基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体
【課題】基板処理装置において動作するソフトウェアの不正使用を適切に防止することのできる基板処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することにより上記課題を解決する。
【解決手段】ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することにより上記課題を解決する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体に関し、特にソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的にソフトウェアのユーザは、そのライセンス契約に従う義務がある。ライセンス契約における取り決めには様々なものがあり、契約されたユーザ数、コンピュータの台数、又は使用期間等の範囲内でソフトウェアの使用が許可される。
【０００３】
半導体製造装置等の基板処理装置上で動作するソフトウェアについても基板処理装置のメーカーと基板処理装置のユーザとの間でライセンス契約が結ばれることがある。この場合、基板処理装置のメーカーは、ユーザに対してソフトウェアのライセンス料を請求し、当該ライセンス料が納付された場合に当該ソフトウェアの使用を許可する。具体的には、一般的なソフトウェアと同様、基板処理装置のメーカーがユーザに対してライセンスキー等を通知し、当該ライセンスキー等が入力されれば、それ以降当該ソフトウェアの使用が可能となる。
【０００４】
ところで、当該ライセンス契約が、メーカーと当該ユーザとの間でのみ有効なものである場合、当該ユーザが基板処理装置を転売した際には、メーカーは転売先のユーザに対して改めてライセンス料を請求できるべきである。
【特許文献１】特開２００５−８４８８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来、ユーザからの報告がない限り基板処理装置の転売をメーカー側が察知することは困難であった。実際問題として、メーカーから派遣される保守作業員等からの報告によって基板処理装置がどこかに移設されたことまでは察知できないこともないかもしれない。しかし、転売元のユーザが協力的でなければ転売先を正確に把握するには困難が予想される。
【０００６】
そうすると、当該ソフトウェアの不正使用をみすみす認めざるを得ず、メーカーはソフトウェアのライセンス料を請求することできないといった不利益を被るという問題がある。
【０００７】
なお、特許文献１に記載された技術では、ライセンス対象とする機器ごとにライセンスの管理を行うことはできても、当該機器が転売された場合に当該機器が用いるソフトウェアの使用を適切に防止することは困難である。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、基板処理装置において動作するソフトウェアの不正使用を適切に防止することのできる基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで上記課題を解決するため、本発明は、ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする。
【００１０】
また、上記課題を解決するため、本発明は、上記基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置であって、当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手段と、前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手段とを有することを特徴とする。
【００１１】
上記基板処理装置、また、上記ライセンス情報提供装置によれば、基板処理装置において動作するソフトウェアの不正使用を適切に防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板処理装置において動作するソフトウェアの不正使用を適切に防止することのできる基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の実施の形態における基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【００１４】
図１において、基板処理装置２は、被搬送体としての半導体ウエハ（基板）Ｗに対して成膜処理、拡散処理、エッチング処理等の各種の処理を行なう処理システム５と、この処理システムに対してウエハＷを搬入、搬出させる搬送システム６とにより主に構成される。処理システム５は、真空引き可能になされた移載室８と、ゲートバルブ１０Ａ〜１０Ｄを介して連結された４つの処理チャンバ（処理室）１２Ａ〜１２Ｄよりなり、各処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄにおいて同種の或いは異種の熱処理をウエハＷに対して施すようになっている。各処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ内には、ウエハＷを載置するためのサセプタ１４Ａ〜１４Ｄがそれぞれ設けられる。また、移載室８内には、屈伸及び旋回自在になされた移載アーム部１６が設けられ、各処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ間や後述するロードロック室間とウエハＷの受け渡しを行なうようになっている。
【００１５】
一方、搬送システム６は、カセット容器を載置するカセットステージ１８とウエハＷを搬送して受け渡しを行なうための搬送アーム部２０を移動させる搬送ステージ２２よりなる。カセットステージ１８には、容器載置台２４が設けられ、ここに複数、図示例にあっては最大４つのカセット容器２６Ａ〜２６Ｄを載置できるようになっている。各カセット容器２６Ａ〜２６Ｄには、最大例えば２５枚のウエハＷを等間隔のピッチで多段に載置して収容できるようになっている。搬送ステージ２２には中心部から長さ方向に沿って延びるリニアガイドレール２８が設けられており、リニアモータ駆動ステージ３４に支持される搬送アーム部２０は、該リニアガイドレール２８に沿って、磁石から発生する磁束をムービングコイルが高効率に変換して非接触で高速かつ高精度な直線運動を行うことが可能である。
【００１６】
また、搬送ステージ２２の他端には、ウエハの位置決めを行なう方向位置決め装置としてのオリエンタ３６が設けられ、更に、搬送ステージ２２の途中には、上記移載室８との間を連結するために真空引き可能になされた２つのロードロック室３８Ａ、３８Ｂが設けられる。各ロードロック室３８Ａ、３８Ｂ内には、ウエハＷを載置する被搬送体載置台４０Ａ、４０Ｂが設けられると共に、各ロードロック室３８Ａ、３８Ｂの前後には、移載室８或いは搬送ステージ２２へ連通するためのゲートバルブ４２Ａ、４２Ｂ及び４４Ａ、４４Ｂがそれぞれ設けられる。なお、基板処理装置２において、少なくとも移載アーム部１６及び搬送アーム部２０が搬送手段を構成する。
【００１７】
基板処理装置２は、更に、処理システム５及び搬送システム６等の動作を制御するシステムコントローラと搬送ステージ２２の一端に配置されたオペレーションコントローラ８８を備える。
【００１８】
オペレーションコントローラ８８は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなる表示部や入力部等を有する。例えば、オペレーションコントローラ８８は、基板処理装置２の各動作状況等を表示出力したり、タッチペン等を介した画面選択等の入力指示を受け付けたりする。
【００１９】
図２は、第一の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。図２において、システムコントローラは、ＥＣ（Equipment Controller）８９と、２つのＭＣ（Module Controller）９０及び９１と、ＥＣ８９及び各ＭＣを接続するスイッチングハブ９３とを備える。
【００２０】
ＥＣ８９は、各ＭＣを統括して基板処理装置２全体の動作を制御する主制御部（マスタ制御部）である。また、ＥＣ８９は、ＣＰＵ８９１、ＲＡＭ８９２、ＨＤＤ８９３等を有し、オペレーションコントローラ８８においてユーザ等によって指定されたウエハＷの処理方法、すなわち、レシピに対応するプログラムに応じてＣＰＵが各ＭＣに制御信号を送信することにより、処理システム５及び搬送システム６等の動作を制御する。また、本実施の形態において、ＥＣ８９は、基板処理装置２における基板処理等を制御するソフトウェアのライセンス管理機能を実現する。ライセンス管理機能の詳細については後述する。
【００２１】
スイッチングハブ９３は、ＥＣ８９からの制御信号に応じてＥＣ８９の接続先としてのＭＣを切り替える。
【００２２】
ＭＣ９０及び９１は、それぞれ処理システム５及び搬送システム６の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）である。各ＭＣは、ＤＩＳＴ（Distribution）ボード９６によってＧＨＯＳＴネットワーク９５を介してＩ／Ｏ（入出力）モジュール９７又は９８にそれぞれそれ接続される。ＧＨＯＳＴネットワーク９５は、ＭＣが有するＭＣボードに搭載されたＧＨＯＳＴ（General High-Speed Optimum Scalable Transceiver）と称されるＬＳＩによって実現されるネットワークである。ＧＨＯＳＴネットワーク９５には、最大で３１個のＩ／Ｏモジュールを接続可能であり、ＧＨＯＳＴネットワーク９５では、ＭＣがマスタに該当し、Ｉ／Ｏモジュールがスレーブに該当する。
【００２３】
Ｉ／Ｏモジュール９７は、処理システム５における各構成要素（以下、「エンドデバイス」という。）に接続された複数のＩ／Ｏ部１００からなり、各エンドデバイスへの制御信号及び各エンドデバイスからの出力信号の伝達を行う。Ｉ／Ｏモジュール９７においてＩ／Ｏ部１００に接続されるエンドデバイスには、例えば、処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ等におけるアンモニアガス供給管のＭＦＣ、弗化水素ガス供給管のＭＦＣ、圧力ゲージ、ＡＰＣバルブ、窒素ガス供給管のＭＦＣ、及び移載室８における移載アーム部１６等が該当する。
【００２４】
なお、Ｉ／Ｏモジュール９８はＩ／Ｏモジュール９７と同様の構成を有し、搬送システム６との接続関係も、上述したＭＣ９０及びＩ／Ｏモジュール９７の接続関係と同様の構成であるため、これらの説明を省略する。
【００２５】
また、各ＧＨＯＳＴネットワーク９５には、Ｉ／Ｏ部１００におけるデジタル信号、アナログ信号及びシリアル信号の入出力を制御するＩ／Ｏボード（図示しない）も接続される。
【００２６】
基板処理装置２において、ウエハＷに対して所定の処理を施す際には、当該所定の処理のレシピに対応するプログラムに応じてＥＣ８９のＣＰＵ８９７が、スイッチングハブ９３、ＭＣ９０、ＧＨＯＳＴネットワーク９５及びＩ／Ｏモジュール９７におけるＩ／Ｏ部１００を介して所望のエンドデバイスに制御信号を送信することによって処理チャンバ１２Ａ等において当該所定の処理を実行する。
【００２７】
図２のシステムコントローラでは、複数のエンドデバイスがＥＣ８９に直接接続されることなく、複数のエンドデバイスに接続されたＩ／Ｏ部１００がモジュール化されてＩ／Ｏモジュールを構成し、該Ｉ／ＯモジュールがＭＣ及びスイッチングハブ９３を介してＥＣ８９に接続されるため、通信系統を簡素化することができる。
【００２８】
また、ＥＣ８９のＣＰＵ８９１が送信する制御信号には、所望のエンドデバイスに接続されたＩ／Ｏ部１００のアドレス、及びＩ／Ｏ部１００を含むＩ／Ｏモジュールのアドレスが含まれているため、スイッチングハブ９３は制御信号におけるＩ／Ｏモジュールのアドレスを参照し、ＭＣのＧＨＯＳＴ制御信号におけるＩ／Ｏ部１００のアドレスを参照することによって、スイッチングハブ９３やＭＣがＣＰＵ８９１に制御信号の送信先の問いあわせを行う必要を無くすことができ、これにより、制御信号の円滑な伝達を実現することができる。
【００２９】
システムコントローラは、ＥＣ８９から工場内に施設されたＬＡＮ（Local Area Network）等のネットワーク１７０（有線又は無線の別は問わない）を介して、同じ工場内におけるライセンスキーサーバ６０と接続されている。ライセンスキーサーバ６０は、基板処理装置２に対してライセンスキーを提供するＰＣ（Personal Computer）等のコンピュータである。ここで、ライセンスキーとは、基板処理装置２において動作するソフトウェアのライセンス（使用許可）を証明するデータをいう。すなわち、本実施の形態の基板処理装置２における所定のソフトウェアは、適切なライセンスキーが入力されるまでは、その機能の一部又は全部の利用が制限される。
【００３０】
なお、システムコントローラは、ネットワーク１７０を介して、基板処理装置２が設置されている工場全体の製造工程を管理するＭＥＳ（Manufacturing Execution System）と接続されていてもよい。ＭＥＳは、システムコントローラと連携して工場における工程に関するリアルタイム情報を基幹業務（図示しない）にフィードバックすると共に、工場全体の負荷等を考慮して工程に関する判断を行う。
【００３１】
ライセンスキーサーバ６０について説明する。図３は、本発明の実施の形態におけるライセンスキーサーバのハードウェア構成例を示す図である。本実施の形態におけるライセンスキーサーバ６０は、それぞれバスＢで相互に接続されているドライブ装置６００と、補助記憶装置６０２と、メモリ装置６０３と、ＣＰＵ６０４と、インタフェース装置６０５と、表示装置６０６と、入力装置６０７と等を有するように構成される。
【００３２】
ライセンスキーサーバ６０での後述される機能を実現するプログラムは、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等の記録媒体６０１によって提供される。プログラムが記録された記録媒体６０１がドライブ装置６００にセットされると、プログラムが記録媒体６０１からドライブ装置６００を介して補助記憶装置６０２にインストールされる。なお、プログラムは記録媒体６０１からではなくネットワークを介してダウンロードしてもよい。
【００３３】
補助記憶装置６０２は、インストールされたプログラムを格納すると共に、必要なファイルやデータ等を格納する。メモリ装置６０３は、プログラムの起動指示があった場合に、補助記憶装置６０２からプログラムを読み出して格納する。ＣＰＵ６０４は、メモリ装置６０３に格納されたプログラムに従ってライセンスキーサーバ６０に係る機能を実行する。ここで、ＣＰＵ６０４によって実行されるライセンスキーサーバ６０に係る機能には、ＣＰＵ６０４上で稼動しているライセンスキーサーバ６０のＯＳ（Operating System）等の処理の実行に基づくものも含まれる。更に、前記プログラムがライセンスキーサーバ６０に挿入された各種機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのメモリ上のプログラムに基づき、各種機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が処理の一部又は全部を行い、その処理によって実現されるものも含まれる。
【００３４】
なお、前記プログラムの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等のいずれでもよい。
【００３５】
インタフェース装置６０５はネットワーク１７０に接続するためのインタフェースとして用いられ、例えば、ＮＩＣ（Network Interface Card）等が相当する。表示装置６０６はプログラムによるＧＵＩ等を表示する。入力装置６０７はキーボード及びマウス等で構成され、様々な操作指示を受け付けるために用いられる。
【００３６】
ライセンスキーサーバ６０におけるライセンスキーの提供機能と、基板処理装置２のＥＣ８９におけるライセンス管理機能とによって、基板処理装置２のライセンス管理システムが構成される。
【００３７】
図４は、第一の実施の形態におけるライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバと基板処理装置との機能構成例を示す図である。
【００３８】
図４において、ライセンスキーサーバ６０は、初期設定部６１、キー転送部６２、ライセンス管理部６３、更新要求受信部６４、更新判定部６５、ネットワーク接続判定部６６、及び更新キー生成部６７等より構成される。これらの各部は、ライセンスキーサーバ６０にインストールされたプログラムがＣＰＵ６０４によって処理されることにより機能する。
【００３９】
初期設定部６１は、初期キー６２１の入力に基づいて、基板処理装置２におけるソフトウェアの機能制限を解除するための初期設定を行う。ここで、初期キー６２１とは、基板処理装置２におけるソフトウェアの使用を開始するために最初に入力されるライセンスキーをいい、基板処理装置２のメーカーにおいて生成されるのが好適である。
【００４０】
本実施の形態において、初期キー６２１は、ライセンスキーサーバ６０がネットワーク１７０に接続するために割り当てられたＩＰアドレス（キーサーバアドレス）と、基板処理装置２がネットワーク１７０に接続するために割り当てられたＩＰアドレス（装置アドレス）と、基板処理装置２のシリアル番号（装置シリアル番号）と、ライセンスキー（初期キー）を生成する日付（ライセンス日付）とに基づいて、所定のアルゴリズム（例えば、暗号化等、以下「キー生成アルゴリズム」という。）によって生成される。なお、キー生成アルゴリズムは、可逆な双方向のもの、すなわち、初期キー６２１よりその構成情報（キーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、ライセンス日付）が復元できるものである必要がある。また、キー生成アルゴリズムは、ユーザに対して秘密にされなければならない。
【００４１】
初期キー６２１が、メーカーにおいて生成される場合、基板処理装置２のユーザは、キーサーバアドレス及び装置アドレスを決めた後、それらの値と装置シリアル番号とをメーカーに対して電子メール又は郵便等によって通知する。メーカーは、通知された情報に基づいて初期キー６２１をキー生成アルゴリムを用いて生成し、生成された初期キー６２１をＣＤ−ＲＯＭやフロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体によって、又はネットワークを介してユーザに配布する。なお、初期キー６２１のライセンスキーサーバ６０への入力は、メーカーの作業員に限られず、ユーザによって行われてもよい。
【００４２】
初期設定部６１は、初期キー６２１の入力に基づく初期設定処理として、初期キー６２１を解読（解析）し、初期キー６２１に含まれている装置アドレスと装置シリアル番号とをライセンス管理部６３に保存させる。初期設定部６１は、更に、初期キーの基板処理装置２への転送をキー転送部６２に指示する。
【００４３】
ライセンス管理部６３は、ソフトウェアの使用許諾の対象とされた基板処理装置２を一意に識別するための装置固有情報を管理する。本実施の形態では、装置アドレス及び装置シリアル番号、又はいずれか一方が装置固有情報に該当する。なお、ライセンス管理部６３は、装置固有情報を暗号化等して管理することが好ましい。悪意の持ったユーザによって装置固有情報が書き換えられることにより、使用許諾されていない基板処理装置２に対する機能制限が不正に解除されるのを防止するためである。
【００４４】
