基板搬送装置
【課題】融通性に富んだモジュール構造式のロボットを提供すること。
【解決手段】基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを有している。かかる駆動部は、多数の異なる交換自在なモータモジュールから選択され、配置するのに選択自在な少なくとも1つのモータモジュールを有する。各モータモジュールは、異なる予め決められた特性を有している。関節アームは関節接続部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が予め決められた構造特性を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のために、少なくとも1つのモータモジュールの選択によりなされる。
【解決手段】基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを有している。かかる駆動部は、多数の異なる交換自在なモータモジュールから選択され、配置するのに選択自在な少なくとも1つのモータモジュールを有する。各モータモジュールは、異なる予め決められた特性を有している。関節アームは関節接続部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が予め決められた構造特性を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のために、少なくとも1つのモータモジュールの選択によりなされる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は基板搬送装置に関し、特に変更自在且つ交換自在である基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
エレクトロニクス及び電子デバイスにおける進歩は、2つの主な消費者の望みにより促進されてきた。この望みは、より複雑且つより小さなエレクトロニクス/電子デバイスとより安価なエレクトロニクス/電子デバイスを求めることである。エレクトロニクスの進歩において求められる進歩を遂げることが、エレクトロニクスの製造(設備、装置、若しくはプロセス)において望まれる。電子デバイスの製造施設における自動化の導入及び拡大は、主な消費者の望みとほぼ直接対応する2つの利益を達成する。エレクトロニクスの自動化製造は、製造の正確さとコストの低減とを提供する。自動化製造の改良された正確さは、電子部品の小型化を促進し、改良する。また、自動化されていない製造システムよりも1回限りのコストは高いが、自動化製造システムは略連続して操作され得、かかる自動化製造システムにおいて製造されたデバイスのための製造コストは最終的に低くなる。さらに、自動化されていない製造装置以上の自動化製造装置の精密さ/正確さの改良は、不合格品及び欠陥品を製造する商業上重要な低減をもたらし、組み立てられた装置の製造コストを低減する結果となる。製造に役立ち、自動操作を非常に使用する電子デバイスの製造を与えられたエリアは、様々なプロセスステーション同士の間においてフラットパネル(例えば、ウエハ、レチクル、ペリクル、フラットパネルディスプレイ)を操作し搬送する搬送装置、デバイス、ロボットと言及される装置である。クリーンルーム環境において使用する従来のロボットの一例が、1988年11月29日に取得された米国特許第4,787,813号に開示されている。かかる米国特許に開示された従来のロボットは支持アッセンブリを伴う駆動システムを有している。ロボットの第1アームが、支持アッセンブリにより回転自在に支持され、支持アッセンブリにより上げ下げされる。支持アッセンブリを回転させる駆動構造部がベース部にマウントされている。第2アーム及びエンドエフェクタを回転させる駆動構造部が支持アッセンブリの上方端にマウントされている。2003年10月21日に取得された米国特許第6,634,851号は、ベース部及びバックボーンを有する従来のワークピースハンドリングロボットの他の例を開示している。この従来のロボットのベース部は、直線駆動システム及びかかる直線駆動システム上にマストを有している。ショルダ駆動システムは、マスト及びかかるマストにマウントされた隣接アームリンクを回転させる。エルボー駆動部が、近い方のリンクにマウントされ、近い方のリンクに対して遠い方のリンクを回転させる。従来のロボットは、従属したエンドエフェクタを有している。理解され得るように、前述した従来のロボットは動作の自由度を制限されている。なぜなら、前述した従来のロボットは、ロボットのエンドエフェクタを独立して駆動する駆動システム若しくは独立した駆動軸を欠いているからである。この従来のロボットは、エンドエフェクタが独立して動作自在であるロボット構造を具備するように容易に形成することはできない。前述した従来のロボットは通常の従来のロボットの一例である。各ロボットは特定のアレンジメントのために特別に形成される。さらに、ロボット構造が設定されると、かかる構造は、固定され、主要な箇所は変更自在ではない。実際には、従来のロボットは、かかるロボットを実質的に解体し、ロボットを新しく再構築することなしに再構築することはできない。これは、従来のロボットの相互交換性と相互運用性を制限し、FABオペレータが多くの交換自在でない類似するロボットを通常有する結果となる。一例として、FABオペレータは、3軸、4軸、及び5軸ロボット(それぞれが、3軸、4軸若しくは5軸ロボットが適用されるプロセスステーション若しくは装置のためである)を有し得る。構造(例えば、従来のロボットはスカラ型である)は通常類似しているが、従来の3軸、4軸、5軸ロボットは交換自在ではなく、従来のロボットの再構築(例えば、従来の3軸ロボットを5軸ロボットに構築するか、若しくはこの逆)は、従来のロボットを完全に解体し再構築することを含んでいる。よって、もし、従来のロボット(例えば、3軸ロボット)が、例えば、メンテナンスのために、工程のラインから取り除かれ、異なる構造を有するスペアの従来のロボット(例えば、4軸ロボット)が利用可能ならば、異なる構造を伴うスペアの従来のロボットは、工程のラインから取り除かれたロボットと交換できないか、若しくは、スペアのロボットは、工程のラインから取り除かれたロボットと交換自在なように再構築され得る。よって、工程のラインから取り除かれたロボットが使用されていたプロセスステーションにおける従来のロボット生産の場合においては、工程のラインから取り除かれたロボットが再び戻されるか、若しくはFABオペレータが同一の構造を伴う他のロボットを取得するまで停止したままである。これは非常に好ましくない。
【0003】
前述した例から理解され得るように、従来のロボットの他の問題点は、ロボット動作の定義づけ(definition)(例えば、ロボットにおける望まれるポイント/位置の本当の位置とロボットコントローラにより支持された同一のポイントの予想された位置との間の差)が非常に制限されることである。この制限された動作の定義づけは、複数の要因により生ずるが、1つの大きな要因は、定義されていないロボット動作(ロボットコントローラにより検出されず、登録されていないロボット動作)である。定義されていないロボット動作の1つの原因は、ロボット(すなわち、ロボットの構造若しくは駆動システム)と、動荷重のために、ロボットを保持する基礎部との可撓性である。本発明の例示的な実施例は、以下において説明するように、従来のワークピース製造システムのこれらの問題点及び他の問題点を克服している。
【発明の概要】
【0004】
1つの例示的な実施例によれば、基板搬送装置が提供される。かかる基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを含んでいる。駆動部はフレームに接続されている。駆動部は、少なくとも1つのモータモジュールを有し、かかる少なくとも1つのモータモジュールは、各々が異なる予め決められた特徴を有している多数の異なる交換自在なモータモジュールから駆動部における配置のために選択可能である。関節アームは関節接合部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が異なる予め決められた構造特徴を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のための少なくとも1つのモータモジュールの選択によりなされる。
【0005】
他の例示的な実施例においては、基板搬送装置が提供される。かかる搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを含んでいる。駆動部はフレームに接続されている。関節アームは、アームの関節接合のために、駆動部に接続されている。アームは、上方アーム、前方アーム、少なくとも1つのエンドエフェクタリンクを有している。前方アームリンクは、上方アームリンクに枢動自在に結合され、エンドエフェクタは、前方アームに枢動自在に結合されている。駆動部は、第1駆動部ポーション及びかかる第1駆動部ポーションに接続されたモータモジュールを有している。モータモジュールは、少なくとも1つのモータを有し、かかる少なくとも1つのモータは、上方アームに対して前方アームを独立して枢動するか、若しくは前方アームに対してエンドエフェクタを独立して枢動するかのどちらかである。モータモジュールは、各々が異なる所定の特徴を有する異なる交換自在なモータモジュールから、第1駆動部ポーションへの接続のために、選択自在である。
【発明の詳細な説明】
【0006】
本発明の以下の形態及び他の特徴は添付図面を参照しつつ、以下において説明される。
【0007】
図1を参照すると、本発明の特徴を含む基板プロセス装置10の斜視図が示されている。本発明は図面に示した実施例を参照しつつ説明されるが、本発明は実施例の多数の代わりの形態に実施され得ることを理解されたい。さらに、任意の適切なサイズ、形状、若しくは種類の要素若しくは材料が使用され得る。
【0008】
図1に示した実施例においては、装置10が、例示の目的のために、一般的な基板バッチプロセス装置構造として示されている。別の実施例においては、基板プロセス装置は任意の他の適当な構造を有している。なぜなら、以下において説明されるように、本発明の特徴は、個別の基板プロセスのための装置、ストッカー、ソーター、計測装置、若しくは任意の他の望まれる装置を含む任意の基板プロセス装置構造に等しく適用可能であるからである。装置10は、200mm若しくは300mm半導体ウエハ、半導体実装基板(例えば、高密度配線)、半導体製造プロセスイメージプレート(例えば、マスク若しくはレチクル)、及びフラットパネルディスプレイ用の基板のような任意の望まれる種類のフラットパネル若しくは基板を操作(ハンドリング)し且つ処理し得る。かかる装置10はフロント部12とリア部14とを通常含んでいる。かかるフロント部12(ここでは、フロントと言う言葉は、便宜上、表示の例示的なフレームを明らかにするために使用され、別の実施例においては、装置のフロントは、装置の任意の望まれるサイドに設定され得る)は、FABから該装置10の内部への基板の搬送を可能にするインターフェースを具備するシステム(以下において詳しく説明する)を有している。フロント部12は、ハウジング16とかかるハウジング内に配置されている自動化要素とを通常有し、かかる自動化要素は、リア部14と外部に対するフロント部インターフェースとの間において基板を操作する。リア部14はフロント部のハウジング16に接続されている。かかる装置のリア部14は、制御された雰囲気(例えば、真空、不活性ガス)を有し得、基板を処理するプロセスシステムを通常含んでいる。例えば、リア部は心搬送チャンバを含み得、かかる中心搬送チャンバは、基板搬送部と、装置内において基板に望まれる製造プロセス(エッチング、材料堆積、清掃、加熱、検査等)を実施する周辺プロセスモジュールとを有する。前述したように、別の実施例においては、装置のリア部は、ソーター、ストッカー、又は他の望まれるプロセス若しくは操作装置のような基板をプロセスするように形成され得る。基板は、FAB内において、コンテナLでプロセス装置10へ搬送され得る。コンテナLは、フロント部インターフェースに接して配置され得るか、若しくは近接して配置され得る。かかるコンテナから、基板は、インターフェースを経て、フロント部12へフロント部における自動化要素を用いて搬送され得る。基板は、ロードロック14Lを介して、雰囲気制御されたリア部へ移送され得、かかる雰囲気制御されたリア部は、1つ以上のプロセスモジュールにおいて基板を処理する。その後、処理された基板は、かかる搬送とは実質的に反対に行われ、フロント部12へ戻され、搬送コンテナFが取り除かれる。
【0009】
エンビロンメンタルフロントエンドモジュールすなわちEFEMとして言及され得るフロント部12は、保護された環境若しくはミニエンバイロメントを画定するシェルすなわちケーシングを有し得る。かかる保護された環境若しくはミニエンバイロメントにおいては、基板は、FAB内における基板を搬送するのに使用される。搬送コンテナTとリアプロセス部14における制御された雰囲気への入り口を具備するロードロック14Lとの間の汚染を最小にしてアクセスされ操作され得る。ロードポートすなわちロードポートモジュール24(2つのロードポートモジュールが、例示目的のために、図1において示されているが、より多い若しくはより少ないロードポートモジュールが使用され得る)はが、フロント部とFABとの間のインターフェースを具備するフロント部の1つ以上の側面に配置される。ロードポートモジュールは、EFEM内部と外部との間に閉成自在なインターフェースを形成する閉成自在なポート30Oを有し得る。図1において見て取れるように、ロードポートモジュールは、基板搬送コンテナCのための支持エリアを有し得る。2次保持エリアが、かかる支持エリアの下方に設けられ得る。かかる2次保持エリアにおいて、搬送コンテナが一時的にバッファされ得る。搬送コンテナ支持エリアは、最終すなわち主要位置へのかかる搬送コンテナ支持エリアに支持された搬送コンテナCの自動動作を可能にする。
【0010】
前述したように、装置10のフロント部は、自動化要素を有し得、かかる自動化要素は、装置に接した搬送コンテナCと装置のフロント部若しくはリア部における様々なプロセスステーションとの間のワークピースの搬送を行う。図2を参照すると、装置10は、フロント部12において、ワークピース搬送装置すなわち基板搬送装置20を有し得、かかる基板搬送装置20は、コンテナC並びにフロント部12及びリア部14の任意の望まれるステーションにおける基板を取り上げる/配置するのに十分である到達範囲を有している。例えば、搬送装置20は、コンテナTの内側の基板を取り上げる/配置するように、閉成自在な開口部30Oを経て突出し得る。搬送装置20は、ロードロック14Lの内側に基板を取り上げる/配置するように突出し得る。よって、搬送装置20は、コンテナから基板を取り上げ得、ロードロック14Lの内側に配置するために、かかる基板を搬送し得、逆もまた行われ得る。搬送装置20は、支持構造部すなわちベース部22、可動アーム24、駆動システム26を通常有し得る。駆動システム26は支持構造部22に接続され、可動アーム24は駆動システム26に操作自在に接続され、かかる駆動システムはアームを移動させ得る。支持構造部26が、搬送装置20を装置10のフロント部12に取り付ける。装置10のフロント部12は、運搬部を伴う横移動部(traverser)(図示せず)を有し得、かかる運搬部は、フロント部に対して横方向(図1において矢印Xにより示された方向)に移動させ得る。この場合においては、支持構造部22は、横移動部の横方向運搬部に取り付けられ得る。これとは別に、フロント部は、横移動部を有していなくともよく、この場合においては、支持構造部はフロント部の所定の構造部に取り付けられ得る。搬送装置の支持構造部は、剛性耐荷重柱(spine)部材を有し得る。支持構造部は、フロント部にマウントするサイドマウントアレンジメントを有し得る。支持構造部のサイドマウント部は、以下において詳しく説明するように、支持構造部の剛性柱部材のサイドとは独立し得る。サイドマウント部は、搬送装置が交換自在であることを可能にする運動的(kinematic)結合を画定する。可動アーム24は、関節リンクと、基板を保持するエンドエフェクタとを有している。駆動システム26は、可動アームに接続された独立した駆動部を有し、アームのエンドエフェクタをR、θ、及びZ方向(図1において矢印R、θ、Zにより示されている方向)に移動させる。駆動システムのZ駆動部は、以下においてより詳しく説明するように、柱部材に一体化され得る。駆動部は、取り外し自在な駆動モジュールを有し得、かかる取り外し自在な駆動モジュールは、多数の異なる交換自在な駆動モジュールから選択可能であり、駆動システムの駆動構造を選定する。また、以下において説明するように、取り外し自在なモジュールは、他の交換自在なモジュールと交換され得、かかる他の交換自在なモジュールは、駆動システムの独立した駆動軸の数を変更し、駆動システムを変更する。これは、可動アームが変更されることを可能にする。可動アームは、タレット(turret)にマウントされ得る。タレット及び1つの関節アームリンクは、以下において説明するように、単一部材として一体化されて形成され得る。選択自在な駆動モジュールは、タレットを備えたアームリンクのアーム部に取り外し自在にマウントされ得る。
