流体システム
【課題】共通の中間支持体を用いながらも、中間支持体の部品点数の増加を招かず、構成を簡単化できる流体システムを提供する。
【解決手段】流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器４０を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続することにより構成した流体回路装置１０１と、前記流体回路装置１０１を保持する保持機構１０２とを具備した流体システム１００であって、前記保持機構１０２が、ベース部材３０と、前記流体回路装置１０１及び前記ベース部材３０間に介在してこれらを結合する中間支持体１０とを具備したものであり、前記中間支持体１０が、その一端部を前記管継ぎ手２４に、その他端部を前記ベース部材３０に取り付けられて、前記管継ぎ手２４を前記ベース部材３０に接続するものである流体システム１００。
【解決手段】流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器４０を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続することにより構成した流体回路装置１０１と、前記流体回路装置１０１を保持する保持機構１０２とを具備した流体システム１００であって、前記保持機構１０２が、ベース部材３０と、前記流体回路装置１０１及び前記ベース部材３０間に介在してこれらを結合する中間支持体１０とを具備したものであり、前記中間支持体１０が、その一端部を前記管継ぎ手２４に、その他端部を前記ベース部材３０に取り付けられて、前記管継ぎ手２４を前記ベース部材３０に接続するものである流体システム１００。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持する保持機構とを具備した流体システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程等において用いられる流体回路装置には、複数の流体機器を縦横に配置し、隣り合う流体機器同士を配管及び管継ぎ手を用いて接続して、配管の高さを揃えて構成されたものがある。このような流体回路装置は、例えば、保持機構によって保持され、その保持機構は、基板のようなベース部材と、ブラケットのような中間支持体とを具備し、流体機器の底面とベース部材とを、中間支持体を介して固定するようにしている。
【０００３】
しかして、流体機器の種類によっては、流体機器の底面から流体機器に固定された配管までの高さが異なるものがある。その場合、その高さの違いに応じて、中間支持体の高さを変えることにより、配管の高さを揃えるようにしている。従って、流体機器の種類に応じて、異なる高さの中間支持体を用いる必要がある。
【０００４】
これに対し、流体機器に中間支持体を取り付けるのではなく、特許文献１に示すように、流体機器に固定された配管に中間支持体（特許文献１では支持媒体と呼んでいる）を取り付けるようにした流体機器取付構造が考えられている。このようなものであれば、同じ高さの共通の中間支持体を用いて、配管の高さを揃えることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２６４５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、配管に中間支持体をねじ等を用いて直接取り付けるのは、配管にねじ孔を設けることが難しく非現実的である。従って、特許文献１に記載の発明では、中間支持体を２つの部材で構成し、その各部材で配管を挟むようにしている（段落００８７、００８８、図６）。つまり、配管に中間支持体を取り付ける場合、中間支持体が配管を挟んだり配管に外嵌したりする特別の構造が必要になるため、部品点数の増加や構造の複雑化を招くおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明は、上記の問題を一挙に解決すべくなされたものであり、共通の中間支持体を用いながらも、中間支持体の部品点数の増加を招かず、構成を簡単化できる流体システムを提供することをその主たる所期課題とするものである。
【０００８】
すなわち、本発明に係る流体システムは、流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持する保持機構とを具備した流体システムであって、前記保持機構が、ベース部材と、前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合する中間支持体とを具備したものであり、前記中間支持体が、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続するものである。
【０００９】
このようなものであれば、中間支持体は管継ぎ手に取り付けられているので、高さの異なる中間支持体を用いる必要がなく、特許文献１と同じように、共通の中間支持体を用いることができる。また、例えば管継ぎ手は比較的肉厚であり、そこにねじ孔を設けることはさして困難ではないことから、中間支持体を柱状体などのような簡易な構造としても、この中間支持体をねじによって直接管継ぎ手に取り付けることが容易にできる。さらに、例えば、中間支持体を管継ぎ手及びベース部材に取り付けた後、流体機器を管継ぎ手を用いて接続したり、又は、流体機器を管継ぎ手を用いて接続した後、中間支持体を管継ぎ手及びベース部材に取り付けたりするなど、取付状況に応じて好適な取付手順を選択することができ、施工性を向上させることができる。また、配管施工後、例えばバルブのような流体機器が詰まった場合など、メンテナンスや交換のために流体機器を着脱する場合、従来であれば、中間支持体及び管継ぎ手それぞれを着脱させる必要があるとともに、取り外した管継ぎ手が落下してしまわないように保持する必要もあり、手間が掛かってしまう。これに対し、本願発明では、中間支持体が管継ぎ手に取り付けられているので、中間支持体を着脱させる必要がなく、管継ぎ手だけを着脱すればよい。しかもその管継ぎ手はベース部材に接続されているので、脱落しないように保持する必要がない。従って、メンテナンスや交換の際、流体機器の取り外し及び取り付けが容易にできる。
【００１０】
配管レイアウトの自由度を向上させるためには、前記中間支持体が、前記管継ぎ手を前記ベース部材に旋回自在に接続するものが望ましい。
【００１１】
前記中間支持体が、前記ベース部材に、少なくとも一定範囲内で姿勢を変えることができる又は移動できるようにガタを有して取り付けられたものであれば、前記ガタによって、流体機器や配管や管継ぎ手の寸法誤差を吸収することができる。
【００１２】
