吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法ならびにセラミックコンデンサの製造方法
【課題】通気経路となる、通気性を確保するための孔の径（開口径）を小さく保ちながら、従来よりも通気性を向上させた樹脂シートを吸着用シートとして用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法およびセラミックコンデンサの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の吸着方法および製造方法では、厚さ方向に通気性を有する樹脂シートを吸着用シートとして用いる。この樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートである。貫通孔は、直線状に樹脂シートを貫通するストレート孔である。貫通孔の径は２０μｍ以下である。樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である。本発明の各方法において、この樹脂シートは、吸着ユニットの吸着面に配置される。
【解決手段】本発明の吸着方法および製造方法では、厚さ方向に通気性を有する樹脂シートを吸着用シートとして用いる。この樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートである。貫通孔は、直線状に樹脂シートを貫通するストレート孔である。貫通孔の径は２０μｍ以下である。樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である。本発明の各方法において、この樹脂シートは、吸着ユニットの吸着面に配置される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ユニットの吸着面と作業対象物との直接の接触を防ぐ樹脂シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法に関する。また、本発明は、当該樹脂シートを用いたセラミックコンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話などの小型電子機器の普及に伴い、当該機器に使用されるセラミックコンデンサーの小型化、高容量化が求められている。セラミックコンデンサーは、通常、誘電体薄膜（セラミックグリーンシート）を積層して製造される。セラミックコンデンサーの小型化、高容量化の一手法としてセラミックグリーンシートの薄膜化があり、近年、１〜２μｍ厚にまで薄膜化を進めたセラミックグリーンシートが実用化されている。
【０００３】
セラミックグリーンシートは、離型シート上に誘電体ペーストを塗工、乾燥することにより形成される。セラミックグリーンシートは、離型シートと一体となって、セラミックコンデンサー製造工程に供給される。供給されたセラミックグリーンシートは、必要に応じて電極膜の形成および／またはカッティングがなされた後、離型シートから剥離され、所定の位置に搬送されて積層される。セラミックグリーンシートの離型シートからの剥離および剥離したセラミックグリーンシートの搬送には、吸引によりセラミックグリーンシートを吸着する吸着ヘッド（suction head）の使用が一般的である（吸着搬送）。これにより、セラミックグリーンシートの安定した剥離および搬送、ならびに精度よい積層が可能となる。吸着ヘッドは、通常、金属からなるが、セラミックグリーンシートに含まれる微細なセラミック粉体によって、その吸着面（suction face）に傷が付きやすい。この傷は、後に吸着されるセラミックグリーンシートに傷が付く原因となり、セラミックコンデンサーの不良発生の原因となる。このため、吸着面の保護を目的として、通気性を有する樹脂シート（吸着用シート：suction sheet）が当該吸着面に配置される。また、吸着用シートを交換可能に配置することで、吸着ヘッド自体を取り外すことなくセラミックグリーンシート積層装置のメンテナンスが可能になるなどの効果も得られる。
【０００４】
吸着用シートの一種に、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）からなる多孔質シートがある（例えば、特許文献１参照）。ＵＨＭＷＰＥからなる多孔質シートは、通気性、表面平滑性、離型性に優れており、セラミックグリーンシートの剥離、吸着搬送、積層に好適である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2006−26981号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
セラミックグリーンシートの薄膜化が進むと、セラミックグリーンシート自身が通気性を持つようになるとともに、離型シートとの間に働くファンデルワールス力の影響が大きくなるため、離型シートからの剥離および吸着搬送に必要な吸着力が増大する。このため、通気性をさらに向上させた吸着用シートの使用が望まれる。
【０００７】
ところで、シートの通気性を向上させるためには、通気経路の容積を大きくして通気抵抗を減らす手法が一般的である。例えば、多孔質シートの場合、その平均孔径および／または気孔率を大きくすることでシートの通気性が向上する。しかし、多孔質シートを吸着用シートに用いる場合、平均孔径を大きくすると、セラミックグリーンシートが吸着用シート表面の孔に吸い込まれやすくなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。一方、気孔率を大きくすると、セラミックグリーンシートの吸着時に吸着用シートが変形しやすくなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。変形および積層不良の問題は、薄膜化されたセラミックグリーンシートで特に起きやすい。こうした事情のもと、本発明は、通気経路となる、通気性を確保するための孔の径（開口径）を小さく保ちながら、従来よりも通気性を向上させた樹脂シートを吸着用シートとして用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法およびセラミックコンデンサの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の吸着方法は、吸着ユニットへ作業対象物（吸着対象物）を吸着させる方法であって、吸着ユニットの吸着面に作業対象物を吸着させる工程を含む。前記吸着面に、前記作業対象物と前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シート（吸着用シート）が配置されている。前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートである。前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔である。前記貫通孔の径が２０μｍ以下である。前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である。
【０００９】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含む。前記吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シート（吸着用シート）が配置されている。前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートである。前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔である。前記貫通孔の径が２０μｍ以下である。前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の吸着方法では、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂シートであって、貫通孔が直線状に当該樹脂シートを貫通するストレート孔であり、貫通孔の径が２０μｍ以下であり、厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である樹脂シートを、吸着ユニットの吸着面に配置して、吸着ユニットに作業対象物を吸着させる。この樹脂シートは、作業対象物と吸着ユニットの吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートである。作業対象物は、吸着用シートを介して、吸着面に吸着される。吸着用シートの配置により、吸着ユニットの吸着面が保護される。当該吸着用シートは、通気性を確保するための孔の径（開口径）が小さいながらも、従来の吸着用シートよりも高い通気性を有する。このため、本発明の吸着方法では、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）への作業対象物の吸い込みが抑制されながら、当該対象物が効率よく吸着される。作業対象物が、セラミックコンデンサの製造に用いられるセラミックグリーンシートである場合、セラミックグリーンシートを離型シートから確実に剥離できるとともに、剥離時および吸着搬送時におけるセラミックグリーンシートの変形が抑制され、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生が抑制される。この効果は、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）への吸い込みが発生しやすく、剥離シートから剥離しにくい薄膜化セラミックグリーンシートが作業対象物である場合に、特に顕著となる。
