基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリ
【課題】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリに関する。
【解決手段】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリを提供し、基板吸着アセンブリは、固定フレームと、複数の基板吸着ユニットとを含む。各基板吸着ユニットは、各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設され、各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。
【解決手段】本発明は、複数の基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび基板吸着アセンブリを提供し、基板吸着アセンブリは、固定フレームと、複数の基板吸着ユニットとを含む。各基板吸着ユニットは、各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設され、各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、特に切断後の基板を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ，ＬＣＤ）関連技術の急速な発展に伴い、節電、重量が軽い、低電磁波、持ち運びやすいなどの利点のため、液晶表示装置が徐々に従来の陰極線管（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ，ＣＲＴ）の表示装置に代わり、テレビ、コンピュータディスプレイ、ノートパソコン、カーナビゲーションシステム、携帯通信装置などの電子製品に広範に用いられ、表示装置市場における主流となっている。
【０００３】
現在の液晶表示装置の発展技術にとって、大型であっても小型であっても、液晶パネルはほとんどが上下の２つの大きなガラス板を上下に付き合わせて組み立てた後、上下から切断して割り、異なる寸法の液晶パネルを生産する。さらに詳細にいえば、液晶表示装置は、上下２つの大きなガラス板を組み合わせてなり、かつ上下のガラスの間には、駆動回路を有する搭載領域またはその他の端子配線領域が必要である。そのため、切断工程において、上下２枚のガラスを１回で切断する方式でガラスを切断することができず、それぞれ上下２つのガラスを組み合わせた大きな板を縦線および横線方向にスクライブした後、外からの力を利用して割り、異なる寸法の各液晶パネルを得る必要がある。特に、工程ステップ、時間および材料を節約するため、液晶パネルの生産技術は、前記大きなガラス板の面積を大きくする方向に発展しており、第４．５世代の生産ラインの７３０ｍｍ×９２０ｍｍのガラス基板規格、第５世代の生産ラインの１１００ｍｍ×１２５０ｍｍのガラス基板規格、もしくはその他のさらに先進的な第６世代、第７世代の生産ラインの例のように、ガラス基板が大きいほど、生産効率はよくなり、切断する材料の損失が少なくなる。しかしながら、ガラスパネルのサイズが大きくなり、厚さが薄くなるほど、従来の工程では、パネルの自動的な搬送および切断を行うのに適当な自動化設備がないため、人の手で加工を行っている。そのため、人為的なパネルの破損および製品の品質を下げる可能性が増加している。
【０００４】
上述したパネル寸法に関する障害の問題に対して、公知の工程ではガラスを組み合わせた大きな板を加工することができず、ガラスを組み合わせた大きな板を先に原面積の１／４の中型ガラス板に切断した後、異なる寸法の各液晶ＬＣＤパネルの加工および切断を行い、前記問題を解決している。しかし、工程は、これによって工程数、時間が４倍近くに増加するとともに、切断予備領域が増加し、ガラス切断における材料の無駄遣いおよびコストの増加がもたらされ、単位ガラス基板上で切断可能なパネル数が減少する。
【０００５】
これに鑑み、ガラスを組み合わせた大きな板の生産工程に対して、切断、搬送の自動化設備を提供し、特に工程においてガラスを組み合わせた大きな板を切断した後に形成される複数のすでに切断されたパネルの搬送、アンロードなどの作業に対して、適当な搬送装置を設計し、人為的な破損の可能性を減少させ、生産品質を高め、生産コストを下げることが、この業界で解決が求められている課題となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
