揮発性有機化合物の除去システム
【課題】有用性及び経済性に優れた揮発性有機化合物の除去システムを提供する。
【解決手段】ＶＯＣ吸着部、ＶＯＣ放出部及びＶＯＣ回収部を備え、吸着部と放出部との間でＶＯＣ吸着用のオイルが循環するように構成する。チャンバ１の内部に細孔が無数に開いた多孔体２を設置し、その上部からオイルディストリビュータ５によりオイルを噴霧あるいは滴下することにより、多孔体２に油膜を形成する。そして、チャンバ１内を加圧状態にしてＶＯＣを含むエアを供給し、油膜と接触させることにより、ＶＯＣを吸着除去する。吸着部においてＶＯＣを吸着したオイルを放出部に導入し、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内を減圧状態にして、オイルに吸着されたＶＯＣを放出させるように構成する。
【解決手段】ＶＯＣ吸着部、ＶＯＣ放出部及びＶＯＣ回収部を備え、吸着部と放出部との間でＶＯＣ吸着用のオイルが循環するように構成する。チャンバ１の内部に細孔が無数に開いた多孔体２を設置し、その上部からオイルディストリビュータ５によりオイルを噴霧あるいは滴下することにより、多孔体２に油膜を形成する。そして、チャンバ１内を加圧状態にしてＶＯＣを含むエアを供給し、油膜と接触させることにより、ＶＯＣを吸着除去する。吸着部においてＶＯＣを吸着したオイルを放出部に導入し、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内を減圧状態にして、オイルに吸着されたＶＯＣを放出させるように構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発性有機化合物の除去システムに係り、特に、多孔体を用いて、反応を伴わないで揮発性有機化合物を物理吸着する性質を持つオイルにより油膜を形成し、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、化学反応によらず、揮発性有機化合物を除去することができるようにした揮発性有機化合物の除去システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造のクリーンルームでは、微量のケミカル物質による汚染がデバイスの歩留まりを低下させることが問題になっている。このような汚染物質の１つとしては、揮発性有機化合物（以下、ＶＯＣと記す）が挙げられる。このＶＯＣは、クリーンルームのエア中、プロセス装置内、ウェハボックス内等、至る所に存在し、これがウェハ搬送過程でシリコン表面に微量吸着することにより、多くの問題を引き起こす原因となっている。
【０００３】
例えば、ＶＯＣは、デバイス製造工程の熱酸化膜形成前後に吸着して、熱酸化膜の信頼性を低下させる、また、ウェハを前処理後に長期保管してから化学気相成長（膜生成）を行うと、ＶＯＣの吸着により膜成長開始の遅延が生じ、膜厚のバラツキの原因となるといった問題が生じていた。
【０００４】
さらに、ＶＯＣは、印刷工場、金属加工工場、自動車工場等、至るところで排出され、光化学スモッグや喘息を引き起こす原因となっている。例えば、大気中に放出されたＶＯＣは、光化学反応によってオキシダント浮遊状微粒子の発生源として関与するとされている。また、ＶＯＣそのものの影響として、頭痛や吐き気、疲労感を引き起こす原因となっている。さらに、化学物質過敏症の原因ともなっている。
【０００５】
このようなケミカル物質による汚染対策として、近年、ワッシャー等を用いて水に微量のケミカル物質を溶解し、除去する方法が採用されているが、ＶＯＣは水に不溶なため、この方法は適用できなかった。そこで、従来から、ＶＯＣを除去する方法として、活性炭フィルタやケミカルフィルタを用いる技術が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２０１２０号公報
【特許文献２】特開２００６−１４２２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述したような活性炭フィルタやケミカルフィルタを用いる方法は、頻繁にフィルタの交換が必要となるため、ランニングコストが非常に高くなるという問題点があった。
【０００８】
また、ＶＯＣは、上述したように浮遊粒子状物質や光化学オキシダントの生成の原因となる物質の一つであるため、大気汚染防止の観点から、ＶＯＣを多量に使用する印刷工場等に対してＶＯＣの排出規制が行われている。そのため、印刷工場等においては、ＶＯＣの排出抑制対策が重要な課題となってきている。
【０００９】
このようなＶＯＣの排出抑制に対して、大手の印刷工場等では高価且つ大規模な燃焼式ＶＯＣ除去装置等が導入されているが、中小の印刷工場等では、それを購入することは困難である。しかしながら、ＶＯＣを効率良く分離・濃縮して除去するための安価且つ小規模なＶＯＣ除去装置の開発が進んでいないのが実情である。
【００１０】
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、フィルタの交換を不要とした、長期間にわたって使用することができる、有用性及び経済性に優れた揮発性有機化合物の除去システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明者等は鋭意検討を重ねた結果、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体を用いて、反応を伴わないでＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を持つオイルにより油膜を形成し、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進し、高効率でＶＯＣを吸着除去することができる揮発性有機化合物の除去システムを完成するに至ったものである。
【００１２】
すなわち、請求項１に記載の揮発性有機化合物の除去システムは、処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、前記吸着部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設け、前記吸着部を加圧状態にして、該吸着部に処理対象となるエアを供給すると共に、前記吸着部において、前記油膜と処理対象となるエアとを接触させるように構成したことを特徴とするものである。
【００１３】
上記のような構成を有する請求項１に記載の発明によれば、オイルが化学反応を伴わずにＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を利用すると共に、エアが通る部分に設置された、オイルを供給することにより油膜を生成させる部材であって、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体からなる油膜生成部において、その油膜とＶＯＣを含んだエアとを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進し、高効率でＶＯＣを吸着除去することができる。これにより、簡単な構成でＶＯＣを高効率で除去することができ、長期間にわたって使用できる、極めて有用性の高い揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【００１４】
請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システムは、請求項１に記載の発明をより具体的に規定したものであって、処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、前記吸着部を構成する吸着用チャンバの内部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設置し、前記吸着用チャンバ内を加圧状態にして、前記処理対象となるエアを該チャンバ内に供給し、前記処理対象となるエアと前記オイルによる油膜とが接触できるように構成し、前記吸着部において揮発性有機化合物を吸着したオイルを前記放出部に導入し、前記放出部を構成する放出用チャンバ内を減圧状態にして、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させるように構成したことを特徴とするものである。
【００１５】
上記のような構成を有する請求項２に記載の発明によれば、吸着用チャンバ内を加圧状態にして、処理対象となるエアを該チャンバ内に導入すると共に、エアが通る部分に設置された、オイルを供給することにより油膜を生成させる部材であって、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体からなる油膜生成部において、その油膜とＶＯＣを含んだエアとを接触させることにより、オイルが化学反応を伴わずに揮発性有機化合物を取り込む（物理吸着する）性質をより高効率で利用することができるので、揮発性有機化合物のオイルへの吸着をさらに促進することができる。
【００１６】
また、吸着部において揮発性有機化合物を吸着したオイルを放出部に導入し、放出部を構成する放出用チャンバ内を減圧状態にして、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させるように構成することにより、再度オイルを吸着部に循環供給することができるので、簡単な構成でＶＯＣを高効率で除去することができ、長期間にわたって使用できる、極めて有用性の高い揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、十字流となるように構成されていることを特徴とするものである。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、対向流となるように構成されていることを特徴とするものである。