前記ベース部材が、前記中間支持体の他端部をスライド嵌合させる第１スライド溝及び第２スライド溝を形成したものであり、前記第２スライド溝が、前記第１スライド溝からその延伸方向とは異なる方向に分岐するものであれば、例えば流体機器の追加により管継ぎ手の配置が変わる場合であっても、管継ぎ手を取り付けた中間支持体を第１スライド溝に沿って移動させて、管継ぎ手の配置を変えることができ、共通のベース部材を使いまわすことができる。また、第１スライド溝だけに中間支持体が配置された場合、流体回路装置が第１スライド溝に沿って移動してしまうので、別途流体回路装置を固定する部材を設ける必要がある。しかし、第１スライド溝とは異なる方向に延びる第２スライド溝を設けているので、第１スライド溝及び第２スライド溝に配置した中間支持体を介してベース部材と管継ぎ手とを取り付けることにより、別途固定のための部材を設けることなく、流体回路装置を固定することができる。
【００１３】
中間支持体の取り付けや取り外しを簡単にするためには、前記第１スライド溝又は前記第２スライド溝に、前記中間支持体の他端部を挿通させることができる大きさの幅広部を設けたものが望ましい。
【００１４】
前記ベース部材が、長尺矩形状をなす複数の板体を具備し、前記板体が互いに隙間を空けて配置され、前記隙間が前記第１スライド溝を形成するとともに、前記板体に第２スライド溝が形成されたものであれば、板体を加えることによって各スライド溝を増設したり、板体を除去することによって各スライド溝を減らしたり、板体を変更することによって第２スライド溝の位置等を変更したりすることができる。
【００１５】
具体的な実施態様としては、前記中間支持体が、概略柱状をなし、その側周面に溝が設けられ、前記溝がスライド溝を形成する板体にはまるようにしたものが挙げられる。
【００１６】
施工性をさらに向上させるためには、前記管継ぎ手が、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材と、両端のユニット部材を連結して前記一連のユニット部材を環状にする締結具とを具備し、一対の配管の対向する端部に外嵌させるとともに前記締結具を締め付けることによってこれら配管同士を直列に接続するものであり、底部に位置する前記ユニット部材に、前記中間支持体が取り付けられるものが望ましい。従来であれば、配管に管継ぎ手を取り付ける際に、施工者が管継ぎ手を保持しなければならないが、このようなものであれば、管継ぎ手の底部のユニット部材をベース部材に保持させた後、管継ぎ手で配管を接続することができ、配管施工時に管継ぎ手を保持する必要がない。
【発明の効果】
【００１７】
従って、本発明によれば、共通の中間支持体を用いながらも、中間支持体の部品点数の増加を招かず、構成を簡単化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態における流体システムの側面図。
【図２】同実施形態における流体システムの平面図。
【図３】同実施形態における管継ぎ手の分解図。
【図４】同実施形態における管継ぎ手の固定状態を示す図。
【図５】同実施形態における管継ぎ手のＡ−Ａ線縦断面図。
【図６】同実施形態における管継ぎ手の開放状態を示す図。
【図７】同実施形態におけるベース部材の全体斜視図。
【図８】同実施形態における中間支持体の全体斜視図。
【図９】同実施形態における中間支持体と管継ぎ手とを取り付けた状態を示す側面図。
【図１０】同実施形態における中間支持体を介して管継ぎ手及びベース部材を取り付けた状態を示す部分縦断面図。
【図１１】同実施形態における流体システムの組立工程の初期状態を示す平面図。
【図１２】同実施形態における流体システムの組立工程の途中経過を示す平面図。
【図１３】本発明の他の実施形態における中間支持体と管継ぎ手とを取り付けた状態を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本発明の一実施形態に係る流体システム１００について、図面を参照して説明する。
【００２０】
本実施形態に係る流体システム１００は、例えば、半導体製造装置にプロセスガス等を供給するガスパネル装置を構成するものであり、図１に示すように、流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器４０を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続することにより構成した流体回路装置１０１と、前記流体回路装置１０１を保持する保持機構１０２とを具備する。なお、流体機器４０とは、例えば、圧力センサ、マスフローコントローラ、バルブ等である。
【００２１】
流体回路装置１０１は、図２に示すように、複数の流体機器４０を縦横に配置して平面的に接続することにより構成したものである。より詳しくは、複数の流体機器４０を直列に配置し、隣り合う流体機器４０間を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続して、横流体ラインを構成し、平行に並べた横流体ライン同士を同様に配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続して、縦流体ラインを構成して、各流体ラインによって流体回路装置１０１を構成している。なお、説明の便宜上、横流体ラインの延伸方向を横方向、縦流体ラインの延伸方向を縦方向とする。
【００２２】
流体機器４０を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続する継ぎ手機構２０について説明する。まず、配管５０について説明する。配管５０は、図３に示すように、流体機器４０の導出入ポートに予め基端が接続してあり、その先端部には後述するフランジ部２１が設けられている。なお、ここでは配管５０には全て同一径のものを用いている。
【００２３】
継ぎ手機構２０は、図３に示すように、配管５０の先端部外周に一体形成したフランジ部２１と、フランジ部２１間に介在するガスケット２２と、フランジ部２１同士の軸あわせをする位置決めリング２３と、フランジ部２１を圧接結合する管継ぎ手２４とを具備する。
【００２４】
フランジ部２１は、図５に示すように、概略円環板状をなすものであり、その先端面（以下対向面ともいう）には、円環状をなす突起２１ａが設けられている。フランジ部２１の裏面には、先端に向かうにつれ径が広がる傾斜面２１ｂが形成されており、フランジ部２１の側周面における先端部分２１ｃには段部を形成して、側周面の他の部分よりも径が小さくなるように構成してある。
【００２５】
ガスケット２２は、図５に示すように、等厚円環板状をなし、その内径が配管５０の内径と、その外径がフランジ部２１の先端部分２１ｃの外径と一致する。
【００２６】
位置決めリング２３は、図５に示すように、円筒形状をなし、その内径は、フランジ部２１の先端部分２１ｃの外径と一致するように設定され、フランジ部２１の先端部分２１ｃにガタ無く外嵌するようにしてある。
【００２７】