【0011】
図2Aは、基板搬送装置20の他の斜視図であり、簡潔性のために、かかる装置の一部が除去されている。図3はかかる装置20の平面図であり、図4A乃至図4Bは、アーム26が支持構造部22から分解された装置の分解斜視図と、分解して示されたアームリンク及び駆動システムの一部の分解斜視図とをそれぞれ示している。この例示的な実施例においては、関節アーム26は、上方アーム28、前方アーム30、及びエンドエフェクタ32A、32Bを有するスカラ型として示されている。別の実施例においては、関節アームは、任意の適当な種類であり得、より多い若しくは少ないエンドエフェクタを有し得る。図2乃至図2Aにおいて見て取れるように、上方アーム26は、枢動自在にマウントされ(以下において詳しく説明する)、支持構造部22に対して、ショルダ(shoulder)軸T1の周りを回転する。支持構造部22に対する上方アーム26のピボットマント部は、ショルダ接続部(ジョイント)(joint)27を形成する。前方アーム30は、上方アーム28に枢動自在にマウントされている。前方アーム30と上方アーム26との間のピボット接続部29は、回転軸T2を伴うエルボー(elbow)接続部として言及され得る。エンドエフェクタ32A、32Bは、回転軸W(図2参照)を有するリスト(wrist)接続部において前方アーム30に枢動自在にマウントされている。前述したように、例示的な実施例における駆動システム26は、以下において詳しく説明するように、Z駆動部34、ショルダすなわちT1軸駆動部36、及び1つ以上の他の回転軸の周りに1つ以上のアームリンクを駆動する駆動部38を有し得る。例示的な実施例においては、Z駆動部34及びT1駆動部は、支持構造部22にマウントされている。駆動部38はアーム24にマウントされている。
【0012】
再度図2を参照すると、支持構造部22は、かかる支持構造部を取り囲む周囲ケーシング27Cを伴い示されている。支持構造部22は図5Bにおいて最も良く見て取られる。支持構造部22は、柱部材42とエンドプレート44、46とを通常含んでいる。柱部材42は、支持構造22のほぼ全長にわたって延在する。エンドプレート44、46は、示したように、柱部材42の両端に接続されている。この実施例においては、支持構造部22は、モノコック若しくはセミモノコック構造である(すなわち、柱部材42により形成された壁部若しくはシェルが、荷重に耐え、支持構造部に伝えられた荷重を支える)。図5Bにおいて見て取れるように、柱部材42は、伸長された通常のチャネル形状を有する。柱部材は、後方部42Sと対向フランジ壁部42Wとを有し、チャネル形状を形成し、柱部材内の内部空間を画定し、かかる対向フランジ壁部42Wは、図示したように後方部から突出する。この実施例においては、柱部材42は、単一構造(すなわち、単一部材)である。柱部材は、ステンレススチール若しくはアルミニウム合金のような任意の適当な金属から、鍛造、鋳造、若しくは任意の他の適当な方法により形成され得る。別の実施例においては、柱部材は、プラスチック、セラミック、若しくは複合物を含む任意の他の適
切な材料から形成され得る。柱部材は、柱部材42のような類似の内部空間を画定するスペースフレーム構造と比較して、非常に堅固である。図5Cを参照すると、支持構造部22の断面図が示されている。図5Cにおいて見て取れるように、エンドプレート44、46は、通常のラビット(rabbit)接続構造を用いて、柱部材42の両端に接続されている。
【0013】
エンドプレート44、46は、駆動システム及び関節アームのタレットの部分を取り囲むのに十分なサイズである支持構造部の内部空間を画定することを助ける。少なくとも1つのエンドプレート46が、例えば、駆動システム26のための動力(power)及び通信信号をサポートする電子回路パッケージ(electronics package)Eのような要素のためのマウントプラットフォームを具備し得る。しかしながら、柱部材42は、主要な耐荷重部材として機能する。なぜなら、搬送装置20の実質的に全ての静荷重及び動荷重が、柱部材に最終的に伝達され、柱部材により支えられるからである。さらに、以下において説明するように、駆動システム26及びアーム24は剛性柱部材に直接設けられる。主要な駆動軸(例えば、基板搬送面の姿勢を画定し、エンドエフェクタ32A、32BのR、θ動作が伝えられる図1に示したショルダ軸T1及びZ駆動軸)を確立する駆動システム部が、柱部材に一体化される。従って、静荷重及び動荷重が駆動システム及びアームの動作により伝達される間か、若しくは搬送コンテナ20が横移動装置(traverser)にマウントされる場合には、横移動装置の動作により伝達される間、支持構造部22の剛性柱部材は、互いに関係する主要な駆動軸を堅固に固定する。
【0014】
図5Bにおいて最も良く見て取れるように、駆動システムのZ駆動部の直線レール26Rが柱部材と一体化されている。直線レール26Rは、駆動システムのZ運搬部50(図5A参照)のプラテン(platen)26Pのためのガイドレールである。従って、レール26RはZ軸の向きを画定することを助け、運搬部50はかかるZ軸に沿って移動される。この実施例においては、直線レール26Rは、柱部材42の後方部42Sに配置されるが、別の実施例においては、レールは、柱部材の任意の他の望まれる位置に配置され得る。また、この実施例においては、レール26Rは、柱部材42に固定されている。レールは、任意の適切な機械的な締結具により固定され得るか、若しくはろう付け、溶接、又は任意の他の適当な金属若しくは化学接着により取り付けられ得る。この実施例においては、柱部材の後方部42Sは、設置面42M(支持構造部22の断面図を示している図5Lを参照)を有し得、かかる設置面42Mには、柱部材42にマウントされたとき、直線レール26Rが設置される。設置面42Mは、例えば、機械加工若しくは他の適当な形成プロセスにより、設置面42M同士が実質的に平行であり(例えば、左側及び右側設置面42Mが、実質的に平行であるか、若しくは望まれるならば、実質的に同一平面である)且つZs軸(図5C参照)に平行であるように形成され得る。かかるZs軸は、以下において説明するように、柱部材により画定される。別の実施例においては、スライドレールが、単一構造の柱部材に一体化されて形成され得る。
【0015】
さらに図5B乃至図5Cを参照し且つ支持構造部22及び駆動システム26の部分拡大断面図を示している図5Dを参照すると、柱部材42はカラー部(collar)48を有している。この実施例においては、カラー部48は、単一構造の柱部材42と一体化して形成されている。カラー部48は、示したように、柱部材の後方部42Sに配置されている。カラー部48は、図5Bに示したように、2つの直線レール26Rの間のほぼ中心に配置され得る。別の実施例においては、カラー部は柱部材の任意の他の望まれる位置に配置され得る。カラー部は、適当な堅固な取り付け具により、柱部材に機械的に取り付けられ得る。図5B乃至図5Dにおいて見て取れるように、カラー部48は、駆動システム26のZ駆動部のための基礎支持部を保持し、具備する。従って、駆動システムの3つの駆動部が、一体化カラー部48により、柱部材42Sに一体化されている。前述し且つ図5C乃至図5Dにおいて最も良く見て取れるように、この実施例においては、駆動システム26は、ボールネジ52を駆動するモータ54を通常含む直線駆動部であるZ駆動部34を有する。別の実施例においては、駆動システムは、Z軸駆動部を具備する任意の他の望まれる種類の直線駆動部を有し得る。モータ54は、ブラシレスのDCモータ、ACモータ、若しくはステッピングモータのような任意の適当なモータであり得る。ボールネジ52は、モータの出力シャフトに結合され得るか、若しくはモータ内に延在するシャフト伸長部52Eを有し得る。図5に示したように、モータロータ54Rが、かかるモータシャフト若しくはシャフト伸長部52Eにマウントされている。Z駆動モータ54は、モータシャフト若しくはシャフト伸長部にマウントされた適当なエンコーダ54Eをも有し得、かかるエンコーダ54Eは装置コントローラ400(図1参照)と共に望まれるモータ制御を容易にする。
【0016】
図5Dにおいて見て取れるように、カラー部48は、中心軸Zsを伴う穴部48Bを有している。ボールネジ52は、適当なベアリング53により、穴部46Bにおいて保持されている。よって、ボールネジ52は、カラー部における穴部48Bの中心軸と同軸であり、且つボールネジの中心軸、若しくはモータ54により回転されるとき、ネジにより提供される動作のZ軸は、カラー部48における穴部48Bの中心軸Zsと実質的に一致する。よって、穴部の中心軸Zsは、Z駆動部34の動作のZ軸を画定する。さらに、直線レール26Rは、ボールネジ52の実質的に中心軸である軸Zsに実質的に平行に設けられ(前述したように、軸Zsに対する設置面42Mの平行性から生ずる)、レール26Rとボールネジ52とは、共通の剛性柱部材42に保持されているので、これは、レール26R(及びレールに乗るZ運搬部50)とZ軸にZ運搬部50を駆動するボールネジ52との間に最初に設けられた平行状態は、全ての時間において堅固に維持される。搬送装置20の操作の間の駆動システム26及び支持構造部22における静荷重及び動荷重は、ボールネジとレールとの間のアライメントを少しも変化させず、Z軸とショルダ回転軸T1(以下において説明するように運搬部50により画定される)との間のアライメントも変
化させない。よって、前述したように、搬送面の姿勢を画定する駆動システムの主要な運動軸T1、Zは、固定した向きを維持する。ボールネジ52は、図5Dにおいて示したような適当な支持リング51によりカラー部48に垂直に固定されている。示した実施例においては、カラー部48は、モータ54のためのハウジングを形成するように延在する。モータステータ54Sが、カラー部の穴部48B内にマウントされ得る。別の実施例においては、Z駆動モータが、柱部材から支持されるセパレートハウジング内に存在し得、柱部材のカラー部を保持するボールネジに対するモータの位置は、堅固に維持される。図5Cにおいて見て取れるように、ボールネジ52の上端は、エンドプレート44により保持されている。適当なベアリングが、ボールネジの端をエンドプレート44に接続している。この実施例においては、エンドプレート44は、ボールネジ及び支持ベアリングの端を保持する穴部すなわち凹部を有する。エンドプレートにおける穴部は、軸Zsに沿って調整されたボールネジと同軸であるように設けられ得る。別の実施例においては、エンドプレートにおけるボールネジの端を保持する凹部若しくは任意の他の保持マウント部は、ボールネジと同軸であるように変更自在に調整され得る。
【0017】
図5Cにおいて見て取れるように、柱部材の後方部42Sは、搬送装置20をプロセス装置10のフロント部12にマウントする(例えば、フロント部の所定の構造部に直接マウントするか、若しくは横移動部にマウントする)のに使用されるマウントシステム60を有している。柱部材の側面におけるマウントシステム60は、搬送装置20を横移動部/フロント部の所定の構造部に接続する単一のマウント部として機能する。従って、理解され得るように、更なる改良は、マウントシステム60に対する駆動システム要素同士の間にわたる非常に剛性構造のために、搬送装置の操作の間、駆動軸及び搬送装置の基板搬送面のアライメントを維持する。マウントシステム60は運動学的(kinematic)な結合部を含み、かかる運動学的な結合部は、望まれる位置及びフロント部12の参照フレームに対する望まれる向きに支持構造部22及び装置20を配置することを画定する。理解され得るように、マウントシステム60の位置画定特徴部は、搬送装置のZ軸及びT1軸(図1参照)に対する望まれる関係を有するように設けられ得る(以下において見て取れるように、T1軸の位置決めは、軸T1を確立する駆動部38とマウントシステム60との間の、例えば柱部材42のような介入構造部の高い剛性と共に、Zs/Z1軸に関連付けられ得るか、若しくは基礎とされ得、これは、Zs/Z1軸に対して位置画定特徴部を設定することを可能にし、装置20がマウントされたとき、T1軸が、フロント部の参照フレームに対し望まれる位置にあることを確実にする)。駆動システム26の望まれる軸(例えば、Z軸、T1軸)に関する軸か、若しくは基板搬送面に関するマウントシステム60の画定特徴部を設定する適当な例は、2005年6月15日に出願した米国継続出願第11/154,787号に開示されており、かかる米国継続出願第11/154,787号は全内容を本出願に組み込むものとする。よって、装置20に類似する異なる搬送装置におけるマウントシステム60の位置画定特徴部は、各装置の駆動軸に対する望まれる公知の関係を反復自在に確立され得、異なる装置同士の間において大きな変化は実質的に無い。この実施例においては、マウントシステム60は、上方支持棚部62と下方マウント支持部62とを有している。図6Aは、支持構造部の頂部平面図であり、支持棚部62及び下方支持部64の頂部平面図を示している。図6Bは、支持構造部22の部分拡大斜視図であり、図6Bにおいては、下方支持部64が部分的に可視され得る。マウントシステムの上方支持部62及び下方支持部64の構造は、単に例示的なものであり、別の実施例においては、支持構造部のマウントシステムの支持部は、任意の望まれる構造を有し得る。この実施例においては、上方支持棚部62及び下方支持部64は、通常のフランジであり、単一構造の柱部材42として一体化されて形成され得る。上方支持棚部62及び下方支持部64は、柱部材42の後方部42Sから外方向に突出している。図5Dにおいて最も良く見て取れるように、上方支持棚部62及び下方支持部64は、互いに垂直にオフセットされている。上方支持棚部と下方支持部との間の垂直オフセット距離は、駆動部26及び可動アーム24アッセンブリのCGが、可動アーム24及び運搬部55のZ位置にかかわらず、上方支持部と下方支持部との間に配置されるように設定され得る。図5Cにおいて見て取れるように、この実施例においては、上方支持棚部は設置面62Sを有している。設置面62Sは、支持棚部フランジにおける凹部62Rに配置されている。凹部62Rは、フロント部構造の適合支持部(図示せず)の接合部(図示せず)を収容するサイズに形成され得る。上方支持棚部は、ピン62Pのような位置画定特徴部(適当な締結具により設けられ得る)を有し得る。ピン62Pは、フロント部12の適合部(図示せず)におけるホールすなわち溝部(図示せず)と接触し得、X方向若しくはY方向のどちらか又は両方に装置20の位置を画定するか、若しくは固定する。下方支持部64は、図5C及び図6Aにおいて示したように垂直接触面64Sを有し得る。接触面64Sは、フロント部構造における適合面(図示せず)に隣接し得、Y方向に装置20を制限する。下方支持部は、位置画定ピン64P1、64P2(例えば、適当な締結具により形成される)をも有し得る。位置画定ピン64P1、64P2は、図6Aにおいて示したように、下方支持部の両端に配置され得るか、若しくは任意の望まれる位置に配置され得る。ピン64P1、64P2は、フロント部12の適合構造部(図示せず)における収容装置を係合することにより、Z方向に装置を固定するのに役立ち得る。理解され得るように、位置画定ピン62P、64P1、64P2と適合構造部との間の接触は、所定の値を越える張力を生成することを避けるように形成される。よって、位置画定ピン62、64P1、64P2は、フロント部の参照面に対する装置20のマウント面(3点を提供する)を画定するために協働する。
【0018】
