座標測定器に使用するための測定用探針
座標測定器に使用するための測定用探針は、座標測定器に連結された基部１と、測定先端部４と、測定先端部４の第１端部に配置された球５とを含む。前記測定先端部４は、別の端部において、前記基部１によって支持された少なくとも３個の剛性支持体２を用いて支持され、これによって前記支持体２は球形連結部によって前記測定先端部に連結され、前記支持体２は、前記基部１に対してこれらの長手方向に沿って変位可能である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、座標測定器に使用するための測定用探針（プローブ）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
測定用探針は、測定すべき測定対象物に接触することを意図されたデバイスとして、座標測定器において使用されている。このデバイスは、可動アームの端部に配置されて、測定対象物と接触させると、座標系における探針位置を表示する信号を発生する。他の方式としては、光学デバイスすなわち非接触デバイスを使用して、測定対象物に対してある正確な位置に置かれたときに上述の信号を発生させることができる。
【０００３】
探針は、測定対象物に接触する球が通常配置される自由端部を実現する測定先端部を含んでいる。測定先端部は探針に取り付けられ、球と測定対象物との接触により測定先端部の取付け部の変位が得られてこの変位の大きさと方向が決定でき、それにより、球と測定対象物との正確な接触点が決定できる。
【０００４】
このような測定用探針を含む既存の座標測定器では、測定先端部の取付け部は、通常、多数の部材が順番に連結されるように構成され、測定先端部が、自由に規定された方向に幾分変位できるためにも、これらの部材はこれらの部材に直角な１方向にのみ曲げることが可能である。この変位は、探針の更なる変位を防止するために検出され、その現在位置及び必要な場合には測定先端部の変位が、測定対象物の現在位置を計算するために記録される。このような測定用探針の一例は、英国特許第１５５１２１８号に見ることができる。
【０００５】
上記の形式の測定用探針に関する問題点の１つは、これらにより記録される誤差が蓄積され、こうして一連の誤差を生じさせることである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって本発明の目的は、より正確な測定ができ、上記の種類の誤差源を除去できる新たな測定用探針を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的は、以下の本発明による測定用探針によって達成される。すなわち、座標測定器に連結された基部と、測定先端部ホルダと、このホルダによって支持された測定先端部とを含む測定用探針であって、測定先端部ホルダは少なくとも３個の剛体（ｒｉｇｉｄ）の支持体を用いて基部によって支持され、支持体は球形連結部により測定先端部ホルダに連結され、支持体は、基部に対してこれらの長手方向に沿って変位可能であり、これにより測定先端部ホルダと基部との角度を変えることができ、支持体は、基部から半径方向外側に向いた板ばねによって基部に連結されている、測定用探針。
【０００８】
これらの支持体は、一具体例では、これらの長手方向に沿って変位でき、駆動手段を備え、それにより測定先端部ホルダ（したがって、球を有する測定先端部）が自力変位によって調節できるように構成されている。
【０００９】
測定先端部は、一具体例によれば、球が端部に配置された有形（ｐｈｙｓｉｃａｌ）の測定先端部を含む。
【００１０】
第２の具体例によれば、測定先端部は、光学センサを有する仮想先端部によって構成されており、この光学センサは仮想先端部の測定対象物への近接を検出するために配置されている。このような光学センサは、例えば、レーザ、ＣＣＤカメラ、又は類似のものとできる。
【００１１】
更に一般化すれば、本発明は、基部と測定先端部ホルダとの間の６個の支持体の連結を含み、これらの支持体は基部に対して独立して変位できる。この場合、測定先端部ホルダは、各支持体又は支持体の組合せにより測定先端部ホルダの利用できる６つの自由度（ｘ、ｙ、ｚ、ψ、θ、η）が制御されるように設計されている。しかしここでは、本発明をいくつかの簡略化されているがそれには限定されない設計により以下に説明する。
【実施例】
【００１２】
本発明を以下に、添付の図面に図示された一対の実施例の形で詳細に説明する。
【００１３】