【００１９】
上記のような構成を有する請求項３及び請求項４に記載の発明は、吸着部における前記処理対象となるエアの流れと前記油膜生成部におけるオイルの流れの接触形態を規定したものであり、本システムの機器構成に合わせて適宜設定することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記放出部を構成する放出用チャンバ内に貯留されたオイル中に、該チャンバ内を減圧しながら、揮発性有機化合物を含まないエアを供給することにより、該オイル中にバブルを発生させることができるように構成されていることを特徴とするものである。
【００２１】
上記のような構成を有する請求項５に記載の発明によれば、放出用チャンバ内に貯留されたオイル中に、放出用チャンバ内を減圧しながらバブルを発生させると共に、そのエアを回収部へ排出させているので、オイルとエアとの接触効率を上げることができ、且つ、放出用チャンバ内のＶＯＣ濃度が飽和しないため、より短時間に、高効率でＶＯＣをオイルから分離放出することができる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記放出部によりオイルから放出された揮発性有機化合物を回収する回収部が設けられていることを特徴とするものである。
【００２３】
上記のような構成を有する請求項６に記載の発明によれば、処理対象エア中に含まれる揮発性有機化合物を効率良く除去するだけでなく、オイルから放出された揮発性有機化合物を回収して再利用することができるので、揮発性有機化合物を大気中に排気することなく、環境への悪影響がなく経済的である。
【００２４】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記オイルが、該オイルの周囲の気圧が高い場合に前記揮発性有機化合物を吸着し、該オイルの周囲の気圧が低い場合に前記揮発性有機化合物を放出するものであることを特徴とするものである。
【００２５】
上記のような構成を有する請求項７に記載の発明によれば、揮発性有機物吸着用オイルが、該オイルの周囲の気圧が高い場合には揮発性有機化合物を吸着し、該オイルの周囲の気圧が低い場合に揮発性有機化合物を放出するという作用を有するため、化学反応を伴わず、揮発性有機化合物の搬送媒体としてのみ機能し、さらに、吸着部と放出部の間を循環して用いられるため、消耗したり劣化することもない。
【００２６】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記オイルが、シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルであることを特徴とするものである。
【００２７】
請求項８に記載の発明は、本発明に用いられるオイルのなかでも、特にシリコーンオイル又は変性シリコーンオイルが適していることを規定したものである。シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルは、常温大気中ではほとんど酸化されないため、半永久的に使用することができるので、経済性にも優れている。さらに、シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルは、化学的に非常に安定な物質であるため、触れた場合でも健康被害がなく安全性にも優れている。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、フィルタの交換を不要とした、長期間にわたって使用することができる、有用性及び経済性に優れた揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムの構成を示す図である。
【図２】ＶＯＣ吸着部の性能評価実験に用いた実験装置の概略構成を示す図である。
【図３】ＶＯＣ放出部の性能評価実験に用いた実験装置の概略構成を示す図である。
【図４】図３に示した実験装置を用いて行った性能評価の結果を示す図である。
【図５】ＶＯＣ吸着部の他の実施例の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムの具体的な実施例を、図面を参照して説明する。なお、本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムの概要は、反応を伴わないでＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を持つオイルを、細孔が無数に開いた多孔体上に噴霧あるいは滴下することにより、多孔体の細孔内に油膜を形成して、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進し、高効率でＶＯＣを吸着除去することができる、小規模で安価な揮発性有機化合物の除去システムである。
【実施例】
【００３１】
（１−１）実施例の構成
本実施例の揮発性有機化合物の除去システムは、図１に示したように、大別してＶＯＣ吸着部、ＶＯＣ放出部、ＶＯＣ回収部から構成されている。以下、各部について詳述する。
【００３２】
（ＶＯＣ吸着部）
ＶＯＣ吸着部においては、図１に示すように、角柱状のＶＯＣ吸着用チャンバ１の内部に、細孔が無数に開いた多孔体２が設置されている。すなわち、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１の略中央部には、前記多孔体２を前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１に支持するための上部支持容器３と下部支持容器４が、該チャンバ１の上下側壁を貫通するように設置され、それぞれシール材３ａ、４ａを介して、前記多孔体２を支持固定している。
【００３３】
また、前記下部支持容器４の底面には、該支持容器の下部に貯留されたＶＯＣを吸着したオイルを、第１のオイル循環用配管１３を介して、後述するＶＯＣ放出部へ送るための第１のオイル排出口１４が設けられている。一方、前記上部支持容器３には、バー状のオイルディストリビュータ５が複数個設置され、前記多孔体２の上部からオイルを噴霧あるいは滴下することができるように構成されている。
【００３４】
また、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１の一方の側部には、印刷機械等から放出されたＶＯＣを含むエアを該チャンバ１内に導入するための処理対象エア供給口６が設けられ、この処理対象エア供給口６には処理対象エア供給配管７が接続されている。そして、処理対象エア供給配管７に配設された加圧用ファン８によって、ＶＯＣ吸着用チャンバ１内を所定の加圧状態にできるように構成されている。
【００３５】
一方、ＶＯＣ吸着用チャンバ１の他方の側部には、ＶＯＣが除去された処理後エアを再度印刷工場等へ戻すための処理後エア排出口９が設けられ、この処理後エア排出口９には処理後エア供給配管１０が接続されている。そして、この処理後エア供給配管１０に配設された第１の風量調節弁１１によって、再度印刷工場等へ戻す処理後エア量を調節できるように構成されている。
【００３６】
また、前記処理後エア供給配管１０と処理対象エア供給配管７の間には第１のバイパス配管１２が形成され、ＶＯＣ吸着用チャンバ１内でＶＯＣが除去された処理後エアの一部を該チャンバ１内に戻して、再度ＶＯＣの吸着処理を行えるように構成されている。このように本実施例においては、ＶＯＣを含んだエアの流れとオイルの流れは、十字流接触となるように構成されている。
【００３７】
（ＶＯＣ放出部）
ＶＯＣ放出部においては、図１に示すように、減圧容器であるＶＯＣ放出用チャンバ２０の上部に、前記第１のオイル循環用配管１３を介して、ＶＯＣを吸着したオイルを該チャンバ２０内に供給する処理対象オイル供給管２１が配設されると共に、このＶＯＣ放出部で分離されたＶＯＣを含むエアを、後述するＶＯＣ回収部へ送るための第１のエア回収管２２が配設されている。
【００３８】
また、ＶＯＣ放出用チャンバ２０の下部には、該チャンバ２０内でＶＯＣが放出された処理後オイルを、再度ＶＯＣ吸着部へ送るための第２のオイル排出口２３が設けられ、この第２のオイル排出口２３には、第２のオイル循環用配管２４が接続されている。
【００３９】
さらに、本実施例においては、ＶＯＣ放出用チャンバ２０の底部に貯留されたオイル中に、ＶＯＣを含まないエアを供給してオイル内にバブルを発生させるエア供給配管２５が設置されている。そして、このエア供給配管２５に設置された第２の風量調節弁２６の開度を適宜調節することにより、オイル中におけるバブルの発生量を調節して、オイルとエアとの接触効率を上げることができるように構成されている。
【００４０】
また、前記第１のオイル循環用配管１３には、上流側から、第１のオイル流量調節弁１５及びオイルフィルタ１６が順次配設され、オイルフィルタ１６によってＶＯＣ吸着部から排出されたＶＯＣを含むオイル中の固形物を除去した後、該オイルを前記処理対象オイル供給管２１を介して、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内に供給するように構成されている。
【００４１】