更新要求受信部６４は、初期キー等のライセンスキーの有効期限が切れる際に、ライセンスキーの更新要求を基板処理装置２より受信する。ライセンスキーの更新要求には、装置固有情報が含まれている。すなわち、本実施の形態において、初期キー等のライセンスキーは有効期限が定めされており、ライセンスキーが定期的に更新されることにより、基板処理装置２におけるソフトウェアの使用許諾が維持される。
【００４５】
更新判定部６５は、ライセンスキーの更新要求元が、使用許諾されている基板処理装置２であるか否かを調べると共に、当該ライセンスキーサーバ６０がネットワーク１７０に正常に接続されているか否かをネットワーク接続判定部６６に調べさせることで、ライセンスキーの更新の許否判定を行う。
【００４６】
更新キー生成部６７は、ライセンスキーの更新が許可された場合に、ライセンス期間を更新するためのライセンスキー（以下「更新キー」という。）を生成する。更新キーは、初期キーと同様に、キーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、ライセンス日付に基づいて、キー生成アルゴリズムによって生成される。但し、キーサーバアドレスは、更新キーの生成時にライセンスキーサーバ６０に設定されている現在値（キーサーバアドレス６２２）が用いられる。また、装置アドレス及び装置シリアル番号は、ライセンス管理部６３に管理されているものが用いられる。更に、ライセンス日付は、更新キーの生成時にライセンスキーサーバ６０のタイマーが示す日付（現在日付６２３）が用いられる。更新キー生成部６７は、更新キーを生成すると、当該更新キーの基板処理装置２への転送をキー転送部６２に指示する。
【００４７】
キー転送部６２は、初期キーや更新キーを基板処理装置２へ転送する。
【００４８】
一方、図４において、基板処理装置２は、キー受信部８１、キー解析部８２、ライセンス判定部８３、期限管理部８４、及びキー更新部８５等より構成される。これらの各部は、ＥＣ８９のＨＤＤ８９３又は非図示のＲＯＭ等に格納されたプログラムがＣＰＵ８９１によって処理されることにより機能する。プログラムは、例えばＣＤ−ＲＯＭ８９４（図２）等の記録媒体やネットワーク等を介してインストールしてもよいし、出荷時に予め組み込まれていてもよい。
【００４９】
キー受信部８１は、ライセンスキーサーバ６０より転送されるライセンスキー（初期キー６２１又は更新キー）を受信する。
【００５０】
キー解析部８２は、受信されたライセンスキーを解読し、当該ライセンスキーに含まれているキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、ライセンス日付を抽出する。キー解析部８２は、初期キー６２１が受信された場合は、キーサーバアドレスの初期値を所定の記憶領域にキーサーバアドレス８０２として保存する。キー解析部８２は、また、ライセンスキーが受信されるたびに、抽出されたライセンス日付によってライセンス日付８０１を更新する。
【００５１】
ライセンス判定部８３は、受信されたライセンスキーより抽出された情報、初期値として保存されているキーサーバアドレス８０２、現在値の装置アドレス８０３、及び基板処理装置２の出荷時等に非図示のＲＯＭ等に予め保存されている装置シリアル番号８０４等に基づいてライセンスキーの正当性を判定する。ライセンスキーが不正なものであると判定された場合、ライセンス判定部８３は、機能制限フラグ８０６をＯＮにする。機能制限フラグ８０６とは、基板処理装置２におけるソフトウェアの一部又は全部の機能の利用を制限するためのフラグ情報である。すなわち、基板処理装置２０の各機能を制御するソフトウェアであって、ライセンス契約により使用許諾が必要とされるソフトウェアは、当該機能の実行が要求された際に機能制限フラグ８０６を参照する。当該ソフトウェアは、機能制限フラグ８０６がＯＦＦの場合はその機能を実行し、ＯＮの場合はその実行を拒否する。
【００５２】
期限管理部８４は、ライセンスキーが受信されたときからの相対的な時間の経過を管理することにより、ライセンスキーの有効期限の満了を検知する。期限管理部８４は、例えば、ライセンスカウンタ８０５を用いてライセンスキーの有効期限の満了を検知する。ライセンスカウンタ８０５は、ライセンスキーが受信された際に初期化され、そのご単位時間ごと（例えば、１日ごと）にインクリメントされるカウンタである。期間管理部８４は、カウンタの値がライセンスキーの有効期限を示す値に達したとき、又はライセンスキーの有効期限の所期間内の値に達したとき、キー更新部８５に対してライセンスキーの更新を指示する。なお、タイマーによる絶対的な日付ではなく相対値であるライセンスカウンタ８０５によって有効期限を管理することで、基板処理装置２のタイマーの日付の変更によるライセンスキーの有効期限の不正な延長を防止することができる。
【００５３】
キー更新部８５は、期限管理部８４からの要求に応じて、ライセンスキーの更新要求を基板処理装置２に送信する。
【００５４】
なお、図４では、ライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２とが一対一の関係で示されているが、一台のライセンスキーサーバ６０が、複数台の基板処理装置２に対してライセンスキーを提供ようにしてもよい。
【００５５】
以下、図４のライセンスキーサーバ６０及び基板処理装置２の処理手順について説明する。以下の処理は、ライセンスキーサーバ６０又は基板処理装置２のＥＣ８９にインストールされたプログラムが、ライセンスキーサーバ６０のＣＰＵ６０４又はＥＣ８９のＣＰＵ８９１によって処理されることにより実現される。
【００５６】
図５は、初期キー入力時のライセンスキーサーバにおける初期設定処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【００５７】
ステップＳ１０１において、基板処理装置２のユーザ又はメーカーから派遣された作業員等が、メーカーより配布された初期キー６２１をライセンスキーサーバ６０に入力する。初期キー６２１の入力に応じ、初期設定部６１は、例えば、キー生成アルゴリズムの逆演算等による所定のアルゴリズム（以下、「キー解読アルゴリズム」という。）によって初期キー６２１よりキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付等を解読する。上述したように、ここで解読されたキーサーバアドレス、装置アドレス、及び装置シリアル番号は、予めユーザからメーカーに対して通知されたものである。
【００５８】
続いて、初期設定部６１は、初期キー６２１より解読された情報のうち、少なくとも装置固有情報としての装置アドレス及び装置シリアル番号をライセンス管理部６３に保存する（Ｓ１０３）。続いて、初期設定部６１が、初期キー６２１をキー転送部６２に出力すると、キー転送部６２は、ネットワーク１７０を介して基板処理装置２に初期キー６２１を転送する（Ｓ１０４）。
【００５９】
次に、初期キー６２１の転送を受けた基板処理装置２における処理手順について説明する。図６は、初期キー受信時の基板処理装置における処理手順を説明するためのフローチャートである。
【００６０】
キー受信部８１は、ライセンスキーサーバ６０より転送された初期キー６２１の解析をキー解析部８２に要求する（Ｓ２０１）。キー解析部８２は、キー解読アルゴリズムによって初期キー６２１よりキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付等を解読する（Ｓ２０２）。
【００６１】
続いて、ライセンス判定部８３は、解読された装置固有情報等に基づいて初期キー６２１の正当性を判定する。すなわち、解読された装置アドレスと現在の（現在基板処理装置２に設定されている）装置アドレス８０３とが一致し（Ｓ２０３でＹｅｓ）、かつ、解読された装置シリアル番号と予め基板処理装置２内に保存されている装置シリアル番号８０４とが一致した場合は（Ｓ２０４でＹｅｓ）、当該初期キー６２１は、当該基板処理装置２に対して発行されたものあるため、正当なものと判定する。
【００６２】
初期キー６２１の正当性が認められた場合、ライセンス判定部８３は、ライセンスカウンタ８０５を初期化し（例えば、ライセンスカウンタの値を「０」にする。）（Ｓ２０５）、更に、機能制限フラグ８０６をＯＦＦにする（Ｓ２０６）。したがって、この場合、初期キー６２１の有効期限内は、基板処理装置２におけるソフトウェアの機能は制限されることなく利用可能となる。
【００６３】
続いて、キー解析部８３は、初期キー６２１の正当性が認められたことを受け、初期キー６２１より解読されたキーサーバアドレスを初期値のキーサーバアドレス８０２として、また、解読されたライセンス日付をライセンス日付８０１として保存する（Ｓ２０７）。
【００６４】
一方、装置アドレス及び装置シリアル番号のうち少なくともいずれか一方が異なる場合（Ｓ２０３又はＳ２０４でＮｏ）、ライセンス判定部８３は、当該初期キー６２１は、不正なものとして機能制限フラグ８０６をＯＮにする（Ｓ２０８）。したがって、この場合、基板処理装置２におけるソフトウェアの一部又は全部の機能の利用は制限される。
【００６５】
次に、初期キー６２１又は更新キー等のライセンスキーの有効期限が切れる際に、基板処理装置２において実行されるライセンスの更新処理の処理手順について説明する。図７は、基板処理装置におけるライセンスの更新処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【００６６】
期限管理部８４は、ライセンスキーの有効期限内の間、所定の単位時間ごとに（例えば、１日ごと）ライセンスカウンタ８０５をインクリメントし（Ｓ３０１）、ライセンスカウンタ８０５の値を有効期限を示す値と比較する（Ｓ３０２）。ライセンスキーの有効期限は、運用に応じて適宜定めればよい。例えば、ライセンスカウンタ８０５が一日ごとにインクリメントされる場合に、ライセンスキーの有効期限が一年の場合は、当該有効期限を示す値は「３６５」となる。
【００６７】
ライセンスカウンタ８０５の値が有効期限を示す値又は有効期限から所定期間内を示す値に達すると（Ｓ３０２でＮｏ）、期限管理部８４は、その旨をキー更新部８５に通知する。当該通知に基づいてキー更新部８５は、ライセンスキーサーバ６０に対してライセンスキーの更新要求を送信する（Ｓ３０３）。なお、ライセンスキーの更新要求には、現在の装置アドレス８０３と、装置シリアル番号８０４とが添付される。ライセンスキーの更新要求の送信後、キー更新部８５は、キー受信部８１によって更新キーが受信されるのまでの所定期間待機する。
【００６８】
キー受信部８１は、ライセンスキーサーバより更新キーを受信すると（Ｓ３０４でＹｅｓ）、その旨をキー更新部８５に通知すると共に、受信した更新キーをキー解析部８２に出力する。キー受信部８１からの通知により、キー更新部８５の待機状態は解除される。
【００６９】
キー解析部８２は、キー解読アルゴリズムによって更新キーよりキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付等を解読する（Ｓ３０５）。
【００７０】
続いて、ライセンス判定部８３は、更新キーの正当性を判定する。すなわち、ライセンス判定部８３は、解読されたキーサーバアドレス（現在のライセンスキーサーバ６０のＩＰアドレス）と、初期値のキーサーバアドレス８０２（すなわち、初期キー６２１に含まれていたキーサーバアドレス）とを比較することにより、ライセンスキーサーバ６０がネットワーク上移動されたか否かを判定する（Ｓ３０６）。両者が一致すれば、ライセンスキーサーバ６０は、ライセンス期間内に移動されていないと判定する。両者が異なれば、ライセンスキーサーバ６０は移動されたものと判定する。
【００７１】
両者が一致する場合（Ｓ３０６でＹｅｓ）、ライセンス判定部８３は、解読された装置アドレス（すなわち、初期キー６２１に含まれていた装置アドレス）と現在の装置アドレス８０３とを比較することにより、当該更新キーが当該基板処理装置２に対するものであるか否か、及び当該基板処理装置２がネットワーク上移動されたか否かを判定する（Ｓ３０７）。両者が一致すれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものであり、かつ、基板処理装置２は移動されていないと判定する。両者が異なれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものでないか、又は当該基板処理装置２が移動されたものと判定する。
【００７２】
両者が一致する場合（Ｓ３０７でＹｅｓ）、ライセンス判定部８３は、解読された装置シリアル番号（すなわち、初期キー６２１に含まれていた装置アドレス）と予め基板処理装置２内に保存されている装置シリアル番号８０４とを比較することにより、当該更新キーが確かに当該基板処理装置２に対するものであるか否かを判定する。両者が一致すれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものであると判定する。両者が異なれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものでないと判定する。
【００７３】
ステップＳ３０６からＳ３０８までの判定において、各比較値が一致する場合、更新キーは正当なものであると判定される。したがって、この場合、ライセンス判定部８３によってライセンスカウンタが初期化され（Ｓ３０９）、キー解析部８２によってライセンス日付８０１が、解読された値に更新される（Ｓ３１０）。ライセンスカウンタが初期化されることにより、ライセンス期間は延長され、引き続きステップＳ３０１以降の処理が実行される。
【００７４】
一方、ライセンスキーの更新要求後、所定期間待機しても更新キーが受信されない場合（タイムアウトの場合）（Ｓ３０４でＮｏ）、キー更新部８５は、機能制限フラグ８０６をＯＮにする（Ｓ３０８）。また、ライセンス判定部８３によってライセンスキーが不正なものであると判定された場合（Ｓ３０６〜Ｓ３０８のいずれかでＮｏの場合）、ライセンス判定部８３は機能制限フラグ８０６をＯＮにする。したがって、この場合、基板処理装置２におけるソフトウェアの一部又は全部の機能の利用は制限される。
【００７５】
次に、基板処理装置２よりライセンスキーの更新要求を受けた際のライセンスキーサーバ６０における処理手順について説明する。図８は、ライセンスキーサーバにおけるライセンスキーの更新処理を説明するためのフローチャートである。
【００７６】
更新要求受信部６４は、基板処理装置２のキー更新部８５よりライセンスキーの更新要求を受信すると、当該更新要求に含まれている装置シリアル番号８０４と現在の装置アドレス８０３とを更新判定部６５に出力する（Ｓ４０１）。
【００７７】
更新判定部６５は、受け取った装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組うぃ、ライセンス管理部６３に保存されている装置シリアル番号及び装置アドレスの組と比較することにより、ライセンスキーの更新要求元がライセンスキーが発行されている基板処理装置２であるか否かを判定する（Ｓ４０２）。装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組が、ライセンス管理部６３に管理されている一覧に含まれていない場合（Ｓ４０２）、更新判定部６５は、更新要求元はライセンス対象ではないとして、その後の処理を中止する。したがって、この場合、更新キーの発行は行われない。なお、ここで、装置シリアル番号８０４が、ライセンス管理部６３に保存されている値に一致する場合に、装置アドレス８０３のみが異なる場合は、基板処理装置２がネットワーク上移動された蓋然性が認められる。したがって、ステップＳ４０２においても、基板処理装置２の移動は検出され得る。
【００７８】
装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組が、ライセンス管理部６３に保存されている一覧の中に含まれている場合、更新判定部６５は、ネットワーク接続判定部６６に対して、ライセンスキーサーバ６０がネットワーク１７０に接続されているか否かを確認させる（Ｓ４０３）。ネットワーク１７０への接続確認は、例えば、ｐｉｎｇコマンドを発行すること等により行えばよい。ネットワーク１７０への接続確認の意義については後述する。
【００７９】
ライセンスキーサーバ６０はネットワーク１７０に接続されていないと判定された場合（Ｓ４０３でＮｏ）、更新判定部６５は、その後の処理を中止する。したがって、この場合、更新キーの発行は行われない。一方、ライセンスキーサーバ６０はネットワーク１７０に接続されていると判定された場合（Ｓ４０３でＹｅｓ）、更新判定部６５は、更新キー生成部６７に更新キーの生成を要求する。
【００８０】
更新キー生成部６７は、現在のキーサーバアドレス６２２と、現在日付６２３と、ライセンス管理部６３に保存されている更新要求対象とされている基板処理装置２に係る装置シリアル番号及び装置アドレスとに基づいて、キー生成アルゴリズムを用いて更新キーを生成する（Ｓ４０４）。生成された更新キーはキー転送部６２によって、基板処理装置２に転送される（Ｓ４０５）。更新キーの送信に応じ、基板処理装置２では、図７のステップＳ３０５以降の処理が実行される。
【００８１】
上述したように、第一の実施の形態におけるライセンス管理システムによれば、基板処理装置２が転売等によって移設された場合であっても、当該基板処理装置２において動作するソフトウェアの不正使用を効果的に制限することができる。
【００８２】
すなわち、ユーザが、基板処理装置２におけるソフトウェアの使用を継続したい場合、ライセンスキーサーバ６０がネットワークを介して接続されていなければならない。ライセンスキーサーバ６０が接続されていなければ、更新キーが提供されないからである。そこで、ユーザが、基板処理装置２とライセンスキーサーバ６０とを一緒に転売し、移設しようとしたとする。しかし、この場合、キーサーバアドレス６２２のＩＰアドレスは、移設先のネットワークに対応するものに変更されなければならない。その結果、更新キーに含まれるキーサーバアドレス６２２と、基板処理装置２に保存されている初期値のキーサーバアドレス８０２とが一致せず（図７のＳ３０６でＮｏ）、機能制限フラグはＯＮにされる。なお、移設後のキーサーバアドレス６２２と、初期値のキーサーバアドレス８０２との不一致を避けるために、キーサーバアドレス６２２の値を変更しないままにしておくのは困難である。更新キーの生成時には、ネットワーク接続部６６によりライセンスキーサーバ６０がネットワークに接続されていることが確認されるところ（図８のＳ４０３）、キーサーバアドレスが変更されないままでは、移設先のネットワークに正常に接続できないからである。
【００８３】
また、基板処理装置２だけが転売され、移設された場合に、ライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２との接続がインターネット等を介して維持されたとしても、基板処理装置２のソフトウェアの使用は制限され得る。すなわち、移設により装置アドレスも移設先のネットワークに対応したものに変更されなければならない。その結果、基板処理装置２からのライセンスキーの更新要求に含まれる装置アドレス８０３の値は、ライセンス管理部６３に管理されている装置アドレスの値と一致しなくなる。したがって、更新判定部６５によって更新キーの生成が中止される（図８のＳ４０３）。なお、更新判定部６５によるチェックが行われなくても、基板処理装置２の移設の検出は可能である。すなわち、基板処理装置２からのライセンスキーの更新要求の際に、更新判定部６５によるチェックが行われず、要求されるままに更新キーが生成され、基板処理装置２に転送されたとしても、基板処理装置２のライセンス判定部８３によって、更新キーに含まれている装置アドレスと現在の装置アドレス８０３の不一致が検出されるからである（図７のＳ３０７）。
【００８４】
