太陽電池セル検査装置

【課題】外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの取出電極の接続不良及び発電面の欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】発光素子５２は、多数の太陽電池セルを含む太陽電池パネルＳＰに光を照射することにより、各太陽電池セルを発電動作させる。この発電動作により、太陽電池セルの各部に電流が流れ、太陽電池セルの対向する各部に磁界が発生する。磁気センサ１０は、センサ信号取出回路６７及びロックインアンプ６８を介して、各部の磁界を検出して磁界信号をコントローラ７０に供給する。コントローラ７０は、プログラム処理により、前記磁界信号に基づいて、一対の取出電極が対向する方向である第１方向に所定距離隔てた２位置における第１方向の電流の大きさの差を検出する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池に流れる電流によって発生する磁界を複数の箇所で検出して、太陽電池セルの取出電極の接続不良又は太陽電池セルの発電面の欠陥を検出する太陽電池セル検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池セルには、アモルファス太陽電池の場合によくあるように、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように複数の発電セルを直列接続にした構造にして太陽電池セルのみで高電圧を取出すことができるようにしたものがある。このような太陽電池セルは両端にある外部に電流を取出すための取出電極と内部電極とを導電性ペースト又は半田により接続させているが、複数の太陽電池セルを接続して製造される太陽電池パネルは、高温、低温、雨、雪等に晒される環境下で使用されるため、長期間が経過すると、この接続箇所が劣化する可能性がある。そのため、長期間使用した太陽電池パネルは、太陽電池セルごとにこの接続箇所に接続不良が発生していないことを検査する必要がある。また、太陽電池セルを製造した直後又は太陽電池セルから太陽電池パネルを製造した直後も、この接続箇所に接続不良がないことを検査する必要がある。また、前記接続不良よりも発生頻度は低いが、製造直後の太陽電池セルには発電面に欠陥が存在する場合があり、検査によりこのような太陽電池セルを取り除く必要がある。
【０００３】
太陽電池セルや、太陽電池セルから製造される太陽電池パネルを検査する方法にはいくつかの方法があるが、例えば下記特許文献１に紹介されているように、発電によって発生する電流によって各点で発生する磁界を磁気センサにより検出し、磁界の分布状態又は磁界から計算され得る電流の分布状態を、正常なものと比較することで異常の有無を判断する方法がある。この方法であれば、太陽電池セルであっても、太陽電池パネル（下記特許文献１では太陽電池モジュールと記載されている）であっても、検査対象を発電により電流が流れる状態にすれば、接続不良の不具合箇所や発電面の欠陥を非接触で精度よく検出することができる。
【０００４】
また、特許文献１では磁気センサを太陽電池に対して発電のための光を照射する側に配置しているが、反対側に配置しても磁界測定は可能である。ただし、例えば太陽電池が柔軟性に富んだシート状の部材で構成されていて太陽電池をステージに吸引するような複雑な機構を有する必要がある場合などは、特許文献１のように太陽電池に対して光を照射する側に磁気センサを配置する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１７１０６５号公報
【発明の概要】
【０００６】
しかしながら、発明者が実験した結果、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの場合は、前記取出電極に流れる電流が大きいため、前記取出電極と内部電極との間の接続不良があっても、取出電極位置及びその近傍位置の磁界の分布状態又は磁界から計算される電流の分布状態が正常な場合と比べて大きな違いがないことがわかった。このため、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルは、特許文献１に記載されているように、磁界の分布状態又は磁界から計算される電流の分布状態を正常なものと比較する方法では、前記取出電極と内部電極との間の接続不良を検出するのは困難であるという問題がある。また、前記発電面の欠陥の検出に関しても、欠陥が小さい場合は、磁界の分布状態又は磁界から計算される電流の分布状態が正常なものと比較して大きな変化がなく、欠陥の検出精度がよくないという問題がある。
【０００７】
また、特許文献１のように磁気センサを太陽電池に対して発電のための光を照射する側に配置した場合、磁気センサ及び磁気センサを支持する機構が光を照射するための光源と太陽電池との間に位置することになるので、前記磁気センサ及びその支持機構による影が太陽電池上に形成される。なお、光源を太陽電池の表面に、平行に広く配置した場合には、鮮明な影が形成されないにしても、太陽電池の表面に、明度に差がある明るい部分と暗い部分とが生じる。そして、太陽電池の表面に影が形成されたり暗い部分が形成されたりする場合は、この箇所の発電量が減少したり、抵抗値が大きくなったりして、太陽電池セルに流れる電流に影響する。この場合、磁気センサの直下で最も濃い影ができるが、この影の濃淡は、光の照射位置、磁気センサの移動機構の構造などに起因して磁気センサの移動位置によって異なるために、太陽電池セルに流れる電流への影響が磁気センサの移動位置によって異なる。その結果、太陽電池に対して光を照射する側に磁気センサを設けると、磁界の分布状態及び電流の分布状態を精度よく検出できず、発電面の欠陥の検出精度が悪くなるという問題がある。
【０００８】
本発明は、これらの問題を解消するためになされたもので、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの磁気センサを用いた検査において、太陽電池の取出電極と内部電極との間の接続不良を精度よく検出することができるとともに、太陽電池の発電面の欠陥を精度よく検出することができる太陽電池セル検査装置を提供することにある。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の各構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の特徴は、第１方向に沿って配置されるとともに直列接続されてなり、光の照射により発電する複数の発電セル（８３）と、第１方向とは直交する第２方向に延設されるとともに、複数の発電セルのうちの両端の一対の発電セルにそれぞれ内部電極（８６，８８）を介して接続されて、複数の発電セルによって発電された電力を取出すための一対の長尺状の取出電極（８１，８２）とを備えた太陽電池セル（ＳＣ）における内部電極に対する一対の取出電極の接続不良を検査する太陽電池セル検査装置において、太陽電池セルに対向するように配置されて、太陽電池セルの各部に流れる電流によって発生される磁界を検出する磁気センサ（１０）と、太陽電池セルに光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は一対の取出電極に電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号を取出す磁界信号取出手段（５２，７１〜７４，７１ａ，７２ａ）と、一対の取出電極位置又はそれらの内側近傍位置を第１検出位置とするとともに、第１検出位置からその内側方向に所定距離だけ隔てた位置を第２検出位置とし、磁界信号取出手段によって取出された太陽電池セルの各部の磁界信号に基づき、第１検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさを第１検出値とするとともに、第２検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさを第２検出値とし、第１検出値と第２検出値との差を一対の取出電極に沿って検出する差検出手段（７０，Ｓ２６，Ｓ１０４〜Ｓ１１４，Ｓ２２０，Ｓ２２２，Ｓ２２６〜Ｓ２３０，Ｓ２５２〜Ｓ２５８）とを設けたことにある。
【００１０】
前記のように構成した本発明によれば、磁界信号取出手段が、太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される太陽電池セルの各部の磁界を表す磁界信号を取出す。そして、差検出手段が、磁界信号取出手段によって取出された太陽電池セルの各部の磁界信号に基づき、第１検出値としての第１検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさと、第２検出値としての第２検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさとの差を一対の取出電極に沿って検出する。この場合、第１検出位置は一対の取出電極位置又はそれらの内側近傍位置であり、第２検出位置は第１検出位置からその内側方向に所定距離だけ隔てた位置である。
【００１１】
前述のように、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの場合は、取出電極に流れる電流が大きいため、取出電極と内部電極との間の接続不良があっても、取出電極位置及びその近傍位置の磁界の分布状態又は磁界から計算される電流の分布状態が正常な場合と比べて大きな違いがない。しかし、本願発明者は、この種の太陽電池セルにおいて、取出電極と内部電極との間の接続不良がある場合には、一対の取出電極位置及びその近傍位置における取出電極間方向の電流の大きさを取出電極の延設方向に沿って見ると、前記接続不良位置及びその近傍位置にて電流の大きさが大きく変動することを発見した。また、電流と磁界との関係により、この取出電極間方向の電流の大きさが大きく変動する部分では、取出電極の延設方向の磁界の強さも大きく変動することになる。また、本願発明者は、前記変動に関して、第１検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさと、第２検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさとの差を一対の取出電極に沿って見ると、取出電極の正常部分では前記差はほぼ一定値となり、取出電極の接続異常部分ではこの一定値から大きく変動し、前記接続不良位置にて顕著に表れることを発見した。したがって、本発明によれば、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルにおいて、取出電極と内部電極との間の接続不良を高精度で簡単に検出することができる。また、太陽電池セルに対して光を照射する場合、光を照射する側に磁気センサを配置し、磁気センサ及びその支持機構による影ができても、所定距離（この距離は比較的短い）だけ隔てた第１検出位置及び第２検出位置における第１検出値と第２検出値との差を検出しており、第１検出位置及び第２検出位置の影の濃淡はほぼ同じであるので、影の影響を除外することができ、取出電極の接続不良を精度よく検出することができる。
【００１２】
なお、本明細書においては、単に「電流の大きさ」なる表現は、方向を問題とすることなく電流の絶対的な大きさを示す。そして、特定方向の電流の大きさに関しては、方向を特定したうえで電流の大きさ、例えば「Ｘ方向の電流の大きさ」、「Ｙ方向の電流の大きさ」などと表現する。また、この点は、磁界の強さに関しても同じである。さらに、太陽電池セルにおける「内側」なる表現は、一対の取出電極の対向方向であって一対の取出電極間の中央位置に向かう方向を示す。
【００１３】
また、本発明の他の特徴は、さらに、差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差の変動を表す特性値を計算する変動特性値計算手段（Ｓ２６０）を設けたことにある。これによれば、計算された特性値から取出電極の接続異常を簡単に検出できる。この場合、さらに、変動特性値計算手段によって計算された特性値が差検出手段によって計算された第１検出値と第２検出値との差の変動が大きいことを表すことを条件に、取出電極の接続不良を判定する判定手段（Ｓ２６２，Ｓ２６４）を設けるとよい。これによれば、取出電極の接続異常が自動的に検出される。また、差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差の分布を視覚的に示す画像を表示する表示手段を設けてもよい。これによれば、作業者は、視覚を通じて取出電極の接続異常を認識可能となる。
【００１４】
また、本発明の他の特徴は、第１方向に沿って配置されるとともに直列接続されてなり、光の照射により発電する複数の発電セル（８３）と、第１方向とは直交する第２方向に延設されるとともに、複数の発電セルのうちの両端の一対の発電セルにそれぞれ内部電極（８６，８８）を介して接続されて、複数の発電セルによって発電された電力を取出すための一対の長尺状の取出電極（８１，８２）とを備えた太陽電池セル（ＳＣ）における太陽電池セルの発電面の欠陥を検査する太陽電池セル検査装置において、太陽電池セルに対向するように配置されて、太陽電池セルの各部に流れる電流によって発生される磁界を検出する磁気センサ（１０）と、太陽電池セルに光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は一対の取出電極に電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号を取出す磁界信号取出手段（５２，７１〜７４）と、一対の取出電極間に位置して第１方向に所定距離だけ隔てた第１検出位置及び第２検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさをそれぞれ第１検出値及び第２検出値とし、磁界信号取出手段によって取出された太陽電池セルの各部の磁界信号に基づき、第１検出値と第２検出値との差を検出する差検出手段（７０，Ｓ２６，Ｓ１０４〜Ｓ１１４，Ｓ２２０，Ｓ２２２，Ｓ２２６〜Ｓ２３０，Ｓ２７８）とを設けたことにある。
【００１５】
前記のように構成した本発明によれば、磁界信号取出手段が、太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される太陽電池セルの各部の磁界を表す磁界信号を取出す。そして、差検出手段が、磁界信号取出手段によって取出された太陽電池セルの各部の磁界信号に基づき、一対の取出電極間にて第１方向に所定距離だけ隔てた第１検出位置及び第２検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさをそれぞれ第１検出値及び第２検出値とし、第１検出値と第２検出値との差を検出する。
【００１６】
本願発明者は、この種の太陽電池セルにおいて、発電面に欠陥が存在すると、欠陥位置において第１方向（複数の発電セルの接続方向）の電流の大きさ及び第２方向（取出電極の延設方向）の磁界の強さが小さくなることを発見した。そして、太陽電池セルの発電面に欠陥がない場合には、第１方向に所定距離（この距離は比較的短い）だけ隔てた第１検出位置及び第２検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさの差はほぼ「０」となり、発電面に欠陥が存在すると、前記第１検出位置及び第２検出位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさの差が大きくなることも発見した。したがって、前記本発明の他の特徴によれば、差検出手段によって検出される第１検出値と第２検出値との差により、発電面の欠陥を高精度で簡単に検出することができる。また、太陽電池セルに対して光を照射する場合、光を照射する側に磁気センサを配置し、磁気センサ及びその支持機構による影ができても、所定距離（この距離は比較的短い）だけ隔てた第１検出位置及び第２検出位置における第１検出値と第２検出値との差を検出しており、第１検出位置及び第２検出位置との影の濃淡はほぼ同じであるので、影の影響を除外することができ、発電面の欠陥を精度よく検出することができる。
【００１７】
また、本発明の他の特徴は、さらに、差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差が所定値よりも大きいとき、発電面の欠陥を判定する判定手段（Ｓ２８０）を設けたことにある。これによれば、太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥が自動的に検出される。また、差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差の分布を視覚的に示す画像を表示する表示手段を設けてもよい。これによれば、作業者は、視覚を通じて取出電極の接続異常を認識可能となる。
【００１８】
また、本発明の他の特徴は、前記磁界信号取出手段は、太陽電池セルを載置するステージ（１０）と、ステージ上に載置された太陽電池セルに対して発電のために光を照射する第１光照射手段（５２）と、ステージと第１光照射手段との間にて磁気センサをステージに対向させて支持する支持部材とを有し、さらに、支持部材に取付けられて、ステージ上に載置された太陽電池セルの支持部材と対向する領域に光を照射する第２光照射手段（５１）を設けたことにある。これによれば、影によって太陽電池セルに抵抗値が高くなる箇所がなくなるので、影の影響をさらに的確に除外することができる。
【００１９】
また、本発明の他の特徴は、前記磁界信号取出手段は、太陽電池セルに所定周期で変化する光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は前記一対の取出電極に所定周期で変化する電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて前記磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号であって、前記所定周期で変化する磁界信号を取出すことにある。これによれば、外乱光や、外部磁界が存在しても、これらの影響を受けずに、太陽電池セルに対向する各部の箇所で磁界を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る太陽電池セル検査装置の全体構成図である。
【図２】図１のステージ及び磁気センサの移動機構の具体例を示す概略斜視図である。
【図３】移動部材の位置する部分のＸ方向移動機構のＹ−Ｚ平面に平行な断面図である。
【図４】(Ａ)は太陽電池パネルの面積がステージの上面の面積よりも小さい場合における太陽電池パネルのステージ上への載置例を示す図であり、(Ｂ)は太陽電池パネルの面積がステージの上面の面積よりも大きい場合における太陽電池パネルのステージ上への載置例を示す図である。
【図５】図１の磁気センサ及びセンサ信号取出回路の詳細回路ブロック図である。
【図６】図１のロックインアンプの詳細回路ブロック図である。
【図７Ａ】図1のコントローラによって実行されるデータ取得プログラムの前半部分を示すフローチャートである。
【図７Ｂ】前記データ取得プログラムの後半部分を示すフローチャートである。
【図８Ａ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの先頭部分を示すフローチャートである。
【図８Ｂ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図８Ａに続く部分を示すフローチャートである。
【図８Ｃ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図８Ｂに続く部分を示すフローチャートである。
【図８Ｄ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図８Ｃに続く部分を示すフローチャートである。
【図８Ｅ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図８Ｄに続く部分を示すフローチャートである。
【図８Ｆ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図８Ｅに続く部分を示すフローチャートである。
【図８Ｇ】図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図８Ｆに続く部分を示すフローチャートである。
【図９】太陽電池パネルの一例を示す概略平面図である。
【図１０Ａ】図９の太陽電池セルの概略平面図である。
【図１０Ｂ】図１０ＡのＢ−Ｂ線に沿って見た太陽電池セルの拡大断面図である。
【図１１】磁気センサによる太陽電池パネルの走査態様を説明するための説明図である。
【図１２】太陽電池セルの取出電極に接続異常がある場合における電流の変化を説明するための説明図である。
【図１３】太陽電池セルの発電面に欠陥がある場合における電流の変化を説明するための説明図である。
【図１４】太陽電池パネルに流れる電流の大きさの分布図である。
【図１５】変形例に係る太陽電池セル検査装置の全体構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
ａ．構成例
以下、本発明の一実施形態に係る太陽電池セル検査装置の構成例について図面を用いて説明する。図1は、この太陽電池セル検査装置の全体概略図である。図２は、測定対象である太陽電池パネルＳＰの各部に流れる電流によって発生する磁界を検出するための磁界検出機構の概略斜視図である。この太陽電池セル検査装置は、詳しくは後述する磁気センサ１０に対向して配置されて太陽電池パネルＳＰを載置するためのステージ２０と、磁気センサ１０をＸ軸方向に移動させるためのＸ方向移動機構３０と、磁気センサ１０を含むＸ方向移動機構３０をＹ軸方向に移動させるためのＹ方向移動機構４０とを備えている。
【００２２】
ステージ２０は、方形状に形成されている。ステージ２０の表面には多数の微小孔が形成されており、これらの多数の微小孔は共通にバキュームポンプ２１に連通している。そして、バキュームポンプ２１を作動させると、ステージ２０の上面に載置された太陽電池パネルＳＰが微小孔を介して吸引されるようになっている。これは、後述するように、太陽電池パネルＳＰの中には柔軟性に富んだシート状に形成されているものもあり、このようなシート状の太陽電池パネルＳＰを単にステージ２０上に載置しただけでは、シート状の太陽電池パネルＳＰの表面に凹凸が生じて後述する磁界測定が精度よく行われないことがあるためである。このような場合は、本実施形態のように、バキュームポンプ２１でシート状の太陽電池パネルＳＰを吸引すれば、太陽電池パネルＳＰがステージ２０上に吸着され、太陽電池パネルＳＰの表面の高さが均一になるために、後述する磁界測定の精度が良好になる。
【００２３】
なお、この種のシート状の太陽電池パネルＳＰには様々な大きさのものが存在する。そして、シート状の太陽電池パネルＳＰをステージ２０上にセットして、バキュームポンプ２１を作動させる場合、太陽電池パネルＳＰがステージ２０の上面の面積より小さければ、図４(Ａ)に示すように、ステージ２０上の太陽電池パネルＳＰが存在しない部分には、別の平板Ｈを置くようにするとよい。また、シート状の太陽電池パネルＳＰがステージ２０の上面の面積より大きい場合には、図４(Ｂ)に示すように、太陽電池パネルＳＰの検査を行う部分をステージ２０上に置き、それ以外の部分を巻いたりしてステージ２０の下方に置けばよい。なお、ステージ２０はシート状の太陽電池パネルＳＰをセットするための構造であるが、この太陽電池セル検査装置は、他の種類の太陽電池パネルＳＰ（例えば、硬質の太陽電池パネルＳＰ）をステージ２０にセットして検査することも可能である。
【００２４】
Ｘ方向移動機構３０は、図３に示すＸ軸方向に垂直な断面図でも示すように、Ｘ軸方向に延設された長尺状の支持部材３１を有する。支持部材３１の両端近傍には、下方に突出した方形状の凸部３１Ａ，３１Ｂが設けられている。支持部材３１の凸部３１Ａ，３１Ｂは、Ｙ方向移動機構４０を構成するＹ軸方向に延設された一対の支持部材４１，４２の上面に設けた溝４１ａ，４２ａ内にＹ軸方向に摺動可能に侵入している。支持部材４１，４２の溝４１ａ，４２ａは、支持部材４１，４２に延設方向（Ｙ軸方向）に沿って断面方形状に形成されている。支持部材４１，４２の下部には幅広の底部４１ｂ，４２ｂがそれぞれ設けられ、支持部材４１，４２は底部４１ｂ，４２ｂによりステージ２０のＸ軸方向両側に安定して設置されるようになっている。
【００２５】
支持部材４１の溝４１ａ内には、Ｙ軸方向に延設されて支持部材３１の凸部３１Ａを貫通する雄ねじ４３が収容されている。支持部材３１の凸部３１Ａ内には、雄ねじ４３に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ４３の回転により、支持部材３１がＹ軸方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ４３と支持部材３１の凸部３１Ａ内に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ４３の一端は、支持部材４１の一端に組み付けたＹ方向モータ４４の回転軸に連結され、雄ねじ４３の他端は支持部材４１の他端に回転可能に支持されている。これにより、Ｙ方向モータ４４の回転により雄ねじ４３が軸線周りに回転して、支持部材３１がＹ軸方向に移動する。
【００２６】
Ｘ方向移動機構３０の支持部材３１には、Ｘ軸方向の両端部分を除いて、断面方形状に形成されて下方に開口されるとともにＸ軸方向に延設された凹部３１ａが設けられている。この支持部材３１の凹部３１ａの前後方向内側面（Ｙ軸方向内側面）には、同一高さ位置にて断面方形状の溝３１ｂ，３１ｃがＸ軸方向に延設されて形成されている。これらの溝３１ｂ，３１ｃには、方形状に形成した移動部材３２の両側部に設けた方形状の凸部３２ａ，３２ｂが摺動可能に係合している。移動部材３２の下面には、磁気センサ１０がステージ２０に対向するように固定されている。
【００２７】
支持部材３１の凹部３１ａ内には、Ｘ軸方向に延設されて移動部材３２を貫通する雄ねじ３３が収容されている。移動部材３２内には、Ｘ軸方向に延設された雄ねじ３３に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ３３の回転により、移動部材３２がＸ軸方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ３３と移動部材３２内に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ３３の一端は、支持部材３１の一端に組み付けたＸ方向モータ３４の回転軸に連結され、雄ねじ３３の他端は支持部材３１の他端にて回転可能に支持されている。これにより、Ｘ方向モータ３４の回転により雄ねじ３３が軸線周りに回転して、移動部材３２が磁気センサ１０と共にＸ軸方向に移動する。
