【課題】対象物にアクチュエータが当接した瞬間をロードセルを用いずに、電流の値から検出する方法を提供する。
【解決手段】積層圧電素子単体又は積層圧電素子Ｓ１０５と変位拡大機構の組み合わせよりなる圧電アクチュエータと、その圧電アクチュエータから所定の隙間をあけ、圧電アクチュエータに電圧を印加したときに圧電アクチュエータが当接するように配置された対象物と、圧電アクチュエータに電圧を供給する駆動回路Ｓ１０１と、その駆動回路から圧電アクチュエータに流入する電流の検出手段Ｓ１０６と、を有し、駆動回路が連続的に変化する電圧を供給するとき、流入する電流値の変化により、圧電アクチュエータが対象物に当接したことを検出することにする。 （もっと読む）

【課題】膜厚測定の対象測定領域内の絶縁性薄膜の膜厚の空間分布を得る。
【解決手段】試料と、カンチレバーに保持された探針との間に可変直流電圧を印加する原子間力顕微鏡を用いて、絶縁性薄膜の膜厚分布を測定する膜厚評価方法で、試料の測定領域に電圧を変化させて印加するとともに、発生電流および絶縁破壊電圧を測定し、前記測定領域のうち任意の１点の膜厚を基準値として、各測定点の絶縁破壊電圧および（１）式の関係に基づいて、前記測定領域内の相対膜厚の分布を求めることとする。
膜厚＝絶縁破壊電圧÷絶縁破壊電場強度 （１） （もっと読む）

【課題】製造工程の遅延や製造コストの増大を抑制しつつ、高精度な位置検出を実現可能な位置検出センサを提供すること。
【解決手段】工作機械に装備された主軸に装着されるホルダと、上記ホルダの先端から突出して延びるアンテナと、上記アンテナが他の物体と接触したことを検出する接触検出手段と、を備えている。そして、上記アンテナは、当該アンテナの先端側が予め設定された変位許容量だけ変位可能なよう上記ホルダに装着されていると共に、上記他の物体との接触により外部から所定の力がかかったときに曲折するよう弾性を有する線状部材にて形成されている。 （もっと読む）

【課題】媒体の厚さを検出する期間が短い場合でも、厚さの検出精度を向上させること。
【解決手段】媒体Ｓに接触している接触回転体３の１回転以上の期間における接触回転体３の厚さ方向の移動量の履歴情報に基づいて、媒体有り移動量Ｖ２を演算する媒体有り移動量演算手段と、媒体Ｓに接触していない接触回転体３の１回転未満の期間Ｔ１における接触回転体３の厚さ方向の移動量の履歴情報と、媒体有り時の１回転以上の期間Ｔ２における履歴情報に基づいて導出された補正情報と、に基づいて、媒体無し移動量Ｖ１を演算する媒体無し移動量演算手段と、媒体有り移動量Ｖ２と媒体無し移動量Ｖ１と、に基づいて、媒体の厚さを検知する媒体厚検知手段と、を備えた媒体厚検出装置。 （もっと読む）

【課題】固定及び回転部品間の最小クリアランスを判定する過渡クリアランス測定装置を提供する。
【解決手段】本装置は、固定部品（２２、２４）に固定されかつ回転部品（１２）の表面に向かって突出した少なくとも１つの摩擦ピン（３６）を含む。少なくとも１つの摩擦ピン（３６）は、電気回路を完成した１以上の埋込みワイヤ（５４）を有していて、使用中に、回転部品の表面が該少なくとも１つの摩擦ピンに摩擦した時に、電気回路が破断される。 （もっと読む）

【課題】遊星歯車を備えた減速装置において、遊星歯車を回転自在に支持する転がり軸受の軸方向移動を抑止する固定プレートの異常摩耗を防止する。
【解決手段】回転軸の回転を該回転軸に取り付けられた太陽歯車から遊星歯車を介し減速して回転伝達機構に伝達し、該遊星歯車を転がり軸受１３を介してキャリア又は固定部材１１の円筒軸１２に嵌合固定してなる減速装置において、円筒軸１２の端面１２ａに押え部材１６を固定し、該押え部材を転がり軸受端面に当てて転がり軸受１３の軸方向移動を係止し、該押え部材の内部に摩耗検知回路に接続された電極２１を転がり軸受端面との間に設定寸法の空隙を介在させて配置し、該押え部材の転がり軸受１３に対する摺接面が摩耗して該電極と転がり軸受端面とが接触した時に摩耗検知回路を作動させて該押え部材の摩耗を検知するようにした。 （もっと読む）

