、試料の元素又は化合物の同定、及び、濃度の測定を行う分析法である。
【００４３】
この二次イオン質量分析を行う二次イオン質量分析装置には、電磁場併用のセクタ型二次イオン分析装置、高周波電界を用いた四重極型二次イオン分析装置、飛行時間型二次イオン分析装置が知られている。図５には、セクタ型二次イオン質量分析装置５０の概略構成図が示されている。このセクタ型二次イオン質量分析装置５０は、ホルダー１０がセットされるケーシング５１と、同ホルダー１０に装着された試料Ｓにビーム状の一次イオンを照射する一次イオン源５２と、スパッタリングにより発生した二次イオンに電場を付与する電場発生部５３と、同二次イオンに磁場を付与する磁場発生部５４と、検出器５５とを有している。そして、一次イオン源５２から生じたビーム状の一次イオンを細束して試料Ｓに照射し、スパッタリングにより発生した二次イオンを、電場発生部５３及び磁場発生部５４により、電場及び磁場を付与して偏光させて、検出器５５で検出されるようになっている。
【００４４】
そして、本発明においては、ホルダー板１１の開口部１２の内面側に装着された試料Ｓは、シール部材１５により保持されて、開口部１２の内面側周縁に係合した状態となっているので、開口部１２の外面側（表側）から試料Ｓまでの距離を所定距離に維持することができるようになっている。そのため、本発明を上記二次イオン質量分析に用いた場合、試料Ｓの厚さにバラツキ等があっても、試料Ｓと、上記一次イオン源５２との距離を常に一定に保持することができるので、その分析精度を向上させることができる。
【００４５】
また、試料Ｓの背面がスプリング２５により押圧されて、試料Ｓが常時ホルダー板１１側へ向けて弾性付勢されるようになっているので、試料Ｓを開口部１２の内面側周縁に試料Ｓをしっかりと係合させて、開口部１２に装着された状態に確実に維持することができる。
【００４６】
なお、上記二次イオン分析では、ホルダー１が真空雰囲気化に置かれると共に、イオンビームにより高温になるため、シール部材１５が軟質化しやすくなって、粘着層１７の試料Ｓに対する接着力を保持できないことがある。このような場合でも、上記スプリング２５により試料Ｓの背面が押圧されるため、試料Ｓを開口部１２に整合して装着された状態に維持することができるので、上記二次イオン分析装置の一次イオン源５２と、試料Ｓとの距離をより確実に保持することができ、分析精度をより一層高めることができる。
【００４７】
図６には、本発明に係る分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーの、他の実施形態が示されている。この実施形態では、前記実施形態と比べてシール部材の構造が異なっている。すなわち、図６（ａ），（ｂ）に示すシール部材１５ａ，１５ｂは、各試料Ｓが接着される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面に形成されて、ホルダー板１１の内面への接着力を弱めるように構成されている。
【００４８】
図６（ａ）に示すシール部材１５ａは、その粘着層１７が、マーキング１８が施され試料Ｓが接着される平滑なフラット面１７ａと、このフラット面１７ａ以外の部分に設けられ、梨地様の微細な凹凸が無数に形成された凹凸面１７ｂとからなり、フラット面１７ａの試料Ｓに対する接着力に対して、凹凸面１７ｂのホルダー板１１の内面に対する接着力が弱くなるように構成されている。
【００４９】
これによれば、シール部材１５ａのフラット面１７ａに試料Ｓを確実に装着させることができると共に、ホルダー板１１の内面への接着力が弱められた凹凸面１７ｂが、ホルダー板１１に接着してシール部材１５ａが装着されるようになっているので、試料Ｓの分析終了後、シール部材１５ａをホルダー板１１から容易に引き剥がすことができ、試料Ｓを開口部１２からスムーズに取外すことができる。
【００５０】
一方、図６（ｂ）に示すシール部材１５ｂは、その粘着層１７が、複数のマーキング１８を囲むように形成された平滑なフラット面１７ａと、その外周に環状に設けられ、ホルダー板１１内面への接着力が弱められた凹凸面１７ｂとから構成されている。この態様によっても、試料Ｓを確実に装着することができると共に、試料Ｓの分析終了後、シール部材１５ｂをホルダー板１１から容易に引き剥がして、試料Ｓを開口部１２からスムーズに取外すことができるという効果が得られる。
【００５１】
なお、前記実施形態では、前記シール部材１５をホルダー板１１に粘着層１７による接着力で保持させるようにしたが、シール部材１５を別の手段でホルダー板１１に保持させることもできる。
【符号の説明】
【００５２】
１ 試料ホルダー
３ 貫通孔
５ 蓋
７ ネジ孔
１０ 分析装置用試料ホルダー（ホルダー）
１１ ホルダー板
１２ 開口部
１３ ネジ挿通孔
１４ シール部材外形線
１４ａ 位置合わせ線
１５，１５ａ，１５ｂ シール部材
１６ カット部
１７ 粘着層
１７ａ フラット面
１７ｂ 凹凸面
１８ マーキング
２０ 本体部
２１ 凹部
２１ａ 底部
２２ ネジ孔
２５ スプリング
３０ ネジ
５０ セクタ型二次イオン質量分析装置
５１ ケーシング
５２ 一次イオン源
５３ 電場発生部
５４ 磁場発生部
５５ 検出器
Ｓ 試料
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を有し、分析すべき試料が該開口部を通して露出するように内面側に保持される試料ホルダーを用いて、分析用の試料を保持する方法において、
前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材を用い、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、
このシール部材を前記試料ホルダーの内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持させることを特徴とする分析用試料の保持方法。
【請求項２】
前記シール部材を介して前記各試料を前記試料ホルダーの内面に保持した後、更に押圧手段によって各試料の背面側を押圧する、請求項１記載の分析用試料の保持方法。
【請求項３】
前記試料ホルダーは、前記試料が配置される複数の開口部を有するホルダー板と、一面が開口された凹状をなし、前記押圧手段が内部に配置され、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを有し、前記ホルダー板の内面に、前記複数の試料を保持したシール部材を保持させ、次いで前記ホルダー板を、各試料の背面に前記押圧手段が配置されるように位置合せして、前記本体部に保持させる請求項２に記載の分析用試料の保持方法。