管継ぎ手２４は、図４に締結状態を、図６に開放状態を示すように、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材２５と、両端のユニット部材２５を連結して前記一連のユニット部材２５を環状にする締結具２６とを具備するものである。各ユニット部材２５（ここでは３つ）の内周面には、周方向にのびる有底嵌合溝が設けてある。そして、この嵌合溝の側面にはフランジ部２１の裏面に形成した傾斜面２１ｂに対応する傾斜面２５ｂが形成されている。また、締結状態において底部に位置するユニット部材２５には、肉厚部２５ａが設けられ、その肉厚部２５ａに設けられためねじ孔に連結部材（ここではボルト）が螺合して、後述する中間支持体１０が取り付けられる。
【００２８】
このような継ぎ手機構２０によって、配管５０同士を接続する場合には、まず、一方の配管５０におけるフランジ部２１の先端部分２１ｃに位置決めリング２３の一端部を外嵌させる。次に、位置決めリング２３の他端部に、ガスケット２２と他方の配管５０に設けたフランジ部２１先端部分２１ｃとを順次はめ込む。これにより、各フランジ部２１及びガスケット２２が中心軸を一致させて保持される。
【００２９】
次に、図６に示すように、両端のユニット部材２５が締結具２６によって連結されていない開放状態における、管継ぎ手２４の嵌合溝にフランジ部２１を嵌め込む。そして、図４に示すように、管継ぎ手２４の両端のユニット部材２５を締結具２６によって結合して締め付ける。これにより、管継ぎ手２４の内径が狭まり、嵌合溝の傾斜面２５ｂが、フランジ部２１の傾斜面２１ｂを径方向に押圧する。その際、図５に示すように、フランジ部２１の傾斜面２１ｂによって、フランジ部２１を軸方向に密着させる向きに押圧する分力が発生し、この分力によって、フランジ部２１同士が、その円環突起２１ａをガスケット２２に食い込ませて圧着し、配管５０同士が気密に接続される。
【００３０】
保持機構１０２は、図１に示すように、ベース部材３０と、前記流体回路装置１０１及び前記ベース部材３０間に介在してこれらを結合する中間支持体１０とを具備する。
【００３１】
ベース部材３０は、図７に示すように、概略面板状をなすものであり、その一面（以下取付面ともいう）に中間支持体１０を介して流体回路装置１０１を取り付けるものである。ベース部材３０は、複数の板体３３と、一対の保持板３４と、板体３３と保持板３４とを連結する連結部材３５（ここではボルト）とを具備する。
【００３２】
板体３３は、横方向に延びる長尺矩形状をなす等厚板であり、それらの長手方向の長さは一致する。板体３３は、その面板部を面一にし、かつ互いに隙間を空けて平行に並べてある。両端に配置された板体３３を除く全ての板体３３には、後述する第２スライド溝３２が厚み方向に貫通させてある。その板体３３の下面端部には、厚みのある細長い板状をなす一対の保持板３４を、連結部材３５を用いて取り付けてある。
【００３３】
ベース部材３０には中間支持体１０の他端部をスライド嵌合させる第１スライド溝３１及び第２スライド溝３２が形成してある。第１スライド溝３１は、各板体３３の間に横方向に伸びる隙間が形成するものであり、第２スライド溝３２は、第１スライド溝３１からその延伸方向とは異なる方向（ここでは第１スライド溝３１に直交する方向である縦方向）に分岐するように形成してある。ここで、板体３３には同じ位置に第２スライド溝３２を形成して、それらの板体３３を並べた状態において、第２スライド溝３２が一直線上に並ぶようにしてあるが、板体３３の第２スライド溝３２を異なる位置に設けて、第２スライド溝３２がずれるように構成しても構わない。
【００３４】
中間支持体１０は、図８に示すように、中空の概略円柱状をなすものであり、その一端部を管継ぎ手２４に、その他端部をベース部材３０に取り付けられて、管継ぎ手２４をベース部材３０に接続するものである。具体的に中間支持体１０は、頭部１１と、台座部１３と、頭部１１及び台座部１３とを接続する首部１２とを具備し、一体に形成されている。
【００３５】
頭部１１は、概略円筒形状をなし、その上面に溝状をなす凹部１５が設けてある。台座部１３は、概略円筒形状をなし、首部１２は、頭部１１及び台座部１３よりも細い概略円筒形状をなす。そして、頭部１１の下面及び台座部１３の上面及び首部１２の側周面が、中間支持体１０の側周面に円環形状をなす溝１６を形成するとともに、頭部１１及び台座部１３及び首部１２の内周面が、頭部１１及び台座部１３及び首部１２の内部を軸方向に貫通する貫通孔１４が形成するように構成してある。
【００３６】
図９に示すように、中間支持体１０の凹部１５には、管継ぎ手２４の底部に設けられた肉厚部２５ａが嵌め込まれている。図１０に示すように、連結部材（ここではボルト）が、中間支持体１０の貫通孔１４を貫通し、管継ぎ手２４の肉厚部２５ａに設けられためねじ孔に螺合して、管継ぎ手２４と中間支持体１０とを連結している。
【００３７】
図１０に示すように、中間支持体１０の溝１６の幅は、板体３３の厚みよりも若干大きく設定してある。また、中間支持体１０の首部１２の外径は、各スライド溝３１、３２の幅よりも若干小さく、中間支持体１０の頭部１１及び台座部１３の外径は、各スライド溝３１、３２の幅よりも大きく設定してある。このように構成された溝１６は、スライド溝３１、３２を形成する板体３３にはまっており、その結果、中間支持体１０をベース部材３０に旋回自在に接続するとともに、中間支持体１０を、ベース部材３０に少なくとも一定範囲内で姿勢を変えることができる又は移動できるようにガタを有して取り付けている。なお、旋回自在に接続するとは、ベース部材３０の取付面に対して垂直な軸を中心軸として回転することができ、その全ての回転角度において、中間支持体１０がベース部材３０に接続された状態を保つことができることをいう。
【００３８】
図２に示すように、中間支持体１０は各スライド溝３１、３２に配置されており、その中間支持体１０には管継ぎ手２４が取り付けられている。横流体ラインの流体機器４０は第１スライド溝３１に配置された管継ぎ手２４によって接続され、縦流体ラインの流体機器４０は第２スライド溝３２に配置された管継ぎ手２４によって接続されている。
【００３９】
本実施形態の流体システム１００を組み立てる工程の一例について説明する。図１１に示すように、ベース部材３０の第２スライド溝３２の基端部の一部には、切り欠きを形成して、その第１スライド溝３１と第２スライド溝３２との分岐部３６を、中間支持体１０の他端部を挿通させることができる大きさにしてある。この切り欠きが形成された分岐部３６が、請求項でいう幅広部３７に相当する。その幅広部３７に対して、管継ぎ手２４を取り付けた中間支持体１０を挿通させる。そして中間支持体１０の首部１２が幅広部３７に挿通している状態で、中間支持体１０を各スライド溝３１、３２に沿って移動させて、中間支持体１０の溝１６に板体３３をはめこむ。同様に中間支持体１０をベース部材３０に取り付けていき、図１２に示すように、第１スライド溝３１及び第２スライド溝３２に中間支持体１０を複数配置する。なお、幅広部３７が形成されていない第１スライド溝３１に中間支持体１０を取り付けるには、保持板３４を取り外して、ベース部材３０の側面から中間支持体１０をスライドさせるようにしている。
【００４０】
