拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体

【課題】画像合成を行う際の位置合わせ作業を容易にする。
【解決手段】観察対象の任意の観察位置について、略同一の視野方向と略同一の倍率で取得した電子顕微鏡画像と光学画像とを、それぞれを第一表示領域及び第二表示領域に表示させた状態で、いずれか一方の画像上にて任意の位置にて第一対応点を指定し、他方の画像上で該第一対応点に対応する位置にて第二対応点を指定するための対応点指定手段１８０と、対応点指定手段１８０により指定された複数の第一対応点と、該複数の第一対応点それぞれに対応する複数の第二対応点とを、各々略一致させるように画像の少なくとも一方を補正するための補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段１８１とを備えており、画像合成手段が、補正パラメータ算出手段１８１で算出された補正パラメータに基づいて、電子顕微鏡画像と光学画像を一致させるように合成して合成画像を生成する。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、
観察対象の光学画像を取得するための光学系撮像手段と、
前記電子顕微鏡画像と光学画像とを合成して合成画像を生成する画像合成手段１１６と、
前記電子顕微鏡画像を表示させる第一表示領域と、
前記光学画像を表示させる第二表示領域と、
前記電子顕微鏡画像と光学画像とを前記画像合成手段で合成させた合成画像を表示させる第三表示領域と、
を有し、少なくとも前記第一表示領域及び第二表示領域を、同一の画面上で表示可能とした表示手段と、
を備える拡大観察装置であって、
観察対象の任意の観察位置について、略同一の視野方向と略同一の倍率で取得した電子顕微鏡画像と光学画像とを、それぞれを前記第一表示領域及び前記第二表示領域に表示させた状態で、いずれか一方の画像上にて任意の位置にて第一対応点を指定し、他方の画像上で該第一対応点に対応する位置にて第二対応点を指定するための対応点指定手段と、
前記対応点指定手段により指定された複数の第一対応点と、該複数の第一対応点それぞれに対応する複数の第二対応点とを、各々略一致させるように画像の少なくとも一方を補正するための補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段と、
を備えており、
前記画像合成手段が、前記補正パラメータ算出手段で算出された補正パラメータに基づいて、電子顕微鏡画像と光学画像を一致させるように合成して合成画像を生成するよう構成されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項２】
請求項１に記載の拡大観察装置であって、
前記対応点指定手段は、指定済みの対応点を削除、又は位置の修正が可能であり、
前記画像合成手段は、前記対応点指定手段で修正された対応点に従って、合成画像を更新してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の拡大観察装置であって、
前記表示手段は、前記第三表示領域を、前記第一表示領域、第二表示領域と略同一の画面上で表示可能であり、
前記第一表示領域、第二表示領域上で、前記対応点指定手段により指定された複数の第一対応点及び第二対応点に基づいて、前記補正パラメータ算出手段にて算出される補正パラメータに基づいて、前記画像合成手段で合成した合成画像を、前記第三表示領域上にて、前記対応点指定手段により追加の対応点が指定される度にリアルタイムに更新して表示可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記対応点指定手段が、前記表示手段の第一表示領域及び第二表示領域中で対応点を指定するための位置指定ポインタを含んでおり、
前記対応点指定手段により、一方の画像上で第一対応点が指定された後、他方の画像上で第二対応点が指定されるまでの間、該一方の画像の少なくとも一部を半透明にした半透明画像を、前記位置指定ポインタに追随させて表示させ、かつ前記半透明画像は、指定済みの第一対応点に前記位置指定ポインタが位置する態様にて表示されており、前記位置指定ポインタの移動に伴って前記半透明画像も移動するように、前記表示手段上の表示が更新されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項５】
請求項４に記載の拡大観察装置であって、
前記対応点指定手段が、前記半透明画像の透過度を調整可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記対応点指定手段が、対応する第一対応点と第二対応点に対して、それぞれ、対応関係を示す個別の対応点情報を付与すると共に、
該対応点情報に基づいて、各第一対応点と第二対応点について、各々の対応関係を示す対応点表示を、互いに異なる表示態様にて、第一対応点と第二対応点に各々付加して前記表示手段上にて表示させてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記補正パラメータ算出手段又は画像合成手段が、前記対応点指定手段で指定された対応点の対応関係が画像合成を行うには不適切であると判断した際には、斯かる対応点に基づいた画像合成を行わず、画像合成が不可能である旨を告知するよう構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記補正パラメータ算出手段又は画像合成手段は、前記対応点指定手段で指定された対応点を略一致させる際に、位置合わせの誤差が少なくなるような態様で補正パラメータを演算し、又は画像合成を行うよう構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記補正パラメータ算出手段又は画像合成手段が、前記電子顕微鏡画像及び光学画像を解析して、これらを一致させるように画像合成のための初期パラメータを自動的に演算し、前記初期パラメータに基づいて画像合成を行い、初期合成画像を前記表示手段の第三表示領域上に表示させた状態で、
前記対応点指定手段で指定された対応点に従って前記補正パラメータ算出手段で演算された補正パラメータに基づき、前記初期合成画像を補正して、補正後の合成画像を、前記第三表示領域上に表示させてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記補正パラメータ算出手段が算出する補正パラメータに基づく、画像の少なくとも一方の補正が、対応点の位置情報に基づいた画像の平行移動、拡大／縮小、回転、奥行き移動の少なくともいずれかを含むことを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１１】
観察対象を撮像した電子顕微鏡画像と、同じ観察対象を撮像した光学画像とを合成して合成画像を生成して、表示手段に表示させる拡大観察方法であって、
前記電子顕微鏡画像を表示させる第一表示領域と、前記光学画像を表示させる第二表示領域において、それぞれ対応する位置に、対応点指定手段で対応点を個別に複数指定する工程と、
指定された対応点の対応関係に基づいて、補正パラメータ算出手段が、各対応する対応点を略一致させるように画像の少なくとも一方を補正するための補正パラメータを算出する工程と、
算出された補正パラメータに基づいて、画像合成手段が合成画像を生成し、前記表示手段上に表示させる工程と、
を含むことを特徴とする拡大観察方法。
【請求項１２】
観察対象を撮像した電子顕微鏡画像と、同じ観察対象を撮像した光学画像とを合成して合成画像を生成して、表示手段に表示させる拡大観察用プログラムであって、
前記電子顕微鏡画像を表示させる第一表示領域と、前記光学画像を表示させる第二表示領域において、それぞれ対応する位置に、対応点指定手段で対応点を個別に複数指定する機能と、
指定された対応点の対応関係に基づいて、補正パラメータ算出手段が、各対応する対応点を略一致させるように画像の少なくとも一方を補正するための補正パラメータを算出する機能と、
算出された補正パラメータに基づいて、画像合成手段が合成画像を生成し、前記表示手段上に表示させる機能と、
指定された対応点の位置を変更し、又は対応点を削除し、あるいは新たな対応点を追加する対応点編集機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする拡大観察用プログラム。
【請求項１３】
請求項１２に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。

【図２Ａ】