再度図5C乃至図5Dを参照すると、駆動システム26のZ駆動部34は運搬部50を有し、運搬部50は、フレーム、シャーシ、若しくはケーシング70を有している。プラテン26P(図5B参照)が運搬部ケーシング70に接続され、前述したように、運搬部が装置のZ軸に沿ったレール26Rに沿って滑動することを可能にする。図5Cにおいて見て取れるように、運搬部ケーシング70はボールネジ滑動部56に接続され得る。理解され得るように、モータ54によるボールネジ52の回転は、ボールネジ滑動部56(ケーシングにより回転自在に保持されている)を装置のZ軸に沿ったボールネジに沿って軸方向に移動せしめる。よって、運搬部ケーシング70は、ボールネジ滑動部56の起動力(impetus)の下においてZ軸に沿って移動される。前述したように、この実施例においては、駆動部34(T1すなわちショルダ軸の周りを回転駆動させる)は運搬部50に接続されている。駆動部34は、モータとシャフトアッセンブリ74とを含み得る。この実施例におけるモータT2は、運搬部ケーシング70の内側に収容され得るか、若しくは配置され得る。別の実施例においては、T1軸回転のモータ動力部が任意の望まれる方法によりZ軸運搬部にマウントされ得る。モータ72は、ブラシレスのDCモータ、ACモータ、若しくはステッピングモータのような任意の適当なモータであり得る。この実施例においては、モータステータ72Sはケーシング70に堅固に接続されている。モータロータ72Rは、シャフトアッセンブリ74のシャフト76に堅固にマウントされている。シャフトアッセンブリ74は、シャフト76、ベアリング78、滑動リング80、及びエンコーダ82を通常有している。この実施例においては、シャフトアッセンブリ74は、図5Dにおいて見て取れるように、運搬部ケーシング70の内側に配置されている。別の実施例においては、シャフトアッセンブリは任意の他の適当なマウントアレンジメントを有し得る。シャフト76は、ベアリング78により、ケーシング70において回転自在に保持され、シャフト軸のアライメントは、示したように確立されている。ケーシング70は、圧力嵌め(force fit)によりベアリング78を収容する穴部70Bを有している。理解され得るように、ケーシング70の姿勢は、例えば、ケーシングプラテン26Pとの間の可変シム(shim)を用いるような適当な調整デバイスにより制御され得、穴部の中心線は、フレーム構造部22のZs軸(若しくは装置のZ軸)に対して平行であるか、若しくは正しい位置にある。固定具が運搬部穴部の中心線のアライメントを設定するために使用され得、かかる固定具は、前もって組み込んだ米国継続出願第11/154,787号に開示されており、装置20に類似する異なる搬送装置の反復自在なアライメントを提供する。ケーシング70におけるベアリング78によりマウントされたシャフト74は、穴部中心線に調整されるので、装置のZ軸に実施的に平行である。シャフト76の回転軸は、ショルダ回転軸T1であり、前述したように、回転軸T1は、Z軸(アームの直線位置の軸)に正確に配置される。さらに、ここで再び、装置20の動作の間か、若しくは装置が横移動部にある場合には、横移動部(図示せず)の動作の間に生成される静荷重及び動荷重状態が、T1軸とZ軸との間の明らかな調整不足を生成しないことが理解され得る。なぜならば、これら軸のアライメントは共通の剛性部材つまり支持構造部の柱部材42により設定されているからである(すなわち、T1軸は柱部材に直接依存しており、Z軸は、前述したように、柱部材により画定される)。これは、装置のエンドエフェクタ32A、32B(図2参照)の全ての動作(Z、θ、R)が、常時予測可能且つ反復可能であることを可能にする。エンコーダ82は、シャフト76にマウントされ得、コントローラ40D(図1参照)に通信自在に接続され、モータ72の望まれる制御を提供する。シャフト76は中空であり得る。滑動リング80は、シャフト76にマウントされ得る。滑動リングは、アーム24における装置に動力及び通信を提供する適当な供給源及び信号結合部に接続される。図5Dにおいて見て取れるように、シャフトアッセンブリ74は、空気供給
ライン(pneumatic feed line)84を有し得る。かかる空気供給ライン84は、シャフト76の内部を経て、供給ポートまで延在する。ケーシング70は、空気供給ラインに対するシャフトアッセンブリにおける供給ポートに一致する適当な空気結合部(pneumatic coupling)を有し得、シャフト76の連続する回転(及びショルダ結合軸T1の周りのアームの連側する回転)を可能にする。
【0019】
再度図4A、図4Bを参照すると、アームアッセンブリ24が運搬部50にマウントされている。特に、アームアッセンブリ24の上方アーム28が、運搬部50(図5D参照)にマウントされたシャフト76の端部76Eにマウントされている。図7はアームアッセンブリ24の上方アーム28の斜視図である。図7Aは示した実施例の断面図であり、図7B及び図7Cは、示した実施例の上方アーム28の頂部斜視図及び底部斜視図である。この実施例においては、上方アームは、下部すなわちタレット84と上部86とを有している。タレット84は、中空の通常のシリンダ形状を有している。上部86は、示したようにタレット84に従属している。上方アーム28は単一部材であり(若しくは単一構造として言及され得る)、タレット及び上部86は単一構造の上方アーム28に一体化されて形成され得る。上方アーム28は、鋳造、鍛造、若しくは任意の他の適当な形成プロセスにより形成され得る。上方アームは、アルミニウム合金、ステンレススチールのような金属、又はプラスチック、セラミック、若しくは複合物のような非金属材料から形成され得る。別の実施例においては、上方アームのタレット及び上部は、任意の他の適当な形状を有し得る。図7Bにおいて見て取れるように、上部は、頂部86Tにおいてアクセス経路すなわち開口部86Aを有している。アクセス経路86Aは、任意の適当な形状を有し得、以下において説明するように、オペレータが上方アーム28における要素に容易にアクセスすることを可能にするようなサイズに形成される。タレット84は、かかるタレット84の内部の要素にアクセスするためのかかるタレット84に形成されたアクセス経路84Aをも有している。この実施例においては、タレット84におけるアクセス経路84Aは、上部86がタレットから突出する方向の実質的に反対のタレットのサイドに配置されて示されている。別の実施例においては、タレットにおけるアクセス経路は、タレットの内部要素にアクセスするのに適した任意の望まれるサイドに配置され得る。図7Bにおいて示したように、タレット84は、タレットを照らすか、若しくは望まれるようにアクセスする他の開口部84Hを含み得る。外側カバー部28C(図4A参照)がタレット84を覆うようにマウントされ得る。タレット84の底部の端部84Lは、上方アームを運搬部50におけるT1回転シャフト76の端部73Eに接続するマウントハブすなわち結合部84Hを有し得る。図7A及び図7Cにおいて最も良く見て取れるように、タレット84のマウント結合部84Aは、シャフト76の端部76E(図5D参照)に実質的に一致するように配置されたマウント面を有している。シャフト76にマウントされると、タレット84は、上方エンドプレート44における開口部44D(図5C及び図6A参照)を経て、支持構造部22により画定される空間22S(図5A参照)に延在する。タレット結合部84Hは、適当な締結具によりシャフト76の端部76Eに取り付けられ、かかる締結具は、タレットを経てシャフト結合部に共有の荷重及び軸方向の荷重を伝達し得る。上方アーム28は、図4Bにおいてマウント位置に示されている。上方アーム部86は端部プレート44上に配置されている。理解され得るように、上方アーム28は、シャフト76により軸T1(図2参照)の周りを連続して回転させられ得る。一体化タレット84及びアーム部86を伴う単一構造の上方アーム28は、カップリング接続(coupling connection)を排除し、可動アーム26のアッセンブリを単純化する。さらに、シャフト76と比べてより大きなねじれ(torsional)エリアを有するタレット84は、T1駆動モータ74が、支持構造部における下部(すなわち、Z運搬部の内側)にマウントされることを可能にし、低い装置66を達成し、装置マウント部における転倒を低減する一方、駆動シャフト76を短く保ち、シャフトの曲がりを低減しアームの正確な動作を改善する。
【0020】
図4Bにおいて見て取れるように、駆動システム26は、アーム24に取り外し自在に取り付け可能である駆動モジュール38を有している。駆動モジュール38は、以下においてより詳しく説明するように、異なる駆動特徴を有する多数の駆動モジュール38A(図4Bにおいて簡単に示してある)と交換自在である。駆動モジュール38は図9において最も良く見られる。駆動モジュールは、ケーシング90とモータクラスタ92とを通常有する。モータクラスタ92は、ケーシング90内に配置されている。ケーシング90は、駆動モジュール38を上方アーム28の所定の部分86にマウントする(上方アーム部
86の平面図である図8参照)。例示的な実施例においては、モータクラスタ92は、3つのモータアッセンブリ94A、94B、94Cを含んでいる。別の実施例においては、モータクラスタはより多い若しくはより少ないモータアッセンブリを有し得る。駆動システムの他の交換自在なモジュールが、アッセンブリ94A、94B、94Cに類似した2つ若しくは1つのモータアッセンブリを伴うモータクラスタ92Aを有し得る。各モータアッセンブリ94A、94B、94Cは、この実施例においては、類似している。よって、モータアッセンブリ94A、94B、94Cは交換自在である。モータアッセンブリ94A、94B、94Cは類似しているので、モータアッセンブリは、モータアッセンブリ94Aに関して、以下において詳しく説明される。モータアッセンブリ94Aは、モータ96Aとシャフト98Aとを有している。モータ96Aは、ブラシレスのDCモータ、ACモータ、若しくはステッピングモータ又は任意の他の適当な種類のモータであり得る。モータアッセンブリ94Aは、ケーシング90からユニットとして取り外し自在であり得る。別の実施例においては、モータ及びシャフトは、モジュールケーシングから別々に取り外し自在であり得る。モータアッセンブリ94A、94B、94Cは、示したように、モジュールケーシング90に配置されている。この実施例においては、ケーシング90は、各モータアッセンブリ94A、94B、94Cのためのハウジング90A、90B、90Cを有し得る。一例として、ケーシング90は、T2モータアッセンブリ94A(すなわち、図2に示したT2/エルボー軸の周りの独立した回転を駆動するモータアッセンブリ94A)のためのモータアッセンブリハウジング90Aと、W1モータアッセンブリ94B(すなわち、図2に示したW1/リスト軸の周りの独立した回転を駆動するモータアッセンブリ94B)のためのハウジング90Bと、第2W1モータアッセンブリ94C(すなわち、W1/リスト軸の周りの第2エンドエフェクタの独立した回転を駆動するモータアッセンブリ94C)のためのハウジング90Cとを有し得る。別の実施例においては、モジュールケーシングは、モータクラスタのモータアッセンブリのための共通のハウジングを形成するような形状に形成され得るか、若しくは任意の他の望まれるアレンジメントを有し得る。理解され得るように、少ないモータアッセンブリ(少ない回転軸の周りの独立した回転を独立して駆動する)を伴うモジュール38Aに類似する他の交換自在なモジュールにおいては、ハウジング90A乃至90Cに類似した1つ以上のハウジングは、かかるハウジングに配置されるモータアッセンブリを有していなくともよい。例えば、第2W1モータアッセンブリを有していない駆動モジュール38Aの場合には、第2W1モータアッセンブリを収容するモータアッセンブリハウジング(ハウジング90Cに類似している)は、空である。モータクラスタが3つよりも多いモータアッセンブリを有する別の実施例においては(ここでは、例示目的のためだけに説明される)、モジュールケーシングにはより多くのモータアッセンブリハウジングが設けられ得る。他の別の実施例においては、モジュールケーシングは、モータアッセンブリの数に応じてハウジングを有し得、駆動モジュールに設けられる。よって、例えば、3つのモータアッセンブリのために、3つの対応するハウジングがあり、2つのモータアッセンブリのために、2つの対応するハウジングがある。この場合においては、モジュールケーシング及びモジュールは交換自在である。つまり、それぞれが異なる交換自在なモジュールのモジュールケーシングは、類似する通常の構造及びモジュールを上方アーム28にマウントするマウント特徴部を有している。
【0021】
図4Bから理解され得るように、可動アームアッセンブリ24の構造は、望まれる数のモータアッセンブリを有するモータクラスタ92、92Aと共にモジュール38、39Aを選択することにより選択され得、望まれる数の独立した回転軸をアームに設ける。一例として、アーム26は、3つの独立した回転軸(例えば、軸T2の周りの前方アームリンク30の独立した回転、リスト軸W1の周りの両エンドエフェクタ32A、32Bの独立した回転)(軸T1及びZに加えて)を有するとして示されている。よって、3つの独立した回転軸を伴うアームアッセンブリ26を設けるならば、駆動モジュール38が選択され、取り付けられる。もし、2つ若しくは1つの独立した回転軸を伴う可動アーム26を設けることが望まれるならば、対応する数のモータアッセンブリを有するモータクラスタ92Aを伴う交換自在な駆動モジュール38Aが、選択され、上方アーム28に取り付けられる。
【0022】
前述したように、図面に示したモジュールケーシング90の構造は、単に例示目的のためであり、別の実施例においては、モジュールケーシングは任意の他の望まれる構造を有し得る。ケーシング90は、モジュール38、38Aを上方アーム28に取り付けるマウントフランジ90Fを有し得る。この実施例においては、マウントフランジは、外方に突出し、上方アームのタレット84の内側に配置された適合面86S(図7参照)と重なる設置面90S(図9参照)を画定する。図7A及び図9から理解され、図7において部分的に見て取れるように、上方アームにマウントされたとき、駆動モジュール38は上方アームのタレット84内に配置される。別の実施例においては、モジュールケーシングは任意の他の望まれる構造のマウント特徴部を有し得る。上方アーム28にマウントされたとき、モータクラスタシャフト98A乃至98Cのシャフト端部は、上方アーム部86内に配置される。図9において見て取れるように、この実施例においては、モジュールケーシングのハウジング90A乃至90Cは、マウントフランジ90Fに対して垂直にずらされている。ハウジング90A乃至90Cの垂直のずれは、対応するシャフト98A乃至98Cの端部における歯状プーリ110A乃至110C(図8参照)を同程度の垂直なスペースに位置決めし、各プーリが対応する伝達部112、114、116に接続されることを可能にする。よって、前述したように、モジュール38、38Aの実質的に同一のモータアッセンブリ94A、94B、94Cは、完全に交換自在であり、互いに交換され得、各モータアッセンブリが、違い及び調整なしに、任意のハウジング90A、90B、90Cに配置され得る。この実施例においては、ハウジング90A、90B、90Cの頂部上のシャフトプーリ110A、110B、110Cの各端部の距離(standoff)は同じである。図9において見て取れるように、この実施例においては、T2モータアッセンブリ94Aのためのハウジング90が最も高い位置に配置され、W1モータアッセンブリ94B(エンドエフェクタ32Aを駆動する)のためのハウジング90Bが中間位置に配置され、第2W1モータアッセンブリ94Cのためのハウジング90C(エンドエフェクタ32Bを駆動する)が最も低い位置に配置されている。
【0023】