さらに、管継ぎ手２４を、両端のユニット部材２５が締結具２６によって連結されていない開放状態にする。そして、底部に位置するユニット部材２５に対向させた配管５０を載せた後、管継ぎ手２４を締結状態にして流体機器４０同士を接続する。組立工程の他の例としては、流体機器４０を管継ぎ手２４を用いて接続した後、中間支持体１０を管継ぎ手２４及びベース部材３０に取り付けるようにしたものが挙げられる。なお、流体機器４０を取り外すときは、逆の手順で行う。
【００４１】
本実施形態に係る流体システム１００によれば、中間支持体１０は管継ぎ手２４に取り付けられているので、高さの異なる中間支持体１０を用いる必要がなく、共通の中間支持体１０を用いることができる。また、管継ぎ手２４は比較的肉厚であり、そこにねじ孔を設けることはさして困難ではないことから、中間支持体１０を柱状体などのような簡易な構造としても、この中間支持体１０をねじによって直接管継ぎ手２４に取り付けることが容易にできる。さらに、中間支持体１０を管継ぎ手２４及びベース部材３０に取り付けた後、流体機器４０を管継ぎ手２４を用いて接続したり、又は、流体機器４０を管継ぎ手２４を用いて接続した後、中間支持体１０を管継ぎ手２４及びベース部材３０に取り付けたりするなど、取付状況に応じて好適な取付手順を選択することができ、施工性を向上させることができる。
【００４２】
また、同じ位置に第２スライド溝３２を形成した板体３３を用いているので、第２スライド溝３２を一列に並べることができ、第２スライド溝３２に配置した管継ぎ手２４を用いて、複数の流体機器４０を直列に接続して構成された横流体ライン同士を接続することができる。さらに、第１スライド溝３１とは異なる方向に延びる第２スライド溝３２を設けているので、第１スライド溝３１及び第２スライド溝３２に配置した中間支持体１０を介してベース部材３０と管継ぎ手２４とを取り付けることにより、別途固定のための部材を設けることなく、流体回路装置１０１を固定することができる。加えて言えば、各スライド溝３１、３２の分岐部３６を幅広部３７としているので、各スライド溝３１、３２の途中から中間支持体１０を着脱することができる。
【００４３】
なお、本発明は本実施形態に限られるものではない。例えば、各スライド溝の連結部の一部を幅広部としたが、各スライド溝の連結部の全てを幅広部としても良いし、各スライド溝の連結部でない部分に幅広部を設けても良い。また、中間支持体は幅広部から挿通させるものとしたが、ベース部材の保持板を取り外して、ベース部材の側面から挿通させてもよい。
【００４４】
中間支持体はベース部材にネジ止め等によって連結されるものであってもよい。第２スライド溝は第１スライド溝から分岐するものとしたが、板体の短手方向の側面から、第１スライド溝の延伸方向とは異なる方向に延びるものとしてもよい。
【００４５】
加えて言えば、継ぎ手機構は位置決めリングを具備するものとしたが、位置決めリングを省略して構成してもよい。このようなものであれば、部品点数を減らすことができるとともに、流体機器を着脱する際に、流体機器に接続された配管を位置決めリングの幅だけ軸方向に移動させて、位置決めリングを着脱する必要がなく、配管施工を容易にできる。特に、平行に並べた横流体ライン同士を接続する縦流体ラインの流体機器を着脱する場合のような、流体機器の軸方向の移動が制限されている場合、この効果は一層顕著なものとなる。
さらに、図１３に示すように、割れ等を防止すべく強度維持のために、ユニット部材２５の中間部に、外側に張り出す肉厚部２５ｅを設けても良い。この肉厚部２５ｅは、ユニット部材の幅と同じであっても良いし、それより小さくても良い。要は、強度維持のための最低限の大きさであることが望ましい。
その他、本発明は各構成を組み合わせてもよく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１００・・・流体システム
１０１・・・流体回路装置
１０２・・・保持機構
１０・・・中間支持体
２４・・・管継ぎ手
３０・・・ベース部材
３１・・・第１スライド溝
３２・・・第２スライド溝
３３・・板体
４０・・・流体機器
５０・・・配管
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持する保持機構とを具備した流体システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程等において用いられる流体回路装置には、複数の流体機器を縦横に配置し、隣り合う流体機器同士を配管及び管継ぎ手を用いて接続して、配管の高さを揃えて構成されたものがある。このような流体回路装置は、例えば、保持機構によって保持され、その保持機構は、基板のようなベース部材と、ブラケットのような中間支持体とを具備し、流体機器の底面とベース部材とを、中間支持体を介して固定するようにしている。
【０００３】
しかして、流体機器の種類によっては、流体機器の底面から流体機器に固定された配管までの高さが異なるものがある。その場合、その高さの違いに応じて、中間支持体の高さを変えることにより、配管の高さを揃えるようにしている。従って、流体機器の種類に応じて、異なる高さの中間支持体を用いる必要がある。
【０００４】
これに対し、流体機器に中間支持体を取り付けるのではなく、特許文献１に示すように、流体機器に固定された配管に中間支持体（特許文献１では支持媒体と呼んでいる）を取り付けるようにした流体機器取付構造が考えられている。このようなものであれば、同じ高さの共通の中間支持体を用いて、配管の高さを揃えることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２６４５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、配管に中間支持体をねじ等を用いて直接取り付けるのは、配管にねじ孔を設けることが難しく非現実的である。従って、特許文献１に記載の発明では、中間支持体を２つの部材で構成し、その各部材で配管を挟むようにしている（段落００８７、００８８、図６）。つまり、配管に中間支持体を取り付ける場合、中間支持体が配管を挟んだり配管に外嵌したりする特別の構造が必要になるため、部品点数の増加や構造の複雑化を招くおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明は、上記の問題を一挙に解決すべくなされたものであり、共通の中間支持体を用いながらも、中間支持体の部品点数の増加を招かず、構成を簡単化できる流体システムを提供することをその主たる所期課題とするものである。
【０００８】
すなわち、本発明に係る流体システムは、流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持する保持機構とを具備した流体システムであって、前記保持機構が、ベース部材と、前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合する中間支持体とを具備したものであり、前記中間支持体が、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続するものである。
【０００９】
