液状体吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
【課題】区画形成された膜形成区画（配置区画）に向けて吐出され、膜形成区画に着弾した液状体が膜形成区画から溢れることを抑制する液状体吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】液状体吐出方法は、基材上に区画形成された配置区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させる液状体吐出方法であって、複数の吐出ノズルは、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に向けて液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、第一吐出ノズルの方が、他の吐出ノズルよりも少ない。
【解決手段】液状体吐出方法は、基材上に区画形成された配置区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させる液状体吐出方法であって、複数の吐出ノズルは、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に向けて液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、第一吐出ノズルの方が、他の吐出ノズルよりも少ない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを用いて、区画形成された領域に向けて液状体を吐出させる液状体吐出方法、及び液状体を吐出する吐出ノズルを用いてカラーフィルターを形成するカラーフィルターの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから液状体を液滴として吐出し、任意の位置に着弾させることによって、所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置する液滴吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いて、基材上に区画形成された膜形成区画に、機能膜の材料を含む液状体を着弾させることによって、フィルター膜などの機能膜が形成されている。多くの機能膜は、所定の機能を実現するために、膜形成区画の全面に均等な膜厚の膜が形成されることが好ましい。
【０００３】
特許文献１には、基板上の画素Ｇを形成する描画対象領域Ａ内に、吐出ヘッドを走査させながら一定の吐出間隔にて液滴を吐出させる際に、描画対象領域Ａを取り囲むバンクに沿う外周側を除いた中央側に、描画対象領域Ａ内に液滴を吐出させない非吐出箇所Ｎを設けることによって、膜厚にムラを生じさせることなく描画対象領域に合わせて適量の液滴を着弾させ、高精度かつ高品質な描画を行うことができる液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法及び電子機器が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１５０３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、適切な膜厚の膜を形成するためには、膜厚に対応した適切な量の材料を吐出して着弾させることが必要である。形成する膜の厚さに対して着弾させる液状体の体積が大きい液状体を用いる場合には、着弾した液状体が区画形成された膜形成区画から溢れる場合があるという課題があった。溢れた液状体が隣の膜形成区画の液状体と混じりあう可能性があり、混じりあうことで、液状体が固化されて形成される膜の機能が本来の機能とは異なる機能になるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出方法は、基材上に区画形成された配置区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させる液状体吐出方法であって、前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる液状体吐出方法によれば、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に向けて液滴を吐出させる第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量が、他の吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少ない。
一般的に、液状体はその表面張力によって、表面積が小さい球形になろうとし、重力や液状体が置かれた面との濡れ特性などによる影響を受け、それらの力によって定まる形状になる。また、液状体を配置する配置区画は液状体に対して親液性を有し、配置区画を区画形成する区画境界部材は、液状体に対して撥液性を有することが好ましい。区画境界部材が液状体に対して撥液性を有することで、液状体が区画境界部材を乗り越え難くなり、液状体が区画境界部材を乗り越えて流出することを抑制することができる。これにより、区画境界部材によって周囲を囲まれた体積を超える量の液状体を配置区画の範囲内に保持することが可能となる。
配置区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が配置区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。
中央部分と端の部分との高低差は、配置区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、配置区画から流出し易くなる。例えば、矩形の配置区画であれば、短辺方向において中央部分と端との距離が短くなり、液状体の中央部との距離が最も短い長辺方向の中央において、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。
第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量が、他の吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少ないことによって、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に着弾する液状体の量を少なくすることができる。中心位置を含む中央部分に着弾させられる液状体の量を少なくすることにより、配置区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。これにより、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、配置区画から流出し易くなることを抑制することができる。
また、液状体が存在する部分に液滴が着弾して液状体に衝撃を加えることで、液状体が揺れる可能性がある。液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該揺れは、液状体が盛上った中央の部分に液滴が着弾する方が、周辺の薄い部分に着弾した場合にくらべて、大きくなると考えられる。液状体が盛上った中央の部分に着弾する液状体の量を少なくすることで、液滴が着弾することによって液状体が揺れることに起因して液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、配置区画から流出し易くなることを抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数が、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことが好ましい。
【００１０】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の、着弾領域の単位面積あたりの数が、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の、着弾領域の単位面積あたりの数より少ない。供給される液状体の量は、着弾した液滴の体積と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の着弾領域の単位面積あたりの数を少なくすることで、第一吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことが好ましい。
【００１２】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の少なくとも一部の液滴の液滴重量が、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の液滴重量より小さい。供給される液状体の量は、着弾した液滴の液滴重量（体積）と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の液滴重量を小さくすることで、第一吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００１４】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向の両端の着弾点位置に吐出する。したがって、短辺方向の中央である着弾領域の中央の部分に向けての吐出量は少なくなる。
着弾領域の中央の部分は、配置区画の中央付近である。配置区画の中央付近は、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が配置区画に着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されて、中央側が盛上った形状となっている液状体の、最も高くなる部分である。液状体が最も高くなる部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくすることで、その周辺の部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくする場合にくらべて効率よく、配置区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００１６】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向における中央の着弾点位置に吐出する。したがって、長辺方向の中央のノズルピッチの範囲で、短辺方向の両端に向けての吐出量は少なくなる。
配置区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が配置区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、配置区画の長手方向も短辺方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、配置区画から流出し易くなる。短辺方向における３個所以上の着弾点位置の中の両端の着弾点位置は、着弾点位置の中でも、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に在る着弾点位置である。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い着弾点位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、他の前記吐出ノズルのみ吐出することが好ましい。
【００１８】
この液状体吐出方法によれば、他の吐出ノズルのみが吐出を実施し、第一吐出ノズルは吐出を実施しない。
配置区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が配置区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、配置区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、配置区画から流出し易くなる。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【００１９】
［適用例７］本適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、基材上に区画形成された膜形成区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから、カラーフィルターを構成するフィルター膜の材料を含む液状体の液滴を吐出し、前記膜形成区画に前記フィルター膜を形成するカラーフィルターの製造方法であって、前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする。
【００２０】
本適用例にかかるカラーフィルターの製造方法によれば、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に向けて液滴を吐出させる第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量を、他の吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少なくする。
一般的に、液状体はその表面張力によって、表面積が小さい球形になろうとし、重力や液状体が置かれた面との濡れ特性などによる影響を受け、それらの力によって定まる形状になる。また、液状体を配置する膜形成区画は液状体に対して親液性を有し、膜形成区画を区画形成する区画境界部材は、液状体に対して撥液性を有することが好ましい。区画境界部材が液状体に対して撥液性を有することで、液状体が区画境界部材を乗り越え難くなり、液状体が区画境界部材を乗り越えて流出することを抑制することができる。これにより、区画境界部材によって周囲を囲まれた体積を超える量の液状体を膜形成区画の範囲内に保持することが可能となる。
膜形成区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が膜形成区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。
中央部分と端の部分との高低差は、膜形成区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、膜形成区画から流出し易くなる。例えば、矩形の膜形成区画であれば、短辺方向において中央部分と端との距離が短くなり、液状体の中央部との距離が最も短い長辺方向の中央において、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。
第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量を、他の吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少なくすることによって、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に着弾する液状体の量を少なくすることができる。中心位置を含む中央部分に着弾させられる液状体の量を少なくすることにより、膜形成区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。これにより、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、膜形成区画から流出し易くなることを抑制することができる。
また、液状体が存在する部分に液滴が着弾して液状体に衝撃を加えることで、液状体が揺れる可能性がある。液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該揺れは、液状体が盛上った中央の部分に液滴が着弾する方が、周辺の薄い部分に着弾した場合にくらべて、大きくなると考えられる。液状体が盛上った中央の部分に着弾する液状体の量を少なくすることで、液滴が着弾することによって液状体が揺れることに起因して液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、膜形成区画から流出し易くなることを抑制することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数が、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことが好ましい。
【００２２】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の単位面積あたりの数を、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の単位面積あたりの数より少なくする。供給される液状体の量は、着弾した液滴の体積と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の単位面積あたりの数を少なくすることで、第一吐出ノズルが吐出して着弾させる液状体の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことが好ましい。
【００２４】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の少なくとも一部の液滴の液滴重量が、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の液滴重量より小さい。供給される液状体の量は、着弾した液滴の液滴重量（体積）と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の液滴重量を小さくすることで、第一吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００２６】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向の両端の着弾点位置に吐出する。したがって、短辺方向の中央である着弾領域の中央の部分に向けての吐出量は少なくなる。
着弾領域の中央の部分は、膜形成区画の中央付近である。膜形成区画の中央付近は、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が膜形成区画に着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されて、中央側が盛上った形状となっている液状体の、最も高くなる部分である。液状体が最も高くなる部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくすることで、その周辺の部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくする場合にくらべて効率よく、膜形成区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００２８】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向における中央の着弾点位置に向けて吐出する。したがって、長辺方向の中央のノズルピッチの範囲で、短辺方向の両端に向けての吐出量は少なくなる。
膜形成区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が膜形成区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、膜形成区画の長手方向も短辺方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、膜形成区画から流出し易くなる。短辺方向における３個所以上の着弾点位置の中の両端の着弾点位置は、着弾点位置の中でも、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に在る着弾点位置である。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い着弾点位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、他の前記吐出ノズルのみ吐出することが好ましい。