一方、前記第２のオイル循環用配管２４には、上流側から、ポンプ２７及び第２のオイル流量調節弁２８ａが順次配設され、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１の上部支持容器３内に設けられたバー状のオイルディストリビュータ５を介して、オイルを多孔体２上に供給するように構成されている。
【００４２】
なお、前記第２のオイル循環用配管２４と第１のオイル循環用配管１３の間には第２のバイパス配管２９が形成され、この第２のバイパス配管２９には第３のオイル流量調節弁２８ｂが配設され、ＶＯＣ吸着用チャンバ１に供給されるオイルの一部を再度ＶＯＣ放出用チャンバ２０に戻して、オイルに吸着されたＶＯＣをより高効率に除去することができるように構成されている。
【００４３】
（ＶＯＣ回収部）
ＶＯＣ回収部においては、図１に示すように、加圧容器であるＶＯＣ回収用チャンバ３０の上部にＶＯＣ回収管３１が配設されると共に、該チャンバ３０の下部にはＶＯＣ排出口３２が設けられ、このＶＯＣ排出口３２にはＶＯＣ回収バルブ３３を備えたＶＯＣ排出用配管３４が接続されている。
【００４４】
また、前記ＶＯＣ回収管３１と前記ＶＯＣ放出用チャンバ２０の第１のエア回収管２２の間には第１のエア循環用配管３５が設けられ、この第１のエア循環用配管３５には、上流側から、エアポンプ３６、第３の風量調節弁３７及び冷却器３８が順次配設されている。そして、この冷却器３８によって、前記ＶＯＣ放出部で分離されたＶＯＣを含むエアを冷却することにより、エア中のＶＯＣを液化し、高効率に回収することができるように構成されている。
【００４５】
さらに、ＶＯＣ回収用チャンバ３０の上部には第２のエア回収管３９が配設され、この第２のエア回収管３９に接続された第２のエア循環用配管４０によって、該チャンバ３０内のＶＯＣを含むエアを、再度、前記ＶＯＣ放出用チャンバ２０の側壁に設けられたエア供給口４１を介して該チャンバ２０に戻すことができるように構成されている。このようにしてＶＯＣを含むエアをＶＯＣ回収部に何度も循環させることにより、ＶＯＣを含むエア中からＶＯＣを高効率で回収することができるように構成されている。
【００４６】
なお、前記第１のエア循環用配管３５に設けられたエアポンプ３６によって、前記ＶＯＣ放出用チャンバ２０内が減圧状態とされると共に、前記ＶＯＣ回収用チャンバ３０内が加圧状態とされるように構成されている。
【００４７】
（オイル）
オイルとしては、化学的に安定なシリコーンオイルや高真空ポンプオイル（アルキルジフェニールエーテル）等の変性シリコーンオイルが用いられる。これらのオイルは、加圧するとＶＯＣを吸着し、減圧するとＶＯＣを放出するだけで、化学反応を伴わず、搬送媒体としてしか機能しないため、オイルの劣化がなく、半永久的に使用できるので非常に経済的である。また、オイルは、無臭で、毒性がないので触れた場合でも健康被害がなく、安全性にも優れている。
【００４８】
なお、オイルとしてジメチルシリコーンオイルを用いた場合には、主として、トルエン、ベンゼン、キシレン、シクロヘキサン等のＶＯＣを吸着（溶解）することができる。
【００４９】
（１−２）作用
上記のような構成を有する本実施例の揮発性有機化合物の除去システムは、以下のように作用する。
【００５０】
（ＶＯＣ吸着部における作用）
ＶＯＣ吸着部においては、図１に示すように、まず、ＶＯＣ吸着用チャンバ１内に設置された油膜生成部である、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体２の上部から、前記第２のオイル循環用配管２４及びオイルディストリビュータ５を介してオイルを供給することにより、前記多孔体２に油膜が形成される。
【００５１】
続いて、加圧用ファン８を作動させることによりＶＯＣ吸着用チャンバ１内を所定の加圧状態にすると共に、処理対象エア供給配管７及び処理対象エア供給口６を介して、ＶＯＣを含むエアをＶＯＣ吸着用チャンバ１内に供給する。この加圧状態とされたチャンバ１内において、ＶＯＣを含むエアと多孔体２に形成された油膜とが接触することによってＶＯＣのオイルへの吸着をさらに促進することができる。
【００５２】
このようにしてＶＯＣが除去されたエアは、ＶＯＣ吸着用チャンバ１の側面に設けられた処理後エア排出口９及び処理後エア供給配管１０を介して、再度印刷工場等へ戻される。なお、処理後エアの一部は、第１のバイパス配管１２を介してＶＯＣ吸着用チャンバ１内に戻され、再度ＶＯＣの吸着処理が行われる。一方、ＶＯＣを吸着したオイルは、下部支持容器４の底面に設けられた第１のオイル排出口１４及び第１のオイル循環用配管１３を介して、ＶＯＣ放出用チャンバ２０に搬送される。
【００５３】
（ＶＯＣ放出部における作用）
上記のようにしてＶＯＣ吸着用チャンバ１から排出されたＶＯＣを吸着したオイルは、第１のオイル循環用配管１３に配設されたオイルフィルタ１６によって固形物が除去された後、処理対象オイル供給管２１を介して、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内に供給される。また、本実施例においては、エア供給配管２５により供給されるＶＯＣを含まないエアを、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内のオイル中に導入することにより、該オイル中にバブルを発生させて、オイルとエアの接触効率を上げている。
【００５４】
さらに、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内は、エアポンプ３６によって減圧状態とされているため、オイルへのＶＯＣの吸着率（吸着できる量）が低くなり、オイルに吸着されていたＶＯＣがより高効率でＶＯＣ放出用チャンバ２０内のエア中に放出される。そして、放出されたＶＯＣを含むエアは、第１のエア回収管２２及び第１のエア循環用配管３５を介してＶＯＣ回収部に送られる。一方、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内でＶＯＣが放出された処理後オイルは、第２のオイル排出口２３及び第２のオイル循環用配管２４を介して、再度ＶＯＣ吸着部へ送られる。
【００５５】
このように、本実施例においては、エア供給配管２５により供給されるＶＯＣを含まないエアを、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内のオイル中に導入することにより、該オイル中にバブルを発生させているので、オイルとエアとの接触効率を上げることができ、また、容器内エア中のＶＯＣ濃度が飽和しないように、そのエアを、容器内を減圧しながら排出することにより、短時間に高効率でＶＯＣをオイルから分離放出することができる。
【００５６】
なお、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムにおいては、処理後オイルの一部は第２のバイパス配管２９を介してＶＯＣ放出用チャンバ２０内に戻され、再度ＶＯＣの放出処理が行われるように構成されているため、より高効率にＶＯＣを除去することができる。このように、オイルは、ＶＯＣ吸着部とＶＯＣ放出部の間を循環し、ＶＯＣを濃縮・分離してＶＯＣ吸着部から汲み出す働きをしている。
【００５７】
（ＶＯＣ回収部における作用）
上記のようにしてＶＯＣ放出用チャンバ２０から排出されたＶＯＣを含むエアは、第１のエア循環用配管３５に設けられたエアポンプ３６によって冷却器３８に導入され、この冷却器３８によってＶＯＣを含むエアを冷却することにより、エア中のＶＯＣを液化する。なお、ＶＯＣ回収用チャンバ３０内は、エアポンプ３６によって加圧状態にされているため、ＶＯＣはさらに液化しやすくなる。
【００５８】
このようにして液化されたＶＯＣは、ＶＯＣ回収用チャンバ３０内に貯留され、ＶＯＣ排出管３２及びＶＯＣ排出用配管３４を介して回収される。一方、液化しなかったＶＯＣを含むエアは、第２のエア回収管３９、第２のエア循環用配管４０及びエア供給口４１を介して、再度、減圧容器であるＶＯＣ放出用チャンバ２０に戻される。このように、ＶＯＣを含むエアをＶＯＣ回収部とＶＯＣ放出部の間で何度も循環させることにより、ＶＯＣを含むエア中からＶＯＣを高効率で回収することができる。
【００５９】
（１−３）性能評価
（１−３−１）ＶＯＣ吸着部の性能評価
本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムのＶＯＣ吸着部の性能を評価した実験結果を以下に示す。なお、本性能評価試験においては、油膜生成部として気化式加湿膜（概略寸法：１８６ｍｍＷ×１８６ｍｍＨ×６５ｍｍＤ）を用い、図２にその概略構成を示す実験装置を用いた。
【００６０】
すなわち、本性能評価に用いられる実験装置においては、図１に示したＶＯＣ吸着部と同様の構成を有するＶＯＣ除去装置５１の内部に、上記気化式加湿膜５２が設置されている。そして、ファン５３により供給される室外空気と、トルエンガス発生器５４から供給されるガス（ＶＯＣの一例）とを混合して試料ガス（トルエンガス濃度：６６０ｐｐｍ、ガス流量：１３５ｍＬ／ｍｉｎ）を生成し、この試料ガスを前記ＶＯＣ除去装置５１の側部より該装置内に導入した。一方、ペリスタポンプ５５により、シリコーンオイル（粘度３０ｃＳｔ）を約１５０ｍＬ／ｍｉｎで前記気化式加湿膜５２上に滴下した。なお、前記トルエンガス発生器５４には、流量計５６及びエアポンプ５７が接続されている。
【００６１】
また、トルエンの除去率は、前記ＶＯＣ除去装置５１の入口と出口で試料ガスをシリンジでサンプリングしてＧＣ−ＦＩＤ（島津製作所製ＧＣ−１４Ｂ）で分析して求めた。このようにしてＶＯＣ吸着部の性能評価を行ったところ、およそ３０％除去できることが分かった。
【００６２】
