【課題】細胞の屈折率分布に基づいた高いコントラストの画像を得ることを目的とし、また蛍光画像と微分干渉画像とを１つの顕微鏡装置で得ることを目的とする。
【解決手段】本発明の顕微鏡装置１は、試料Ｓに照射するレーザ光Ｌを発振する光源４と、レーザ光Ｌを偏光方向の異なる２つの偏光に分離するウォラストンプリズム２１と、２つの偏光を試料Ｓの離間した２点に集光する第１対物レンズ２２と、試料Ｓを透過した２つの偏光を平行光に変換する第２対物レンズ２４と、第２対物レンズ２４を通過した２つの偏光を再帰反射させるコーナーキューブ２５と、ウォラストンプリズム２１に入射するレーザ光Ｌを直線偏光に変換し、コーナーキューブ２５で再帰反射して試料Ｓを透過した２つの偏光が干渉する偏光子２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームのスループット向上のための共通磁界による複数レンズを構成する方法において、磁界の非対称成分を補償して良好な分解能を得る。
【解決手段】複数レンズを構成するレンズシステム１は、第１ポールピース、第２ポールピース、及び荷電粒子ビームの夫々用の複数のレンズ開口部１６、及び、夫々のレンズ開口部へ第１磁束を供給する共通励磁コイル２０と、レンズ開口部１６間に配置される補償コイル３０を備え、夫々のレンズ開口部の少なくとも一部に第２磁束を供給して第１磁束の非対称性を補償する。 （もっと読む）

【課題】画像合成を行う際の位置合わせ作業を容易にする。
【解決手段】観察対象の任意の観察位置について、略同一の視野方向と略同一の倍率で取得した電子顕微鏡画像と光学画像とを、それぞれを第一表示領域及び第二表示領域に表示させた状態で、いずれか一方の画像上にて任意の位置にて第一対応点を指定し、他方の画像上で該第一対応点に対応する位置にて第二対応点を指定するための対応点指定手段１８０と、対応点指定手段１８０により指定された複数の第一対応点と、該複数の第一対応点それぞれに対応する複数の第二対応点とを、各々略一致させるように画像の少なくとも一方を補正するための補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段１８１とを備えており、画像合成手段が、補正パラメータ算出手段１８１で算出された補正パラメータに基づいて、電子顕微鏡画像と光学画像を一致させるように合成して合成画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】同一の観察対象を電子顕微鏡画像と光学画像を用いて観察する際の、視野ずれを補正し易くする。
【解決手段】第一観察手段と略同一の視野方向で、試料台３３に載置された観察対象を該視野方向で観察する際の観察位置にて、第二観察手段を用いて試料の観察像を観察するように胴部２４又は試料台３３を回動させる回動手段３０と、第二観察手段を用いて観察位置の試料における相対位置を視認するための視認倍率で観察される第二観察像を、第二表示領域に表示させた際に、該表示と連動して、広域画像取得手３２０により取得された広域画像に基づいて、第一観察手段によって当該視認倍率と同じ倍率で取得されるべき視認倍率画像を取得し、第一表示領域に表示させるための視認倍率画像生成手段３２２と、第一表示領域に視認倍率画像が表示された状態で、第二表示領域に表示された第二観察像の視野位置を補正するための視野ずれ補正手段３２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】同一の観察対象について撮像された電子顕微鏡画像と光学画像について、画像データの保存や再生操作をユーザが行う際の煩わしさを解消する。
【解決手段】観察対象の第一観察像を撮像可能な第一観察手段と、第一観察手段で撮像した観察対象の第一観察像と略同一の第二観察像を撮像可能な、第一観察手段と異なる種類の第二観察手段と、第一観察手段で撮像した第一観察像と、第二観察手段で撮像した第二観察像を表示可能な表示手段２と、第一観察像と第二観察像の画像データファイルを各々保存するためのファイル保存手段１９０とを備え、ファイル保存手段１９０は、第一観察像と第二観察像の画像データファイルを保存する際、これら第一観察像と第二観察像との間で共通する共通識別情報を第一観察像の画像データファイルに対して自動付与可能に構成している。 （もっと読む）