【００１１】
本発明の製造方法では、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂シートであって、貫通孔が直線状に当該樹脂シートを貫通するストレート孔であり、貫通孔の径が２０μｍ以下であり、厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である樹脂シートを、吸着ユニットの吸着面に配置して、セラミックコンデンサを製造する。この樹脂シートは、セラミックグリーンシートと吸着ユニットの吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートである。吸着ユニットは、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程、ならびに剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送（吸着搬送）し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程に使用される。吸着用シートの配置により、吸着ユニットの吸着面が保護される。当該吸着用シートは、通気性を確保するための孔の径（開口径）が小さいながらも、従来の吸着用シートよりも高い通気性を有する。このため、本発明の製造方法では、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）へのセラミックグリーンシートの吸い込みが抑制されながら、セラミックグリーンシートが効率よく吸着される。これにより、剥離工程においてセラミックグリーンシートが離型シートから確実に剥離されるとともに、剥離時および吸着搬送時におけるセラミックグリーンシートの変形が抑制され、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生が抑制される。この効果は、吸着用シート表面に存在する孔（開口）への吸い込みが発生しやすく、剥離シートから剥離しにくい薄膜化セラミックグリーンシートを使用する場合に、特に顕著となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の吸着方法および製造方法に使用する樹脂シートの一例を模式的に示す平面図である。
【図２】図１に示す樹脂シートの断面Ｂ−Ｂを示す断面図である。
【図３】本発明の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法の一例を模式的に示す断面図である。
【図４Ａ】本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における剥離工程を示す模式図である。
【図４Ｂ】本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における積層工程を示す模式図である。
【図４Ｃ】本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における焼成工程を示す模式図である。
【図５】実施例において、吸着用シートの評価に用いた装置を示す模式図である。
【図６】実施例１で用いた吸着用シート表面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像を示す図である。
【図７】実施例２で用いた吸着用シート表面のＳＥＭ像を示す図である。
【図８】比較例で用いた吸着用シート表面のＳＥＭ像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の吸着方法および製造方法で使用する吸着用シートは、厚さ方向に貫通する多数の貫通孔が形成された、非多孔質の樹脂シートＡである。樹脂シートＡは、厚さ方向に通気性を有し、吸着用シートとして機能する。非多孔質とは、当該貫通孔以外に、厚さ方向の通気経路となる孔を有さないことをいう。樹脂シートＡは、典型的には、当該貫通孔を除いて無孔の樹脂シートである。
【００１４】
図１，２に、樹脂シートＡの一例を示す。図２は、図１に示す樹脂シート１１の断面Ｂ−Ｂを示す。樹脂シート１１には、その厚さ方向に貫通する多数の貫通孔１２が形成されている。樹脂シート１１は、貫通孔１２を除き、無孔である。
【００１５】
樹脂シートＡの貫通孔の径（開口径）は２０μｍ以下である。これにより、樹脂シートＡを吸着用シートとして使用した際に、当該シートの表面に存在する孔（開口）への作業対象物（例えば、セラミックグリーンシート）の吸い込みが抑制される。貫通孔の径が２０μｍを超えると、シートの表面に存在する開口への作業対象物の吸い込みが生じやすい。また、吸い込みが起こらないまでも、作業対象物の表面に開口の跡がつくことで、作業対象物の厚さにバラツキが生じやすい。作業対象物がセラミックグリーンシートである場合、シートの厚さのバラツキは、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生につながる。貫通孔の径は１０μｍ以下が好ましい。このような微細な貫通孔は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングにより形成できる。貫通孔の径（開口径）の下限は、樹脂シートＡの通気度がJIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である限り、特に限定されない。当該下限は、例えば、０．８μｍである。
【００１６】
貫通孔の形状は特に限定されず、例えば、その開口形状が円形であってもよいし、不定形であってもよい。図１，２に示す樹脂シート１１において、貫通孔１２の開口形状は円形である。
【００１７】
貫通孔は、直線状に樹脂シートＡを貫通するストレート孔である。その径は、樹脂シートＡの一方の主面から他方の主面に至るまで、ほぼ変化しないことが好ましい。樹脂シートＡは２以上の貫通孔を有するが、貫通孔同士は、典型的には、互いに独立している。このような貫通孔は、例えばイオンビーム照射およびエッチングにより形成できる。イオンビーム照射およびエッチングでは、開口径および軸線の方向が揃った多数の貫通孔を樹脂シートに形成できる。
【００１８】
貫通孔の軸線は、通常、樹脂シートＡの主面に垂直な方向である。当該貫通孔が樹脂シートＡの厚さ方向に貫通する（当該貫通孔によって、樹脂シートＡの厚さ方向の通気が確保される）限り、主面に垂直な方向から傾いていてもよい。
【００１９】
従来、吸着用シートとして多孔質シートが使用されている。しかし、多孔質シートでは、通気経路となる孔の形状が不規則であり、通気経路に沿って常に変化しているとともに、孔同士が複雑に接続している。このため、樹脂シートＡの貫通孔の径と同じ平均孔径を有する多孔質シートでは、当該樹脂シートＡに比べて著しく通気抵抗が高く、通気性が悪くなる。これに加えて、多孔質シートは、当該シートの厚さ方向だけではなく平面方向への通気性も有するため、吸着用シートとして使用した際に、いわゆる吸着力の横漏れが発生する。通気性が低く、横漏れが発生する吸着用シートを使用すると、セラミックグリーンシートなどの作業対象物を吸着するために大きな吸引圧力が必要になるとともに、吸着用シートの場所によって吸着力が変化する（吸着用シートの端部で特に吸着力が低下する）ため、吸着時に作業対象物の変形が発生しやすい。