先行技術が直面する課題に鑑み、本発明の目的は、ガラスを組み合わせた大きな板の生産工程に対して、搬送の自動化設備を提供し、人為的な破損の可能性を減少させ、生産品質を高め、生産コストを下げることである。
本発明のもう１つの目的は、工程においてすでに切断された異なる寸法のパネルの搬送、アンロードなどの作業に対して、適当な搬送装置を提供し、工程の柔軟性および生産効率を増進することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、複数のすでに切断された基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび複数の基板吸着ユニットを含む基板吸着アセンブリを提供する。基板吸着アセンブリは、複数の基板吸着ユニット以外に、固定フレームをさらに含み、各基板吸着ユニットは、すでに切断された各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設されている。各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。詳細には、本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、すでに切断された基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。
【０００８】
本発明の前記目的、技術的特徴および利点をさらにはっきりと分かりやすくするため、好ましい実施例と図面とを合わせて、以下のとおり詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例における液晶ガラス基板の搬送自動設備の概略図である。
【図２】本発明の実施例におけるアンロードアームに固定された基板吸着アセンブリの概略図である。
【図３Ａ】本発明の基板吸着ユニットの立体図である。
【図３Ｂ】本発明の基板吸着ユニットの正面図である。
【図３Ｃ】本発明の基板吸着ユニットの下側面図である。
【図３Ｄ】本発明の基板吸着ユニットの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明の出願人による液晶ガラスを組み合わせた大きな板の切断、搬送自動設備の概略図である。この自動設備１は、ロード、移動、切断、反転、アンロードなどの機能を主に含む。図１に示されているものは、この自動設備１の装置の一部でしかなく、例えば、ロード領域１０、ロードアーム２０、移送軸３０、アンロードアーム４０、アンロード領域５０などである。前記各装置の機能および特徴は、本発明の出願人のその他特許出願案件を合わせて参照することができる。この自動設備１における本願に関連する装置は、主にアンロードアーム４０、アンロード領域５０の動作に関連する基板吸着アセンブリ１００であり、以下に詳しく述べる。
【００１１】
図２は、本発明の実施例におけるアンロードアーム４０に固定した基板吸着アセンブリ１００の概略図である。基板吸着アセンブリ１００は、固定フレーム１１０と、複数の基板吸着ユニット１２０とを含み、基板吸着アセンブリ１００の固定フレーム１１０は、アンロードアーム４０に接続している。このアンロードアーム４０は、移送軸３０およびアームの操作を介して基板吸着アセンブリ１００を移動させ、各基板吸着ユニット１２０は、ロード領域１０、ロードアーム２０などの装置によって切断が完了した各液晶ガラス基板（図には未表示）を吸着し、アンロード領域５０に搬送して後続の液晶パネルの工程を行うことができる。説明が必要なことは、図２に示された複数の基板吸着ユニット１２０の数量および配列位置は、例示的なものでしかなく、本発明を制限するためのものではないことである。
【００１２】
詳細には、本発明の基板吸着アセンブリ１００における固定フレーム１１０は、２つの横棒１１２と、複数の固定棒１１４とを有する。各固定棒１１４は、２つの横棒１１２の間に互いに平行に設けられている。かつ、特別なことは、各固定棒１１４は、横棒１１２の縦軸方向（図に示したＸ軸方向）に平行に、かつ摺動自在に、相互間の横方向の間隔を調整でき、複数の基板のＸ軸方向上の配列位置に対応するようにし、後続の固定棒上に固定された各基板吸着ユニット１２０が、切断後の各ガラス基板に対応できるようにする。詳しくは後に述べる。
【００１３】