【課題】同一の表示サイズでの光学画像と電子顕微鏡画像の取得作業を容易にする。
【解決手段】試料室２１内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段１１と、試料室２１内の光学画像を取得可能な光学系撮像手段１２と、一方の観察手段の光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動可能な移動手段と、電子線撮像手段１１で取得された電子顕微鏡画像と、光学系撮像手段１２で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、電子線撮像手段１１又は光学系撮像手段１２のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段１１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】カラーの合成画像に基づいた計測精度を向上させる。
【解決手段】電子線撮像手段１１で取得した電子顕微鏡画像の位置情報を記憶するための第一記憶手段１３１と、光学系撮像手段１２で取得した光学画像の色情報を記憶するための第二記憶手段１３２と、第一及び第二記憶手段１３２に各々記憶された電子顕微鏡画像の位置情報と光学画像の色情報に基づいて合成した合成画像を生成するための画像合成手段１１６と、画像合成手段１１６で生成された合成画像を表示するための表示手段と、表示手段上に表示される合成画像に対して、表示手段の画面上にて計測点を指定する計測点指定手段１３０と、計測点指定手段１３０にて指定された合成画像上の計測点を、第一記憶手段１３１に記憶される位置情報に対して対応させて特定し、指定された計測を行う計測手段１３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】走査電子像と光学像との同時観察が可能であり、而も構造も簡単な電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを走査する走査手段１０と、電子ビームが走査された試料８から発せられる電子１１を検出する電子検出器１２を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡２と、照明光を射出する発光源１３を有し、試料に照明光を照射して該試料からの反射光を受光して光学像を得る光学顕微鏡３とを具備し、前記電子検出器は電子／光変換する蛍光体層と、該蛍光体層からの蛍光の波長帯域の全て或は略全てが透過する様に制限した波長フィルタと、該波長フィルタを透過した前記蛍光を受光し、光／電気変換する波長検出素子を有し、前記照明光の前記波長フィルタを透過する波長帯域の光量が前記走査電子像の劣化限度を超えない様にした。 （もっと読む）

【課題】走査電子像と光学像との同時観察が可能であると共に構造も簡単な電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを走査する走査手段１０と、電子ビームが走査された試料８から発せられる電子を検出する電子検出器１２を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡２と、試料に照明光を照射して該試料からの反射光を受光して光学像を得る光学顕微鏡３とを具備し、前記走査型電子顕微鏡の光軸７と前記光学顕微鏡の光軸６が前記試料の観察点上で交差する電子顕微鏡装置１であって、前記走査手段は前記電子ビームを走査エリアの幅を超える走査幅で走査し、前記光学顕微鏡は前記電子ビームが前記走査エリアを超えるオーバラン部分で照明光を発して光学像を得、前記走査型電子顕微鏡は前記電子ビームが前記走査エリアを走査する際に発せられる電子に基づき走査電子像を得る様構成した。 （もっと読む）

【課題】微小マニピュレータ自体の振動を軽減することで、微小な試料を確実に操作できる微小マニピュレータ、及びそれを備えた観察装置を提供する。
【解決手段】試料３００（４００）を把持するための対向する一対のアーム７１と、アームを支持するベース部１１と、ベース部に取り付けられてアームを開閉させる開閉アクチュエータ３５とを有するマニピュレータ部１００ａと、マニピュレータ部の変位を検出する変位検出部１１０ａ１、１１０ａ２と、ベース部と外部装置２００との間に取り付けられ、マニピュレータ部を試料に対して３次元移動させる移動機構１２０と、変位検出部によって検出された変位を打ち消すように、移動機構を制御する制御部１３０とを備えた微小マニピュレータである。 （もっと読む）

共焦点光音響顕微鏡システムは、光パルスを発するように構成されたレーザと、光パルスを受光してその光パルスを対象物の内部の領域に集束させるように構成された集束アセンブリと、光パルスに応じて対象物から発せられた音波を受信するように構成された超音波トランスデューサと、音波を処理して対象物の内部の領域の画像を生成するように構成された電子システムと、を含んでいる。集束アセンブリは、さらに、集束アセンブリの焦点が少なくとも１つの超音波トランスデューサの焦点と一致するように、光パルスを対象物に集束させるように構成される。
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【課題】測定位置を特定するためのパターンマッチングにおいて、大きさが変動することを想定したテンプレートの登録を簡便に行う処理及び、測定に十分な位置精度が得られ、なおかつ処理が高速なパターンマッチング処理を実現する。
【解決手段】測定位置を指定した際に測定位置そのものとは異なる位置決め用のテンプレートの大きさと位置を自動的に算出する手段を有し、算出したテンプレートの大きさと位置を表示する。また、分割された複数のテンプレートの全て、あるいはいくつかを用いて、パターンマッチングを行い、元の位置関係と相似であるものを抽出する構造マッチングを行う手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、TEM鏡筒及び高分解能走査型光学顕微鏡(10)を用いて試料(1)を観察する装置に関する。
【解決手段】 TEM鏡筒で試料を観察するときの試料位置は、光学顕微鏡で試料を観察するときの位置と異なる。後者の場合、試料は、光学顕微鏡の方向を向くように傾けられる。好適には単色光で走査型光学顕微鏡を用いることによって、試料位置を向いている光学顕微鏡のレンズ素子(11)は、（磁気）粒子光学対物レンズ(7)の磁極面8Aと磁極面8Bの間に位置できるほど十分に小さくすることができる。このことは、光学顕微鏡で従来用いられてきた、大きな直径を示す対物レンズ系とは対照的である。さらに光学顕微鏡又は少なくとも試料に近接する部品(11)は、TEMモードでの画像化を行うときには、空間を解放するように引っ込めることができる。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムデータを用いたデータ処理を信頼性高く実現可能とする。
【解決手段】画像取得手段で取得した画像データに関する情報を設定データとして、画像データに付加する設定情報付加手段と、画像データに設定データが付加された転送データを、拡大観察装置からコンピュータに同期転送するための同期転送手段と、画像データ以外の設定情報を、拡大観察装置からコンピュータに非同期転送するための非同期転送手段とを備える拡大画像観察装置と、同期転送手段及び非同期転送とデータ通信を行うための通信手段と、同期転送手段で同期転送される転送データから、画像データと設定データを各々抽出可能なデータ解読手段と、データ解読手段で解読された画像データを表示可能な表示手段４と、必要に応じて、画像データ及び設定データに基づく演算を実行可能な演算手段とを備えるコンピュータとを有する。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡観察画像視野下で顕体試料とマイクロプローブの針先を観察しながら、半導体集積回路などの多層微細配線深層部へダイレクトに電気的特性の測定を行ない不良箇所の解析を行なうにおいて、絶縁膜を効率的に除去し、測定対象箇所へのプローブの移動と位置決めを効率的に行ない、同時に操作性および確実性に優れた微細作業を行なうことのできるマニピュレーション装置の提供
【構成】局所プラズマ機構、および該局所プラズマ機構の先端部であるプラズマキャピラリー管を把持するプラズマキャピラリー管位置決めステージ、試料ステージおよび１つまたはそれ以上のプローバがプローバベース上に載置され、該プローバベースが顕微鏡の視野下に着脱自在に装着できる構造を有することを特徴とする顕微鏡微細作業用マイクロマニピュレーション装置である。 （もっと読む）