更に、基板処理装置２におけるライセンスキーの正当性の確認の際に、装置固有情報の確認も行われるため（Ｓ３０７、Ｓ３０８）、以上のようなライセンス管理を基板処理装置２ごとに行うことが可能である。なお、各基板処理装置２を特定するための情報として、第一の実施の形態では、装置アドレス及び装置シリアル番号を用いたが、いずれか一方のみを用いてもよい。但し、両者を用いることにより信頼性を高めることができる。
【００８５】
次に、第二の実施の形態について説明する。図９は、第二の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。図９中、図２と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００８６】
図９において、ライセンスキーサーバ６０は、ネットワークとの接続口（インタフェース装置６０５）を少なくとも二つ有している（例えば、少なくとも２枚のＮＩＣが装着されている。）。一つは、ネットワーク１７０に直接接続されており、一つは、基板処理装置２のＥＣ８９と接続されている。すなわち、第二の実施の形態は、基板処理装置２が、ネットワーク１７０に直接接続されていない場合を例としたものである。セキュリティ上の観点より基板処理装置２を直接ネットワーク１７０に接続したくないというユーザにおいてこのような構成例が考えられる。なお、一台のライセンスキーサーバ６０に複数の基板処理装置２を接続する場合は、両者の間にスイッチングハブ８０を介在させてもよい。その他、ライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２が同じ工場内にある点、基板処理装置２の概略構成例（図１）、ライセンスキーサーバ６０のハードウェア構成例（図３）、及びライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２との機能構成例（図４）は、第一の実施の形態と同様でよい。
【００８７】
また、第二の実施の形態において、ライセンスキーサーバ６０及び基板処理装置２のそれぞれにおいて行われる処理は、第一の実施の形態において説明したもの（図５、図６、図７、及び図８）と同様でよい。
【００８８】
基板処理装置２はネットワーク１７０に直接接続されていないため、そのＩＰアドレス（装置アドレス）は、ネットワーク１７０に対応させる必要はない。そこで、装置アドレスは、基板処理装置２のメーカーから指定された固定のアドレスを設定するように制限を設け、メーカーでは、当該固定のアドレスに基づいて初期キー６２１を生成するようにしてもよい。または、ユーザが任意に設定したＩＰアドレスを、初期キーの発行要求に伴って申請させ、そのＩＰアドレスに基づいて初期キー６２１を生成するようにしてもよい。いずれの場合であっても、基板処理装置２のみを転売により移設しようとした場合、当該基板処理装置２とライセンスキーサーバ６０との接続を維持するためには、基板処理装置２を移設先のネットワークに接続せざるをえず、その場合、装置アドレス８０３は変更せざるをえない。したがって、この場合、機能制限フラグ８０６はＯＮとされ、ソフトウェアの不正使用は効果的に制限される。
【００８９】
なお、ライセンスキーサーバ６０も共に転売により移設する場合は、キーサーバアドレス６２２を変更せざるをえない。したがって、この場合も、機能制限フラグ８０６はＯＮとされ、フトウェアの不正使用は効果的に制限される。
【００９０】
次に、第三の実施の形態について説明する。図１０は、第三の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。図１０中、図２と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００９１】
図１０にいて、ライセンスキーサーバ６０は、インターネット等の広域ネットワーク１８０を介して基板処理装置２と接続されている。基板処理装置２は、ネットワーク１７０を介して広域ネットワーク１８０と接続している。第三の実施の形態は、ライセンスキーサーバ６０が、基板処理装置２のメーカー側に設置されている場合等に考えられる構成例である。基板処理装置２の概略構成例（図１）、ライセンスキーサーバ６０のハードウェア構成例（図３）、及びライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２との機能構成例（図４）は、第一の実施の形態と同様でよい。
【００９２】
また、第三の実施の形態において、ライセンスキーサーバ６０及び基板処理装置２のそれぞれにおいて行われる処理は、第一の実施の形態において説明したもの（図５、図６、図７、及び図８）と基本的に同様でよい。
【００９３】
但し、ライセンスキーサーバ６０が、メーカー側に設置されている場合であって、初期設定がメーカー側の作業員によって行われることが保証される場合は、初期設定の際に初期キー６２１を入力するのではなく、キーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付を入力するようにし、その入力に応じてライセンスキーサーバ６０が初期キーを生成するようにしてもよい。
【００９４】
また、第三の実施の形態では、基板処理装置２と共にライセンスキーサーバ６０が転売されるおそれはないが、基板処理装置２のみが転売される可能性がある。この場合は移設に伴って、基板処理装置２の装置アドレスは、初期キーを生成する際の装置アドレスと異なるものに変更せざるを得ないため、機能制限フラグがＯＮとなり、ソフトウェアの不正使用は制限される。
【００９５】
ところで、上記第一から第三の実施の形態における基板処理装置２は、例えば、図１１や図１２に示されるように構成されていてもよい。図１１は、本発明の実施の形態における第二の基板処理装置の概略構成例を示す図である。図１１中、図１と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００９６】
図１における基板処理装置２と図１１における基板処理装置３とについて大きく異なる点は、基板処理装置２が４つの処理チャンバ（１２Ａ〜１２Ｄ）を有しているのに対し、基板処理装置３は６つの処理チャンバ（１２Ａ〜１２Ｆ）を有している点である。また、移載室８の構成についても異なり、基板処理装置３における移動アーム部１６は、レール１７Ａ及び１７Ｂに沿った直進運動とアームの起点を中心とした回転運動とによってウエハＷを搬送する。
【００９７】
なお、基板処理装置３におけるＥＣ８９の処理は、基板処理装置２の場合と同様である。
【００９８】
また、図１２は、本発明の実施の形態における第三の基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【００９９】
図１２において基板処理装置４は、ウエハＷに反応性イオンエッチング（以下、「ＲＩＥ」という。）処理を施す第１のプロセスシップ２１１と、第１のプロセスシップ２１１と平行に配置され、第１のプロセスシップ２１１においてＲＩＥ処理が施されたウエハＷにＣＯＲ（Chemical Oxide Removal）処理及びＰＨＴ（Post Heat Treatment）処理を施す第２のプロセスシップ２１２と、第１のプロセスシップ２１１及び第２のプロセスシップ２１２がそれぞれ接続された矩形状の共通搬送室としてのローダーユニット２１３とを備える。
【０１００】
ローダーユニット２１３には、第１のプロセスシップ２１１及び第２のプロセスシップ２１２の他、２５枚のウエハＷを収容する容器としてのフープ（Front Opening Unified Pod）２１４がそれぞれ載置される３つのフープ載置台２１５と、フープ２１４から搬出されたウエハＷの位置決めを行うオリエンタ２１６と、ウエハＷの表面状態を計測する第１及び第２のＩＭＳ（Integrated Metrology System、Therma‐Wave，Inc．）２１７，２１８とが接続されている。
【０１０１】
第１のプロセスシップ２１１及び第２のプロセスシップ２１２は、ローダーユニット２１３の長手方向における側壁に接続されると共にローダーユニット２１３を挟んで３つのフープ載置台２１５と対向するように配置され、オリエンタ２１６はローダーユニット２１３の長手方向に関する一端に配置され、第１のＩＭＳ２１７はローダーユニット２１３の長手方向に関する他端に配置され、第２のＩＭＳ２１８は３つのフープ載置台２１５と並列に配置される。
【０１０２】
ローダーユニット２１３は、内部に配置された、ウエハＷを搬送するスカラ型デュアルアームタイプの搬送アーム機構２１９と、各フープ載置台２１５に対応するように側壁に配置されたウエハＷの投入口としての３つのロードポート２２０とを有する。搬送アーム機構２１９は、フープ載置台２１５に載置されたフープ２１４からウエハＷをロードポート２２０経由で取り出し、取り出したウエハＷを第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２、オリエンタ２１６、第１のＩＭＳ２１７や第２のＩＭＳ２１８へ搬出入する。
【０１０３】
第１のＩＭＳ２１７は光学系のモニタであり、搬入されたウエハＷを載置する載置台２２１と、載置台２２１に載置されたウエハＷを指向する光学センサ２２２とを有し、ウエハＷの表面形状、例えば、表面層の膜厚、及び配線溝やゲート電極等のＣＤ（Critical Dimension）値を測定する。第２のＩＭＳ２１８も光学系のモニタであり、第１のＩＭＳ２１７と同様に、載置台２２３と光学センサ２２４とを有し、ウエハＷの表面におけるパーティクル数を計測する。
【０１０４】
第１のプロセスシップ２１１は、ウエハＷにＲＩＥ処理を施す第１の真空処理室としての第１のプロセスユニット２２５と、該第１のプロセスユニット２２５にウエハＷを受け渡すリンク型シングルピックタイプの第１の搬送アーム２２６を内蔵する第１のロード・ロックユニット２２７とを有する。
【０１０５】
第１のプロセスユニット２２５は、円筒状の処理室チャンバ（処理室）と、処理チャンバ内に配置された上部電極及び下部電極を有する。上部電極及び下部電極の間の距離はウエハＷにＲＩＥ処理を施すための適切な間隔に設定されている。また、下部電極はウエハＷをクーロン力等によってチャックするＥＳＣ２２８をその頂部に有する。
【０１０６】
第１のプロセスユニット２２５では、チャンバ内部に処理ガスを導入し、上部電極及び下部電極間に電界を発生させることによって導入された処理ガスをプラズマ化してイオン及びラジカルを発生させ、該イオン及びラジカルによってウエハＷにＲＩＥ処理を施す。
【０１０７】
第１のプロセスシップ２１１では、ローダーユニット２１３の内部圧力は大気圧に維持される一方、第１のプロセスユニット２２５の内部圧力は真空に維持される。そのため第１のロード・ロックユニット２２７は、第１のプロセスユニット２２５との連結部に真空ゲートバルブ２２９を備えると共に、ローダーユニット２１３との連結部に大気ゲートバルブ２３０を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
【０１０８】
第１のロード・ロックユニット２２７の内部には、略中央部に第１の搬送アーム２２６が設置され、該第１の搬送アーム２２６より第１のプロセスユニット２２５側に第１のバッファ２３１が設置され、第１の搬送アーム２２６よりローダーユニット２１３側には第２のバッファ２３２が設置される。第１のバッファ２３１及び第２のバッファ２３２は、第１の搬送アーム２２６の先端部に配置されたウエハＷを支持する支持部（ピック）２３３が移動する軌道上に配置され、ＲＩＥ処理が施されたウエハＷを一時的に支持部２３３の軌道の上方に待避させることにより、ＲＩＥ未処理のウエハＷとＲＩＥ処理済みのウエハＷとの第１のプロセスユニット２２５における円滑な入れ換えを可能とする。
【０１０９】
第２のプロセスシップ２１２は、ウエハＷにＣＯＲ処理を施す第２の真空処理室としての第２のプロセスユニット２３４と、該第２のプロセスユニット２３４に真空ゲートバルブ３５を介して接続された、ウエハＷにＰＨＴ処理を施す第３の真空処理室としての第３のプロセスユニット２３６と、第２のプロセスユニット２３４及び第２のプロセスユニット２３６にウエハＷを受け渡すリンク型シングルピックタイプの第２の搬送アーム２３７を内蔵する第２のロード・ロックユニット２４９とを有する。
【０１１０】
図１３は、第２のプロセスユニットの断面図である。図１３（Ａ）は図１２における線||−||に沿う断面図であり、図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）におけるＡ部の拡大図である。
【０１１１】
図１３（Ａ）において、第２のプロセスユニット２３４は、円筒状の処理チャンバ２３８と、処理チャンバ２３８内に配置されたウエハＷの載置台としてのＥＳＣ２３９と、処理チャンバ２３８の上方に配置されたシャワーヘッド２４０と、処理チャンバ２３８内のガス等を排気するＴＭＰ（Turbo Molecular Pump）２４１と、処理チャンバ２３８及びＴＭＰ２４１の間に配置され、処理チャンバ２３８内の圧力を制御する可変式バタフライバルブとしてのＡＰＣ（Automatic Pressure Control）バルブ２４２とを有する。
【０１１２】
ＥＳＣ２３９は、内部に直流電圧が印加される電極板（図示しない）を有し、 直流電圧により発生するクーロン力又はジョンソン・ラーベック（Johnsen−Rahbek）力によってウエハＷを吸着して保持する。また、ＥＳＣ２３９は、その上面から突出自在なリフトビンとしての複数のプッシャーピン２５６を有し、これらのプッシャーピン２５６は、ウエハＷがＥＳＣ２３９に吸着保持されるときにはＥＳＣ２３９に収容され、ＣＯＲ処理が施されたウエハＷを処理チャンバ２３８から搬出するときには、ＥＳＣ２３９の上面から突出してウエハＷを上方へ持ち上げる。
【０１１３】
シャワーヘッド２４０は２層構造を有し、下層部２４３及び上層部２４４のそれぞれに第１のバッファ室２４５及び第２のバッファ室２４６を有する。第１のバッファ室２４５及び第２のバッファ室２４６はそれぞれガス通気孔２４７，２４８を介して処理チャンバ２３８内に連通する。ウエハＷにＣＯＲ処理を施す際、第１のバッファ室２４５にはNH３（アンモニア）ガスが後述するアンモニアガス供給管２５７から供給され、該供給されたアンモニアガスはガス通気孔２４７を介して処理チャンバ２３８内へ供給されると共に、第２のバッファ室２４６にはＨＦ（弗化水素）ガスが後述する弗化水素ガス供給管２５８から供給され、該供給された弗化水業ガスはガス通気孔２４８を介して処理チャンバ２３８内へ供給される。
【０１１４】
また、図１３（Ｂ）に示すように、ガス通気孔２４７，２４８における処理チャンバ２３８内への開口部は末広がり状に形成される。これにより、アンモニアガスや弗化水素ガスを処理チャンバ２３８内へ効率よく拡散することができる。さらに、ガス通気孔２４７，２４８は断面がくびれ形状を呈するので、処理チャンバ２３８で発生した堆積物がガス通気孔２４７，２４８、引いては、第１のバッファ室２４５や第２のバッファ室２４６へ逆流するのを防止することができる。なお、ガス通気孔２４７，２４８は螺旋状の通気孔であってもよい。
【０１１５】
この第２のプロセスユニット２３４は、処理チャンバ２３８内の圧力と、アンモニアガス及び弗化水素ガスの体積流量比を調整することによってウエハＷにＣＯＲ処理を施す。
【０１１６】
図１２に戻り、第３のプロセスユニット２３６は、筐体状の処理チャンバ２５０と、処理チャンバ２５０内に配置されたウエハＷの載置台としてのステージヒータ２５１と、ステージヒータ２５１の上部に配置され、搬送シーケンスを調整するために一時的にウエハＷを載置するためのバッファアーム２５２とを有する。
【０１１７】
ステージヒータ２５１は、表面に酸化皮膜が形成されたアルミからなり、内蔵された電熱線等によって載置されたウエハＷを所定の温度まで加熱する。バッファアーム２５２は、ＣＯＲ処理が施されたウエハＷを一時的に第２の搬送アーム２３７における支持部２５３の軌道の上方に待避させることにより、第２のプロセスユニット２３４や第３のプロセスユニット２３６におけるウエハＷの円滑な入れ換えを可能とする。
【０１１８】
この第３のプロセスユニット２３６は、ウエハＷの温度を調整することによってウエハＷにＰＨＴ処理を施す。
【０１１９】
第２のロード・ロックユニット２４９は、第２の搬送アーム２３７を内蔵する筐体状の搬送室２７０を有する。また、ローダーユニット２１３の内部圧力は大気圧に維持される一方、第２のプロセスユニット２３４及び第３のプロセスユニット２３６の内部圧力は真空に維持される。モのため、第２のロード・ロックユニット２４９は、第３のプロセスユニット２３６との連結部に真空ゲートバルブ２５４を備えると共に、ローダーユニット２１３との連結部に大気ドアバルブ２５５を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
【０１２０】
図１４は、第２のプロセスシップの概略購成を示す斜視図である。
【０１２１】
図１４において、第２のプロセスユニット２３４は、第１のバッファ室２４５へアンモニアガスを供給するアンモニアガス供給管２５７と、第２のバッファ室２４６へ弗化水素ガスを供給する弗化水素ガス供給管２５８と、処理チャンバ２３８内の圧力を測定する圧力ゲージ２５９と、ＥＳＣ２３９内に配設された冷却系統に冷媒を供給するチラーユニット２６０とを備える。
【０１２２】
アンモニアガス供給管２５７にはＭＦＣ（Mass Flow Controller）（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは第１のバッファ室２４５へ供給するアンモニアガスの流量を調整すると共に、弗化水素ガス供給管２５８にもＭＦＣ（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは第２のバッファ室２４６へ供給する弗化水素ガスの流量を調整する。アンモニアガス供給管２５７のＭＦＣと弗化水素ガス供給管２５８のＭＦＣは協働して、処理チャンバ２３８へ供給されるアンモニアガスと弗化水素ガスの体積流量比を調整する。
【０１２３】
また、第２のプロセスユニット２３４の下方には、ＤＰ（Dry Pump）（図示しない）に接続された第２のプロセスユニット排気系２６１が配置される。第２のプロセスユニット排気系２６１は、処理チャンバ２３８とＡＰＣバルブ２４２の間に配設された排気ダクト２６２と連通する排気管２６３と、ＴＭＰ２４１の下方（排気側）に接続された排気管２６４とを有し、処理チャンバ２３８内のガス等を排気する。なお、排気管２６４はＤＰの手前において排気管２６３に接続される。
【０１２４】
第３のプロセスユニット２３６は、処理チャンバ２５０へ窒素（N２）ガスを供給する窒素ガス供給管２６５と、処理チャンバ２５０内の圧力を測定する圧力ゲージ２６６と、処理チャンバ２５０内の窒素ガス等を排気する第３のプロセスユニット排気系２６７とを備える。
【０１２５】
窒素ガス供給管２６５にはＭＦＣ（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは処理チャンバ２５０へ供給される窒素ガスの流量を調整する。第３のプロセスユニット排気系２６７は、処理チャンバ２５０に連通すると共にＤＰに接続された本排気管２６８と、本排気管２６８の途中に配されたＡＰＣバルブ２６９と、本排気管２６８からＡＰＣバルブ２６９を回避するように分岐し、且つＤＰの手前において本排気管２６８に接続される副排気管２６８ａとを有する。ＡＰＣバルブ２６９は、処理チャンバ２５０内の圧力を制御する。
【０１２６】
第２のロード・ロックユニット２４９は、搬送室２７０へ窒素ガスを供給する窒素ガス供給管２７１と、搬送室２７０内の圧力を測定する圧力ゲージ２７２と、搬送室２７０内の窒素ガス等を排気する第２のロード・ロックユニット排気系２７３と、搬送室２７０内を大気開放する大気連通管２７４とを備える。
【０１２７】