このようなものであれば、中間支持体は管継ぎ手に取り付けられているので、高さの異なる中間支持体を用いる必要がなく、特許文献１と同じように、共通の中間支持体を用いることができる。また、例えば管継ぎ手は比較的肉厚であり、そこにねじ孔を設けることはさして困難ではないことから、中間支持体を柱状体などのような簡易な構造としても、この中間支持体をねじによって直接管継ぎ手に取り付けることが容易にできる。さらに、例えば、中間支持体を管継ぎ手及びベース部材に取り付けた後、流体機器を管継ぎ手を用いて接続したり、又は、流体機器を管継ぎ手を用いて接続した後、中間支持体を管継ぎ手及びベース部材に取り付けたりするなど、取付状況に応じて好適な取付手順を選択することができ、施工性を向上させることができる。また、配管施工後、例えばバルブのような流体機器が詰まった場合など、メンテナンスや交換のために流体機器を着脱する場合、従来であれば、中間支持体及び管継ぎ手それぞれを着脱させる必要があるとともに、取り外した管継ぎ手が落下してしまわないように保持する必要もあり、手間が掛かってしまう。これに対し、本願発明では、中間支持体が管継ぎ手に取り付けられているので、中間支持体を着脱させる必要がなく、管継ぎ手だけを着脱すればよい。しかもその管継ぎ手はベース部材に接続されているので、脱落しないように保持する必要がない。従って、メンテナンスや交換の際、流体機器の取り外し及び取り付けが容易にできる。
【００１０】
配管レイアウトの自由度を向上させるためには、前記中間支持体が、前記管継ぎ手を前記ベース部材に旋回自在に接続するものが望ましい。
【００１１】
前記中間支持体が、前記ベース部材に、少なくとも一定範囲内で姿勢を変えることができる又は移動できるようにガタを有して取り付けられたものであれば、前記ガタによって、流体機器や配管や管継ぎ手の寸法誤差を吸収することができる。
【００１２】
前記ベース部材が、前記中間支持体の他端部をスライド嵌合させる第１スライド溝及び第２スライド溝を形成したものであり、前記第２スライド溝が、前記第１スライド溝からその延伸方向とは異なる方向に分岐するものであれば、例えば流体機器の追加により管継ぎ手の配置が変わる場合であっても、管継ぎ手を取り付けた中間支持体を第１スライド溝に沿って移動させて、管継ぎ手の配置を変えることができ、共通のベース部材を使いまわすことができる。また、第１スライド溝だけに中間支持体が配置された場合、流体回路装置が第１スライド溝に沿って移動してしまうので、別途流体回路装置を固定する部材を設ける必要がある。しかし、第１スライド溝とは異なる方向に延びる第２スライド溝を設けているので、第１スライド溝及び第２スライド溝に配置した中間支持体を介してベース部材と管継ぎ手とを取り付けることにより、別途固定のための部材を設けることなく、流体回路装置を固定することができる。
【００１３】
中間支持体の取り付けや取り外しを簡単にするためには、前記第１スライド溝又は前記第２スライド溝に、前記中間支持体の他端部を挿通させることができる大きさの幅広部を設けたものが望ましい。
【００１４】
前記ベース部材が、長尺矩形状をなす複数の板体を具備し、前記板体が互いに隙間を空けて配置され、前記隙間が前記第１スライド溝を形成するとともに、前記板体に第２スライド溝が形成されたものであれば、板体を加えることによって各スライド溝を増設したり、板体を除去することによって各スライド溝を減らしたり、板体を変更することによって第２スライド溝の位置等を変更したりすることができる。
【００１５】
具体的な実施態様としては、前記中間支持体が、概略柱状をなし、その側周面に溝が設けられ、前記溝がスライド溝を形成する板体にはまるようにしたものが挙げられる。
【００１６】
施工性をさらに向上させるためには、前記管継ぎ手が、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材と、両端のユニット部材を連結して前記一連のユニット部材を環状にする締結具とを具備し、一対の配管の対向する端部に外嵌させるとともに前記締結具を締め付けることによってこれら配管同士を直列に接続するものであり、底部に位置する前記ユニット部材に、前記中間支持体が取り付けられるものが望ましい。従来であれば、配管に管継ぎ手を取り付ける際に、施工者が管継ぎ手を保持しなければならないが、このようなものであれば、管継ぎ手の底部のユニット部材をベース部材に保持させた後、管継ぎ手で配管を接続することができ、配管施工時に管継ぎ手を保持する必要がない。
【発明の効果】
【００１７】
従って、本発明によれば、共通の中間支持体を用いながらも、中間支持体の部品点数の増加を招かず、構成を簡単化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態における流体システムの側面図。
【図２】同実施形態における流体システムの平面図。
【図３】同実施形態における管継ぎ手の分解図。
【図４】同実施形態における管継ぎ手の固定状態を示す図。
【図５】同実施形態における管継ぎ手のＡ−Ａ線縦断面図。
【図６】同実施形態における管継ぎ手の開放状態を示す図。
【図７】同実施形態におけるベース部材の全体斜視図。
【図８】同実施形態における中間支持体の全体斜視図。
【図９】同実施形態における中間支持体と管継ぎ手とを取り付けた状態を示す側面図。
【図１０】同実施形態における中間支持体を介して管継ぎ手及びベース部材を取り付けた状態を示す部分縦断面図。
【図１１】同実施形態における流体システムの組立工程の初期状態を示す平面図。
【図１２】同実施形態における流体システムの組立工程の途中経過を示す平面図。
【図１３】本発明の他の実施形態における中間支持体と管継ぎ手とを取り付けた状態を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本発明の一実施形態に係る流体システム１００について、図面を参照して説明する。
【００２０】
本実施形態に係る流体システム１００は、例えば、半導体製造装置にプロセスガス等を供給するガスパネル装置を構成するものであり、図１に示すように、流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器４０を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続することにより構成した流体回路装置１０１と、前記流体回路装置１０１を保持する保持機構１０２とを具備する。なお、流体機器４０とは、例えば、圧力センサ、マスフローコントローラ、バルブ等である。
【００２１】
流体回路装置１０１は、図２に示すように、複数の流体機器４０を縦横に配置して平面的に接続することにより構成したものである。より詳しくは、複数の流体機器４０を直列に配置し、隣り合う流体機器４０間を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続して、横流体ラインを構成し、平行に並べた横流体ライン同士を同様に配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続して、縦流体ラインを構成して、各流体ラインによって流体回路装置１０１を構成している。なお、説明の便宜上、横流体ラインの延伸方向を横方向、縦流体ラインの延伸方向を縦方向とする。