【００３０】
このカラーフィルターの製造方法によれば、他の吐出ノズルのみが吐出を実施し、第一吐出ノズルは吐出を実施しない。
膜形成区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が膜形成区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、膜形成区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、膜形成区画から流出し易くなる。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図４】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図５】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図６】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図７】（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。
【図８】（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図。（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図。（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図。
【図９】（ａ）は、フィルター膜領域における全ての着弾点位置の位置を示す説明図。（ｂ）は、１回の吐出走査において着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図。（ｃ）は、吐出走査を３回実施して着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図。
【図１０】（ａ）は、配置された機能液の平面視の形状を示す説明図。（ｂ）は、配置された機能液の長辺方向の断面における形状を示す説明図。（ｃ）、（ｄ）、及び（ｅ）は、配置された機能液の短辺方向の断面における形状を定性的に示す説明図。
【図１１】（ａ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置の数を減らした例の着弾点位置の位置を示す説明図。（ｂ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置に着弾させる液滴の液滴重量を小さくする例の着弾点位置の位置を示す説明図。（ｃ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行に着弾点位置を設定しない例の着弾点位置の位置を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、液状体吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドによって機能液の液滴を吐出し、被吐出媒体上の所定の位置に機能液を配置する液滴吐出装置を用いて、カラーフィルターのフィルター膜を形成する工程における吐出方法を例に説明する。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと被吐出媒体とを相対移動させると共に、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液の液滴を吐出して、被吐出媒体上の所定の位置に着弾させることによって、所定の位置に機能液を配置する装置である。機能液が、液状体に相当する。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３３】
＜液滴吐出法＞
最初に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
帯電制御方式は、液状体に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状体の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状体に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に液状体を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状体が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状体間に静電的な反発が起こり、液状体が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状体を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００３４】
また、電気熱変換方式は、液状体を貯留した空間内に設けたヒーターにより、液状体を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状体を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状体を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに液状体のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状体を引き出すものである。この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。
【００３５】
液滴吐出法は、液状体の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の液状体を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状体に熱を加えないため、液状体の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状体選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００３６】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備える液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００３７】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、保守装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴を着弾させる対象であるワークＷを載置するワーク載置台３０を有している。機能液供給部４は、貯留タンクと、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド２０に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド２０に供給される。保守装置部５は、液滴吐出ヘッド２０の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。液滴吐出ヘッド２０が、吐出ヘッドに相当する。
【００３８】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在する状態で配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に立設された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在する状態で配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する給液チューブを有する機能液供給部４の貯留タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、保守装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００３９】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジと、ヘッドキャリッジが吊設された移動枠２２と、移動枠２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構２６とを、備えている。
移動枠２２を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
ワーク機構部３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。ワーク機構部３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構３６によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４０】
液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する位置に機能液を配置することが可能である。
【００４１】
保守装置部５は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構を備えている。検査装置は、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニットなどの、液滴吐出ヘッド２０の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド２０の各種の保守を実施する装置である。保守装置走査機構は、これらの各装置をＸ軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。
液滴吐出ヘッド２０の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が、Ｙ軸走査機構２６を用いて保守装置部５に臨む位置に移動させられる。また、実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構によって、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）に臨む位置に移動させられる。
【００４２】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図２に示したＹ軸、及びＺ軸は、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態において、図１に示したＹ軸、及びＺ軸と一致している。
【００４３】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＹ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は、等間隔のノズルピッチで並んでいる。液滴吐出ヘッド２０としては、Ｙ軸方向にノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。ノズルピッチは、例えば、７０．５μｍである。
【００４４】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５に圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部４から液滴吐出ヘッド２０に供給され、振動板５２の液供給孔５３を経由して液たまり５５に供給される。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００４５】
圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を経由して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。
【００４６】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子５９は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
【００４７】
電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子５９の活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る。すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液が液滴となって吐出される。
【００４８】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００４９】
図３に示したように、ヘッドユニット２１は、ユニットプレート２３と、ユニットプレート２３に搭載された９個の液滴吐出ヘッド２０と、を有している。液滴吐出ヘッド２０は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート２３に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体がユニットプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル基板２５が、ユニットプレート２３の面より突出した位置に位置している。図３は、ノズル基板２５の側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド組２０Ａを３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド２０のノズル列２４Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００５０】
一つのヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド２０の、一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４がノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０において、全ての吐出ノズル２４のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド２０が有するそれぞれのノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。
【００５１】
一つのヘッド組２０Ａが備える３個の液滴吐出ヘッド２０が有する３列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列は、例えば３６０個の３倍、１０８０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０．５μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約７６．０７ｍｍである。液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組２０Ａを構成している。
【００５２】
ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組２０Ａは、それぞれが有する１本のノズル列とみなせるノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列２４Ａのノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘッド組２０Ａを構成する液滴吐出ヘッド２０の、一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が、Ｙ軸方向において、ノズルピッチずれた位置に、配設されている。
【００５３】
一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組２０Ａにおける９個の液滴吐出ヘッド２０が有する９列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列を「ユニットノズル列２４０Ａ」と表記する。ユニットノズル列２４０Ａは、例えば３６０個の９倍、３２４０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０．５μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２２８．４ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット２１の吐出ノズル２４から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が７０．５μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。ユニットノズル列２４０Ａを構成する吐出ノズル２４が、複数の吐出ノズルに相当する。
【００５４】
液滴吐出装置１は、１個のヘッドユニット２１を備えており、１個のユニットノズル列２４０Ａを備えている。当該ユニットノズル列２４０Ａによって、１回の走査の間に、例えば３２４０個の点が７０．５μｍのピッチ間隔で連なる直線を形成することができる。
【００５５】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における液滴吐出ヘッド２０からの吐出制御方法について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００５６】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する吐出装置制御部６を備えている。吐出装置制御部６は、制御信号を出力するＣＰＵ８４と、液滴吐出ヘッド２０の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー２０ｄとを備えている。
図４に示すように、ヘッドドライバー２０ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド２０と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド２０は、吐出ノズル２４（図２参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスター（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフター（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００５７】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ８４がワークＷなどの被吐出媒体における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバー２０ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバー２０ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル２４ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスター８５に伝送される。
【００５８】