窒素ガス供給管２７１にはＭＦＣ（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは搬送室２７０へ供給される窒素ガスの流量を調整する。第２のロード・ロックユニット排気系２７３は１本の排気管からなり、該排気管は搬送室２７０に連通すると共に、ＤＰの手前において第３のプロセスユニット排気系２６７における本排気管２６８に接続される。また、第２のロード・ロックユニット排気系２７３及び大気連通管２７４はそれぞれ開閉自在な排気バルブ２７５及びリリーフバルブ２７６を有し、該排気バルブ２７５及びリリーフバルブ２７６は協働して搬送室２７０内の圧力を大気圧から所望の真空度までのいずれかに調整する，
図１５は、第２のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。
【０１２８】
図１５において、第２のロード・ロックユニット２４９のユニット駆動用ドライエア供給系２７７のドライエア供給先としては、大気ドアバルブ２５５が有するスライドドア駆動用のドアバルブシリンダ、N２パージユニットとしての窒素ガス供給管２７１が有するＭＦＣ、大気開放用のリリーフユニットとしての大気連通管２７４が有するリリーフバルブ２７６、真空引きユニットとしての第２のロード・ロックユニット排気系２７３が有する排気バルブ２７５、及び真空ゲートバルブ２５４が有するスライドゲート駆動用のゲートバルブシリンダが該当する。
【０１２９】
ユニット駆動用ドライエア供給系２７７は、第２のプロセスシップ２１２が備える本ドライエア供給管２７８から分岐された副ドライエア供給管２７９と、該副ドライエア供給管２７９に接続された第１のソレノイドバルブ２８０及び第２のソレノイドバルブ２８１とを備える。
【０１３０】
第１のソレノイドバルブ２８０は、ドライエア供給管２８２，２８３，２８４，２８５の各々を介してドアバルブシリンダ、ＭＦＣ、リリーフバルブ２７６及びゲートバルブシリンダに接続され、これらへのドライエアの供給量を制御することによって各部の動作を制御する。また、第２のソレノイドバルブ２８１は、ドライエア供給管２８６を介して排気バルブ２７５に接続され、排気バルブ２７５へのドライエアの供給量を制御することによって排気バルブ２７５の動作を制御する。
【０１３１】
なお、窒素ガス供給管２７１におけるＭＦＣは窒素（Ｎ２）ガス供給系２８７にも接続されている。
【０１３２】
また、第２のプロセスユニット２３４や第３のプロセスユニット２３６も、上述した第２のロード・ロックユニット２４９のユニット駆動用ドライエア供給系２７７と同様の構成を有するユニット駆動用ドライエア供給系を備える。
【０１３３】
図１２に戻り、基板処理装置４は、第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２及びローダーユニット２１３の動作を制御するシステムコントローラと、ローダーユニット２１３の長手方向に関する一端に配置されたオペレーションコントローラ２８８を備える。
【０１３４】
オペレーションコントローラ２８８は、図１におけるオペレーションコントローラ８８と同様に、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなる表示部を有し、該表示部は基板処理装置４の各構成要素の動作状況やログ情報等を表示する。
【０１３５】
図１６は、第三の基板処理装置におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。図１６中、図２と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【０１３６】
図１６において、ＭＣ２９０，２９１，２９２は、それぞれ第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２及びローダーユニット２１３の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）である。各ＭＣが、ＤＩＳＴ（Distribution）ボード９６によってＧＨＯＳＴネットワーク９５を介して各Ｉ／Ｏ（入出力）モジュール２９７，２９８，２９９にそれぞれ接銑される点は、図２と同様である。
【０１３７】
また、Ｉ／Ｏモジュール２９７、２９８、２９９については、それぞれ第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２又はローダーユニット２１３に対応する点を除き、図２におけるＩ／Ｏモジュール９７又は９８と同様に構成される。
【０１３８】
なお、図１６においては、ライセンスキーサーバ６０とＥＣ８９とがネットワーク１７０を介して接続されている例が示されているが、両者のネットワーク構成は、第二の実施の形態又は第三の実施の形態において示したものに変更してもよい。
【０１３９】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４０】
【図１】本発明の実施の形態における基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【図２】第一の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるライセンスキーサーバのハードウェア構成例を示す図である。
【図４】第一の実施の形態におけるライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバと基板処理装置との機能構成例を示す図である。
【図５】初期キー入力時のライセンスキーサーバにおける初期設定処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図６】初期キー受信時の基板処理装置における処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図７】基板処理装置におけるライセンスの更新処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図８】ライセンスキーサーバにおけるライセンスキーの更新処理を説明するためのフローチャートである。
【図９】第二の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。
【図１０】第三の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態における第二の基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態における第三の基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【図１３】第２のプロセスユニットの断面図である。
【図１４】第２のプロセスシップの概略購成を示す斜視図である。
【図１５】第２のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。
【図１６】第三の基板処理装置におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。
【符号の説明】
【０１４１】
２，３，４ 基板処理装置
５ 処理システム
６ 搬送システム
８ 移載室
１２Ａ〜１２Ｆ 処理チャンバ
１４Ａ〜１４Ｆ サセプタ
１６ 移載アーム部
２０ 搬送アーム部
２２ 搬送ステージ
２４ 容器載置台
２６Ａ〜２６Ｄ カセット容器
２８ リニアガイドレール
３６ オリエンタ（方向位置決め装置）
３８Ａ，３８Ｂ ロードロック室
４０Ａ，４０Ｂ 被搬送体載置台
４６ 搬送アーム本体
４８ フォーク
６０ ライセンスキーサーバ
６１ 初期設定部
６２ キー転送部
６３ ライセンス管理部
６４ 更新要求受信部
６５ 更新判定部
６６ ネットワーク接続判定部
６７ 更新キー生成部
８１ キー受信部
８２ キー解析部
８３ ライセンス判定部
８４ 期限管理部
８５ キー更新部
８９ ＥＣ
９０、９１ ＭＣ
８０、９３ ＨＵＢ
９５ ＧＨＯＳＴネットワーク
９６ ＤＩＳＴボード
９７、９８ Ｉ／Ｏモジュール
１００ Ｉ／Ｏ部
１７０ ネットワーク
１７１ ＰＣ
２１１ 第１のプロセスシップ
２１２ 第２のプロセスシップ
２１３ ローダーユニット
２１５ フープ載置台
２１４ フープ
２１６ オリエンタ
２１７、２１８ ＩＭＳ
２１９ 搬送アーム機構
２２０ ロードポート
２２１、２２３ 載置台
２２２，２２４ 光学センサ
２２５ 第１のプロセスユニット
２２６ 第１の搬送アーム
２２７ 第１のロード・ロックユニット
２２８ ＥＳＣ
２２９ 真空ゲートバルブ
２３０ 大気ゲートバルブ
２３１ 第１のバッファ
２３２ 第２のバッファ
２３３ 支持部
２３４ 第２のプロセスユニット
２３６ 第３のプロセスユニット
２３７ 第２の搬送アーム
２３８ チャンバ
２３９ ＥＳＣ
２４０ シャワーヘッド
２４１ ＴＭＰ
２４２ ＡＰＣバルブ
２４３ 下層部
２４４ 上層部
２４５ 第１のバッファ室
２４６ 第２のバッファ室
２４７ ガス通気孔
２４８ ガス通気孔
２５０ チャンバ
２５１ ステージヒータ
２５２ バッファアーム
２５３ 支持部
２５４ 真空ゲートバルブ
２５５ 大気ドアバルブ
２５６ プッシャーピン
２５７ アンモニアガス供給管
２５８ 弗化水素ガス供給管
２５９ 圧力ゲージ
２６０ チラーユニット
２６１ 第２のプロセスユニット排気系
２６２ 排気ダクト
２６３、２６４ 排気管
２６５ 窒素ガス供給管
２６６ 圧力ゲージ
２６７ 第３のプロセスユニット排気系
２６８ 本排気管
２６８ａ 副排気管
２６９ ＡＰＣバルブ
２７０ 搬送室
２７１ 窒素ガス供給管
２７２ 圧力ゲージ
２７３ 第２のロード・ロックユニット排気系
２７４ 大気連通管
２７５ 排気バルブ
２７６ リリーフバルブ
２７７ ユニット駆動用ドライエア供給系
２７８ 本ドライエア供給管
２７９ 副ドライエア供給管
２８０ 第１のソレノイドバルブ
２８１ 第２のソレノイドバルブ
２８２，２８３，２８４，２８５ ドライエア供給管
２８６ ドライエア供給管
２８７ 窒素ガス供給系
２８８ オペレーションコントローラ
２９０，２９１，２９２ ＭＣ
２９７、２９８、２９９ Ｉ／Ｏモジュール
６００ ドライブ装置
６０１ 記録媒体
６０２ 補助記憶装置
６０３ メモリ装置
６０４ ＣＰＵ
６０５ インタフェース装置
６０６ 表示装置
６０７ 入力装置
８９１ ＣＰＵ
８９２ ＲＡＭ
８９３ ＨＤＤ
８９４ ＣＤ−ＲＯＭ
Ｂ バス
Ｗ 半導体ウエハ（被搬送体）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体に関し、特にソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的にソフトウェアのユーザは、そのライセンス契約に従う義務がある。ライセンス契約における取り決めには様々なものがあり、契約されたユーザ数、コンピュータの台数、又は使用期間等の範囲内でソフトウェアの使用が許可される。
【０００３】
半導体製造装置等の基板処理装置上で動作するソフトウェアについても基板処理装置のメーカーと基板処理装置のユーザとの間でライセンス契約が結ばれることがある。この場合、基板処理装置のメーカーは、ユーザに対してソフトウェアのライセンス料を請求し、当該ライセンス料が納付された場合に当該ソフトウェアの使用を許可する。具体的には、一般的なソフトウェアと同様、基板処理装置のメーカーがユーザに対してライセンスキー等を通知し、当該ライセンスキー等が入力されれば、それ以降当該ソフトウェアの使用が可能となる。
【０００４】
ところで、当該ライセンス契約が、メーカーと当該ユーザとの間でのみ有効なものである場合、当該ユーザが基板処理装置を転売した際には、メーカーは転売先のユーザに対して改めてライセンス料を請求できるべきである。
【特許文献１】特開２００５−８４８８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来、ユーザからの報告がない限り基板処理装置の転売をメーカー側が察知することは困難であった。実際問題として、メーカーから派遣される保守作業員等からの報告によって基板処理装置がどこかに移設されたことまでは察知できないこともないかもしれない。しかし、転売元のユーザが協力的でなければ転売先を正確に把握するには困難が予想される。
【０００６】
そうすると、当該ソフトウェアの不正使用をみすみす認めざるを得ず、メーカーはソフトウェアのライセンス料を請求することできないといった不利益を被るという問題がある。
【０００７】
なお、特許文献１に記載された技術では、ライセンス対象とする機器ごとにライセンスの管理を行うことはできても、当該機器が転売された場合に当該機器が用いるソフトウェアの使用を適切に防止することは困難である。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、基板処理装置において動作するソフトウェアの不正使用を適切に防止することのできる基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで上記課題を解決するため、本発明は、ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする。
【００１０】
また、上記課題を解決するため、本発明は、上記基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置であって、当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手段と、前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手段とを有することを特徴とする。
【００１１】
上記基板処理装置、また、上記ライセンス情報提供装置によれば、基板処理装置において動作するソフトウェアの不正使用を適切に防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板処理装置において動作するソフトウェアの不正使用を適切に防止することのできる基板処理装置、ライセンス管理プログラム、ライセンス情報提供装置、ライセンス情報提供プログラム、ライセンス管理システム及び記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の実施の形態における基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【００１４】
図１において、基板処理装置２は、被搬送体としての半導体ウエハ（基板）Ｗに対して成膜処理、拡散処理、エッチング処理等の各種の処理を行なう処理システム５と、この処理システムに対してウエハＷを搬入、搬出させる搬送システム６とにより主に構成される。処理システム５は、真空引き可能になされた移載室８と、ゲートバルブ１０Ａ〜１０Ｄを介して連結された４つの処理チャンバ（処理室）１２Ａ〜１２Ｄよりなり、各処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄにおいて同種の或いは異種の熱処理をウエハＷに対して施すようになっている。各処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ内には、ウエハＷを載置するためのサセプタ１４Ａ〜１４Ｄがそれぞれ設けられる。また、移載室８内には、屈伸及び旋回自在になされた移載アーム部１６が設けられ、各処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ間や後述するロードロック室間とウエハＷの受け渡しを行なうようになっている。
【００１５】
一方、搬送システム６は、カセット容器を載置するカセットステージ１８とウエハＷを搬送して受け渡しを行なうための搬送アーム部２０を移動させる搬送ステージ２２よりなる。カセットステージ１８には、容器載置台２４が設けられ、ここに複数、図示例にあっては最大４つのカセット容器２６Ａ〜２６Ｄを載置できるようになっている。各カセット容器２６Ａ〜２６Ｄには、最大例えば２５枚のウエハＷを等間隔のピッチで多段に載置して収容できるようになっている。搬送ステージ２２には中心部から長さ方向に沿って延びるリニアガイドレール２８が設けられており、リニアモータ駆動ステージ３４に支持される搬送アーム部２０は、該リニアガイドレール２８に沿って、磁石から発生する磁束をムービングコイルが高効率に変換して非接触で高速かつ高精度な直線運動を行うことが可能である。
【００１６】
また、搬送ステージ２２の他端には、ウエハの位置決めを行なう方向位置決め装置としてのオリエンタ３６が設けられ、更に、搬送ステージ２２の途中には、上記移載室８との間を連結するために真空引き可能になされた２つのロードロック室３８Ａ、３８Ｂが設けられる。各ロードロック室３８Ａ、３８Ｂ内には、ウエハＷを載置する被搬送体載置台４０Ａ、４０Ｂが設けられると共に、各ロードロック室３８Ａ、３８Ｂの前後には、移載室８或いは搬送ステージ２２へ連通するためのゲートバルブ４２Ａ、４２Ｂ及び４４Ａ、４４Ｂがそれぞれ設けられる。なお、基板処理装置２において、少なくとも移載アーム部１６及び搬送アーム部２０が搬送手段を構成する。
【００１７】
基板処理装置２は、更に、処理システム５及び搬送システム６等の動作を制御するシステムコントローラと搬送ステージ２２の一端に配置されたオペレーションコントローラ８８を備える。
【００１８】
オペレーションコントローラ８８は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなる表示部や入力部等を有する。例えば、オペレーションコントローラ８８は、基板処理装置２の各動作状況等を表示出力したり、タッチペン等を介した画面選択等の入力指示を受け付けたりする。
【００１９】
図２は、第一の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。図２において、システムコントローラは、ＥＣ（Equipment Controller）８９と、２つのＭＣ（Module Controller）９０及び９１と、ＥＣ８９及び各ＭＣを接続するスイッチングハブ９３とを備える。
【００２０】
ＥＣ８９は、各ＭＣを統括して基板処理装置２全体の動作を制御する主制御部（マスタ制御部）である。また、ＥＣ８９は、ＣＰＵ８９１、ＲＡＭ８９２、ＨＤＤ８９３等を有し、オペレーションコントローラ８８においてユーザ等によって指定されたウエハＷの処理方法、すなわち、レシピに対応するプログラムに応じてＣＰＵが各ＭＣに制御信号を送信することにより、処理システム５及び搬送システム６等の動作を制御する。また、本実施の形態において、ＥＣ８９は、基板処理装置２における基板処理等を制御するソフトウェアのライセンス管理機能を実現する。ライセンス管理機能の詳細については後述する。
【００２１】
スイッチングハブ９３は、ＥＣ８９からの制御信号に応じてＥＣ８９の接続先としてのＭＣを切り替える。
【００２２】
ＭＣ９０及び９１は、それぞれ処理システム５及び搬送システム６の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）である。各ＭＣは、ＤＩＳＴ（Distribution）ボード９６によってＧＨＯＳＴネットワーク９５を介してＩ／Ｏ（入出力）モジュール９７又は９８にそれぞれそれ接続される。ＧＨＯＳＴネットワーク９５は、ＭＣが有するＭＣボードに搭載されたＧＨＯＳＴ（General High-Speed Optimum Scalable Transceiver）と称されるＬＳＩによって実現されるネットワークである。ＧＨＯＳＴネットワーク９５には、最大で３１個のＩ／Ｏモジュールを接続可能であり、ＧＨＯＳＴネットワーク９５では、ＭＣがマスタに該当し、Ｉ／Ｏモジュールがスレーブに該当する。