【００２８】
支持部材３１の両側底面には、所定の間隔をおいて複数の発光素子（ＬＥＤ）５１が固定されている。この発光素子５１は、太陽電池パネルＳＰに対する光の照射量が減少した箇所における抵抗値が他に比べて高くならないようにするもので、Ｘ方向移動機構３０による影に起因して抵抗値が増大しないようにするためのものである。言い換えれば、この発光素子５１による太陽電池パネルＳＰへの照射は、太陽電池パネルＳＰに発電させる目的ではなく、太陽電池パネルＳＰの照射量の減少した箇所の抵抗値が他に比べて高くならないようにするためのものであるので、発光素子５１による光の照射強度は後述する発電のための発光素子５２に比べれば微弱であってもよい。
【００２９】
ふたたび図１の説明に戻ると、ステージ２０の上面に対向する位置であって、Ｘ方向移動機構３０よりもさらに上方の位置には、複数の発光素子（ＬＥＤ）５２が配置されている。複数の発光素子５２はマトリクス状に配置されて、太陽電池パネルＳＰをステージ２０上に載置した状態で、太陽電池全体に均一な光量（すなわち強度）の光が照射されるようになっている。
【００３０】
バキュームポンプ２１には、ポンプ駆動回路６１が接続されている。ポンプ駆動回路６１は、後述するコントローラ７０による指示により、バキュームポンプ２１の作動開始及び作動停止を制御する。
【００３１】
Ｘ方向モータ３４内には、Ｘ方向モータ３４の回転を検出して、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ３４ａが組み込まれている。この回転信号は、Ｘ方向モータ３４が所定の微少角度だけ回転するたびにハイレベルとローレベルとを交互に切替えるパルス列信号であって、回転方向を識別するために互いにπ／２だけ位相のずれたＡ相信号とＢ相信号とで構成される。回転信号は、Ｘ方向位置検出回路６２及びＸ方向フィードモータ制御回路６３に出力される。Ｘ方向位置検出回路６２は、前記回転信号のパルス数をＸ方向モータ３４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からＸ方向モータ３４による移動部材３２のＸ軸方向位置（すなわち磁気センサ１０のＸ軸方向位置）を検出し、検出したＸ軸方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路６３及び後述するコントローラ７０に出力する。Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、コントローラ７０の指示により、Ｘ方向モータ３４の駆動及び停止を制御する。このＸ方向モータ３４の駆動時においては、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、エンコーダ３４ａからの回転信号を用いてＸ方向モータ３４を所定の回転速度で回転させる。
【００３２】
Ｘ方向位置検出回路６２におけるカウント値の初期設定は、電源投入時にコントローラ７０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ７０は、電源投入時に、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３に移動部材３２の初期位置に対応したＸ軸方向限界位置への移動、及びＸ方向位置検出回路６２に初期設定を指示する。この指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、Ｘ方向モータ３４を駆動して移動部材３２を初期位置に対応したＸ軸方向限界位置まで移動させる。Ｘ方向位置検出回路６２は、移動部材３２のＸ軸方向への移動中、Ｘ方向モータ３４内のエンコーダ３４ａからの回転信号を入力し続けている。そして、移動部材３２が初期位置に対応したＸ軸方向限界位置まで達してＸ方向モータ３４の回転が停止すると、Ｘ方向位置検出回路６２はエンコーダ３４ａからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「０」にリセットする。このとき、Ｘ方向位置検出回路６２は、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３に出力停止のための信号を出力し、これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３はＸ方向モータ３４への駆動信号の出力を停止する。その後に、Ｘ方向モータ３４が駆動された際には、Ｘ方向位置検出回路６２は、回転信号のパルス数をＸ方向モータ３４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいて移動部材３２のＸ軸方向位置を計算し、計算したＸ軸方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路６３及びコントローラ７０に出力し続ける。
【００３３】
Ｙ方向モータ４４内には、Ｙ方向モータ４４の回転を検出して、前記Ｘ方向モータ３４と同様に、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ４４ａが組み込まれている。この回転信号は、Ｙ方向位置検出回路６４及びＹ方向フィードモータ制御回路６５に出力される。Ｙ方向位置検出回路６４は、前記回転信号のパルス数をＹ方向モータ４４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からＹ方向モータ４４による移動部材３２のＹ軸方向位置（すなわち磁気センサ１０のＹ軸方向位置）を検出し、検出したＹ軸方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路６５及びコントローラ７０に出力する。Ｙ方向フィードモータ制御回路６５は、コントローラ７０の指示により、前記Ｘ方向フィードモータ制御回路６３の場合と同様に、Ｙ方向モータ４４の駆動及び停止を制御する。
【００３４】
Ｙ方向位置検出回路６４におけるカウント値の初期設定も、電源投入時にコントローラ７０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ７０は、電源投入時に、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５に移動部材３２の初期位置に対応したＹ軸方向限界位置への移動、及びＹ方向位置検出回路６４に初期設定を指示する。この指示により、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５は、Ｙ方向モータ４４を駆動して移動部材３２を初期位置に対応したＹ軸方向限界位置まで移動させる。Ｙ方向位置検出回路６４は、移動部材３２のＹ軸方向への移動中、Ｙ方向モータ４４内のエンコーダ４４ａからの回転信号を入力し続けている。そして、移動部材３２が初期位置に対応したＹ軸方向限界位置まで達してＹ方向モータ４４の回転が停止すると、Ｙ方向位置検出回路６４はエンコーダ４４ａからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「０」にリセットする。このとき、Ｙ方向位置検出回路６４は、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５に出力停止のための信号を出力し、これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５はＹ方向モータ４４への駆動信号の出力を停止する。その後に、Ｙ方向モータ４４が駆動された際には、Ｙ方向位置検出回路６４は、回転信号のパルス数をＹ方向モータ４４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいて移動部材３２のＹ軸方向位置を計算し、計算したＹ軸方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路６５及びコントローラ７０に出力し続ける。
【００３５】
この太陽電池セル検査装置は、さらに、発光信号供給回路７１、第１光源駆動回路７２、センサ信号取出回路７３、ロックインアンプ７４、第２光源駆動回路７５及びコントローラ７０を備えている。発光信号供給回路７１は、正弦波発振器及び矩形波変換回路を含み、コントローラ７０によって作動制御されて、正弦波発振器によって発振される正弦波信号を発光制御信号として第１光源駆動回路７２に供給する。なお、発光制御信号は、「０」を基準に正負に変化する信号であり、その周波数は、例えば数１０ヘルツから数１００ヘルツ程度である。また、発光信号供給回路７１は、前記正弦波信号からなる発光制御信号を矩形波変換回路による変換により、前記発光制御信号と同期して「０」を中心として正負に変化する矩形波信号を生成して、参照信号としてロックインアンプ７４に出力する。第１光源駆動回路７２も、コントローラ７０によって作動制御されて、前記供給された発光制御信号によって複数の発光素子５２を同時に発光制御する。発光素子５２は、前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化する発光強度で太陽電池パネルＳＰの表面を照射する。
【００３６】
次に、磁気センサ１０について説明しておく。磁気センサ１０は、図５に示すように、Ｘ軸方向の磁界を検出するＸ方向磁気センサ１０Ａと、Ｙ軸方向の磁界の変化を検出するＹ方向磁気センサ１０Ｂとを備えている。Ｘ方向磁気センサ１０Ａは、抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ11，ｒ13の接続点と、抵抗ｒ12及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点との間に、センサ信号取出回路７３の後述する定電圧供給回路７３ａから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｘ方向磁気センサ１０Ａにおいては、抵抗ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点と、抵抗ｒ11，ｒ12間の接続点との間の電圧をＸ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ１の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＸ軸方向の磁界の正負の変化により、Ｘ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＸ軸方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。
【００３７】
Ｙ方向磁気センサ１０Ｂは、抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ21，ｒ22の接続点と、抵抗ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点との間に、センサ信号取出回路７３の後述する定電圧供給回路７３ｂから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂにおいては、抵抗ｒ22及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点と、抵抗ｒ21，ｒ23間の接続点との間の電圧をＹ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ２の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＹ軸方向の磁界の正負の変化により、Ｙ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＹ軸方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。
【００３８】
センサ信号取出回路７３は、定電圧供給回路７３ａ，７３ｂ及び増幅器７３ｃ，７３ｄを備えている。定電圧供給回路７３ａ，７３ｂは、コントローラ７０からの指示により、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０Ｂに対して、定電圧＋Ｖ，−Ｖを供給する。増幅器７３ｃ、７３ｄは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号をそれぞれ増幅してロックインアンプ７４に出力する。
【００３９】
ロックインアンプ７４は、図６に詳細に示すように、Ｘ方向磁気センサ１０Ａから増幅器７３ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ７４ａと、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂから増幅器７３ｄを介して供給されるＹ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ７４ｂとを備えている。ハイパスフィルタ７４ａ，７４ｂは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号に含まれる、磁界の強さに比例した信号成分以外の不要な成分を取り除くとともに、信号をグランドレベルを中心に変化するようにする。
【００４０】
ハイパスフィルタ７４ａの出力は、増幅器７４ｃを介して位相検波回路７４ｄ，７４ｅに供給される。位相検波回路７４ｄ，７４ｅは、それぞれ乗算器によって構成されている。位相検波回路７４ｄは、ハイパスフィルタ７４ａ及び増幅器７４ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、発光信号供給回路７１からの参照信号を乗算してローパスフィルタ７４ｆに出力する。位相検波回路７４ｅは、ハイパスフィルタ７４ａ及び増幅器７４ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、発光信号供給回路７１からの参照信号を位相シフト回路７４ｇで９０度位相を遅らせた遅延参照信号を乗算してローパスフィルタ７４ｈに出力する。これにより、ローパスフィルタ７４ｆにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ７４ｆは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ７４ｈにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ７４ｈは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。
【００４１】
ハイパスフィルタ７４ｂの出力は、増幅器７４ｉを介して位相検波回路７４ｊ，７４ｋに供給される。位相検波回路７４ｊ，７４ｋには、ローパスフィルタ７４ｍ，７４ｎが接続されている。位相検波回路７４ｊ，７４ｋ及びローパスフィルタ７４ｍ，７４ｎは、前述した位相検波回路７４ｄ，７４ｅ及びローパスフィルタ７４ｆ，７４ｈと同様に構成されている。これにより、ローパスフィルタ７４ｍにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ７４ｍは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ７４ｎにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ７４ｎは供給された成分信号をローパス処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ７４ｆ，７４ｈ，７４ｍ，７４ｎは、Ａ／Ｄ変換器７４ｏ，７４ｐ，７４ｑ，７４ｒにそれぞれ接続されている。Ａ／Ｄ変換器７４ｏ，７４ｐ，７４ｑ，７４ｒは、所定の時間間隔ごとに、ローパスフィルタ７４ｆ，７４ｈ，７４ｍ，７４ｎからの信号をそれぞれＡ／Ｄ変換してコントローラ７０に供給する。
【００４２】
ふたたび図１の説明に戻り、第２光源駆動回路７５は、コントローラ７０により指示されて、複数の発光素子５１を同時に点灯させる。この場合、複数の発光素子５１を点灯制御する駆動信号は、直流信号でもよいし、発光信号供給回路７１が出力する信号の周期とは異なった周期の信号でもよい。また、上述のように、発光素子５１による太陽電池パネルＳＰへの照射は、太陽電池パネルＳＰに発電させる目的ではなく、太陽電池パネルＳＰの発光素子５２の光の照射量が減少した箇所の抵抗値が他に比べて高くならないようにするためのものであるので、駆動信号の大きさは第１光源駆動回路７２に比べて微弱であってもよい。
【００４３】
コントローラ７０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたマイクロコンピュータと、ハードディスクや不揮発性メモリなどの記憶装置と、入出力インタフェース等から構成される電子制御装置である。コントローラ７０は、記憶装置に記憶された図７Ａ及び図７Ｂのデータ取得プログラム及び図８Ａ乃至図８Ｇの評価プログラムを実行してこの太陽電池セル検査装置の動作を制御する。コントローラ７０には、作業者が各種パラメータや処理等を指示するための入力装置７７と、作業者に対して作動状況等を視覚的に知らせるための表示装置７８とが接続されている。
【００４４】
ｂ．太陽電池パネル例
次に、太陽電池パネルＳＰについて説明しておく。太陽電池パネルＳＰは、図９に示すように、マトリクス状に配置された多数の太陽電池セルＳＣが、基板８０上に固定されている。本実施形態では、Ｘ方向にｔmax個、Ｙ方向にｓmax個の太陽電池セルＳＣが配置されているものとする。
【００４５】
各太陽電池セルＳＣは、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、方形状に形成され、外部に電力を取出すための長尺状の一対の取出電極（正電極及び負電極）８１，８２を上面にて平行に延設させており、一対の取出電極８１，８２の間を前記取出電極８１，８２と同一方向に延設させた複数の発電セル８３を直列接続した構造を有している。各発電セル８３は、表面電極８３ａ、半導体層８３ｂ及び裏面電極８３ｃからなる。半導体層８３ｂは、上側をＮ層とするとともに下側をＰ層としており、発生電流は裏面電極８３ｃから表面電極８３ａの方向に流れる。隣り合う発電セル８３，８３間は、一方の表面電極８３ａと他方の裏面電極８３ｃが導電層８４によって電気的に接続され、かつ絶縁層８５によって絶縁されている。一端（図示右側端）の発電セル８３の表面電極８３ａは、導電層からなる内部電極８６を介して取出電極８１に接続され、この発電セル８３の外側には絶縁層８７ａが設けられている。他端（図示左側端）の発電セル８３の裏面電極８３ｃは、導電層からなる内部電極８８を介して取出電極８２に接続されており、この発電セル８３の外側には絶縁層８７ｂが設けられている。この太陽電池セルＳＣの上面はガラス層８９で覆われており、取出電極８１，８２は、内部電極８６，８８に導電性ペースト又は半田により接続されている。
【００４６】
そして、図９に示すように、Ｙ方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣの各電極８１，８２は接続線９１でそれぞれ直列に接続され、この直列に接続されたｓmax個の電極８１，８２は接続線９２，９３によりそれぞれ並列に接続されている。そして、接続線９２，９３から電力が出力されるようになっている。なお、この太陽電池セルＳＣの検査の場合には、接続線９２，９３間に後述する抵抗Ｒcsが導線Ｌ１，Ｌ２を介して接続される。そして、電流は図示矢印の方向に流れる。
【００４７】
ｃ．作動説明
次に、上記のように構成した太陽電池セル検査装置の動作について説明する。作業者は、図９に示すように、検査対象となる太陽電池パネルＳＰに導線Ｌ１，Ｌ２を介して小さな抵抗Ｒcs（例えば、５オーム程度の抵抗）を接続して、ステージ２０上に載置する。この場合、太陽電池パネルＳＰのＸ−Ｙ平面の原点となる位置（後述するプログラムで変数ｎ，ｍが共に「１」となる位置）の近傍のコーナーを、ステージ２０の所定位置（本実施形態では図２の左下に位置するコーナー付近）に合わせる。なお、抵抗Ｒcsを接続する理由は、発光素子５１，５２を用いた光の照射により、太陽電池セルＳＣの発電による電流が太陽電池セルＳＣを流れるようにするためである。この状態で、太陽電池セル検査装置の電源が投入されると、上述したように、コントローラ７０の指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３及びＹ方向フィードモータ制御回路６５は磁気センサ１０をＸ方向及びＹ方向の限界位置に移動させるとともに、Ｘ方向位置検出回路６２及びＹ方向位置検出回路６４は検出されるＸ方向位置及びＹ方向位置を初期値に設定する。
【００４８】
その後、作業者は、入力装置７７を操作することにより、太陽電池パネルＳＰの計測に必要なパラメータを入力する。この場合、必要なパラメータとしては、太陽電池パネルＳＰのＸ，Ｙ方向の長さ、Ｘ，Ｙ方向への磁気センサ１０の移動ピッチ（太陽電池パネルＳＰのＸ，Ｙ方向の走査間隔）ΔＸ，ΔＹ、太陽電池セルＳＣのＸ方向及びＹ方向の数ｔmax，ｓmax、各太陽電池セルＳＣのＸ方向及びＹ方向の長さなどである。この入力されたパラメータは、コントローラ７０に記憶される。また、後述するデータ処理プログラムや評価プログラムにて使用されるＸ方向終了位置Ｘmax、Ｙ方向終了位置Ｙmax、値Ｎｎ、値Ｎｍ等のパラメータが、この入力されたパラメータから計算されて記憶される。なお、移動ピッチΔＸ，ΔＹは微小値（例えば、１ｍｍ）であり、作業者が入力するのではなく、予め用意された値でもよい。
【００４９】
この状態で、作業者は、入力装置７７を操作することにより、バキュームポンプ２１の作動開始をコントローラ７０に入力指示する。これにより、コントローラ７０はポンプ駆動回路６１を制御して、バキュームポンプ２１を作動させる。このバキュームポンプ２１の作動により、ステージ２０の上面に載置された太陽電池パネルＳＰが微小孔を介して吸引されて、太陽電池パネルＳＰがステージ２０上に固定される。したがって、太陽電池パネルＳＰが柔軟性に富んだシート状のものであっても、太陽電池パネルＳＰがステージ２０状に吸着され、太陽電池パネルＳＰの表面の高さが均一になるために、後述する磁界測定の精度が良好になる。なお、バキュームポンプ２１による太陽電池パネルＳＰの吸引が不必要ない場合には、特に、バキュームポンプ２１を作動させる必要はない。
【００５０】
次に、作業者は、入力装置７７の操作により、コントローラ７０に図７Ａ及び図７Ｂのデータ取得プログラムの実行を開始させる。すなわち、太陽電池パネルＳＰの計測の開始をコントローラ７０に指示する。この指示に応答して、コントローラ７０は、図７ＡのステップＳ１０にてデータ取得プログラムの実行を開始し、ステップＳ１２にて変数ｎを「０」に初期設定するとともに、変数ｍ，ａをそれぞれ「１」に初期設定する。変数ｎ，ｍは、太陽電池パネルＳＰに対する磁気センサ１０の走査位置を示す変数である。なお、磁気センサ１０は、図１１に示すように、まず、Ｘ方向に初期値Ｘｓによって表される開始位置から終了値Ｘmaxによって表される終了位置を越えるまで所定の移動ピッチΔＸずつ移動制御される。そして、Ｘ方向の終了位置に達すると、磁気センサ１０はＹ方向に所定の移動ピッチΔＹだけ移動制御され、その後に、Ｘ方向の終了位置からＸ方向の開始位置まで移動ピッチΔＸずつ移動制御される。そして、ふたたび、磁気センサ１０はＹ方向に移動ピッチΔＹだけ移動制御されて、Ｘ方向の開始位置から終了位置まで移動ピッチΔＸずつ移動制御される。このように、磁気センサ１０は、Ｘ方向に往復運動しながらＹ方向に移動して、太陽電池パネルＳＰを走査する。なお、移動ピッチΔＸ，ΔＹは、太陽電池セルＳＣの縦横の長さに比べて極めて小さい。変数ａは、「１」により磁気センサ１０の中心位置がＸ軸方向正側に移動している状態を表し、「−１」により磁気センサ１０の中心位置がＸ軸方向負側に移動している状態を表している。以降、この磁気センサ１０の中心位置を検査位置という。
【００５１】
前記ステップＳ１２の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１４にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３に対して磁気センサ１０をＸ軸方向に移動して検査位置がＸ軸方向の初期値Ｘｓによって表される初期位置になるように指示するとともに、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５に対して磁気センサ１０をＹ軸方向に移動して検査位置がＹ軸方向の初期値Ｙｓによって表される初期位置になるように指示する。この指示に応答して、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、Ｘ方向位置検出回路６２からＸ方向検出位置（Ｘ軸方向の検査位置すなわち測定位置）を入力しながら、Ｘ方向検出位置が初期値Ｘｓに一致するまでＸ方向モータ３４を駆動制御する。Ｙ方向フィードモータ制御回路６５は、Ｙ方向位置検出回路６４からＹ方向検出位置（Ｙ軸方向の検査位置すなわち測定位置）を入力しながら、Ｙ方向検出位置が初期値Ｙｓに一致するまでＹ方向モータ３４を駆動制御する。
【００５２】
ステップＳ１４の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１６にて発光信号供給回路７１の作動開始を指示する。この指示に応答して、発光信号供給回路７１は、正弦波状の発光制御信号を光源駆動回路７２に供給するとともに、前記発光制御信号と同期した矩形波状の参照信号をロックインアンプ７４に供給し始める。次に、コントローラ７０は、ステップＳ１８にて第１光源駆動回路７２の作動開始を指示する。この指示に応答して、第１光源駆動回路７２は、前記供給された発光制御信号に応じて正弦波状に変化する駆動制御信号を発光素子５２に供給して、発光素子５２を発光制御し始める。次に、コントローラ７０は、ステップＳ２０にて第２光源駆動回路７５の作動開始を指示する。この指示に応答して、第２光源駆動回路７５は、発光素子５１を発光制御し始める。次に、コントローラ７０は、ステップＳ２２にてセンサ信号取出回路７３の作動開始を指示する。この指示に応答して、センサ信号取出回路７３内の定電圧供給回路７３ａ，７３ｂは、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０Ｂに定電圧信号＋Ｖ，−Ｖを供給し始める。これにより、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０ＢによるＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号が、増幅器７３ｃ，７３ｄを介してロックインアンプ７４にそれぞれ供給され始める。