図１は、基部１と、球形連結を用いて測定先端部ホルダ３を支持する３個の支持体２（ここでは３本ロッドの形態を有する）とを含む測定用探針を概略的に示す。
【００１４】
自由度の数は、３個の支持体を有するこの場合は、３（ｚ、ψ、θ）に減少しており、各支持体は、図２及び図３に示すとおり、板ばねへの取付けによって規定される２つの自由度が固定される。したがって、このことは、支持体が基部に対して垂直方向（ｚ）にのみ変位できること、及び基部と支持体との半径方向角（ψ）が変化できることを意味する。
【００１５】
次に、測定先端部ホルダ３は測定先端部４を支持し、測定先端部４はその自由端に球５を備える。この球５は、測定対象物に接触させることが可能であるように意図された測定用探針の部材である。球形連結部（球形連結部は、例えば、ロッド２の端部に配置された球から成り、その球が、測定先端部ホルダ３上の内部が球形のハウジング内に取り付けられることができる）によって、ロッド２は測定先端部ホルダ３に対して、どのような角度でも自由に採ることができる。
【００１６】
測定対象物と接触する際の探針の球の位置を決定するために、測定システムが接続され、測定先端部ホルダの位置が、（したがって例えば基部１上の基準点に対する球の位置が）測定される。しかし、この測定システムは、本発明にとってはそれ自体は重要なものではなく、したがって当該技術分野の当業者であれば選択できるものでよい。
【００１７】
図２は、基部１の上面図であり、この基部１には、本発明による測定用探針の測定先端部ホルダ、測定先端部、及び球を支持する支持体が連結されている。支持体は、この場合、基部１から半径方向外側に向いた板ばね６を用いて基部１に連結されている。板ばね６は、これらの板ばねの位置する平面内では堅い（剛性を有する）が、この平面に垂直な方向には可撓性を有する。板ばね６は基部１に堅く取り付けられ、その半径方向最外端部において支持体２に連結され、１個の支持体２が１個の板ばね６に連結されている。支持体２は、図３から明らかなとおり、測定先端部ホルダ３との連結部から板ばね６との連結部まで、上向き且つ外向きの斜め方向を向いている。板ばね６と支持体２との連結部は、支持体２と測定先端部ホルダ３との連結部のように、球形連結部７を用いて形成されることが適切である。図４は、前方から見た支持体２を示している。支持体２は、主に三角形の部材を形成するように、側方向にある一定の広がりを有して設計されることが適切であることが明らかである。その安定性は、このようにして、ねじれを防止するために増加される。支持体２は主に、その長手向に沿って、すなわち測定先端部ホルダ３への取付け点から板ばね６への取付け点まで力を伝達するものである。
【００１８】
図５には別の実施例を示す。この実施例は、本質的には図２〜図４によって特定された実施例に基づくが、駆動手段８が配置されて、駆動手段８は、球５を測定対象物と接触させることができるように測定用探針の測定先端部ホルダを（したがってその測定先端部４及び球５を）変位させるために、支持体を変位させることができる。駆動手段８は、剛性アーム１０を用いて基部１の上側に取り付けられたコイル９を含むことが適切である。コイル９は、磁石体１１又はその他の磁性材料でできたロッド状部材を取り囲んでおり、この磁石体１１又はその他の磁性材料のロッド状部材は、板ばね６の最外端部上方を上向き及び下向きに移動できる。したがってコイル９に電流を供給することによって、板ばね６をその最外端部において磁石体１１を用いて下向きに押圧することが可能であり、こうしてこの最外端部は測定先端部ホルダ３と（したがって測定先端部４及び球５と）相互作用することができ、球を測定対象物に接触させることができるようにこれらの部材を動かす。したがって、測定対象物の正確な測定のために、駆動手段８を用いて球５の位置の微調節を行うことが可能になる。こうして、駆動装置８は、拡声器部材と同じ方式で機能し、このようにして操作が非常に容易になる。
【００１９】
測定先端部ホルダ３の位置を測定するために、例えば光学式測定システムを使用してもよい。このシステムは基部１の出発点からの距離を測定する。このような測定は、例えば、基部と測定先端部ホルダ３上の多数の固定点との間で行うことができる。測定先端部ホルダ３上のこれらの固定点と球５との距離は、常に同じである。なぜならば、球が測定対象物に接触している際には、すべての変形が支持体２によって吸収されるために、測定先端部又は球の変形は起こらないからである。
【００２０】