図8を参照すると、上方アーム28の頂部平面図が示されている。図8において見て取れるように、同軸シャフトアッセンブリ40が、上方アーム28の外側端部にマウントされている。前述したように、前方アーム30が、同軸シャフトアッセンブリ40により、上方アームに枢動自在にマウントされる。同軸シャフトアッセンブリはエルボー回転軸T2を画定する。図10乃至図10Aは、前方アーム30の斜視図及び頂部平面図をそれぞれ示している。図11乃至図11を参照すると、前方アーム30の断面図及び同軸シャフトアッセンブリ40の断面図をそれぞれ示している。図11Aにおいて最も良く見て取れるように、この実施例における同軸シャフトアッセンブリ40は、3つの同一中心のシャフト124、126、128を含んでいる。シャフト124、126、128は、通常の入れ子になったアレンジメントで、適当なベアリングBにより、互いにそれぞれ支持されている。外側シャフト124は、ベアリングBBにより上方アームにおいて保持されている。W軸シャフトアッセンブリ40のシャフト124、126、128は、共通の回転軸T2の周りを回転し得る。別の実施例においては、同軸シャフトアッセンブリは、より多い若しくはより少ない同軸シャフトを有し得る。図11Aにおいて見て取れるように、外側シャフト124は前方アーム30に固定され、前方アーム及びシャフト124は、ユニットとして、軸T2の周りを回転する。外側シャフトは、伝達部112(この実施例においては、エンドレスループ伝達部であるが、任意の適当な伝達部が使用され得る)のための遊びプーリ112Pを有し、かかる伝達部112は、かかる外側シャフトに固定されている。遊びプーリ112P及びシャフト124はユニットとして回転する。中間シャフト126は、かかる中間シャフト126に固定された遊びプーリ114Pを有している。この実施例における中間シャフト126は、一体化プーリ114Pを伴う単一部材として示されているが、別の実施例においては、遊びプーリは任意の適当な手段によりシャフトに固定され得る。遊びプーリ114Pは、この実施例においては、エンドレスループである伝達部114の一部である。中間シャフト126は、かかる中間シャフト126の上端を、中間伝達プーリ120Pに堅固に固定されている。よって、シャフト126及びかかるシャフト126に固定されたプーリ、遊びプーリ114及び伝達プーリ120Pは、ユニットとして回転する。遊びプーリと伝達プーリとの間の減速比は、約2:1であるが、任意の他の望まれる減速比が使用され得る。内側シャフト128は、伝達部116のために、かかる内側シャフト128に固定された遊びプーリ116Pを有している。シャフト128は、一体化遊びプーリ116Pを伴う単一部材であり得る。シャフト128は、示したように、かかるシャフト128の上端部に固定された伝達プーリ122Pを有している。よって、シャフト128及びかかるシャフト128に固定されたプーリ116P、122Pはユニットとして回転する。図8において最も良く見て取れるように、モータクラスタにおけるモータアッセンブリの各駆動プーリ110A、110B、110Cは、伝達ベルト112、114、116により、シャフトアッセンブリ40の対応するプーリ112P、114P、116Pに接続されている。駆動プーリ110Aはベルト112によりプーリ112Pに接続され、駆動プーリ110Bはベルト114によりプーリ114Pに接続され、駆動プーリ110Cはベルト116によりプーリ116Pに接続されている。ベルトテンショナ(tensioner)150A、150B、150Cが、上方アーム28にマウントされ、以下において説明するように、伝達ベルトにおける望まれる張力を提供して維持する。よって、駆動プーリ110A(モータアッセンブリ94Aにおける駆動プーリ)は前方アームを軸T2の周りに回転させ、駆動プーリ110B(モータアッセンブリ94Bにおける駆動プーリ)は伝達プーリ120Pを軸T2の周りに回転させ、駆動プーリ110L(モータアッセンブリ94Cにおける駆動プーリ)は伝達プーリ122Pを軸T2の周りに回転させる。示した実施例においては、遊びプーリに対する駆動プーリの直径比は、約1:4であり得るが、任意の適当な直径比が使用され得る。
【0024】
図10乃至図10A及び図11を参照すると、伝達プーリ120P、122Pは、伝達部120、122により、対応する遊びプーリ120I、122I及び同軸シャフトアッセンブリ140にそれぞれ接続されている。図11において最も良く見て取れるように、同軸シャフトアッセンブリ140は、前方アーム30における適当なベアリングにより保持されている。同軸シャフトアッセンブリの断面図が図11Bに示されている。同軸シャフトアッセンブリ140は、共通の回転軸W1の周りを回転するように回転自在に支持されている同一中心の外側シャフト142及び内側シャフト144を有している。シャフト142、144には、滑動リング及び気体供給ラインが設けられ、これらにより、シャフトは連続した回転が可能になる。外側シャフト142は遊びプーリ122Iを有し、かかる遊びプーリ122Iは、かかる遊びプーリ122Iに固定された伝達部122のためのものであり、シャフト及び遊びプーリはユニットとして回転する。下方エンドエフェクタ32Bが外側シャフト142に固定され、エンドエフェクタ32B及びシャフト142はユニットとして回転する。内部シャフト144は、遊びプーリ120Iを有し、かかる遊びプーリ120Iは、かかる遊びプーリ120Iに固定された伝達部120のためのものであり、シャフト及び遊びプーリはユニットとして回転する。上方エンドエフェクタ32Aが、内部シャフト144に固定され、シャフトとのユニットとして回転する。図10及び図11において見て取れるように、伝達プーリ120Pを遊びプーリ120Iに、伝達プーリ122Pを遊びプーリ122Iにそれぞれ接続する伝達部120、122は、この実施例においてはエンドレスループ伝達部である。別の実施例においては、任意の適当な伝達部が使用され得る。伝達プーリ120P、122Pと遊びプーリ120I、122Iとの間の減速比は、約1:2であり得るが、任意の望まれる減速比が使用され得る。図10Aにおいて見て取れるように、テンショナ120T、122Tが、前方アームにマウントされ、伝達ベルト120、122に対してバイアスを加えられ、望まれるベルト張力を生成する。図3Aを参照すると、可動アーム24及びかかる可動アームに配置された駆動システムの部分の頂部平面図が示されている。
【0025】
図3Aは、駆動モジュール38のモータアッセンブリ94A、94B、94Cを示している。各モータアッセンブリは、伝達部112を介してT2軸回転を駆動し、伝達部114、116及び2次伝達部122、120を介して2つのエンドエフェクタ32A、32Bの独立したW1軸回転を駆動するために接続されている。理解され得るように、より少ないモータアッセンブリを伴う駆動モジュール38Aが駆動システムにマウントされる場合、例えば、モータアッセンブリ94A、94C(T2軸回転及び単W1軸回転用アッセンブリ)に類似したモータアッセンブリを有し、アッセンブリ94Bに類似したモータアッセンブリを有していない(すなわち、独立した第2W1軸回転がない)場合、より少ない伝達部がアームに配置される。例えば、もし、駆動モジュールが、アッセンブリ94Bに類似するモータアッセンブリを有していないならば、伝達部114及び120はアームに取り付けられていない。よって、エンドエフェクタ32Aに類似する1つのエンドエフェクタは、軸W1の周りを独立して回転自在ではないか、若しくはアームから取り除かれ得る。よって、アーム構造は、駆動システムに取り付けられるべき駆動モジュール38、38Aを選択することにより選択自在である。
【0026】
図3A、図8、図10を参照する。前述したように、各伝達部112、114、116、120、122は、対応するベルトテンショナ150A、150B、150C、120T、122Tにより張力を加えられている。この実施例においては、テンショナ150A、150B、150C、120T、122Tは、類似しており、以下においては、図10Aにおいて最も良く見て取れるテンショナ122Tに関して説明される。別の実施例においては、任意の適当なテンショナ構造が使用され得る。テンショナ122Tは、可動ベース部162に枢動自在にマウントされたローラ部160を通常含んでいる。この実施例においては、ベース部162は、一端においてピン留めされた枢動自在なリンクであるが、任意の適当な可動ベース部が設けられ得る。可動ベース部162は、位置固定部を有し得、示した実施例においては、ベース部の側面に対する締結具にトルクを加えることにより設けられる摩擦固定部162Lであり、かかる位置固定部はベース部及びテンショナ122Tをかかるテンショナが伝達部122と係合し適切な張力を加える位置に固定する。可動ベース部162は、バネ若しくは気圧式(pneumatically)部材(図示せず)により弾性的にバイアスされ得、伝達部122に対する張力ローラ160を駆動させる。示した実施例においては、テンショナ122Tは適当な力変換器164を含み得る。力変換器164は、伝達ベルト122に対するテンションローラ部160により生成された力に対応する信号を生成する圧電変換器、ひずみゲージ、電子光変換器のような任意の適当な種類であり得る。図10Aに概略を示した力変換器164は、使用される変換器の種類に適合するテンショナの任意の望まれる位置にマウントされ得る。変換器164は、ワイヤレスか若しくはワイヤにより接続され得る適当な通信リンク(図示せず)によりコントローラ400(図1参照)に接続される。コントローラ400はプログラムモジュール401、404を有し、かかるプログラムモジュールの少なくとも1つは、力変換器からの信号を記録し、かかる信号から、伝達部122における張力ローラ部160により加えられる張力を決定する適当なプログラムを有している。さらに、コントローラにおけるプログラムは、伝達部におけるテンショナ122Tにより加えられる力が望まれる張力を伝達部に供給するときを決定し得る。その後、コントローラプログラムは、適当なユーザインターフェース(図示せず)における表示を可能にするコマンドを送信し、かかる表示は、例えば、サウンド装置から音を発するか、若しくはユーザインターフェイスにおける表示ライトを点灯し、伝達部における望まれる張力が達成されたことを示す。その後、テンショナ122Tの可動ベース部は、所定の位置に固定され得る。このシステムは、駆動システム26をセットアップするとき、当てずっぽう(guess work)を解消し、伝達部の過剰な張力を防止する。コントローラ400は、伝達部の操作状態をモニタするテンショナの力変換器からの信号を周期的にサンプリングするようにプログラムされ得る。コントローラは、伝達部の張力のための操作範囲をプログラムされ得、伝達部の張力が範囲外にあるとき、適当な指示を生成するようにもプログラムされ得る。よって、駆動システム衛生(health)モニタシステムが設けられ得る。
【0027】
特定の実施例が説明されたが、現在において予測されなかった若しくは予測され得なかった様々な代替、変更、変形、改良及び実質的に均等なものが、出願者若しくは他の当業者により考えられ得る。よって、出願及び補正され得る特許請求の範囲は、このような代替、変更、変形及び実質的に均等なものの全てを含むことを意図している。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】図1は、1つの例示的な実施例による本発明の特徴を含む基板搬送装置、及び基板搬送コンテナCの斜視図である。
【図2】図2は、図1に示したプロセス装置の基板搬送装置の斜視図である。
【図2A】図2Aは、簡潔性のために、幾つかの部分を除去した図2における基板搬送装置の斜視図である。
【図3】図3は基板搬送装置の平面図である。
【図3A】図3Aは基板搬送装置の部分拡大平面図である。
【図4A】図4Aは搬送装置の駆動システムの部分を示す基板搬送装置の分解斜視図である。
【図4B】図4Bは搬送装置の駆動システムの部分を示す基板搬送装置の分解斜視図である。
【図5A】図5Aは搬送装置駆動システムの線形駆動運搬部を伴う搬送支持構造部斜視図である。
【図5B】図5Bは駆動運搬部が取り除かれた搬送装置支持構造部の斜視図である。
【図5C】図5Cは図5Aにおける支持構造部の拡大部分断面図である。
【図5D】図5Dは支持構造部及び図5Aにおける線形駆動運搬部の一部の部分拡大断面図である。
【図6A】図6Aは支持構造部のマウントシステムを示す図5Aにおける支持構造部の頂部平面図である。
【図6B】図6Bは図5Aにおける支持構造部の部分拡大斜視図である。
【図7】図7は上方アーム及び図2における基板搬送装置の駆動システムの一部の斜視図である。
【図7A】図7Aは図7に示した上方アームの断面図である。
【図7B】図7Bは図7における上方アームの頂部斜視図である。
【図7C】図7Cは図7における上方アームの底部斜視図である。
【図8】図8は上方アーム部及び図7に示した駆動システムの部分の頂部平面図である。
【図9】図9は図2における基板搬送装置の駆動システムモジュールの斜視図である。
【図10】図10は図2における基板搬送装置の前方アームの斜視図である。
【図10A】図10Aは図10における前方アームの頂部平面図である。
【図11】図11は図10における前方アームの断面図である。
【図11A】図11Aは前方アームのエルボー関節部におけるシャフトシステムの部分断面図である。
【図11B】図11Bは前方アームのリスト関節部におけるシャフトシステムの部分断面図である。
【技術分野】
【0001】
本発明は基板搬送装置に関し、特に変更自在且つ交換自在である基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【0002】
エレクトロニクス及び電子デバイスにおける進歩は、2つの主な消費者の望みにより促進されてきた。この望みは、より複雑且つより小さなエレクトロニクス/電子デバイスとより安価なエレクトロニクス/電子デバイスを求めることである。エレクトロニクスの進歩において求められる進歩を遂げることが、エレクトロニクスの製造(設備、装置、若しくはプロセス)において望まれる。電子デバイスの製造施設における自動化の導入及び拡大は、主な消費者の望みとほぼ直接対応する2つの利益を達成する。エレクトロニクスの自動化製造は、製造の正確さとコストの低減とを提供する。自動化製造の改良された正確さは、電子部品の小型化を促進し、改良する。また、自動化されていない製造システムよりも1回限りのコストは高いが、自動化製造システムは略連続して操作され得、かかる自動化製造システムにおいて製造されたデバイスのための製造コストは最終的に低くなる。さらに、自動化されていない製造装置以上の自動化製造装置の精密さ/正確さの改良は、不合格品及び欠陥品を製造する商業上重要な低減をもたらし、組み立てられた装置の製造コストを低減する結果となる。製造に役立ち、自動操作を非常に使用する電子デバイスの製造を与えられたエリアは、様々なプロセスステーション同士の間においてフラットパネル(例えば、ウエハ、レチクル、ペリクル、フラットパネルディスプレイ)を操作し搬送する搬送装置、デバイス、ロボットと言及される装置である。クリーンルーム環境において使用する従来のロボットの一例が、1988年11月29日に取得された米国特許第4,787,813号に開示されている。かかる米国特許に開示された従来のロボットは支持アッセンブリを伴う駆動システムを有している。ロボットの第1アームが、支持アッセンブリにより回転自在に支持され、支持アッセンブリにより上げ下げされる。支持アッセンブリを回転させる駆動構造部がベース部にマウントされている。第2アーム及びエンドエフェクタを回転させる駆動構造部が支持アッセンブリの上方端にマウントされている。2003年10月21日に取得された米国特許第6,634,851号は、ベース部及びバックボーンを有する従来のワークピースハンドリングロボットの他の例を開示している。この従来のロボットのベース部は、直線駆動システム及びかかる直線駆動システム上にマストを有している。ショルダ駆動システムは、マスト及びかかるマストにマウントされた隣接アームリンクを回転させる。エルボー駆動部が、近い方のリンクにマウントされ、近い方のリンクに対して遠い方のリンクを回転させる。従来のロボットは、従属したエンドエフェクタを有している。理解され得るように、前述した従来のロボットは動作の自由度を制限されている。なぜなら、前述した従来のロボットは、ロボットのエンドエフェクタを独立して駆動する駆動システム若しくは独立した駆動軸を欠いているからである。この従来のロボットは、エンドエフェクタが独立して動作自在であるロボット構造を具備するように容易に形成することはできない。前述した従来のロボットは通常の従来のロボットの一例である。各ロボットは特定のアレンジメントのために特別に形成される。さらに、ロボット構造が設定されると、かかる構造は、固定され、主要な箇所は変更自在ではない。実際には、従来のロボットは、かかるロボットを実質的に解体し、ロボットを新しく再構築することなしに再構築することはできない。これは、従来のロボットの相互交換性と相互運用性を制限し、FABオペレータが多くの交換自在でない類似するロボットを通常有する結果となる。一例として、FABオペレータは、3軸、4軸、及び5軸ロボット(それぞれが、3軸、4軸若しくは5軸ロボットが適用されるプロセスステーション若しくは装置のためである)を有し得る。構造(例えば、従来のロボットはスカラ型である)は通常類似しているが、従来の3軸、4軸、5軸ロボットは交換自在ではなく、従来のロボットの再構築(例えば、従来の3軸ロボットを5軸ロボットに構築するか、若しくはこの逆)は、従来のロボットを完全に解体し再構築することを含んでいる。よって、もし、従来のロボット(例えば、3軸ロボット)が、例えば、メンテナンスのために、工程のラインから取り除かれ、異なる構造を有するスペアの従来のロボット(例えば、4軸ロボット)が利用可能ならば、異なる構造を伴うスペアの従来のロボットは、工程のラインから取り除かれたロボットと交換できないか、若しくは、スペアのロボットは、工程のラインから取り除かれたロボットと交換自在なように再構築され得る。よって、工程のラインから取り除かれたロボットが使用されていたプロセスステーションにおける従来のロボット生産の場合においては、工程のラインから取り除かれたロボットが再び戻されるか、若しくはFABオペレータが同一の構造を伴う他のロボットを取得するまで停止したままである。これは非常に好ましくない。