【００５３】
このＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号について説明する。前記発光素子５２の発光制御により、発光素子５２は、その発光強度を前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化させながら、太陽電池パネルＳＰの表面全体に均等に光を照射する。この光の照射により、太陽電池パネルＳＰの各太陽電池セルＳＣは前記発光強度に応じて電力を発電し始める。この電力の発電により、各太陽電池セルＳＣには電流が流れ始めるとともに、導線Ｌ１，Ｌ２を介して抵抗Ｒcsにも電流が流れ始める（図９の矢印参照）。各太陽電池セルＳＣの表裏面近傍には、前記電流による磁界が発生する。そして、Ｘ方向磁気センサ１０Ａは、Ｘ方向の磁界Ｈの大きさに比例した電圧をＸ方向磁気検出信号として出力し始める。また、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂは、Ｙ方向の磁界Ｈの大きさに比例した電圧をＹ方向磁気検出信号として出力し始める。これらのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号は、前記発光素子５２の発光強度が正弦波状に変化するので、正弦波状に変化する信号である。ただし、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号の位相は、発光素子５２を駆動制御するための正弦波状の発光制御信号とは若干異なる。
【００５４】
ロックインアンプ７４においては、入力されたＸ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ７４ａ及び増幅器７４ｃを介して位相検波回路（乗算器）７４ｄ，７４ｅにそれぞれ供給されるとともに、入力されたＹ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ７４ｂ及び増幅器７４ｉを介して位相検波回路（乗算器）７４ｊ，７４ｋにそれぞれ供給される。位相検波回路７４ｄ，７４ｊには、発光信号供給回路７１からの矩形波状の参照信号が供給されている。また、位相検波回路７４ｅ，７４ｋには、前記参照信号の位相を位相シフト回路７４ｇで９０度遅らせた遅延参照信号が供給されている。そして、位相検波回路７４ｄ，７４ｅは、増幅器７４ｃを介して供給されたＸ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ７４ｆ，７４ｈを介してＡ／Ｄ変換器７４ｏ，７４ｐにそれぞれ供給する。位相検波回路７４ｊ，７４ｋは、増幅器７４ｃを介して供給されたＹ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ７４ｍ，７４ｎを介してＡ／Ｄ変換器７４ｑ，７４ｒにそれぞれ供給する。
【００５５】
ここで、ローパスフィルタ７４ｆ，７４ｈ，７４ｍ，７４ｎは供給された信号の成分の大きさを表す信号すなわち正弦波状の信号の振幅に比例した大きさを表す信号を出力するように機能する。したがって、Ａ／Ｄ変換器７４ｏには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号（すなわち発光制御信号）に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器７４ｐには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器７４ｑには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器７４ｒには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。そして、Ａ／Ｄ変換器７４ｏ，７４ｐ，７４ｑ，７４ｒは、それぞれ供給された信号を所定時間ごとにサンプリングしてＡ／Ｄ変換し、Ａ／Ｄ変換したサンプリングデータをコントローラ７０に供給する。したがって、コントローラ７０には前記各信号成分の所定時間ごとの大きさを表すサンプリングデータが所定時間ごとに供給されるようになる。
【００５６】
前記ステップＳ２２の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２４にて変数ｎに変数ａを加算する。この場合、ステップＳ２４の処理前の変数ｎは「０」であり、変数ａは「１」であるので、変数ｎは「１」に変更される。前記ステップＳ２４の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２６にて、ロックインアンプ７４のＡ／Ｄ変換器７４ｏ，７４ｐ，７４ｑ，７４ｒから供給されるサンプリングデータを取込み、ステップＳ２８にて取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達したか否かを判定する。この所定数Ｋは、例えば数個から数十個の各サンプリングデータの数を表す値に設定されている。各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２６にてＡ／Ｄ変換器７４ｏ，７４ｐ，７４ｑ，７４ｒから次に出力されるサンプリングデータを取込む。そして、Ａ／Ｄ変換器７４ｏ，７４ｐ，７４ｑ，７４ｒから取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ３０以降の処理を実行する。ステップＳ２６にて取込まれたサンプリングデータは、変数ｎ，ｍによって指定されるサンプリングデータ群として、ＲＡＭに記憶される。
【００５７】
具体的には、Ａ／Ｄ変換器７４ｏから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器７４ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器７４ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器７４ｒから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。なお、この場合の変数ｎ，ｍは、共に「１」である。
【００５８】
前記ステップＳ２６，Ｓ２８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ３０にて変数ａが「１」であるか否かを判定する。変数ａは「１」に初期設定されているので、この場合、コントローラ７０は、ステップＳ３０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ３２にて、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸがＸ軸方向の終了値Ｘmaxよりも大きいか否かを判定する。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸは、Ｘ軸方向の走査間隔を表す所定値ΔＸに変数ｎを乗算して初期値Ｘｓを加算した値であり、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置すなわち測定位置）を表す値（図１１参照）である。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmax以下であれば、コントローラ７０は、ステップＳ３２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３４にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３に、磁気センサ１０の中心位置をＸ軸方向正側に移動させるように指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、Ｘ方向モータ３４を作動させて磁気センサ１０の中心位置をＸ軸方向正側に移動させ始める。
【００５９】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ３６にてＸ方向位置検出回路６２からＸ方向位置を入力し、ステップＳ３８にて入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達したか否か、すなわちＸ方向位置を示す値が値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸ以上になったか否かを判定する。そして、Ｘ方向位置検出回路６２から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ３８にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ３６，Ｓ３８の処理を繰り返し実行する。Ｘ方向位置検出回路６２から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ３８にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ４０にてＸ方向フィードモータ制御回路６３に、磁気センサ１０のＸ軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、Ｘ方向モータ３４の作動を停止させて、磁気センサ１０のＸ軸方向正側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ１０は、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸで表されたＸ軸方向位置、かつＹ軸方向初期値Ｙｓを磁気センサ１０の検出位置として、太陽電池パネルＳＰの磁界を検出し始める。
【００６０】
前記ステップＳ４０の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２４に戻って、ステップＳ２４の処理によって変数ｎに変数ａ（この場合、ａ＝１）を加算して、前述のステップＳ２６，Ｓ２８のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップＳ２６，Ｓ２８の処理により、値Ｘｓ＋(ｎ−１)・ΔＸで表されたＸ軸方向位置、かつＹ軸方向初期値Ｙｓを検出位置とする磁気センサ１０の磁界検出によるサンプリングデータがＲＡＭに新たに記憶される。具体的には、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。また、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照信号とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。なお、この場合の変数ｎは「２」であり、変数ｍは「１」である。
【００６１】
そして、コントローラ７０は、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなるまで、ステップＳ２４〜Ｓ４０の処理により、磁気センサ１０による検出位置をＸ軸方向正側に所定値ΔＸずつ移動させるとともに、変数ｎを「１」ずつ増加させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のＸ軸方向の検出位置を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなると、コントローラ７０は、ステップＳ３２にて「Ｙｅｓ」と判定して、プログラムを図７ＢのステップＳ５２に進める。この状態では、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝１）がＲＡＭに記憶される。なお、値ｎmaxは、終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値であって、Ｘ軸方向における検出位置の数を表している。
【００６２】
コントローラ７０は、ステップＳ５２において、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５に、磁気センサ１０による検出位置をＹ軸方向正側に移動させるように指示する。これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５は、Ｙ方向モータ３４を作動させて磁気センサ１０による検出位置をＹ軸方向正側に移動させ始める。次に、コントローラ７０は、ステップＳ５４にてＹ方向位置検出回路６４からＹ方向位置を入力し、ステップＳ５６にて入力したＹ方向位置が次のＹ軸方向の検出位置Ｙｓ＋ｍ・ΔＹに達したか否かを判定する。この次のＹ軸方向の検出位置Ｙｓ＋ｍ・ΔＹは、Ｘ軸方向の次の検出位置Ｘｓ＋ｎ・ΔＸと同様に、Ｙ軸方向の走査間隔を表す所定値ΔＹに変数ｍを乗算して初期値Ｙｓを加算した値である（図１１参照）。そして、Ｙ方向位置検出回路６４から入力したＹ方向位置が次のＹ軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ５６にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ５４，Ｓ５６の処理を繰り返し実行する。Ｙ方向位置検出回路６４から入力したＹ方向位置が次のＹ軸方向の検出位置に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ５６にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ５８にてＹ方向フィードモータ制御回路６５に、磁気センサ１０のＹ軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路６５は、Ｙ方向モータ３４の作動を停止させて、磁気センサ１０検出位置のＹ軸方向正側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ１０は、値Ｘｓ＋(ｎ-１)・ΔＸ（＝Ｘｓ＋(ｎmax-１)・ΔＸ）で表されたＸ軸方向位置、かつ値Ｙｓ＋ｍ・ΔＹ（＝Ｙｓ＋ΔＹ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルＳＰの表面近傍の磁界を検出し始める。
【００６３】
前記ステップＳ５８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ６０にて、Ｙ方向位置検出回路６４からＹ方向位置を入力して、入力したＹ方向位置が終了値Ｙmaxによって表されたＹ軸方向の走査終了位置を越えたか否かを判定する。Ｙ方向位置が走査終了位置を越えていなければ、コントローラ７０は、ステップＳ６０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ６２にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ６４にて変数ａに「−１」を乗算する。この場合、ステップＳ６２の処理によって変数ｍは「２」になり、ステップＳ６４の処理によって変数ａは「−１」になる。また、変数ｎは値ｎmaxに保たれている。前記ステップＳ６４の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２６に戻って、ステップＳ２６，Ｓ２８の処理より、Ｋ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎmax,２)，Ｓx2(ｎmax,２)，Ｓy1(ｎmax,２)，Ｓy2(ｎmax,２)をロックインアンプ７４からそれぞれ取込み記憶する。
【００６４】
前記ステップＳ２６，Ｓ２８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ３０にて変数ａは「１」であるか否かを判定する。この場合、前記ステップＳ６４の処理によって変数ａは「−１」に設定されているので、コントローラ７０は、ステップＳ３０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ４２にて、値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸがＸ軸方向の初期値Ｘｓよりも小さいか否かを判定する。この場合、変数ｎはｎmaxであり、値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸは、太陽電池パネルＳＰの図１１における右端から２番目の検出位置を左側へ移動させた際における次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値である。値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸが初期値Ｘｓよりも小さくなければ、コントローラ７０は、ステップＳ４２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ４４にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３に、磁気センサ１０による検出位置をＸ軸方向負側に移動させるように指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、Ｘ方向モータ３４を作動させて磁気センサ１０による検出位置をＸ軸方向負側に移動させ始める。
【００６５】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ４６にてＸ方向位置検出回路６２からＸ方向位置を入力し、ステップＳ４８にて入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達したか否か、すなわちＸ方向位置を示す値が値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸ以下になったか否かを判定する。そして、Ｘ方向位置検出回路６２から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ４８にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ４６，Ｓ４８の処理を繰り返し実行する。Ｘ方向位置検出回路６２から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ４８にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ５０にてＸ方向フィードモータ制御回路６３に、検出位置のＸ軸方向負側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、Ｘ方向モータ３４の作動を停止させて、磁気センサ１０による検出位置のＸ軸方向負側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ１０は、値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸ（＝Ｘｓ＋(ｎmax−２)・ΔＸ）で表されたＸ軸方向位置、かつ値Ｙｓ＋(ｍ−１)・ΔＹｓ（＝Ｙｓ＋ΔＹｓ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルＳＰの表面近傍の磁界を検出し始める。
【００６６】
前記ステップＳ５０の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２４に戻って、ステップＳ２４の処理によって変数ｎに変数ａ（この場合、ａ＝−１）を加算して、前述のステップＳ２６，Ｓ２８のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップＳ２６，Ｓ２８の処理により、前記ステップＳ２４の処理前の値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸ（＝Ｘｓ＋(ｎmax−２)・ΔＸ）で表されたＸ軸方向位置、かつ値Ｙｓ＋(ｍ−１)・ΔＹｓ（＝Ｙｓ＋ΔＹｓ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置とするＫ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)が取込み記憶される。なお、この取込み記憶されるサンプリングデータ群に関する変数ｎは値ｎmax−１であり、変数ｍは「２」である。
【００６７】
そして、コントローラ７０は、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸが初期値Ｘｓよりも小さくなるまで、ステップＳ２４〜Ｓ３０，Ｓ４２〜Ｓ５０の処理により、検出位置をＸ軸方向負側に所定値ΔＸずつ移動させるとともに、変数ｎを「１」ずつ減少させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のＸ軸方向の検出位置を表す値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸが初期値Ｘｓよりも小さくなると、コントローラ７０は、ステップＳ４２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図７ＢのステップＳ５２に進む。なお、このときの変数ｎは「１」である。この状態では、前述したサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝１）に加えて、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝２）がＲＡＭに記憶される。
【００６８】
コントローラ７０は、前述したステップＳ５２〜Ｓ５８の処理により、Ｙ方向モータ３４を作動させて磁気センサ１０による検出位置を次のＹ軸方向検出位置Ｙｓ＋ｍ・ΔＹに移動させる。その結果、磁気センサ１０は、初期値Ｘｓで表されたＸ軸方向の初期位置、かつ値Ｙｓ＋ｍ・ΔＹ（＝Ｙｓ＋２・ΔＹ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルＳＰの表面近傍の磁界を検出し始める。次に、コントローラ７０は、Ｙ方向位置検出回路６４によって検出されたＹ方向位置が終了位置を越えていないことを条件に、コントローラ７０は、ステップＳ６０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ６２にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ６４にて変数ａに「−１」を乗算する。この場合、ステップＳ６２の処理によって変数ｍは「３」になり、ステップＳ６４の処理によって変数ａは「１」になる。また、変数ｎは「１」に保たれている。前記ステップＳ６４の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２６に戻って、ステップＳ２６，Ｓ２８の処理より、Ｋ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(１,３)，Ｓx2(１,３)，Ｓy1(１,３)，Ｓy2(１,３)をロックインアンプ７４からそれぞれ取込み記憶する。
【００６９】
前記ステップＳ２６，Ｓ２８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ３０にて変数ａは「１」であるか否かを判定する。この場合、前記ステップＳ６４の処理によって変数ａは「１」に設定されているので、コントローラ７０は、ステップＳ３０にて「Ｙｅｓ」と判定して、前述したステップＳ３２〜Ｓ４０，Ｓ２４〜Ｓ３０の処理を、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなるまで繰り返し実行する。これにより、磁気センサ１０による検出位置がＸ軸方向正側に走査されて、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝３）がＲＡＭに新たに記憶される。
【００７０】
そして、変数ｍを「３」に設定した状態で、磁気センサ１０の検出位置のＸ軸方向正側への走査が終了すると、ステップＳ３２の判定処理により、ステップＳ５２〜Ｓ６４の処理が実行されて、磁気センサ１０による検出位置が次のＹ軸方向位置に変更されるとともに、変数ｍ，ａが変更される。そして、前述したステップＳ２４〜Ｓ３０，Ｓ４２〜Ｓ５０の処理により、磁気センサ１０による検出位置がＸ軸方向負側へ走査され、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝４）がＲＡＭに新たに記憶される。
【００７１】
このようなステップＳ２４〜Ｓ６４の処理により、磁気センサによる検出位置がＸ軸方向を往復するように走査されるとともにＹ軸方向正側に走査されて、Ｙ方向位置検出回路６４によって検出されるＹ方向位置が終了値Ｙmaxよりも大きくなると、コントローラ７０は、ステップＳ６０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ６６以降の処理を実行する。この状態では、ＲＡＭ内に、Ｋ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｍ＝１〜ｍmax）が記憶されている。なお、値ｍmaxは、終了値Ｙmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｍの値であって、Ｙ軸方向における検出位置の数を表している。
【００７２】
コントローラ７０は、ステップＳ６６にてセンサ信号取出回路７３の作動停止を指示し、ステップＳ６８にて第１光源駆動回路７２の作動停止を指示し、ステップＳ７０にて第２光源駆動回路７５の作動停止を指示し、ステップＳ７２にて発光信号供給回路７１の作動停止を指示する。これらの作動停止の指示により、センサ信号取出回路７３、第１光源駆動回路７２、発光素子５２、第２光源駆動回路７５、発光素子５２、発光信号供給回路７１、ロックインアンプ７４及び磁気センサ１０の作動が停止する。前記ステップＳ７２の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ７４にて、移動部材３２（磁気センサ１０）をＸ方向駆動限界位置まで移動させることをＸ方向位置検出回路６２及びＸ方向フィードモータ制御回路６３に指示するとともに、移動部材３２をＹ方向駆動限界位置まで移動させることをＹ方向位置検出回路６４及びＹ方向フィードモータ制御回路６５に指示して、ステップＳ７６にてデータ取得プログラムの実行を終了する。Ｘ方向フィードモータ制御回路６３は、前述の初期設定のように、Ｘ方向位置検出回路６２と協働して、磁気センサ１０をＸ方向駆動限界位置まで移動させる。Ｙ方向フィードモータ制御回路６５は、前述のように、Ｙ方向位置検出回路６４と協働して、磁気センサ１０をＹ方向駆動限界位置まで移動させる。