測定先端部ホルダ３と基部１との間に、個別の測定ロッドを配置することも可能である。この場合、これらの測定ロッドは、図５の実施例に関して支持体について説明したものと同じ方式で設計および配置されることが適切である。したがって、これらの測定ロッドは、基部を通り、これらの測定ロッドをこれらの長手方向に沿って変位させることが可能であり、これによって、測定ロッドは、基部１に対するこれらの位置を決定できる測定尺度を含むことができ、この方式で球５の位置を計算することもできる。
【００２１】
こうして、本発明の測定用探針によれば、他の部材によって変形が吸収されるため、測定先端部及び球の非常に剛性を有する配置を達成することが可能であり、これによって球の位置の非常に正確な決定が実施できる。
【００２２】
本明細書では、本発明を、測定先端部が端部に球を取り付けられた有形先端部によって構成されるとして説明したが、この有形的先端部を前述のように、測定先端部ホルダからある距離に位置する点に対して測定が行われて、この点は測定先端部ホルダに対して固定されている仮想先端部で置き換え得ることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】測定用探針の全体的斜視図。
【図２】基部及びこれに取り付けられた板ばねを示す上面図であり、これらの板ばねは測定用探針の支持体を支持する。
【図３】関連する支持体、測定先端部ホルダ、測定先端部、及び球を伴う、図２の基部及び板ばねの１つの側面図。
【図４】図３と同じものの側面図。
【図５】駆動手段が配置されて測定先端部ホルダと協働してこれを制御し、こうして測定先端部とその球を制御するようになっている、板ばねを支持する支持体を有する基部、測定先端部ホルダ、測定先端部、及び球の側面図。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、座標測定器に使用するための測定用探針（プローブ）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
測定用探針は、測定すべき測定対象物に接触することを意図されたデバイスとして、座標測定器において使用されている。このデバイスは、可動アームの端部に配置されて、測定対象物と接触させると、座標系における探針位置を表示する信号を発生する。他の方式としては、光学デバイスすなわち非接触デバイスを使用して、測定対象物に対してある正確な位置に置かれたときに上述の信号を発生させることができる。
【０００３】
探針は、測定対象物に接触する球が通常配置される自由端部を実現する測定先端部を含んでいる。測定先端部は探針に取り付けられ、球と測定対象物との接触により測定先端部の取付け部の変位が得られてこの変位の大きさと方向が決定でき、それにより、球と測定対象物との正確な接触点が決定できる。
【０００４】
このような測定用探針を含む既存の座標測定器では、測定先端部の取付け部は、通常、多数の部材が順番に連結されるように構成され、測定先端部が、自由に規定された方向に幾分変位できるためにも、これらの部材はこれらの部材に直角な１方向にのみ曲げることが可能である。この変位は、探針の更なる変位を防止するために検出され、その現在位置及び必要な場合には測定先端部の変位が、測定対象物の現在位置を計算するために記録される。このような測定用探針の一例は、英国特許第１５５１２１８号に見ることができる。
【０００５】
上記の形式の測定用探針に関する問題点の１つは、これらにより記録される誤差が蓄積され、こうして一連の誤差を生じさせることである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって本発明の目的は、より正確な測定ができ、上記の種類の誤差源を除去できる新たな測定用探針を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的は、以下の本発明による測定用探針によって達成される。すなわち、座標測定器に連結された基部と、測定先端部ホルダと、このホルダによって支持された測定先端部とを含む測定用探針であって、測定先端部ホルダは少なくとも３個の剛体（ｒｉｇｉｄ）の支持体を用いて基部によって支持され、支持体は球形連結部により測定先端部ホルダに連結され、支持体は、基部に対してこれらの長手方向に沿って変位可能であり、これにより測定先端部ホルダと基部との角度を変えることができ、支持体は、基部から半径方向外側に向いた板ばねによって基部に連結されている、測定用探針。
【０００８】