【００２３】
Ｉ／Ｏモジュール９７は、処理システム５における各構成要素（以下、「エンドデバイス」という。）に接続された複数のＩ／Ｏ部１００からなり、各エンドデバイスへの制御信号及び各エンドデバイスからの出力信号の伝達を行う。Ｉ／Ｏモジュール９７においてＩ／Ｏ部１００に接続されるエンドデバイスには、例えば、処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ等におけるアンモニアガス供給管のＭＦＣ、弗化水素ガス供給管のＭＦＣ、圧力ゲージ、ＡＰＣバルブ、窒素ガス供給管のＭＦＣ、及び移載室８における移載アーム部１６等が該当する。
【００２４】
なお、Ｉ／Ｏモジュール９８はＩ／Ｏモジュール９７と同様の構成を有し、搬送システム６との接続関係も、上述したＭＣ９０及びＩ／Ｏモジュール９７の接続関係と同様の構成であるため、これらの説明を省略する。
【００２５】
また、各ＧＨＯＳＴネットワーク９５には、Ｉ／Ｏ部１００におけるデジタル信号、アナログ信号及びシリアル信号の入出力を制御するＩ／Ｏボード（図示しない）も接続される。
【００２６】
基板処理装置２において、ウエハＷに対して所定の処理を施す際には、当該所定の処理のレシピに対応するプログラムに応じてＥＣ８９のＣＰＵ８９７が、スイッチングハブ９３、ＭＣ９０、ＧＨＯＳＴネットワーク９５及びＩ／Ｏモジュール９７におけるＩ／Ｏ部１００を介して所望のエンドデバイスに制御信号を送信することによって処理チャンバ１２Ａ等において当該所定の処理を実行する。
【００２７】
図２のシステムコントローラでは、複数のエンドデバイスがＥＣ８９に直接接続されることなく、複数のエンドデバイスに接続されたＩ／Ｏ部１００がモジュール化されてＩ／Ｏモジュールを構成し、該Ｉ／ＯモジュールがＭＣ及びスイッチングハブ９３を介してＥＣ８９に接続されるため、通信系統を簡素化することができる。
【００２８】
また、ＥＣ８９のＣＰＵ８９１が送信する制御信号には、所望のエンドデバイスに接続されたＩ／Ｏ部１００のアドレス、及びＩ／Ｏ部１００を含むＩ／Ｏモジュールのアドレスが含まれているため、スイッチングハブ９３は制御信号におけるＩ／Ｏモジュールのアドレスを参照し、ＭＣのＧＨＯＳＴ制御信号におけるＩ／Ｏ部１００のアドレスを参照することによって、スイッチングハブ９３やＭＣがＣＰＵ８９１に制御信号の送信先の問いあわせを行う必要を無くすことができ、これにより、制御信号の円滑な伝達を実現することができる。
【００２９】
システムコントローラは、ＥＣ８９から工場内に施設されたＬＡＮ（Local Area Network）等のネットワーク１７０（有線又は無線の別は問わない）を介して、同じ工場内におけるライセンスキーサーバ６０と接続されている。ライセンスキーサーバ６０は、基板処理装置２に対してライセンスキーを提供するＰＣ（Personal Computer）等のコンピュータである。ここで、ライセンスキーとは、基板処理装置２において動作するソフトウェアのライセンス（使用許可）を証明するデータをいう。すなわち、本実施の形態の基板処理装置２における所定のソフトウェアは、適切なライセンスキーが入力されるまでは、その機能の一部又は全部の利用が制限される。
【００３０】
なお、システムコントローラは、ネットワーク１７０を介して、基板処理装置２が設置されている工場全体の製造工程を管理するＭＥＳ（Manufacturing Execution System）と接続されていてもよい。ＭＥＳは、システムコントローラと連携して工場における工程に関するリアルタイム情報を基幹業務（図示しない）にフィードバックすると共に、工場全体の負荷等を考慮して工程に関する判断を行う。
【００３１】
ライセンスキーサーバ６０について説明する。図３は、本発明の実施の形態におけるライセンスキーサーバのハードウェア構成例を示す図である。本実施の形態におけるライセンスキーサーバ６０は、それぞれバスＢで相互に接続されているドライブ装置６００と、補助記憶装置６０２と、メモリ装置６０３と、ＣＰＵ６０４と、インタフェース装置６０５と、表示装置６０６と、入力装置６０７と等を有するように構成される。
【００３２】
ライセンスキーサーバ６０での後述される機能を実現するプログラムは、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭ等の記録媒体６０１によって提供される。プログラムが記録された記録媒体６０１がドライブ装置６００にセットされると、プログラムが記録媒体６０１からドライブ装置６００を介して補助記憶装置６０２にインストールされる。なお、プログラムは記録媒体６０１からではなくネットワークを介してダウンロードしてもよい。
【００３３】
補助記憶装置６０２は、インストールされたプログラムを格納すると共に、必要なファイルやデータ等を格納する。メモリ装置６０３は、プログラムの起動指示があった場合に、補助記憶装置６０２からプログラムを読み出して格納する。ＣＰＵ６０４は、メモリ装置６０３に格納されたプログラムに従ってライセンスキーサーバ６０に係る機能を実行する。ここで、ＣＰＵ６０４によって実行されるライセンスキーサーバ６０に係る機能には、ＣＰＵ６０４上で稼動しているライセンスキーサーバ６０のＯＳ（Operating System）等の処理の実行に基づくものも含まれる。更に、前記プログラムがライセンスキーサーバ６０に挿入された各種機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのメモリ上のプログラムに基づき、各種機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が処理の一部又は全部を行い、その処理によって実現されるものも含まれる。
【００３４】
なお、前記プログラムの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等のいずれでもよい。
【００３５】
インタフェース装置６０５はネットワーク１７０に接続するためのインタフェースとして用いられ、例えば、ＮＩＣ（Network Interface Card）等が相当する。表示装置６０６はプログラムによるＧＵＩ等を表示する。入力装置６０７はキーボード及びマウス等で構成され、様々な操作指示を受け付けるために用いられる。
【００３６】
ライセンスキーサーバ６０におけるライセンスキーの提供機能と、基板処理装置２のＥＣ８９におけるライセンス管理機能とによって、基板処理装置２のライセンス管理システムが構成される。
【００３７】
図４は、第一の実施の形態におけるライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバと基板処理装置との機能構成例を示す図である。
【００３８】
図４において、ライセンスキーサーバ６０は、初期設定部６１、キー転送部６２、ライセンス管理部６３、更新要求受信部６４、更新判定部６５、ネットワーク接続判定部６６、及び更新キー生成部６７等より構成される。これらの各部は、ライセンスキーサーバ６０にインストールされたプログラムがＣＰＵ６０４によって処理されることにより機能する。
【００３９】
初期設定部６１は、初期キー６２１の入力に基づいて、基板処理装置２におけるソフトウェアの機能制限を解除するための初期設定を行う。ここで、初期キー６２１とは、基板処理装置２におけるソフトウェアの使用を開始するために最初に入力されるライセンスキーをいい、基板処理装置２のメーカーにおいて生成されるのが好適である。
【００４０】
本実施の形態において、初期キー６２１は、ライセンスキーサーバ６０がネットワーク１７０に接続するために割り当てられたＩＰアドレス（キーサーバアドレス）と、基板処理装置２がネットワーク１７０に接続するために割り当てられたＩＰアドレス（装置アドレス）と、基板処理装置２のシリアル番号（装置シリアル番号）と、ライセンスキー（初期キー）を生成する日付（ライセンス日付）とに基づいて、所定のアルゴリズム（例えば、暗号化等、以下「キー生成アルゴリズム」という。）によって生成される。なお、キー生成アルゴリズムは、可逆な双方向のもの、すなわち、初期キー６２１よりその構成情報（キーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、ライセンス日付）が復元できるものである必要がある。また、キー生成アルゴリズムは、ユーザに対して秘密にされなければならない。
【００４１】
初期キー６２１が、メーカーにおいて生成される場合、基板処理装置２のユーザは、キーサーバアドレス及び装置アドレスを決めた後、それらの値と装置シリアル番号とをメーカーに対して電子メール又は郵便等によって通知する。メーカーは、通知された情報に基づいて初期キー６２１をキー生成アルゴリムを用いて生成し、生成された初期キー６２１をＣＤ−ＲＯＭやフロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体によって、又はネットワークを介してユーザに配布する。なお、初期キー６２１のライセンスキーサーバ６０への入力は、メーカーの作業員に限られず、ユーザによって行われてもよい。
【００４２】
初期設定部６１は、初期キー６２１の入力に基づく初期設定処理として、初期キー６２１を解読（解析）し、初期キー６２１に含まれている装置アドレスと装置シリアル番号とをライセンス管理部６３に保存させる。初期設定部６１は、更に、初期キーの基板処理装置２への転送をキー転送部６２に指示する。
【００４３】
ライセンス管理部６３は、ソフトウェアの使用許諾の対象とされた基板処理装置２を一意に識別するための装置固有情報を管理する。本実施の形態では、装置アドレス及び装置シリアル番号、又はいずれか一方が装置固有情報に該当する。なお、ライセンス管理部６３は、装置固有情報を暗号化等して管理することが好ましい。悪意の持ったユーザによって装置固有情報が書き換えられることにより、使用許諾されていない基板処理装置２に対する機能制限が不正に解除されるのを防止するためである。
【００４４】
更新要求受信部６４は、初期キー等のライセンスキーの有効期限が切れる際に、ライセンスキーの更新要求を基板処理装置２より受信する。ライセンスキーの更新要求には、装置固有情報が含まれている。すなわち、本実施の形態において、初期キー等のライセンスキーは有効期限が定めされており、ライセンスキーが定期的に更新されることにより、基板処理装置２におけるソフトウェアの使用許諾が維持される。
【００４５】
更新判定部６５は、ライセンスキーの更新要求元が、使用許諾されている基板処理装置２であるか否かを調べると共に、当該ライセンスキーサーバ６０がネットワーク１７０に正常に接続されているか否かをネットワーク接続判定部６６に調べさせることで、ライセンスキーの更新の許否判定を行う。
【００４６】
更新キー生成部６７は、ライセンスキーの更新が許可された場合に、ライセンス期間を更新するためのライセンスキー（以下「更新キー」という。）を生成する。更新キーは、初期キーと同様に、キーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、ライセンス日付に基づいて、キー生成アルゴリズムによって生成される。但し、キーサーバアドレスは、更新キーの生成時にライセンスキーサーバ６０に設定されている現在値（キーサーバアドレス６２２）が用いられる。また、装置アドレス及び装置シリアル番号は、ライセンス管理部６３に管理されているものが用いられる。更に、ライセンス日付は、更新キーの生成時にライセンスキーサーバ６０のタイマーが示す日付（現在日付６２３）が用いられる。更新キー生成部６７は、更新キーを生成すると、当該更新キーの基板処理装置２への転送をキー転送部６２に指示する。
【００４７】
キー転送部６２は、初期キーや更新キーを基板処理装置２へ転送する。
【００４８】
一方、図４において、基板処理装置２は、キー受信部８１、キー解析部８２、ライセンス判定部８３、期限管理部８４、及びキー更新部８５等より構成される。これらの各部は、ＥＣ８９のＨＤＤ８９３又は非図示のＲＯＭ等に格納されたプログラムがＣＰＵ８９１によって処理されることにより機能する。プログラムは、例えばＣＤ−ＲＯＭ８９４（図２）等の記録媒体やネットワーク等を介してインストールしてもよいし、出荷時に予め組み込まれていてもよい。
【００４９】
キー受信部８１は、ライセンスキーサーバ６０より転送されるライセンスキー（初期キー６２１又は更新キー）を受信する。
【００５０】
キー解析部８２は、受信されたライセンスキーを解読し、当該ライセンスキーに含まれているキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、ライセンス日付を抽出する。キー解析部８２は、初期キー６２１が受信された場合は、キーサーバアドレスの初期値を所定の記憶領域にキーサーバアドレス８０２として保存する。キー解析部８２は、また、ライセンスキーが受信されるたびに、抽出されたライセンス日付によってライセンス日付８０１を更新する。
【００５１】
ライセンス判定部８３は、受信されたライセンスキーより抽出された情報、初期値として保存されているキーサーバアドレス８０２、現在値の装置アドレス８０３、及び基板処理装置２の出荷時等に非図示のＲＯＭ等に予め保存されている装置シリアル番号８０４等に基づいてライセンスキーの正当性を判定する。ライセンスキーが不正なものであると判定された場合、ライセンス判定部８３は、機能制限フラグ８０６をＯＮにする。機能制限フラグ８０６とは、基板処理装置２におけるソフトウェアの一部又は全部の機能の利用を制限するためのフラグ情報である。すなわち、基板処理装置２０の各機能を制御するソフトウェアであって、ライセンス契約により使用許諾が必要とされるソフトウェアは、当該機能の実行が要求された際に機能制限フラグ８０６を参照する。当該ソフトウェアは、機能制限フラグ８０６がＯＦＦの場合はその機能を実行し、ＯＮの場合はその実行を拒否する。
【００５２】
期限管理部８４は、ライセンスキーが受信されたときからの相対的な時間の経過を管理することにより、ライセンスキーの有効期限の満了を検知する。期限管理部８４は、例えば、ライセンスカウンタ８０５を用いてライセンスキーの有効期限の満了を検知する。ライセンスカウンタ８０５は、ライセンスキーが受信された際に初期化され、そのご単位時間ごと（例えば、１日ごと）にインクリメントされるカウンタである。期間管理部８４は、カウンタの値がライセンスキーの有効期限を示す値に達したとき、又はライセンスキーの有効期限の所期間内の値に達したとき、キー更新部８５に対してライセンスキーの更新を指示する。なお、タイマーによる絶対的な日付ではなく相対値であるライセンスカウンタ８０５によって有効期限を管理することで、基板処理装置２のタイマーの日付の変更によるライセンスキーの有効期限の不正な延長を防止することができる。
【００５３】
キー更新部８５は、期限管理部８４からの要求に応じて、ライセンスキーの更新要求を基板処理装置２に送信する。
【００５４】
なお、図４では、ライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２とが一対一の関係で示されているが、一台のライセンスキーサーバ６０が、複数台の基板処理装置２に対してライセンスキーを提供ようにしてもよい。
【００５５】
以下、図４のライセンスキーサーバ６０及び基板処理装置２の処理手順について説明する。以下の処理は、ライセンスキーサーバ６０又は基板処理装置２のＥＣ８９にインストールされたプログラムが、ライセンスキーサーバ６０のＣＰＵ６０４又はＥＣ８９のＣＰＵ８９１によって処理されることにより実現される。
【００５６】
図５は、初期キー入力時のライセンスキーサーバにおける初期設定処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【００５７】
ステップＳ１０１において、基板処理装置２のユーザ又はメーカーから派遣された作業員等が、メーカーより配布された初期キー６２１をライセンスキーサーバ６０に入力する。初期キー６２１の入力に応じ、初期設定部６１は、例えば、キー生成アルゴリズムの逆演算等による所定のアルゴリズム（以下、「キー解読アルゴリズム」という。）によって初期キー６２１よりキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付等を解読する。上述したように、ここで解読されたキーサーバアドレス、装置アドレス、及び装置シリアル番号は、予めユーザからメーカーに対して通知されたものである。
【００５８】
続いて、初期設定部６１は、初期キー６２１より解読された情報のうち、少なくとも装置固有情報としての装置アドレス及び装置シリアル番号をライセンス管理部６３に保存する（Ｓ１０３）。続いて、初期設定部６１が、初期キー６２１をキー転送部６２に出力すると、キー転送部６２は、ネットワーク１７０を介して基板処理装置２に初期キー６２１を転送する（Ｓ１０４）。
【００５９】
次に、初期キー６２１の転送を受けた基板処理装置２における処理手順について説明する。図６は、初期キー受信時の基板処理装置における処理手順を説明するためのフローチャートである。
【００６０】
キー受信部８１は、ライセンスキーサーバ６０より転送された初期キー６２１の解析をキー解析部８２に要求する（Ｓ２０１）。キー解析部８２は、キー解読アルゴリズムによって初期キー６２１よりキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付等を解読する（Ｓ２０２）。
【００６１】
続いて、ライセンス判定部８３は、解読された装置固有情報等に基づいて初期キー６２１の正当性を判定する。すなわち、解読された装置アドレスと現在の（現在基板処理装置２に設定されている）装置アドレス８０３とが一致し（Ｓ２０３でＹｅｓ）、かつ、解読された装置シリアル番号と予め基板処理装置２内に保存されている装置シリアル番号８０４とが一致した場合は（Ｓ２０４でＹｅｓ）、当該初期キー６２１は、当該基板処理装置２に対して発行されたものあるため、正当なものと判定する。
【００６２】
初期キー６２１の正当性が認められた場合、ライセンス判定部８３は、ライセンスカウンタ８０５を初期化し（例えば、ライセンスカウンタの値を「０」にする。）（Ｓ２０５）、更に、機能制限フラグ８０６をＯＦＦにする（Ｓ２０６）。したがって、この場合、初期キー６２１の有効期限内は、基板処理装置２におけるソフトウェアの機能は制限されることなく利用可能となる。
【００６３】
続いて、キー解析部８３は、初期キー６２１の正当性が認められたことを受け、初期キー６２１より解読されたキーサーバアドレスを初期値のキーサーバアドレス８０２として、また、解読されたライセンス日付をライセンス日付８０１として保存する（Ｓ２０７）。
【００６４】
一方、装置アドレス及び装置シリアル番号のうち少なくともいずれか一方が異なる場合（Ｓ２０３又はＳ２０４でＮｏ）、ライセンス判定部８３は、当該初期キー６２１は、不正なものとして機能制限フラグ８０６をＯＮにする（Ｓ２０８）。したがって、この場合、基板処理装置２におけるソフトウェアの一部又は全部の機能の利用は制限される。
【００６５】
次に、初期キー６２１又は更新キー等のライセンスキーの有効期限が切れる際に、基板処理装置２において実行されるライセンスの更新処理の処理手順について説明する。図７は、基板処理装置におけるライセンスの更新処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【００６６】
期限管理部８４は、ライセンスキーの有効期限内の間、所定の単位時間ごとに（例えば、１日ごと）ライセンスカウンタ８０５をインクリメントし（Ｓ３０１）、ライセンスカウンタ８０５の値を有効期限を示す値と比較する（Ｓ３０２）。ライセンスキーの有効期限は、運用に応じて適宜定めればよい。例えば、ライセンスカウンタ８０５が一日ごとにインクリメントされる場合に、ライセンスキーの有効期限が一年の場合は、当該有効期限を示す値は「３６５」となる。