【００７３】
次に、前記データ取得プログラムで取得した所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｍ＝１〜ｍmax）を用いて、太陽電池パネルＳＰを評価する方法について説明する。この場合、作業者は、入力装置７７を操作して、コントローラ７０に図８Ａ乃至図８Ｇの評価プログラムを実行させる。この評価プログラムにおいては、太陽電池パネルＳＰの合否判定が行われ、また作業者が太陽電池パネルＳＰ（太陽電池セルＳＣ）の合否を判定するために、太陽電池パネルＳＰのＸ−Ｙ座標の各点における電流の大きさと向きである電流分布の画像が表示装置に表示される。そこで、評価プログラムを説明する前に、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２に異常が発生した場合と、太陽電池セルＳＣの発電面に欠陥が存在する場合について説明しておく。取出電極８１，８２の異常に関しては、取出電極８１，８２が内部電極８６，８８に導電性ペースト又は半田により接続されているので、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との間の接続不良が異常の原因となる。また、発電面の異常に関しては、原因はピンホール、クラック、異物混入など様々であるが、太陽電池セルＳＣの各層からなる構造に正規の構造とは異なる構造が生じていることが原因である。
【００７４】
１つの太陽電池セルＳＣにおいて、取出電極８１，８２が正常な場合と接続不良による異常な場合との電流の分布について、図１２を用いて説明する。（Ａ）は、×印位置にて、取出電極８１と内部電極８６との間に接続不良の異常が発生している状態を示している。（Ｂ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極８１の位置における電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。また、（Ｂ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極８１の位置における電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。この場合、Ｙ方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち上側位置に流れる電流は下側位置にも重なって流れるためである。なお、この場合の電流の大きさとは、電流の向きとは無関係な電流の大きさの絶対値（後述するＩxy）である。したがって、（Ｂ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２が正常な場合と異常な場合とでは、電流の大きさの変化において差があまり大きくなく、電流の大きさは共に滑らかに変化していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所においても、取出電極８１及び内部電極８６自体には、異常が発生しているわけではなく、取出電極８１及び内部電極８６が延設されているＹ方向には前記接続不良の異常とは無関係に充分な電流が流れ得るからであると推定される。
【００７５】
一方、（Ｃ）は、実線により、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２が正常な状態において、取出電極８１の延設方向における各検出位置（Ｙ方向の各検出位置）のＸ方向（取出電極８１に直交する方向）の電流の大きさＩｘから、取出電極８１から太陽電池セルＳＣの内側Ｘ方向に所定距離だけ隔てた位置すなわち取出電極８１と対となる取出電極８２側のＸ方向内側位置における同じＹ方向の各検出位置のＸ方向（取出電極８１に直交する方向）の電流の大きさＩｘを減算した電流差Ｄｅを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。なお、前記所定距離とは例えば５ｍｍ程度の距離であり、前記Ｘ方向内側位置とは、例えば取出電極８１の位置から５ｍｍ程度内側の位置である。前記のように移動ピッチΔＸが１ｍｍ程度であると、前記Ｘ方向内側位置は取出電極８１からａ・ΔＸ（ａ＝５）だけ内側に入った位置となる。また、（Ｃ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記接続不良による異常が発生した状態において、前記電流差Ｄｅを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。そして、（Ｃ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣの取出電極８１が正常な場合と異常な場合とでは、電流差Ｄｅの変化において差が大きく、正常な場合にはほぼ一定の値であるが、異常な場合には電流差Ｄｅは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＹ方向に傾いて流れ、Ｘ方向の電流の大きさが減少するためであると推定される。
【００７６】
一方、（Ｄ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極８１のＸ方向近傍位置（具体的には、例えば取出電極８１から内側へ１〜２ｍｍ程度の位置、すなわち移動ピッチΔＸが１ｍｍとするとΔＸ又は２ΔＸ程度内側の位置）のＹ方向における各検出位置のＸ方向の電流の大きさＩｘから、前記Ｘ方向近傍位置から所定距離（例えば、５ｍｍ程度の短い距離）だけ内側の位置（前記のように移動ピッチΔＸが１ｍｍ程度であると、前記Ｘ方向近傍位置からａ・ΔＸ（ａ＝５）だけ内側に入った位置）における同じＹ方向位置の各検出位置におけるＸ方向の電流の大きさＩｘを減算した電流差Ｄｅを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。また、（Ｄ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記接続不良による異常が発生した状態において、前記電流差Ｄｅを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。そして、（Ｄ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合にはほぼ一定の値であるが、異常な場合には電流差Ｄｅは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。なお、（Ｄ）の場合には、（Ｃ）の場合よりも、電流差Ｄｅが大きい。これも、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＹ方向に傾いて流れ、Ｘ方向の電流が減少するためであると推定される。
【００７７】
本発明は、これらの取出電極８１の位置又は近傍位置における前記電流差Ｄｅの変化に着目して、取出電極８１，８２の接続異常を検出するものである。また、取出電極８２と内部電極８８との間の接続不良による異常の発生時においても同じ結果を得ている。すなわち、本発明は、取出電極８１，８２の位置又はその近傍位置における前記電流差ＤｅのＹ方向に沿った変化において、前記電流差Ｄｅの変動が接続不良部分の近傍にて大きくなることに着目して、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良を検出するようにしている。
【００７８】
１つの太陽電池セルＳＣにおいて、正常な場合と発電面に欠陥がある場合との電流の分布について、図１３を用いて説明する。（Ａ）は、図示ＡのＸ方向位置の×印位置にて、発電面に欠陥がある状態を示している。（Ｂ）は、実線により、図示ＡのＸ方向位置に発電面の欠陥がない状態すなわち太陽電池セルＳＣが正常な状態において、図示ＡのＸ方向位置におけるＹ方向の各検出位置のＸ方向の電流の大きさＩｘから、前記各検出位置から太陽電池セルＳＣの内側Ｘ方向に所定距離だけ隔てた位置における同じＹ方向の各検出位置のＸ方向（取出電極８１に直交する方向）の電流の大きさＩｘを減算した電流差Ｄｅを、前記各検出位置のＹ方向位置に対応させて示している。すなわち、取出電極８１、８２のＸ方向中央位置を挟んで、各検出位置が取出電極８１に近い場合には、各検出位置のＸ方向の電流の大きさＩｘから、各検出位置から取出電極８２側のＸ方向に所定距離だけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさＩｘを減算した電流差Ｄｅを、前記各検出位置のＹ方向位置に対応させて示している。また、取出電極８１、８２のＸ方向中央位置を挟んで、各検出位置が取出電極８２に近い場合には、各検出位置のＸ方向の電流の大きさＩｘから、各検出位置から取出電極８１側のＸ方向に所定距離だけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさＩｘを減算した電流差Ｄｅを、前記各検出位置のＹ方向位置に対応させて示している。なお、この場合も、前記所定距離は、例えば５ｍｍ程度の短い距離であり、前記のように移動ピッチΔＸが１ｍｍ程度であると、ａ・ΔＸ（ａ＝５）程度の距離である。また、（Ｂ）は、破線により、前記図示ＡのＸ方向位置の一部に発電面の欠陥がある状態において、前記電流差ＤｅをＹ方向位置に対応させて示している。そして、（Ｂ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣの発電面が正常な場合と発電面に欠陥がある場合とでは、電流差Ｄｅの変化において差が大きく、正常な場合にはほぼ「０」であるが、異常な場合には電流差Ｄｅは欠陥位置で大きく負の値に変動していることが分かる。これは、発電面の欠陥箇所において、欠陥箇所を避けて電流がＹ方向に傾いて流れ、Ｘ方向の電流の大きさが減少するためであると推定される。
【００７９】
本発明は、前記各検出位置のＸ方向の電流の大きさＩｘの低下に着目して、太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥を検出するものである。すなわち、本発明は、取出電極８１，８２に挟まれた太陽電池セルＳＣの発電面において、発電面の欠陥部分のＸ方向の電流の大きさＩｘがその近傍位置に比べて小さくなることに着目して、太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥を検出するようにしている。
【００８０】
次に、評価プログラムの実行について説明する。この評価プログラムの実行は図８ＡのステップＳ１００にて開始され、コントローラ７０は、ステップＳ１０２にて変数ｎ，ｍをそれぞれ「１」に初期設定するとともに、変数ＣＨを「０」に初期設定する。変数ｎ，ｍは、それぞれＸ，Ｙ軸方向における検出位置を指定するための変数である。そして、値ｎmax，ｍmaxは、前述のように、それぞれＸ，Ｙ軸方向における検出位置の数を表している。変数ＣＨは、詳しくは後述するが、「０」により取出電極８１，８２がＹ軸方向に延設されていることを表し、「１」により取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されていることを表す。前記ステップＳ１０２の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１０４にて、変数ｎ，ｍによって指定される所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)の磁界の大きさの各平均値Ｓx1，Ｓx2，Ｓy1，Ｓy2を計算する。具体的には、各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)ごとに、Ｋ個のサンプリングデータを加算して値Ｋで除算する。
【００８１】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１０６にて、前記計算した平均値Ｓx1，Ｓx2を用いた下記式１，２の演算の実行により、Ｘ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘと、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘとを計算する。
Ｈｘ＝(Ｓx1²＋Ｓx2²)^1/2 …式１
θｘ＝tan^-1(Ｓx2/Ｓx1) …式２
これにより、Ｘ方向磁気検出信号としてＨｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)が検出されたことになる。なお、ｆは、発光信号供給回路７１から出力される発光信号及び参照信号の周波数に等しい。
【００８２】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１０８にて、前記計算した平均値Ｓy1，Ｓy2を用いた下記式３，４の演算の実行により、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙと、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙとを計算する。
Ｈｙ＝(Ｓy1²＋Ｓy2²)^1/2 …式３
θｙ＝tan^-1(Ｓy2/Ｓy1) …式４
これにより、Ｙ方向磁気検出信号としてＨｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)が検出されたことになる。
【００８３】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１０にて、前記計算したＨｘ，θｘ，Ｈｙ，θｙを用いた下記式５，６の演算の実行により、発光素子５２の発光量すなわち通電電流が最大となるタイミング（前記Ｘ方向磁気検出信号Ｈｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)及び前記Ｙ方向磁気検出信号Ｈｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)における２πｆｔがπ／２のタイミング）における、検査位置の磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算する。この場合、通電電流が最大となるタイミングを採用した理由は、位相シフト量θｘ，θｙは小さく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍の値になるためである。なお、位相シフト量θｘ，θｙが小さくなく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍にならない場合には、磁界の強さＨxyが最大値近傍になるようなタイミングの角度をπ／２に代えて用いればよい。
Ｈxy＝[{Ｈｘ・sin(π/２+θx)}²＋{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}²]^1/2 …式５
θxy＝tan^-1{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}/{Ｈｘ・sin(π/２+θx)} …式６
【００８４】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１２にて、太陽電池パネルＳＰに流れる電流は前記磁界の強さＨxyに比例し、かつ方向が磁界の方向θxyと−π／２異なることから、前記計算したＨxy，θxyを用いた下記式７，８の演算の実行により、通電電流が最大となるタイミングにおける、太陽電池パネルＳＰの検査位置に流れる電流の大きさＩxy及び方向θixyを計算する。ただし、値Ｋは、比例定数である。
Ｉxy＝Ｋ・Ｈxy …式７
θixy＝θxy＋π／２ …式８
そして、このステップＳ１１２にて、前記計算された電流の大きさＩxy及び方向θixyは、太陽電池パネルＳＰの検査位置を表す変数ｎ，ｍを用いて電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)及び方向データθixy(ｎ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【００８５】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１４にて、前記計算したＩxy，θixyを用いた下記式９，１０の演算の実行により、太陽電池パネルＳＰの検査位置においてＸ方向及びＹ方向に流れる電流の大きさＩx，Ｉyを計算する。
Ｉx＝Ｉxy・cosθixy …式９
Ｉy＝Ｉxy・sinθixy …式１０
そして、このステップＳ１１４にて、前記計算された電流の大きさＩx，Ｉyも、太陽電池パネルＳＰの検査位置を表す変数ｎ，ｍを用いて電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)，Ｉy(ｎ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。
【００８６】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にて変数ｎがＸ軸方向の検出位置数を表す値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１１８にて変数ｎに「１」を加算してステップＳ１０４に戻る。そして、前述したステップＳ１０４〜Ｓ１１４の処理を実行した後、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にてふたたび変数ｎが値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達しない限り、ステップＳ１０４〜１１８の処理が繰り返し実行される。
【００８７】
このようなステップＳ１０４〜Ｓ１１８の繰り返し処理中、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１２０にて変数ｍがＹ軸方向の検出位置数を表す値ｍmaxに達したか否かを判定する。変数ｍが値ｍmaxに達しなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１２０にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１１２にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ１２４にて変数ｎを「１」に初期設定して、ステップＳ１０４に戻る。そして、変数ｎが所定値ｎmaxに達するまで前述したステップＳ１０４〜Ｓ１１８の処理を繰り返し実行した後、コントローラ７０は、ステップＳ１２０にてふたたび変数ｍが値ｍmaxに達したか否かを判定する。変数ｍが値ｍmaxに達しない限り、ステップＳ１０４〜１２４の処理が繰り返し実行される。そして、変数ｍが値ｍmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ１２０にて「Ｙｅｓ」と判定して、図８ＢのステップＳ１３０に進む。
【００８８】
この時点では、太陽電池パネルＳＰの検査位置ごとに、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩy(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｍ＝１〜ｍmax）が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている。
【００８９】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１３０にて、前記計算した全ての電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)の中から、取出電極８１，８２位置及びその近傍位置の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)を取出す。この場合、電流の大きさデータＩxy(ｎ)の分布は、図１４に示すように、取出電極８１，８２位置及びその近傍位置における大きな電流の分布と、それ以外の部分における小さな電流の分布とに大別される。したがって、このステップＳ１３０においては、前記全ての電流の大きさデータＩxy(ｎ)の中から、予め決められた所定値以上の値を有する電流の大きさデータＩxy(ｎ)を抽出すればよい。
【００９０】
次に、太陽電池パネルＳＰのステージ２０上への置き方により、取出電極８１，８２がＹ軸方向に延設されているか、Ｘ軸方向に延設されているかを検出するステップＳ１４０〜Ｓ１６２の処理を実行する。コントローラ７０は、まず、ステップＳ１４０にて変数ｎを「１」に初期設定し、ステップＳ１４２にて、前記ステップＳ１３０の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)において、変数ｎによって指定され、かつ変数ｍが連続している大きさデータIxy(ｎ，ｍ)の数を計算して値Ｎｎとして設定する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１４４にて、値Ｎｎが所定数以上であるかを判定する。この判定処理は、取出電極８１，８２が変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置にあり、かつＹ軸方向に延設されていれば、前記値Ｎｎは１つの太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の長さをＹ軸方向の移動ピッチΔＹ（図１１参照）で除した値程度の大きさであることに基づくものである。したがって、前記所定数は、上述したように、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の長さを移動ピッチΔＹで除した値よりも若干小さな値である。この場合、値Ｎｎが所定数以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１４４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４６に進む。
【００９１】
ステップＳ１４６においては、コントローラ７０は、変数ｎをＸ軸方向の移動ピッチΔＸ（図１１参照）に乗算した値ｎ・ΔＸが所定距離以上であるかを判定する。この処理は、後述する変数ｎの増加による検出位置のＸ軸方向への変化により、１つ分の太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の幅に対応した長さ分だけ、前記ステップＳ１４２，Ｓ１４４の処理を実行し終えたかを判定するものである。したがって、前記所定距離は、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さにほぼ等しい。値ｎ・ΔＸが所定距離以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１４６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４８にて変数ｎに「１」を加算して、ステップＳ１４２に戻る。そして、これらのステップＳ１４２〜Ｓ１４６からなる循環処理中に、ステップＳ１４２の処理によって計算された値Ｎｎが所定数以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１４４にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＹ軸方向に延設されていると判定して、図８ＣのステップＳ１７０に進む。一方、値Ｎｎが所定数以上になったことが検出されずに、値ｎ・ΔＸが所定距離以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１４６にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＹ軸方向に延設されていないと判定して、ステップＳ１５０〜Ｓ１５６の処理を実行する。
【００９２】
ステップＳ１５０〜Ｓ１５６の処理は、取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されているかを検出する処理である。コントローラ７０は、まず、ステップＳ１５０にて変数ｍを「１」に初期設定し、ステップＳ１５２にて、前記ステップＳ１３０の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)において、変数ｍによって指定され、かつ変数ｎが連続している大きさデータIxy(ｎ，ｍ)の数を計算して値Ｎｍとして設定する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１５４にて、値Ｎｍが所定数以上であるかを判定する。この判定処理は、取出電極８１，８２が変数ｍによって指定されるＹ軸方向位置にあり、かつＸ軸方向に延設されていれば、前記値Ｎｍは１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さをＸ軸方向の移動ピッチΔＸ（図１１参照）で除した値程度の大きさであることに基づくものである。したがって、前記所定数は、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さを移動ピッチΔＸで除した値よりも若干小さな値である。この場合、値Ｎｍが所定数以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１５４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１５６に進む。
【００９３】
ステップＳ１５６においては、コントローラ７０は、変数ｍをＹ軸方向の移動ピッチΔＹ（図１１参照）に乗算した値ｍ・ΔＹが所定距離以上であるかを判定する。この処理は、後述する変数ｍの増加による検出位置のＹ軸方向への変化により、１つ分の太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の幅に対応した長さ分だけ、前記ステップＳ１５２，Ｓ１５４の処理を実行し終えたかを判定するものである。したがって、前記所定距離は、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の長さにほぼ等しい。値ｍ・ΔＹが所定距離以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１５６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１５８にて変数ｍに「１」を加算して、ステップＳ１５２に戻る。そして、これらのステップＳ１５２〜Ｓ１５６からなる循環処理中に、ステップＳ１５２の処理によって計算された値Ｎｍが所定数以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１５４にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＸ軸方向に延設されていると判定して、ステップＳ１６０，Ｓ１６２の処理後、図８ＣのステップＳ１７０に進む。