シフトレジスター８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフター８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル２４からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークＷなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
【００５９】
＜着弾位置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４と、それぞれの吐出ノズル２４から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図５を参照して説明する。図５は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図５（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図５（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図５（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図５（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図５に示した矢印ａの方向に吐出ノズル２４（液滴吐出ヘッド２０）を相対移動させながら、任意の位置において機能液の液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００６０】
図５（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。
【００６１】
図５（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点９１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円９１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。ノズル列２４Ａの全部の吐出ノズル２４から、図５（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。
【００６２】
図５（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル２４から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点９１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度と、吐出ノズル２４の最小吐出間隔との積である。
【００６３】
図５（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が、Ｘ軸方向に並列した着弾面が形成される。図５（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点９１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
【００６４】
機能液の配置に際しては、配置位置の情報に従って、図５（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１の位置について、液滴を着弾させる位置を定める。例えば、当該着弾位置、及び着弾位置に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４を指定した配置表を形成し、配置表に従って機能液の液滴を着弾させることによって、配置位置の情報によって規定される位置に機能液を配置する。なお、一般的に、機械装置は誤差を有しており、液滴吐出装置１による着弾位置も、規格を満たす範囲の位置誤差を有している。したがって、規定された着弾位置に着弾させるのは、詳細には、規定された着弾位置に向けて液滴を吐出して、規定された着弾位置に対して規格を満たす位置誤差の範囲内に着弾させることである。
また、図５（ｄ）に示した例では、着弾円９１Ａの間に隙間が存在するが、ノズルピッチＰや最小着弾距離ｄに対して、吐出させる液滴の１滴あたりの吐出重量を適切に定めることによって、隙間なく機能液を配置することが可能である。
【００６５】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いてフィルター膜を形成する対象物の一例としての液晶表示パネルについて、図６を参照して説明する。液晶表示パネル２００（図６参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルターの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルターを備える液晶表示パネルである。
図６は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図６に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスター（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００６６】
図６に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設されている。
【００６７】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の一部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の一部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００６８】
素子基板２１０の液晶と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００６９】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルター（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルター膜２０５Ｒと、緑色フィルター膜２０５Ｇと、青色フィルター膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルター膜領域２２５が形成されている。フィルター膜領域２２５には、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００７０】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００７１】
対向基板２２０の液晶と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７２】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図７を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図７（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図であり、図７（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものや、ＣＦ層２０８などを形成する前の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。
【００７３】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図７（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルター膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリックス状に形成し、当該フィルター膜領域２２５にフィルター膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【００７４】
図７（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。
【００７５】
＜カラーフィルター膜の配列＞
次に、対向基板２２０などに形成されているＣＦ層２０８などにおけるフィルター膜２０５（赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂ）などの配列について、図８を参照して説明する。図８は、３色カラーフィルターのフィルター膜の配列例を示す模式平面図である。図８（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図であり、図８（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図であり、図８（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図である。
【００７６】
図８に示すように、フィルター膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリックス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルター膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルター膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルター膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルター膜領域２２５を埋める膜状のフィルター膜２０５を形成する。フィルター膜領域２２５が、配置区画、又は膜形成区画に相当する。
【００７７】
３色カラーフィルターにおける赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂなどの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。
ストライプ配列は、図８（ａ）に示したように、マトリックスの縦列が全て同色の赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂ、になる配列である。
モザイク配列は、図８（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルター膜２０５を一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルターの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルター膜２０５が３色となる配列である。
デルタ配列は、図８（ｃ）に示したように、フィルター膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルターの場合、任意の隣接する３つのフィルター膜２０５が異なる色となる配色である。
【００７８】
図８（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルターにおいて、フィルター膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルター膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルター（以降、「絵素フィルター２５４」と表記する。）を形成している。
絵素フィルター２５４などの一つの絵素フィルターにおける、赤色フィルター膜（赤色フィルター膜２０５Ｒ）、緑色フィルター膜（緑色フィルター膜２０５Ｇ）、及び青色フィルター膜（青色フィルター膜２０５Ｂ）のいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させること、及び通過させる光の光量を調整することにより、フルカラー表示を行う。
【００７９】
＜着弾点位置の分布＞
次に、フィルター膜領域２２５における、着弾点位置１９１の分布、及び配置された機能液の状態について、図９及び図１０を参照して説明する。着弾点位置１９１は、機能液の液滴を着弾させる位置であって、上述した着弾点９１を位置させる位置である。
図９は、フィルター膜領域における着弾点位置の位置を示す説明図である。図９（ａ）は、フィルター膜領域における全ての着弾点位置の位置を示す説明図であり、図９（ｂ）は、１回の吐出走査において着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図であり、図９（ｃ）は、吐出走査を３回実施して着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図である。図１０は、配置された機能液の形状状態を示す説明図である。図１０（ａ）は、配置された機能液の平面視の形状を示す説明図であり、図１０（ｂ）は、配置された機能液の長辺方向の断面における形状を示す説明図であり、図１０（ｃ）、図１０（ｄ）、及び図１０（ｅ）は、配置された機能液の短辺方向の断面における形状を定性的に示す説明図である。図９又は図１０に矢印で示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、マザー対向基板２０１Ａが液滴吐出装置１のワーク載置台３０に載置された状態において、図１に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向と一致している。ＣＦ層２０８などを形成する前の状態のマザー対向基板２０１Ａが、基材に相当する。
【００８０】
マザー対向基板２０１Ａが液滴吐出装置１のワーク載置台３０に載置された状態においては、図９に示すように、略長方形形状のフィルター膜領域２２５の短辺方向が、液滴吐出装置１のＸ軸方向である。上述したように、吐出走査では、ヘッドユニット２１に対してマザー対向基板２０１Ａを走査させながら、吐出ノズル２４からフィルター膜領域２２５に向けて機能液を吐出させる。吐出走査における相対移動方向である吐出走査方向は、Ｘ軸方向に平行な、図９に矢印ａで示した方向である。ユニットノズル列２４０Ａは、Ｙ軸方向に延在しており、１回の吐出走査において、Ｙ軸方向にユニットノズル列２４０Ａのノズルピッチで線状に連なる着弾点位置１９１に、機能液の液滴を着弾させることができる。ユニットノズル列２４０Ａが備える１個の吐出ノズル２４からは、Ｘ軸方向に、最小着弾距離ｄの間隔で線状に連なる着弾点位置１９１に、機能液の液滴を着弾させることができる。すなわち、１回の吐出走査において、ユニットノズル列２４０Ａは、Ｙ軸方向にユニットノズル列２４０Ａのノズルピッチで線状に連なる着弾点位置１９１が、Ｘ軸方向に、最小着弾距離ｄの間隔で並んだ着弾点位置１９１に、機能液の液滴を着弾させることができる。
液滴を着弾させることができるが着弾点位置１９１としない位置を、着弾点位置１９１でないことを明示する場合に、非着弾点位置１９２と表記する。着弾点位置１９１のＸ軸方向の並びを着弾点位置１９１の行と表記し、着弾点位置１９１のＹ軸方向の並びを着弾点位置１９１の列と表記する。
【００８１】
着弾点位置１９１は、フィルター膜領域２２５に設定された着弾領域１２５の範囲に設定されている。着弾領域１２５は、着弾円９１Ａの半径や、着弾位置精度などを考慮して、設定されている。着弾領域１２５は、着弾点９１が着弾領域１２５の範囲に入れば、着弾円９１Ａは、隔壁２０４に重なることはなく、機能液が着弾する時点で液滴が隔壁２０４にかからない範囲である。
【００８２】
図９（ａ）に示したように、フィルター膜領域２２５には、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されており、所定の液滴重量の２１１滴の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。着弾点位置１９１は、３３行×７列の範囲に設定されている。３３行×７列の範囲の中央部分に、２０個所の非着弾点位置１９２が設定されており、着弾点位置１９１は２１１個所設定されている。
３３行の一番端の行を行９ａ１、５行目の行を行９ｂ１、以下４行目ごとに、行９ｃ１、行９ｄ１、行９ｅ１、行９ｆ１、行９ｇ１、行９ｈ１、行９ｉ１と表記する。行９ａ１、行９ｂ１、行９ｃ１、行９ｄ１、行９ｅ１、行９ｆ１、行９ｇ１、及び行９ｈ１の隣の行を、それぞれ行９ａ２、行９ｂ２、行９ｃ２、行９ｄ２、行９ｅ２、行９ｆ２、行９ｇ２、行９ｈ２と表記する。さらに隣の行を、それぞれ行９ａ３、行９ｂ３、行９ｃ３、行９ｄ３、行９ｅ３、行９ｆ３、行９ｇ３、行９ｈ３と表記する。さらに隣の行を、それぞれ行９ａ４、行９ｂ４、行９ｃ４、行９ｄ４、行９ｅ４、行９ｆ４、行９ｇ４、行９ｈ４と表記する。
【００８３】
Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかの着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００８４】
行９ｄ３は、第１列、第２列、及び第７列が、液滴を着弾させる着弾点位置１９１であり、第３列、乃至第６列が、液滴を着弾させない非着弾点位置１９２である。行９ｅ１、及び行９ｅ３も同様である。行９ｄ４、及び行９ｅ２は、第１列、第６列、及び第７列が、液滴を着弾させる着弾点位置１９１であり、第２列、乃至第５列が、液滴を着弾させない非着弾点位置１９２である。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行は、７列全てが着弾点位置１９１である。
着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させることによって、液滴が着弾領域１２５に着弾し、機能液がフィルター膜領域２２５に配置される。着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出される単位面積あたりの液滴の数が、行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１を含む範囲における単位面積あたりの液滴の数より少なくなっている。
【００８５】
１個のフィルター膜領域２２５に対して複数回（本実施形態では４回）の吐出走査を実施して、必要な量の機能液を配置する。配置される機能液の量は液滴の体積と個数の積であり、図９に示した例では、液滴の個数は、２１１個である。
吐出走査を複数回数実施する理由の１つは、１回の吐出走査において供給される機能液の量を少なくすることである。１回に２１１個の液滴を着弾させると、フィルター膜領域２２５を形成する隔壁２０４に囲まれた体積に対して、供給された機能液の量が過多となり、隔壁２０４を乗り越えて、隣のフィルター膜領域２２５に流入する可能性がある。２１１個の液滴を、４回に分けて吐出させることで、１回の吐出走査において供給される機能液の量を少なくしている。
吐出走査を複数回数実施する他の理由の１つは、ノズル列２４Ａの延在方向における着弾点位置１９１の配設ピッチを小さくすることである。着弾点位置１９１の配設ピッチを小さくすることで、着弾点位置１９１が重なることを抑制して、多数の着弾点位置１９１を設定することができる。ノズル列２４Ａの延在方向における改行幅をノズルピッチＰの整数倍と異ならせることによって、着弾点位置１９１の配設ピッチを、ノズルピッチＰより小さい行ピッチ（本実施形態では、ノズルピッチＰの１／４のピッチ）にしている。
【００８６】