【００２０】
これに対して樹脂シートＡでは、通気経路となる貫通孔の貫通方向は樹脂シートＡの厚さ方向であり、貫通孔の形状も通気経路上でほぼ変化しない。このため、厚さ方向の通気抵抗が非常に低く、良好な通気性を有する吸着用シートとなる。また、横漏れのない吸着用シートとなる。
【００２１】
樹脂シートＡを構成する材料は特に限定されない。樹脂シートＡは、例えば、イオンビーム照射およびエッチングによって上記貫通孔が形成される材料から構成される。このような材料は、例えば、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される（加水分解性および／または酸化分解性を有する）材料である。アルカリ物質は、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムである。酸化剤は、例えば、亜塩素酸およびその塩、次亜塩素酸およびその塩、過酸化水素、過マンガン酸カリウムである。
【００２２】
樹脂シートＡは、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される。これらの樹脂は、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される材料である。ＰＩは、次亜塩素酸ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。その他の樹脂は、水酸化ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。
【００２３】
表面の平滑度が高いことから、樹脂シートＡはＰＥＴから構成されることが好ましい。吸着用シート表面の平滑度が高い方が、吸着時における作業対象物の変形が抑制される。
【００２４】
さらに、ＰＥＴから構成される樹脂シートＡの厚み精度は、シート厚が１２．５〜１００μｍの範囲で、±２μｍ程度とすることができる。この厚み精度は、表面を平滑に調整したＵＨＭＷＰＥ多孔質シートにおける厚み精度（±５μｍ）に比べて、非常に優れている。これに加えて、ＰＥＴから構成される樹脂シートＡの表面粗さは、JIS B0601に準拠して測定した算術平均粗さＲａにして０．０５μｍ程度、最大高さＲｍａｘにして０．１μｍ程度とすることができる。これは、表面を平滑に調整したＵＨＭＷＰＥ多孔質シートにおけるＲａ（＝０．５μｍ）、Ｒｍａｘ（＝１５μｍ）に比べて非常に小さい。これらの特性は、本発明の効果をより強める。
【００２５】
樹脂シートＡの通気度（厚さ方向の通気度）は、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下であり、３秒／１００ｍＬ以下が好ましい。樹脂シートＡの通気度は、貫通孔の径および貫通孔の密度により調整できる。
【００２６】
樹脂シートＡの気孔率は特に限定されない。作業対象物の吸着時における樹脂シートＡの変形を抑制する観点からは、４０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましい。樹脂シートＡの気孔率がこのように低い場合においても、その通気経路の形状により、樹脂シートＡは非常に高い通気性を有する。
【００２７】
樹脂シートＡの一方の面に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されていてもよい。コーティングは、例えば、フッ素化合物など、表面の摩擦係数を低下させる作用を有する化合物のコーティングである。このような樹脂シートＡは、吸着ユニットが作業対象物を吸着した際に、当該一方の面（コーティング面）が作業対象物に接するように、吸着ユニットの吸着面に配置されて使用される。本発明の吸着方法では、吸着ユニットが作業対象物を吸着した際にコーティング面が作業対象物に接するように、樹脂シートＡが吸着面に配置されていてもよい。本発明のセラミックコンデンサの製造方法では、吸着ユニットがセラミックグリーンシートを吸着した際にコーティング面がセラミックグリーンシートに接するように、樹脂シートＡが吸着面に配置されていてもよい。これにより、吸着ユニットからの作業対象物（例えば、セラミックグリーンシート）の離型性が向上する。
【００２８】
樹脂シートＡの一方の面に、当該面における貫通孔の開口が露出するように、粘着剤が配置されていてもよい。粘着剤の種類は特に限定されない。貫通孔の開口は、樹脂シートＡの通気度に関する上記規定が満たされる限り、少なくともその一部が露出していればよい。このような樹脂シートＡは、当該一方の面（粘着面）が吸着面と接合するように、吸着面に配置されて使用される。本発明の吸着方法およびセラミックコンデンサの製造方法では、粘着面が吸着面と接合するように、樹脂シートＡが吸着面に配置されていてもよい。
【００２９】
吸着用シートである樹脂シートＡを吸着ユニットの吸着面に配置する方法は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。
【００３０】
本発明の吸着方法は、吸着ユニットの吸着面に作業対象物を吸着させる工程を含む。ここで、吸着用シートである樹脂シートＡが吸着用ユニットの吸着面に配置されている限り、当該工程の詳細は特に限定されない。
【００３１】
図３に、本発明の吸着方法の一例を示す。図３に示す方法では、吸着ユニット１４に作業対象物１５が吸着されている。吸着ユニット１４の吸着面１３には、図１に示す樹脂シート１１が配置されており、作業対象物１５は、樹脂シート１１を介して吸着面１３に吸着される。吸着ユニット１４は、吸着ユニット１４に吸引力を発生させるポンプ（図示せず）に接続されている。なお、図３に示す吸着ユニット１４の吸着面１３には複数の孔１６が形成されており、孔１６によって、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸引力が発生する。吸着ユニット１４における孔１６が形成されている範囲Ｌ１は、作業対象物１５の範囲Ｌ２よりも狭いことが好ましい。
【００３２】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、剥離工程および積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート積層体を焼成する焼成工程と、を含む。ここで、吸着用シートである樹脂シートＡが吸着ユニットの吸着面に配置されている限り、各工程の詳細は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。
【００３３】
図４Ａ〜図４Ｃに、本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における各工程を示す。図４Ａは剥離工程を、図４Ｂは積層工程を、図４Ｃは焼成工程を、それぞれ示す。
【００３４】
図４Ａに示す剥離工程では、離型フィルム２１上に形成されたセラミックグリーンシート２２（図４Ａの（１）参照）を、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸着させて、離型フィルム２１から剥離する（図４Ａの（２），（３）参照）。吸着面１３の表面には、上述した樹脂シート１１が配置されており、セラミックグリーンシート２２は、樹脂シート１１を介して吸着面１３に吸着される。
【００３５】
図４Ｂに示す積層工程では、剥離工程において剥離したセラミックグリーンシート２２を、吸着面１３に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシート２２と積層する（図４Ｂの（１）〜（３）参照）。
【００３６】
図４Ｃに示す焼成工程では、図４Ａに示す剥離工程および図４Ｂに示す積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート２２の積層体２３を焼成して、焼成体２４を得る。その後、焼成体２４に電極を配置する工程などを経て、セラミックコンデンサが得られる。図４Ｃに示す積層体２３は、図を分かり易くするために８層に過ぎないが、実際には、剥離工程および積層工程を繰り返すことによって、より多くのセラミックグリーンシート２２が積層されてもよい。
【００３７】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法における剥離工程、積層工程および焼成工程の詳細は、公知のセラミックコンデンサの製造方法に従えばよい。
