拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体

【課題】同一の観察対象を電子顕微鏡画像と光学画像を用いて観察する際の、視野ずれを補正し易くする。
【解決手段】第一観察手段と略同一の視野方向で、試料台３３に載置された観察対象を該視野方向で観察する際の観察位置にて、第二観察手段を用いて試料の観察像を観察するように胴部２４又は試料台３３を回動させる回動手段３０と、第二観察手段を用いて観察位置の試料における相対位置を視認するための視認倍率で観察される第二観察像を、第二表示領域に表示させた際に、該表示と連動して、広域画像取得手３２０により取得された広域画像に基づいて、第一観察手段によって当該視認倍率と同じ倍率で取得されるべき視認倍率画像を取得し、第一表示領域に表示させるための視認倍率画像生成手段３２２と、第一表示領域に視認倍率画像が表示された状態で、第二表示領域に表示された第二観察像の視野位置を補正するための視野ずれ補正手段３２３とを備える。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象の第一観察像を取得する第一観察手段と、
観察対象の第二観察像を取得する、前記第一観察手段と異なる種類の第二観察手段と、
観察対象を載置するための試料台と、
前記第一観察手段で取得した第一観察像を表示させる第一表示領域と、
前記第二観察手段で取得した第二観察像を第二表示領域と、
を有し、前記第一表示領域及び第二表示領域を、同一の画面上で表示可能とした表示手段と、
第一観察手段を用いて、任意の観察位置における試料の観察像を第一倍率で取得する際に、前記第一観察手段を用いて、前記第一倍率よりも低い取得倍率にて広域画像を取得するための広域画像取得手段と、
前記第一観察手段と略同一の視野方向で、前記試料台に載置された観察対象を該視野方向で観察する際の観察位置にて、前記第二観察手段を用いて、試料の観察像を観察し得るように前記胴部又は試料台を回動させるための回動手段と、
前記第二観察手段を用いて、前記観察位置の試料における相対位置を視認するための視認倍率で観察される第二観察像を、前記第二表示領域に表示させた際に、該表示と連動して、前記広域画像取得手段により取得された広域画像に基づいて、前記第一観察手段によって当該視認倍率と同じ倍率で取得されるべき視認倍率画像を取得し、前記第一表示領域に表示させるための視認倍率画像生成手段と、
前記第一表示領域に視認倍率画像が表示された状態で、前記第二表示領域に表示された第二観察像の視野位置を補正するための視野ずれ補正手段と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項２】
請求項１に記載の拡大観察装置であって、
前記広域画像取得手段が、広域画像を異なる倍率で複数枚、取得してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項３】
請求項２に記載の拡大観察装置であって、
前記広域画像取得手段が、複数の広域画像を、取得倍率を前記第一倍率の１／２倍率、１／４倍率、１／８倍率として、取得してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の拡大観察装置であって、
前記視認倍率画像生成手段が、前記広域画像取得手段で取得された複数の広域画像の内、最も視認倍率と近い広域画像に基づいて視認倍率画像を生成するよう構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記視認倍率画像生成手段が、前記広域画像取得手段で取得された複数の広域画像であって、視認倍率よりも低い倍率で撮像された広域画像の内、最も視認倍率と近い広域画像に基づいて視認倍率画像を生成するよう構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記第一又は第二観察手段のいずれか一方が、観察対象の電子顕微鏡画像を取得する電子線撮像手段であり、他方が観察対象の光学画像を取得する光学系撮像手段であることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記視認倍率画像生成手段が、
前記広域画像が同倍率画像の場合には、該広域画像を視認倍率画像として表示させ、
前記広域画像が同倍率画像でない場合には、該広域画像からデジタルズームで視認倍率画像を生成するよう構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記広域画像取得手段が、広域画像の撮像を、通常の撮像よりも短時間で撮像を完了可能な簡易観察像で行うことを特徴とする拡大観察装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記視野ずれ補正手段が、前記試料台又は観察手段を移動させる、又は電子線の走査範囲を変えることによって、前記第二表示領域に表示された第二観察像の視野位置を補正することを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１０】
観察対象を撮像した電子顕微鏡画像と、同じ観察対象を撮像した光学画像とを表示手段に表示させる拡大観察方法であって、
電子線撮像手段を用いて、任意の観察位置における試料の電子顕微鏡画像を第一倍率で取得する際に、前記電子線撮像手段を用いて、前記第一倍率よりも低い倍率にて広域画像を取得する工程と、
前記電子線撮像手段と略同一の視野方向で、前記試料台に載置された観察対象を該視野方向で観察する際の観察位置にて、光学系撮像手段を用いて、試料の観察像を観察し得るように、前記電子線撮像手段及び光学系撮像手段を設けた拡大観察装置の胴部又は試料を載置した試料台を回動させる工程と、
前記電子線撮像手段によって取得された電子顕微鏡画像を、表示手段の第一表示領域に表示させると共に、前記光学系撮像手段によって前記電子線撮像手段と同じ視野方向から観察される光学画像を、前記表示手段の第二表示領域に表示させた状態で、前記観察位置の試料における相対位置を視認するための視認倍率で観察される光学画像の、前記第二表示領域での表示と連動して、前記広域画像取得工程で取得された広域画像に基づいて、前記電子線撮像手段によって当該視認倍率と同じ倍率で取得されるべき視認倍率画像を取得し、前記第一表示領域に表示させる工程と、
前記第一表示領域に電子顕微鏡画像の視認倍率画像が表示された状態で、前記第二表示領域に表示された光学画像の視野位置を補正する工程と、
を含むことを特徴とする拡大観察方法。
【請求項１１】
観察対象を撮像した電子顕微鏡画像と、同じ観察対象を撮像した光学画像とを表示手段に表示させる拡大観察用プログラムであって、
電子線撮像手段を用いて、任意の観察位置における試料の電子顕微鏡画像を第一倍率で取得する際に、前記電子線撮像手段を用いて、前記第一倍率よりも低い倍率にて広域画像を取得する機能と、
前記電子線撮像手段と略同一の視野方向で、前記試料台に載置された観察対象を該視野方向で観察する際の観察位置にて、光学系撮像手段を用いて、試料の観察像を観察し得るように、前記電子線撮像手段及び光学系撮像手段を設けた拡大観察装置の胴部又は試料を載置した試料台を回動させる機能と、
前記電子線撮像手段によって取得された電子顕微鏡画像を、表示手段の第一表示領域に表示させると共に、前記光学系撮像手段によって前記電子線撮像手段と同じ視野方向から観察される光学画像を、前記表示手段の第二表示領域に表示させた状態で、前記観察位置の試料における相対位置を視認するための視認倍率で観察される光学画像の、前記第二表示領域での表示と連動して、前記広域画像取得機能で取得された広域画像に基づいて、前記電子線撮像手段によって当該視認倍率と同じ倍率で取得されるべき視認倍率画像を取得し、前記第一表示領域に表示させる機能と、
前記第一表示領域に電子顕微鏡画像の視認倍率画像が表示された状態で、前記第二表示領域に表示された光学画像の視野位置を補正する機能と、
をコンピュータに実現させることを特徴とする拡大観察用プログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。

【図２Ａ】