１回目の吐出走査では、図９（ｂ）に示した、行９ａ１、行９ｂ１、行９ｃ１、行９ｄ１、行９ｅ１、行９ｆ１、行９ｇ１、行９ｈ１、及び９ｉ１の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる。２回目の吐出走査では、行９ａ２、行９ｂ２、行９ｃ２、行９ｄ２、行９ｅ２、行９ｆ２、行９ｇ２、及び行９ｈ２の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出し、３回目の吐出走査では、行９ａ３、行９ｂ３、行９ｃ３、行９ｄ３、行９ｅ３、行９ｆ３、行９ｇ３、及び行９ｈ３の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる。３回の吐出走査を実施して、上記した各行の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させることで、図９（ｃ）に示した着弾点位置１９１に向けての液滴の吐出を完了する。さらに、行９ａ４、行９ｂ４、行９ｃ４、行９ｄ４、行９ｅ４、行９ｆ４、行９ｇ４、及び行９ｈ４の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる４回目の吐出走査を実施して、図９（ａ）に示した着弾点位置１９１のそれぞれに向けての液滴の吐出を完了する。
【００８７】
吐出走査の間に、Ｙ軸走査機構２６によってヘッドユニット２１をＹ軸方向に移動させることによって、ヘッドユニット２１とマザー対向基板２０１ＡとのＹ軸方向の相対位置を移動させる改行を実施する。改行量は、例えば（ｎＰ＋１／４Ｐ）である。ｎは整数であり、ＰはノズルピッチＰである。ｎ＝０の場合、行９ａ１の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４から、行９ａ２、行９ａ３、及び行９ａ４の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる。ｎ＝１の場合、行９ａ１の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４から、行９ｂ２、行９ｃ３、及び行９ａ４の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる。
上述したように、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出される液滴の数が少なくなっている。行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００８８】
フィルター膜領域２２５に着弾して、未だ固化していない状態の機能液を機能液９３と表記する。機能液９３の液面を液面９３ａと表記する。
図１０（ｂ）、図１０（ｃ）、図１０（ｄ）、及び図１０（ｅ）に示すように、機能液９３は、機能液９３に対して撥液性に処理された隔壁２０４に乗り上げ難いため、隔壁２０４に囲まれた部分に入りきらない機能液９３が、フィルター膜領域２２５に盛上った状態となる。液面９３ａは、長辺方向及び短辺方向において中央が高くなる形状になっている。図１０に二点鎖線で示した液面９５は、着弾領域１２５の全面に、略均等に着弾点位置１９１を設定した場合の機能液９３の液面である。
【００８９】
図１０（ｃ）に示した断面は、行９ｅ１の近傍におけるＹ軸方向に略垂直な断面における断面形状である。上述したように、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出されて着弾する液滴の数が少ないため、液面９３ａの高さが、液面９５の高さより低くなっている。
図１０（ｅ）に示した断面は、行９ｉ１の近傍におけるＹ軸方向に略垂直な断面における断面形状である。図１０（ｄ）に示した断面は、行９ｅ１と行９ｉ１との中間付近におけるＹ軸方向に略垂直な断面における断面形状である。行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行に非着弾点位置１９２が設定されて、当該部分に着弾させない液滴に相当する液滴は、その他の位置に設定された着弾点位置１９１に着弾させる。これにより、フィルター膜領域２２５に配置することが必要な機能液９３の量が確保される。フィルター膜領域２２５の中央から離れた位置に向けて吐出されて着弾する液滴の数が多くなることによって、図１０（ｅ）に示した断面では、液面９３ａの高さが、液面９５の高さより高くなっている。図１０（ｄ）に示した断面では、液面９３ａの高さが、液面９５の高さと同じ程度の高さになっている。
【００９０】
図１０（ａ）及び図１０（ｃ）に示したように、フィルター膜領域２２５の中央における液面位置が高い部分では、平面方向に機能液を広げる方向に作用する圧力が高くなることに起因して、液面９５は、長辺方向の中央において、隔壁２０４に乗り上げる方向に広がっている。液面９３ａは、中央の高い部分の高さが液面９５より低いため、広がり方が小さくなっている。
液面９３ａは、液面９５にくらべて、隔壁２０４に乗り上げ難くなっている。すなわち、フィルター膜領域２２５の中央に配置する機能液液滴の数を少なくすることによって、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【００９１】
＜着弾点位置の他の分布例＞
次に、図９を参照して説明したフィルター膜領域２２５における着弾点位置１９１の分布とは異なる、着弾点位置１９１の分布例について、図１１を参照して説明する。図１１は、フィルター膜領域における着弾点位置の位置を示す説明図である。図１１（ａ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置の数を減らした例の着弾点位置の位置を示す説明図である。図１１（ｂ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置に着弾させる液滴の液滴重量を小さくする例の着弾点位置の位置を示す説明図である。図１１（ｃ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行に着弾点位置を設定しない例の着弾点位置の位置を示す説明図である。
【００９２】
図１１（ａ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、着弾点位置１９１は、３３行×７列の範囲に設定されている。３３行のそれぞれの行を、上述した例と同様に、行９ａ１から行９ｉ１と表記する。上述した例と同様に、フィルター膜領域２２５には、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されており、所定の液滴重量の２１１滴の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。図１１（ａ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、３３行×７列の範囲の中に、２０個所の非着弾点位置１９２が設定されている。
【００９３】
上述した分布例と同様に、Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。当該５行の中に、２０個所の非着弾点位置１９２が設定されている。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかの着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００９４】
行９ｄ３は、第１列、第２列、第６列、及び第７列が、液滴を着弾させない非着弾点位置１９２であり、第３列、第４列、及び第５列が、液滴を着弾させる着弾点位置１９１である。行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の４行も、行９ｄ３と同様である。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行は、７列全てが着弾点位置１９１である。
着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させることによって、液滴が着弾領域１２５に着弾し、機能液がフィルター膜領域２２５に配置される。着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出される単位面積あたりの液滴の数が、行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１を含む範囲における単位面積あたりの液滴の数より少なくなっている。すなわち、配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなっている。
【００９５】
着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している５行が含まれる範囲に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなることで、図１０を参照して説明した液面９３ａと同様に、中央の高さを抑制することができる。これにより、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【００９６】
図１１（ｂ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、着弾点位置１９１及び着弾点位置１９３が、３３行×７列の範囲に設定されている。着弾点位置１９３は、着弾点位置１９１に着弾させる液滴より液滴重量が小さい液滴を着弾させる位置を示している。３３行のそれぞれの行を、上述した例と同様に、行９ａ１から行９ｉ１と表記する。
フィルター膜領域２２５には、１９６個所の着弾点位置１９１と、３５個所の着弾点位置１９３とが設定されている。着弾点位置１９３に向けて吐出される液滴の液滴重量は、３５滴で、着弾点位置１９１に向けて吐出される液滴の１５滴分の液滴重量と同等の重量となる液滴重量である。１９６個所の着弾点位置１９１と、３５個所の着弾点位置１９３とにそれぞれ所定の液滴重量の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる量の機能液を供給することができる。
【００９７】
上述した分布例と同様に、Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。当該５行は、３５個所の着弾点位置１９３が設定されて形成されている。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかの着弾点位置１９３に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００９８】
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行は、３５個所の着弾点位置１９３が設定されて形成されている。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行は、７列全てが着弾点位置１９１である。
着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、液滴重量が小さい液滴が着弾させられる着弾点位置１９３が設定されている。これにより、当該範囲に向けて吐出される機能液の単位面積あたりの重量、すなわち体積が、行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１を含む範囲における単位面積あたりの体積より小さくなっている。すなわち、配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなっている。
【００９９】
着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している５行が含まれる範囲に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなることで、図１０を参照して説明した液面９３ａと同様に、中央の高さを抑制することができる。これにより、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【０１００】
図１１（ｃ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、着弾点位置１９１は、３３行×８列の範囲に設定されている。３３行のそれぞれの行を、上述した例と同様に、行９ａ１から行９ｉ１と表記する。上述した例と同様に、フィルター膜領域２２５には、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されており、所定の液滴重量の２１１滴の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。
図１１（ｃ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、３３行×７列の範囲の中に、１９６個所の着弾点位置１９１と、３５個所の非着弾点位置１９２とが設定されている。８列目に１５個の着弾点位置１９１が設定されており、７列に設定された１９６個所と合わせて、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されている。
【０１０１】
上述した分布例と同様に、Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。当該５行は、非着弾点位置１９２が設定されており、着弾点位置１９１や着弾点位置１９３は設定されていない。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかに向けて液滴を吐出可能な位置に位置しているが、着弾点位置１９１や着弾点位置１９３が設定されていないために、当該位置においては吐出を実施しない吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【０１０２】
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行の位置には、着弾点位置１９１や着弾点位置１９３は設定されていない。このため、液滴は、この部分に向けては吐出されない。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行の位置に向けては、全体で２１１滴の液滴が吐出される。上述したように、フィルター膜領域２２５に２１１滴の液滴を配置することで、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。したがって、フィルター膜領域２２５に所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる量の機能液９３を配置するとともに、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の長手方向の略中央に液滴が着弾することを抑制している。すなわち、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の長手方向の略中央に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなっている。
【０１０３】
フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の長手方向の略中央に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなることで、図１０を参照して説明した液面９３ａと同様に、中央の高さを抑制することができる。これにより、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【０１０４】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）図９を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、機能液９３の液面９５が最も高くなる部分に非着弾点位置１９２が設定されている。液面９５が最も高くなる部分に供給する液滴を少なくすることで、効率よく液面９３ａの最も高くなる部分の高さを抑制することができる。また、液面９５が最も高くなる部分に液滴が着弾することで液面９５が揺れることを、抑制することができる。
【０１０５】
（２）図１１（ａ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、機能液９３の液面９５が最も高くなる中央部分における短辺方向の両側に、非着弾点位置１９２が設定されている。フィルター膜領域２２５に機能液９３が盛上った状態では、フィルター膜領域２２５の長辺の中央において、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い。中央部分における短辺方向の両側に非着弾点位置１９２を設定することで、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い部分に近い位置に着弾させることによって供給する機能液の量を抑制して、効率よく機能液９３が隔壁２０４に乗り上げることを抑制することができる。
また、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い部分に近い位置に着弾する液滴の数を抑制することで、液滴が着弾することによって、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い部分に近い位置の液面９３ａが揺れることに起因して機能液９３が隔壁２０４に乗り上げることを抑制することができる。
【０１０６】
（３）図１１（ｂ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、中央の５行には、着弾点位置１９１に着弾させる液滴より液滴重量が小さい液滴を着弾させる位置を示す着弾点位置１９３が配置されている。中央の５行を含む範囲の全面において液滴重量を小さくすることで、当該範囲に液滴を着弾させることによって配置される機能液を確実に少なくすることができる。液滴重量が小さい液滴を着弾させることで、液滴を着弾させることによって着弾させた位置を確実に機能液で濡らせることができるとともに、着弾させた位置に着弾させた液滴によって配置する機能液を少なくすることができる。
【０１０７】
（４）図１１（ｃ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、中央の５行には、非着弾点位置１９２が設定されている。中央の５行を含む範囲の全面において液滴を着弾させないことで、当該範囲に液滴を着弾させることによって配置される機能液を確実に少なくすることができる。
【０１０８】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１０９】
（変形例１）前記実施形態においては、図９を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例や、図１１（ａ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、非着弾点位置１９２を設定することによって、着弾させる機能液の量を少なくしていた。しかし、着弾させる機能液の量を少なくするために、着弾点位置１９１を、液滴を配置しない非着弾点位置１９２に設定することは必須ではない。着弾点位置１９３のような液滴重量が小さい着弾点位置を設定することで、着弾させる機能液の量を少なくする方法であってもよい。
【０１１０】
（変形例２）前記実施形態においては、フィルター膜領域２２５に液滴を着弾させる吐出走査における吐出走査方向は、フィルター膜領域２２５の長手方向に略直交する方向であった。しかし、膜形成区画や配置区画に液滴を着弾させる吐出走査における吐出走査方向が膜形成区画や配置区画の長手方向に略直交する方向であることは必須ではない。吐出走査方向は、膜形成区画や配置区画の長手方向に略平行な方向などの方向であってもよい。