【００２２】
流体機器４０を配管５０及び管継ぎ手２４を用いて接続する継ぎ手機構２０について説明する。まず、配管５０について説明する。配管５０は、図３に示すように、流体機器４０の導出入ポートに予め基端が接続してあり、その先端部には後述するフランジ部２１が設けられている。なお、ここでは配管５０には全て同一径のものを用いている。
【００２３】
継ぎ手機構２０は、図３に示すように、配管５０の先端部外周に一体形成したフランジ部２１と、フランジ部２１間に介在するガスケット２２と、フランジ部２１同士の軸あわせをする位置決めリング２３と、フランジ部２１を圧接結合する管継ぎ手２４とを具備する。
【００２４】
フランジ部２１は、図５に示すように、概略円環板状をなすものであり、その先端面（以下対向面ともいう）には、円環状をなす突起２１ａが設けられている。フランジ部２１の裏面には、先端に向かうにつれ径が広がる傾斜面２１ｂが形成されており、フランジ部２１の側周面における先端部分２１ｃには段部を形成して、側周面の他の部分よりも径が小さくなるように構成してある。
【００２５】
ガスケット２２は、図５に示すように、等厚円環板状をなし、その内径が配管５０の内径と、その外径がフランジ部２１の先端部分２１ｃの外径と一致する。
【００２６】
位置決めリング２３は、図５に示すように、円筒形状をなし、その内径は、フランジ部２１の先端部分２１ｃの外径と一致するように設定され、フランジ部２１の先端部分２１ｃにガタ無く外嵌するようにしてある。
【００２７】
管継ぎ手２４は、図４に締結状態を、図６に開放状態を示すように、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材２５と、両端のユニット部材２５を連結して前記一連のユニット部材２５を環状にする締結具２６とを具備するものである。各ユニット部材２５（ここでは３つ）の内周面には、周方向にのびる有底嵌合溝が設けてある。そして、この嵌合溝の側面にはフランジ部２１の裏面に形成した傾斜面２１ｂに対応する傾斜面２５ｂが形成されている。また、締結状態において底部に位置するユニット部材２５には、肉厚部２５ａが設けられ、その肉厚部２５ａに設けられためねじ孔に連結部材（ここではボルト）が螺合して、後述する中間支持体１０が取り付けられる。
【００２８】
このような継ぎ手機構２０によって、配管５０同士を接続する場合には、まず、一方の配管５０におけるフランジ部２１の先端部分２１ｃに位置決めリング２３の一端部を外嵌させる。次に、位置決めリング２３の他端部に、ガスケット２２と他方の配管５０に設けたフランジ部２１先端部分２１ｃとを順次はめ込む。これにより、各フランジ部２１及びガスケット２２が中心軸を一致させて保持される。
【００２９】
次に、図６に示すように、両端のユニット部材２５が締結具２６によって連結されていない開放状態における、管継ぎ手２４の嵌合溝にフランジ部２１を嵌め込む。そして、図４に示すように、管継ぎ手２４の両端のユニット部材２５を締結具２６によって結合して締め付ける。これにより、管継ぎ手２４の内径が狭まり、嵌合溝の傾斜面２５ｂが、フランジ部２１の傾斜面２１ｂを径方向に押圧する。その際、図５に示すように、フランジ部２１の傾斜面２１ｂによって、フランジ部２１を軸方向に密着させる向きに押圧する分力が発生し、この分力によって、フランジ部２１同士が、その円環突起２１ａをガスケット２２に食い込ませて圧着し、配管５０同士が気密に接続される。
【００３０】
保持機構１０２は、図１に示すように、ベース部材３０と、前記流体回路装置１０１及び前記ベース部材３０間に介在してこれらを結合する中間支持体１０とを具備する。
【００３１】
ベース部材３０は、図７に示すように、概略面板状をなすものであり、その一面（以下取付面ともいう）に中間支持体１０を介して流体回路装置１０１を取り付けるものである。ベース部材３０は、複数の板体３３と、一対の保持板３４と、板体３３と保持板３４とを連結する連結部材３５（ここではボルト）とを具備する。
【００３２】
板体３３は、横方向に延びる長尺矩形状をなす等厚板であり、それらの長手方向の長さは一致する。板体３３は、その面板部を面一にし、かつ互いに隙間を空けて平行に並べてある。両端に配置された板体３３を除く全ての板体３３には、後述する第２スライド溝３２が厚み方向に貫通させてある。その板体３３の下面端部には、厚みのある細長い板状をなす一対の保持板３４を、連結部材３５を用いて取り付けてある。
【００３３】
ベース部材３０には中間支持体１０の他端部をスライド嵌合させる第１スライド溝３１及び第２スライド溝３２が形成してある。第１スライド溝３１は、各板体３３の間に横方向に伸びる隙間が形成するものであり、第２スライド溝３２は、第１スライド溝３１からその延伸方向とは異なる方向（ここでは第１スライド溝３１に直交する方向である縦方向）に分岐するように形成してある。ここで、板体３３には同じ位置に第２スライド溝３２を形成して、それらの板体３３を並べた状態において、第２スライド溝３２が一直線上に並ぶようにしてあるが、板体３３の第２スライド溝３２を異なる位置に設けて、第２スライド溝３２がずれるように構成しても構わない。
【００３４】
中間支持体１０は、図８に示すように、中空の概略円柱状をなすものであり、その一端部を管継ぎ手２４に、その他端部をベース部材３０に取り付けられて、管継ぎ手２４をベース部材３０に接続するものである。具体的に中間支持体１０は、頭部１１と、台座部１３と、頭部１１及び台座部１３とを接続する首部１２とを具備し、一体に形成されている。
【００３５】
頭部１１は、概略円筒形状をなし、その上面に溝状をなす凹部１５が設けてある。台座部１３は、概略円筒形状をなし、首部１２は、頭部１１及び台座部１３よりも細い概略円筒形状をなす。そして、頭部１１の下面及び台座部１３の上面及び首部１２の側周面が、中間支持体１０の側周面に円環形状をなす溝１６を形成するとともに、頭部１１及び台座部１３及び首部１２の内周面が、頭部１１及び台座部１３及び首部１２の内部を軸方向に貫通する貫通孔１４が形成するように構成してある。
【００３６】
図９に示すように、中間支持体１０の凹部１５には、管継ぎ手２４の底部に設けられた肉厚部２５ａが嵌め込まれている。図１０に示すように、連結部材（ここではボルト）が、中間支持体１０の貫通孔１４を貫通し、管継ぎ手２４の肉厚部２５ａに設けられためねじ孔に螺合して、管継ぎ手２４と中間支持体１０とを連結している。
【００３７】