【請求項４】
前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持させ、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分を、梨地様の微細な凹凸面にして、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱める請求項１〜３のいずれか１つに記載の分析用試料の保持方法。
【請求項５】
分析すべき複数の試料がそれぞれ保持される複数の開口部を有するホルダー板と、前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材と、前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを備え、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、このシール部材を前記ホルダー板の内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持することにより、前記試料が前記開口部から露出するように構成されていることを特徴とする分析装置用試料ホルダー。
【請求項６】
前記本体部は、一面が開口された凹状をなし、前記ホルダー板に保持された各試料の背面を押圧する押圧手段を内部に有し、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に装着されるように構成されている請求項５記載の分析装置用試料ホルダー。
【請求項７】
前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持され、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面に形成されて、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱めるように構成されている請求項５又は６記載の分析装置用試料ホルダー。
【請求項１】
複数の開口部を有し、分析すべき試料が該開口部を通して露出するように内面側に保持される試料ホルダーを用いて、分析用の試料を保持する方法において、
前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材を用い、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、
このシール部材を前記試料ホルダーの内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持させることを特徴とする分析用試料の保持方法。
【請求項２】
前記シール部材を介して前記各試料を前記試料ホルダーの内面に保持した後、更に押圧手段によって各試料の背面側を押圧する、請求項１記載の分析用試料の保持方法。
【請求項３】
前記試料ホルダーは、前記試料が配置される複数の開口部を有するホルダー板と、一面が開口された凹状をなし、前記押圧手段が内部に配置され、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを有し、前記ホルダー板の内面に、前記複数の試料を保持したシール部材を保持させ、次いで前記ホルダー板を、各試料の背面に前記押圧手段が配置されるように位置合せして、前記本体部に保持させる請求項２に記載の分析用試料の保持方法。
【請求項４】
前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持させ、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分を、梨地様の微細な凹凸面にして、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱める請求項１〜３のいずれか１つに記載の分析用試料の保持方法。
【請求項５】
分析すべき複数の試料がそれぞれ保持される複数の開口部を有するホルダー板と、前記開口部に合わせて前記試料を保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、前記試料を保持させる粘着層が形成されたシール部材と、前記ホルダー板が着脱可能に保持される本体部とを備え、
前記シール部材の前記マーキングに合わせて、複数の試料を前記粘着層により前記シール部材にそれぞれ保持し、このシール部材を前記ホルダー板の内面に、前記各試料が対応する開口部に整合するように保持することにより、前記試料が前記開口部から露出するように構成されていることを特徴とする分析装置用試料ホルダー。
【請求項６】
前記本体部は、一面が開口された凹状をなし、前記ホルダー板に保持された各試料の背面を押圧する押圧手段を内部に有し、前記開口された一面に前記ホルダー板が着脱可能に装着されるように構成されている請求項５記載の分析装置用試料ホルダー。
【請求項７】
前記シール部材は、前記ホルダー板の内面に前記粘着層による接着力により保持され、前記シール部材の前記各試料が保持される部分以外の部分が、梨地様の微細な凹凸面に形成されて、前記試料ホルダーの内面への接着力を弱めるように構成されている請求項５又は６記載の分析装置用試料ホルダー。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−１１３６４０（Ｐ２０１１−１１３６４０Ａ）
【公開日】平成２３年６月９日（２０１１．６．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２６５９０４（Ｐ２００９−２６５９０４）
【出願日】平成２１年１１月２４日（２００９．１１．２４）
【出願人】（０００００５２３４）富士電機ホールディングス株式会社 (3,146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月９日（２０１１．６．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１１月２４日（２００９．１１．２４）
【出願人】（０００００５２３４）富士電機ホールディングス株式会社 (3,146)
【Ｆターム（参考）】
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