【００３８】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、必要に応じ、剥離工程、積層工程および焼成工程以外の任意の工程を含んでいてもよい。
【実施例】
【００３９】
以下、実施例により、本発明をさらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。
【００４０】
本実施例では、吸着用シートとして、樹脂シートＡ（実施例１、２）およびＵＨＭＷＰＥ多孔質シート（比較例）を、それぞれ、図５に示す吸着ユニット１の吸着面２に配置し、吸着ユニット１に吸引力を発生させたときに、吸着ユニット１外部の外気と吸着ユニット１の内部との間に生じる差圧aを、圧力計３を用いて評価した。差圧が小さい方が吸着用シートの通気性が高い。吸着ユニット１の吸着面２よりも吸着用シート４が小さい場合は、図５に示すように、吸着面２における吸着用シート４が配置されていない部分をテープ５などにより閉塞させ、吸着用シート４のみを通して吸着ユニット１の内部に外気が吸引されるようにした。
【００４１】
比較のために、吸着面２に何も配置しないときに外気と吸着ユニット１内部との間に生じる差圧ｂと、吸着面２を無孔の樹脂シートにより閉塞させたときに外気と吸着ユニット１内部との間に生じる差圧ｃとを併せて評価した。吸着用シートの通気性が高い場合、吸着面２に何も配置しないときの差圧ｂと、吸着用シートを配置したときの差圧aの値が近く、かつ吸着用シートを配置したときの差圧aと、吸着面２を閉塞させたときの差圧ｃとの差が大きい。差圧の測定は、吸着面２に何も配置しないときに吸着ユニット１が吸引する空気の流量が１０ＳＬＭ、２０ＳＬＭ、３０ＳＬＭとなるように、調節バルブ６および流量計７を用いて吸着ユニット１の吸引力を設定することにより、吸着ユニット１の吸引力を変化させながら行った。ＳＬＭの基準温度は２５℃である。図５の符号８は、真空ポンプである。
【００４２】
（実施例１）
樹脂シートＡとして、ＰＥＴからなる無孔のベースシート（厚さ２２μｍ）に、イオンビーム照射およびエッチングにより多数の貫通孔（開口径０．８μｍ）を形成した樹脂シート（オキシフェン社製、OxyDisk）を用いた。貫通孔は、ベースシートの厚さ方向に軸線を有する、内径がほぼ一定のストレート孔であった。当該樹脂シート表面のＳＥＭ像を図６に示す。JIS P8117に準拠して測定した当該樹脂シートのガーレー数（厚さ方向のガーレー数）は、２．７秒／１００ｍＬであった。当該樹脂シートの気孔率は２９．８％（面積％）であった。樹脂シートの気孔率は、貫通孔の上記形状に基づき、樹脂シートの表面に占める貫通孔の開口の面積の割合とした。この割合は、樹脂シート表面のＳＥＭ像を画像処理により二値化して求めた。気孔率の測定方法は、以降の実施例２においても同様である。
【００４３】
（実施例２）
樹脂シートＡとして、ＰＥＴからなる無孔のベースシート（厚さ２２μｍ）に、イオンビーム照射およびエッチングにより多数の貫通孔（開口径１０μｍ）を形成した樹脂シート（オキシフェン社製、OxyDisk）を用いた。貫通孔は、ベースシートの厚さ方向に軸線を有する、内径がほぼ一定のストレート孔であった。当該樹脂シート表面のＳＥＭ像を図７に示す。JIS P8117に準拠して測定した当該樹脂シートのガーレー数（厚さ方向のガーレー数）は、０．０６秒／１００ｍＬであった。また、当該樹脂シートの気孔率は１１．４％（面積％）であった。
【００４４】
（比較例）
吸着用シートとして、ＵＨＭＷＰＥ多孔質シート（日東電工社製、サンマップＬＣＴ５３２０Ｓ、厚さ２００μｍ）を用いた。当該多孔質シート表面のＳＥＭ像を図８に示す。この多孔質シートの平均孔径は、２０μｍであった。
【００４５】
実施例１，２および比較例の評価結果を、それぞれ以下の表１〜３に示す。
【００４６】
【表１】
【００４７】
【表２】
【００４８】
【表３】
【００４９】
表１〜３に示すように、樹脂シートＡを吸着用シートとして用いた実施例１，２では、ＵＨＭＷＰＥ多孔質シートを吸着用シートとして用いた比較例に比べて、通気経路となる孔の径が小さいながらも、非常に高い通気性が実現した。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明の吸着方法は、セラミックコンデンサの製造、半導体ウェハーの製造、微小部品の吸引固定など、幅広い用途に応用できる。
【００５１】
本発明の各方法において吸着用シートとして使用する樹脂シートは、吸着ユニットの吸着面に配置してセラミックグリーンシートと吸着面との接触を防ぐ目的以外にも、半導体ウェハーをカットあるいは吸引する際の固定ユニット、および微小部品の吸引固定ユニットなど、幅広い吸着ユニットに対して使用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１ 吸着ユニット
２ 吸着面
３ 圧力計
４ 吸着用シート
５ テープ
６ 調節バルブ
７ 流量計
８ 真空ポンプ
１１ 樹脂シート
１２ 貫通孔
１３ 吸着面
１４ 吸着ユニット
１５ 作業対象物
１６ 孔
２１ 離型フィルム
２２ セラミックグリーンシート
２３ 積層体
２４ 焼成体
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ユニットの吸着面と作業対象物との直接の接触を防ぐ樹脂シートを用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法に関する。また、本発明は、当該樹脂シートを用いたセラミックコンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話などの小型電子機器の普及に伴い、当該機器に使用されるセラミックコンデンサーの小型化、高容量化が求められている。セラミックコンデンサーは、通常、誘電体薄膜（セラミックグリーンシート）を積層して製造される。セラミックコンデンサーの小型化、高容量化の一手法としてセラミックグリーンシートの薄膜化があり、近年、１〜２μｍ厚にまで薄膜化を進めたセラミックグリーンシートが実用化されている。
【０００３】
セラミックグリーンシートは、離型シート上に誘電体ペーストを塗工、乾燥することにより形成される。セラミックグリーンシートは、離型シートと一体となって、セラミックコンデンサー製造工程に供給される。供給されたセラミックグリーンシートは、必要に応じて電極膜の形成および／またはカッティングがなされた後、離型シートから剥離され、所定の位置に搬送されて積層される。セラミックグリーンシートの離型シートからの剥離および剥離したセラミックグリーンシートの搬送には、吸引によりセラミックグリーンシートを吸着する吸着ヘッド（suction head）の使用が一般的である（吸着搬送）。これにより、セラミックグリーンシートの安定した剥離および搬送、ならびに精度よい積層が可能となる。吸着ヘッドは、通常、金属からなるが、セラミックグリーンシートに含まれる微細なセラミック粉体によって、その吸着面（suction face）に傷が付きやすい。この傷は、後に吸着されるセラミックグリーンシートに傷が付く原因となり、セラミックコンデンサーの不良発生の原因となる。このため、吸着面の保護を目的として、通気性を有する樹脂シート（吸着用シート：suction sheet）が当該吸着面に配置される。また、吸着用シートを交換可能に配置することで、吸着ヘッド自体を取り外すことなくセラミックグリーンシート積層装置のメンテナンスが可能になるなどの効果も得られる。
【０００４】
吸着用シートの一種に、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）からなる多孔質シートがある（例えば、特許文献１参照）。ＵＨＭＷＰＥからなる多孔質シートは、通気性、表面平滑性、離型性に優れており、セラミックグリーンシートの剥離、吸着搬送、積層に好適である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2006−26981号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
セラミックグリーンシートの薄膜化が進むと、セラミックグリーンシート自身が通気性を持つようになるとともに、離型シートとの間に働くファンデルワールス力の影響が大きくなるため、離型シートからの剥離および吸着搬送に必要な吸着力が増大する。このため、通気性をさらに向上させた吸着用シートの使用が望まれる。
【０００７】
