【課題】超高真空化が不要で、試料表面の破壊を引き起こすことなく、試料表面のコンタミを安定して防止できる電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法を提供する。
【解決手段】発熱体として、正温度計数(PTC)サーミスタを備えることを特徴とする、観察・分析中のカーボンコンタミネーションの成長と熱ドリフトの抑制能力に優れた、電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー。 （もっと読む）

【課題】ナノツールの交換を、試料の環境変化を起こさずに、例えば真空の試料室を大気開放せずに試料室内で、短時間かつ高精度に自動化するためのナノエクスチェンジャーシステムを提供する。
【解決手段】ナノエクスチェンジャーシステムは、異なるナノツール２に対しても固定・リリースを可能とするナノツールアダプター３と、ナノツールアダプター３を単数もしくは複数の収容が可能なナノツールホルダー１と、ナノツール２を使用するために位置決めを行うナノツール取り付け機構４のいずれかもしくは全てを備えた方法及び装置である。 （もっと読む）

【課題】２つのコラムを用いて、試料の加工や解析、検査をする際の焦点調整を容易化する。
【解決手段】第１粒子ビームコラム２と第２粒子ビームカラム３とを有する粒子ビーム装置１に於いて、試料キャリア２４は、第１ビーム軸２１との間に第２角度Ｗ２を、また、第２ビーム軸２２との間に第３角度Ｗ３を成す回転軸２５を有し、それぞれのカラムに対応した第１位置と第２位置の間で回転可能である。第１ビーム軸２１と第２ビーム軸２２は一致点２３で公差し、試料表面が第１位置にあるとき、一致点２３と第１粒子ビームコラム２との距離は、試料表面と第１粒子ビームコラム２との距離より大きく、又、試料表面が第２位置にあるとき、一致点２３と第２粒子ビームコラム３との距離は、試料表面と第２粒子ビームコラム３との距離よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 試料片を保持している試料支持体からの反射電子や散乱電子が試料片に当たり難くする試料保持方法を提供する。
【解決手段】 試料素材１に集束イオンビーム２を照射して試料片４を切り出す工程と、切り出された試料片４をマニピュレータの先端部に取付けられたプローブ５の先端部に付着させ、ピックアップする工程と、試料素材１に換えて電子顕微鏡用試料ホルダーにセットされる試料支持部材７を集束イオンビーム装置の試料載置台にセットする工程と、プローブ５の先端部に付着された試料片４が試料支持部材７から離れた空間部に位置して、プローブ５の一部が試料支持部材７に接触する様にプローブ５を移動させる工程と、その接触部でプローブ５の一部を試料支持部材７に付着させる工程と、及び、その接触部よりプローブ５の根元側の部分を切断する工程から成る。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分析方法及び装置に関し、ステージ走査でも良好なドリフト補正を行うことができるＸ線分析方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料上の面分析領域の内部を複数のブロックに分けて、ブロック内での各ラインのステージ走査に基づく特性Ｘ線の測定が第１ブロックから各ブロック毎に順次行うようにされており、各ブロックにおいて最初に走査が行われるラインについてのステージ走査の開始前に、試料の電子線走査画像を取得し、第２ブロック以降における特性Ｘ線の測定開始時においては、当該ブロックにおいて取得された電子線走査画像と、その直前のブロックにおいて取得された電子線走査画像との照合を行って、ステージのドリフト量を求め、該ドリフト量に基づいて電子線のビームシフトを行うことにより、試料上での電子線の照射位置を補正してから当該ブロック内での特性Ｘ線測定を開始するように構成する。 （もっと読む）