これらの支持体は、一具体例では、これらの長手方向に沿って変位でき、駆動手段を備え、それにより測定先端部ホルダ（したがって、球を有する測定先端部）が自力変位によって調節できるように構成されている。
【０００９】
測定先端部は、一具体例によれば、球が端部に配置された有形（ｐｈｙｓｉｃａｌ）の測定先端部を含む。
【００１０】
第２の具体例によれば、測定先端部は、光学センサを有する仮想先端部によって構成されており、この光学センサは仮想先端部の測定対象物への近接を検出するために配置されている。このような光学センサは、例えば、レーザ、ＣＣＤカメラ、又は類似のものとできる。
【００１１】
更に一般化すれば、本発明は、基部と測定先端部ホルダとの間の６個の支持体の連結を含み、これらの支持体は基部に対して独立して変位できる。この場合、測定先端部ホルダは、各支持体又は支持体の組合せにより測定先端部ホルダの利用できる６つの自由度（ｘ、ｙ、ｚ、ψ、θ、η）が制御されるように設計されている。しかしここでは、本発明をいくつかの簡略化されているがそれには限定されない設計により以下に説明する。
【実施例】
【００１２】
本発明を以下に、添付の図面に図示された一対の実施例の形で詳細に説明する。
【００１３】
図１は、基部１と、球形連結を用いて測定先端部ホルダ３を支持する３個の支持体２（ここでは３本ロッドの形態を有する）とを含む測定用探針を概略的に示す。
【００１４】
自由度の数は、３個の支持体を有するこの場合は、３（ｚ、ψ、θ）に減少しており、各支持体は、図２及び図３に示すとおり、板ばねへの取付けによって規定される２つの自由度が固定される。したがって、このことは、支持体が基部に対して垂直方向（ｚ）にのみ変位できること、及び基部と支持体との半径方向角（ψ）が変化できることを意味する。
【００１５】
次に、測定先端部ホルダ３は測定先端部４を支持し、測定先端部４はその自由端に球５を備える。この球５は、測定対象物に接触させることが可能であるように意図された測定用探針の部材である。球形連結部（球形連結部は、例えば、ロッド２の端部に配置された球から成り、その球が、測定先端部ホルダ３上の内部が球形のハウジング内に取り付けられることができる）によって、ロッド２は測定先端部ホルダ３に対して、どのような角度でも自由に採ることができる。
【００１６】
測定対象物と接触する際の探針の球の位置を決定するために、測定システムが接続され、測定先端部ホルダの位置が、（したがって例えば基部１上の基準点に対する球の位置が）測定される。しかし、この測定システムは、本発明にとってはそれ自体は重要なものではなく、したがって当該技術分野の当業者であれば選択できるものでよい。
【００１７】
図２は、基部１の上面図であり、この基部１には、本発明による測定用探針の測定先端部ホルダ、測定先端部、及び球を支持する支持体が連結されている。支持体は、この場合、基部１から半径方向外側に向いた板ばね６を用いて基部１に連結されている。板ばね６は、これらの板ばねの位置する平面内では堅い（剛性を有する）が、この平面に垂直な方向には可撓性を有する。板ばね６は基部１に堅く取り付けられ、その半径方向最外端部において支持体２に連結され、１個の支持体２が１個の板ばね６に連結されている。支持体２は、図３から明らかなとおり、測定先端部ホルダ３との連結部から板ばね６との連結部まで、上向き且つ外向きの斜め方向を向いている。板ばね６と支持体２との連結部は、支持体２と測定先端部ホルダ３との連結部のように、球形連結部７を用いて形成されることが適切である。図４は、前方から見た支持体２を示している。支持体２は、主に三角形の部材を形成するように、側方向にある一定の広がりを有して設計されることが適切であることが明らかである。その安定性は、このようにして、ねじれを防止するために増加される。支持体２は主に、その長手向に沿って、すなわち測定先端部ホルダ３への取付け点から板ばね６への取付け点まで力を伝達するものである。
【００１８】