前記図面のほか、図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図３Ｄは、それぞれ本発明の基板吸着アセンブリ１００における基板吸着ユニット１２０の立体図、正面図、下側面図、上面図である。各基板吸着ユニット１２０は、本体１２１と、吸着部１２２と、固定部１２３とを含む。吸着部１２２は、本体１２１の末端に設けられ、固定部１２３は、吸着部１２２に対向して本体１２１の他端に設けられた２つのナットを有し、上下のナット間の締め付けを介して、本体１２１を固定フレーム１１０の固定棒１１４に固設する。この各基板吸着ユニット１２０上の固定部１２３は、各固定棒１１４において、縦軸方向（図に示したＹ軸方向）に、摺動自在に、各基板吸着ユニット１２０の相互間の縦方向の間隔を調整し、各基板吸着ユニット１２０が、Ｙ軸方向上の各基板の配列位置に対応して間隔をおいて前記固定フレーム上に固設されるようにし、各基板吸着ユニット１２０が１つの液晶基板に対応して吸着することを確実にする。
【００１４】
また、各基板吸着ユニット１２０の本体１２１は、中空柱体であり、本体１２１および吸着部１２２内部において負圧を形成することによって、吸着部１２２で吸着力を形成し、吸着基板に用いるため、例えば、真空ポンプなど、吸着部１２２に空圧的に接続し、空気弁１２４を介して真空装置（未には未表示）に空圧的に接続する通気道を内部に有する。明確にいえば、吸着部１２２は複数の吸着部材１２５を有し、各吸着部材１２５は、本体１２１内部の通気道および空気弁１２４を介して真空装置に空圧的に接続し、真空装置を介して形成された負圧は、吸着部材１２５表面において吸着力を形成し、切断後の基板の吸着に用いられる。
【００１５】
本実施例では、吸着部１２２は、本体１２１の末端に互いに対称的に設けられた３つの吸着部材１２５を有する。公知の単一の吸着部材の設計に比べ、この種の複数個の吸着部材の設計は、さらに均一に分布した吸着力を被吸着面上に形成することができ、吸着力が過度に集中して応力が基板上に残留し、割れを発生させることを防ぐことができるだけでなく、吸着部材の一部での真空漏れまたは正常な動作をしない場合に、すぐに他の吸着部材に真空負圧を均一に分布させて液晶基板を吸着するため、液晶基板が落下して割れ、破損することを防ぐこともできる。
【００１６】
好ましくは、本発明は、真空装置の起動の際に通気道内に形成される真空吸着衝撃を緩和し、特に真空装置が吸着部材１２５の前端に付勢する真空吸着衝撃の緩衝に用いるため、吸着部材１２５の前端にゴム吸盤１２６を設け、緩衝部材１２７を本体１２１内に設ける。かつ、基板吸着ユニット１２０が液晶基板を吸着して移動するとき、本体１２１内の緩衝部材１２７は外部からの衝撃力も緩衝することができ、液晶基板の割れの可能性を下げることができる。具体的には、緩衝部材１２７はばねとすることができる。
【００１７】
前記実施例は、本発明の実施形態を例示し、本発明の技術的特徴を説明するためのものであり、本発明の保護範疇を制限するためのものではない。当業者が容易に行うことができる変更または同等の配置は、本発明の請求の範囲に属し、本発明の権利保護範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
【符号の説明】
【００１８】
１ 自動設備
１０ ロード領域
２０ ロードアーム
３０ 移送軸
４０ アンロードアーム
５０ アンロード領域
１００ 基板吸着アセンブリ
１１０ 固定フレーム
１１２ 横棒
１１４ 固定棒
１２０ 基板吸着ユニット
１２１ 本体
１２２ 吸着部
１２３ 固定部
１２４ 空気弁
１２５ 吸着部材
１２６ ゴム吸盤
１２７ 緩衝部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関し、特に切断後の基板を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ，ＬＣＤ）関連技術の急速な発展に伴い、節電、重量が軽い、低電磁波、持ち運びやすいなどの利点のため、液晶表示装置が徐々に従来の陰極線管（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ，ＣＲＴ）の表示装置に代わり、テレビ、コンピュータディスプレイ、ノートパソコン、カーナビゲーションシステム、携帯通信装置などの電子製品に広範に用いられ、表示装置市場における主流となっている。
【０００３】
