【課題】大面積の測定したい表面の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、大面積の測定される表面（１２）の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイスに関し、少なくとも１つのセンサ要素（２９）、およびセンサ要素（２９）に関連付けられた少なくとも１つの接触球状キャップ（３１）を備えた少なくとも１つの測定プローブ（２８）は、測定値を得るために測定される表面（１２）に宛てがわれ、大面積の測定される表面（１２）は、個別の部分領域（１４）に分割され、測定点（１６）の行列は検査される各部分領域（１４）に対して決定され、少なくとも１つの測定プローブ（２８）を担持するデバイス（２１）を使用して、部分領域（１４）の行列の少なくとも１つの行（１７）に沿って、等距離測定点（１６）で測定値が探知され、測定値は、前部分領域（１４）内の前記行列の全ての行（１７）に対して連続的に探知され、この部分領域（１４）に対して評価される。 （もっと読む）

【課題】適用する移動体の組立作業を煩雑化することなく所望の検出精度を確保する。
【解決手段】摺動孔１１ａを有した第１のケース１１と、第１のケース１１に結合することにより、互いの間に油を充填した油室１４を構成する第２のケース１２と、第１のケース１１に形成した油室１４を外部に連通させる連通通路１６と、先端部が外部に露出する状態で第１のケース１１の摺動孔１１ａに進退可能に嵌合し、かつ油室１４の内部に摺動孔１１ａよりも太径となるフランジ２１を収容したシャフト２０と、油室１４に配設し、シャフト２０の先端部を第１のケース１１から常時突出する方向に押圧する押圧バネ５０と、第２のケース１２の外部においてシャフト２０の変位量に応じた電気信号を出力するホール素子８５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】誤検出の虞を少なくしたセンサ信号検出装置を提供する。
【解決手段】ローパスフィルタ２１は、高周波のノイズ成分Ｓ２及び直流レベル変動成分Ｓ３を遮断し、直流オフセット分Ｓ０及び低周波の状態変動成分Ｓ１を通過させる。変換回路２２は、信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）（Ｋは定数）を出力する。選択回路２３は、トリガ信号ＴＧに従い、信号Ｒ１（＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１））、又は変換回路２５から得られる信号Ｒ２のいずれか一方を基準信号Ｒとして選択する。比較回路２４は、信号Ｓと基準信号Ｒとを比較し、Ｓ＜Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち上げ、Ｓ＞Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち下げる。変換回路２５は、時刻ｔ１でトリガ信号ＴＧの立ち上がりを検知した場合、その時刻ｔ１での基準信号Ｒのサンプリング値Ｒｔ１を比較回路２４から取り込み、係数ｍを乗算した信号Ｒ２＝ｍ・Ｒｔ１を出力する。 （もっと読む）

【課題】自立型発電システムを備えた工作物表面上の点の座標を測定する工作機械または座標測定機械用の座標測定プローブを提供する。
【解決手段】工作機械１２の回転スピンドル１５に連結可能とし、巻線２０を伴う固定子１８との関係において相対的に回転する駆動要素であるフライホイール２８および永久磁石１９を担持した回転子１７を有する発電機１６を備え、工作機械１２の回転スピンドル１５を作動させることで発電機１６が電気または電子回路である接触検出回路２２に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】静電容量方式を用いた第１の検出部における検出精度を低下させることなく、電磁誘導方式を用いた第２の検出部における検出精度の低下を防止又は抑制する。
【解決手段】位置指示器２と、略平板状に形成された第１の検出部１３と、この第１の検出部の他方の面と対向する位置に設けられた第２の検出部１４とを備えている。位置指示器２は、コイル２７を有している。第１の検出部１３は、その一方の面に、人体との間の静電容量を検出するための検出電極５を備えている。また、第２の検出部１４は、磁束Ｇを検出するループコイル２４を備えている。そして、検出電極１５は、略平板状に形成されると共に、外縁から内側に延在するスリットを少なくとも一つ以上有している。これにより、静電容量方式を用いた第１の検出部における検出精度の低下を防止又は抑制すると共に、電磁誘導方式を用いた第２の検出部における検出精度の低下を防止又は抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】測定機器の経時／使用変化に伴う測定精度の低減を防止する。
【解決手段】物体の寸法を取得するための測定部６と、取得した物体の寸法に関する測定データを出力するための出力部８とを具えた測定装置２が記述される。作動停止部１０が測定装置の通常作動を禁止するために与えられ、測定データの出力が阻止されるようになっている。作動停止部１０は、使用中に、装置使用モジュールから装置使用情報を読み取り、この装置使用情報が１つ以上のあらかじめ設定した条件を満たしていない場合、測定装置の通常作動を禁止する。装置使用モジュールを測定装置の一体部品として、または別個の作動ボタン１８として与えることができる。測定装置は、接触トリガー測定プローブの如き測定プローブ２を具えることができる。 （もっと読む）

【課題】共振センサの誤差要因の影響を減少させ、より高精度な測定を可能にして、使い勝手や信頼性を向上する。
【解決手段】加振手段（圧電素子２４）により測定子２２を長手方向に共振振動させ、検出手段（圧電素子２６）により測定子２２の共振に応じた出力信号を得て、該出力信号の変化を捉えることで、測定子先端２２Ａと測定対象１０との接触を検知するようにした共振センサ２０の測定位置検出に際して、測定子２２と測定対象１０間の距離と、出力信号の変化状態の関係を表わす特性曲線を得て、該特性曲線から、接触開始位置に相当する出力信号の変化開始位置を推定して、測定位置とする。 （もっと読む）

【課題】測定時間を短縮して高速測定を可能にすると共に、共振センサの誤差要因の影響を減少させ、より高精度な測定を可能にして、使い勝手及び信頼性を向上し、更に、低価格化する。
【解決手段】加振手段（圧電素子２４）により測定子２２を長手方向に共振振動させ、検出手段（圧電素子２６）により測定子２２の共振に応じた出力信号を得て、測定子先端２２Ａと測定対象１０との接触を検知するようにした共振センサの測定位置検出に際して、共振状態の変化に追従させて安定な振動を持続するための発振制御を行なうと共に、該発振制御のための制御量の過渡的な変化から、測定子先端２２Ａと測定対象１０との接触を検知して測定位置とする。 （もっと読む）

座標測定機に使用するための測定プローブが、座標測定機に接続された基部１、測定チップ４、および測定チップ４の第１の端部に配置された球５を有している。測定チップ４は、基部１によって支持される少なくとも３つのリジッドな支持体２を用いてその第２の端部で支持され、それにより支持体２が球形の接続部によって測定チップに接続され、支持体２をその長さ方向に沿って基部１に対して移動させることが可能になる。支持体２は、程度にかかわらず基部１の測定チップ・ホルダ３と反対の側に突出することによって基部１を貫通すること、およびその長さ方向に沿って移動させることができるように配置されている。
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座標測定器に使用するための測定用探針は、座標測定器に連結された基部１と、測定先端部４と、測定先端部４の第１端部に配置された球５とを含む。前記測定先端部４は、別の端部において、前記基部１によって支持された少なくとも３個の剛性支持体２を用いて支持され、これによって前記支持体２は球形連結部によって前記測定先端部に連結され、前記支持体２は、前記基部１に対してこれらの長手方向に沿って変位可能である。
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