【課題】二点接触における位置検出が可能な座標検出装置を提供する。
【解決手段】絶縁体からなる四角形状の基板上に形成された抵抗膜と、抵抗膜に電圧を印加するための電源と、電源と接続されている四隅の抵抗膜上に設けられた４個の電極と、電源と各々の電極との間に設けられた４個のスイッチと、各々の電極に流れる電流を測定するための４個の電流測定器と、抵抗膜と接触させることにより抵抗膜における接触位置座標を検出するため接地されている導電膜を有し、スイッチの開閉を行うことにより、４個の電極に順次電圧を印加し、抵抗膜と前記導電膜と接触させ、電極に接続されている４個の電流測定器により順次各々の電流値を測定し、各々の電流値に基づき得られた抵抗値により、各々の電極と抵抗膜と導電膜との接触位置を検出することを特徴とする座標検出装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】誤検出の虞を少なくしたセンサ信号検出装置を提供する。
【解決手段】ローパスフィルタ２１は、高周波のノイズ成分Ｓ２及び直流レベル変動成分Ｓ３を遮断し、直流オフセット分Ｓ０及び低周波の状態変動成分Ｓ１を通過させる。変換回路２２は、信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）（Ｋは定数）を出力する。選択回路２３は、トリガ信号ＴＧに従い、信号Ｒ１（＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１））、又は変換回路２５から得られる信号Ｒ２のいずれか一方を基準信号Ｒとして選択する。比較回路２４は、信号Ｓと基準信号Ｒとを比較し、Ｓ＜Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち上げ、Ｓ＞Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち下げる。変換回路２５は、時刻ｔ１でトリガ信号ＴＧの立ち上がりを検知した場合、その時刻ｔ１での基準信号Ｒのサンプリング値Ｒｔ１を比較回路２４から取り込み、係数ｍを乗算した信号Ｒ２＝ｍ・Ｒｔ１を出力する。 （もっと読む）

【課題】自立型発電システムを備えた工作物表面上の点の座標を測定する工作機械または座標測定機械用の座標測定プローブを提供する。
【解決手段】工作機械１２の回転スピンドル１５に連結可能とし、巻線２０を伴う固定子１８との関係において相対的に回転する駆動要素であるフライホイール２８および永久磁石１９を担持した回転子１７を有する発電機１６を備え、工作機械１２の回転スピンドル１５を作動させることで発電機１６が電気または電子回路である接触検出回路２２に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】 工作機械の工具ないし工具取付軸とワークとの相対位置関係を、工具台に取付けた検出針をワークに接触させることにより、検出する装置とその検出針に関し、安価でかつ精度の高い計測を行うことが可能な、非磁性でかつワークとの繰り返し接触に耐えるのに十分な硬度を有し、かつ加工及び組立精度の高い検出針及びそのような検出針を備えた接触検出器を得る。
【解決手段】組成としてバナジウム、炭素及びニッケルを含む析出硬化型のオーステナイト系ステンレス鋼で接触検出器の検出針を製造する。この発明の接触検出器の検出針１は、ワークとの接触部である先端部２と軸部３とが上記組成のオーステナイト系ステンレス鋼から削り出した一体構造のものである。 （もっと読む）

【課題】製品の座面の面としての精度の測定を可能とする製品測定装置を提供する。
【解決手段】導電性の製品を固定する導電性の基台２０と、製品１００の測定箇所の理想形状に対応する形状の電気抵抗体１２０が表面に配置され、測定箇所に接触される測定子１０と、基台２０および測定子１０に接続され、電流を流し、測定子１０と製品１００との接触面積により電気抵抗値を測定する抵抗測定器３０と、を有する製品測定装置。 （もっと読む）

【課題】測定機器の経時／使用変化に伴う測定精度の低減を防止する。
【解決手段】物体の寸法を取得するための測定部６と、取得した物体の寸法に関する測定データを出力するための出力部８とを具えた測定装置２が記述される。作動停止部１０が測定装置の通常作動を禁止するために与えられ、測定データの出力が阻止されるようになっている。作動停止部１０は、使用中に、装置使用モジュールから装置使用情報を読み取り、この装置使用情報が１つ以上のあらかじめ設定した条件を満たしていない場合、測定装置の通常作動を禁止する。装置使用モジュールを測定装置の一体部品として、または別個の作動ボタン１８として与えることができる。測定装置は、接触トリガー測定プローブの如き測定プローブ２を具えることができる。 （もっと読む）

【課題】共振センサの誤差要因の影響を減少させ、より高精度な測定を可能にして、使い勝手や信頼性を向上する。
【解決手段】加振手段（圧電素子２４）により測定子２２を長手方向に共振振動させ、検出手段（圧電素子２６）により測定子２２の共振に応じた出力信号を得て、該出力信号の変化を捉えることで、測定子先端２２Ａと測定対象１０との接触を検知するようにした共振センサ２０の測定位置検出に際して、測定子２２と測定対象１０間の距離と、出力信号の変化状態の関係を表わす特性曲線を得て、該特性曲線から、接触開始位置に相当する出力信号の変化開始位置を推定して、測定位置とする。 （もっと読む）

【課題】測定時間を短縮して高速測定を可能にすると共に、共振センサの誤差要因の影響を減少させ、より高精度な測定を可能にして、使い勝手及び信頼性を向上し、更に、低価格化する。
【解決手段】加振手段（圧電素子２４）により測定子２２を長手方向に共振振動させ、検出手段（圧電素子２６）により測定子２２の共振に応じた出力信号を得て、測定子先端２２Ａと測定対象１０との接触を検知するようにした共振センサの測定位置検出に際して、共振状態の変化に追従させて安定な振動を持続するための発振制御を行なうと共に、該発振制御のための制御量の過渡的な変化から、測定子先端２２Ａと測定対象１０との接触を検知して測定位置とする。 （もっと読む）