現在の液晶表示装置の発展技術にとって、大型であっても小型であっても、液晶パネルはほとんどが上下の２つの大きなガラス板を上下に付き合わせて組み立てた後、上下から切断して割り、異なる寸法の液晶パネルを生産する。さらに詳細にいえば、液晶表示装置は、上下２つの大きなガラス板を組み合わせてなり、かつ上下のガラスの間には、駆動回路を有する搭載領域またはその他の端子配線領域が必要である。そのため、切断工程において、上下２枚のガラスを１回で切断する方式でガラスを切断することができず、それぞれ上下２つのガラスを組み合わせた大きな板を縦線および横線方向にスクライブした後、外からの力を利用して割り、異なる寸法の各液晶パネルを得る必要がある。特に、工程ステップ、時間および材料を節約するため、液晶パネルの生産技術は、前記大きなガラス板の面積を大きくする方向に発展しており、第４．５世代の生産ラインの７３０ｍｍ×９２０ｍｍのガラス基板規格、第５世代の生産ラインの１１００ｍｍ×１２５０ｍｍのガラス基板規格、もしくはその他のさらに先進的な第６世代、第７世代の生産ラインの例のように、ガラス基板が大きいほど、生産効率はよくなり、切断する材料の損失が少なくなる。しかしながら、ガラスパネルのサイズが大きくなり、厚さが薄くなるほど、従来の工程では、パネルの自動的な搬送および切断を行うのに適当な自動化設備がないため、人の手で加工を行っている。そのため、人為的なパネルの破損および製品の品質を下げる可能性が増加している。
【０００４】
上述したパネル寸法に関する障害の問題に対して、公知の工程ではガラスを組み合わせた大きな板を加工することができず、ガラスを組み合わせた大きな板を先に原面積の１／４の中型ガラス板に切断した後、異なる寸法の各液晶ＬＣＤパネルの加工および切断を行い、前記問題を解決している。しかし、工程は、これによって工程数、時間が４倍近くに増加するとともに、切断予備領域が増加し、ガラス切断における材料の無駄遣いおよびコストの増加がもたらされ、単位ガラス基板上で切断可能なパネル数が減少する。
【０００５】
これに鑑み、ガラスを組み合わせた大きな板の生産工程に対して、切断、搬送の自動化設備を提供し、特に工程においてガラスを組み合わせた大きな板を切断した後に形成される複数のすでに切断されたパネルの搬送、アンロードなどの作業に対して、適当な搬送装置を設計し、人為的な破損の可能性を減少させ、生産品質を高め、生産コストを下げることが、この業界で解決が求められている課題となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
先行技術が直面する課題に鑑み、本発明の目的は、ガラスを組み合わせた大きな板の生産工程に対して、搬送の自動化設備を提供し、人為的な破損の可能性を減少させ、生産品質を高め、生産コストを下げることである。
本発明のもう１つの目的は、工程においてすでに切断された異なる寸法のパネルの搬送、アンロードなどの作業に対して、適当な搬送装置を提供し、工程の柔軟性および生産効率を増進することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、複数のすでに切断された基板を吸着するための基板吸着ユニットおよび複数の基板吸着ユニットを含む基板吸着アセンブリを提供する。基板吸着アセンブリは、複数の基板吸着ユニット以外に、固定フレームをさらに含み、各基板吸着ユニットは、すでに切断された各基板に対応して間隔をおいて固定フレーム上に固設されている。各基板吸着ユニットは、真空装置に空圧的に接続し、本体と吸着部とを含む。詳細には、本体は、真空装置に空圧的に接続し、吸着部は、本体の末端に対称的に設けられ、本体を介して真空装置に空圧的に接続し、すでに切断された基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する。
【０００８】
本発明の前記目的、技術的特徴および利点をさらにはっきりと分かりやすくするため、好ましい実施例と図面とを合わせて、以下のとおり詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例における液晶ガラス基板の搬送自動設備の概略図である。
【図２】本発明の実施例におけるアンロードアームに固定された基板吸着アセンブリの概略図である。
【図３Ａ】本発明の基板吸着ユニットの立体図である。
【図３Ｂ】本発明の基板吸着ユニットの正面図である。
【図３Ｃ】本発明の基板吸着ユニットの下側面図である。
【図３Ｄ】本発明の基板吸着ユニットの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明の出願人による液晶ガラスを組み合わせた大きな板の切断、搬送自動設備の概略図である。この自動設備１は、ロード、移動、切断、反転、アンロードなどの機能を主に含む。図１に示されているものは、この自動設備１の装置の一部でしかなく、例えば、ロード領域１０、ロードアーム２０、移送軸３０、アンロードアーム４０、アンロード領域５０などである。前記各装置の機能および特徴は、本発明の出願人のその他特許出願案件を合わせて参照することができる。この自動設備１における本願に関連する装置は、主にアンロードアーム４０、アンロード領域５０の動作に関連する基板吸着アセンブリ１００であり、以下に詳しく述べる。