【００９４】
ステップＳ１６０においては、コントローラ７０は、前記ステップＳ１３０の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)のＸ座標値とＹ座標値とを入替えて前記抽出した各データIxy(ｎ，ｍ)を並び換えるとともに、前記ステップＳ１１２，Ｓ１１４の処理によって計算した全ての電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、全ての電流の方向データθxy(ｎ，ｍ)、全てのＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)、及び全てのＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)のＸ座標値とＹ座標値とを入れ替えて、全ての各データＩxy(ｎ，ｍ)，θxy(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｙ(ｎ，ｍ)を並び換える。これは、後述する処理において、取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されている場合と、取出電極８１，８２がＹ軸方向に延設されている場合との処理を共通にするもので、具体的には、各ｍ，ｎの値に対して、前記抽出した各データIxy(ｍ，ｎ)を各データIxy(ｎ，ｍ)に変更するとともに、前記全ての各データＩxy(ｍ，ｎ)，θxy(ｍ，ｎ)，Ｉｘ(ｍ，ｎ)，Ｉｙ(ｍ，ｎ)を各データＩxy(ｎ，ｍ)，θxy(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｙ(ｎ，ｍ)に変更することになる。そして、ステップＳ１６２においては、コントローラ７０は、変数ＣＨを、前記抽出した電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)の並び換えを表すとともに、前記全ての電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)，θxy(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｙ(ｎ，ｍ)の並び換えを表し、かつ取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されていることを表す「１」に変更する。
【００９５】
一方、値Ｎｍが所定数以上になったことが検出されず、値ｍ・ΔＹが所定距離以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１５６にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＹ軸方向に延設されていないと判定して、図８ＧのステップＳ３１４に進む。なお、このステップＳ１５６における「Ｙｅｓ」との判定は、取出電極８１，８２のＸ軸方向の延設も、Ｙ軸方向の延設も検出されないことを意味する。
【００９６】
次に、取出電極８１，８２の位置を示す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)（すなわち磁気センサ１０による検出位置群）を検出して、マトリクス状に配置した取出電極８１，８２のＸ方向及びＹ方向の順番を特定するＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙ（図９参照）を、前記検出した電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)に割当てる図８Ｃ及び図８ＤのステップＳ１７０〜Ｓ２１０の処理について説明する。なお、値ｎ，ｍは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の磁気センサ１０による検出位置をそれぞれ示す変数である。まず、コントローラ７０は、図８ＣのステップＳ１７０にて、変数ｎを「１」に初期設定するとともに、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙをそれぞれ「１」に初期設定する。
【００９７】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ１７２にて、前記ステップＳ１３０にて抽出した全ての電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)（ただし、前記ステップＳ１６０の処理によって並び換えられている場合には、前記ステップＳ１３０にて抽出されて前記ステップＳ１６０にてＸ座標値及びＹ座標値が変更された全ての電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)）に含まれて変数ｎによって指定される電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)の数を値Ｎnmとして計算する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１７４にて、この値Ｎnmが所定数以上であるかを判定する。これらのステップＳ１７２，Ｓ１７４の処理は、変数ｎによって指定されるＸ方向位置が取出電極８１，８２の位置に対応していれば、取出電極８１，８２の位置では電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)はかなり大きいはずであるので、値Ｎnmもかなり大きいはずである。なお、前記所定数は、取出電極８１，８２のＹ方向の合計長さとＹ方向の移動距離単位ΔＹによって決まる値であり、例えば、前記合計長さを移動距離単位ΔＹで除した値よりも若干小さな値である。変数ｎによって指定されるＸ方向位置が取出電極８１，８２の位置に対応していなければ、値Ｎnmは小さいので、コントローラ７０は、ステップＳ１７４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１７６にて変数ｎがＸ軸方向の検出位置数を表す値ｎmaxに達したか判定する。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１７６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１７８にて変数ｎに「１」を加算して、前記ステップＳ１７２，Ｓ１７４の処理を実行する。
【００９８】
変数ｎによって指定されるＸ方向位置が取出電極８１，８２の位置に対応して値Ｎnmが所定数よりも大きくなると、コントローラ７０は、ステップＳ１７４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１８０にて、Ｙ軸方向の磁気センサ１０の検出位置を示す変数ｍを「１」に初期設定するとともに、取出電極８１，８２のＹ軸方向の検出位置の数（取出電極８１，８２の長さをＹ軸方向の移動距離単位ΔＹで除した数）をカウントするための変数ｐを「０」に初期設定して、ステップＳ１８２の判定処理を実行する。
【００９９】
ステップＳ１８２においては、変数ｎ，ｍによって指定されるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)が所定の小さな値ΔＩｘ以下であるかを判定することにより、変数ｎ，ｍによって示される検出位置が取出電極８１，８２の位置にあるか、取出電極８１，８２の間の接続線９１にあるかを判定する。これは、変数ｍによって指定されるＹ軸方向位置が取出電極８１，８２に対応した位置にあるときには、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)はある程度の値を示すが、変数ｍによって指定されるＹ軸方向位置が取出電極８１，８２の間の接続線９１に対応した位置にあるときには、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)はほぼ「０」である。
【０１００】
したがって、変数ｍによって指定されるＹ方向位置が取出電極８１，８２に対応する位置であれば、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１８４にて変数ｐに「１」を加算し、ステップＳ１８６にて変数ｍに「１」を加算して、ステップＳ１８２に戻る。変数ｍの増加によって検出位置がＹ方向に移動されても、検出位置が取出電極８１，８２に対応する位置である限り、前記ステップＳ１８２〜Ｓ１８６の循環処理が繰り返し実行されて、変数ｐが変数ｍの増加に従って増加する。このステップＳ１８２〜Ｓ１８６の循環処理中、検出位置が取出電極８１，８２を超えて接続線９１の領域に入ると、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図８ＤのステップＳ１８８に進む。
【０１０１】
ステップＳ１８８においては、前記変数ｐが所定数以上であるかを判定する。この場合、所定数は、取出電極８１，８２の長さを移動距離単位ΔＹで除した値よりも若干小さな値であり、前記入力した太陽電池セルＳＣのＹ方向の長さと移動距離単位ΔＹとにより予め決められた値である。取出電極８１，８２の位置に対応したＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)が正確に検出されていれば、変数ｐは所定数以上であるので、コントローラ７０はステップＳ１８８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１９０にて取出電極８１，８２のＸ−Ｙ座標位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)内のいずれかにＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられているか否かを判定する。この判定処理は、今回検出した取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)を定義して同電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを割当てる前に、Ｘ方向位置が変数ｎ−１で指定される前回検出の取出電極８１，８２の位置に対応した電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが既に割当てられているかを判定するものである。もし、前回検出の取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)に未だＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられていなければ（すなわち電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)が未だ定義されていなければ）、コントローラ７０は、ステップＳ１９０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１９２にて電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)を定義してＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを割当て、ステップＳ２０２に進む。この場合、変数ｐの使用により、取出電極８１，８２の長さに対応した位置分の電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が定義されて、この定義された電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられたことになる。
【０１０２】
一方、前回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが既に割当てられていれば、コントローラ７０は、ステップＳ１９０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１９４，Ｓ１９６に進む。ステップＳ１９４においては、前回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)に対応した位置の電流の大きさデータＩxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ−１，ｍ−１)の平均値Ｉavebが計算される。また、ステップＳ１９６においては、今回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)に対応した位置の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ，ｍ−１)の平均値Ｉaveaが計算される。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１９８にて、今回の平均値Ｉaveaが前回の平均値Ｉaveb以上であるか否かを判定する。今回の平均値Ｉaveaが前回の平均値Ｉaveb以上であれば、コントローラ７０は、ステップＳ１９８にて「Ｙｅｓ」と判定して、前回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)に割当てられているＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを、今回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)に割当て、ステップＳ２０２に進む。一方、今回の平均値Ｉaveaが前回の平均値Ｉaveb以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１９８にて「Ｎｏ」と判定して、前記割当ての変更を行うことなく、ステップＳ２０２に進む。これらのステップＳ１９０〜Ｓ２００の処理により、１つの取出電極８１又は８２に対しては、最も平均電流の大きな１組の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ，ｍ−１)に対応した電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)にのみ、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられる。ステップＳ２０２においては、コントローラ７０は、Ｙ方向電極番号ｇｙに「１」を加算して、ステップＳ２０４に進む。これは、図９のＹ方向に沿って次の取出電極８１，８２の検出を意味する。
【０１０３】
また、前記ステップＳ１８８の判定処理において、「Ｎｏ」すなわち変数ｐが所定数未満である場合には、コントローラ７０は、ステップＳ１８８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１９０〜Ｓ２０２の処理を実行しないで、ステップＳ２０４に進む。この場合、電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)に対する、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙの割当ては行われない。
【０１０４】
ステップＳ２０４においては、変数ｍが値ｍmax（すなわち終了値Ｙmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｍの値）に達したかが判定される。変数ｍが値ｍmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２０４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２０６にて変数ｐを「０」に初期設定して、図８ＣのステップＳ１８６に進む。コントローラ７０は、ステップＳ１８６にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ１８２の判定処理をふたたび実行する。ステップＳ１８２の処理は、前述のように、Ｙ方向の検出位置が取出電極８１，８２に対応しているか、取出電極８１，８２間の接続線９１に対応しているかを判定する処理である。そして、検出位置が接続線９１に対応した位置にある状態では、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)は所定値ΔＩｘ以下であり、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図８ＤのステップＳ１８８に進む。この場合、変数ｐは前記ステップＳ２０６の処理により「０」に保たれるので、コントローラ７０はステップＳ１８８にて「Ｎｏ」と判定し続けて、図８ＤのステップＳ１８８，Ｓ２０４，Ｓ２０６及び図８ＣのステップＳ１８６，Ｓ１８２の循環処理を繰り返し実行する。
【０１０５】
この循環処理中、ステップＳ１８６による変数ｍの増加により、検出位置が取出電極８１，８２に対応した位置まで来ると、前述の場合と同様に、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１８２〜Ｓ１８６の循環処理を繰り返し実行する。そして、検出位置が接続線９１の領域に入ると、前述のように、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図８ＤのステップＳ１８８〜Ｓ２０２の処理を実行する。これらのステップＳ１８８〜Ｓ２０２の処理により、Ｙ方向の次の取出電極８１，８２に対応した電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が定義されて次のＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられる。また、変数ｐが所定数未満のときには、ステップＳ１８８における「Ｎｏ」との判定のもとに、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙの割当ては行われない。
【０１０６】
これらのステップＳ１８８〜Ｓ２０２の処理後、コントローラ７０は、前記ステップＳ２０４，Ｓ２０６の処理を実行して、ふたたび図８ＣのステップＳ１８６に進む。これにより、変数ｍの増加により、図９に示すＹ方向の取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が次々に定義されてＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられていく。そして、変数ｍが値ｍmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２０４にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２０８にてＸ方向電極番号ｇｘに「１」を加算し、ステップＳ２１０にてＹ方向電極番号ｇｙを「１」に戻して、図８ＣのステップＳ１７８に進む。コントローラ７０は、ステップＳ１７８にて変数ｎに「１」を加算した後、ステップＳ１７２に進み、前述したステップＳ１７２〜Ｓ１７８の循環処理により、図７に示すＸ方向の次の取出電極８１，８２の列を検出する。そして、前記ステップＳ１８２〜Ｓ２０６の処理により、次のＸ方向の列におけるＹ方向の複数の取出電極８１，８２を検出し、前記ステップＳ２０８，Ｓ２１０の処理後の図８ＣのステップＳ１７２〜Ｓ１８６及び図８ＤのステップＳ１８８〜Ｓ２０６の処理により、Ｘ方向に移動しながら次々に取出電極８１，８２を検出して、取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が次々に定義されてＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられていく。そして、変数ｎが値ｎmax（終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値）に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ１７６にて「Ｙｅｓ」と判定して、図８ＥのステップＳ２２０に進む。
【０１０７】
次に、太陽電池パネルＳＰの合否の判定に利用する変数ｎ，ｍによって指定される位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)から、前記位置から太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２の内側のＸ方向に所定距離だけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)（又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ)）を減算した差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算する図８ＥのステップＳ２２０〜Ｓ２４２の処理について説明する。この場合、前記所定距離は例えば５ｍｍ程度であり、移動ピッチΔＸ，ΔＹが前述のように例えば１ｍｍ程度であれば、前記値ａは例えば「５」程度の値である。これらの変数ｎ，ｍも、検査位置のＸ座標値（ｎ＝１〜ｎmax）及びＹ座標値（ｙ＝１〜ｍmax）を示す値である（図９参照）。
【０１０８】
ステップＳ２２０においては、コントローラ７０は、全てのＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)に対して、Ｉｘ(ｎ，ｍ)−Ｉｘ(ｎ＋ａ，ｍ)なる演算を実行して演算結果を差データＤｅ(ｎ，ｍ，１)として記憶する。この差データＤｅ(ｎ，ｍ，１)は、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)からＸ方向右側にａ・ΔＸだけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)を減算した値である。なお、この演算において、値ｎ＋ａが値ｎmaxよりも大きい場合には、前記Ｉｘ(ｎ，ｍ)−Ｉｘ(ｎ＋ａ，ｍ)なる演算を行わない。次に、ステップＳ２２０において、コントローラ７０は、全てのＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)に対して、Ｉｘ(ｎ，ｍ)−Ｉｘ(ｎ−ａ，ｍ)なる演算を実行して演算結果を差データＤｅ(ｎ，ｍ，２)として記憶する。この差データＤｅ(ｎ，ｍ，２)は、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)からＸ方向左側にａ・ΔＸだけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ−ａ，ｍ)を減算した値である。なお、この演算において、値ｎ−ａの値が値「１」よりも小さい場合には、前記Ｉｘ(ｎ，ｍ)−Ｉｘ(ｎ−ａ，ｍ)なる演算を行わない。
【０１０９】
前記ステップＳ２２０，Ｓ２２２の処理後、コントローラ７０は、まず、ステップＳ２２４にて、変数ｋ，ｓ，ｔを「１」にそれぞれ初期設定する。図９に示すように、変数ｋは、Ｘ方向電極番号ｇｘを指定するための１〜ｋmaxで変化する変数である。変数ｓは、Ｙ方向電極番号ｇｙを指定するための１〜ｓmaxで変化する変数である。変数ｔは、Ｘ方向の太陽電池セルＳＣを指定するための１〜ｔmaxで変化する変数である。次に、コントローラ７０は、ステップＳ２２６にて、前記ステップＳ２２０の処理によって記憶した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，１)及び前記ステップＳ２２２の処理によって記憶した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，２)の中から、変数ｋに等しいＸ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ）及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）が割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)と、変数ｋ＋１に等しいＸ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ＋１）及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）が割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)とを含む、それらの電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)の間に位置する座標群(ｎ，ｍ)に対応した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，１)，Ｄｅ(ｎ，ｍ，２)を抽出する。言い換えれば、Ｙ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）及び変数ｔにより指定される太陽電池セルＳＣに関する差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，１)，Ｄｅ(ｎ，ｍ，２)を抽出する。この場合、変数ｋ，ｓ，ｔは共に「１」であるので、図９の最上段の最も左の太陽電池セルＳＣに関する差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，１)，Ｄｅ(ｎ，ｍ，２)を抽出する。