ところで、シートの通気性を向上させるためには、通気経路の容積を大きくして通気抵抗を減らす手法が一般的である。例えば、多孔質シートの場合、その平均孔径および／または気孔率を大きくすることでシートの通気性が向上する。しかし、多孔質シートを吸着用シートに用いる場合、平均孔径を大きくすると、セラミックグリーンシートが吸着用シート表面の孔に吸い込まれやすくなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。一方、気孔率を大きくすると、セラミックグリーンシートの吸着時に吸着用シートが変形しやすくなり、セラミックグリーンシートの変形および積層不良が誘発される。変形および積層不良の問題は、薄膜化されたセラミックグリーンシートで特に起きやすい。こうした事情のもと、本発明は、通気経路となる、通気性を確保するための孔の径（開口径）を小さく保ちながら、従来よりも通気性を向上させた樹脂シートを吸着用シートとして用いた、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法およびセラミックコンデンサの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の吸着方法は、吸着ユニットへ作業対象物（吸着対象物）を吸着させる方法であって、吸着ユニットの吸着面に作業対象物を吸着させる工程を含む。前記吸着面に、前記作業対象物と前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シート（吸着用シート）が配置されている。前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートである。前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔である。前記貫通孔の径が２０μｍ以下である。前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である。
【０００９】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含む。前記吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シート（吸着用シート）が配置されている。前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートである。前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔である。前記貫通孔の径が２０μｍ以下である。前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の吸着方法では、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂シートであって、貫通孔が直線状に当該樹脂シートを貫通するストレート孔であり、貫通孔の径が２０μｍ以下であり、厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である樹脂シートを、吸着ユニットの吸着面に配置して、吸着ユニットに作業対象物を吸着させる。この樹脂シートは、作業対象物と吸着ユニットの吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートである。作業対象物は、吸着用シートを介して、吸着面に吸着される。吸着用シートの配置により、吸着ユニットの吸着面が保護される。当該吸着用シートは、通気性を確保するための孔の径（開口径）が小さいながらも、従来の吸着用シートよりも高い通気性を有する。このため、本発明の吸着方法では、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）への作業対象物の吸い込みが抑制されながら、当該対象物が効率よく吸着される。作業対象物が、セラミックコンデンサの製造に用いられるセラミックグリーンシートである場合、セラミックグリーンシートを離型シートから確実に剥離できるとともに、剥離時および吸着搬送時におけるセラミックグリーンシートの変形が抑制され、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生が抑制される。この効果は、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）への吸い込みが発生しやすく、剥離シートから剥離しにくい薄膜化セラミックグリーンシートが作業対象物である場合に、特に顕著となる。
【００１１】
本発明の製造方法では、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された非多孔質の樹脂シートであって、貫通孔が直線状に当該樹脂シートを貫通するストレート孔であり、貫通孔の径が２０μｍ以下であり、厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である樹脂シートを、吸着ユニットの吸着面に配置して、セラミックコンデンサを製造する。この樹脂シートは、セラミックグリーンシートと吸着ユニットの吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する吸着用シートである。吸着ユニットは、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程、ならびに剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送（吸着搬送）し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程に使用される。吸着用シートの配置により、吸着ユニットの吸着面が保護される。当該吸着用シートは、通気性を確保するための孔の径（開口径）が小さいながらも、従来の吸着用シートよりも高い通気性を有する。このため、本発明の製造方法では、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）へのセラミックグリーンシートの吸い込みが抑制されながら、セラミックグリーンシートが効率よく吸着される。これにより、剥離工程においてセラミックグリーンシートが離型シートから確実に剥離されるとともに、剥離時および吸着搬送時におけるセラミックグリーンシートの変形が抑制され、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生が抑制される。この効果は、吸着用シート表面に存在する孔（開口）への吸い込みが発生しやすく、剥離シートから剥離しにくい薄膜化セラミックグリーンシートを使用する場合に、特に顕著となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の吸着方法および製造方法に使用する樹脂シートの一例を模式的に示す平面図である。
【図２】図１に示す樹脂シートの断面Ｂ−Ｂを示す断面図である。
【図３】本発明の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法の一例を模式的に示す断面図である。
【図４Ａ】本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における剥離工程を示す模式図である。
【図４Ｂ】本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における積層工程を示す模式図である。
【図４Ｃ】本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における焼成工程を示す模式図である。
【図５】実施例において、吸着用シートの評価に用いた装置を示す模式図である。
【図６】実施例１で用いた吸着用シート表面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像を示す図である。
【図７】実施例２で用いた吸着用シート表面のＳＥＭ像を示す図である。
【図８】比較例で用いた吸着用シート表面のＳＥＭ像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の吸着方法および製造方法で使用する吸着用シートは、厚さ方向に貫通する多数の貫通孔が形成された、非多孔質の樹脂シートＡである。樹脂シートＡは、厚さ方向に通気性を有し、吸着用シートとして機能する。非多孔質とは、当該貫通孔以外に、厚さ方向の通気経路となる孔を有さないことをいう。樹脂シートＡは、典型的には、当該貫通孔を除いて無孔の樹脂シートである。