【課題】従来の電子部品が実装された基板検査は、目視検査による実装の有無及び実装状態を判定しているため、検査時間を要し負担が大きく人為ミスが発生する虞がある。
【解決手段】本発明は、基板に実装された各電子部品に対して当接する可動軸を有するリニアスケールプローブが複数配置された検査パネルを備え、検査パネルを基板に宛がい、電子部品に当接した可動軸の移動により、リニアスケールプローブ内の高周波電力が印加される励磁コイルから発する磁界中を磁性体が移動し、磁性体の磁界移動から検出コイルにより検出された電圧信号に基づき、基板に実装される電子部品の有無及びその実装状態を検査して判定する基板検査システムである。 （もっと読む）

【課題】位置決め精度が向上されたポケットの位置決め装置を実現する。
【解決手段】デバイス搬送ユニットによりＩＣデバイスが搬送配置されるポケットの位置決め装置において、導電性材料であって前記ポケットに配置される板状の第１の台座とこの第１の台座に設けられた円形穴を有する第１の冶具と、導電性材料であって前記第１の台座に対向して前記デバイス搬送ユニットに取付けられ前記円形穴に一端が挿入される突起部を有する第２の冶具と、前記円形穴の周面と前記突起部が接触した際に電気信号を発する検出手段と、前記円形穴に前記突起部が挿入された状態で前記第２の冶具を異なった３方向以上に移動し前記検出手段の電気信号に基づいて得られた移動距離から前記ポケットの中心位置を演算する中心位置演算手段と、演算された前記ポケットの中心位置に前記デバイス搬送ユニットによりＩＣデバイスを搬送配置するようにしたポケットの位置決め装置である。 （もっと読む）

【課題】測定精度を低下させずに、小型化が可能な接触式変位計を提供することである。
【解決手段】シャフトフレーム４１１の上部には磁気シールド４４０が配置されている。磁気シールド４４０は圧入等によりシャフトフレーム４１１に固定される。ボビン４３０は磁気シールド４４０内に固定されている。ボビン４３０内にはコア３６０が摺動可能に挿入されている。シャフトフレーム４１１の上端部４１１ｅを除いて、シャフトフレーム４１１と磁気シールド４４０との間に隙間が形成されており、その隙間にスプリング４５０が配置されている。スプリング４５０の両端は、シャフトフレーム４１１の上端部４１１ｅおよび絶縁キャップ３５０の上端部に当接している。 （もっと読む）

【課題】接触子が破損したことを簡単な構成で検知することが可能な接触式変位計を提供する。
【解決手段】最初に、接触子１ａが破損していないことを予め確認する。次に、接触子１ａがマスターワークＭＷ上に接触した状態で、最初のプリセット信号ＰＲが与えられる。それにより、ＣＰＵは基準値をＥＥＰＲＯＭに記憶させる。接触子１ａが良品の対象物Ｗ上に接触した状態でタイミング信号ＴＭが与えられると、ＣＰＵは測定値を取得するとともにその測定値を基準値で補正する。実際の対象物Ｗの測定時に得られた基準値と、ＥＥＰＲＯＭに記憶された前の基準値との差が所定値以上である場合に、接触子１ａに破損が生じたとみなし、警告信号が出力される。この警告信号として、判定信号Ｈｉおよび判定信号Ｌｏが共にローレベルからハイレベルとなる。 （もっと読む）

【課題】位置出しの際に毎回キャリブレーションが要求され位置決めの方向が決められるとともに、相当の時間を要する。
【解決手段】自動工具交換装置で測定子を主軸に装着し、測定子を装着した主軸を回転させて測定子の振れを測定して測定値を得て測定値に基づきオフセットデータを計算しておく。測定子を回転させながら被加工物と絶縁された測定子に所定の電圧を印加して測定子と被加工物とを相対移動させて接触させ、測定子と被加工物との接触を電気的に検出して測定子と被加工物との接触位置を検出する。接触位置とオフセットデータとに基づいて主軸の被加工物に対する相対位置を決定する。複数の相対位置を得て被加工物の座標系の設定等を自動的に行なう。 （もっと読む）

食品識別が行われる第１および第２のプレートを有しているクッキング装置。位置決め機構が第２のプレートを第１のプレートの方に動かす。検出器が第１のプレート上に配置されている食品と第２のプレートが接触したことを検出しかつ信号を供給する。コントローラはこの信号を使用して、第２のプレートの移動距離を測定する。食品の厚さは移動距離の関数である。これは当該食品に対する調理過程を選択するために使用される。それからコントローラは選択された調理過程を実行し、食品が調理されるようにする。検出器はマイクロスイッチ、近接センサ、タッチセンサ、歪みセンサ、熱センサ、光学式センサ、ソナーセンサまたは負荷変化の位置決めセンサを含んでいることができる。
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