図１０に示すように、中間支持体１０の溝１６の幅は、板体３３の厚みよりも若干大きく設定してある。また、中間支持体１０の首部１２の外径は、各スライド溝３１、３２の幅よりも若干小さく、中間支持体１０の頭部１１及び台座部１３の外径は、各スライド溝３１、３２の幅よりも大きく設定してある。このように構成された溝１６は、スライド溝３１、３２を形成する板体３３にはまっており、その結果、中間支持体１０をベース部材３０に旋回自在に接続するとともに、中間支持体１０を、ベース部材３０に少なくとも一定範囲内で姿勢を変えることができる又は移動できるようにガタを有して取り付けている。なお、旋回自在に接続するとは、ベース部材３０の取付面に対して垂直な軸を中心軸として回転することができ、その全ての回転角度において、中間支持体１０がベース部材３０に接続された状態を保つことができることをいう。
【００３８】
図２に示すように、中間支持体１０は各スライド溝３１、３２に配置されており、その中間支持体１０には管継ぎ手２４が取り付けられている。横流体ラインの流体機器４０は第１スライド溝３１に配置された管継ぎ手２４によって接続され、縦流体ラインの流体機器４０は第２スライド溝３２に配置された管継ぎ手２４によって接続されている。
【００３９】
本実施形態の流体システム１００を組み立てる工程の一例について説明する。図１１に示すように、ベース部材３０の第２スライド溝３２の基端部の一部には、切り欠きを形成して、その第１スライド溝３１と第２スライド溝３２との分岐部３６を、中間支持体１０の他端部を挿通させることができる大きさにしてある。この切り欠きが形成された分岐部３６が、請求項でいう幅広部３７に相当する。その幅広部３７に対して、管継ぎ手２４を取り付けた中間支持体１０を挿通させる。そして中間支持体１０の首部１２が幅広部３７に挿通している状態で、中間支持体１０を各スライド溝３１、３２に沿って移動させて、中間支持体１０の溝１６に板体３３をはめこむ。同様に中間支持体１０をベース部材３０に取り付けていき、図１２に示すように、第１スライド溝３１及び第２スライド溝３２に中間支持体１０を複数配置する。なお、幅広部３７が形成されていない第１スライド溝３１に中間支持体１０を取り付けるには、保持板３４を取り外して、ベース部材３０の側面から中間支持体１０をスライドさせるようにしている。
【００４０】
さらに、管継ぎ手２４を、両端のユニット部材２５が締結具２６によって連結されていない開放状態にする。そして、底部に位置するユニット部材２５に対向させた配管５０を載せた後、管継ぎ手２４を締結状態にして流体機器４０同士を接続する。組立工程の他の例としては、流体機器４０を管継ぎ手２４を用いて接続した後、中間支持体１０を管継ぎ手２４及びベース部材３０に取り付けるようにしたものが挙げられる。なお、流体機器４０を取り外すときは、逆の手順で行う。
【００４１】
本実施形態に係る流体システム１００によれば、中間支持体１０は管継ぎ手２４に取り付けられているので、高さの異なる中間支持体１０を用いる必要がなく、共通の中間支持体１０を用いることができる。また、管継ぎ手２４は比較的肉厚であり、そこにねじ孔を設けることはさして困難ではないことから、中間支持体１０を柱状体などのような簡易な構造としても、この中間支持体１０をねじによって直接管継ぎ手２４に取り付けることが容易にできる。さらに、中間支持体１０を管継ぎ手２４及びベース部材３０に取り付けた後、流体機器４０を管継ぎ手２４を用いて接続したり、又は、流体機器４０を管継ぎ手２４を用いて接続した後、中間支持体１０を管継ぎ手２４及びベース部材３０に取り付けたりするなど、取付状況に応じて好適な取付手順を選択することができ、施工性を向上させることができる。
【００４２】
また、同じ位置に第２スライド溝３２を形成した板体３３を用いているので、第２スライド溝３２を一列に並べることができ、第２スライド溝３２に配置した管継ぎ手２４を用いて、複数の流体機器４０を直列に接続して構成された横流体ライン同士を接続することができる。さらに、第１スライド溝３１とは異なる方向に延びる第２スライド溝３２を設けているので、第１スライド溝３１及び第２スライド溝３２に配置した中間支持体１０を介してベース部材３０と管継ぎ手２４とを取り付けることにより、別途固定のための部材を設けることなく、流体回路装置１０１を固定することができる。加えて言えば、各スライド溝３１、３２の分岐部３６を幅広部３７としているので、各スライド溝３１、３２の途中から中間支持体１０を着脱することができる。
【００４３】
なお、本発明は本実施形態に限られるものではない。例えば、各スライド溝の連結部の一部を幅広部としたが、各スライド溝の連結部の全てを幅広部としても良いし、各スライド溝の連結部でない部分に幅広部を設けても良い。また、中間支持体は幅広部から挿通させるものとしたが、ベース部材の保持板を取り外して、ベース部材の側面から挿通させてもよい。
【００４４】
中間支持体はベース部材にネジ止め等によって連結されるものであってもよい。第２スライド溝は第１スライド溝から分岐するものとしたが、板体の短手方向の側面から、第１スライド溝の延伸方向とは異なる方向に延びるものとしてもよい。
【００４５】
加えて言えば、継ぎ手機構は位置決めリングを具備するものとしたが、位置決めリングを省略して構成してもよい。このようなものであれば、部品点数を減らすことができるとともに、流体機器を着脱する際に、流体機器に接続された配管を位置決めリングの幅だけ軸方向に移動させて、位置決めリングを着脱する必要がなく、配管施工を容易にできる。特に、平行に並べた横流体ライン同士を接続する縦流体ラインの流体機器を着脱する場合のような、流体機器の軸方向の移動が制限されている場合、この効果は一層顕著なものとなる。
さらに、図１３に示すように、割れ等を防止すべく強度維持のために、ユニット部材２５の中間部に、外側に張り出す肉厚部２５ｅを設けても良い。この肉厚部２５ｅは、ユニット部材の幅と同じであっても良いし、それより小さくても良い。要は、強度維持のための最低限の大きさであることが望ましい。
その他、本発明は各構成を組み合わせてもよく、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１００・・・流体システム
１０１・・・流体回路装置
１０２・・・保持機構
１０・・・中間支持体
２４・・・管継ぎ手
３０・・・ベース部材
３１・・・第１スライド溝
３２・・・第２スライド溝
３３・・板体
４０・・・流体機器
５０・・・配管
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持する保持機構とを具備した流体システムであって、
前記保持機構が、ベース部材と、前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合する中間支持体とを具備したものであり、
前記中間支持体が、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続するものである流体システム。
【請求項２】
前記中間支持体が、前記管継ぎ手を前記ベース部材に旋回自在に接続する請求項１記載の流体システム。
【請求項３】
前記中間支持体が、前記ベース部材に、少なくとも一定範囲内で姿勢を変えることができる又は移動できるようにガタを有して取り付けられた請求項１又は２記載の流体システム。
【請求項４】