【００１４】
図１，２に、樹脂シートＡの一例を示す。図２は、図１に示す樹脂シート１１の断面Ｂ−Ｂを示す。樹脂シート１１には、その厚さ方向に貫通する多数の貫通孔１２が形成されている。樹脂シート１１は、貫通孔１２を除き、無孔である。
【００１５】
樹脂シートＡの貫通孔の径（開口径）は２０μｍ以下である。これにより、樹脂シートＡを吸着用シートとして使用した際に、当該シートの表面に存在する孔（開口）への作業対象物（例えば、セラミックグリーンシート）の吸い込みが抑制される。貫通孔の径が２０μｍを超えると、シートの表面に存在する開口への作業対象物の吸い込みが生じやすい。また、吸い込みが起こらないまでも、作業対象物の表面に開口の跡がつくことで、作業対象物の厚さにバラツキが生じやすい。作業対象物がセラミックグリーンシートである場合、シートの厚さのバラツキは、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生につながる。貫通孔の径は１０μｍ以下が好ましい。このような微細な貫通孔は、例えば、イオンビーム照射およびエッチングにより形成できる。貫通孔の径（開口径）の下限は、樹脂シートＡの通気度がJIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして１０秒／１００ｍＬ以下である限り、特に限定されない。当該下限は、例えば、０．８μｍである。
【００１６】
貫通孔の形状は特に限定されず、例えば、その開口形状が円形であってもよいし、不定形であってもよい。図１，２に示す樹脂シート１１において、貫通孔１２の開口形状は円形である。
【００１７】
貫通孔は、直線状に樹脂シートＡを貫通するストレート孔である。その径は、樹脂シートＡの一方の主面から他方の主面に至るまで、ほぼ変化しないことが好ましい。樹脂シートＡは２以上の貫通孔を有するが、貫通孔同士は、典型的には、互いに独立している。このような貫通孔は、例えばイオンビーム照射およびエッチングにより形成できる。イオンビーム照射およびエッチングでは、開口径および軸線の方向が揃った多数の貫通孔を樹脂シートに形成できる。
【００１８】
貫通孔の軸線は、通常、樹脂シートＡの主面に垂直な方向である。当該貫通孔が樹脂シートＡの厚さ方向に貫通する（当該貫通孔によって、樹脂シートＡの厚さ方向の通気が確保される）限り、主面に垂直な方向から傾いていてもよい。
【００１９】
従来、吸着用シートとして多孔質シートが使用されている。しかし、多孔質シートでは、通気経路となる孔の形状が不規則であり、通気経路に沿って常に変化しているとともに、孔同士が複雑に接続している。このため、樹脂シートＡの貫通孔の径と同じ平均孔径を有する多孔質シートでは、当該樹脂シートＡに比べて著しく通気抵抗が高く、通気性が悪くなる。これに加えて、多孔質シートは、当該シートの厚さ方向だけではなく平面方向への通気性も有するため、吸着用シートとして使用した際に、いわゆる吸着力の横漏れが発生する。通気性が低く、横漏れが発生する吸着用シートを使用すると、セラミックグリーンシートなどの作業対象物を吸着するために大きな吸引圧力が必要になるとともに、吸着用シートの場所によって吸着力が変化する（吸着用シートの端部で特に吸着力が低下する）ため、吸着時に作業対象物の変形が発生しやすい。
【００２０】
これに対して樹脂シートＡでは、通気経路となる貫通孔の貫通方向は樹脂シートＡの厚さ方向であり、貫通孔の形状も通気経路上でほぼ変化しない。このため、厚さ方向の通気抵抗が非常に低く、良好な通気性を有する吸着用シートとなる。また、横漏れのない吸着用シートとなる。
【００２１】
樹脂シートＡを構成する材料は特に限定されない。樹脂シートＡは、例えば、イオンビーム照射およびエッチングによって上記貫通孔が形成される材料から構成される。このような材料は、例えば、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される（加水分解性および／または酸化分解性を有する）材料である。アルカリ物質は、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムである。酸化剤は、例えば、亜塩素酸およびその塩、次亜塩素酸およびその塩、過酸化水素、過マンガン酸カリウムである。
【００２２】
樹脂シートＡは、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される。これらの樹脂は、アルカリ物質および／または酸化剤を含んだエッチング処理液により分解される材料である。ＰＩは、次亜塩素酸ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。その他の樹脂は、水酸化ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。
【００２３】
表面の平滑度が高いことから、樹脂シートＡはＰＥＴから構成されることが好ましい。吸着用シート表面の平滑度が高い方が、吸着時における作業対象物の変形が抑制される。
【００２４】
さらに、ＰＥＴから構成される樹脂シートＡの厚み精度は、シート厚が１２．５〜１００μｍの範囲で、±２μｍ程度とすることができる。この厚み精度は、表面を平滑に調整したＵＨＭＷＰＥ多孔質シートにおける厚み精度（±５μｍ）に比べて、非常に優れている。これに加えて、ＰＥＴから構成される樹脂シートＡの表面粗さは、JIS B0601に準拠して測定した算術平均粗さＲａにして０．０５μｍ程度、最大高さＲｍａｘにして０．１μｍ程度とすることができる。これは、表面を平滑に調整したＵＨＭＷＰＥ多孔質シートにおけるＲａ（＝０．５μｍ）、Ｒｍａｘ（＝１５μｍ）に比べて非常に小さい。これらの特性は、本発明の効果をより強める。
【００２５】
樹脂シートＡの通気度（厚さ方向の通気度）は、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下であり、３秒／１００ｍＬ以下が好ましい。樹脂シートＡの通気度は、貫通孔の径および貫通孔の密度により調整できる。
【００２６】
樹脂シートＡの気孔率は特に限定されない。作業対象物の吸着時における樹脂シートＡの変形を抑制する観点からは、４０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましい。樹脂シートＡの気孔率がこのように低い場合においても、その通気経路の形状により、樹脂シートＡは非常に高い通気性を有する。
【００２７】
樹脂シートＡの一方の面に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されていてもよい。コーティングは、例えば、フッ素化合物など、表面の摩擦係数を低下させる作用を有する化合物のコーティングである。このような樹脂シートＡは、吸着ユニットが作業対象物を吸着した際に、当該一方の面（コーティング面）が作業対象物に接するように、吸着ユニットの吸着面に配置されて使用される。本発明の吸着方法では、吸着ユニットが作業対象物を吸着した際にコーティング面が作業対象物に接するように、樹脂シートＡが吸着面に配置されていてもよい。本発明のセラミックコンデンサの製造方法では、吸着ユニットがセラミックグリーンシートを吸着した際にコーティング面がセラミックグリーンシートに接するように、樹脂シートＡが吸着面に配置されていてもよい。これにより、吸着ユニットからの作業対象物（例えば、セラミックグリーンシート）の離型性が向上する。
【００２８】
樹脂シートＡの一方の面に、当該面における貫通孔の開口が露出するように、粘着剤が配置されていてもよい。粘着剤の種類は特に限定されない。貫通孔の開口は、樹脂シートＡの通気度に関する上記規定が満たされる限り、少なくともその一部が露出していればよい。このような樹脂シートＡは、当該一方の面（粘着面）が吸着面と接合するように、吸着面に配置されて使用される。本発明の吸着方法およびセラミックコンデンサの製造方法では、粘着面が吸着面と接合するように、樹脂シートＡが吸着面に配置されていてもよい。
【００２９】
吸着用シートである樹脂シートＡを吸着ユニットの吸着面に配置する方法は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。
【００３０】