吐出走査方向が、フィルター膜領域２２５の長手方向に略直交する方向とは異なり、長手方向に略平行な方向などの方向である場合、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかに向けて液滴を吐出可能な位置に位置している状態の吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【０１１１】
（変形例３）前記実施形態においては、機能液を吐出して製造する対象が、液晶表示パネル２００のカラーフィルターであったが、前記実施形態で説明した吐出方法を用いて好適に製造できるカラーフィルターは、液晶表示パネル用のカラーフィルターに限らない。有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置に用いるカラーフィルターなど、他の装置に用いるカラーフィルターであってもよい。
また、前記実施形態で説明した吐出方法を用いる対象がカラーフィルターであることも必須ではない。上述した吐出方法を、有機ＥＬ装置の発光層（膜）などの機能層（膜）を形成するために用いることで、有機ＥＬ装置の発光層（膜）などの機能層（膜）を好適に形成することができる。上述した吐出方法は、その他の区画形成された区画に膜を形成することが必要な場合においても、好適に適用することができる。
【０１１２】
（変形例４）前記実施形態においては、１個のフィルター膜領域２２５に対して４回の吐出走査を実施して、必要な量の機能液を配置していた。しかし、１個所の膜形成区画や配置区画に対する吐出走査の回数は、何回であってもよい。吐出走査の回数を多くすることで、１個所の膜形成区画や配置区画により多量の液状体を着弾させることができたり、より多くの数の液滴を着弾させることができたり、より多くの着弾位置に液滴を着弾させることができたりする利点を有する。吐出走査の回数を少なくすることで、吐出走査によって液状体を配置するために要する時間を短くすることができる。
【０１１３】
（変形例５）前記実施形態においては、それぞれ特徴を有する４種類の着弾点位置の分布例について説明したが、着弾点位置の分布は上述した分布に限らない。例えば、複数回の吐出走査のそれぞれの吐出走査ごとに、上述した４種類の着弾点位置の分布のいずれかに対応する着弾点位置に向けて吐出を実施してもよい。最初の方の吐出走査においては吐出させる液状体の単位面積あたりの量が多くなる分布に従って吐出し、既に実施した吐出走査において膜の一部が形成されている膜形成区画又は配置区画に向けて吐出を実施する後の方の吐出走査においては吐出させる液状体の単位面積あたりの量が少なくなる分布に従って吐出してもよい。
【０１１４】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１に吐出させる機能液の種類については特に記載しなかったが、色が異なるなど種類の異なる機能液を吐出してもよい。色が異なる複数種類の機能液を吐出させることでカラー描画も可能である。ＣＦ層２０８を備える３色カラーフィルターに、１台の液滴吐出装置１を用いて、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂを形成することも可能である。機能液の種類は、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、液滴吐出ヘッドごとに異ならせてもよい。吐出ノズルごとに機能液を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる機能液を吐出してもよい。
【０１１５】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を１個備えていた。しかし、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットが１個であることは必須ではない。液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは、いくつであってもよい。液滴吐出装置が複数のヘッドユニットを備える場合、ヘッドユニットごとに、吐出させる機能液の種類を異ならせてもよい。
【０１１６】
（変形例８）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１は、液滴吐出ヘッド２０を９個備えていたが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが９個であることは必須ではない。ヘッドユニットが備える吐出ヘッドは、いくつであってもよい。
【０１１７】
（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０は、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａを１列備えていたが、吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であってもよい。液滴吐出ヘッドが複数のノズル列を備える場合、ノズル列ごとに、吐出させる機能液の種類を異ならせてもよい。
【０１１８】
（変形例１０）前記実施形態においては、Ｘ軸走査機構３６によってワーク載置台３０をＸ軸方向に移動させることでマザー対向基板２０１ＡをＸ軸方向に移動し、Ｙ軸走査機構２６によって、吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）をＹ軸方向に移動することで、マザー対向基板２０１Ａと吐出ノズル２４とを平面方向において相対移動させていた。基材と吐出ノズルとを相対移動させるために基材と吐出ノズルの両方を移動させることは必須ではない。基材と吐出ノズル（吐出ヘッド）のいずれか一方を平面方向に移動させることで、基材と吐出ノズルとを相対移動させる構成であってもよい。
【０１１９】
（変形例１１）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａにおけるノズルピッチは約７０．５μｍであった。しかし、液滴吐出ヘッドにおけるノズルの配置は、液滴吐出ヘッド２０における配置に限らない。ノズル列におけるノズルピッチは７０．５μｍとは異なるノズルピッチであってもよい。
【符号の説明】
【０１２０】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、６…吐出装置制御部、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２３…ユニットプレート、２４…吐出ノズル、２４Ａ…ノズル列、２６…Ｙ軸走査機構、３０…ワーク載置台、３６…Ｘ軸走査機構、８４…ＣＰＵ、９１…着弾点、９１Ａ…着弾円、９３…機能液、９３ａ…液面、９５…液面、１２５…着弾領域、１９１…着弾点位置、１９２…非着弾点位置、１９３…着弾点位置、２００…液晶表示パネル、２０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０４…隔壁、２０５…フィルター膜、２０５Ｂ…青色フィルター膜、２０５Ｇ…緑色フィルター膜、２０５Ｒ…赤色フィルター膜、２０８…カラーフィルター層、２２５…フィルター膜領域、２４０Ａ…ユニットノズル列。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを用いて、区画形成された領域に向けて液状体を吐出させる液状体吐出方法、及び液状体を吐出する吐出ノズルを用いてカラーフィルターを形成するカラーフィルターの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから液状体を液滴として吐出し、任意の位置に着弾させることによって、所定の量の液状体を所定の位置に精度よく配置する液滴吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いて、基材上に区画形成された膜形成区画に、機能膜の材料を含む液状体を着弾させることによって、フィルター膜などの機能膜が形成されている。多くの機能膜は、所定の機能を実現するために、膜形成区画の全面に均等な膜厚の膜が形成されることが好ましい。
【０００３】
特許文献１には、基板上の画素Ｇを形成する描画対象領域Ａ内に、吐出ヘッドを走査させながら一定の吐出間隔にて液滴を吐出させる際に、描画対象領域Ａを取り囲むバンクに沿う外周側を除いた中央側に、描画対象領域Ａ内に液滴を吐出させない非吐出箇所Ｎを設けることによって、膜厚にムラを生じさせることなく描画対象領域に合わせて適量の液滴を着弾させ、高精度かつ高品質な描画を行うことができる液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法及び電子機器が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１５０３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、適切な膜厚の膜を形成するためには、膜厚に対応した適切な量の材料を吐出して着弾させることが必要である。形成する膜の厚さに対して着弾させる液状体の体積が大きい液状体を用いる場合には、着弾した液状体が区画形成された膜形成区画から溢れる場合があるという課題があった。溢れた液状体が隣の膜形成区画の液状体と混じりあう可能性があり、混じりあうことで、液状体が固化されて形成される膜の機能が本来の機能とは異なる機能になるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出方法は、基材上に区画形成された配置区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させる液状体吐出方法であって、前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる液状体吐出方法によれば、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に向けて液滴を吐出させる第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量が、他の吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少ない。
一般的に、液状体はその表面張力によって、表面積が小さい球形になろうとし、重力や液状体が置かれた面との濡れ特性などによる影響を受け、それらの力によって定まる形状になる。また、液状体を配置する配置区画は液状体に対して親液性を有し、配置区画を区画形成する区画境界部材は、液状体に対して撥液性を有することが好ましい。区画境界部材が液状体に対して撥液性を有することで、液状体が区画境界部材を乗り越え難くなり、液状体が区画境界部材を乗り越えて流出することを抑制することができる。これにより、区画境界部材によって周囲を囲まれた体積を超える量の液状体を配置区画の範囲内に保持することが可能となる。
配置区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が配置区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。
中央部分と端の部分との高低差は、配置区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、配置区画から流出し易くなる。例えば、矩形の配置区画であれば、短辺方向において中央部分と端との距離が短くなり、液状体の中央部との距離が最も短い長辺方向の中央において、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。
第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量が、他の吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少ないことによって、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に着弾する液状体の量を少なくすることができる。中心位置を含む中央部分に着弾させられる液状体の量を少なくすることにより、配置区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。これにより、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、配置区画から流出し易くなることを抑制することができる。
また、液状体が存在する部分に液滴が着弾して液状体に衝撃を加えることで、液状体が揺れる可能性がある。液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該揺れは、液状体が盛上った中央の部分に液滴が着弾する方が、周辺の薄い部分に着弾した場合にくらべて、大きくなると考えられる。液状体が盛上った中央の部分に着弾する液状体の量を少なくすることで、液滴が着弾することによって液状体が揺れることに起因して液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、配置区画から流出し易くなることを抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数が、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことが好ましい。
【００１０】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の、着弾領域の単位面積あたりの数が、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の、着弾領域の単位面積あたりの数より少ない。供給される液状体の量は、着弾した液滴の体積と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の着弾領域の単位面積あたりの数を少なくすることで、第一吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことが好ましい。
【００１２】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の少なくとも一部の液滴の液滴重量が、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の液滴重量より小さい。供給される液状体の量は、着弾した液滴の液滴重量（体積）と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の液滴重量を小さくすることで、第一吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００１４】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向の両端の着弾点位置に吐出する。したがって、短辺方向の中央である着弾領域の中央の部分に向けての吐出量は少なくなる。
着弾領域の中央の部分は、配置区画の中央付近である。配置区画の中央付近は、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が配置区画に着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されて、中央側が盛上った形状となっている液状体の、最も高くなる部分である。液状体が最も高くなる部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくすることで、その周辺の部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくする場合にくらべて効率よく、配置区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００１６】
この液状体吐出方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向における中央の着弾点位置に吐出する。したがって、長辺方向の中央のノズルピッチの範囲で、短辺方向の両端に向けての吐出量は少なくなる。
配置区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が配置区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、配置区画の長手方向も短辺方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、配置区画から流出し易くなる。短辺方向における３個所以上の着弾点位置の中の両端の着弾点位置は、着弾点位置の中でも、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に在る着弾点位置である。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い着弾点位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出方法は、他の前記吐出ノズルのみ吐出することが好ましい。
【００１８】
この液状体吐出方法によれば、他の吐出ノズルのみが吐出を実施し、第一吐出ノズルは吐出を実施しない。
配置区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が配置区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、配置区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、配置区画から流出し易くなる。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【００１９】
［適用例７］本適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、基材上に区画形成された膜形成区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから、カラーフィルターを構成するフィルター膜の材料を含む液状体の液滴を吐出し、前記膜形成区画に前記フィルター膜を形成するカラーフィルターの製造方法であって、前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする。
【００２０】
本適用例にかかるカラーフィルターの製造方法によれば、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に向けて液滴を吐出させる第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量を、他の吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少なくする。
一般的に、液状体はその表面張力によって、表面積が小さい球形になろうとし、重力や液状体が置かれた面との濡れ特性などによる影響を受け、それらの力によって定まる形状になる。また、液状体を配置する膜形成区画は液状体に対して親液性を有し、膜形成区画を区画形成する区画境界部材は、液状体に対して撥液性を有することが好ましい。区画境界部材が液状体に対して撥液性を有することで、液状体が区画境界部材を乗り越え難くなり、液状体が区画境界部材を乗り越えて流出することを抑制することができる。これにより、区画境界部材によって周囲を囲まれた体積を超える量の液状体を膜形成区画の範囲内に保持することが可能となる。
膜形成区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が膜形成区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。
中央部分と端の部分との高低差は、膜形成区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、膜形成区画から流出し易くなる。例えば、矩形の膜形成区画であれば、短辺方向において中央部分と端との距離が短くなり、液状体の中央部との距離が最も短い長辺方向の中央において、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。