【００１１】
図２は、本発明の実施例におけるアンロードアーム４０に固定した基板吸着アセンブリ１００の概略図である。基板吸着アセンブリ１００は、固定フレーム１１０と、複数の基板吸着ユニット１２０とを含み、基板吸着アセンブリ１００の固定フレーム１１０は、アンロードアーム４０に接続している。このアンロードアーム４０は、移送軸３０およびアームの操作を介して基板吸着アセンブリ１００を移動させ、各基板吸着ユニット１２０は、ロード領域１０、ロードアーム２０などの装置によって切断が完了した各液晶ガラス基板（図には未表示）を吸着し、アンロード領域５０に搬送して後続の液晶パネルの工程を行うことができる。説明が必要なことは、図２に示された複数の基板吸着ユニット１２０の数量および配列位置は、例示的なものでしかなく、本発明を制限するためのものではないことである。
【００１２】
詳細には、本発明の基板吸着アセンブリ１００における固定フレーム１１０は、２つの横棒１１２と、複数の固定棒１１４とを有する。各固定棒１１４は、２つの横棒１１２の間に互いに平行に設けられている。かつ、特別なことは、各固定棒１１４は、横棒１１２の縦軸方向（図に示したＸ軸方向）に平行に、かつ摺動自在に、相互間の横方向の間隔を調整でき、複数の基板のＸ軸方向上の配列位置に対応するようにし、後続の固定棒上に固定された各基板吸着ユニット１２０が、切断後の各ガラス基板に対応できるようにする。詳しくは後に述べる。
【００１３】
前記図面のほか、図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図３Ｄは、それぞれ本発明の基板吸着アセンブリ１００における基板吸着ユニット１２０の立体図、正面図、下側面図、上面図である。各基板吸着ユニット１２０は、本体１２１と、吸着部１２２と、固定部１２３とを含む。吸着部１２２は、本体１２１の末端に設けられ、固定部１２３は、吸着部１２２に対向して本体１２１の他端に設けられた２つのナットを有し、上下のナット間の締め付けを介して、本体１２１を固定フレーム１１０の固定棒１１４に固設する。この各基板吸着ユニット１２０上の固定部１２３は、各固定棒１１４において、縦軸方向（図に示したＹ軸方向）に、摺動自在に、各基板吸着ユニット１２０の相互間の縦方向の間隔を調整し、各基板吸着ユニット１２０が、Ｙ軸方向上の各基板の配列位置に対応して間隔をおいて前記固定フレーム上に固設されるようにし、各基板吸着ユニット１２０が１つの液晶基板に対応して吸着することを確実にする。
【００１４】
また、各基板吸着ユニット１２０の本体１２１は、中空柱体であり、本体１２１および吸着部１２２内部において負圧を形成することによって、吸着部１２２で吸着力を形成し、吸着基板に用いるため、例えば、真空ポンプなど、吸着部１２２に空圧的に接続し、空気弁１２４を介して真空装置（未には未表示）に空圧的に接続する通気道を内部に有する。明確にいえば、吸着部１２２は複数の吸着部材１２５を有し、各吸着部材１２５は、本体１２１内部の通気道および空気弁１２４を介して真空装置に空圧的に接続し、真空装置を介して形成された負圧は、吸着部材１２５表面において吸着力を形成し、切断後の基板の吸着に用いられる。
【００１５】
本実施例では、吸着部１２２は、本体１２１の末端に互いに対称的に設けられた３つの吸着部材１２５を有する。公知の単一の吸着部材の設計に比べ、この種の複数個の吸着部材の設計は、さらに均一に分布した吸着力を被吸着面上に形成することができ、吸着力が過度に集中して応力が基板上に残留し、割れを発生させることを防ぐことができるだけでなく、吸着部材の一部での真空漏れまたは正常な動作をしない場合に、すぐに他の吸着部材に真空負圧を均一に分布させて液晶基板を吸着するため、液晶基板が落下して割れ、破損することを防ぐこともできる。
【００１６】
好ましくは、本発明は、真空装置の起動の際に通気道内に形成される真空吸着衝撃を緩和し、特に真空装置が吸着部材１２５の前端に付勢する真空吸着衝撃の緩衝に用いるため、吸着部材１２５の前端にゴム吸盤１２６を設け、緩衝部材１２７を本体１２１内に設ける。かつ、基板吸着ユニット１２０が液晶基板を吸着して移動するとき、本体１２１内の緩衝部材１２７は外部からの衝撃力も緩衝することができ、液晶基板の割れの可能性を下げることができる。具体的には、緩衝部材１２７はばねとすることができる。
【００１７】