【０１１０】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ２２８にて、前記座標位置(ｎ，ｍ)中の変数ｎの最大値と最小値とを抽出して、変数ｎの最大値から最小値を減算し、減算結果を「２」で除して、除した結果を変数ｎの最小値に加算して、加算結果を中央値Ｃｅｎとする。この中央値Ｃｅｎは、前記座標位置(ｎ，ｍ)すなわちＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）及び変数ｔにより指定される太陽電池セルＳＣのＸ方向の中央位置を示す。そして、コントローラ７０は、ステップＳ２３０にて、前記計算した中央値Ｃｅｎ、前記抽出した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，１)，Ｄｅ(ｎ，ｍ，２)を用いて、差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)を生成する。具体的には、変数ｎが中央値Ｃｅｎ未満である差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，１)を差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)とし、変数ｎが中央値Ｃｅｎ以上である差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ，２)を差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)とする。これにより、前記太陽電池セルＳＣのＸ方向中央よりも左側の差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)は、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)からＸ方向右側にａ・ΔＸだけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)を減算した値となる。また、前記太陽電池セルＳＣのＸ方向中央よりも右側の差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)は、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)からＸ方向左側にａ・ΔＸだけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)を減算した値となる。これにより、図９の最上段の最も左の太陽電池セルＳＣに関する差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)が計算される。
【０１１１】
前記ステップＳ２３０の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２３２にて、変数ｔがＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達したか否かを判定する。変数ｔが数ｔmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２３２にて「Ｎｏ」と判定して、図９の最上段の左から２番目の太陽電池セルＳＣを指定するために、ステップＳ２３４にて変数ｋに「２」を加算し、ステップＳ２３６にて変数ｔに「１」を加算する。そして、コントローラ７０は、前述したステップＳ２２６〜Ｓ２３０の処理を実行する。これにより、図９の最上段の左から２番目の太陽電池セルＳＣに関する前述の差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)が計算される。
【０１１２】
そして、コントローラ７０は、ステップＳ２３２にて、ふたたび、変数ｔがＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達したか否かを判定する。そして、変数ｔが数ｔmaxに達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ２３２にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ２３４，Ｓ２３６，２２８〜Ｓ２３２からなる循環処理を実行し続ける。そして、図９の最上段の全ての太陽電池セルＳＣに関する前述の差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)が計算されて、変数ｔがＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２３２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２３８に進む。
【０１１３】
ステップＳ２３８においては、コントローラ７０は、変数ｓがＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達したか否かを判定する。変数ｓが数ｓmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定して、図９の上から２段目の最も左の太陽電池セルＳＣを指定するために、ステップＳ２４０にて変数ｓに「１」を加算し、ステップＳ２４２にて変数ｋ、ｔを「１」に初期設定する。そして、コントローラ７０は、前述したステップＳ２２６〜Ｓ２３６の処理を実行する。これにより、図９の上から２段目の変数ｔ（＝１〜ｔmax）によって指定される全ての太陽電池セルＳＣに関する前述の差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)が計算される。その後、変数ｓがＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定して、前述したステップＳ２４０，Ｓ２４２の処理によってＹ方向の次の全ての太陽電池セルＳＣを指定して、前記次の全ての太陽電池セルＳＣに関する前述の差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)を計算する。その後、変数ｓがＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２３８にて「Ｙｅｓ」と判定して、図８ＦのステップＳ２５０に進む。
【０１１４】
次に、太陽電池パネルＳＰの合否の判定を行う図８ＦのステップＳ２５０〜Ｓ２９６の処理について説明する。まず、コントローラ７０は、ステップＳ２５０にて、変数ｋ，ｓ，ｔ，ｅｐを「１」にそれぞれ初期設定する。この場合も、図９に示すように、変数ｋは、Ｘ方向電極番号ｇｘを指定するための１〜ｋmaxで変化する変数である。変数ｓは、Ｙ方向電極番号ｇｙを指定するための１〜ｓmaxで変化する変数である。変数ｔは、Ｘ方向の太陽電池セルＳＣを指定するための１〜ｔmaxで変化する変数である。変数ｅｐは、１つの太陽電池セルＳＣ内の取出電極８１，８２を指定するための変数であり、「１」により図９の左側の取出電極８２を示し、「２」により図９の右側の取出電極８１を示す。なお、前記変数ｋ，ｓ，ｔ，ｅｐの「１」への初期設定により、図９の最上段の最も左側の取出電極８２が指定されることになる。
【０１１５】
前記ステップＳ２５０の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２５２にて、変数ｅｐが「１」であるか否かを判定する。この初期の状態では、変数ｅｐは「１」であるので、コントローラ７０は、ステップＳ２５２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２５４にて値ｎｅを予め決めた正の小さな整数値Ａに設定する。一方、後述するように、変数ｅｐが「２」である場合は、コントローラ７０は、ステップＳ２５２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２５６にて値ｎｅを予め決めた絶対値の小さな負の整数値−Ａに設定する。この値ｎｅ（値Ａ，−Ａ）は、図９の取出電極８１，８２の内側近傍の検出位置、すなわち前述したステップＳ１７０〜Ｓ２１０の処理によって変数ｇｘ，ｇｙを割当てた電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が示すＸ方向位置の内側近傍の検出位置（取出電極８２にあっては右側近傍位置、取出電極８１にあっては左側近傍位置）を指定するための値である。これは、図１０(Ｃ)(Ｄ)で説明したように、太陽電池セルＳＣの異常時（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）においては、取出電極８１，８２の位置よりもそれらの内側近傍位置のＸ方向の電流の大きさのＹ方向における変化が大きいためである。したがって、値Ａは、前記電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が示すＸ方向位置と、前記異常時の電流の大きさの変化が最大となるＸ方向位置との差に対応した値がＸ方向の移動ピッチΔＸ（例えば、１ｍｍ程度）を用いて計算して予め設定されている。例えば、値Ａは、取出電極８１，８２の位置よりも１〜２ｍｍ程度内側を示す値「１」又は「２」に設定されている。
【０１１６】
前記ステップＳ２５４の処理後のステップＳ２５８においては、コントローラ７０は、前記図８ＥのステップＳ２３０の処理によって生成した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)及び前記図８ＡのステップＳ１１４の処理によって記憶したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)（前記図８ＢのステップＳ１６０の処理によって並び換えられた場合には、並び換えられたＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)）の中から、変数ｋに等しいＸ方向電極番号ｇｘ及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙが割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)の内側近傍位置すなわち右側近傍位置の座標群(ｎ＋ｎｅ，ｍ)に対応した差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を抽出する。すなわち、Ｘ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ）及びＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）によって指定される取出電極８２の右側の近傍位置であって、取出電極８２と平行な位置の差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)が抽出される。なお、これらの差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)は、「１」ずつ順次増加する変数ｍによって指定される取出電極８２のＹ方向の長さ分のデータ数を含む。
【０１１７】
前記ステップＳ２５８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２６０にて、前記抽出した差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を用いて次のような計算を実行する。まず、前記抽出した差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を前記抽出したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)でそれぞれ除算することにより、比率データ群Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)（＝Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)／Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)）をそれぞれ計算する。そして、この比率データＤｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の最大値と最小値との差を評価データＢ（ｔ，ｓ，ｅｐ）として記憶する。次に、前記比率データＤｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の標準偏差を計算して評価データＣ（ｔ，ｓ，ｅｐ）として記憶する。この状態では、変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定される取出電極（この場合、図９の最上段の最も左側の太陽電池セルＳＣの左側の取出電極８２に関する比率データ群Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の評価データＢ（ｔ，ｓ，ｅｐ），Ｃ（ｔ，ｓ，ｅｐ）が計算されて記憶されることになる。そして、これらの評価データＢ（ｔ，ｓ，ｅｐ），Ｃ（ｔ，ｓ，ｅｐ）は、前記差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及び比率データ群Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変動を表している。
【０１１８】
前記ステップＳ２６０の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２６２にて、評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が所定の許容値よりも大きいか否かを判定するとともに、ステップＳ２６４にて評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が所定の許容値よりも大きいか否かを判定する。評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が所定の許容値よりも大きければ、コントローラ７０は、ステップＳ２６２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２６８にて取出電極に関するエラーデータＥｒ１(ｔ，ｓ，ｅｐ)を“１”に設定して、ステップＳ２７０に進む。また、評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が所定の許容値よりも大きければ、コントローラ７０は、ステップＳ２６４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２６８にて取出電極に関するエラーデータＥｒ１(ｔ，ｓ，ｅｐ)を“１”に設定して、ステップＳ２７０に進む。また、評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が所定の許容値以下であり、かつ評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が所定の許容値以下であれば、コントローラ７０は、ステップＳ２６２、Ｓ２６４にて共に「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２７０に進む。
【０１１９】
ステップＳ２７０においては、コントローラ７０は、変数ｅｐが「２」であるかを判定する。この場合、変数ｅｐは「１」であるので、コントローラ７０は、ステップＳ２７０にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２７２にて変数ｅｐに「１」を加算して「２」に設定し、ステップＳ２７４にて変数ｋに「１」を加算して「２」に設定して、ステップＳ２５２に戻る。この状態では、変数ｓ，ｔは「１」に初期設定されたままであり、変数ｋ，ｅｐは「２」に変更されているので、図９の最上段の左から２番目の取出電極８１が指定されることになる。そして、コントローラ７０は、ステップＳ２５２にて「Ｎｏ」すなわち変数ｅｐが「１」でないと判定して、ステップＳ２５６にて値ｎｅを負の値−Ａに設定する。そして、コントローラ７０は、前述したステップＳ２５８〜Ｓ２６８の処理を実行する。ステップＳ２５８においては、値ｎｅが負の値−Ａに設定されているために、変数ｋに等しいＸ方向電極番号ｇｘ及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙが割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)の左側近傍位置の座標群(ｎ＋ｎｅ，ｍ)に対応した差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)が抽出される。すなわち、Ｘ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ）及びＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）によって指定される取出電極８１の左側の近傍位置（例えば、取出電極８１から左側へ１〜２ｍｍ程度離れた位置）であって、取出電極８１と平行な位置の差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)が抽出される。
【０１２０】
そして、ステップＳ２６０の処理により、前記取出電極８１の左側の近傍位置に関する前述した評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が計算される。次に、ステップＳ２６２〜Ｓ２６８の処理により、前記計算された評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が評価されて、前記取出電極８１に異常（取出電極８１と内部電極８６との接続不良）が発生していれば、変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定されるエラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が“１”に設定されてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。その結果、この状態では、図９の最上段の左から１番目の太陽電池セルＳＣの一対の取出電極８１，８２の異常が判定される。
【０１２１】
前記ステップＳ２６２〜Ｓ２６８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２７０にて変数ｅｐが「２」であるかをふたたび判定する。この場合、変数ｅｐが「２」であるので、コントローラ７０は、ステップＳ２７０にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２７６に進む。ステップＳ２７６においては、コントローラ７０は、前記図８ＥのステップＳ２３０の処理によって生成した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)及び前記図８ＡのステップＳ１１４の処理によって記憶したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)（前記図８ＢのステップＳ１６０の処理によって並び換えられた場合には、並び換えられたＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)）の中から、変数ｋ−１に等しいＸ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ−１）及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）が割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)の内側位置（図９の右側位置）の座標群
(ｎ＋ｄ，ｍ)と、変数ｋに等しいＸ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ）及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）が割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)の内側位置（図９の左側位置）の座標群(ｎ−ｄ，ｍ)とを含む、それらの座標群
(ｎ＋ｄ，ｍ)， (ｎ−ｄ，ｍ)の間に位置する座標位置(ｎ，ｍ)に対応した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)を抽出する。
【０１２２】
この場合、値ｄは例えば「８」程度の値であり、移動ピッチΔＸ，ΔＹが１ｍｍ程度であることを考慮すれば、図９の１つの太陽電池セルＳＣの取出電極８２の右側に８ｍｍ程度の位置から、取出電極８１の左側に８ｍｍ程度の位置までの間の位置における差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)が抽出されることになる。これらの抽出したデータ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)は、太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥を検出するもので、取出電極８２，８１からそれらの内側に８ｍｍ程度の位置までのデータ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)を削除した理由は、前述した取出電極８２，８１に異常があった場合には差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)が異常な値を示すためである。
【０１２３】
前記ステップＳ２７６の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２７８にて、前記抽出した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)を用いて次のような計算を実行する。前記抽出した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)を前記抽出したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)でそれぞれ除算することにより、比率データ群Ｄｅｒ(ｎ，ｍ)（＝Ｄｅ(ｎ，ｍ)／Ｉｘ(ｎ，ｍ)）をそれぞれ計算する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ２８０にて、前記計算した全ての比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)の中に、許容値（所定の負の値）よりも小さな比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)
が存在するかを判定する。存在すれば、コントローラ７０は、ステップＳ２８０にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２８２にて該当する比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)をエラー位置データＥｒｐ(ｎ，ｍ)として記憶し、ステップＳ２８４にて変数ｔ，ｓによって指定されるエラーデータＥｒ２(ｔ，ｓ)を“１”に設定する。これらのエラー位置データＥｒｐ(ｎ，ｍ)及びエラーデータＥｒ２(ｔ，ｓ)は対応させて記憶される。また、前記計算した全ての比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)の中に、許容値（所定の負の値）よりも小さな比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)
が存在しなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２８０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２８６に進む。なお、前記許容値を負の所定値に設定した理由は、異常が存在している位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)は、他の位置の電流の大きさデータ、本実施形態では異常の存在位置から太陽電池セルＳＣの内側に５ｍｍ程度離れた位置の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ)（値ａは、図８ＥのステップＳ２２０，Ｓ２２２で用いた値）よりも小さいからである。
【０１２４】
この場合、変数ｋ，ｅｐは「２」であり、変数ｓ，ｔは「１」である。したがって、前述したステップＳ２５２〜Ｓ２７４の処理により、図９の最上段の最も左の太陽電池セルＳＣの１対の取出電極８２，８１の異常が検出される。すなわち、前記太陽電池セルＳＣの１対の取出電極８２，８１の異常が判定され、異常が判定された場合には、エラーデータＥｒ１(ｔ，ｓ，ｅｐ)（ｔ，ｓ＝１，ｅｐ＝１又は２）が“１”に設定される。また、前述したステップＳ２７６〜Ｓ２８４の処理により、図９の最上段の最も左の太陽電池セルＳＣの発電面の異常が検出される。すなわち、前記太陽電池セルＳＣの発電面の異常が判定され、異常が判定された場合には、エラーデータＥｒ２(ｔ，ｓ)（ｔ，ｓ＝１）が“１”に設定される。また、この場合には、異常位置を表す異常位置データＥｒｐ(ｎ，ｍ)も記憶される。
【０１２５】
前記ステップＳ２８０〜Ｓ２８４の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２８６にて変数ｔが前記入力したＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達したか否かを判定する（図９参照）。変数ｔがＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２８６にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２８８にて変数ｔに「１」を加算し、ステップＳ２９０にて変数ｅｐを初期値「１」に戻し、ステップＳ２７４にて変数ｋに「１」を加算して、ステップＳ２５２に戻る。そして、コントローラ７０は、前述したステップＳ２５２〜Ｓ２７４の処理により、図９の最上段の左から２番目の太陽電池セルＳＣの１対の取出電極８２，８１の異常を検出する。また、前述したステップＳ２７６〜Ｓ２８４の処理により、図９の最上段の左から２番目の太陽電池セルＳＣの発電面の異常を検出する。
【０１２６】