第一吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量を、他の吐出ノズルに吐出させる液状体の、着弾領域の単位面積あたりの吐出量より少なくすることによって、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に着弾する液状体の量を少なくすることができる。中心位置を含む中央部分に着弾させられる液状体の量を少なくすることにより、膜形成区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。これにより、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、膜形成区画から流出し易くなることを抑制することができる。
また、液状体が存在する部分に液滴が着弾して液状体に衝撃を加えることで、液状体が揺れる可能性がある。液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該揺れは、液状体が盛上った中央の部分に液滴が着弾する方が、周辺の薄い部分に着弾した場合にくらべて、大きくなると考えられる。液状体が盛上った中央の部分に着弾する液状体の量を少なくすることで、液滴が着弾することによって液状体が揺れることに起因して液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができ、膜形成区画から流出し易くなることを抑制することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数が、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことが好ましい。
【００２２】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の単位面積あたりの数を、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の単位面積あたりの数より少なくする。供給される液状体の量は、着弾した液滴の体積と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の単位面積あたりの数を少なくすることで、第一吐出ノズルが吐出して着弾させる液状体の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことが好ましい。
【００２４】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の少なくとも一部の液滴の液滴重量が、他の吐出ノズルに着弾領域に向けて吐出させる液滴の液滴重量より小さい。供給される液状体の量は、着弾した液滴の液滴重量（体積）と数の積である。したがって、第一吐出ノズルに吐出させる液滴の液滴重量を小さくすることで、第一吐出ノズルが吐出する液状体の、着弾領域の単位面積あたりの量を少なくすることができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００２６】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向の両端の着弾点位置に吐出する。したがって、短辺方向の中央である着弾領域の中央の部分に向けての吐出量は少なくなる。
着弾領域の中央の部分は、膜形成区画の中央付近である。膜形成区画の中央付近は、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が膜形成区画に着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されて、中央側が盛上った形状となっている液状体の、最も高くなる部分である。液状体が最も高くなる部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくすることで、その周辺の部分に着弾する液状体の単位面積あたりの量を少なくする場合にくらべて効率よく、膜形成区画内の液状体の中央部が盛上った形状における中央部の高さを抑制することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、前記第一吐出ノズルが、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することが好ましい。
【００２８】
このカラーフィルターの製造方法によれば、第一吐出ノズルから、短辺方向における中央の着弾点位置に向けて吐出する。したがって、長辺方向の中央のノズルピッチの範囲で、短辺方向の両端に向けての吐出量は少なくなる。
膜形成区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が膜形成区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、膜形成区画の長手方向も短辺方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、膜形成区画から流出し易くなる。短辺方向における３個所以上の着弾点位置の中の両端の着弾点位置は、着弾点位置の中でも、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に在る着弾点位置である。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い着弾点位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。当該着弾点位置に向けて吐出する吐出量を少なくすることで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかるカラーフィルターの製造方法は、他の前記吐出ノズルのみ吐出することが好ましい。
【００３０】
このカラーフィルターの製造方法によれば、他の吐出ノズルのみが吐出を実施し、第一吐出ノズルは吐出を実施しない。
膜形成区画に、区画境界部材によって囲まれた体積を超える量が着弾して、区画境界部材によって流出することを阻止されている液状体は、底面の形状が膜形成区画の形状であり、中央側が盛上った形状となる。中央部分と端の部分との高低差は、膜形成区画の長手方向も長手方向と交差する方向も同じであり、中央部分と端との距離が短い端においては、液面の水平面に対する角度が急になるため、液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる。すなわち、膜形成区画から流出し易くなる。
最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることで、区画境界部材に乗り上げ易くなる可能性が高い。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液状体の量を少なくすることができる。
これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液状体が供給されることに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
また、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することで、乗り上げ易い部分の液状体が揺れることによって、液状体が区画境界部材に乗り上げる可能性が高くなる。第一吐出ノズルが吐出を実施しないことで、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に着弾する液滴の数を少なくすることができる。これにより、最も液状体が区画境界部材に乗り上げ易くなる部分に近い位置に多くの液滴が着弾することに起因して、区画境界部材に乗り上げ易くなることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図４】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図５】（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図。（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図。（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図。
【図６】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図７】（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。
【図８】（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図。（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図。（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図。
【図９】（ａ）は、フィルター膜領域における全ての着弾点位置の位置を示す説明図。（ｂ）は、１回の吐出走査において着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図。（ｃ）は、吐出走査を３回実施して着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図。
【図１０】（ａ）は、配置された機能液の平面視の形状を示す説明図。（ｂ）は、配置された機能液の長辺方向の断面における形状を示す説明図。（ｃ）、（ｄ）、及び（ｅ）は、配置された機能液の短辺方向の断面における形状を定性的に示す説明図。
【図１１】（ａ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置の数を減らした例の着弾点位置の位置を示す説明図。（ｂ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置に着弾させる液滴の液滴重量を小さくする例の着弾点位置の位置を示す説明図。（ｃ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行に着弾点位置を設定しない例の着弾点位置の位置を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、液状体吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドによって機能液の液滴を吐出し、被吐出媒体上の所定の位置に機能液を配置する液滴吐出装置を用いて、カラーフィルターのフィルター膜を形成する工程における吐出方法を例に説明する。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと被吐出媒体とを相対移動させると共に、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液の液滴を吐出して、被吐出媒体上の所定の位置に着弾させることによって、所定の位置に機能液を配置する装置である。機能液が、液状体に相当する。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３３】
＜液滴吐出法＞
最初に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。
帯電制御方式は、液状体に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状体の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状体に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に液状体を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状体が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状体間に静電的な反発が起こり、液状体が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状体を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から液状体を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００３４】
また、電気熱変換方式は、液状体を貯留した空間内に設けたヒーターにより、液状体を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状体を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状体を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに液状体のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状体を引き出すものである。この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。
【００３５】
液滴吐出法は、液状体の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の液状体を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状体に熱を加えないため、液状体の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状体選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００３６】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備える液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００３７】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、保守装置部５とを備えている。ヘッド機構部２は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有している。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴を着弾させる対象であるワークＷを載置するワーク載置台３０を有している。機能液供給部４は、貯留タンクと、中継タンクと、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド２０に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド２０に供給される。保守装置部５は、液滴吐出ヘッド２０の検査又は保守を実施する各装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部などを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。液滴吐出ヘッド２０が、吐出ヘッドに相当する。
【００３８】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在する状態で配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に立設された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在する状態で配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する給液チューブを有する機能液供給部４の貯留タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、保守装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００３９】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジと、ヘッドキャリッジが吊設された移動枠２２と、移動枠２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構２６とを、備えている。
移動枠２２を、Ｙ軸走査機構２６によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
ワーク機構部３は、ワーク載置台３０と、Ｘ軸走査機構３６とを備えている。ワーク機構部３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構３６によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４０】
液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する位置に機能液を配置することが可能である。
【００４１】
保守装置部５は、各種検査装置、各種保守装置、及び保守装置走査機構を備えている。検査装置は、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態の検査を実施する吐出検査ユニットなどの、液滴吐出ヘッド２０の検査を実施する装置である。保守装置は、液滴吐出ヘッド２０の各種の保守を実施する装置である。保守装置走査機構は、これらの各装置をＸ軸方向に移動可能であって、任意の位置に保持可能に支持する装置である。
液滴吐出ヘッド２０の検査や保守を実施する際には、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）が、Ｙ軸走査機構２６を用いて保守装置部５に臨む位置に移動させられる。また、実施する検査又は保守に対応する検査装置又は保守装置が、保守装置走査機構によって、ヘッドユニット２１（液滴吐出ヘッド２０）に臨む位置に移動させられる。
【００４２】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド２０について、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。図２に示したＹ軸、及びＺ軸は、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態において、図１に示したＹ軸、及びＺ軸と一致している。
【００４３】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５を備えている。ノズル基板２５には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが形成されている。吐出ノズル２４から機能液を液滴として吐出し、対向する位置にある描画対象物などに着弾させることで、当該位置に機能液を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１に示したＹ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は、等間隔のノズルピッチで並んでいる。液滴吐出ヘッド２０としては、Ｙ軸方向にノズルピッチ間隔で機能液の液滴を配置することができる。ノズルピッチは、例えば、７０．５μｍである。
