Fターム[2G052GA00]の内容
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Fターム[2G052GA00]に分類される特許
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観察装置
【課題】高解像度画像を観察することができる観察装置を提供すること。
【解決手段】観察装置100は、サンプルPを保持するサンプルホルダー8と、サンプルPを切断し、順次新たな切断面を形成するブレード7と、第1の対物レンズ11及び第2の対物レンズ12を有する光学系3と、サンプルPの切断面を撮像する電子カメラ2とを有する。メインコントローラ16は、電子カメラ2に、第1の対物レンズ11を介して、切断面の一部に相当する部分画像を撮像させる。メインコントローラは、XYステージを移動させることで、サンプルPと、光学系3とのXY平面内の相対的な位置を変化させ、複数の部分画像を取得する。画像処理部は、切断面毎に、部分画像を合成した合成画像データを生成し、表示部に表示させる。これにより、ユーザは、高解像度画像を観察することができる。
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