図５には別の実施例を示す。この実施例は、本質的には図２〜図４によって特定された実施例に基づくが、駆動手段８が配置されて、駆動手段８は、球５を測定対象物と接触させることができるように測定用探針の測定先端部ホルダを（したがってその測定先端部４及び球５を）変位させるために、支持体を変位させることができる。駆動手段８は、剛性アーム１０を用いて基部１の上側に取り付けられたコイル９を含むことが適切である。コイル９は、磁石体１１又はその他の磁性材料でできたロッド状部材を取り囲んでおり、この磁石体１１又はその他の磁性材料のロッド状部材は、板ばね６の最外端部上方を上向き及び下向きに移動できる。したがってコイル９に電流を供給することによって、板ばね６をその最外端部において磁石体１１を用いて下向きに押圧することが可能であり、こうしてこの最外端部は測定先端部ホルダ３と（したがって測定先端部４及び球５と）相互作用することができ、球を測定対象物に接触させることができるようにこれらの部材を動かす。したがって、測定対象物の正確な測定のために、駆動手段８を用いて球５の位置の微調節を行うことが可能になる。こうして、駆動装置８は、拡声器部材と同じ方式で機能し、このようにして操作が非常に容易になる。
【００１９】
測定先端部ホルダ３の位置を測定するために、例えば光学式測定システムを使用してもよい。このシステムは基部１の出発点からの距離を測定する。このような測定は、例えば、基部と測定先端部ホルダ３上の多数の固定点との間で行うことができる。測定先端部ホルダ３上のこれらの固定点と球５との距離は、常に同じである。なぜならば、球が測定対象物に接触している際には、すべての変形が支持体２によって吸収されるために、測定先端部又は球の変形は起こらないからである。
【００２０】
測定先端部ホルダ３と基部１との間に、個別の測定ロッドを配置することも可能である。この場合、これらの測定ロッドは、図５の実施例に関して支持体について説明したものと同じ方式で設計および配置されることが適切である。したがって、これらの測定ロッドは、基部を通り、これらの測定ロッドをこれらの長手方向に沿って変位させることが可能であり、これによって、測定ロッドは、基部１に対するこれらの位置を決定できる測定尺度を含むことができ、この方式で球５の位置を計算することもできる。
【００２１】
こうして、本発明の測定用探針によれば、他の部材によって変形が吸収されるため、測定先端部及び球の非常に剛性を有する配置を達成することが可能であり、これによって球の位置の非常に正確な決定が実施できる。
【００２２】
本明細書では、本発明を、測定先端部が端部に球を取り付けられた有形先端部によって構成されるとして説明したが、この有形的先端部を前述のように、測定先端部ホルダからある距離に位置する点に対して測定が行われて、この点は測定先端部ホルダに対して固定されている仮想先端部で置き換え得ることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】測定用探針の全体的斜視図。
【図２】基部及びこれに取り付けられた板ばねを示す上面図であり、これらの板ばねは測定用探針の支持体を支持する。
【図３】関連する支持体、測定先端部ホルダ、測定先端部、及び球を伴う、図２の基部及び板ばねの１つの側面図。
【図４】図３と同じものの側面図。
【図５】駆動手段が配置されて測定先端部ホルダと協働してこれを制御し、こうして測定先端部とその球を制御するようになっている、板ばねを支持する支持体を有する基部、測定先端部ホルダ、測定先端部、及び球の側面図。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
座標測定器に使用するための測定用探針において、該測定用探針が、前記座標測定器に連結された基部（１）と、測定先端部ホルダ（３）と、前記測定先端部ホルダによって支持された測定先端部（４）とを含み、
前記測定先端部ホルダ（３）は、少なくとも３個の剛体の支持体（２）を用いて前記基部（１）により支持され、前記支持体（２）は、球形連結部によって前記測定先端部ホルダ（３）に連結されており、前記支持体（２）は、前記支持体の長手方向に沿って前記基部（１）に対して変位可能であり、これにより前記測定先端部ホルダ（３）と前記基部（１）との角度を変えることができ、
前記支持体（２）は、前記基部（１）から半径方向外側に向いた板ばね（６）によって、前記基部に連結されていることを特徴とする測定用探針。
【請求項２】
前記支持体（２）と相互作用して前記測定先端部ホルダ（３）を操作するために、駆動手段（８）が前記基部（１）に連結されて配置されていることを特徴とする請求項１に記載された測定用探針。
【請求項３】
前記駆動手段（８）が、コイル（９）と、該コイルの内部で動かすことのできる部材（１１）とを含み、前記部材（１１）が、前記板ばね（６）の最外端部に作用し、これにより前記支持体（２）に作用するように配置されていることを特徴とする請求項２に記載された測定用探針。
【請求項４】
前記基部（１）に対する前記測定先端部（４）の距離を測定するために、光学式測定システムが配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載された測定用探針。