（１−３−２）ＶＯＣ放出部の性能評価
次に、本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムのＶＯＣ放出部の性能を評価した結果を以下に示す。なお、本性能評価試験に用いたトルエン（ＶＯＣの一例）の放出（揮発脱離）実験用容器の概略を図３に示した。
【００６３】
すなわち、本性能評価試験に用いたＶＯＣ放出部としては、図３に示すように、三角フラスコ６０が用いられ、この三角フラスコ６０にトルエン濃度３％のシリコーンオイル（粘度３０ｃＳｔ）６１を１３５．８ｇ入れ、この三角フラスコ６０の開口部６２を、前記シリコーンオイル中にＶＯＣを含まないエアを供給するエア供給管６３と、エア排出管６４を貫通させたシリコーン栓６５で密封する。なお、エア供給管６３には風量調節弁６６が設置されると共に、エア排出管６４には圧力計６７とエアポンプ６８が設置されている。
【００６４】
そして、エアポンプ６８により三角フラスコ６０の内部圧力が−０．００９９ＭＰａになるように調整し、その後、風量調節弁６６を開いて三角フラスコ６０内のシリコーンオイル６１中にＶＯＣを含まないエアを供給し（およそ２０ｍＬ／ｍｉｎ）、シリコーンオイル６１をバブリングしながら、１０分間隔で三角フラスコ内のシリコーンオイルをサンプリングして、トルエンの離脱効果を測定した。
【００６５】
シリコーンオイルをバブリングした場合としない場合の結果を図４に示した。図から明らかなように、バブリングした場合は、しない場合に比べて、トルエンの脱離（放出）が著しく促進され、脱離効率が良いことが分かった。このことから、シリコーンオイルをバブリングしながら減圧することにより、短時間に高効率でＶＯＣを放出できることが実証できた。
【００６６】
（１−４）効果
上述したように、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムによれば、オイルが化学反応を伴わずにＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を利用すると共に、このオイルを細孔が無数に開いた多孔体上に噴霧あるいは滴下することにより、多孔体の細孔内に油膜を形成して、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進することができる。これにより、簡単な構成でＶＯＣを高効率で除去することができ、長期間にわたって使用できる、極めて有用性の高い揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【００６７】
また、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムで用いられるシリコーンオイルは、オイル周囲の気圧（全圧）が高いとＶＯＣを吸着し、低いと放出するという作用を有し、化学反応を伴わず、ＶＯＣの搬送媒体としてのみ機能するため、劣化することがない。
【００６８】
また、オイルとして不活性なシリコーンオイル、アルキルジフェニールエーテルを用いているので、オイルが劣化しないため半永久的に使用できるので経済性にも優れている。その上、不活性なシリコーンオイル、アルキルジフェニールエーテルは化学的に非常に安定な物質であるため、触れた場合でも健康被害がなく安全性にも優れている。
【００６９】
また、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムにおいては、ＶＯＣを大気中に排気することなく、ＶＯＣ（液）として回収し再利用できるので、環境への悪影響がなく経済的である。
【００７０】
（他の実施例）
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、具体的な各部材の形状、あるいは取付け位置及び方法は適宜変更可能である。例えば、前記ＶＯＣ吸着部に設置される油膜生成部として、上述したような細孔が無数に開いた多孔体の代わりに、細孔が無数に開いた容器内に、ステンレスメッシュ、ラシヒリング、気化式加湿膜（例えば、ウエットマスター製気化式加湿膜 ＶＨＲのメディア）をそれぞれ充填して用いても良い。
【００７１】
また、図５に示すように、ＶＯＣ吸着部に設置される多孔体等の油膜生成部におけるオイルの流れとＶＯＣを含んだエアの流れとが対向流となるように配置しても良い。すなわち、図５に示すように、筒状のＶＯＣ吸着用チャンバ７１の内部に、多孔体７２が設置され、その上部に設置されたオイルディストリビュータ７３からオイルが噴霧又は滴下されるように構成されている。
【００７２】
また、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ７１の底面には、ＶＯＣを含むエアを該チャンバ７１内に導入するための処理対象エア供給管７４が設けられると共に、該チャンバ７１の下部に貯留されたＶＯＣを吸着したオイルをＶＯＣ放出部へ送るためのオイル排出口７５が設けられている。一方、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ７１の上面には、ＶＯＣが除去された処理後エアを再度印刷工場等へ戻すための処理後エア排出口７６が設けられている。
【００７３】
また、ＶＯＣの吸着・放出に用いるオイルとしては、ポーラスな空隙を持つ構造のオイルであって、化学反応を伴わずにその空隙内にＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を有するものであれば良く、上記の実施例に示したシリコーンオイルの他に、パラフィンオイル、植物油等を用いることができる。
【符号の説明】
【００７４】
１…ＶＯＣ吸着用チャンバ
２…多孔体
３…上部支持容器
４…下部支持容器
３ａ、４ａ…シール材
５…オイルディストリビュータ
６…処理対象エア供給口
７…処理対象エア供給配管
８…加圧用ファン
９…処理後エア排出口
１０…処理後エア供給配管
１１…第１の風量調節弁
１２…第１のバイパス配管
１３…第１のオイル循環用配管
１４…第１のオイル排出口
１５…第１のオイル流量調節弁
１６…オイルフィルタ
２０…ＶＯＣ放出用チャンバ
２１…処理対象オイル供給管
２２…第１のエア回収管
２３…第２のオイル排出口
２４…第２のオイル循環用配管
２５…エア供給配管
２６…第２の風量調節弁
２７…ポンプ
２８ａ…第２のオイル流量調節弁
２８ｂ…第３のオイル流量調節弁
２９…第２のバイパス配管
３０…ＶＯＣ回収用チャンバ
３１…ＶＯＣ回収管
３２…ＶＯＣ排出口
３３…ＶＯＣ回収バルブ
３４…ＶＯＣ排出用配管
３５…第１のエア循環用配管
３６…エアポンプ
３７…第３の風量調節弁
３８…冷却器
３９…第２のエア回収管
４０…第２のエア循環用配管
４１…エア供給管
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発性有機化合物の除去システムに係り、特に、多孔体を用いて、反応を伴わないで揮発性有機化合物を物理吸着する性質を持つオイルにより油膜を形成し、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、化学反応によらず、揮発性有機化合物を除去することができるようにした揮発性有機化合物の除去システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体製造のクリーンルームでは、微量のケミカル物質による汚染がデバイスの歩留まりを低下させることが問題になっている。このような汚染物質の１つとしては、揮発性有機化合物（以下、ＶＯＣと記す）が挙げられる。このＶＯＣは、クリーンルームのエア中、プロセス装置内、ウェハボックス内等、至る所に存在し、これがウェハ搬送過程でシリコン表面に微量吸着することにより、多くの問題を引き起こす原因となっている。
【０００３】
例えば、ＶＯＣは、デバイス製造工程の熱酸化膜形成前後に吸着して、熱酸化膜の信頼性を低下させる、また、ウェハを前処理後に長期保管してから化学気相成長（膜生成）を行うと、ＶＯＣの吸着により膜成長開始の遅延が生じ、膜厚のバラツキの原因となるといった問題が生じていた。
【０００４】
さらに、ＶＯＣは、印刷工場、金属加工工場、自動車工場等、至るところで排出され、光化学スモッグや喘息を引き起こす原因となっている。例えば、大気中に放出されたＶＯＣは、光化学反応によってオキシダント浮遊状微粒子の発生源として関与するとされている。また、ＶＯＣそのものの影響として、頭痛や吐き気、疲労感を引き起こす原因となっている。さらに、化学物質過敏症の原因ともなっている。
【０００５】
このようなケミカル物質による汚染対策として、近年、ワッシャー等を用いて水に微量のケミカル物質を溶解し、除去する方法が採用されているが、ＶＯＣは水に不溶なため、この方法は適用できなかった。そこで、従来から、ＶＯＣを除去する方法として、活性炭フィルタやケミカルフィルタを用いる技術が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２０１２０号公報
【特許文献２】特開２００６−１４２２３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述したような活性炭フィルタやケミカルフィルタを用いる方法は、頻繁にフィルタの交換が必要となるため、ランニングコストが非常に高くなるという問題点があった。
【０００８】
また、ＶＯＣは、上述したように浮遊粒子状物質や光化学オキシダントの生成の原因となる物質の一つであるため、大気汚染防止の観点から、ＶＯＣを多量に使用する印刷工場等に対してＶＯＣの排出規制が行われている。そのため、印刷工場等においては、ＶＯＣの排出抑制対策が重要な課題となってきている。