前記実施例は、本発明の実施形態を例示し、本発明の技術的特徴を説明するためのものであり、本発明の保護範疇を制限するためのものではない。当業者が容易に行うことができる変更または同等の配置は、本発明の請求の範囲に属し、本発明の権利保護範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
【符号の説明】
【００１８】
１ 自動設備
１０ ロード領域
２０ ロードアーム
３０ 移送軸
４０ アンロードアーム
５０ アンロード領域
１００ 基板吸着アセンブリ
１１０ 固定フレーム
１１２ 横棒
１１４ 固定棒
１２０ 基板吸着ユニット
１２１ 本体
１２２ 吸着部
１２３ 固定部
１２４ 空気弁
１２５ 吸着部材
１２６ ゴム吸盤
１２７ 緩衝部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空装置に空圧的に接続した本体と、
該本体の末端に対称的に設けられ、該本体を介して該真空装置に空圧的に接続し、基板を均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する吸着部と、
該本体内に設けられ、該真空装置が該吸着部に付勢する真空吸着衝撃を緩衝するために用いられる緩衝部材と、
を含む基板吸着ユニット。
【請求項２】
該吸着部に対向して該本体の他端に設けられ、該本体を固定フレームに固設するために用いられる固定部をさらに含む請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項３】
該吸着部は、該本体の該末端に対称的に設けられ、該基板を均一に吸着するために用いられる３つの吸着部材を有する請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項４】
各吸着部材は、各吸着部材の前端に設けられたゴム吸盤を有する請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項５】
該緩衝部材がばねである請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項６】
複数の基板を吸着するために用いられ、固定フレームと、それぞれが各基板に対応して間隔をおいて該固定フレーム上に固設された複数の基板吸着ユニットとを含む基板吸着アセンブリであって、
各基板吸着ユニットは、
真空装置に空圧的に接続し、該真空装置に空圧的に接続する本体と、
該本体の末端に対称的に設けられ、該本体を介して該真空装置に空圧的に接続し、これらの基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する吸着部と、
を含む基板吸着アセンブリ。
【請求項７】
各基板吸着ユニットは、該本体内に設けられ、該真空装置が該吸着部に付勢する真空吸着衝撃を緩衝するために用いられる緩衝部材をさらに含む請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項８】
各基板吸着ユニットは、該吸着部に対向して該本体の他端に設けられ、該本体を固定フレームに固設するために用いられ、各基板吸着ユニット間の縦方向の間隔を調整することができる固定部をさらに含む請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項９】
該固定フレームは、２つの横棒と、複数の固定棒とを有し、各固定棒は２つの横棒の間に互いに平行に設けられ、これらの基板の位置に対応してこれらの固定棒の間の横方向の間隔を調整することができ、隣接するこれらの固定棒の間に、各基板吸着ユニットの該固定部を調整可能に固定させる請求項８に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１０】
該吸着部は、該本体の該末端に対称的に設けられ、これらの基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる３つの吸着部材を有する請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１１】
各吸着部材は、各吸着部材の前端に設けられたゴム吸盤を有する請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１２】
該緩衝部材がばねである請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１３】
該基板吸着アセンブリを移動させて、すでに分割した後のこれらの基板を吸着するために用いられるアームに接続した請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１】