その後、変数ｔが前記入力したＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達するまで、ステップＳ２８６にて「Ｎｏ」と判定され続けて、ステップＳ２８８，Ｓ２９０，Ｓ２７４の処理より変数ｔ，ｅｐ，ｋが変更されて、前述したステップＳ２５２〜Ｓ２８４の処理により、図９の最上段において順次右に向かって太陽電池セルＳＣの１対の取出電極８２，８１及び太陽電池セルＳＣの発電面の異常が検出される。そして、変数ｔが前記入力したＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２８６にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２９２にて変数ｓが前記入力したＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達したか否かを判定する。変数ｓがＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２９２にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２９４にて変数ｓに「１」を加算し、ステップＳ２９６にて変数ｋ，ｔ，ｅｐを初期値「１」に戻して、ステップＳ２５２に戻る。そして、コントローラ７０は、前述したステップＳ２５２〜Ｓ２９６の処理を繰り返し実行して、図９の最上段から２段目以降の太陽電池セルＳＣであって変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定される取出電極８２，８１の異常及び同太陽電池セルＳＣの発電面の異常を検出する。
【０１２７】
そして、これらのステップＳ２５２〜Ｓ２９６の処理を全ての太陽電池セルＳＣに対して実行した後、コントローラ７０は、ステップＳ２９２にて「Ｙｅｓ」すなわち変数ｓがＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していると判定して、図８ＧのステップＳ３００に進む。
【０１２８】
ステップＳ３００においては、コントローラ７０は、前記ＲＡＭ又は記憶装置に記憶した電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)、Ｙ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)及び差データＤｅ(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜Ｎ，ｍ＝１〜Ｍ）から表示用画像データを生成して、表示装置７８に画像データによって表された画像を表示する。この画像は、例えば、太陽電池セルＳＣの検査位置ごとに、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとともに、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)によって示された方向を示す矢印を表示する。また、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)、Ｙ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)及び差データＤｅ(ｎ，ｍ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとよい。また、表示装置７８の表示画面の大きさに応じて、画像を拡大して、各太陽電池セルＳＣごと、又は各太陽電池セルＳＣの一部のみを表示したりするようにするとよい。なお、取出電極８１，８２がＸ方向に延設されていて、図８ＢのステップＳ１６２の処理によって変数ＣＨが“１”に設定されている場合には、前記ステップＳ１６０の処理によって並び換えられた全ての電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、全ての電流の方向データθxy(ｎ，ｍ)、全てのＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)、全てのＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)、及び前記並び換えられた全てのＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を用いて計算された全ての差データＤｅ(ｎ，ｍ)のＸ座標値とＹ座標値との入替えにより、全ての各データＩxy(ｎ，ｍ)，θxy(ｎ，ｍ)，Ｉｙ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)，Ｄｅ(ｎ，ｍ)を並び換えて元に戻す。
【０１２９】
また、本実施形態では、取出電極８１，８２の異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）を視覚判断できるように、取出電極８１，８２の対応位置及びその近傍位置（取出電極８１，８２の間であって取出電極８１，８２の近傍位置）の差データＤｅ(ｎ，ｍ)，Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のみを、取出電極８１，８２ごと又は太陽電池セルＳＣごとに表示するようにするとよい。この場合、ステップＳ２５８の処理により抽出した差データＤｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)をそれぞれ記憶しておいて、取出電極８１，８２の近傍位置に関しては、差データＤｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を表示装置７８で表示する。また、取出電極８１，８２の対応位置に関しては、前記値ｎｅ分だけ左側又は右側の差データＤｅ(ｎ，ｍ)を表示装置７８で表示する。さらに、取出電極８１，８２の近傍位置及び対応位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)を同時に表示してもよい。
【０１３０】
前記ステップＳ３００の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ３０２、Ｓ３０４の判定処理を実行する。ステップＳ３０２においては、エラーデータＥｒ１(ｔ，ｓ，ｅｐ)（ｔ＝１〜ｔmax，ｓ＝１〜ｓmax，ｅｐ＝１，２）の中に“１”を示すエラーデータが存在するかを調べる。ステップＳ３０４においては、エラーデータＥｒ２(ｔ，ｓ)（ｔ＝１〜ｔmax，ｓ＝１〜ｓmax）の中に“１”を示すエラーデータが存在するかを調べる。エラーデータＥｒ１(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｅｒ２(ｔ，ｓ)に“１”を示すエラーデータが存在しなければ、コントローラ７０は、ステップＳ３０２，Ｓ３０４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３０６にて表示装置７８に「合格」を表示し、ステップＳ３１８にてこの評価プログラムの実行を終了する。一方、“１”を示すエラーデータがエラーデータＥｒ１(ｔ，ｓ，ｅｐ)、Ｅｒ２(ｔ，ｓ)のいずれかに存在すると、コントローラ７０は、ステップＳ３０２又はＳ３０４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ３０８にて表示装置７８に「不合格」を表示する。
【０１３１】
前記ステップＳ３０８の処理後、エラーデータＥｒ１(ｔ，ｓ，ｅｐ)に“１”が含まれていれば、ステップＳ３１０にて、エラーデータＥｒ１（ｔ，ｓ，ｅｐ）が“１”である変数ｔ，ｓ，ｅｐを取り出して、前記表示した画像中の変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定される取出電極８１，８２を欠陥ありとして表示する。また、エラーデータＥｒ２(ｔ，ｓ)に“１”が含まれていれば、ステップＳ３１２にて、エラーデータＥｒ１（ｔ，ｓ）が“１”である変数ｔ，ｓを取り出して、前記表示した画像中の変数ｔ，ｓによって指定される太陽電池セルＳＣを欠陥ありとして表示するとともに、前記図８ＦのステップＳ２８２の処理によって記憶したエラー位置データＥｒｐ(ｎ，ｍ)の変数ｎ，ｍを取り出して、変数ｎ，ｍによって指定される太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥位置を表示する。
【０１３２】
次に、図８ＢのステップＳ１５６にて「Ｙｅｓ」と判定されて、図８ＧのステップＳ３１４，Ｓ３１６の処理に進められた場合について説明する。これらは、入力ミス、検査装置の異常などにより太陽電池セルＳＣの自動的な合否の判定が不能であったり、不能である可能性が高い場合である。この場合は差データＤｅ(ｎ，ｍ)は計算されていないので、コントローラ７０は、ステップＳ３１４にて、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜Ｎ，ｍ＝１〜Ｍ）から表示用画像データを生成して、表示装置７８に画像データによって表された画像を表示する。
【０１３３】
特に、可能であれば、取出電極８１，８２の異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）を視覚判断できるように、取出電極８１，８２の対応位置及びその近傍位置（取出電極８１，８２の間であって取出電極８１，８２の近傍位置）のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のみを、取出電極８１，８２ごと又は太陽電池セルＳＣごとに表示するようにするとよい。この場合には、取出電極８１，８２の位置が検出されていないので、作業者が、表示装置７８の表示画面を見ながら、表示画像を移動させて取出電極８１，８２の対応位置及びその近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を表示させる必要がある。
【０１３４】
次に、コントローラ７０は、ステップＳ３１６にて、「取出電極８１，８２の合否判定は不能」である旨を表示装置７８に表示して、ステップＳ３１８にてこの評価プログラムの実行を終了する。
【０１３５】
上記のように動作する太陽電池セル検査装置においては、発光素子５２は、発光信号供給回路７１及び第１光源駆動回路７２の駆動制御により、ステージ２０上に載置した太陽電池パネルＳＰの表面全体にわたって、所定周期で強度が変化する光を均等に照射する。そして、Ｘ方向及びＹ方向移動機構３０，４０により、磁気センサ１０で太陽電池パネルＳＰの表面全体を走査し、センサ信号取出回路７３及びロックインアンプ７４が、太陽電池パネルＳＰに発電によって流れる電流により発生する磁界であって、前記所定周期と等しい周期で強度が変化する磁界を検出する。したがって、外乱光や、外部磁界が存在しても、コストを抑えたうえで、これらの影響を受けずに、太陽電池パネルＳＰに対向する複数の箇所で磁界を検出することができる。
【０１３６】
そして、前記検出結果に基づいて、コントローラ７０は、ステップＳ１０〜Ｓ７６，Ｓ１００〜Ｓ１２４の処理により、太陽電池パネルＳＰに対向する複数の箇所における磁界の検出結果に基づいて、太陽電池パネルＳＰの複数の箇所における電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)を計算する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１３０、Ｓ１７０〜Ｓ２１０の処理により、太陽電池パネルＳＰ上の複数の太陽電池セルＳＣの取出電極位置Ｂxy(ｎ，ｍ)を検出する。さらに、ステップＳ２２０〜Ｓ２４２の処理により、太陽電池パネルＳＰ内の複数の太陽電池セルＳＣのそれぞれに対して、取出電極８１，８２間の各位置のＸ方向の電流の大きさデータから、太陽電池セルＳＣのＸ方向内側に所定距離（５ｍｍ程度）だけ離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータを減算した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)を計算する。
【０１３７】
そして、この差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)とＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)の中から、ステップＳ２５２〜Ｓ２５８の処理により、取出電極８１，８２の近傍位置における差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を抽出する。また、これらの差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を用いて、ステップＳ２６０の処理により、取出電極８１，８２の延設方向の沿った前記差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)の変動を表す評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算する。そして、これらの評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を用いて、ステップＳ２６２，Ｓ２６４の処理により、取出電極８１，８２の接続異常を判定する。
【０１３８】
このような太陽電池セルＳＣにおいては、図１２を用いて説明したように、前記差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)は取出電極８１，８２が正常であればほぼ一定値である。しかし、取出電極８１，８２に接続異常が発生している場合には、接続異常位置において、前記差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)は一定値から大きく変動する。したがって、上記実施形態によれば、取出電極８１，８２の接続不良を高精度で簡単に検出することができる。また、発光素子５２による太陽電池パネルＳＰに対する光の照射に対して、磁気センサ１０、支持部材３１などによる影ができても、５ｍｍ程度の短い所定距離だけ隔てた２位置におけるＸ方向の電流の大きさの差を検出しているために、前記２位置の影の濃淡はほぼ同じであり、影の影響を除外することができて、取出電極８１，８２の異常を精度よく検出することができる。
【０１３９】
また、前記差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)とＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)の中から、ステップＳ２７６の処理により、取出電極８１，８２間の位置における差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)を抽出する。そして、これらの差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ) 及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)を用いて、ステップＳ２７８，Ｓ２８０の処理により、前記Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)に対する差データＤｅ(ｎ，ｍ)の比の値である比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)が負の値の許容値より小さいことを条件に、太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥を検出する。
【０１４０】
このような太陽電池セルＳＣにおいては、図１３を用いて説明したように、前記差データＤｅ(ｎ，ｍ)は太陽電池セルＳＣの発電面が正常であればほぼ「０」である。しかし、太陽電池セルＳＣの発電面に欠陥がある場合には、欠陥位置において、前記差データＤｅ(ｎ，ｍ)は「０」から負側に大きく変動する。したがって、上記実施形態によれば、太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥を高精度で簡単に検出することができる。また、この場合も、発光素子５２による太陽電池パネルＳＰに対する光の照射に対して、磁気センサ１０、支持部材３１などによる影ができても、５ｍｍ程度の短い所定距離だけ隔てた２位置におけるＸ方向の電流の大きさの差を検出しているために、前記２位置の影の濃淡はほぼ同じであるため、影の影響を除外することができ、発電面の欠陥を精度よく検出することができる。
【０１４１】
さらに、上記実施形態においては、支持部材３１の両側底面に発光素子５１を配置して、太陽電池パネルＳＰを照射するようにした。この発光素子５１の光の照射により、磁気センサ１１、支持部材３１などの影によって太陽電池セルに抵抗値が高くなる箇所がなくなるので、影の影響をさらに的確に除外することができて、取出電極８１，８２の接続不良及び太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥をより高精度で検出できる。
【０１４２】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変形も可能である。
【０１４３】
上記実施形態においては、発光素子５２から出射される光を太陽電池パネルＳＰに照射し、太陽電池パネルＳＰの発電によって太陽電池パネルＳＰに流れる電流によって発生される磁界を磁気センサ１０で検出するようにした。しかし、これに代えて、外部から太陽電池パネルＳＰの接続線９２，９３（図９参照）に、導線Ｌ１，Ｌ２を介して電圧を印加して、太陽電池パネルＳＰに電流を流すようにしてもよい。
【０１４４】
この変形例においては、図１５に示すように、上記発光信号供給回路７１及び第１光源駆動回路７２に代えて、通電信号供給回路７１ａ及び通電回路７２ａを備えている。通電信号供給回路７１ａは、上記発光信号供給回路７１と同様に構成され、「０」を基準に正負に変化する正弦波信号を通電回路７２ａに供給するとともに、前記通電信号と同期して「０」を中心として正負に変化する矩形波信号をロックインアンプ７４に供給する。通電回路７２ａは、通電信号供給回路７１ａから供給される「０」を基準に正負に変化する正弦波信号に正のオフセット電圧を加算して、前記オフセット電圧を中心に正弦波状に変化して常に正の範囲内で変化する通電信号に変換して、太陽電池パネルＳＰの接続線９２，９３に導線Ｌ１，Ｌ２を介して供給する。具体的には、図９に示すように、導線Ｌ１を接続線９２に接続して正の範囲内で変化する通電信号を供給し、導線Ｌ２を接続線９３に接続して接地する。この場合、発光素子５１及び第２光源駆動回路７５はあってもよいし、なくてもよい。その他の構成は、上記実施形態と同じである。
【０１４５】
これにより、この変形例では、図９の矢印とは逆向きに電流が流れ、すなわち導線Ｌ１から取出電極８１に向かって電流が流れるとともに、取出電極８２から導線Ｌ２に向かって電流が流れ、各太陽電池セルＳＣにおいては、取出電極８１から発電セル８３を介して取出電極８２に向かって電流が流れる（図１０Ａ及び図１０Ｂ参照）。したがって、取出電極８１，８２に上記実施形態とは逆向きの電流が流れるが、この変形例においても、太陽電池セルＳＣに異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）が発生した場合には、図１２(Ｃ)(Ｄ)に示すように、取出電極８１，８２位置及びそれらの内側近傍位置にてＸ方向に流れる電流の大きさデータIｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変動が大きくなる。すなわち、図８ＦのステップＳ２６０の処理によって差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を用いて計算される評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)は大きくなる。
【０１４６】
また、太陽電池セルＳＣの発電面に欠陥がある場合には、図１３(Ｂ)に示すように、欠陥位置におけるＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)は小さくなるとともに、差データＤｅ(ｎ，ｍ)は大きく負に変化する。すなわち、図８ＦのステップＳ２７８の処理によって前記差データＤｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を用いて計算される比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)も大きく負に変化する。ただし、これらのＸ方向に流れる電流及びＹ方向に流れる電流の向きは上記実施形態とは逆となる。そして、他の構成は上記実施形態と同じであるので、この変形例においても、上記実施形態と同様に、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２の異常及び発電面の欠陥が、コントローラ７０によって自動的に検出されるとともに、作業者が視覚的に判断できるようになる。また、この場合も、通電信号供給回路７１ａ、通電回路７２ａ、センサ信号取出回路７３及びロックインアンプ７４により、外乱光や、外部磁界が存在しても、これらの影響を受けずに、太陽電池パネルＳＰに対向する複数の箇所で磁界を検出することができる。
【０１４７】
また、上記実施形態及び変形例では、取出電極８１，８２の近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)（又はＩｘ(ｎ−ｎｅ，ｍ)）から、前記近傍位置から所定距離（５ｍｍ：ａ・ΔＸ）だけＸ方向内側に離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ＋ａ，ｍ)（又はＩｘ(ｎ−ｎｅ−ａ，ｍ)）を減算した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)の変動により太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２の異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）を検出するようにした。しかし、これに代えて、図１２(Ｃ)に示すように、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２に異常が発生すれば、取出電極８１，８２位置にてＸ方向に流れる電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)から、取出電極８１，８２から所定距離（５ｍｍ：ａ・ΔＸ）だけＸ方向内側に離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ａ，ｍ)（又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ)）を減算した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)も変動する。したがって、この差データＤｅ(ｎ，ｍ)を用いて、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２の異常を検出するようにしてもよい。なお、この場合には、図８ＦのステップＳ２５２〜Ｓ２５６の処理が不要となるとともに、ステップＳ２５８においては電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)に対応した差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)が抽出されて、ステップＳ２６０にてデータ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)に代えてデータ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)が用いられる。
【０１４８】
また、上記実施形態及び変形例においては、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)に割当てる図８Ｃ及び図８ＤのステップＳ１７０〜Ｓ２１０の処理において、電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)を用いて取出電極８１，８２の位置を検出するようにした。しかし、取出電極８１，８２位置を流れる電流の向きはほぼＹ方向であるので、前記電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)に代えて、Ｙ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)を用いるようにしてもよい。
【０１４９】
また、上記実施形態及び変形例では、図８ＡのステップＳ１０４〜Ｓ１１２の処理により、磁気センサ１０の検出位置のＸ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘ、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘ、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙ、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙ、磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算して、ステップＳ１１２，Ｓ１１４の処理により、磁気センサ１０の検出位置の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、前記電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)を計算した。そして、図８ＥのステップＳ２２０〜Ｓ２３０の処理により、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を用いて差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算し、この差データＤｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を用いて取出電極８１，８２に関する評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良を検出するとともに、この差データＤｅ(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を用いて太陽電池セルＳＣの発電面の異常を検出ようにした。しかし、電流の大きさは磁界の大きさに比例しており、電流の方向は磁界の方向とπ／２異なるだけである。したがって、磁界に関する情報を電流に関する情報に変換しなくても、磁気センサ１０の各検出位置のＹ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙを、上記実施形態のＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)に代えて用いることにより、差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算し、この差データＤｅ(ｎ，ｍ)と前記極大値Ｈｙを用いて、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良に関する評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して前記接続不良を検出したり、この差データＤｅ(ｎ，ｍ)及び前記極大値Ｈｙを用いて太陽電池セルＳＣの発電面の異常を検出するようにしてもよい。