【０００９】
このようなＶＯＣの排出抑制に対して、大手の印刷工場等では高価且つ大規模な燃焼式ＶＯＣ除去装置等が導入されているが、中小の印刷工場等では、それを購入することは困難である。しかしながら、ＶＯＣを効率良く分離・濃縮して除去するための安価且つ小規模なＶＯＣ除去装置の開発が進んでいないのが実情である。
【００１０】
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、フィルタの交換を不要とした、長期間にわたって使用することができる、有用性及び経済性に優れた揮発性有機化合物の除去システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明者等は鋭意検討を重ねた結果、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体を用いて、反応を伴わないでＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を持つオイルにより油膜を形成し、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進し、高効率でＶＯＣを吸着除去することができる揮発性有機化合物の除去システムを完成するに至ったものである。
【００１２】
すなわち、請求項１に記載の揮発性有機化合物の除去システムは、処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、前記吸着部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設け、前記吸着部を加圧状態にして、該吸着部に処理対象となるエアを供給すると共に、前記吸着部において、前記油膜と処理対象となるエアとを接触させるように構成したことを特徴とするものである。
【００１３】
上記のような構成を有する請求項１に記載の発明によれば、オイルが化学反応を伴わずにＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を利用すると共に、エアが通る部分に設置された、オイルを供給することにより油膜を生成させる部材であって、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体からなる油膜生成部において、その油膜とＶＯＣを含んだエアとを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進し、高効率でＶＯＣを吸着除去することができる。これにより、簡単な構成でＶＯＣを高効率で除去することができ、長期間にわたって使用できる、極めて有用性の高い揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【００１４】
請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システムは、請求項１に記載の発明をより具体的に規定したものであって、処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、前記吸着部を構成する吸着用チャンバの内部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設置し、前記吸着用チャンバ内を加圧状態にして、前記処理対象となるエアを該チャンバ内に供給し、前記処理対象となるエアと前記オイルによる油膜とが接触できるように構成し、前記吸着部において揮発性有機化合物を吸着したオイルを前記放出部に導入し、前記放出部を構成する放出用チャンバ内を減圧状態にして、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させるように構成したことを特徴とするものである。
【００１５】
上記のような構成を有する請求項２に記載の発明によれば、吸着用チャンバ内を加圧状態にして、処理対象となるエアを該チャンバ内に導入すると共に、エアが通る部分に設置された、オイルを供給することにより油膜を生成させる部材であって、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体からなる油膜生成部において、その油膜とＶＯＣを含んだエアとを接触させることにより、オイルが化学反応を伴わずに揮発性有機化合物を取り込む（物理吸着する）性質をより高効率で利用することができるので、揮発性有機化合物のオイルへの吸着をさらに促進することができる。
【００１６】
また、吸着部において揮発性有機化合物を吸着したオイルを放出部に導入し、放出部を構成する放出用チャンバ内を減圧状態にして、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させるように構成することにより、再度オイルを吸着部に循環供給することができるので、簡単な構成でＶＯＣを高効率で除去することができ、長期間にわたって使用できる、極めて有用性の高い揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、十字流となるように構成されていることを特徴とするものである。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、対向流となるように構成されていることを特徴とするものである。
【００１９】
上記のような構成を有する請求項３及び請求項４に記載の発明は、吸着部における前記処理対象となるエアの流れと前記油膜生成部におけるオイルの流れの接触形態を規定したものであり、本システムの機器構成に合わせて適宜設定することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記放出部を構成する放出用チャンバ内に貯留されたオイル中に、該チャンバ内を減圧しながら、揮発性有機化合物を含まないエアを供給することにより、該オイル中にバブルを発生させることができるように構成されていることを特徴とするものである。
【００２１】
上記のような構成を有する請求項５に記載の発明によれば、放出用チャンバ内に貯留されたオイル中に、放出用チャンバ内を減圧しながらバブルを発生させると共に、そのエアを回収部へ排出させているので、オイルとエアとの接触効率を上げることができ、且つ、放出用チャンバ内のＶＯＣ濃度が飽和しないため、より短時間に、高効率でＶＯＣをオイルから分離放出することができる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記放出部によりオイルから放出された揮発性有機化合物を回収する回収部が設けられていることを特徴とするものである。
【００２３】
上記のような構成を有する請求項６に記載の発明によれば、処理対象エア中に含まれる揮発性有機化合物を効率良く除去するだけでなく、オイルから放出された揮発性有機化合物を回収して再利用することができるので、揮発性有機化合物を大気中に排気することなく、環境への悪影響がなく経済的である。
【００２４】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記オイルが、該オイルの周囲の気圧が高い場合に前記揮発性有機化合物を吸着し、該オイルの周囲の気圧が低い場合に前記揮発性有機化合物を放出するものであることを特徴とするものである。
【００２５】
上記のような構成を有する請求項７に記載の発明によれば、揮発性有機物吸着用オイルが、該オイルの周囲の気圧が高い場合には揮発性有機化合物を吸着し、該オイルの周囲の気圧が低い場合に揮発性有機化合物を放出するという作用を有するため、化学反応を伴わず、揮発性有機化合物の搬送媒体としてのみ機能し、さらに、吸着部と放出部の間を循環して用いられるため、消耗したり劣化することもない。
【００２６】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システムにおいて、前記オイルが、シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルであることを特徴とするものである。
【００２７】
請求項８に記載の発明は、本発明に用いられるオイルのなかでも、特にシリコーンオイル又は変性シリコーンオイルが適していることを規定したものである。シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルは、常温大気中ではほとんど酸化されないため、半永久的に使用することができるので、経済性にも優れている。さらに、シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルは、化学的に非常に安定な物質であるため、触れた場合でも健康被害がなく安全性にも優れている。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、フィルタの交換を不要とした、長期間にわたって使用することができる、有用性及び経済性に優れた揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムの構成を示す図である。
【図２】ＶＯＣ吸着部の性能評価実験に用いた実験装置の概略構成を示す図である。
【図３】ＶＯＣ放出部の性能評価実験に用いた実験装置の概略構成を示す図である。
【図４】図３に示した実験装置を用いて行った性能評価の結果を示す図である。