【課題】配線で可動範囲が制限されたりすることなく試料又はマスクの位置をより柔軟に調整することができる荷電粒子線装置、試料移動装置、マスク位置調整機構、試料位置調整方法及びマスク位置調整方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料ステージ００８に対する試料の位置を調整する試料移動装置０４０であって、ＳＥＭ制御ユニット０１５からの指令に応じて出力指示信号を生成する赤外線ランプ制御ユニット０１４と、赤外線ランプ制御ユニット０１４からの出力指示信号に応じて赤外線信号を照射する赤外線ランプ０１０と、試料ステージ００８上に固定された試料台ホルダー００７と、試料台ホルダー００７に対し変位可能に取り付けた試料台１０２と、赤外線ランプ０１０からの赤外線信号を受光する赤外線センサー１０８と、赤外線センサー１０８で受光した赤外線信号に応じて試料台１０２を駆動するモーター１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】非破壊で且つ高精度にイオンビームの照射位置の位置決めが可能なイオンビーム照射位置決め装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム照射位置決め装置は、試料台１０と観察装置２０とイオンビーム装置３０とマッピング処理部４０と位置決め部５０とマニピュレータ６０とからなる。観察装置２０は、試料の顕微鏡像を出力するものである。イオンビーム装置３０は、試料にイオンビームを照射するものである。マッピング処理部４０は、観察装置により得られる顕微鏡像を用いて試料を座標にマッピングする。位置決め部５０では、マッピング処理部によるマッピング座標を用いて、イオンビームの照射位置座標を決定する。そして、イオンビーム装置によるイオンビームの照射前に、マニピュレータ６０により、位置決め部により決定される照射位置座標に対して、観察装置の視軸とイオンビーム装置の視軸とが同軸となるように試料台を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 試料に電子線を照射してＸ線分析を行なう電子線装置において、高感度のＸ線検出を行なうと共に、試料とＸ線検出器の装置への脱着を簡易に行なうことのできる試料ホルダを提供する。
【解決手段】 サイドエントリー型の試料ホルダＳＨの先端部に試料台支持部材３１で支持されたシリコンドリフト型Ｘ線検出器を組み込む。Ｘ線検出素子１の上に分析試料Ｓを直接載置する。試料位置移動はレバー３２により試料台支持部材３１を動かすことにより行なう。電子線ＥＢにより試料Ｓから発生した特性Ｘ線は、試料の直下にあるＸ線検出素子１により高感度で検出される。 （もっと読む）

【課題】複数の試料を複数の開口部に位置ずれなく確実かつスムーズに保持できる、分析用試料の保持方法及び分析装置用試料ホルダーを提供する。
【解決手段】複数の開口部１２を有し、試料Ｓが開口部１２を通して露出するように内面側に保持される試料ホルダーを用い、開口部１２に合わせて試料Ｓを保持すべき箇所にマーキングが施され、かつ、試料Ｓを保持させる粘着層１７が形成されたシール部材１５を用い、シール部材１５のマーキングに合わせて、複数の試料Ｓを粘着層１７によりシール部材１５にそれぞれ保持し、このシール部材１５を試料ホルダーの内面に、各試料Ｓが対応する開口部１２に整合するように保持させる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の帯電現象を防止する為に複雑な形状を有する該試料のあらゆる面及び孔の内部にも出来るだけ均一に導電性薄膜微粒子を付着（コーティング）させる為の前処理装置。
【解決手段】スパッタされたターゲット２の原子がステージ１１上に載置された試料１０に付着することにより試料表面上に導電性薄膜が形成される。その際、該試料の表面ないしは側壁面上に存在する微細な突起の周囲や孔の内壁に出来るだけ均一な導電性薄膜を一様に形成せしめるべく該試料を載置するステージ１１を制御器７を用いて該ステージ面の中心から互いに離間した３つの保持位置の下部に取り付けられている３つのアクチュエータ１２を通して上下運動させることにより、該ステージ面上の試料を回転させることなく３６０度方位全域で該試料を一定傾斜状態のまま保持することで該ステージ上に載置された非導電性試料の表面ないしは側壁面に一様にコーティングが可能となる。 （もっと読む）

【課題】微小な固体試料を容易に固定、保持することができ、固体試料と試料ホルダとの隙間を軽減して、より正確な分析を行なうことができる、試料ホルダを提供する。
【解決手段】錘５と、錘５の上面に配置される弾性体４と、弾性体４の上面に配置され、弾性体４に付勢される試料固定部２とを備える。この試料固定部２の上面の周囲と接して弾性体４の付勢力に対抗する、開口部８を有するカバー３を備える。さらに、上面にカバー３、内面に錘５が連結され、錘５、弾性体４および試料固定部２を内包する外枠６とを備える。試料固定部２は、その上面に試料７を押圧されることにより、試料７の外形に合わせて変形可能な軟性を有する。 （もっと読む）