【0003】
前述した例から理解され得るように、従来のロボットの他の問題点は、ロボット動作の定義づけ(definition)(例えば、ロボットにおける望まれるポイント/位置の本当の位置とロボットコントローラにより支持された同一のポイントの予想された位置との間の差)が非常に制限されることである。この制限された動作の定義づけは、複数の要因により生ずるが、1つの大きな要因は、定義されていないロボット動作(ロボットコントローラにより検出されず、登録されていないロボット動作)である。定義されていないロボット動作の1つの原因は、ロボット(すなわち、ロボットの構造若しくは駆動システム)と、動荷重のために、ロボットを保持する基礎部との可撓性である。本発明の例示的な実施例は、以下において説明するように、従来のワークピース製造システムのこれらの問題点及び他の問題点を克服している。
【発明の概要】
【0004】
1つの例示的な実施例によれば、基板搬送装置が提供される。かかる基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを含んでいる。駆動部はフレームに接続されている。駆動部は、少なくとも1つのモータモジュールを有し、かかる少なくとも1つのモータモジュールは、各々が異なる予め決められた特徴を有している多数の異なる交換自在なモータモジュールから駆動部における配置のために選択可能である。関節アームは関節接合部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が異なる予め決められた構造特徴を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のための少なくとも1つのモータモジュールの選択によりなされる。
【0005】
他の例示的な実施例においては、基板搬送装置が提供される。かかる搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを含んでいる。駆動部はフレームに接続されている。関節アームは、アームの関節接合のために、駆動部に接続されている。アームは、上方アーム、前方アーム、少なくとも1つのエンドエフェクタリンクを有している。前方アームリンクは、上方アームリンクに枢動自在に結合され、エンドエフェクタは、前方アームに枢動自在に結合されている。駆動部は、第1駆動部ポーション及びかかる第1駆動部ポーションに接続されたモータモジュールを有している。モータモジュールは、少なくとも1つのモータを有し、かかる少なくとも1つのモータは、上方アームに対して前方アームを独立して枢動するか、若しくは前方アームに対してエンドエフェクタを独立して枢動するかのどちらかである。モータモジュールは、各々が異なる所定の特徴を有する異なる交換自在なモータモジュールから、第1駆動部ポーションへの接続のために、選択自在である。
【発明の詳細な説明】
【0006】
本発明の以下の形態及び他の特徴は添付図面を参照しつつ、以下において説明される。
【0007】
図1を参照すると、本発明の特徴を含む基板プロセス装置10の斜視図が示されている。本発明は図面に示した実施例を参照しつつ説明されるが、本発明は実施例の多数の代わりの形態に実施され得ることを理解されたい。さらに、任意の適切なサイズ、形状、若しくは種類の要素若しくは材料が使用され得る。
【0008】
図1に示した実施例においては、装置10が、例示の目的のために、一般的な基板バッチプロセス装置構造として示されている。別の実施例においては、基板プロセス装置は任意の他の適当な構造を有している。なぜなら、以下において説明されるように、本発明の特徴は、個別の基板プロセスのための装置、ストッカー、ソーター、計測装置、若しくは任意の他の望まれる装置を含む任意の基板プロセス装置構造に等しく適用可能であるからである。装置10は、200mm若しくは300mm半導体ウエハ、半導体実装基板(例えば、高密度配線)、半導体製造プロセスイメージプレート(例えば、マスク若しくはレチクル)、及びフラットパネルディスプレイ用の基板のような任意の望まれる種類のフラットパネル若しくは基板を操作(ハンドリング)し且つ処理し得る。かかる装置10はフロント部12とリア部14とを通常含んでいる。かかるフロント部12(ここでは、フロントと言う言葉は、便宜上、表示の例示的なフレームを明らかにするために使用され、別の実施例においては、装置のフロントは、装置の任意の望まれるサイドに設定され得る)は、FABから該装置10の内部への基板の搬送を可能にするインターフェースを具備するシステム(以下において詳しく説明する)を有している。フロント部12は、ハウジング16とかかるハウジング内に配置されている自動化要素とを通常有し、かかる自動化要素は、リア部14と外部に対するフロント部インターフェースとの間において基板を操作する。リア部14はフロント部のハウジング16に接続されている。かかる装置のリア部14は、制御された雰囲気(例えば、真空、不活性ガス)を有し得、基板を処理するプロセスシステムを通常含んでいる。例えば、リア部は心搬送チャンバを含み得、かかる中心搬送チャンバは、基板搬送部と、装置内において基板に望まれる製造プロセス(エッチング、材料堆積、清掃、加熱、検査等)を実施する周辺プロセスモジュールとを有する。前述したように、別の実施例においては、装置のリア部は、ソーター、ストッカー、又は他の望まれるプロセス若しくは操作装置のような基板をプロセスするように形成され得る。基板は、FAB内において、コンテナLでプロセス装置10へ搬送され得る。コンテナLは、フロント部インターフェースに接して配置され得るか、若しくは近接して配置され得る。かかるコンテナから、基板は、インターフェースを経て、フロント部12へフロント部における自動化要素を用いて搬送され得る。基板は、ロードロック14Lを介して、雰囲気制御されたリア部へ移送され得、かかる雰囲気制御されたリア部は、1つ以上のプロセスモジュールにおいて基板を処理する。その後、処理された基板は、かかる搬送とは実質的に反対に行われ、フロント部12へ戻され、搬送コンテナFが取り除かれる。
【0009】
エンビロンメンタルフロントエンドモジュールすなわちEFEMとして言及され得るフロント部12は、保護された環境若しくはミニエンバイロメントを画定するシェルすなわちケーシングを有し得る。かかる保護された環境若しくはミニエンバイロメントにおいては、基板は、FAB内における基板を搬送するのに使用される。搬送コンテナTとリアプロセス部14における制御された雰囲気への入り口を具備するロードロック14Lとの間の汚染を最小にしてアクセスされ操作され得る。ロードポートすなわちロードポートモジュール24(2つのロードポートモジュールが、例示目的のために、図1において示されているが、より多い若しくはより少ないロードポートモジュールが使用され得る)はが、フロント部とFABとの間のインターフェースを具備するフロント部の1つ以上の側面に配置される。ロードポートモジュールは、EFEM内部と外部との間に閉成自在なインターフェースを形成する閉成自在なポート30Oを有し得る。図1において見て取れるように、ロードポートモジュールは、基板搬送コンテナCのための支持エリアを有し得る。2次保持エリアが、かかる支持エリアの下方に設けられ得る。かかる2次保持エリアにおいて、搬送コンテナが一時的にバッファされ得る。搬送コンテナ支持エリアは、最終すなわち主要位置へのかかる搬送コンテナ支持エリアに支持された搬送コンテナCの自動動作を可能にする。
【0010】
前述したように、装置10のフロント部は、自動化要素を有し得、かかる自動化要素は、装置に接した搬送コンテナCと装置のフロント部若しくはリア部における様々なプロセスステーションとの間のワークピースの搬送を行う。図2を参照すると、装置10は、フロント部12において、ワークピース搬送装置すなわち基板搬送装置20を有し得、かかる基板搬送装置20は、コンテナC並びにフロント部12及びリア部14の任意の望まれるステーションにおける基板を取り上げる/配置するのに十分である到達範囲を有している。例えば、搬送装置20は、コンテナTの内側の基板を取り上げる/配置するように、閉成自在な開口部30Oを経て突出し得る。搬送装置20は、ロードロック14Lの内側に基板を取り上げる/配置するように突出し得る。よって、搬送装置20は、コンテナから基板を取り上げ得、ロードロック14Lの内側に配置するために、かかる基板を搬送し得、逆もまた行われ得る。搬送装置20は、支持構造部すなわちベース部22、可動アーム24、駆動システム26を通常有し得る。駆動システム26は支持構造部22に接続され、可動アーム24は駆動システム26に操作自在に接続され、かかる駆動システムはアームを移動させ得る。支持構造部26が、搬送装置20を装置10のフロント部12に取り付ける。装置10のフロント部12は、運搬部を伴う横移動部(traverser)(図示せず)を有し得、かかる運搬部は、フロント部に対して横方向(図1において矢印Xにより示された方向)に移動させ得る。この場合においては、支持構造部22は、横移動部の横方向運搬部に取り付けられ得る。これとは別に、フロント部は、横移動部を有していなくともよく、この場合においては、支持構造部はフロント部の所定の構造部に取り付けられ得る。搬送装置の支持構造部は、剛性耐荷重柱(spine)部材を有し得る。支持構造部は、フロント部にマウントするサイドマウントアレンジメントを有し得る。支持構造部のサイドマウント部は、以下において詳しく説明するように、支持構造部の剛性柱部材のサイドとは独立し得る。サイドマウント部は、搬送装置が交換自在であることを可能にする運動的(kinematic)結合を画定する。可動アーム24は、関節リンクと、基板を保持するエンドエフェクタとを有している。駆動システム26は、可動アームに接続された独立した駆動部を有し、アームのエンドエフェクタをR、θ、及びZ方向(図1において矢印R、θ、Zにより示されている方向)に移動させる。駆動システムのZ駆動部は、以下においてより詳しく説明するように、柱部材に一体化され得る。駆動部は、取り外し自在な駆動モジュールを有し得、かかる取り外し自在な駆動モジュールは、多数の異なる交換自在な駆動モジュールから選択可能であり、駆動システムの駆動構造を選定する。また、以下において説明するように、取り外し自在なモジュールは、他の交換自在なモジュールと交換され得、かかる他の交換自在なモジュールは、駆動システムの独立した駆動軸の数を変更し、駆動システムを変更する。これは、可動アームが変更されることを可能にする。可動アームは、タレット(turret)にマウントされ得る。タレット及び1つの関節アームリンクは、以下において説明するように、単一部材として一体化されて形成され得る。選択自在な駆動モジュールは、タレットを備えたアームリンクのアーム部に取り外し自在にマウントされ得る。
【0011】
図2Aは、基板搬送装置20の他の斜視図であり、簡潔性のために、かかる装置の一部が除去されている。図3はかかる装置20の平面図であり、図4A乃至図4Bは、アーム26が支持構造部22から分解された装置の分解斜視図と、分解して示されたアームリンク及び駆動システムの一部の分解斜視図とをそれぞれ示している。この例示的な実施例においては、関節アーム26は、上方アーム28、前方アーム30、及びエンドエフェクタ32A、32Bを有するスカラ型として示されている。別の実施例においては、関節アームは、任意の適当な種類であり得、より多い若しくは少ないエンドエフェクタを有し得る。図2乃至図2Aにおいて見て取れるように、上方アーム26は、枢動自在にマウントされ(以下において詳しく説明する)、支持構造部22に対して、ショルダ(shoulder)軸T1の周りを回転する。支持構造部22に対する上方アーム26のピボットマント部は、ショルダ接続部(ジョイント)(joint)27を形成する。前方アーム30は、上方アーム28に枢動自在にマウントされている。前方アーム30と上方アーム26との間のピボット接続部29は、回転軸T2を伴うエルボー(elbow)接続部として言及され得る。エンドエフェクタ32A、32Bは、回転軸W(図2参照)を有するリスト(wrist)接続部において前方アーム30に枢動自在にマウントされている。前述したように、例示的な実施例における駆動システム26は、以下において詳しく説明するように、Z駆動部34、ショルダすなわちT1軸駆動部36、及び1つ以上の他の回転軸の周りに1つ以上のアームリンクを駆動する駆動部38を有し得る。例示的な実施例においては、Z駆動部34及びT1駆動部は、支持構造部22にマウントされている。駆動部38はアーム24にマウントされている。
【0012】
再度図2を参照すると、支持構造部22は、かかる支持構造部を取り囲む周囲ケーシング27Cを伴い示されている。支持構造部22は図5Bにおいて最も良く見て取られる。支持構造部22は、柱部材42とエンドプレート44、46とを通常含んでいる。柱部材42は、支持構造22のほぼ全長にわたって延在する。エンドプレート44、46は、示したように、柱部材42の両端に接続されている。この実施例においては、支持構造部22は、モノコック若しくはセミモノコック構造である(すなわち、柱部材42により形成された壁部若しくはシェルが、荷重に耐え、支持構造部に伝えられた荷重を支える)。図5Bにおいて見て取れるように、柱部材42は、伸長された通常のチャネル形状を有する。柱部材は、後方部42Sと対向フランジ壁部42Wとを有し、チャネル形状を形成し、柱部材内の内部空間を画定し、かかる対向フランジ壁部42Wは、図示したように後方部から突出する。この実施例においては、柱部材42は、単一構造(すなわち、単一部材)である。柱部材は、ステンレススチール若しくはアルミニウム合金のような任意の適当な金属から、鍛造、鋳造、若しくは任意の他の適当な方法により形成され得る。別の実施例においては、柱部材は、プラスチック、セラミック、若しくは複合物を含む任意の他の適
切な材料から形成され得る。柱部材は、柱部材42のような類似の内部空間を画定するスペースフレーム構造と比較して、非常に堅固である。図5Cを参照すると、支持構造部22の断面図が示されている。図5Cにおいて見て取れるように、エンドプレート44、46は、通常のラビット(rabbit)接続構造を用いて、柱部材42の両端に接続されている。
【0013】
エンドプレート44、46は、駆動システム及び関節アームのタレットの部分を取り囲むのに十分なサイズである支持構造部の内部空間を画定することを助ける。少なくとも1つのエンドプレート46が、例えば、駆動システム26のための動力(power)及び通信信号をサポートする電子回路パッケージ(electronics package)Eのような要素のためのマウントプラットフォームを具備し得る。しかしながら、柱部材42は、主要な耐荷重部材として機能する。なぜなら、搬送装置20の実質的に全ての静荷重及び動荷重が、柱部材に最終的に伝達され、柱部材により支えられるからである。さらに、以下において説明するように、駆動システム26及びアーム24は剛性柱部材に直接設けられる。主要な駆動軸(例えば、基板搬送面の姿勢を画定し、エンドエフェクタ32A、32BのR、θ動作が伝えられる図1に示したショルダ軸T1及びZ駆動軸)を確立する駆動システム部が、柱部材に一体化される。従って、静荷重及び動荷重が駆動システム及びアームの動作により伝達される間か、若しくは搬送コンテナ20が横移動装置(traverser)にマウントされる場合には、横移動装置の動作により伝達される間、支持構造部22の剛性柱部材は、互いに関係する主要な駆動軸を堅固に固定する。
【0014】