【請求項５】
前記測定先端部（４）が、端部に球（５）を配置した有形の測定先端部（４）を含むことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載された測定用探針。
【請求項６】
前記測定先端部が、光学センサを有する仮想先端部によって構成され、前記光学センサは、前記仮想先端部の測定対象物への近接を検出するために配置されていることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載された測定用探針。
【請求項１】
座標測定器に使用するための測定用探針において、該測定用探針が、前記座標測定器に連結された基部（１）と、測定先端部ホルダ（３）と、前記測定先端部ホルダによって支持された測定先端部（４）とを含み、
前記測定先端部ホルダ（３）は、少なくとも３個の剛体の支持体（２）を用いて前記基部（１）により支持され、前記支持体（２）は、球形連結部によって前記測定先端部ホルダ（３）に連結されており、前記支持体（２）は、前記支持体の長手方向に沿って前記基部（１）に対して変位可能であり、これにより前記測定先端部ホルダ（３）と前記基部（１）との角度を変えることができ、
前記支持体（２）は、前記基部（１）から半径方向外側に向いた板ばね（６）によって、前記基部に連結されていることを特徴とする測定用探針。
【請求項２】
前記支持体（２）と相互作用して前記測定先端部ホルダ（３）を操作するために、駆動手段（８）が前記基部（１）に連結されて配置されていることを特徴とする請求項１に記載された測定用探針。
【請求項３】
前記駆動手段（８）が、コイル（９）と、該コイルの内部で動かすことのできる部材（１１）とを含み、前記部材（１１）が、前記板ばね（６）の最外端部に作用し、これにより前記支持体（２）に作用するように配置されていることを特徴とする請求項２に記載された測定用探針。
【請求項４】
前記基部（１）に対する前記測定先端部（４）の距離を測定するために、光学式測定システムが配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載された測定用探針。
【請求項５】
前記測定先端部（４）が、端部に球（５）を配置した有形の測定先端部（４）を含むことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載された測定用探針。
【請求項６】
前記測定先端部が、光学センサを有する仮想先端部によって構成され、前記光学センサは、前記仮想先端部の測定対象物への近接を検出するために配置されていることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載された測定用探針。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公表番号】特表２００８−５０４５５５（Ｐ２００８−５０４５５５Ａ）
【公表日】平成２０年２月１４日（２００８．２．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−５１９１５６（Ｐ２００７−５１９１５６）
【出願日】平成１７年６月２０日（２００５．６．２０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＳＥ２００５／０００９５８
【国際公開番号】ＷＯ２００６／００１７５７
【国際公開日】平成１８年１月５日（２００６．１．５）
【出願人】（５０６３６０３０９）ヘキサゴン メトロロジー エービー (9)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２０年２月１４日（２００８．２．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年６月２０日（２００５．６．２０）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＳＥ２００５／０００９５８
【国際公開番号】ＷＯ２００６／００１７５７
【国際公開日】平成１８年１月５日（２００６．１．５）
【出願人】（５０６３６０３０９）ヘキサゴン メトロロジー エービー (9)
【Ｆターム（参考）】
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