真空装置に空圧的に接続した本体と、
該本体の末端に対称的に設けられ、該本体を介して該真空装置に空圧的に接続し、基板を均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する吸着部と、
該本体内に設けられ、該真空装置が該吸着部に付勢する真空吸着衝撃を緩衝するために用いられる緩衝部材と、
を含む基板吸着ユニット。
【請求項２】
該吸着部に対向して該本体の他端に設けられ、該本体を固定フレームに固設するために用いられる固定部をさらに含む請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項３】
該吸着部は、該本体の該末端に対称的に設けられ、該基板を均一に吸着するために用いられる３つの吸着部材を有する請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項４】
各吸着部材は、各吸着部材の前端に設けられたゴム吸盤を有する請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項５】
該緩衝部材がばねである請求項１に記載の基板吸着ユニット。
【請求項６】
複数の基板を吸着するために用いられ、固定フレームと、それぞれが各基板に対応して間隔をおいて該固定フレーム上に固設された複数の基板吸着ユニットとを含む基板吸着アセンブリであって、
各基板吸着ユニットは、
真空装置に空圧的に接続し、該真空装置に空圧的に接続する本体と、
該本体の末端に対称的に設けられ、該本体を介して該真空装置に空圧的に接続し、これらの基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる複数の吸着部材を有する吸着部と、
を含む基板吸着アセンブリ。
【請求項７】
各基板吸着ユニットは、該本体内に設けられ、該真空装置が該吸着部に付勢する真空吸着衝撃を緩衝するために用いられる緩衝部材をさらに含む請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項８】
各基板吸着ユニットは、該吸着部に対向して該本体の他端に設けられ、該本体を固定フレームに固設するために用いられ、各基板吸着ユニット間の縦方向の間隔を調整することができる固定部をさらに含む請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項９】
該固定フレームは、２つの横棒と、複数の固定棒とを有し、各固定棒は２つの横棒の間に互いに平行に設けられ、これらの基板の位置に対応してこれらの固定棒の間の横方向の間隔を調整することができ、隣接するこれらの固定棒の間に、各基板吸着ユニットの該固定部を調整可能に固定させる請求項８に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１０】
該吸着部は、該本体の該末端に対称的に設けられ、これらの基板のいずれかを均一に吸着するために用いられる３つの吸着部材を有する請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１１】
各吸着部材は、各吸着部材の前端に設けられたゴム吸盤を有する請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１２】
該緩衝部材がばねである請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【請求項１３】
該基板吸着アセンブリを移動させて、すでに分割した後のこれらの基板を吸着するために用いられるアームに接続した請求項６に記載の基板吸着アセンブリ。
【図１】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図３Ｄ】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図３Ｄ】
【公開番号】特開２０１１−９３７０７（Ｐ２０１１−９３７０７Ａ）
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１６７４６（Ｐ２０１０−１６７４６）
【出願日】平成２２年１月２８日（２０１０．１．２８）
【出願人】（５１００２６４９３）
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１月２８日（２０１０．１．２８）
【出願人】（５１００２６４９３）
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]