本発明の吸着方法は、吸着ユニットの吸着面に作業対象物を吸着させる工程を含む。ここで、吸着用シートである樹脂シートＡが吸着用ユニットの吸着面に配置されている限り、当該工程の詳細は特に限定されない。
【００３１】
図３に、本発明の吸着方法の一例を示す。図３に示す方法では、吸着ユニット１４に作業対象物１５が吸着されている。吸着ユニット１４の吸着面１３には、図１に示す樹脂シート１１が配置されており、作業対象物１５は、樹脂シート１１を介して吸着面１３に吸着される。吸着ユニット１４は、吸着ユニット１４に吸引力を発生させるポンプ（図示せず）に接続されている。なお、図３に示す吸着ユニット１４の吸着面１３には複数の孔１６が形成されており、孔１６によって、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸引力が発生する。吸着ユニット１４における孔１６が形成されている範囲Ｌ１は、作業対象物１５の範囲Ｌ２よりも狭いことが好ましい。
【００３２】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、剥離工程および積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート積層体を焼成する焼成工程と、を含む。ここで、吸着用シートである樹脂シートＡが吸着ユニットの吸着面に配置されている限り、各工程の詳細は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。
【００３３】
図４Ａ〜図４Ｃに、本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における各工程を示す。図４Ａは剥離工程を、図４Ｂは積層工程を、図４Ｃは焼成工程を、それぞれ示す。
【００３４】
図４Ａに示す剥離工程では、離型フィルム２１上に形成されたセラミックグリーンシート２２（図４Ａの（１）参照）を、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸着させて、離型フィルム２１から剥離する（図４Ａの（２），（３）参照）。吸着面１３の表面には、上述した樹脂シート１１が配置されており、セラミックグリーンシート２２は、樹脂シート１１を介して吸着面１３に吸着される。
【００３５】
図４Ｂに示す積層工程では、剥離工程において剥離したセラミックグリーンシート２２を、吸着面１３に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシート２２と積層する（図４Ｂの（１）〜（３）参照）。
【００３６】
図４Ｃに示す焼成工程では、図４Ａに示す剥離工程および図４Ｂに示す積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート２２の積層体２３を焼成して、焼成体２４を得る。その後、焼成体２４に電極を配置する工程などを経て、セラミックコンデンサが得られる。図４Ｃに示す積層体２３は、図を分かり易くするために８層に過ぎないが、実際には、剥離工程および積層工程を繰り返すことによって、より多くのセラミックグリーンシート２２が積層されてもよい。
【００３７】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法における剥離工程、積層工程および焼成工程の詳細は、公知のセラミックコンデンサの製造方法に従えばよい。
【００３８】
本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、必要に応じ、剥離工程、積層工程および焼成工程以外の任意の工程を含んでいてもよい。
【実施例】
【００３９】
以下、実施例により、本発明をさらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。
【００４０】
本実施例では、吸着用シートとして、樹脂シートＡ（実施例１、２）およびＵＨＭＷＰＥ多孔質シート（比較例）を、それぞれ、図５に示す吸着ユニット１の吸着面２に配置し、吸着ユニット１に吸引力を発生させたときに、吸着ユニット１外部の外気と吸着ユニット１の内部との間に生じる差圧aを、圧力計３を用いて評価した。差圧が小さい方が吸着用シートの通気性が高い。吸着ユニット１の吸着面２よりも吸着用シート４が小さい場合は、図５に示すように、吸着面２における吸着用シート４が配置されていない部分をテープ５などにより閉塞させ、吸着用シート４のみを通して吸着ユニット１の内部に外気が吸引されるようにした。
【００４１】
比較のために、吸着面２に何も配置しないときに外気と吸着ユニット１内部との間に生じる差圧ｂと、吸着面２を無孔の樹脂シートにより閉塞させたときに外気と吸着ユニット１内部との間に生じる差圧ｃとを併せて評価した。吸着用シートの通気性が高い場合、吸着面２に何も配置しないときの差圧ｂと、吸着用シートを配置したときの差圧aの値が近く、かつ吸着用シートを配置したときの差圧aと、吸着面２を閉塞させたときの差圧ｃとの差が大きい。差圧の測定は、吸着面２に何も配置しないときに吸着ユニット１が吸引する空気の流量が１０ＳＬＭ、２０ＳＬＭ、３０ＳＬＭとなるように、調節バルブ６および流量計７を用いて吸着ユニット１の吸引力を設定することにより、吸着ユニット１の吸引力を変化させながら行った。ＳＬＭの基準温度は２５℃である。図５の符号８は、真空ポンプである。
【００４２】
（実施例１）
樹脂シートＡとして、ＰＥＴからなる無孔のベースシート（厚さ２２μｍ）に、イオンビーム照射およびエッチングにより多数の貫通孔（開口径０．８μｍ）を形成した樹脂シート（オキシフェン社製、OxyDisk）を用いた。貫通孔は、ベースシートの厚さ方向に軸線を有する、内径がほぼ一定のストレート孔であった。当該樹脂シート表面のＳＥＭ像を図６に示す。JIS P8117に準拠して測定した当該樹脂シートのガーレー数（厚さ方向のガーレー数）は、２．７秒／１００ｍＬであった。当該樹脂シートの気孔率は２９．８％（面積％）であった。樹脂シートの気孔率は、貫通孔の上記形状に基づき、樹脂シートの表面に占める貫通孔の開口の面積の割合とした。この割合は、樹脂シート表面のＳＥＭ像を画像処理により二値化して求めた。気孔率の測定方法は、以降の実施例２においても同様である。
【００４３】
（実施例２）
樹脂シートＡとして、ＰＥＴからなる無孔のベースシート（厚さ２２μｍ）に、イオンビーム照射およびエッチングにより多数の貫通孔（開口径１０μｍ）を形成した樹脂シート（オキシフェン社製、OxyDisk）を用いた。貫通孔は、ベースシートの厚さ方向に軸線を有する、内径がほぼ一定のストレート孔であった。当該樹脂シート表面のＳＥＭ像を図７に示す。JIS P8117に準拠して測定した当該樹脂シートのガーレー数（厚さ方向のガーレー数）は、０．０６秒／１００ｍＬであった。また、当該樹脂シートの気孔率は１１．４％（面積％）であった。
【００４４】
（比較例）
吸着用シートとして、ＵＨＭＷＰＥ多孔質シート（日東電工社製、サンマップＬＣＴ５３２０Ｓ、厚さ２００μｍ）を用いた。当該多孔質シート表面のＳＥＭ像を図８に示す。この多孔質シートの平均孔径は、２０μｍであった。
【００４５】
実施例１，２および比較例の評価結果を、それぞれ以下の表１〜３に示す。
【００４６】
【表１】
【００４７】
【表２】
【００４８】
【表３】
【００４９】
表１〜３に示すように、樹脂シートＡを吸着用シートとして用いた実施例１，２では、ＵＨＭＷＰＥ多孔質シートを吸着用シートとして用いた比較例に比べて、通気経路となる孔の径が小さいながらも、非常に高い通気性が実現した。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明の吸着方法は、セラミックコンデンサの製造、半導体ウェハーの製造、微小部品の吸引固定など、幅広い用途に応用できる。
【００５１】
本発明の各方法において吸着用シートとして使用する樹脂シートは、吸着ユニットの吸着面に配置してセラミックグリーンシートと吸着面との接触を防ぐ目的以外にも、半導体ウェハーをカットあるいは吸引する際の固定ユニット、および微小部品の吸引固定ユニットなど、幅広い吸着ユニットに対して使用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１ 吸着ユニット
２ 吸着面
３ 圧力計
４ 吸着用シート
５ テープ
６ 調節バルブ
７ 流量計
８ 真空ポンプ
１１ 樹脂シート
１２ 貫通孔
１３ 吸着面
１４ 吸着ユニット
１５ 作業対象物
１６ 孔
２１ 離型フィルム
２２ セラミックグリーンシート
２３ 積層体
２４ 焼成体