図5Bにおいて最も良く見て取れるように、駆動システムのZ駆動部の直線レール26Rが柱部材と一体化されている。直線レール26Rは、駆動システムのZ運搬部50(図5A参照)のプラテン(platen)26Pのためのガイドレールである。従って、レール26RはZ軸の向きを画定することを助け、運搬部50はかかるZ軸に沿って移動される。この実施例においては、直線レール26Rは、柱部材42の後方部42Sに配置されるが、別の実施例においては、レールは、柱部材の任意の他の望まれる位置に配置され得る。また、この実施例においては、レール26Rは、柱部材42に固定されている。レールは、任意の適切な機械的な締結具により固定され得るか、若しくはろう付け、溶接、又は任意の他の適当な金属若しくは化学接着により取り付けられ得る。この実施例においては、柱部材の後方部42Sは、設置面42M(支持構造部22の断面図を示している図5Lを参照)を有し得、かかる設置面42Mには、柱部材42にマウントされたとき、直線レール26Rが設置される。設置面42Mは、例えば、機械加工若しくは他の適当な形成プロセスにより、設置面42M同士が実質的に平行であり(例えば、左側及び右側設置面42Mが、実質的に平行であるか、若しくは望まれるならば、実質的に同一平面である)且つZs軸(図5C参照)に平行であるように形成され得る。かかるZs軸は、以下において説明するように、柱部材により画定される。別の実施例においては、スライドレールが、単一構造の柱部材に一体化されて形成され得る。
【0015】
さらに図5B乃至図5Cを参照し且つ支持構造部22及び駆動システム26の部分拡大断面図を示している図5Dを参照すると、柱部材42はカラー部(collar)48を有している。この実施例においては、カラー部48は、単一構造の柱部材42と一体化して形成されている。カラー部48は、示したように、柱部材の後方部42Sに配置されている。カラー部48は、図5Bに示したように、2つの直線レール26Rの間のほぼ中心に配置され得る。別の実施例においては、カラー部は柱部材の任意の他の望まれる位置に配置され得る。カラー部は、適当な堅固な取り付け具により、柱部材に機械的に取り付けられ得る。図5B乃至図5Dにおいて見て取れるように、カラー部48は、駆動システム26のZ駆動部のための基礎支持部を保持し、具備する。従って、駆動システムの3つの駆動部が、一体化カラー部48により、柱部材42Sに一体化されている。前述し且つ図5C乃至図5Dにおいて最も良く見て取れるように、この実施例においては、駆動システム26は、ボールネジ52を駆動するモータ54を通常含む直線駆動部であるZ駆動部34を有する。別の実施例においては、駆動システムは、Z軸駆動部を具備する任意の他の望まれる種類の直線駆動部を有し得る。モータ54は、ブラシレスのDCモータ、ACモータ、若しくはステッピングモータのような任意の適当なモータであり得る。ボールネジ52は、モータの出力シャフトに結合され得るか、若しくはモータ内に延在するシャフト伸長部52Eを有し得る。図5に示したように、モータロータ54Rが、かかるモータシャフト若しくはシャフト伸長部52Eにマウントされている。Z駆動モータ54は、モータシャフト若しくはシャフト伸長部にマウントされた適当なエンコーダ54Eをも有し得、かかるエンコーダ54Eは装置コントローラ400(図1参照)と共に望まれるモータ制御を容易にする。
【0016】
図5Dにおいて見て取れるように、カラー部48は、中心軸Zsを伴う穴部48Bを有している。ボールネジ52は、適当なベアリング53により、穴部46Bにおいて保持されている。よって、ボールネジ52は、カラー部における穴部48Bの中心軸と同軸であり、且つボールネジの中心軸、若しくはモータ54により回転されるとき、ネジにより提供される動作のZ軸は、カラー部48における穴部48Bの中心軸Zsと実質的に一致する。よって、穴部の中心軸Zsは、Z駆動部34の動作のZ軸を画定する。さらに、直線レール26Rは、ボールネジ52の実質的に中心軸である軸Zsに実質的に平行に設けられ(前述したように、軸Zsに対する設置面42Mの平行性から生ずる)、レール26Rとボールネジ52とは、共通の剛性柱部材42に保持されているので、これは、レール26R(及びレールに乗るZ運搬部50)とZ軸にZ運搬部50を駆動するボールネジ52との間に最初に設けられた平行状態は、全ての時間において堅固に維持される。搬送装置20の操作の間の駆動システム26及び支持構造部22における静荷重及び動荷重は、ボールネジとレールとの間のアライメントを少しも変化させず、Z軸とショルダ回転軸T1(以下において説明するように運搬部50により画定される)との間のアライメントも変
化させない。よって、前述したように、搬送面の姿勢を画定する駆動システムの主要な運動軸T1、Zは、固定した向きを維持する。ボールネジ52は、図5Dにおいて示したような適当な支持リング51によりカラー部48に垂直に固定されている。示した実施例においては、カラー部48は、モータ54のためのハウジングを形成するように延在する。モータステータ54Sが、カラー部の穴部48B内にマウントされ得る。別の実施例においては、Z駆動モータが、柱部材から支持されるセパレートハウジング内に存在し得、柱部材のカラー部を保持するボールネジに対するモータの位置は、堅固に維持される。図5Cにおいて見て取れるように、ボールネジ52の上端は、エンドプレート44により保持されている。適当なベアリングが、ボールネジの端をエンドプレート44に接続している。この実施例においては、エンドプレート44は、ボールネジ及び支持ベアリングの端を保持する穴部すなわち凹部を有する。エンドプレートにおける穴部は、軸Zsに沿って調整されたボールネジと同軸であるように設けられ得る。別の実施例においては、エンドプレートにおけるボールネジの端を保持する凹部若しくは任意の他の保持マウント部は、ボールネジと同軸であるように変更自在に調整され得る。
【0017】
図5Cにおいて見て取れるように、柱部材の後方部42Sは、搬送装置20をプロセス装置10のフロント部12にマウントする(例えば、フロント部の所定の構造部に直接マウントするか、若しくは横移動部にマウントする)のに使用されるマウントシステム60を有している。柱部材の側面におけるマウントシステム60は、搬送装置20を横移動部/フロント部の所定の構造部に接続する単一のマウント部として機能する。従って、理解され得るように、更なる改良は、マウントシステム60に対する駆動システム要素同士の間にわたる非常に剛性構造のために、搬送装置の操作の間、駆動軸及び搬送装置の基板搬送面のアライメントを維持する。マウントシステム60は運動学的(kinematic)な結合部を含み、かかる運動学的な結合部は、望まれる位置及びフロント部12の参照フレームに対する望まれる向きに支持構造部22及び装置20を配置することを画定する。理解され得るように、マウントシステム60の位置画定特徴部は、搬送装置のZ軸及びT1軸(図1参照)に対する望まれる関係を有するように設けられ得る(以下において見て取れるように、T1軸の位置決めは、軸T1を確立する駆動部38とマウントシステム60との間の、例えば柱部材42のような介入構造部の高い剛性と共に、Zs/Z1軸に関連付けられ得るか、若しくは基礎とされ得、これは、Zs/Z1軸に対して位置画定特徴部を設定することを可能にし、装置20がマウントされたとき、T1軸が、フロント部の参照フレームに対し望まれる位置にあることを確実にする)。駆動システム26の望まれる軸(例えば、Z軸、T1軸)に関する軸か、若しくは基板搬送面に関するマウントシステム60の画定特徴部を設定する適当な例は、2005年6月15日に出願した米国継続出願第11/154,787号に開示されており、かかる米国継続出願第11/154,787号は全内容を本出願に組み込むものとする。よって、装置20に類似する異なる搬送装置におけるマウントシステム60の位置画定特徴部は、各装置の駆動軸に対する望まれる公知の関係を反復自在に確立され得、異なる装置同士の間において大きな変化は実質的に無い。この実施例においては、マウントシステム60は、上方支持棚部62と下方マウント支持部62とを有している。図6Aは、支持構造部の頂部平面図であり、支持棚部62及び下方支持部64の頂部平面図を示している。図6Bは、支持構造部22の部分拡大斜視図であり、図6Bにおいては、下方支持部64が部分的に可視され得る。マウントシステムの上方支持部62及び下方支持部64の構造は、単に例示的なものであり、別の実施例においては、支持構造部のマウントシステムの支持部は、任意の望まれる構造を有し得る。この実施例においては、上方支持棚部62及び下方支持部64は、通常のフランジであり、単一構造の柱部材42として一体化されて形成され得る。上方支持棚部62及び下方支持部64は、柱部材42の後方部42Sから外方向に突出している。図5Dにおいて最も良く見て取れるように、上方支持棚部62及び下方支持部64は、互いに垂直にオフセットされている。上方支持棚部と下方支持部との間の垂直オフセット距離は、駆動部26及び可動アーム24アッセンブリのCGが、可動アーム24及び運搬部55のZ位置にかかわらず、上方支持部と下方支持部との間に配置されるように設定され得る。図5Cにおいて見て取れるように、この実施例においては、上方支持棚部は設置面62Sを有している。設置面62Sは、支持棚部フランジにおける凹部62Rに配置されている。凹部62Rは、フロント部構造の適合支持部(図示せず)の接合部(図示せず)を収容するサイズに形成され得る。上方支持棚部は、ピン62Pのような位置画定特徴部(適当な締結具により設けられ得る)を有し得る。ピン62Pは、フロント部12の適合部(図示せず)におけるホールすなわち溝部(図示せず)と接触し得、X方向若しくはY方向のどちらか又は両方に装置20の位置を画定するか、若しくは固定する。下方支持部64は、図5C及び図6Aにおいて示したように垂直接触面64Sを有し得る。接触面64Sは、フロント部構造における適合面(図示せず)に隣接し得、Y方向に装置20を制限する。下方支持部は、位置画定ピン64P1、64P2(例えば、適当な締結具により形成される)をも有し得る。位置画定ピン64P1、64P2は、図6Aにおいて示したように、下方支持部の両端に配置され得るか、若しくは任意の望まれる位置に配置され得る。ピン64P1、64P2は、フロント部12の適合構造部(図示せず)における収容装置を係合することにより、Z方向に装置を固定するのに役立ち得る。理解され得るように、位置画定ピン62P、64P1、64P2と適合構造部との間の接触は、所定の値を越える張力を生成することを避けるように形成される。よって、位置画定ピン62、64P1、64P2は、フロント部の参照面に対する装置20のマウント面(3点を提供する)を画定するために協働する。
【0018】
再度図5C乃至図5Dを参照すると、駆動システム26のZ駆動部34は運搬部50を有し、運搬部50は、フレーム、シャーシ、若しくはケーシング70を有している。プラテン26P(図5B参照)が運搬部ケーシング70に接続され、前述したように、運搬部が装置のZ軸に沿ったレール26Rに沿って滑動することを可能にする。図5Cにおいて見て取れるように、運搬部ケーシング70はボールネジ滑動部56に接続され得る。理解され得るように、モータ54によるボールネジ52の回転は、ボールネジ滑動部56(ケーシングにより回転自在に保持されている)を装置のZ軸に沿ったボールネジに沿って軸方向に移動せしめる。よって、運搬部ケーシング70は、ボールネジ滑動部56の起動力(impetus)の下においてZ軸に沿って移動される。前述したように、この実施例においては、駆動部34(T1すなわちショルダ軸の周りを回転駆動させる)は運搬部50に接続されている。駆動部34は、モータとシャフトアッセンブリ74とを含み得る。この実施例におけるモータT2は、運搬部ケーシング70の内側に収容され得るか、若しくは配置され得る。別の実施例においては、T1軸回転のモータ動力部が任意の望まれる方法によりZ軸運搬部にマウントされ得る。モータ72は、ブラシレスのDCモータ、ACモータ、若しくはステッピングモータのような任意の適当なモータであり得る。この実施例においては、モータステータ72Sはケーシング70に堅固に接続されている。モータロータ72Rは、シャフトアッセンブリ74のシャフト76に堅固にマウントされている。シャフトアッセンブリ74は、シャフト76、ベアリング78、滑動リング80、及びエンコーダ82を通常有している。この実施例においては、シャフトアッセンブリ74は、図5Dにおいて見て取れるように、運搬部ケーシング70の内側に配置されている。別の実施例においては、シャフトアッセンブリは任意の他の適当なマウントアレンジメントを有し得る。シャフト76は、ベアリング78により、ケーシング70において回転自在に保持され、シャフト軸のアライメントは、示したように確立されている。ケーシング70は、圧力嵌め(force fit)によりベアリング78を収容する穴部70Bを有している。理解され得るように、ケーシング70の姿勢は、例えば、ケーシングプラテン26Pとの間の可変シム(shim)を用いるような適当な調整デバイスにより制御され得、穴部の中心線は、フレーム構造部22のZs軸(若しくは装置のZ軸)に対して平行であるか、若しくは正しい位置にある。固定具が運搬部穴部の中心線のアライメントを設定するために使用され得、かかる固定具は、前もって組み込んだ米国継続出願第11/154,787号に開示されており、装置20に類似する異なる搬送装置の反復自在なアライメントを提供する。ケーシング70におけるベアリング78によりマウントされたシャフト74は、穴部中心線に調整されるので、装置のZ軸に実施的に平行である。シャフト76の回転軸は、ショルダ回転軸T1であり、前述したように、回転軸T1は、Z軸(アームの直線位置の軸)に正確に配置される。さらに、ここで再び、装置20の動作の間か、若しくは装置が横移動部にある場合には、横移動部(図示せず)の動作の間に生成される静荷重及び動荷重状態が、T1軸とZ軸との間の明らかな調整不足を生成しないことが理解され得る。なぜならば、これら軸のアライメントは共通の剛性部材つまり支持構造部の柱部材42により設定されているからである(すなわち、T1軸は柱部材に直接依存しており、Z軸は、前述したように、柱部材により画定される)。これは、装置のエンドエフェクタ32A、32B(図2参照)の全ての動作(Z、θ、R)が、常時予測可能且つ反復可能であることを可能にする。エンコーダ82は、シャフト76にマウントされ得、コントローラ40D(図1参照)に通信自在に接続され、モータ72の望まれる制御を提供する。シャフト76は中空であり得る。滑動リング80は、シャフト76にマウントされ得る。滑動リングは、アーム24における装置に動力及び通信を提供する適当な供給源及び信号結合部に接続される。図5Dにおいて見て取れるように、シャフトアッセンブリ74は、空気供給
ライン(pneumatic feed line)84を有し得る。かかる空気供給ライン84は、シャフト76の内部を経て、供給ポートまで延在する。ケーシング70は、空気供給ラインに対するシャフトアッセンブリにおける供給ポートに一致する適当な空気結合部(pneumatic coupling)を有し得、シャフト76の連続する回転(及びショルダ結合軸T1の周りのアームの連側する回転)を可能にする。
【0019】