【００６７】
ライセンスカウンタ８０５の値が有効期限を示す値又は有効期限から所定期間内を示す値に達すると（Ｓ３０２でＮｏ）、期限管理部８４は、その旨をキー更新部８５に通知する。当該通知に基づいてキー更新部８５は、ライセンスキーサーバ６０に対してライセンスキーの更新要求を送信する（Ｓ３０３）。なお、ライセンスキーの更新要求には、現在の装置アドレス８０３と、装置シリアル番号８０４とが添付される。ライセンスキーの更新要求の送信後、キー更新部８５は、キー受信部８１によって更新キーが受信されるのまでの所定期間待機する。
【００６８】
キー受信部８１は、ライセンスキーサーバより更新キーを受信すると（Ｓ３０４でＹｅｓ）、その旨をキー更新部８５に通知すると共に、受信した更新キーをキー解析部８２に出力する。キー受信部８１からの通知により、キー更新部８５の待機状態は解除される。
【００６９】
キー解析部８２は、キー解読アルゴリズムによって更新キーよりキーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付等を解読する（Ｓ３０５）。
【００７０】
続いて、ライセンス判定部８３は、更新キーの正当性を判定する。すなわち、ライセンス判定部８３は、解読されたキーサーバアドレス（現在のライセンスキーサーバ６０のＩＰアドレス）と、初期値のキーサーバアドレス８０２（すなわち、初期キー６２１に含まれていたキーサーバアドレス）とを比較することにより、ライセンスキーサーバ６０がネットワーク上移動されたか否かを判定する（Ｓ３０６）。両者が一致すれば、ライセンスキーサーバ６０は、ライセンス期間内に移動されていないと判定する。両者が異なれば、ライセンスキーサーバ６０は移動されたものと判定する。
【００７１】
両者が一致する場合（Ｓ３０６でＹｅｓ）、ライセンス判定部８３は、解読された装置アドレス（すなわち、初期キー６２１に含まれていた装置アドレス）と現在の装置アドレス８０３とを比較することにより、当該更新キーが当該基板処理装置２に対するものであるか否か、及び当該基板処理装置２がネットワーク上移動されたか否かを判定する（Ｓ３０７）。両者が一致すれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものであり、かつ、基板処理装置２は移動されていないと判定する。両者が異なれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものでないか、又は当該基板処理装置２が移動されたものと判定する。
【００７２】
両者が一致する場合（Ｓ３０７でＹｅｓ）、ライセンス判定部８３は、解読された装置シリアル番号（すなわち、初期キー６２１に含まれていた装置アドレス）と予め基板処理装置２内に保存されている装置シリアル番号８０４とを比較することにより、当該更新キーが確かに当該基板処理装置２に対するものであるか否かを判定する。両者が一致すれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものであると判定する。両者が異なれば、当該更新キーは当該基板処理装置２に対するものでないと判定する。
【００７３】
ステップＳ３０６からＳ３０８までの判定において、各比較値が一致する場合、更新キーは正当なものであると判定される。したがって、この場合、ライセンス判定部８３によってライセンスカウンタが初期化され（Ｓ３０９）、キー解析部８２によってライセンス日付８０１が、解読された値に更新される（Ｓ３１０）。ライセンスカウンタが初期化されることにより、ライセンス期間は延長され、引き続きステップＳ３０１以降の処理が実行される。
【００７４】
一方、ライセンスキーの更新要求後、所定期間待機しても更新キーが受信されない場合（タイムアウトの場合）（Ｓ３０４でＮｏ）、キー更新部８５は、機能制限フラグ８０６をＯＮにする（Ｓ３０８）。また、ライセンス判定部８３によってライセンスキーが不正なものであると判定された場合（Ｓ３０６〜Ｓ３０８のいずれかでＮｏの場合）、ライセンス判定部８３は機能制限フラグ８０６をＯＮにする。したがって、この場合、基板処理装置２におけるソフトウェアの一部又は全部の機能の利用は制限される。
【００７５】
次に、基板処理装置２よりライセンスキーの更新要求を受けた際のライセンスキーサーバ６０における処理手順について説明する。図８は、ライセンスキーサーバにおけるライセンスキーの更新処理を説明するためのフローチャートである。
【００７６】
更新要求受信部６４は、基板処理装置２のキー更新部８５よりライセンスキーの更新要求を受信すると、当該更新要求に含まれている装置シリアル番号８０４と現在の装置アドレス８０３とを更新判定部６５に出力する（Ｓ４０１）。
【００７７】
更新判定部６５は、受け取った装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組うぃ、ライセンス管理部６３に保存されている装置シリアル番号及び装置アドレスの組と比較することにより、ライセンスキーの更新要求元がライセンスキーが発行されている基板処理装置２であるか否かを判定する（Ｓ４０２）。装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組が、ライセンス管理部６３に管理されている一覧に含まれていない場合（Ｓ４０２）、更新判定部６５は、更新要求元はライセンス対象ではないとして、その後の処理を中止する。したがって、この場合、更新キーの発行は行われない。なお、ここで、装置シリアル番号８０４が、ライセンス管理部６３に保存されている値に一致する場合に、装置アドレス８０３のみが異なる場合は、基板処理装置２がネットワーク上移動された蓋然性が認められる。したがって、ステップＳ４０２においても、基板処理装置２の移動は検出され得る。
【００７８】
装置シリアル番号８０４と装置アドレス８０３との組が、ライセンス管理部６３に保存されている一覧の中に含まれている場合、更新判定部６５は、ネットワーク接続判定部６６に対して、ライセンスキーサーバ６０がネットワーク１７０に接続されているか否かを確認させる（Ｓ４０３）。ネットワーク１７０への接続確認は、例えば、ｐｉｎｇコマンドを発行すること等により行えばよい。ネットワーク１７０への接続確認の意義については後述する。
【００７９】
ライセンスキーサーバ６０はネットワーク１７０に接続されていないと判定された場合（Ｓ４０３でＮｏ）、更新判定部６５は、その後の処理を中止する。したがって、この場合、更新キーの発行は行われない。一方、ライセンスキーサーバ６０はネットワーク１７０に接続されていると判定された場合（Ｓ４０３でＹｅｓ）、更新判定部６５は、更新キー生成部６７に更新キーの生成を要求する。
【００８０】
更新キー生成部６７は、現在のキーサーバアドレス６２２と、現在日付６２３と、ライセンス管理部６３に保存されている更新要求対象とされている基板処理装置２に係る装置シリアル番号及び装置アドレスとに基づいて、キー生成アルゴリズムを用いて更新キーを生成する（Ｓ４０４）。生成された更新キーはキー転送部６２によって、基板処理装置２に転送される（Ｓ４０５）。更新キーの送信に応じ、基板処理装置２では、図７のステップＳ３０５以降の処理が実行される。
【００８１】
上述したように、第一の実施の形態におけるライセンス管理システムによれば、基板処理装置２が転売等によって移設された場合であっても、当該基板処理装置２において動作するソフトウェアの不正使用を効果的に制限することができる。
【００８２】
すなわち、ユーザが、基板処理装置２におけるソフトウェアの使用を継続したい場合、ライセンスキーサーバ６０がネットワークを介して接続されていなければならない。ライセンスキーサーバ６０が接続されていなければ、更新キーが提供されないからである。そこで、ユーザが、基板処理装置２とライセンスキーサーバ６０とを一緒に転売し、移設しようとしたとする。しかし、この場合、キーサーバアドレス６２２のＩＰアドレスは、移設先のネットワークに対応するものに変更されなければならない。その結果、更新キーに含まれるキーサーバアドレス６２２と、基板処理装置２に保存されている初期値のキーサーバアドレス８０２とが一致せず（図７のＳ３０６でＮｏ）、機能制限フラグはＯＮにされる。なお、移設後のキーサーバアドレス６２２と、初期値のキーサーバアドレス８０２との不一致を避けるために、キーサーバアドレス６２２の値を変更しないままにしておくのは困難である。更新キーの生成時には、ネットワーク接続部６６によりライセンスキーサーバ６０がネットワークに接続されていることが確認されるところ（図８のＳ４０３）、キーサーバアドレスが変更されないままでは、移設先のネットワークに正常に接続できないからである。
【００８３】
また、基板処理装置２だけが転売され、移設された場合に、ライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２との接続がインターネット等を介して維持されたとしても、基板処理装置２のソフトウェアの使用は制限され得る。すなわち、移設により装置アドレスも移設先のネットワークに対応したものに変更されなければならない。その結果、基板処理装置２からのライセンスキーの更新要求に含まれる装置アドレス８０３の値は、ライセンス管理部６３に管理されている装置アドレスの値と一致しなくなる。したがって、更新判定部６５によって更新キーの生成が中止される（図８のＳ４０３）。なお、更新判定部６５によるチェックが行われなくても、基板処理装置２の移設の検出は可能である。すなわち、基板処理装置２からのライセンスキーの更新要求の際に、更新判定部６５によるチェックが行われず、要求されるままに更新キーが生成され、基板処理装置２に転送されたとしても、基板処理装置２のライセンス判定部８３によって、更新キーに含まれている装置アドレスと現在の装置アドレス８０３の不一致が検出されるからである（図７のＳ３０７）。
【００８４】
更に、基板処理装置２におけるライセンスキーの正当性の確認の際に、装置固有情報の確認も行われるため（Ｓ３０７、Ｓ３０８）、以上のようなライセンス管理を基板処理装置２ごとに行うことが可能である。なお、各基板処理装置２を特定するための情報として、第一の実施の形態では、装置アドレス及び装置シリアル番号を用いたが、いずれか一方のみを用いてもよい。但し、両者を用いることにより信頼性を高めることができる。
【００８５】
次に、第二の実施の形態について説明する。図９は、第二の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。図９中、図２と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００８６】
図９において、ライセンスキーサーバ６０は、ネットワークとの接続口（インタフェース装置６０５）を少なくとも二つ有している（例えば、少なくとも２枚のＮＩＣが装着されている。）。一つは、ネットワーク１７０に直接接続されており、一つは、基板処理装置２のＥＣ８９と接続されている。すなわち、第二の実施の形態は、基板処理装置２が、ネットワーク１７０に直接接続されていない場合を例としたものである。セキュリティ上の観点より基板処理装置２を直接ネットワーク１７０に接続したくないというユーザにおいてこのような構成例が考えられる。なお、一台のライセンスキーサーバ６０に複数の基板処理装置２を接続する場合は、両者の間にスイッチングハブ８０を介在させてもよい。その他、ライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２が同じ工場内にある点、基板処理装置２の概略構成例（図１）、ライセンスキーサーバ６０のハードウェア構成例（図３）、及びライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２との機能構成例（図４）は、第一の実施の形態と同様でよい。
【００８７】
また、第二の実施の形態において、ライセンスキーサーバ６０及び基板処理装置２のそれぞれにおいて行われる処理は、第一の実施の形態において説明したもの（図５、図６、図７、及び図８）と同様でよい。
【００８８】
基板処理装置２はネットワーク１７０に直接接続されていないため、そのＩＰアドレス（装置アドレス）は、ネットワーク１７０に対応させる必要はない。そこで、装置アドレスは、基板処理装置２のメーカーから指定された固定のアドレスを設定するように制限を設け、メーカーでは、当該固定のアドレスに基づいて初期キー６２１を生成するようにしてもよい。または、ユーザが任意に設定したＩＰアドレスを、初期キーの発行要求に伴って申請させ、そのＩＰアドレスに基づいて初期キー６２１を生成するようにしてもよい。いずれの場合であっても、基板処理装置２のみを転売により移設しようとした場合、当該基板処理装置２とライセンスキーサーバ６０との接続を維持するためには、基板処理装置２を移設先のネットワークに接続せざるをえず、その場合、装置アドレス８０３は変更せざるをえない。したがって、この場合、機能制限フラグ８０６はＯＮとされ、ソフトウェアの不正使用は効果的に制限される。
【００８９】
なお、ライセンスキーサーバ６０も共に転売により移設する場合は、キーサーバアドレス６２２を変更せざるをえない。したがって、この場合も、機能制限フラグ８０６はＯＮとされ、フトウェアの不正使用は効果的に制限される。
【００９０】
次に、第三の実施の形態について説明する。図１０は、第三の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。図１０中、図２と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００９１】
図１０にいて、ライセンスキーサーバ６０は、インターネット等の広域ネットワーク１８０を介して基板処理装置２と接続されている。基板処理装置２は、ネットワーク１７０を介して広域ネットワーク１８０と接続している。第三の実施の形態は、ライセンスキーサーバ６０が、基板処理装置２のメーカー側に設置されている場合等に考えられる構成例である。基板処理装置２の概略構成例（図１）、ライセンスキーサーバ６０のハードウェア構成例（図３）、及びライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバ６０と基板処理装置２との機能構成例（図４）は、第一の実施の形態と同様でよい。
【００９２】
また、第三の実施の形態において、ライセンスキーサーバ６０及び基板処理装置２のそれぞれにおいて行われる処理は、第一の実施の形態において説明したもの（図５、図６、図７、及び図８）と基本的に同様でよい。
【００９３】
但し、ライセンスキーサーバ６０が、メーカー側に設置されている場合であって、初期設定がメーカー側の作業員によって行われることが保証される場合は、初期設定の際に初期キー６２１を入力するのではなく、キーサーバアドレス、装置アドレス、装置シリアル番号、及びライセンス日付を入力するようにし、その入力に応じてライセンスキーサーバ６０が初期キーを生成するようにしてもよい。
【００９４】
また、第三の実施の形態では、基板処理装置２と共にライセンスキーサーバ６０が転売されるおそれはないが、基板処理装置２のみが転売される可能性がある。この場合は移設に伴って、基板処理装置２の装置アドレスは、初期キーを生成する際の装置アドレスと異なるものに変更せざるを得ないため、機能制限フラグがＯＮとなり、ソフトウェアの不正使用は制限される。
【００９５】
ところで、上記第一から第三の実施の形態における基板処理装置２は、例えば、図１１や図１２に示されるように構成されていてもよい。図１１は、本発明の実施の形態における第二の基板処理装置の概略構成例を示す図である。図１１中、図１と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００９６】
図１における基板処理装置２と図１１における基板処理装置３とについて大きく異なる点は、基板処理装置２が４つの処理チャンバ（１２Ａ〜１２Ｄ）を有しているのに対し、基板処理装置３は６つの処理チャンバ（１２Ａ〜１２Ｆ）を有している点である。また、移載室８の構成についても異なり、基板処理装置３における移動アーム部１６は、レール１７Ａ及び１７Ｂに沿った直進運動とアームの起点を中心とした回転運動とによってウエハＷを搬送する。
【００９７】
なお、基板処理装置３におけるＥＣ８９の処理は、基板処理装置２の場合と同様である。
【００９８】
また、図１２は、本発明の実施の形態における第三の基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【００９９】
図１２において基板処理装置４は、ウエハＷに反応性イオンエッチング（以下、「ＲＩＥ」という。）処理を施す第１のプロセスシップ２１１と、第１のプロセスシップ２１１と平行に配置され、第１のプロセスシップ２１１においてＲＩＥ処理が施されたウエハＷにＣＯＲ（Chemical Oxide Removal）処理及びＰＨＴ（Post Heat Treatment）処理を施す第２のプロセスシップ２１２と、第１のプロセスシップ２１１及び第２のプロセスシップ２１２がそれぞれ接続された矩形状の共通搬送室としてのローダーユニット２１３とを備える。
【０１００】
ローダーユニット２１３には、第１のプロセスシップ２１１及び第２のプロセスシップ２１２の他、２５枚のウエハＷを収容する容器としてのフープ（Front Opening Unified Pod）２１４がそれぞれ載置される３つのフープ載置台２１５と、フープ２１４から搬出されたウエハＷの位置決めを行うオリエンタ２１６と、ウエハＷの表面状態を計測する第１及び第２のＩＭＳ（Integrated Metrology System、Therma‐Wave，Inc．）２１７，２１８とが接続されている。
【０１０１】
第１のプロセスシップ２１１及び第２のプロセスシップ２１２は、ローダーユニット２１３の長手方向における側壁に接続されると共にローダーユニット２１３を挟んで３つのフープ載置台２１５と対向するように配置され、オリエンタ２１６はローダーユニット２１３の長手方向に関する一端に配置され、第１のＩＭＳ２１７はローダーユニット２１３の長手方向に関する他端に配置され、第２のＩＭＳ２１８は３つのフープ載置台２１５と並列に配置される。
【０１０２】
ローダーユニット２１３は、内部に配置された、ウエハＷを搬送するスカラ型デュアルアームタイプの搬送アーム機構２１９と、各フープ載置台２１５に対応するように側壁に配置されたウエハＷの投入口としての３つのロードポート２２０とを有する。搬送アーム機構２１９は、フープ載置台２１５に載置されたフープ２１４からウエハＷをロードポート２２０経由で取り出し、取り出したウエハＷを第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２、オリエンタ２１６、第１のＩＭＳ２１７や第２のＩＭＳ２１８へ搬出入する。
【０１０３】
第１のＩＭＳ２１７は光学系のモニタであり、搬入されたウエハＷを載置する載置台２２１と、載置台２２１に載置されたウエハＷを指向する光学センサ２２２とを有し、ウエハＷの表面形状、例えば、表面層の膜厚、及び配線溝やゲート電極等のＣＤ（Critical Dimension）値を測定する。第２のＩＭＳ２１８も光学系のモニタであり、第１のＩＭＳ２１７と同様に、載置台２２３と光学センサ２２４とを有し、ウエハＷの表面におけるパーティクル数を計測する。
【０１０４】
第１のプロセスシップ２１１は、ウエハＷにＲＩＥ処理を施す第１の真空処理室としての第１のプロセスユニット２２５と、該第１のプロセスユニット２２５にウエハＷを受け渡すリンク型シングルピックタイプの第１の搬送アーム２２６を内蔵する第１のロード・ロックユニット２２７とを有する。
【０１０５】