【課題】 厚みや大きさの異なる複数の試料のそれぞれの形状に合わせて用意した複数の試料ホルダを、一つの試料ホルダベース上に同時に固定し、信頼性の高い試料の表面分析を可能にする試料ホルダベースを提供する。
【解決手段】 試料ホルダ１，２が、試料搭載空間をなす試料収納部１１，１６と、試料収納部１１，１６の底部に設けられたホルダ固定用凸部３５，３６とを有する試料ホルダ本体と、ホルダ固定用凸部３５，３６を収納する凹部を上部に有するスペーサ１３，１８、スペーサ１３，１８の上部においてホルダ固定用凸部３５，３６をスペーサ１３，１８に固定するホルダ固定手段（押しネジ）１５，２１、スペーサ１３，１８の下部においてスペーサ１３，１８をスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_２４のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段（固定ネジ）１４，１９を有するホルダ高さ調整治具とを備える。 （もっと読む）

【課題】真空引きしても、粘着剤層表面に気泡による凹凸が生じにくい電子顕微鏡用導電性両面粘着シートを提供するを提供する。
【解決手段】カーボン粉、銀粉、銅粉又はニッケル粉などからなる導電性フィラーと、アクリル系樹脂、天然ゴム又はスチレン・ブタジエン系樹脂などからなる粘着性樹脂とで形成され、実質的に有機溶媒を含まず、導電性を有する粘着剤層２の両面に、剥離紙又は剥離ライナーなどからなる剥離層３ａ，３ｂを設けることにより、基材を使用しない電子顕微鏡用導電性両面粘着シート１を構成する。 （もっと読む）

【課題】試料面が、ある自転軸に直交する同一面上にあることを容易に確認できる技術を提供する。
【解決手段】鏡面の試料面を持った複数の試料を取り付けた複数の試料取り付け窓を有する試料ホルダーを、これら複数の試料取り付け窓が同一の軌跡を持つように回転させて、個々の試料取り付け窓をある配置場所に順次配置し、その配置場所にある試料取り付け窓を自転させて、その試料面を観察し、試料面が自転軸に直交する同一面上にあることを確認する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＡＥＳによる断面加工試料の測定において、断面のエッチングによるクリーニング操作から断面の観察、測定操作までにかかる複雑なステージ操作工程や、さらにＣＭＡを搭載したＡＥＳにおける複数試料観察の際の角度微調節といった工程の削減を可能とする試料台の提供を目的とする。
【解決手段】試料台（１）に傾斜角度５０°〜６０°の傾斜面２面からなる傾斜部分（２）を設けることにより、エッチング後、試料ステージの反転操作を行なわずに観察、測定操作を可能とし、また、傾斜部分（２）に並列に試料（５）を固定できる構造により、観察断面の方向をそろえることを可能とすることで位置調整に要する操作を削減することが出来る。 （もっと読む）

【課題】試料の３次元的な元素構成を原子レベルで高精度に分析する際に、分析中の試料の移動を不要とし、試料の取り付け・取り外し等の作業が不要な元素分析装置および当該元素分析装置に使用可能な試料ホルダ等を提供する。
【解決手段】被測定体を搭載する電子顕微鏡用の試料ホルダ１０において、前記被測定体に照射される電子線が通過可能な開口２８、２８’を有する筐体１６と、前記筐体１６の内部に設けられ、前記被測定体から離脱した元素の位置および飛行時間を測定する検出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料上に不純物を付着させることなく、試料を取り扱うことが可能な荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】以上のような目的を達成するために、真空室内にて移動する移動部材の摺動部分に潤滑剤を塗布した走査型電子顕微鏡において、当該潤滑剤として、低分子成分が除去されたものを採用する。これによって、試料汚染を抑制することが可能となり、試料測定後のプロセスにおける不良発生の抑制が可能となる。 （もっと読む）

【課題】生産コスト及び運用コストを低減すること。
【解決手段】放電電極（８）が内部に配置された光発生室（６）と、前記放電電極（８，４３）が放電したときに所定の波長の真空紫外光を発生する真空紫外光発生用ガスを前記光発生室（６）内に流入させるガス流入口（１６）と、前記光発生室（６）内に流入した前記真空紫外光発生用ガスを前記光発生室（６）から流出させるガス流出口（１７）と、前記ガス流出口（１７）および前記ガス流入口（１６）とを接続する循環路（２１＋２２）と、を有し、前記ガス流出口（１７）から流出した前記真空紫外光発生用ガスを前記ガス流入口（１６）から前記光発生室（６）内に流入させることにより前記真空紫外光発生用ガスを循環させることを特徴とする光源装置（４）。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）