【図５】ＶＯＣ吸着部の他の実施例の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムの具体的な実施例を、図面を参照して説明する。なお、本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムの概要は、反応を伴わないでＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を持つオイルを、細孔が無数に開いた多孔体上に噴霧あるいは滴下することにより、多孔体の細孔内に油膜を形成して、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進し、高効率でＶＯＣを吸着除去することができる、小規模で安価な揮発性有機化合物の除去システムである。
【実施例】
【００３１】
（１−１）実施例の構成
本実施例の揮発性有機化合物の除去システムは、図１に示したように、大別してＶＯＣ吸着部、ＶＯＣ放出部、ＶＯＣ回収部から構成されている。以下、各部について詳述する。
【００３２】
（ＶＯＣ吸着部）
ＶＯＣ吸着部においては、図１に示すように、角柱状のＶＯＣ吸着用チャンバ１の内部に、細孔が無数に開いた多孔体２が設置されている。すなわち、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１の略中央部には、前記多孔体２を前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１に支持するための上部支持容器３と下部支持容器４が、該チャンバ１の上下側壁を貫通するように設置され、それぞれシール材３ａ、４ａを介して、前記多孔体２を支持固定している。
【００３３】
また、前記下部支持容器４の底面には、該支持容器の下部に貯留されたＶＯＣを吸着したオイルを、第１のオイル循環用配管１３を介して、後述するＶＯＣ放出部へ送るための第１のオイル排出口１４が設けられている。一方、前記上部支持容器３には、バー状のオイルディストリビュータ５が複数個設置され、前記多孔体２の上部からオイルを噴霧あるいは滴下することができるように構成されている。
【００３４】
また、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１の一方の側部には、印刷機械等から放出されたＶＯＣを含むエアを該チャンバ１内に導入するための処理対象エア供給口６が設けられ、この処理対象エア供給口６には処理対象エア供給配管７が接続されている。そして、処理対象エア供給配管７に配設された加圧用ファン８によって、ＶＯＣ吸着用チャンバ１内を所定の加圧状態にできるように構成されている。
【００３５】
一方、ＶＯＣ吸着用チャンバ１の他方の側部には、ＶＯＣが除去された処理後エアを再度印刷工場等へ戻すための処理後エア排出口９が設けられ、この処理後エア排出口９には処理後エア供給配管１０が接続されている。そして、この処理後エア供給配管１０に配設された第１の風量調節弁１１によって、再度印刷工場等へ戻す処理後エア量を調節できるように構成されている。
【００３６】
また、前記処理後エア供給配管１０と処理対象エア供給配管７の間には第１のバイパス配管１２が形成され、ＶＯＣ吸着用チャンバ１内でＶＯＣが除去された処理後エアの一部を該チャンバ１内に戻して、再度ＶＯＣの吸着処理を行えるように構成されている。このように本実施例においては、ＶＯＣを含んだエアの流れとオイルの流れは、十字流接触となるように構成されている。
【００３７】
（ＶＯＣ放出部）
ＶＯＣ放出部においては、図１に示すように、減圧容器であるＶＯＣ放出用チャンバ２０の上部に、前記第１のオイル循環用配管１３を介して、ＶＯＣを吸着したオイルを該チャンバ２０内に供給する処理対象オイル供給管２１が配設されると共に、このＶＯＣ放出部で分離されたＶＯＣを含むエアを、後述するＶＯＣ回収部へ送るための第１のエア回収管２２が配設されている。
【００３８】
また、ＶＯＣ放出用チャンバ２０の下部には、該チャンバ２０内でＶＯＣが放出された処理後オイルを、再度ＶＯＣ吸着部へ送るための第２のオイル排出口２３が設けられ、この第２のオイル排出口２３には、第２のオイル循環用配管２４が接続されている。
【００３９】
さらに、本実施例においては、ＶＯＣ放出用チャンバ２０の底部に貯留されたオイル中に、ＶＯＣを含まないエアを供給してオイル内にバブルを発生させるエア供給配管２５が設置されている。そして、このエア供給配管２５に設置された第２の風量調節弁２６の開度を適宜調節することにより、オイル中におけるバブルの発生量を調節して、オイルとエアとの接触効率を上げることができるように構成されている。
【００４０】
また、前記第１のオイル循環用配管１３には、上流側から、第１のオイル流量調節弁１５及びオイルフィルタ１６が順次配設され、オイルフィルタ１６によってＶＯＣ吸着部から排出されたＶＯＣを含むオイル中の固形物を除去した後、該オイルを前記処理対象オイル供給管２１を介して、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内に供給するように構成されている。
【００４１】
一方、前記第２のオイル循環用配管２４には、上流側から、ポンプ２７及び第２のオイル流量調節弁２８ａが順次配設され、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ１の上部支持容器３内に設けられたバー状のオイルディストリビュータ５を介して、オイルを多孔体２上に供給するように構成されている。
【００４２】
なお、前記第２のオイル循環用配管２４と第１のオイル循環用配管１３の間には第２のバイパス配管２９が形成され、この第２のバイパス配管２９には第３のオイル流量調節弁２８ｂが配設され、ＶＯＣ吸着用チャンバ１に供給されるオイルの一部を再度ＶＯＣ放出用チャンバ２０に戻して、オイルに吸着されたＶＯＣをより高効率に除去することができるように構成されている。
【００４３】
（ＶＯＣ回収部）
ＶＯＣ回収部においては、図１に示すように、加圧容器であるＶＯＣ回収用チャンバ３０の上部にＶＯＣ回収管３１が配設されると共に、該チャンバ３０の下部にはＶＯＣ排出口３２が設けられ、このＶＯＣ排出口３２にはＶＯＣ回収バルブ３３を備えたＶＯＣ排出用配管３４が接続されている。
【００４４】
また、前記ＶＯＣ回収管３１と前記ＶＯＣ放出用チャンバ２０の第１のエア回収管２２の間には第１のエア循環用配管３５が設けられ、この第１のエア循環用配管３５には、上流側から、エアポンプ３６、第３の風量調節弁３７及び冷却器３８が順次配設されている。そして、この冷却器３８によって、前記ＶＯＣ放出部で分離されたＶＯＣを含むエアを冷却することにより、エア中のＶＯＣを液化し、高効率に回収することができるように構成されている。
【００４５】
さらに、ＶＯＣ回収用チャンバ３０の上部には第２のエア回収管３９が配設され、この第２のエア回収管３９に接続された第２のエア循環用配管４０によって、該チャンバ３０内のＶＯＣを含むエアを、再度、前記ＶＯＣ放出用チャンバ２０の側壁に設けられたエア供給口４１を介して該チャンバ２０に戻すことができるように構成されている。このようにしてＶＯＣを含むエアをＶＯＣ回収部に何度も循環させることにより、ＶＯＣを含むエア中からＶＯＣを高効率で回収することができるように構成されている。
【００４６】
なお、前記第１のエア循環用配管３５に設けられたエアポンプ３６によって、前記ＶＯＣ放出用チャンバ２０内が減圧状態とされると共に、前記ＶＯＣ回収用チャンバ３０内が加圧状態とされるように構成されている。
【００４７】
（オイル）
オイルとしては、化学的に安定なシリコーンオイルや高真空ポンプオイル（アルキルジフェニールエーテル）等の変性シリコーンオイルが用いられる。これらのオイルは、加圧するとＶＯＣを吸着し、減圧するとＶＯＣを放出するだけで、化学反応を伴わず、搬送媒体としてしか機能しないため、オイルの劣化がなく、半永久的に使用できるので非常に経済的である。また、オイルは、無臭で、毒性がないので触れた場合でも健康被害がなく、安全性にも優れている。
【００４８】
なお、オイルとしてジメチルシリコーンオイルを用いた場合には、主として、トルエン、ベンゼン、キシレン、シクロヘキサン等のＶＯＣを吸着（溶解）することができる。
【００４９】
（１−２）作用
上記のような構成を有する本実施例の揮発性有機化合物の除去システムは、以下のように作用する。
【００５０】
（ＶＯＣ吸着部における作用）
ＶＯＣ吸着部においては、図１に示すように、まず、ＶＯＣ吸着用チャンバ１内に設置された油膜生成部である、処理対象エアと油膜との接触面積を大きくすることができる多孔体２の上部から、前記第２のオイル循環用配管２４及びオイルディストリビュータ５を介してオイルを供給することにより、前記多孔体２に油膜が形成される。
【００５１】
続いて、加圧用ファン８を作動させることによりＶＯＣ吸着用チャンバ１内を所定の加圧状態にすると共に、処理対象エア供給配管７及び処理対象エア供給口６を介して、ＶＯＣを含むエアをＶＯＣ吸着用チャンバ１内に供給する。この加圧状態とされたチャンバ１内において、ＶＯＣを含むエアと多孔体２に形成された油膜とが接触することによってＶＯＣのオイルへの吸着をさらに促進することができる。
【００５２】
このようにしてＶＯＣが除去されたエアは、ＶＯＣ吸着用チャンバ１の側面に設けられた処理後エア排出口９及び処理後エア供給配管１０を介して、再度印刷工場等へ戻される。なお、処理後エアの一部は、第１のバイパス配管１２を介してＶＯＣ吸着用チャンバ１内に戻され、再度ＶＯＣの吸着処理が行われる。一方、ＶＯＣを吸着したオイルは、下部支持容器４の底面に設けられた第１のオイル排出口１４及び第１のオイル循環用配管１３を介して、ＶＯＣ放出用チャンバ２０に搬送される。