【００４４】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２５に圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液滴吐出ヘッド２０に供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズル基板２５と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。機能液は、機能液供給部４から液滴吐出ヘッド２０に供給され、振動板５２の液供給孔５３を経由して液たまり５５に供給される。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズル基板２５と、２個のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００４５】
圧力室５８は吐出ノズル２４のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。圧力室５８には、２個のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を経由して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル２４と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。
【００４６】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は、電極層と圧電材料とを積層した活性部を有している。圧電素子５９は、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）における振動板５２の厚さ方向）に縮む。電極層に印加されていた駆動電圧が解除されることで、活性部が元の長さに戻る。
【００４７】
電極層に駆動電圧が印加されて、圧電素子５９の活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る。すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル２４から機能液が液滴となって吐出される。
【００４８】
＜ヘッドユニット＞
次に、ヘッド機構部２が備えるヘッドユニット２１の概略構成について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００４９】
図３に示したように、ヘッドユニット２１は、ユニットプレート２３と、ユニットプレート２３に搭載された９個の液滴吐出ヘッド２０と、を有している。液滴吐出ヘッド２０は、図示省略したヘッド保持部材を介してユニットプレート２３に固定されている。固定された液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド本体がユニットプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル基板２５が、ユニットプレート２３の面より突出した位置に位置している。図３は、ノズル基板２５の側から見た図である。９個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド組２０Ａを３群、形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド２０のノズル列２４Ａは、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、Ｙ軸方向に延在している。
【００５０】
一つのヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド２０の、一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４がノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。ヘッド組２０Ａが有する３個の液滴吐出ヘッド２０において、全ての吐出ノズル２４のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド２０が有するそれぞれのノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。
【００５１】
一つのヘッド組２０Ａが備える３個の液滴吐出ヘッド２０が有する３列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列は、例えば３６０個の３倍、１０８０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０．５μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約７６．０７ｍｍである。液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組２０Ａを構成している。
【００５２】
ヘッドユニット２１が有する３つのヘッド組２０Ａは、それぞれが有する１本のノズル列とみなせるノズル列が、Ｙ軸方向において、ノズル列２４Ａのノズルピッチずれて位置する位置に、配設されている。言い換えると、それぞれのヘッドユニット２１は、互いに隣り合うヘッド組２０Ａを構成する液滴吐出ヘッド２０の、一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４に対して、もう一方のヘッド組２０Ａにおける液滴吐出ヘッド２０の端の吐出ノズル２４が、Ｙ軸方向において、ノズルピッチずれた位置に、配設されている。
【００５３】
一つのヘッドユニット２１が備える３つのヘッド組２０Ａにおける９個の液滴吐出ヘッド２０が有する９列のノズル列２４Ａは、１本のノズル列として扱うこともできる。当該ノズル列を「ユニットノズル列２４０Ａ」と表記する。ユニットノズル列２４０Ａは、例えば３６０個の９倍、３２４０個の吐出ノズル２４を有し、Ｙ軸方向におけるノズルピッチは、７０．５μｍであり、Ｙ軸方向の両端の吐出ノズル２４の中心間距離（ノズル列長さ）は、約２２８．４ｍｍである。即ち、一つのヘッドユニット２１の吐出ノズル２４から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、３２４０個の点が７０．５μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。ユニットノズル列２４０Ａを構成する吐出ノズル２４が、複数の吐出ノズルに相当する。
【００５４】
液滴吐出装置１は、１個のヘッドユニット２１を備えており、１個のユニットノズル列２４０Ａを備えている。当該ユニットノズル列２４０Ａによって、１回の走査の間に、例えば３２４０個の点が７０．５μｍのピッチ間隔で連なる直線を形成することができる。
【００５５】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における液滴吐出ヘッド２０からの吐出制御方法について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００５６】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する吐出装置制御部６を備えている。吐出装置制御部６は、制御信号を出力するＣＰＵ８４と、液滴吐出ヘッド２０の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバー２０ｄとを備えている。
図４に示すように、ヘッドドライバー２０ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド２０と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド２０は、吐出ノズル２４（図２参照）ごとに設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスター（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフター（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【００５７】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ８４がワークＷなどの被吐出媒体における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバー２０ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバー２０ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル２４ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスター８５に伝送される。
【００５８】
シフトレジスター８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフター８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されない。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル２４からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークＷなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。
【００５９】
＜着弾位置＞
次に、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル２４と、それぞれの吐出ノズル２４から吐出された液滴の着弾位置と、の関係について、図５を参照して説明する。図５は、吐出ノズルと、それぞれの吐出ノズルから吐出された液滴の着弾位置と、の関係を示す説明図である。図５（ａ）は、吐出ノズルの配置位置を示す説明図であり、図５（ｂ）は、液滴をノズル列の延在方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図５（ｃ）は、液滴を主走査方向に直線状に着弾させた状態を示す説明図であり、図５（ｄ）は、液滴を面状に着弾させた状態を示す説明図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。Ｘ軸方向が主走査方向であって、図５に示した矢印ａの方向に吐出ノズル２４（液滴吐出ヘッド２０）を相対移動させながら、任意の位置において機能液の液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向の任意の位置に液滴を着弾させることができる。
【００６０】
図５（ａ）に示すように、ノズル列２４Ａを構成する吐出ノズル２４は、Ｙ軸方向にノズルピッチＰの中心間距離で配列されている。
【００６１】
図５（ｂ）に示すように、着弾位置を示す着弾点９１と、着弾した液滴の濡れ広がり状態を示す着弾円９１Ａとで、着弾した１滴の液滴の状態を示している。ノズル列２４Ａの全部の吐出ノズル２４から、図５（ｂ）に一点鎖線で示した仮想線Ｌ上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。
【００６２】
図５（ｃ）に示すように、一つの吐出ノズル２４から連続して液滴を吐出させることによって、Ｘ軸方向に着弾円９１Ａが連なる直線が形成される。Ｘ軸方向における着弾点９１間の中心間距離の最小値を、最小着弾距離ｄと表記する。最小着弾距離ｄは、主走査方向の相対移動速度と、吐出ノズル２４の最小吐出間隔との積である。
【００６３】
図５（ｄ）に示すように、一点鎖線で示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上に着弾させるタイミングで、それぞれ液滴を吐出させることによって、ノズルピッチＰの中心間間隔で着弾円９１Ａが連なる直線が、Ｘ軸方向に並列した着弾面が形成される。図５（ｄ）に示した仮想線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３間の距離が最小着弾距離ｄの場合のそれぞれの着弾点９１が、液滴吐出装置１によって機能液の液滴を配置可能な位置である。
【００６４】
機能液の配置に際しては、配置位置の情報に従って、図５（ｄ）に示したそれぞれの着弾点９１の位置について、液滴を着弾させる位置を定める。例えば、当該着弾位置、及び着弾位置に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４を指定した配置表を形成し、配置表に従って機能液の液滴を着弾させることによって、配置位置の情報によって規定される位置に機能液を配置する。なお、一般的に、機械装置は誤差を有しており、液滴吐出装置１による着弾位置も、規格を満たす範囲の位置誤差を有している。したがって、規定された着弾位置に着弾させるのは、詳細には、規定された着弾位置に向けて液滴を吐出して、規定された着弾位置に対して規格を満たす位置誤差の範囲内に着弾させることである。
また、図５（ｄ）に示した例では、着弾円９１Ａの間に隙間が存在するが、ノズルピッチＰや最小着弾距離ｄに対して、吐出させる液滴の１滴あたりの吐出重量を適切に定めることによって、隙間なく機能液を配置することが可能である。
【００６５】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いてフィルター膜を形成する対象物の一例としての液晶表示パネルについて、図６を参照して説明する。液晶表示パネル２００（図６参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルターの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルターを備える液晶表示パネルである。
図６は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図６に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスター（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００６６】
図６に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶と、を備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１又は偏光板２３２が、配設されている。
【００６７】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の一部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の一部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４とに信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００６８】
素子基板２１０の液晶と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００６９】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルター（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルター膜２０５Ｒと、緑色フィルター膜２０５Ｇと、青色フィルター膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１の上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成されており、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルター膜領域２２５が形成されている。フィルター膜領域２２５には、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００７０】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００７１】
対向基板２２０の液晶と接する面には、少なくとも画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７２】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図７を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されることによってガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図７（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図であり、図７（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものや、ＣＦ層２０８などを形成する前の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。
【００７３】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図７（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルター膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリックス状に形成し、当該フィルター膜領域２２５にフィルター膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【００７４】
図７（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。
【００７５】
＜カラーフィルター膜の配列＞
次に、対向基板２２０などに形成されているＣＦ層２０８などにおけるフィルター膜２０５（赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂ）などの配列について、図８を参照して説明する。図８は、３色カラーフィルターのフィルター膜の配列例を示す模式平面図である。図８（ａ）は、ストライプ配列を示す模式平面図であり、図８（ｂ）は、モザイク配列を示す模式平面図であり、図８（ｃ）は、デルタ配列を示す模式平面図である。
【００７６】
図８に示すように、フィルター膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリックス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルター膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルター膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルター膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルター膜領域２２５を埋める膜状のフィルター膜２０５を形成する。フィルター膜領域２２５が、配置区画、又は膜形成区画に相当する。
【００７７】
３色カラーフィルターにおける赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂなどの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。
ストライプ配列は、図８（ａ）に示したように、マトリックスの縦列が全て同色の赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、又は青色フィルター膜２０５Ｂ、になる配列である。