【０１５０】
また、上記実施形態及び変形例では、取出電極８１，８２の位置を自動的に検出し、検出した位置及びその近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)から差データＤｅ(ｎ，ｍ)，Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)，Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するようにした。しかし、これに代えて、作業者が表示装置７８に表示される電流分布の画像を見て取出電極８１，８２の位置をコントローラ７０に指示し、コントローラ７０がこの指示された位置及びその近傍のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)から差データＤｅ(ｎ，ｍ)，Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)，Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するようにしてもよい。
【０１５１】
また、コントローラ７０は、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の判定まで行わなくて、評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を表示装置７８に表示し、作業者に取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定させるようにしてもよい。さらに、コントローラ７０は、評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の計算も行わずに、取出電極８１，８２の位置及びその近傍位置のＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)、差データＤｅ(ｎ，ｍ)，Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，比率データＤｅｒ(ｎ，ｍ)，Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の分布を画像で表示装置７８に表示し、作業者はこの表示を見て取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するようにしてもよい。
【０１５２】
また、太陽電池セルＳＣの発電面の結果に関しても、差データ群Ｄｅ（ｎ，ｍ）又は比率データ群Ｄｅｒ（ｎ，ｍ）を表示装置７８に表示し、作業者に太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥の有無を判定させるようにしてもよい。さらに、コントローラ７０は、差データ群Ｄｅ（ｎ，ｍ）又は比率データ群Ｄｅｒ（ｎ，ｍ）の計算も行わずに、取出電極８１，８２間のＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)の分布を画像で表示装置７８に表示し、作業者はこの表示を見て太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥の有無を判定するようにしてもよい。
【０１５３】
上記実施形態及び変形例における取出電極８１，８２の接続異常の検出において、ステップＳ２６０の処理により、差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)をＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)で除して比率データ群Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)（＝Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)／Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)）を計算するとともに、この比率データ群Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を用いて評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算し、ステップＳ２６２，Ｓ２６４の判定処理により評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が許容値よりも大きいことを条件に、取出電極８１，８２の接続異常の判定するようにした。この場合、差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)をＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)で除して比率データ群Ｄｅｒ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を計算することで、取出電極８１，８２の接続異常の判定精度は向上する。しかし、検査対象の太陽電池セルＳＣごとのＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変化を小さくすることができ、高い精度を要求しなければ、差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)をＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)で除することなく、差データ群Ｄｅ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を用いて評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算するようにしてもよい。
【０１５４】
また、太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥の検出においても、ステップＳ２７８の処理により差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)をＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)で除して比率データ群Ｄｅｒ(ｎ，ｍ)（＝Ｄｅ(ｎ，ｍ)／Ｉｘ(ｎ，ｍ)）を計算し、ステップＳ２８０にて比率データ群Ｄｅｒ(ｎ，ｍ)が許容値（負の所定値）よりも小さいことを条件に発電面の欠陥を判定した。この場合も、差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)をＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)で除して比率データ群Ｄｅｒ(ｎ，ｍ)を計算することで、発電面の欠陥の判定精度は向上する。しかし、検査対象の太陽電池セルＳＣごとのＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)の変化を小さくすることができ、高い精度を要求しなければ、差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)をＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)で除することなく、差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)が所定の負の値よりも小さいことを条件に発電面の欠陥を判定するようにしてもよい。
【０１５５】
また、上記実施形態又は変形例においては、ステップＳ２２０，Ｓ２２２，Ｓ２３０の処理により、座標値(ｎ，ｍ)によって指定される位置におけるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)から前記位置の近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)(又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ))を減算して、差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算するようにした。しかし、ステップＳ２２０，Ｓ２２２，Ｓ２３０の処理により、前記とは逆に、近傍の位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)(又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ))から前記座標値(ｎ，ｍ)によって指定される位置におけるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を減算して、差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算するようにしてもよい。この場合には、図１３（Ｃ）に示すように、異常個所の差データＤｅ(ｎ，ｍ)は正側に変化する。したがって、この場合には、ステップＳ２８０の判定処理で、比率データ群Ｄｅｒ(ｎ，ｍ)又は差データＤｅ(ｎ，ｍ)が所定の正の値よりも大きいことを条件に発電面の欠陥を検出するようにする。
【０１５６】
また、この近傍の位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)(又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ))から前記座標値(ｎ，ｍ)によって指定される位置におけるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を減算して、差データＤｅ(ｎ，ｍ)を逆に計算した結果は、取出電極８１，８２の異常の判定にも利用することができる。なぜならば、この逆に計算した差データＤｅ(ｎ，ｍ)は図１２(Ｃ)(Ｄ)の縦軸正負を反対にした結果となるだけで、ステップＳ２６０の評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)にはほとんど影響を与えないからである。
【０１５７】
また、上記実施形態及び変形例における発電面の欠陥の判定においては、座標値(ｎ，ｍ)によって指定される位置におけるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)から、前記位置から太陽電池セルＳＣの内側の近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ)(又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ))を減算して、差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算して、この差データＤｅ(ｎ，ｍ)を発電面の欠陥の判定に用いるようにした。しかし、この場合の座標値(ｎ，ｍ)は太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２から例えば８ｍｍ（８・ΔＸ）以上内側の位置である。したがって、この発電面の欠陥の判定に用いる差データＤｅ(ｎ，ｍ)に関しては、座標値(ｎ，ｍ)によって指定される位置におけるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)から、前記位置から太陽電池セルＳＣの外側の近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ−ａ，ｍ)(又はＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ))を減算して、差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算するようにしてもよい。また、前記変形例の場合のように、前記近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ−ａ，ｍ)(又はＩｘ(ｎ＋ａ，ｍ))から、座標値(ｎ，ｍ)によって指定される位置におけるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を減算して、差データＤｅ(ｎ，ｍ)を計算するようにしてもよい。
【０１５８】
上記実施形態及び変形例においては、１つの磁気センサ１０をＸ方向及びＹ方向に移動させて、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２の接続不良と発電面の欠陥の検査を行った。しかし、取出電極８１，８２の接続不良のみを検査したいときには、作業者は、取出電極８１，８２の近傍位置（取出電極８１，８２から１〜２ｍｍ程度内側位置）に磁気センサ１０を目視でセットして、磁気センサ１０を取出電極８１，８２の延設方向に移動させながら磁界の強さを順次測定するとともに、前記磁気センサ１０の前記セット位置から取出電極８１，８２のＸ方向内側の所定距離（前記５ｍｍ程度）だけ離れた位置に磁気センサ１０を目視でセットして、磁気センサ１０を取出電極８１，８２の延設方向に移動させながら磁界の強さを順次測定する。そして、これらの測定した磁界の強さを用いて、上述した実施形態の場合と同様にして、前記取出電極８１，８２の近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)（又はＩｘ(ｎ−ｎｅ，ｍ)）を計算するとともに、前記近傍位置から所定距離（５ｍｍ：ａ・ΔＸ）だけＸ方向に離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ＋ａ，ｍ)（又はＩｘ(ｎ−ｎｅ−ａ，ｍ)）を計算し、その後に両大きさデータの差を差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)として計算するようにしてもよい。
【０１５９】
また、上記変形例のように、取出電極８１，８２位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を用いる場合には、作業者は、取出電極８１，８２の位置に磁気センサ１０を目視でセットして、磁気センサ１０を取出電極８１，８２の延設方向に移動させながら磁界の強さを順次測定するとともに、前記磁気センサ１０の前記セット位置から取出電極８１，８２のＸ方向内側の所定距離（前記５ｍｍ程度）だけ離れた位置に磁気センサ１０を目視でセットして、磁気センサ１０を取出電極８１，８２の延設方向に移動させながら磁界の強さを順次測定する。そして、これらの測定した磁界の強さを用いて、上述した実施形態の場合と同様にして、前記取出電極８１，８２の位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)を計算するとともに、前記取出電極８１，８２の位置から所定距離（５ｍｍ：ａ・ΔＸ）だけＸ方向に離れた位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ａ，ｍ)（又はＩｘ(ｎ−ａ，ｍ)）を計算し、その後に両大きさデータの差を差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)として計算するようにしてもよい。
【０１６０】
また、Ｘ方向移動機構３０を構成する支持部材３１内をＸ軸方向に移動する移動部材３２の下面に、２つの磁気センサをＸ方向に前記所定距離（５ｍｍ程度）だけ離して配置しておき、取出電極８１，８２の接続不良検出のために、一方の磁気センサを取出電極８１，８２の近傍位置又は取出電極８１，８２の位置にセットし、他方の磁気センサを取出電極８１，８２の内側の前記所定距離だけ離れた位置にセットされるようにして、２つの磁気センサを取出電極８１，８２の延設方向に１回だけ移動させて磁界の強さを測定するようにしてもよい。そして、この１回の磁気センサの移動により取得した磁界の強さに基づいて、前記差データ群Ｄｅ(ｎ，ｍ)を計算するようにしてもよい。また、この２つの磁気センサを用いた変形例は、太陽電池の発電面の欠陥のために２つの磁気センサを発電面を走査させるようにしてもよい。
【０１６１】
また、上記実施形態及び変形例では、複数の太陽電池セルＳＣを有する太陽電池パネルＳＰを検査するようにした。しかし、本発明は、これに代えて、太陽電池セルＳＣを個々に検査する検査装置にも適用できる。
【０１６２】
また、上記実施形態及び変形例においては、磁気センサ１０を固定した移動部材３２をＸ，Ｙ方向に移動するようにした。しかし、これに代えて、太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣをセットするステージ２０を複数の発光素子５２と共にＸ，Ｙ方向に移動するようにしてもよい。また、移動部材３２とステージ２０の双方がＸ，Ｙ方向に移動するようにしてもよい。さらには、磁気センサ１０及び太陽電池パネルＳＰ（又は太陽電池セルＳＣ）をセットするステージを移動させずに、多数の磁気センサ１０を、マトリクス状に配置するようにしてもよい。
【０１６３】
また、上記実施形態及び変形例においては、取出電極８１，８２に関する評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して、評価データの値によって取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するとともに、比率データ群Ｄｅｒ（ｎ，ｍ）の値によって太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥を判定するようにした。しかし、太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣの形状及び大きさが１つに限定されていれば、検査対象である太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣのＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)の分布と共に、正常な太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣのＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)の分布を表示して、作業者に対比観察により取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続の合否判定及び太陽電池セルＳＣの発電面の欠陥の合否判定を行わせるようにしてもよい。
【０１６４】
また、上記実施形態においては、複数の発光素子（ＬＥＤ）５２をマトリクス状に配置した光源を利用したが、太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣをセットするステージ２０上の光量が均一になるならば、どのような光源でもよく、蛍光灯、ランプ等の光源でもよい。
【０１６５】
また、上記実施形態及び変形例では、磁気センサとして磁気抵抗素子（ＭＲ素子）を利用したが、これに代えて、ホール素子、磁気インピーダンス素子効果センサ、フラックスゲート、超伝導量子干渉素子などを利用するようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１６６】
１０…磁気センサ、２０…ステージ、３０…Ｘ方向移動機構、３４…Ｘ方向モータ、４０…Ｙ方向移動機構、４４…Ｙ方向モータ、５１，５２…発光素子、７０…コントローラ、７１…発光信号供給回路、７１ａ…通電信号供給回路、７２…第１光源駆動回路、７２ａ…通電回路、７３…センサ信号取出回路、７４…ロックインアンプ、７５…第２光源駆動回路、７７…入力装置、７８…表示装置、８０…基板、８１，８２…取出電極、８３…発電セル、ＳＰ…太陽電池パネル、ＳＣ…太陽電池セル

【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って配置されるとともに直列接続されてなり、光の照射により発電する複数の発電セルと、
前記第１方向とは直交する第２方向に延設されるとともに、前記複数の発電セルのうちの両端の一対の発電セルにそれぞれ内部電極を介して接続されて、前記複数の発電セルによって発電された電力を取出すための一対の長尺状の取出電極と
を備えた太陽電池セルにおける前記内部電極に対する前記一対の取出電極の接続不良を検査する太陽電池セル検査装置において、
太陽電池セルに対向するように配置されて、太陽電池セルの各部に流れる電流によって発生される磁界を検出する磁気センサと、
太陽電池セルに光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は前記一対の取出電極に電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて前記磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号を取出す磁界信号取出手段と、
前記一対の取出電極位置又はそれらの内側近傍位置を第１検出位置とするとともに、前記第１検出位置からその内側方向に所定距離だけ隔てた位置を第２検出位置とし、前記磁界信号取出手段によって取出された太陽電池セルの各部の磁界信号に基づき、前記第１検出位置における前記第２方向の磁界の強さ又は前記第１方向の電流の大きさを第１検出値とするとともに、前記第２検出位置における前記第２方向の磁界の強さ又は前記第１方向の電流の大きさを第２検出値とし、前記第１検出値と前記第２検出値との差を前記一対の取出電極に沿って検出する差検出手段と
を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載した太陽電池セル検査装置において、さらに、
前記差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差の変動を表す特性値を計算する変動特性値計算手段を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載した太陽電池セル検査装置において、さらに、
前記変動特性値計算手段によって計算された特性値が前記差検出手段によって計算された第１検出値と第２検出値との差の変動が大きいことを表すことを条件に、前記取出電極の接続不良を判定する判定手段を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のうちのいずれか一つに記載した太陽電池セル検査装置において、さらに、
前記差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差の分布を視覚的に示す画像を表示する表示手段を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項５】
第１方向に沿って配置されるとともに直列接続されてなり、光の照射により発電する複数の発電セルと、
前記第１方向とは直交する第２方向に延設されるとともに、前記複数の発電セルのうちの両端の一対の発電セルにそれぞれ内部電極を介して接続されて、前記複数の発電セルによって発電された電力を取出すための一対の長尺状の取出電極と
を備えた太陽電池セルにおける発電面の欠陥を検査する太陽電池セル検査装置において、
太陽電池セルに対向するように配置されて、太陽電池セルの各部に流れる電流によって発生される磁界を検出する磁気センサと、
太陽電池セルに光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は前記一対の取出電極に電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて前記磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号を取出す磁界信号取出手段と、
前記一対の取出電極間に位置して前記第１方向に所定距離だけ隔てた第１検出位置及び第２検出位置における前記第２方向の磁界の強さ又は前記第１方向の電流の大きさをそれぞれ第１検出値及び第２検出値とし、前記磁界信号取出手段によって取出された太陽電池セルの各部の磁界信号に基づき、前記第１検出値と前記第２検出値との差を検出する差検出手段と
を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載した太陽電池セル検査装置において、さらに、
前記差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差が所定値よりも大きいとき、前記発電面の欠陥を判定する判定手段を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載した太陽電池セル検査装置において、さらに、
前記差検出手段によって検出された第１検出値と第２検出値との差の分布を視覚的に示す画像を表示する表示手段を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のうちのいずれか１つに記載した太陽電池セル検査装置において、
前記磁界信号取出手段は、
太陽電池セルを載置するステージと、
前記ステージ上に載置された太陽電池セルに対して発電のために光を照射する第１光照射手段と、
前記ステージと前記第１光照射手段との間にて前記磁気センサを前記ステージに対向させて支持する支持部材とを有し、さらに、
前記支持部材に取付けられて、前記ステージ上に載置された太陽電池の前記支持部材と対向する領域に光を照射する第２光照射手段を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
【請求項９】
請求項１乃至７のうちのいずれか１つに記載した太陽電池セル検査装置において、
前記磁界信号取出手段は、
太陽電池セルに所定周期で変化する光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は前記一対の取出電極に所定周期で変化する電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて前記磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号であって、前記所定周期で変化する磁界信号を取出すことを特徴とする太陽電池セル検査装置。

【図１】