【００５３】
（ＶＯＣ放出部における作用）
上記のようにしてＶＯＣ吸着用チャンバ１から排出されたＶＯＣを吸着したオイルは、第１のオイル循環用配管１３に配設されたオイルフィルタ１６によって固形物が除去された後、処理対象オイル供給管２１を介して、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内に供給される。また、本実施例においては、エア供給配管２５により供給されるＶＯＣを含まないエアを、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内のオイル中に導入することにより、該オイル中にバブルを発生させて、オイルとエアの接触効率を上げている。
【００５４】
さらに、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内は、エアポンプ３６によって減圧状態とされているため、オイルへのＶＯＣの吸着率（吸着できる量）が低くなり、オイルに吸着されていたＶＯＣがより高効率でＶＯＣ放出用チャンバ２０内のエア中に放出される。そして、放出されたＶＯＣを含むエアは、第１のエア回収管２２及び第１のエア循環用配管３５を介してＶＯＣ回収部に送られる。一方、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内でＶＯＣが放出された処理後オイルは、第２のオイル排出口２３及び第２のオイル循環用配管２４を介して、再度ＶＯＣ吸着部へ送られる。
【００５５】
このように、本実施例においては、エア供給配管２５により供給されるＶＯＣを含まないエアを、ＶＯＣ放出用チャンバ２０内のオイル中に導入することにより、該オイル中にバブルを発生させているので、オイルとエアとの接触効率を上げることができ、また、容器内エア中のＶＯＣ濃度が飽和しないように、そのエアを、容器内を減圧しながら排出することにより、短時間に高効率でＶＯＣをオイルから分離放出することができる。
【００５６】
なお、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムにおいては、処理後オイルの一部は第２のバイパス配管２９を介してＶＯＣ放出用チャンバ２０内に戻され、再度ＶＯＣの放出処理が行われるように構成されているため、より高効率にＶＯＣを除去することができる。このように、オイルは、ＶＯＣ吸着部とＶＯＣ放出部の間を循環し、ＶＯＣを濃縮・分離してＶＯＣ吸着部から汲み出す働きをしている。
【００５７】
（ＶＯＣ回収部における作用）
上記のようにしてＶＯＣ放出用チャンバ２０から排出されたＶＯＣを含むエアは、第１のエア循環用配管３５に設けられたエアポンプ３６によって冷却器３８に導入され、この冷却器３８によってＶＯＣを含むエアを冷却することにより、エア中のＶＯＣを液化する。なお、ＶＯＣ回収用チャンバ３０内は、エアポンプ３６によって加圧状態にされているため、ＶＯＣはさらに液化しやすくなる。
【００５８】
このようにして液化されたＶＯＣは、ＶＯＣ回収用チャンバ３０内に貯留され、ＶＯＣ排出管３２及びＶＯＣ排出用配管３４を介して回収される。一方、液化しなかったＶＯＣを含むエアは、第２のエア回収管３９、第２のエア循環用配管４０及びエア供給口４１を介して、再度、減圧容器であるＶＯＣ放出用チャンバ２０に戻される。このように、ＶＯＣを含むエアをＶＯＣ回収部とＶＯＣ放出部の間で何度も循環させることにより、ＶＯＣを含むエア中からＶＯＣを高効率で回収することができる。
【００５９】
（１−３）性能評価
（１−３−１）ＶＯＣ吸着部の性能評価
本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムのＶＯＣ吸着部の性能を評価した実験結果を以下に示す。なお、本性能評価試験においては、油膜生成部として気化式加湿膜（概略寸法：１８６ｍｍＷ×１８６ｍｍＨ×６５ｍｍＤ）を用い、図２にその概略構成を示す実験装置を用いた。
【００６０】
すなわち、本性能評価に用いられる実験装置においては、図１に示したＶＯＣ吸着部と同様の構成を有するＶＯＣ除去装置５１の内部に、上記気化式加湿膜５２が設置されている。そして、ファン５３により供給される室外空気と、トルエンガス発生器５４から供給されるガス（ＶＯＣの一例）とを混合して試料ガス（トルエンガス濃度：６６０ｐｐｍ、ガス流量：１３５ｍＬ／ｍｉｎ）を生成し、この試料ガスを前記ＶＯＣ除去装置５１の側部より該装置内に導入した。一方、ペリスタポンプ５５により、シリコーンオイル（粘度３０ｃＳｔ）を約１５０ｍＬ／ｍｉｎで前記気化式加湿膜５２上に滴下した。なお、前記トルエンガス発生器５４には、流量計５６及びエアポンプ５７が接続されている。
【００６１】
また、トルエンの除去率は、前記ＶＯＣ除去装置５１の入口と出口で試料ガスをシリンジでサンプリングしてＧＣ−ＦＩＤ（島津製作所製ＧＣ−１４Ｂ）で分析して求めた。このようにしてＶＯＣ吸着部の性能評価を行ったところ、およそ３０％除去できることが分かった。
【００６２】
（１−３−２）ＶＯＣ放出部の性能評価
次に、本発明に係る揮発性有機化合物の除去システムのＶＯＣ放出部の性能を評価した結果を以下に示す。なお、本性能評価試験に用いたトルエン（ＶＯＣの一例）の放出（揮発脱離）実験用容器の概略を図３に示した。
【００６３】
すなわち、本性能評価試験に用いたＶＯＣ放出部としては、図３に示すように、三角フラスコ６０が用いられ、この三角フラスコ６０にトルエン濃度３％のシリコーンオイル（粘度３０ｃＳｔ）６１を１３５．８ｇ入れ、この三角フラスコ６０の開口部６２を、前記シリコーンオイル中にＶＯＣを含まないエアを供給するエア供給管６３と、エア排出管６４を貫通させたシリコーン栓６５で密封する。なお、エア供給管６３には風量調節弁６６が設置されると共に、エア排出管６４には圧力計６７とエアポンプ６８が設置されている。
【００６４】
そして、エアポンプ６８により三角フラスコ６０の内部圧力が−０．００９９ＭＰａになるように調整し、その後、風量調節弁６６を開いて三角フラスコ６０内のシリコーンオイル６１中にＶＯＣを含まないエアを供給し（およそ２０ｍＬ／ｍｉｎ）、シリコーンオイル６１をバブリングしながら、１０分間隔で三角フラスコ内のシリコーンオイルをサンプリングして、トルエンの離脱効果を測定した。
【００６５】
シリコーンオイルをバブリングした場合としない場合の結果を図４に示した。図から明らかなように、バブリングした場合は、しない場合に比べて、トルエンの脱離（放出）が著しく促進され、脱離効率が良いことが分かった。このことから、シリコーンオイルをバブリングしながら減圧することにより、短時間に高効率でＶＯＣを放出できることが実証できた。
【００６６】
（１−４）効果
上述したように、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムによれば、オイルが化学反応を伴わずにＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を利用すると共に、このオイルを細孔が無数に開いた多孔体上に噴霧あるいは滴下することにより、多孔体の細孔内に油膜を形成して、その油膜とＶＯＣを含んだエアを接触させることにより、ＶＯＣのオイルへの吸着を促進することができる。これにより、簡単な構成でＶＯＣを高効率で除去することができ、長期間にわたって使用できる、極めて有用性の高い揮発性有機化合物の除去システムを提供することができる。
【００６７】
また、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムで用いられるシリコーンオイルは、オイル周囲の気圧（全圧）が高いとＶＯＣを吸着し、低いと放出するという作用を有し、化学反応を伴わず、ＶＯＣの搬送媒体としてのみ機能するため、劣化することがない。
【００６８】
また、オイルとして不活性なシリコーンオイル、アルキルジフェニールエーテルを用いているので、オイルが劣化しないため半永久的に使用できるので経済性にも優れている。その上、不活性なシリコーンオイル、アルキルジフェニールエーテルは化学的に非常に安定な物質であるため、触れた場合でも健康被害がなく安全性にも優れている。
【００６９】
また、本実施例の揮発性有機化合物の除去システムにおいては、ＶＯＣを大気中に排気することなく、ＶＯＣ（液）として回収し再利用できるので、環境への悪影響がなく経済的である。
【００７０】
（他の実施例）
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、具体的な各部材の形状、あるいは取付け位置及び方法は適宜変更可能である。例えば、前記ＶＯＣ吸着部に設置される油膜生成部として、上述したような細孔が無数に開いた多孔体の代わりに、細孔が無数に開いた容器内に、ステンレスメッシュ、ラシヒリング、気化式加湿膜（例えば、ウエットマスター製気化式加湿膜 ＶＨＲのメディア）をそれぞれ充填して用いても良い。
【００７１】
また、図５に示すように、ＶＯＣ吸着部に設置される多孔体等の油膜生成部におけるオイルの流れとＶＯＣを含んだエアの流れとが対向流となるように配置しても良い。すなわち、図５に示すように、筒状のＶＯＣ吸着用チャンバ７１の内部に、多孔体７２が設置され、その上部に設置されたオイルディストリビュータ７３からオイルが噴霧又は滴下されるように構成されている。
【００７２】