前記ベース部材が、前記中間支持体の他端部をスライド嵌合させる第１スライド溝及び第２スライド溝を形成したものであり、
前記第２スライド溝が、前記第１スライド溝からその延伸方向とは異なる方向に分岐するものであることを特徴とする請求項１乃至３いずれか記載の流体システム。
【請求項５】
前記第１スライド溝又は前記第２スライド溝に、前記中間支持体の他端部を挿通させることができる大きさの幅広部を設けた請求項４記載の流体システム。
【請求項６】
前記ベース部材が、長尺矩形状をなす複数の板体を具備し、前記板体が互いに隙間を空けて配置され、前記隙間が前記第１スライド溝を形成するとともに、前記板体に第２スライド溝が形成された請求項４又は５記載の流体システム。
【請求項７】
前記中間支持体が概略柱状をなし、その側周面に溝が形成され、当該溝が前記スライド溝を形成する前記板体にはまって、前記中間支持体が前記ベース部材に接続される請求項６記載の流体システム。
【請求項８】
前記管継ぎ手が、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材と、両端のユニット部材を連結して前記一連のユニット部材を環状にする締結具とを具備し、一対の配管の対向する端部に外嵌させるとともに前記締結具を締め付けることによってこれら配管同士を直列に接続するものであり、
底部に位置する前記ユニット部材に、前記中間支持体が取り付けられる請求項１乃至７いずれか記載の流体システム。
【請求項９】
流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置とともに用いられるものであって、
ベース部材と、前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合する中間支持体とを具備し、
前記中間支持体が、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続して、前記流体回路装置を保持する保持機構。
【請求項１０】
流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持するベース部材とともに用いられるものであって、
前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合するものであり、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続する中間支持体。
【請求項１】
流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持する保持機構とを具備した流体システムであって、
前記保持機構が、ベース部材と、前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合する中間支持体とを具備したものであり、
前記中間支持体が、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続するものである流体システム。
【請求項２】
前記中間支持体が、前記管継ぎ手を前記ベース部材に旋回自在に接続する請求項１記載の流体システム。
【請求項３】
前記中間支持体が、前記ベース部材に、少なくとも一定範囲内で姿勢を変えることができる又は移動できるようにガタを有して取り付けられた請求項１又は２記載の流体システム。
【請求項４】
前記ベース部材が、前記中間支持体の他端部をスライド嵌合させる第１スライド溝及び第２スライド溝を形成したものであり、
前記第２スライド溝が、前記第１スライド溝からその延伸方向とは異なる方向に分岐するものであることを特徴とする請求項１乃至３いずれか記載の流体システム。
【請求項５】
前記第１スライド溝又は前記第２スライド溝に、前記中間支持体の他端部を挿通させることができる大きさの幅広部を設けた請求項４記載の流体システム。
【請求項６】
前記ベース部材が、長尺矩形状をなす複数の板体を具備し、前記板体が互いに隙間を空けて配置され、前記隙間が前記第１スライド溝を形成するとともに、前記板体に第２スライド溝が形成された請求項４又は５記載の流体システム。
【請求項７】
前記中間支持体が概略柱状をなし、その側周面に溝が形成され、当該溝が前記スライド溝を形成する前記板体にはまって、前記中間支持体が前記ベース部材に接続される請求項６記載の流体システム。
【請求項８】
前記管継ぎ手が、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材と、両端のユニット部材を連結して前記一連のユニット部材を環状にする締結具とを具備し、一対の配管の対向する端部に外嵌させるとともに前記締結具を締め付けることによってこれら配管同士を直列に接続するものであり、
底部に位置する前記ユニット部材に、前記中間支持体が取り付けられる請求項１乃至７いずれか記載の流体システム。
【請求項９】
流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置とともに用いられるものであって、
ベース部材と、前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合する中間支持体とを具備し、
前記中間支持体が、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続して、前記流体回路装置を保持する保持機構。
【請求項１０】
流体の状態を制御又は測定するための複数の流体機器を配管及び管継ぎ手を用いて接続することにより構成した流体回路装置と、前記流体回路装置を保持するベース部材とともに用いられるものであって、
前記流体回路装置及び前記ベース部材間に介在してこれらを結合するものであり、その一端部を前記管継ぎ手に、その他端部を前記ベース部材に取り付けられて、前記管継ぎ手を前記ベース部材に接続する中間支持体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１２−３７０５０（Ｐ２０１２−３７０５０Ａ）
【公開日】平成２４年２月２３日（２０１２．２．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１５１９９２（Ｐ２０１１−１５１９９２）
【出願日】平成２３年７月８日（２０１１．７．８）
【出願人】（５９４１６５７３４）イハラサイエンス株式会社 (40)
【出願人】（０００１２７９６１）株式会社堀場エステック (88)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月２３日（２０１２．２．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月８日（２０１１．７．８）
【出願人】（５９４１６５７３４）イハラサイエンス株式会社 (40)
【出願人】（０００１２７９６１）株式会社堀場エステック (88)
【Ｆターム（参考）】
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