第１のプロセスユニット２２５は、円筒状の処理室チャンバ（処理室）と、処理チャンバ内に配置された上部電極及び下部電極を有する。上部電極及び下部電極の間の距離はウエハＷにＲＩＥ処理を施すための適切な間隔に設定されている。また、下部電極はウエハＷをクーロン力等によってチャックするＥＳＣ２２８をその頂部に有する。
【０１０６】
第１のプロセスユニット２２５では、チャンバ内部に処理ガスを導入し、上部電極及び下部電極間に電界を発生させることによって導入された処理ガスをプラズマ化してイオン及びラジカルを発生させ、該イオン及びラジカルによってウエハＷにＲＩＥ処理を施す。
【０１０７】
第１のプロセスシップ２１１では、ローダーユニット２１３の内部圧力は大気圧に維持される一方、第１のプロセスユニット２２５の内部圧力は真空に維持される。そのため第１のロード・ロックユニット２２７は、第１のプロセスユニット２２５との連結部に真空ゲートバルブ２２９を備えると共に、ローダーユニット２１３との連結部に大気ゲートバルブ２３０を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
【０１０８】
第１のロード・ロックユニット２２７の内部には、略中央部に第１の搬送アーム２２６が設置され、該第１の搬送アーム２２６より第１のプロセスユニット２２５側に第１のバッファ２３１が設置され、第１の搬送アーム２２６よりローダーユニット２１３側には第２のバッファ２３２が設置される。第１のバッファ２３１及び第２のバッファ２３２は、第１の搬送アーム２２６の先端部に配置されたウエハＷを支持する支持部（ピック）２３３が移動する軌道上に配置され、ＲＩＥ処理が施されたウエハＷを一時的に支持部２３３の軌道の上方に待避させることにより、ＲＩＥ未処理のウエハＷとＲＩＥ処理済みのウエハＷとの第１のプロセスユニット２２５における円滑な入れ換えを可能とする。
【０１０９】
第２のプロセスシップ２１２は、ウエハＷにＣＯＲ処理を施す第２の真空処理室としての第２のプロセスユニット２３４と、該第２のプロセスユニット２３４に真空ゲートバルブ３５を介して接続された、ウエハＷにＰＨＴ処理を施す第３の真空処理室としての第３のプロセスユニット２３６と、第２のプロセスユニット２３４及び第２のプロセスユニット２３６にウエハＷを受け渡すリンク型シングルピックタイプの第２の搬送アーム２３７を内蔵する第２のロード・ロックユニット２４９とを有する。
【０１１０】
図１３は、第２のプロセスユニットの断面図である。図１３（Ａ）は図１２における線||−||に沿う断面図であり、図１３（Ｂ）は図１３（Ａ）におけるＡ部の拡大図である。
【０１１１】
図１３（Ａ）において、第２のプロセスユニット２３４は、円筒状の処理チャンバ２３８と、処理チャンバ２３８内に配置されたウエハＷの載置台としてのＥＳＣ２３９と、処理チャンバ２３８の上方に配置されたシャワーヘッド２４０と、処理チャンバ２３８内のガス等を排気するＴＭＰ（Turbo Molecular Pump）２４１と、処理チャンバ２３８及びＴＭＰ２４１の間に配置され、処理チャンバ２３８内の圧力を制御する可変式バタフライバルブとしてのＡＰＣ（Automatic Pressure Control）バルブ２４２とを有する。
【０１１２】
ＥＳＣ２３９は、内部に直流電圧が印加される電極板（図示しない）を有し、 直流電圧により発生するクーロン力又はジョンソン・ラーベック（Johnsen−Rahbek）力によってウエハＷを吸着して保持する。また、ＥＳＣ２３９は、その上面から突出自在なリフトビンとしての複数のプッシャーピン２５６を有し、これらのプッシャーピン２５６は、ウエハＷがＥＳＣ２３９に吸着保持されるときにはＥＳＣ２３９に収容され、ＣＯＲ処理が施されたウエハＷを処理チャンバ２３８から搬出するときには、ＥＳＣ２３９の上面から突出してウエハＷを上方へ持ち上げる。
【０１１３】
シャワーヘッド２４０は２層構造を有し、下層部２４３及び上層部２４４のそれぞれに第１のバッファ室２４５及び第２のバッファ室２４６を有する。第１のバッファ室２４５及び第２のバッファ室２４６はそれぞれガス通気孔２４７，２４８を介して処理チャンバ２３８内に連通する。ウエハＷにＣＯＲ処理を施す際、第１のバッファ室２４５にはNH３（アンモニア）ガスが後述するアンモニアガス供給管２５７から供給され、該供給されたアンモニアガスはガス通気孔２４７を介して処理チャンバ２３８内へ供給されると共に、第２のバッファ室２４６にはＨＦ（弗化水素）ガスが後述する弗化水素ガス供給管２５８から供給され、該供給された弗化水業ガスはガス通気孔２４８を介して処理チャンバ２３８内へ供給される。
【０１１４】
また、図１３（Ｂ）に示すように、ガス通気孔２４７，２４８における処理チャンバ２３８内への開口部は末広がり状に形成される。これにより、アンモニアガスや弗化水素ガスを処理チャンバ２３８内へ効率よく拡散することができる。さらに、ガス通気孔２４７，２４８は断面がくびれ形状を呈するので、処理チャンバ２３８で発生した堆積物がガス通気孔２４７，２４８、引いては、第１のバッファ室２４５や第２のバッファ室２４６へ逆流するのを防止することができる。なお、ガス通気孔２４７，２４８は螺旋状の通気孔であってもよい。
【０１１５】
この第２のプロセスユニット２３４は、処理チャンバ２３８内の圧力と、アンモニアガス及び弗化水素ガスの体積流量比を調整することによってウエハＷにＣＯＲ処理を施す。
【０１１６】
図１２に戻り、第３のプロセスユニット２３６は、筐体状の処理チャンバ２５０と、処理チャンバ２５０内に配置されたウエハＷの載置台としてのステージヒータ２５１と、ステージヒータ２５１の上部に配置され、搬送シーケンスを調整するために一時的にウエハＷを載置するためのバッファアーム２５２とを有する。
【０１１７】
ステージヒータ２５１は、表面に酸化皮膜が形成されたアルミからなり、内蔵された電熱線等によって載置されたウエハＷを所定の温度まで加熱する。バッファアーム２５２は、ＣＯＲ処理が施されたウエハＷを一時的に第２の搬送アーム２３７における支持部２５３の軌道の上方に待避させることにより、第２のプロセスユニット２３４や第３のプロセスユニット２３６におけるウエハＷの円滑な入れ換えを可能とする。
【０１１８】
この第３のプロセスユニット２３６は、ウエハＷの温度を調整することによってウエハＷにＰＨＴ処理を施す。
【０１１９】
第２のロード・ロックユニット２４９は、第２の搬送アーム２３７を内蔵する筐体状の搬送室２７０を有する。また、ローダーユニット２１３の内部圧力は大気圧に維持される一方、第２のプロセスユニット２３４及び第３のプロセスユニット２３６の内部圧力は真空に維持される。モのため、第２のロード・ロックユニット２４９は、第３のプロセスユニット２３６との連結部に真空ゲートバルブ２５４を備えると共に、ローダーユニット２１３との連結部に大気ドアバルブ２５５を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
【０１２０】
図１４は、第２のプロセスシップの概略購成を示す斜視図である。
【０１２１】
図１４において、第２のプロセスユニット２３４は、第１のバッファ室２４５へアンモニアガスを供給するアンモニアガス供給管２５７と、第２のバッファ室２４６へ弗化水素ガスを供給する弗化水素ガス供給管２５８と、処理チャンバ２３８内の圧力を測定する圧力ゲージ２５９と、ＥＳＣ２３９内に配設された冷却系統に冷媒を供給するチラーユニット２６０とを備える。
【０１２２】
アンモニアガス供給管２５７にはＭＦＣ（Mass Flow Controller）（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは第１のバッファ室２４５へ供給するアンモニアガスの流量を調整すると共に、弗化水素ガス供給管２５８にもＭＦＣ（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは第２のバッファ室２４６へ供給する弗化水素ガスの流量を調整する。アンモニアガス供給管２５７のＭＦＣと弗化水素ガス供給管２５８のＭＦＣは協働して、処理チャンバ２３８へ供給されるアンモニアガスと弗化水素ガスの体積流量比を調整する。
【０１２３】
また、第２のプロセスユニット２３４の下方には、ＤＰ（Dry Pump）（図示しない）に接続された第２のプロセスユニット排気系２６１が配置される。第２のプロセスユニット排気系２６１は、処理チャンバ２３８とＡＰＣバルブ２４２の間に配設された排気ダクト２６２と連通する排気管２６３と、ＴＭＰ２４１の下方（排気側）に接続された排気管２６４とを有し、処理チャンバ２３８内のガス等を排気する。なお、排気管２６４はＤＰの手前において排気管２６３に接続される。
【０１２４】
第３のプロセスユニット２３６は、処理チャンバ２５０へ窒素（N２）ガスを供給する窒素ガス供給管２６５と、処理チャンバ２５０内の圧力を測定する圧力ゲージ２６６と、処理チャンバ２５０内の窒素ガス等を排気する第３のプロセスユニット排気系２６７とを備える。
【０１２５】
窒素ガス供給管２６５にはＭＦＣ（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは処理チャンバ２５０へ供給される窒素ガスの流量を調整する。第３のプロセスユニット排気系２６７は、処理チャンバ２５０に連通すると共にＤＰに接続された本排気管２６８と、本排気管２６８の途中に配されたＡＰＣバルブ２６９と、本排気管２６８からＡＰＣバルブ２６９を回避するように分岐し、且つＤＰの手前において本排気管２６８に接続される副排気管２６８ａとを有する。ＡＰＣバルブ２６９は、処理チャンバ２５０内の圧力を制御する。
【０１２６】
第２のロード・ロックユニット２４９は、搬送室２７０へ窒素ガスを供給する窒素ガス供給管２７１と、搬送室２７０内の圧力を測定する圧力ゲージ２７２と、搬送室２７０内の窒素ガス等を排気する第２のロード・ロックユニット排気系２７３と、搬送室２７０内を大気開放する大気連通管２７４とを備える。
【０１２７】
窒素ガス供給管２７１にはＭＦＣ（図示しない）が設けられ、該ＭＦＣは搬送室２７０へ供給される窒素ガスの流量を調整する。第２のロード・ロックユニット排気系２７３は１本の排気管からなり、該排気管は搬送室２７０に連通すると共に、ＤＰの手前において第３のプロセスユニット排気系２６７における本排気管２６８に接続される。また、第２のロード・ロックユニット排気系２７３及び大気連通管２７４はそれぞれ開閉自在な排気バルブ２７５及びリリーフバルブ２７６を有し、該排気バルブ２７５及びリリーフバルブ２７６は協働して搬送室２７０内の圧力を大気圧から所望の真空度までのいずれかに調整する，
図１５は、第２のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。
【０１２８】
図１５において、第２のロード・ロックユニット２４９のユニット駆動用ドライエア供給系２７７のドライエア供給先としては、大気ドアバルブ２５５が有するスライドドア駆動用のドアバルブシリンダ、N２パージユニットとしての窒素ガス供給管２７１が有するＭＦＣ、大気開放用のリリーフユニットとしての大気連通管２７４が有するリリーフバルブ２７６、真空引きユニットとしての第２のロード・ロックユニット排気系２７３が有する排気バルブ２７５、及び真空ゲートバルブ２５４が有するスライドゲート駆動用のゲートバルブシリンダが該当する。
【０１２９】
ユニット駆動用ドライエア供給系２７７は、第２のプロセスシップ２１２が備える本ドライエア供給管２７８から分岐された副ドライエア供給管２７９と、該副ドライエア供給管２７９に接続された第１のソレノイドバルブ２８０及び第２のソレノイドバルブ２８１とを備える。
【０１３０】
第１のソレノイドバルブ２８０は、ドライエア供給管２８２，２８３，２８４，２８５の各々を介してドアバルブシリンダ、ＭＦＣ、リリーフバルブ２７６及びゲートバルブシリンダに接続され、これらへのドライエアの供給量を制御することによって各部の動作を制御する。また、第２のソレノイドバルブ２８１は、ドライエア供給管２８６を介して排気バルブ２７５に接続され、排気バルブ２７５へのドライエアの供給量を制御することによって排気バルブ２７５の動作を制御する。
【０１３１】
なお、窒素ガス供給管２７１におけるＭＦＣは窒素（Ｎ２）ガス供給系２８７にも接続されている。
【０１３２】
また、第２のプロセスユニット２３４や第３のプロセスユニット２３６も、上述した第２のロード・ロックユニット２４９のユニット駆動用ドライエア供給系２７７と同様の構成を有するユニット駆動用ドライエア供給系を備える。
【０１３３】
図１２に戻り、基板処理装置４は、第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２及びローダーユニット２１３の動作を制御するシステムコントローラと、ローダーユニット２１３の長手方向に関する一端に配置されたオペレーションコントローラ２８８を備える。
【０１３４】
オペレーションコントローラ２８８は、図１におけるオペレーションコントローラ８８と同様に、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなる表示部を有し、該表示部は基板処理装置４の各構成要素の動作状況やログ情報等を表示する。
【０１３５】
図１６は、第三の基板処理装置におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。図１６中、図２と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【０１３６】
図１６において、ＭＣ２９０，２９１，２９２は、それぞれ第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２及びローダーユニット２１３の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）である。各ＭＣが、ＤＩＳＴ（Distribution）ボード９６によってＧＨＯＳＴネットワーク９５を介して各Ｉ／Ｏ（入出力）モジュール２９７，２９８，２９９にそれぞれ接銑される点は、図２と同様である。
【０１３７】
また、Ｉ／Ｏモジュール２９７、２９８、２９９については、それぞれ第１のプロセスシップ２１１、第２のプロセスシップ２１２又はローダーユニット２１３に対応する点を除き、図２におけるＩ／Ｏモジュール９７又は９８と同様に構成される。
【０１３８】
なお、図１６においては、ライセンスキーサーバ６０とＥＣ８９とがネットワーク１７０を介して接続されている例が示されているが、両者のネットワーク構成は、第二の実施の形態又は第三の実施の形態において示したものに変更してもよい。
【０１３９】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４０】
【図１】本発明の実施の形態における基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【図２】第一の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるライセンスキーサーバのハードウェア構成例を示す図である。
【図４】第一の実施の形態におけるライセンス管理システムを実現するためのライセンスキーサーバと基板処理装置との機能構成例を示す図である。
【図５】初期キー入力時のライセンスキーサーバにおける初期設定処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図６】初期キー受信時の基板処理装置における処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図７】基板処理装置におけるライセンスの更新処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図８】ライセンスキーサーバにおけるライセンスキーの更新処理を説明するためのフローチャートである。
【図９】第二の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。
【図１０】第三の実施の形態におけるネットワーク構成例及びシステムコントローラの構成例を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態における第二の基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態における第三の基板処理装置の概略構成例を示す図である。
【図１３】第２のプロセスユニットの断面図である。
【図１４】第２のプロセスシップの概略購成を示す斜視図である。
【図１５】第２のロード・ロックユニットのユニット駆動用ドライエア供給系の概略構成を示す図である。
【図１６】第三の基板処理装置におけるシステムコントローラの構成例を示す図である。
【符号の説明】
【０１４１】
２，３，４ 基板処理装置
５ 処理システム
６ 搬送システム
８ 移載室
１２Ａ〜１２Ｆ 処理チャンバ
１４Ａ〜１４Ｆ サセプタ
１６ 移載アーム部
２０ 搬送アーム部
２２ 搬送ステージ
２４ 容器載置台
２６Ａ〜２６Ｄ カセット容器
２８ リニアガイドレール
３６ オリエンタ（方向位置決め装置）
３８Ａ，３８Ｂ ロードロック室
４０Ａ，４０Ｂ 被搬送体載置台
４６ 搬送アーム本体
４８ フォーク
６０ ライセンスキーサーバ
６１ 初期設定部
６２ キー転送部
６３ ライセンス管理部
６４ 更新要求受信部
６５ 更新判定部
６６ ネットワーク接続判定部
６７ 更新キー生成部
８１ キー受信部
８２ キー解析部
８３ ライセンス判定部
８４ 期限管理部
８５ キー更新部
８９ ＥＣ
９０、９１ ＭＣ
８０、９３ ＨＵＢ
９５ ＧＨＯＳＴネットワーク
９６ ＤＩＳＴボード
９７、９８ Ｉ／Ｏモジュール
１００ Ｉ／Ｏ部
１７０ ネットワーク
１７１ ＰＣ
２１１ 第１のプロセスシップ
２１２ 第２のプロセスシップ
２１３ ローダーユニット
２１５ フープ載置台
２１４ フープ
２１６ オリエンタ
２１７、２１８ ＩＭＳ
２１９ 搬送アーム機構
２２０ ロードポート
２２１、２２３ 載置台
２２２，２２４ 光学センサ
２２５ 第１のプロセスユニット
２２６ 第１の搬送アーム
２２７ 第１のロード・ロックユニット
２２８ ＥＳＣ
２２９ 真空ゲートバルブ
２３０ 大気ゲートバルブ
２３１ 第１のバッファ
２３２ 第２のバッファ
２３３ 支持部
２３４ 第２のプロセスユニット
２３６ 第３のプロセスユニット
２３７ 第２の搬送アーム
２３８ チャンバ
２３９ ＥＳＣ
２４０ シャワーヘッド
２４１ ＴＭＰ
２４２ ＡＰＣバルブ
２４３ 下層部
２４４ 上層部
２４５ 第１のバッファ室
２４６ 第２のバッファ室
２４７ ガス通気孔
２４８ ガス通気孔
２５０ チャンバ
２５１ ステージヒータ
２５２ バッファアーム
２５３ 支持部
２５４ 真空ゲートバルブ
２５５ 大気ドアバルブ
２５６ プッシャーピン
２５７ アンモニアガス供給管
２５８ 弗化水素ガス供給管
２５９ 圧力ゲージ
２６０ チラーユニット
２６１ 第２のプロセスユニット排気系
２６２ 排気ダクト
２６３、２６４ 排気管
２６５ 窒素ガス供給管
２６６ 圧力ゲージ
２６７ 第３のプロセスユニット排気系
２６８ 本排気管
２６８ａ 副排気管
２６９ ＡＰＣバルブ
２７０ 搬送室
２７１ 窒素ガス供給管
２７２ 圧力ゲージ
２７３ 第２のロード・ロックユニット排気系
２７４ 大気連通管
２７５ 排気バルブ
２７６ リリーフバルブ
２７７ ユニット駆動用ドライエア供給系
２７８ 本ドライエア供給管
２７９ 副ドライエア供給管
２８０ 第１のソレノイドバルブ
２８１ 第２のソレノイドバルブ
２８２，２８３，２８４，２８５ ドライエア供給管
２８６ ドライエア供給管
２８７ 窒素ガス供給系
２８８ オペレーションコントローラ
２９０，２９１，２９２ ＭＣ
２９７、２９８、２９９ Ｉ／Ｏモジュール
６００ ドライブ装置
６０１ 記録媒体
６０２ 補助記憶装置