また、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ７１の底面には、ＶＯＣを含むエアを該チャンバ７１内に導入するための処理対象エア供給管７４が設けられると共に、該チャンバ７１の下部に貯留されたＶＯＣを吸着したオイルをＶＯＣ放出部へ送るためのオイル排出口７５が設けられている。一方、前記ＶＯＣ吸着用チャンバ７１の上面には、ＶＯＣが除去された処理後エアを再度印刷工場等へ戻すための処理後エア排出口７６が設けられている。
【００７３】
また、ＶＯＣの吸着・放出に用いるオイルとしては、ポーラスな空隙を持つ構造のオイルであって、化学反応を伴わずにその空隙内にＶＯＣを取り込む（物理吸着する）性質を有するものであれば良く、上記の実施例に示したシリコーンオイルの他に、パラフィンオイル、植物油等を用いることができる。
【符号の説明】
【００７４】
１…ＶＯＣ吸着用チャンバ
２…多孔体
３…上部支持容器
４…下部支持容器
３ａ、４ａ…シール材
５…オイルディストリビュータ
６…処理対象エア供給口
７…処理対象エア供給配管
８…加圧用ファン
９…処理後エア排出口
１０…処理後エア供給配管
１１…第１の風量調節弁
１２…第１のバイパス配管
１３…第１のオイル循環用配管
１４…第１のオイル排出口
１５…第１のオイル流量調節弁
１６…オイルフィルタ
２０…ＶＯＣ放出用チャンバ
２１…処理対象オイル供給管
２２…第１のエア回収管
２３…第２のオイル排出口
２４…第２のオイル循環用配管
２５…エア供給配管
２６…第２の風量調節弁
２７…ポンプ
２８ａ…第２のオイル流量調節弁
２８ｂ…第３のオイル流量調節弁
２９…第２のバイパス配管
３０…ＶＯＣ回収用チャンバ
３１…ＶＯＣ回収管
３２…ＶＯＣ排出口
３３…ＶＯＣ回収バルブ
３４…ＶＯＣ排出用配管
３５…第１のエア循環用配管
３６…エアポンプ
３７…第３の風量調節弁
３８…冷却器
３９…第２のエア回収管
４０…第２のエア循環用配管
４１…エア供給管
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、
前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、
前記吸着部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設け、
前記吸着部を加圧状態にして、該吸着部に処理対象となるエアを供給すると共に、前記吸着部において、前記油膜と処理対象となるエアとを接触させるように構成したことを特徴とする揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項２】
処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、
前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、
前記吸着部を構成する吸着用チャンバの内部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設置し、
前記吸着用チャンバ内を加圧状態にして、前記処理対象となるエアを該チャンバ内に供給し、前記処理対象となるエアと前記オイルによる油膜とが接触できるように構成し、
前記吸着部において揮発性有機化合物を吸着したオイルを前記放出部に導入し、前記放出部を構成する放出用チャンバ内を減圧状態にして、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させるように構成したことを特徴とする揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項３】
前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、十字流となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項４】
前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、対向流となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項５】
前記放出部を構成する放出用チャンバ内に貯留されたオイル中に、該チャンバ内を減圧しながら、揮発性有機化合物を含まないエアを供給することにより、該オイル中にバブルを発生させることができるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項６】
前記放出部によりオイルから放出された揮発性有機化合物を回収する回収部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項７】
前記オイルが、該オイルの周囲の気圧が高い場合に前記揮発性有機化合物を吸着し、該オイルの周囲の気圧が低い場合に前記揮発性有機化合物を放出するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項８】
前記オイルが、シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルであることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項１】
処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、
前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、
前記吸着部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設け、
前記吸着部を加圧状態にして、該吸着部に処理対象となるエアを供給すると共に、前記吸着部において、前記油膜と処理対象となるエアとを接触させるように構成したことを特徴とする揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項２】
処理対象となるエア中に含まれる所定の揮発性有機化合物をオイルに吸着させることにより除去する吸着部と、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させる放出部とを備え、
前記吸着部と放出部との間で前記オイルが循環するように構成し、
前記吸着部を構成する吸着用チャンバの内部に、オイルを供給することにより油膜を生成させる多孔体からなる油膜生成部を設置し、
前記吸着用チャンバ内を加圧状態にして、前記処理対象となるエアを該チャンバ内に供給し、前記処理対象となるエアと前記オイルによる油膜とが接触できるように構成し、
前記吸着部において揮発性有機化合物を吸着したオイルを前記放出部に導入し、前記放出部を構成する放出用チャンバ内を減圧状態にして、前記オイルに吸着された揮発性有機化合物を放出させるように構成したことを特徴とする揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項３】
前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、十字流となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項４】
前記吸着部における前記処理対象となるエアの流れと、前記油膜生成部におけるオイルの流れが、対向流となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項５】
前記放出部を構成する放出用チャンバ内に貯留されたオイル中に、該チャンバ内を減圧しながら、揮発性有機化合物を含まないエアを供給することにより、該オイル中にバブルを発生させることができるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項６】
前記放出部によりオイルから放出された揮発性有機化合物を回収する回収部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項７】
前記オイルが、該オイルの周囲の気圧が高い場合に前記揮発性有機化合物を吸着し、該オイルの周囲の気圧が低い場合に前記揮発性有機化合物を放出するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【請求項８】
前記オイルが、シリコーンオイル又は変性シリコーンオイルであることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の除去システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１２−５５８４９（Ｐ２０１２−５５８４９Ａ）
【公開日】平成２４年３月２２日（２０１２．３．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２０２８２９（Ｐ２０１０−２０２８２９）
【出願日】平成２２年９月１０日（２０１０．９．１０）
【出願人】（０００２３６１６０）株式会社テクノ菱和 (50)
【出願人】（３０４０２７３４９）国立大学法人豊橋技術科学大学 (391)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月２２日（２０１２．３．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月１０日（２０１０．９．１０）
【出願人】（０００２３６１６０）株式会社テクノ菱和 (50)
【出願人】（３０４０２７３４９）国立大学法人豊橋技術科学大学 (391)
【Ｆターム（参考）】
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