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着ユニットの吸着面に作業対象物を吸着させる工程を含み、
前記吸着面に、前記作業対象物と前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シートが配置されており、
前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートであり、
前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔であり、
前記貫通孔の径が２０μｍ以下であり、
前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項２】
前記作業対象物が、セラミックグリーンシートである請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項３】
前記樹脂シートが、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項４】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されており、
前記吸着ユニットが前記作業対象物を吸着した際に前記一方の面が当該作業対象物に接するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項５】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面における前記貫通孔の開口が露出するように、粘着剤が配置されており、
前記一方の面が前記吸着面と接合するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項６】
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シートが配置されており、
前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートであり、
前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔であり、
前記貫通孔の径が２０μｍ以下であり、
前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である、セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項７】
前記樹脂シートが、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される請求項６に記載のセラミックコンデンサの製造方法。
【請求項８】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されており、
前記吸着ユニットが前記セラミックグリーンシートを吸着した際に前記一方の面が前記セラミックグリーンシートに接するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項６に記載のセラミックコンデンサの製造方法。
【請求項９】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面における前記貫通孔の開口が露出するように、粘着剤が配置されており、
前記一方の面が前記吸着面と接合するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項６に記載のセラミックコンデンサの製造方法。
【請求項１】
吸着ユニットの吸着面に作業対象物を吸着させる工程を含み、
前記吸着面に、前記作業対象物と前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シートが配置されており、
前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートであり、
前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔であり、
前記貫通孔の径が２０μｍ以下であり、
前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項２】
前記作業対象物が、セラミックグリーンシートである請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項３】
前記樹脂シートが、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項４】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されており、
前記吸着ユニットが前記作業対象物を吸着した際に前記一方の面が当該作業対象物に接するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項５】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面における前記貫通孔の開口が露出するように、粘着剤が配置されており、
前記一方の面が前記吸着面と接合するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項１に記載の吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。
【請求項６】
離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程および前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぐ、厚さ方向に通気性を有する樹脂シートが配置されており、
前記樹脂シートは、厚さ方向に貫通する２以上の貫通孔が形成された、非多孔質のシートであり、
前記貫通孔は、直線状に前記樹脂シートを貫通するストレート孔であり、
前記貫通孔の径が２０μｍ以下であり、
前記樹脂シートの厚さ方向の通気度が、JIS P8117に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下である、セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項７】
前記樹脂シートが、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）およびポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）から選ばれる少なくとも１種の樹脂から構成される請求項６に記載のセラミックコンデンサの製造方法。
【請求項８】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されており、
前記吸着ユニットが前記セラミックグリーンシートを吸着した際に前記一方の面が前記セラミックグリーンシートに接するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項６に記載のセラミックコンデンサの製造方法。
【請求項９】
前記樹脂シートの一方の面に、当該面における前記貫通孔の開口が露出するように、粘着剤が配置されており、
前記一方の面が前記吸着面と接合するように、前記樹脂シートが前記吸着面に配置されている請求項６に記載のセラミックコンデンサの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−１７１７２８（Ｐ２０１１−１７１７２８Ａ）
【公開日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１３３０１（Ｐ２０１１−１３３０１）
【出願日】平成２３年１月２５日（２０１１．１．２５）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月１日（２０１１．９．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１月２５日（２０１１．１．２５）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
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