６０３ メモリ装置
６０４ ＣＰＵ
６０５ インタフェース装置
６０６ 表示装置
６０７ 入力装置
８９１ ＣＰＵ
８９２ ＲＡＭ
８９３ ＨＤＤ
８９４ ＣＤ−ＲＯＭ
Ｂ バス
Ｗ 半導体ウエハ（被搬送体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記ライセンス情報解析手段は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記ライセンス情報解析手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項１又は２いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手段と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手段とを有することを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項５記載の基板処理装置。
【請求項７】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置に、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手順と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手順と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手順とを実行させ、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させるためのライセンス管理プログラム。
【請求項８】
前記ライセンス情報解析手順は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項７記載のライセンス管理プログラム。
【請求項９】
前記ライセンス情報解析手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項７又は８いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１０】
前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項７乃至９いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１１】
前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手順と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手順とを有することを特徴とする請求項７乃至１０いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１２】
前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項１１記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１３】
請求項７乃至１２いずれか一項記載のライセンス管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項１４】
請求項１乃至６いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置であって、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手段と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手段とを有することを特徴とするライセンス情報提供装置。
【請求項１５】
前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ライセンス管理手段に管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１４記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１６】
前記ライセンス管理手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１５記載のライセンス情報生成装置。
【請求項１７】
前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手段と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手段に管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手段とを有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記更新判定手段によって前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１５又は１６記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１８】
当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１４乃至１７いずれか一項記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１９】
請求項１乃至６いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置に、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手順と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手順とを実行させるためのライセンス情報提供プログラム。
【請求項２０】
前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ライセンス管理手順において管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１９記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２１】
前記ライセンス管理手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項２０記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２２】
前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手順と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手順において管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手順とを有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記更新判定手順において前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項２０又は２１記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２３】
当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１９乃至２２いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２４】
請求項１９乃至２４いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項２５】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に対して前記ソフトウェアに関するライセンス情報を提供するライセンス情報提供装置とを有するライセンス管理システムであって、
前記基板処理装置は、
前記ライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とするライセンス管理システム。
【請求項１】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置であって、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記ライセンス情報解析手段は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記ライセンス情報解析手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手段は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項１又は２いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手段と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手段とを有することを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とする請求項５記載の基板処理装置。
【請求項７】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置に、
ネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手順と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手順と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手順とを実行させ、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させるためのライセンス管理プログラム。
【請求項８】
前記ライセンス情報解析手順は、前記基板処理装置ごとに固有の値を有する装置固有情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記装置固有情報と当該基板処理装置の前記装置固有情報とを比較し、
二つの前記装置固有情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項７記載のライセンス管理プログラム。
【請求項９】
前記ライセンス情報解析手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を前記ライセンス情報より抽出し、
前記ライセンス判定手順は、前記ライセンス情報より抽出された前記基板処理装置の前記アドレス情報と当該基板処理装置に設定されている前記アドレス情報とを比較し、
二つの前記アドレス情報が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項７又は８いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１０】
前記基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報は、前記ライセンス情報提供装置より最初に受信された前記ライセンス情報に含まれていたものであることを特徴とする請求項７乃至９いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１１】
前記ライセンス情報が受信されたときからの相対的な時間の経過を管理する期限管理手順と、
前記相対的な時間の経過が前記ライセンス情報の有効期限の所定の期間内に達したときに、前記ライセンス情報の更新要求を前記ライセンス情報提供装置に送信するライセンス情報要求手順とを有することを特徴とする請求項７乃至１０いずれか一項記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１２】
前記ライセンス情報の更新要求が送信されてから所定の期間内に前記ライセンス情報が受信されない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限させることを特徴とする請求項１１記載のライセンス管理プログラム。
【請求項１３】
請求項７乃至１２いずれか一項記載のライセンス管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項１４】
請求項１乃至６いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置であって、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手段と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手段とを有することを特徴とするライセンス情報提供装置。
【請求項１５】
前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ライセンス管理手段に管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１４記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１６】
前記ライセンス管理手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１５記載のライセンス情報生成装置。
【請求項１７】
前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手段と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手段に管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手段とを有し、
前記ライセンス情報生成手段は、前記更新判定手段によって前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１５又は１６記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１８】
当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手段を有し、
前記ライセンス情報生成手段は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１４乃至１７いずれか一項記載のライセンス情報提供装置。
【請求項１９】
請求項１乃至６いずれか一項記載の基板処理装置とネットワークを介して接続するライセンス情報提供装置に、
当該ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成するライセンス情報生成手順と、
前記ライセンス情報を前記基板処理装置に送信するライセンス情報送信手順とを実行させるためのライセンス情報提供プログラム。
【請求項２０】
前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記固有情報を管理するライセンス管理手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ライセンス管理手順において管理されている前記固有情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１９記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２１】
前記ライセンス管理手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報を管理し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記ソフトウェアの使用が許可される前記基板処理装置の前記アドレス情報に基づいて前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項２０記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２２】
前記基板処理装置より前記ライセンス情報の更新要求を受信する更新要求受信手順と、
前記更新要求に含まれている、前記更新要求の送信元の前記基板処理装置の前記固有情報と、前記ライセンス管理手順において管理されている前記装置固有情報とを比較することにより前記ライセンス情報の更新の許否を判定する更新判定手順とを有し、
前記ライセンス情報生成手順は、前記更新判定手順において前記ライセンス情報の更新が許可された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項２０又は２１記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２３】
当該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されているか否かを判定するネットワーク接続判定手順を有し、
前記ライセンス情報生成手順は、該ライセンス情報提供装置がネットワークに接続されていると判定された場合に前記ライセンス情報を生成することを特徴とする請求項１９乃至２２いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラム。
【請求項２４】
請求項１９乃至２４いずれか一項記載のライセンス情報提供プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項２５】
ソフトウェアによる制御に基づいて基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置に対して前記ソフトウェアに関するライセンス情報を提供するライセンス情報提供装置とを有するライセンス管理システムであって、
前記基板処理装置は、
前記ライセンス情報提供装置より前記ソフトウェアに対するライセンス情報を定期的に受信するライセンス情報受信手段と、
前記ライセンス情報提供装置のネットワーク上のアドレス情報を前記ライセンス情報より抽出するライセンス情報解析手段と、
前記ライセンス情報より抽出された前記アドレス情報と当該基板処理装置に予め保存されている前記ライセンス情報提供装置の前記アドレス情報とを比較するライセンス判定手段とを有し、
二つの前記アドレス情報の値が一致しない場合は、前記ソフトウェアの少なくとも一部の機能の実行を制限することを特徴とするライセンス管理システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２００７−１９３５７９（Ｐ２００７−１９３５７９Ａ）
【公開日】平成１９年８月２日（２００７．８．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１１２１９（Ｐ２００６−１１２１９）
【出願日】平成１８年１月１９日（２００６．１．１９）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年８月２日（２００７．８．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１月１９日（２００６．１．１９）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]