非常に強い縦場を作り出すのに用いられ得るユニークな焦点特性を有する特別な偏光状態が生成される。表面プラズモン励起と組合せると、これらの偏光状態は、無開口近接場スキャニング光学顕微鏡検査システムにおいて用いられ得る。ラジアル偏光ビームが、金属コーティングされる、テーパが設けられた無開口チップを含むプラズモン生成光学ファイバの中に方向付けされる。無開口チップは、ラジアル偏光ビームがプラズモン生成光学ファイバに沿って伝播すると、表面プラズモン波を励起し、当該表面プラズモン波をチップに方向付けする。対物レンズがこの無開口の近傍に位置決めされる試料からの近接場光学信号を収集する。無開口ＮＳＯＭの潜在的な空間分解能は１０ｎｍを超え得る。このような強い場の増強により、１０ｎｍを超える分解能で、試料の機械的および化学的組成を計測し得る信頼性のあるナノラマンシステムの開発を可能にする。
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【課題】本発明は、電子ビーム用の開孔が任意の長さの次元であり、且つ、無収差結像を形成するレンズ装置を開発することを課題とする。
【解決手段】円柱レンズに、磁場型レンズが組み合わされており、該磁場型レンズを用いて４極磁場が形成可能であり、レンズは、僅かな間隔又は間隔なしに相互に配設されており、レンズの光軸は、相互に平行であり、磁場型４極子レンズは、間隙状の開孔を有しており、該開孔は、円柱レンズの開孔に対して平行に配向されており、光軸を包囲する４極子レンズの集束面は、開孔の長手軸並びに当該４極子レンズの焦点はずれ面に平行に、長手軸に対して垂直に配向されており、円柱レンズの屈折力は、４極子レンズの屈折力の２倍の大きさに調整可能である。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを削減できるとともに、設備コストを抑えることができる光学／超音波顕微鏡システムを提供すること。
【解決手段】本発明の光学／超音波顕微鏡システム１は、顕微鏡本体３、対物レボルバ４、Ｘ−Ｙステージ５、パソコン６等を備える。対物レボルバ４の第１の雌ねじ穴に対物レンズ１２が螺着され、第２の雌ねじ穴に超音波プローブ１３が螺着される。超音波プローブ１３は、Ｘ−Ｙステージ５に固定されたガラス基板７上の生体組織８に対して、超音波を照射する。超音波プローブ１３は、その反射波を受信して電気信号に変換する。パソコン６は、超音波プローブ１３と電気的に接続される。パソコン６は、超音波プローブ１３からの電気信号に基づいて生体組織８の音速を求め、その値に基づいて音速像の画像データを生成する。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを削減できるとともに、設備コストを抑えることができる光学／超音波顕微鏡システムを提供すること。
【解決手段】本発明の光学／超音波顕微鏡システム１は、顕微鏡本体３、対物レボルバ４、超音波プローブ５、パソコン６等を備える。顕微鏡本体３は試料ステージ２を有する。対物レボルバ４は試料ステージ２の上方に設置される。超音波プローブ５は、試料ステージ２に載置された生体組織８に対して超音波を照射しその反射波を受信して電気信号に変換する。パソコン６は超音波プローブ５と電気的に接続される。超音波プローブ５のプローブ本体２２は、超音波伝達媒体Ｗを貯留可能な貯留部２１を有する。その貯留部２１を上向きにした状態で超音波プローブ５が試料ステージ２の下方に設置されている。 （もっと読む）