再度図4A、図4Bを参照すると、アームアッセンブリ24が運搬部50にマウントされている。特に、アームアッセンブリ24の上方アーム28が、運搬部50(図5D参照)にマウントされたシャフト76の端部76Eにマウントされている。図7はアームアッセンブリ24の上方アーム28の斜視図である。図7Aは示した実施例の断面図であり、図7B及び図7Cは、示した実施例の上方アーム28の頂部斜視図及び底部斜視図である。この実施例においては、上方アームは、下部すなわちタレット84と上部86とを有している。タレット84は、中空の通常のシリンダ形状を有している。上部86は、示したようにタレット84に従属している。上方アーム28は単一部材であり(若しくは単一構造として言及され得る)、タレット及び上部86は単一構造の上方アーム28に一体化されて形成され得る。上方アーム28は、鋳造、鍛造、若しくは任意の他の適当な形成プロセスにより形成され得る。上方アームは、アルミニウム合金、ステンレススチールのような金属、又はプラスチック、セラミック、若しくは複合物のような非金属材料から形成され得る。別の実施例においては、上方アームのタレット及び上部は、任意の他の適当な形状を有し得る。図7Bにおいて見て取れるように、上部は、頂部86Tにおいてアクセス経路すなわち開口部86Aを有している。アクセス経路86Aは、任意の適当な形状を有し得、以下において説明するように、オペレータが上方アーム28における要素に容易にアクセスすることを可能にするようなサイズに形成される。タレット84は、かかるタレット84の内部の要素にアクセスするためのかかるタレット84に形成されたアクセス経路84Aをも有している。この実施例においては、タレット84におけるアクセス経路84Aは、上部86がタレットから突出する方向の実質的に反対のタレットのサイドに配置されて示されている。別の実施例においては、タレットにおけるアクセス経路は、タレットの内部要素にアクセスするのに適した任意の望まれるサイドに配置され得る。図7Bにおいて示したように、タレット84は、タレットを照らすか、若しくは望まれるようにアクセスする他の開口部84Hを含み得る。外側カバー部28C(図4A参照)がタレット84を覆うようにマウントされ得る。タレット84の底部の端部84Lは、上方アームを運搬部50におけるT1回転シャフト76の端部73Eに接続するマウントハブすなわち結合部84Hを有し得る。図7A及び図7Cにおいて最も良く見て取れるように、タレット84のマウント結合部84Aは、シャフト76の端部76E(図5D参照)に実質的に一致するように配置されたマウント面を有している。シャフト76にマウントされると、タレット84は、上方エンドプレート44における開口部44D(図5C及び図6A参照)を経て、支持構造部22により画定される空間22S(図5A参照)に延在する。タレット結合部84Hは、適当な締結具によりシャフト76の端部76Eに取り付けられ、かかる締結具は、タレットを経てシャフト結合部に共有の荷重及び軸方向の荷重を伝達し得る。上方アーム28は、図4Bにおいてマウント位置に示されている。上方アーム部86は端部プレート44上に配置されている。理解され得るように、上方アーム28は、シャフト76により軸T1(図2参照)の周りを連続して回転させられ得る。一体化タレット84及びアーム部86を伴う単一構造の上方アーム28は、カップリング接続(coupling connection)を排除し、可動アーム26のアッセンブリを単純化する。さらに、シャフト76と比べてより大きなねじれ(torsional)エリアを有するタレット84は、T1駆動モータ74が、支持構造部における下部(すなわち、Z運搬部の内側)にマウントされることを可能にし、低い装置66を達成し、装置マウント部における転倒を低減する一方、駆動シャフト76を短く保ち、シャフトの曲がりを低減しアームの正確な動作を改善する。
【0020】
図4Bにおいて見て取れるように、駆動システム26は、アーム24に取り外し自在に取り付け可能である駆動モジュール38を有している。駆動モジュール38は、以下においてより詳しく説明するように、異なる駆動特徴を有する多数の駆動モジュール38A(図4Bにおいて簡単に示してある)と交換自在である。駆動モジュール38は図9において最も良く見られる。駆動モジュールは、ケーシング90とモータクラスタ92とを通常有する。モータクラスタ92は、ケーシング90内に配置されている。ケーシング90は、駆動モジュール38を上方アーム28の所定の部分86にマウントする(上方アーム部
86の平面図である図8参照)。例示的な実施例においては、モータクラスタ92は、3つのモータアッセンブリ94A、94B、94Cを含んでいる。別の実施例においては、モータクラスタはより多い若しくはより少ないモータアッセンブリを有し得る。駆動システムの他の交換自在なモジュールが、アッセンブリ94A、94B、94Cに類似した2つ若しくは1つのモータアッセンブリを伴うモータクラスタ92Aを有し得る。各モータアッセンブリ94A、94B、94Cは、この実施例においては、類似している。よって、モータアッセンブリ94A、94B、94Cは交換自在である。モータアッセンブリ94A、94B、94Cは類似しているので、モータアッセンブリは、モータアッセンブリ94Aに関して、以下において詳しく説明される。モータアッセンブリ94Aは、モータ96Aとシャフト98Aとを有している。モータ96Aは、ブラシレスのDCモータ、ACモータ、若しくはステッピングモータ又は任意の他の適当な種類のモータであり得る。モータアッセンブリ94Aは、ケーシング90からユニットとして取り外し自在であり得る。別の実施例においては、モータ及びシャフトは、モジュールケーシングから別々に取り外し自在であり得る。モータアッセンブリ94A、94B、94Cは、示したように、モジュールケーシング90に配置されている。この実施例においては、ケーシング90は、各モータアッセンブリ94A、94B、94Cのためのハウジング90A、90B、90Cを有し得る。一例として、ケーシング90は、T2モータアッセンブリ94A(すなわち、図2に示したT2/エルボー軸の周りの独立した回転を駆動するモータアッセンブリ94A)のためのモータアッセンブリハウジング90Aと、W1モータアッセンブリ94B(すなわち、図2に示したW1/リスト軸の周りの独立した回転を駆動するモータアッセンブリ94B)のためのハウジング90Bと、第2W1モータアッセンブリ94C(すなわち、W1/リスト軸の周りの第2エンドエフェクタの独立した回転を駆動するモータアッセンブリ94C)のためのハウジング90Cとを有し得る。別の実施例においては、モジュールケーシングは、モータクラスタのモータアッセンブリのための共通のハウジングを形成するような形状に形成され得るか、若しくは任意の他の望まれるアレンジメントを有し得る。理解され得るように、少ないモータアッセンブリ(少ない回転軸の周りの独立した回転を独立して駆動する)を伴うモジュール38Aに類似する他の交換自在なモジュールにおいては、ハウジング90A乃至90Cに類似した1つ以上のハウジングは、かかるハウジングに配置されるモータアッセンブリを有していなくともよい。例えば、第2W1モータアッセンブリを有していない駆動モジュール38Aの場合には、第2W1モータアッセンブリを収容するモータアッセンブリハウジング(ハウジング90Cに類似している)は、空である。モータクラスタが3つよりも多いモータアッセンブリを有する別の実施例においては(ここでは、例示目的のためだけに説明される)、モジュールケーシングにはより多くのモータアッセンブリハウジングが設けられ得る。他の別の実施例においては、モジュールケーシングは、モータアッセンブリの数に応じてハウジングを有し得、駆動モジュールに設けられる。よって、例えば、3つのモータアッセンブリのために、3つの対応するハウジングがあり、2つのモータアッセンブリのために、2つの対応するハウジングがある。この場合においては、モジュールケーシング及びモジュールは交換自在である。つまり、それぞれが異なる交換自在なモジュールのモジュールケーシングは、類似する通常の構造及びモジュールを上方アーム28にマウントするマウント特徴部を有している。
【0021】
図4Bから理解され得るように、可動アームアッセンブリ24の構造は、望まれる数のモータアッセンブリを有するモータクラスタ92、92Aと共にモジュール38、39Aを選択することにより選択され得、望まれる数の独立した回転軸をアームに設ける。一例として、アーム26は、3つの独立した回転軸(例えば、軸T2の周りの前方アームリンク30の独立した回転、リスト軸W1の周りの両エンドエフェクタ32A、32Bの独立した回転)(軸T1及びZに加えて)を有するとして示されている。よって、3つの独立した回転軸を伴うアームアッセンブリ26を設けるならば、駆動モジュール38が選択され、取り付けられる。もし、2つ若しくは1つの独立した回転軸を伴う可動アーム26を設けることが望まれるならば、対応する数のモータアッセンブリを有するモータクラスタ92Aを伴う交換自在な駆動モジュール38Aが、選択され、上方アーム28に取り付けられる。
【0022】
前述したように、図面に示したモジュールケーシング90の構造は、単に例示目的のためであり、別の実施例においては、モジュールケーシングは任意の他の望まれる構造を有し得る。ケーシング90は、モジュール38、38Aを上方アーム28に取り付けるマウントフランジ90Fを有し得る。この実施例においては、マウントフランジは、外方に突出し、上方アームのタレット84の内側に配置された適合面86S(図7参照)と重なる設置面90S(図9参照)を画定する。図7A及び図9から理解され、図7において部分的に見て取れるように、上方アームにマウントされたとき、駆動モジュール38は上方アームのタレット84内に配置される。別の実施例においては、モジュールケーシングは任意の他の望まれる構造のマウント特徴部を有し得る。上方アーム28にマウントされたとき、モータクラスタシャフト98A乃至98Cのシャフト端部は、上方アーム部86内に配置される。図9において見て取れるように、この実施例においては、モジュールケーシングのハウジング90A乃至90Cは、マウントフランジ90Fに対して垂直にずらされている。ハウジング90A乃至90Cの垂直のずれは、対応するシャフト98A乃至98Cの端部における歯状プーリ110A乃至110C(図8参照)を同程度の垂直なスペースに位置決めし、各プーリが対応する伝達部112、114、116に接続されることを可能にする。よって、前述したように、モジュール38、38Aの実質的に同一のモータアッセンブリ94A、94B、94Cは、完全に交換自在であり、互いに交換され得、各モータアッセンブリが、違い及び調整なしに、任意のハウジング90A、90B、90Cに配置され得る。この実施例においては、ハウジング90A、90B、90Cの頂部上のシャフトプーリ110A、110B、110Cの各端部の距離(standoff)は同じである。図9において見て取れるように、この実施例においては、T2モータアッセンブリ94Aのためのハウジング90が最も高い位置に配置され、W1モータアッセンブリ94B(エンドエフェクタ32Aを駆動する)のためのハウジング90Bが中間位置に配置され、第2W1モータアッセンブリ94Cのためのハウジング90C(エンドエフェクタ32Bを駆動する)が最も低い位置に配置されている。
【0023】
図8を参照すると、上方アーム28の頂部平面図が示されている。図8において見て取れるように、同軸シャフトアッセンブリ40が、上方アーム28の外側端部にマウントされている。前述したように、前方アーム30が、同軸シャフトアッセンブリ40により、上方アームに枢動自在にマウントされる。同軸シャフトアッセンブリはエルボー回転軸T2を画定する。図10乃至図10Aは、前方アーム30の斜視図及び頂部平面図をそれぞれ示している。図11乃至図11を参照すると、前方アーム30の断面図及び同軸シャフトアッセンブリ40の断面図をそれぞれ示している。図11Aにおいて最も良く見て取れるように、この実施例における同軸シャフトアッセンブリ40は、3つの同一中心のシャフト124、126、128を含んでいる。シャフト124、126、128は、通常の入れ子になったアレンジメントで、適当なベアリングBにより、互いにそれぞれ支持されている。外側シャフト124は、ベアリングBBにより上方アームにおいて保持されている。W軸シャフトアッセンブリ40のシャフト124、126、128は、共通の回転軸T2の周りを回転し得る。別の実施例においては、同軸シャフトアッセンブリは、より多い若しくはより少ない同軸シャフトを有し得る。図11Aにおいて見て取れるように、外側シャフト124は前方アーム30に固定され、前方アーム及びシャフト124は、ユニットとして、軸T2の周りを回転する。外側シャフトは、伝達部112(この実施例においては、エンドレスループ伝達部であるが、任意の適当な伝達部が使用され得る)のための遊びプーリ112Pを有し、かかる伝達部112は、かかる外側シャフトに固定されている。遊びプーリ112P及びシャフト124はユニットとして回転する。中間シャフト126は、かかる中間シャフト126に固定された遊びプーリ114Pを有している。この実施例における中間シャフト126は、一体化プーリ114Pを伴う単一部材として示されているが、別の実施例においては、遊びプーリは任意の適当な手段によりシャフトに固定され得る。遊びプーリ114Pは、この実施例においては、エンドレスループである伝達部114の一部である。中間シャフト126は、かかる中間シャフト126の上端を、中間伝達プーリ120Pに堅固に固定されている。よって、シャフト126及びかかるシャフト126に固定されたプーリ、遊びプーリ114及び伝達プーリ120Pは、ユニットとして回転する。遊びプーリと伝達プーリとの間の減速比は、約2:1であるが、任意の他の望まれる減速比が使用され得る。内側シャフト128は、伝達部116のために、かかる内側シャフト128に固定された遊びプーリ116Pを有している。シャフト128は、一体化遊びプーリ116Pを伴う単一部材であり得る。シャフト128は、示したように、かかるシャフト128の上端部に固定された伝達プーリ122Pを有している。よって、シャフト128及びかかるシャフト128に固定されたプーリ116P、122Pはユニットとして回転する。図8において最も良く見て取れるように、モータクラスタにおけるモータアッセンブリの各駆動プーリ110A、110B、110Cは、伝達ベルト112、114、116により、シャフトアッセンブリ40の対応するプーリ112P、114P、116Pに接続されている。駆動プーリ110Aはベルト112によりプーリ112Pに接続され、駆動プーリ110Bはベルト114によりプーリ114Pに接続され、駆動プーリ110Cはベルト116によりプーリ116Pに接続されている。ベルトテンショナ(tensioner)150A、150B、150Cが、上方アーム28にマウントされ、以下において説明するように、伝達ベルトにおける望まれる張力を提供して維持する。よって、駆動プーリ110A(モータアッセンブリ94Aにおける駆動プーリ)は前方アームを軸T2の周りに回転させ、駆動プーリ110B(モータアッセンブリ94Bにおける駆動プーリ)は伝達プーリ120Pを軸T2の周りに回転させ、駆動プーリ110L(モータアッセンブリ94Cにおける駆動プーリ)は伝達プーリ122Pを軸T2の周りに回転させる。示した実施例においては、遊びプーリに対する駆動プーリの直径比は、約1:4であり得るが、任意の適当な直径比が使用され得る。
【0024】
図10乃至図10A及び図11を参照すると、伝達プーリ120P、122Pは、伝達部120、122により、対応する遊びプーリ120I、122I及び同軸シャフトアッセンブリ140にそれぞれ接続されている。図11において最も良く見て取れるように、同軸シャフトアッセンブリ140は、前方アーム30における適当なベアリングにより保持されている。同軸シャフトアッセンブリの断面図が図11Bに示されている。同軸シャフトアッセンブリ140は、共通の回転軸W1の周りを回転するように回転自在に支持されている同一中心の外側シャフト142及び内側シャフト144を有している。シャフト142、144には、滑動リング及び気体供給ラインが設けられ、これらにより、シャフトは連続した回転が可能になる。外側シャフト142は遊びプーリ122Iを有し、かかる遊びプーリ122Iは、かかる遊びプーリ122Iに固定された伝達部122のためのものであり、シャフト及び遊びプーリはユニットとして回転する。下方エンドエフェクタ32Bが外側シャフト142に固定され、エンドエフェクタ32B及びシャフト142はユニットとして回転する。内部シャフト144は、遊びプーリ120Iを有し、かかる遊びプーリ120Iは、かかる遊びプーリ120Iに固定された伝達部120のためのものであり、シャフト及び遊びプーリはユニットとして回転する。上方エンドエフェクタ32Aが、内部シャフト144に固定され、シャフトとのユニットとして回転する。図10及び図11において見て取れるように、伝達プーリ120Pを遊びプーリ120Iに、伝達プーリ122Pを遊びプーリ122Iにそれぞれ接続する伝達部120、122は、この実施例においてはエンドレスループ伝達部である。別の実施例においては、任意の適当な伝達部が使用され得る。伝達プーリ120P、122Pと遊びプーリ120I、122Iとの間の減速比は、約1:2であり得るが、任意の望まれる減速比が使用され得る。図10Aにおいて見て取れるように、テンショナ120T、122Tが、前方アームにマウントされ、伝達ベルト120、122に対してバイアスを加えられ、望まれるベルト張力を生成する。図3Aを参照すると、可動アーム24及びかかる可動アームに配置された駆動システムの部分の頂部平面図が示されている。
【0025】
図3Aは、駆動モジュール38のモータアッセンブリ94A、94B、94Cを示している。各モータアッセンブリは、伝達部112を介してT2軸回転を駆動し、伝達部114、116及び2次伝達部122、120を介して2つのエンドエフェクタ32A、32Bの独立したW1軸回転を駆動するために接続されている。理解され得るように、より少ないモータアッセンブリを伴う駆動モジュール38Aが駆動システムにマウントされる場合、例えば、モータアッセンブリ94A、94C(T2軸回転及び単W1軸回転用アッセンブリ)に類似したモータアッセンブリを有し、アッセンブリ94Bに類似したモータアッセンブリを有していない(すなわち、独立した第2W1軸回転がない)場合、より少ない伝達部がアームに配置される。例えば、もし、駆動モジュールが、アッセンブリ94Bに類似するモータアッセンブリを有していないならば、伝達部114及び120はアームに取り付けられていない。よって、エンドエフェクタ32Aに類似する1つのエンドエフェクタは、軸W1の周りを独立して回転自在ではないか、若しくはアームから取り除かれ得る。よって、アーム構造は、駆動システムに取り付けられるべき駆動モジュール38、38Aを選択することにより選択自在である。
【0026】
図3A、図8、図10を参照する。前述したように、各伝達部112、114、116、120、122は、対応するベルトテンショナ150A、150B、150C、120T、122Tにより張力を加えられている。この実施例においては、テンショナ150A、150B、150C、120T、122Tは、類似しており、以下においては、図10Aにおいて最も良く見て取れるテンショナ122Tに関して説明される。別の実施例においては、任意の適当なテンショナ構造が使用され得る。テンショナ122Tは、可動ベース部162に枢動自在にマウントされたローラ部160を通常含んでいる。この実施例においては、ベース部162は、一端においてピン留めされた枢動自在なリンクであるが、任意の適当な可動ベース部が設けられ得る。可動ベース部162は、位置固定部を有し得、示した実施例においては、ベース部の側面に対する締結具にトルクを加えることにより設けられる摩擦固定部162Lであり、かかる位置固定部はベース部及びテンショナ122Tをかかるテンショナが伝達部122と係合し適切な張力を加える位置に固定する。可動ベース部162は、バネ若しくは気圧式(pneumatically)部材(図示せず)により弾性的にバイアスされ得、伝達部122に対する張力ローラ160を駆動させる。示した実施例においては、テンショナ122Tは適当な力変換器164を含み得る。力変換器164は、伝達ベルト122に対するテンションローラ部160により生成された力に対応する信号を生成する圧電変換器、ひずみゲージ、電子光変換器のような任意の適当な種類であり得る。図10Aに概略を示した力変換器164は、使用される変換器の種類に適合するテンショナの任意の望まれる位置にマウントされ得る。変換器164は、ワイヤレスか若しくはワイヤにより接続され得る適当な通信リンク(図示せず)によりコントローラ400(図1参照)に接続される。コントローラ400はプログラムモジュール401、404を有し、かかるプログラムモジュールの少なくとも1つは、力変換器からの信号を記録し、かかる信号から、伝達部122における張力ローラ部160により加えられる張力を決定する適当なプログラムを有している。さらに、コントローラにおけるプログラムは、伝達部におけるテンショナ122Tにより加えられる力が望まれる張力を伝達部に供給するときを決定し得る。その後、コントローラプログラムは、適当なユーザインターフェース(図示せず)における表示を可能にするコマンドを送信し、かかる表示は、例えば、サウンド装置から音を発するか、若しくはユーザインターフェイスにおける表示ライトを点灯し、伝達部における望まれる張力が達成されたことを示す。その後、テンショナ122Tの可動ベース部は、所定の位置に固定され得る。このシステムは、駆動システム26をセットアップするとき、当てずっぽう(guess work)を解消し、伝達部の過剰な張力を防止する。コントローラ400は、伝達部の操作状態をモニタするテンショナの力変換器からの信号を周期的にサンプリングするようにプログラムされ得る。コントローラは、伝達部の張力のための操作範囲をプログラムされ得、伝達部の張力が範囲外にあるとき、適当な指示を生成するようにもプログラムされ得る。よって、駆動システム衛生(health)モニタシステムが設けられ得る。
【0027】
特定の実施例が説明されたが、現在において予測されなかった若しくは予測され得なかった様々な代替、変更、変形、改良及び実質的に均等なものが、出願者若しくは他の当業者により考えられ得る。よって、出願及び補正され得る特許請求の範囲は、このような代替、変更、変形及び実質的に均等なものの全てを含むことを意図している。
【図面の簡単な説明】
【0028】
【図1】図1は、1つの例示的な実施例による本発明の特徴を含む基板搬送装置、及び基板搬送コンテナCの斜視図である。
【図2】図2は、図1に示したプロセス装置の基板搬送装置の斜視図である。
【図2A】図2Aは、簡潔性のために、幾つかの部分を除去した図2における基板搬送装置の斜視図である。
【図3】図3は基板搬送装置の平面図である。
【図3A】図3Aは基板搬送装置の部分拡大平面図である。
【図4A】図4Aは搬送装置の駆動システムの部分を示す基板搬送装置の分解斜視図である。
【図4B】図4Bは搬送装置の駆動システムの部分を示す基板搬送装置の分解斜視図である。
【図5A】図5Aは搬送装置駆動システムの線形駆動運搬部を伴う搬送支持構造部斜視図である。
【図5B】図5Bは駆動運搬部が取り除かれた搬送装置支持構造部の斜視図である。
【図5C】図5Cは図5Aにおける支持構造部の拡大部分断面図である。
【図5D】図5Dは支持構造部及び図5Aにおける線形駆動運搬部の一部の部分拡大断面図である。
【図6A】図6Aは支持構造部のマウントシステムを示す図5Aにおける支持構造部の頂部平面図である。
【図6B】図6Bは図5Aにおける支持構造部の部分拡大斜視図である。
【図7】図7は上方アーム及び図2における基板搬送装置の駆動システムの一部の斜視図である。
【図7A】図7Aは図7に示した上方アームの断面図である。
【図7B】図7Bは図7における上方アームの頂部斜視図である。
【図7C】図7Cは図7における上方アームの底部斜視図である。
【図8】図8は上方アーム部及び図7に示した駆動システムの部分の頂部平面図である。
【図9】図9は図2における基板搬送装置の駆動システムモジュールの斜視図である。
【図10】図10は図2における基板搬送装置の前方アームの斜視図である。
【図10A】図10Aは図10における前方アームの頂部平面図である。
【図11】図11は図10における前方アームの断面図である。
【図11A】図11Aは前方アームのエルボー関節部におけるシャフトシステムの部分断面図である。
【図11B】図11Bは前方アームのリスト関節部におけるシャフトシステムの部分断面図である。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板搬送装置であって、
フレームと、
共通ショルダージョイントを含む所定数の関節ジョイントを有し、前記共通ショルダージョイントにおいて前記フレームに接続した関節アーム部と、
前記フレームに結合した駆動部と、
前記駆動部に配置されるにあたって選択自在な所定数の異なる交換自在なモータモジュールと、を含み、
前記関節アーム部は、独立動作をなし得る所定数の関節ジョイントを有する第1アーム形態と、独立動作をなし得る前記所定数とは異なる数の関節ジョイントを有する第2アーム形態とを有し、
前記モータモジュールの各々は、前記モータモジュールがユニットとしての駆動部に対して着脱されるようになっている単独モジュールであり、
前記駆動部は、前記モータモジュールの一つだけ受け入れるようになっており、前記モータモジュールの各々は、別のモータモジュールとは異なる所定数の独立駆動軸を有し、
前記モータモジュールの各々は、前記駆動部に配置された時、前記駆動部への前記モータモジュールの配置とは独立し、かつ駆動部内への前記選択されたモータモジュールの配置におけるモータモジュールの選択された1の独立駆動軸の数に応じて第1及び第2のアーム形態の対応する1の選択を生ぜじめるように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項2】
請求項1記載の基板搬送装置であって、
前記関節アームは、前記関節ジョイントを画定すべく移動自在に結合する多数の剛体アームリンクからなっていることを特徴とする装置。
【請求項3】
請求項1記載の基板搬送装置であって、前記関節ジョイントはピボットジョイントであることを特徴とする装置。
【請求項4】
請求項1記載の基板搬送装置であって、前記関節アームは、スカラアームからなり、当該選択自在形態は、単一の独立的に回転するエンドエフェクタを有するアームと2つの独立的な回転自在エンドエフェクタを有するアームとの間で選択自在であることを特徴とする装置。
【請求項5】
請求項1記載の基板搬送装置であって、前記関節アームが、第1回転軸の回りに前記フレームに対して回転自在な上方アームと、前記関節ジョイントにおいて前記上方アームに結合した前方アームと、前記関節ジョイントとは別の関節ジョイントにおいて前記前方フレームに結合した少なくとも1つのエンドエフェクタと、からなり、前記モータモジュールが前記上方アームによって支持されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項6】
請求項5記載の基板搬送装置であって、前記モータモジュールが前記上方アームの前記第1回転軸の近傍に位置していることを特徴とする装置。
【請求項7】
基板搬送装置であって、
フレームと、
前記フレームに結合した駆動部と、
前記駆動部に結合して少なくとも1つの関節ジョイントの関節動作をなす関節アームと、
前記駆動部に配置されるにあたって選択自在な複数の異なる交換自在なモータモジュールと、を含み、
前記モータモジュールの各々は、前記駆動部にマウントされ得、その場合前記駆動部は当該選択されたモータモジュールを含み、当該モータモジュールは前記駆動部の駆動軸を画定する異なる数の駆動軸を有し、当該選択されたモータモジュールはこれとは異なる数の駆動軸を有する別のモータモジュールと交換されて前記駆動部の回転駆動軸の数を変化させ、前記モータモジュールの各々は前記駆動部に対して着脱自在な単一のモジュールであり、
前記関節アーム部は、独立動作をなし得る所定数の関節ジョイントを有する第1アーム形態と、独立動作をなし得る前記所定数とは異なる数の関節ジョイントを有する第2アーム形態とを有し、
前記関節アーム部は、前記第1及び第2アーム形態から選択したアーム形態を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項8】
請求項7記載の基板搬送装置であって、当該アーム形態の選択は、前記駆動部に配置されるべきモータモジュールの選択によってなされ、当該選択されたモータモジュールは独立回転軸の数に応じた数のモータアセンブリを有することを特徴とする装置。
【請求項1】
基板搬送装置であって、
フレームと、
共通ショルダージョイントを含む所定数の関節ジョイントを有し、前記共通ショルダージョイントにおいて前記フレームに接続した関節アーム部と、
前記フレームに結合した駆動部と、
前記駆動部に配置されるにあたって選択自在な所定数の異なる交換自在なモータモジュールと、を含み、
前記関節アーム部は、独立動作をなし得る所定数の関節ジョイントを有する第1アーム形態と、独立動作をなし得る前記所定数とは異なる数の関節ジョイントを有する第2アーム形態とを有し、
前記モータモジュールの各々は、前記モータモジュールがユニットとしての駆動部に対して着脱されるようになっている単独モジュールであり、
前記駆動部は、前記モータモジュールの一つだけ受け入れるようになっており、前記モータモジュールの各々は、別のモータモジュールとは異なる所定数の独立駆動軸を有し、
前記モータモジュールの各々は、前記駆動部に配置された時、前記駆動部への前記モータモジュールの配置とは独立し、かつ駆動部内への前記選択されたモータモジュールの配置におけるモータモジュールの選択された1の独立駆動軸の数に応じて第1及び第2のアーム形態の対応する1の選択を生ぜじめるように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項2】
請求項1記載の基板搬送装置であって、
前記関節アームは、前記関節ジョイントを画定すべく移動自在に結合する多数の剛体アームリンクからなっていることを特徴とする装置。
【請求項3】
請求項1記載の基板搬送装置であって、前記関節ジョイントはピボットジョイントであることを特徴とする装置。
【請求項4】
請求項1記載の基板搬送装置であって、前記関節アームは、スカラアームからなり、当該選択自在形態は、単一の独立的に回転するエンドエフェクタを有するアームと2つの独立的な回転自在エンドエフェクタを有するアームとの間で選択自在であることを特徴とする装置。
【請求項5】
請求項1記載の基板搬送装置であって、前記関節アームが、第1回転軸の回りに前記フレームに対して回転自在な上方アームと、前記関節ジョイントにおいて前記上方アームに結合した前方アームと、前記関節ジョイントとは別の関節ジョイントにおいて前記前方フレームに結合した少なくとも1つのエンドエフェクタと、からなり、前記モータモジュールが前記上方アームによって支持されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項6】
請求項5記載の基板搬送装置であって、前記モータモジュールが前記上方アームの前記第1回転軸の近傍に位置していることを特徴とする装置。
【請求項7】
基板搬送装置であって、
フレームと、
前記フレームに結合した駆動部と、
前記駆動部に結合して少なくとも1つの関節ジョイントの関節動作をなす関節アームと、
前記駆動部に配置されるにあたって選択自在な複数の異なる交換自在なモータモジュールと、を含み、
前記モータモジュールの各々は、前記駆動部にマウントされ得、その場合前記駆動部は当該選択されたモータモジュールを含み、当該モータモジュールは前記駆動部の駆動軸を画定する異なる数の駆動軸を有し、当該選択されたモータモジュールはこれとは異なる数の駆動軸を有する別のモータモジュールと交換されて前記駆動部の回転駆動軸の数を変化させ、前記モータモジュールの各々は前記駆動部に対して着脱自在な単一のモジュールであり、
前記関節アーム部は、独立動作をなし得る所定数の関節ジョイントを有する第1アーム形態と、独立動作をなし得る前記所定数とは異なる数の関節ジョイントを有する第2アーム形態とを有し、
前記関節アーム部は、前記第1及び第2アーム形態から選択したアーム形態を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項8】
請求項7記載の基板搬送装置であって、当該アーム形態の選択は、前記駆動部に配置されるべきモータモジュールの選択によってなされ、当該選択されたモータモジュールは独立回転軸の数に応じた数のモータアセンブリを有することを特徴とする装置。
【図1】
【図2】
【図2A】
【図3】
【図3A】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9】
【図10】
【図10A】
【図11】
【図11A】
【図11B】
【図2】
【図2A】
【図3】
【図3A】
【図4A】
【図4B】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図8】
【図9】
【図10】
【図10A】
【図11】
【図11A】
【図11B】
【公開番号】特開2013−59857(P2013−59857A)
【公開日】平成25年4月4日(2013.4.4)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−236949(P2012−236949)
【出願日】平成24年10月26日(2012.10.26)
【分割の表示】特願2008−521497(P2008−521497)の分割
【原出願日】平成18年7月7日(2006.7.7)
【出願人】(398029692)ブルックス オートメーション インコーポレイテッド (81)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成25年4月4日(2013.4.4)
【国際特許分類】
【出願日】平成24年10月26日(2012.10.26)
【分割の表示】特願2008−521497(P2008−521497)の分割
【原出願日】平成18年7月7日(2006.7.7)
【出願人】(398029692)ブルックス オートメーション インコーポレイテッド (81)
【Fターム(参考)】
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