モザイク配列は、図８（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルター膜２０５を一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルターの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルター膜２０５が３色となる配列である。
デルタ配列は、図８（ｃ）に示したように、フィルター膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルターの場合、任意の隣接する３つのフィルター膜２０５が異なる色となる配色である。
【００７８】
図８（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルターにおいて、フィルター膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルター膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルター（以降、「絵素フィルター２５４」と表記する。）を形成している。
絵素フィルター２５４などの一つの絵素フィルターにおける、赤色フィルター膜（赤色フィルター膜２０５Ｒ）、緑色フィルター膜（緑色フィルター膜２０５Ｇ）、及び青色フィルター膜（青色フィルター膜２０５Ｂ）のいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させること、及び通過させる光の光量を調整することにより、フルカラー表示を行う。
【００７９】
＜着弾点位置の分布＞
次に、フィルター膜領域２２５における、着弾点位置１９１の分布、及び配置された機能液の状態について、図９及び図１０を参照して説明する。着弾点位置１９１は、機能液の液滴を着弾させる位置であって、上述した着弾点９１を位置させる位置である。
図９は、フィルター膜領域における着弾点位置の位置を示す説明図である。図９（ａ）は、フィルター膜領域における全ての着弾点位置の位置を示す説明図であり、図９（ｂ）は、１回の吐出走査において着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図であり、図９（ｃ）は、吐出走査を３回実施して着弾させる着弾点位置の位置を示す説明図である。図１０は、配置された機能液の形状状態を示す説明図である。図１０（ａ）は、配置された機能液の平面視の形状を示す説明図であり、図１０（ｂ）は、配置された機能液の長辺方向の断面における形状を示す説明図であり、図１０（ｃ）、図１０（ｄ）、及び図１０（ｅ）は、配置された機能液の短辺方向の断面における形状を定性的に示す説明図である。図９又は図１０に矢印で示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、マザー対向基板２０１Ａが液滴吐出装置１のワーク載置台３０に載置された状態において、図１に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向と一致している。ＣＦ層２０８などを形成する前の状態のマザー対向基板２０１Ａが、基材に相当する。
【００８０】
マザー対向基板２０１Ａが液滴吐出装置１のワーク載置台３０に載置された状態においては、図９に示すように、略長方形形状のフィルター膜領域２２５の短辺方向が、液滴吐出装置１のＸ軸方向である。上述したように、吐出走査では、ヘッドユニット２１に対してマザー対向基板２０１Ａを走査させながら、吐出ノズル２４からフィルター膜領域２２５に向けて機能液を吐出させる。吐出走査における相対移動方向である吐出走査方向は、Ｘ軸方向に平行な、図９に矢印ａで示した方向である。ユニットノズル列２４０Ａは、Ｙ軸方向に延在しており、１回の吐出走査において、Ｙ軸方向にユニットノズル列２４０Ａのノズルピッチで線状に連なる着弾点位置１９１に、機能液の液滴を着弾させることができる。ユニットノズル列２４０Ａが備える１個の吐出ノズル２４からは、Ｘ軸方向に、最小着弾距離ｄの間隔で線状に連なる着弾点位置１９１に、機能液の液滴を着弾させることができる。すなわち、１回の吐出走査において、ユニットノズル列２４０Ａは、Ｙ軸方向にユニットノズル列２４０Ａのノズルピッチで線状に連なる着弾点位置１９１が、Ｘ軸方向に、最小着弾距離ｄの間隔で並んだ着弾点位置１９１に、機能液の液滴を着弾させることができる。
液滴を着弾させることができるが着弾点位置１９１としない位置を、着弾点位置１９１でないことを明示する場合に、非着弾点位置１９２と表記する。着弾点位置１９１のＸ軸方向の並びを着弾点位置１９１の行と表記し、着弾点位置１９１のＹ軸方向の並びを着弾点位置１９１の列と表記する。
【００８１】
着弾点位置１９１は、フィルター膜領域２２５に設定された着弾領域１２５の範囲に設定されている。着弾領域１２５は、着弾円９１Ａの半径や、着弾位置精度などを考慮して、設定されている。着弾領域１２５は、着弾点９１が着弾領域１２５の範囲に入れば、着弾円９１Ａは、隔壁２０４に重なることはなく、機能液が着弾する時点で液滴が隔壁２０４にかからない範囲である。
【００８２】
図９（ａ）に示したように、フィルター膜領域２２５には、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されており、所定の液滴重量の２１１滴の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。着弾点位置１９１は、３３行×７列の範囲に設定されている。３３行×７列の範囲の中央部分に、２０個所の非着弾点位置１９２が設定されており、着弾点位置１９１は２１１個所設定されている。
３３行の一番端の行を行９ａ１、５行目の行を行９ｂ１、以下４行目ごとに、行９ｃ１、行９ｄ１、行９ｅ１、行９ｆ１、行９ｇ１、行９ｈ１、行９ｉ１と表記する。行９ａ１、行９ｂ１、行９ｃ１、行９ｄ１、行９ｅ１、行９ｆ１、行９ｇ１、及び行９ｈ１の隣の行を、それぞれ行９ａ２、行９ｂ２、行９ｃ２、行９ｄ２、行９ｅ２、行９ｆ２、行９ｇ２、行９ｈ２と表記する。さらに隣の行を、それぞれ行９ａ３、行９ｂ３、行９ｃ３、行９ｄ３、行９ｅ３、行９ｆ３、行９ｇ３、行９ｈ３と表記する。さらに隣の行を、それぞれ行９ａ４、行９ｂ４、行９ｃ４、行９ｄ４、行９ｅ４、行９ｆ４、行９ｇ４、行９ｈ４と表記する。
【００８３】
Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかの着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００８４】
行９ｄ３は、第１列、第２列、及び第７列が、液滴を着弾させる着弾点位置１９１であり、第３列、乃至第６列が、液滴を着弾させない非着弾点位置１９２である。行９ｅ１、及び行９ｅ３も同様である。行９ｄ４、及び行９ｅ２は、第１列、第６列、及び第７列が、液滴を着弾させる着弾点位置１９１であり、第２列、乃至第５列が、液滴を着弾させない非着弾点位置１９２である。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行は、７列全てが着弾点位置１９１である。
着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させることによって、液滴が着弾領域１２５に着弾し、機能液がフィルター膜領域２２５に配置される。着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出される単位面積あたりの液滴の数が、行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１を含む範囲における単位面積あたりの液滴の数より少なくなっている。
【００８５】
１個のフィルター膜領域２２５に対して複数回（本実施形態では４回）の吐出走査を実施して、必要な量の機能液を配置する。配置される機能液の量は液滴の体積と個数の積であり、図９に示した例では、液滴の個数は、２１１個である。
吐出走査を複数回数実施する理由の１つは、１回の吐出走査において供給される機能液の量を少なくすることである。１回に２１１個の液滴を着弾させると、フィルター膜領域２２５を形成する隔壁２０４に囲まれた体積に対して、供給された機能液の量が過多となり、隔壁２０４を乗り越えて、隣のフィルター膜領域２２５に流入する可能性がある。２１１個の液滴を、４回に分けて吐出させることで、１回の吐出走査において供給される機能液の量を少なくしている。
吐出走査を複数回数実施する他の理由の１つは、ノズル列２４Ａの延在方向における着弾点位置１９１の配設ピッチを小さくすることである。着弾点位置１９１の配設ピッチを小さくすることで、着弾点位置１９１が重なることを抑制して、多数の着弾点位置１９１を設定することができる。ノズル列２４Ａの延在方向における改行幅をノズルピッチＰの整数倍と異ならせることによって、着弾点位置１９１の配設ピッチを、ノズルピッチＰより小さい行ピッチ（本実施形態では、ノズルピッチＰの１／４のピッチ）にしている。
【００８６】
１回目の吐出走査では、図９（ｂ）に示した、行９ａ１、行９ｂ１、行９ｃ１、行９ｄ１、行９ｅ１、行９ｆ１、行９ｇ１、行９ｈ１、及び９ｉ１の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる。２回目の吐出走査では、行９ａ２、行９ｂ２、行９ｃ２、行９ｄ２、行９ｅ２、行９ｆ２、行９ｇ２、及び行９ｈ２の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出し、３回目の吐出走査では、行９ａ３、行９ｂ３、行９ｃ３、行９ｄ３、行９ｅ３、行９ｆ３、行９ｇ３、及び行９ｈ３の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる。３回の吐出走査を実施して、上記した各行の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させることで、図９（ｃ）に示した着弾点位置１９１に向けての液滴の吐出を完了する。さらに、行９ａ４、行９ｂ４、行９ｃ４、行９ｄ４、行９ｅ４、行９ｆ４、行９ｇ４、及び行９ｈ４の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる４回目の吐出走査を実施して、図９（ａ）に示した着弾点位置１９１のそれぞれに向けての液滴の吐出を完了する。
【００８７】
吐出走査の間に、Ｙ軸走査機構２６によってヘッドユニット２１をＹ軸方向に移動させることによって、ヘッドユニット２１とマザー対向基板２０１ＡとのＹ軸方向の相対位置を移動させる改行を実施する。改行量は、例えば（ｎＰ＋１／４Ｐ）である。ｎは整数であり、ＰはノズルピッチＰである。ｎ＝０の場合、行９ａ１の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４から、行９ａ２、行９ａ３、及び行９ａ４の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる。ｎ＝１の場合、行９ａ１の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４から、行９ｂ２、行９ｃ３、及び行９ａ４の着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる。
上述したように、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出される液滴の数が少なくなっている。行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００８８】
フィルター膜領域２２５に着弾して、未だ固化していない状態の機能液を機能液９３と表記する。機能液９３の液面を液面９３ａと表記する。
図１０（ｂ）、図１０（ｃ）、図１０（ｄ）、及び図１０（ｅ）に示すように、機能液９３は、機能液９３に対して撥液性に処理された隔壁２０４に乗り上げ難いため、隔壁２０４に囲まれた部分に入りきらない機能液９３が、フィルター膜領域２２５に盛上った状態となる。液面９３ａは、長辺方向及び短辺方向において中央が高くなる形状になっている。図１０に二点鎖線で示した液面９５は、着弾領域１２５の全面に、略均等に着弾点位置１９１を設定した場合の機能液９３の液面である。
【００８９】
図１０（ｃ）に示した断面は、行９ｅ１の近傍におけるＹ軸方向に略垂直な断面における断面形状である。上述したように、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出されて着弾する液滴の数が少ないため、液面９３ａの高さが、液面９５の高さより低くなっている。
図１０（ｅ）に示した断面は、行９ｉ１の近傍におけるＹ軸方向に略垂直な断面における断面形状である。図１０（ｄ）に示した断面は、行９ｅ１と行９ｉ１との中間付近におけるＹ軸方向に略垂直な断面における断面形状である。行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行に非着弾点位置１９２が設定されて、当該部分に着弾させない液滴に相当する液滴は、その他の位置に設定された着弾点位置１９１に着弾させる。これにより、フィルター膜領域２２５に配置することが必要な機能液９３の量が確保される。フィルター膜領域２２５の中央から離れた位置に向けて吐出されて着弾する液滴の数が多くなることによって、図１０（ｅ）に示した断面では、液面９３ａの高さが、液面９５の高さより高くなっている。図１０（ｄ）に示した断面では、液面９３ａの高さが、液面９５の高さと同じ程度の高さになっている。
【００９０】
図１０（ａ）及び図１０（ｃ）に示したように、フィルター膜領域２２５の中央における液面位置が高い部分では、平面方向に機能液を広げる方向に作用する圧力が高くなることに起因して、液面９５は、長辺方向の中央において、隔壁２０４に乗り上げる方向に広がっている。液面９３ａは、中央の高い部分の高さが液面９５より低いため、広がり方が小さくなっている。
液面９３ａは、液面９５にくらべて、隔壁２０４に乗り上げ難くなっている。すなわち、フィルター膜領域２２５の中央に配置する機能液液滴の数を少なくすることによって、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【００９１】
＜着弾点位置の他の分布例＞
次に、図９を参照して説明したフィルター膜領域２２５における着弾点位置１９１の分布とは異なる、着弾点位置１９１の分布例について、図１１を参照して説明する。図１１は、フィルター膜領域における着弾点位置の位置を示す説明図である。図１１（ａ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置の数を減らした例の着弾点位置の位置を示す説明図である。図１１（ｂ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行における着弾点位置に着弾させる液滴の液滴重量を小さくする例の着弾点位置の位置を示す説明図である。図１１（ｃ）は、フィルター膜領域における長手方向の中央の行に着弾点位置を設定しない例の着弾点位置の位置を示す説明図である。
【００９２】
図１１（ａ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、着弾点位置１９１は、３３行×７列の範囲に設定されている。３３行のそれぞれの行を、上述した例と同様に、行９ａ１から行９ｉ１と表記する。上述した例と同様に、フィルター膜領域２２５には、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されており、所定の液滴重量の２１１滴の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。図１１（ａ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、３３行×７列の範囲の中に、２０個所の非着弾点位置１９２が設定されている。
【００９３】
上述した分布例と同様に、Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。当該５行の中に、２０個所の非着弾点位置１９２が設定されている。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかの着弾点位置１９１に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００９４】
行９ｄ３は、第１列、第２列、第６列、及び第７列が、液滴を着弾させない非着弾点位置１９２であり、第３列、第４列、及び第５列が、液滴を着弾させる着弾点位置１９１である。行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の４行も、行９ｄ３と同様である。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行は、７列全てが着弾点位置１９１である。
着弾点位置１９１に向けて機能液の液滴を吐出させることによって、液滴が着弾領域１２５に着弾し、機能液がフィルター膜領域２２５に配置される。着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、非着弾点位置１９２が設定されており、当該範囲に向けて吐出される単位面積あたりの液滴の数が、行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１を含む範囲における単位面積あたりの液滴の数より少なくなっている。すなわち、配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなっている。
【００９５】
着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している５行が含まれる範囲に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなることで、図１０を参照して説明した液面９３ａと同様に、中央の高さを抑制することができる。これにより、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【００９６】
図１１（ｂ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、着弾点位置１９１及び着弾点位置１９３が、３３行×７列の範囲に設定されている。着弾点位置１９３は、着弾点位置１９１に着弾させる液滴より液滴重量が小さい液滴を着弾させる位置を示している。３３行のそれぞれの行を、上述した例と同様に、行９ａ１から行９ｉ１と表記する。
フィルター膜領域２２５には、１９６個所の着弾点位置１９１と、３５個所の着弾点位置１９３とが設定されている。着弾点位置１９３に向けて吐出される液滴の液滴重量は、３５滴で、着弾点位置１９１に向けて吐出される液滴の１５滴分の液滴重量と同等の重量となる液滴重量である。１９６個所の着弾点位置１９１と、３５個所の着弾点位置１９３とにそれぞれ所定の液滴重量の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる量の機能液を供給することができる。
【００９７】
上述した分布例と同様に、Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。当該５行は、３５個所の着弾点位置１９３が設定されて形成されている。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかの着弾点位置１９３に向けて液滴を吐出させる吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【００９８】
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行は、３５個所の着弾点位置１９３が設定されて形成されている。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行は、７列全てが着弾点位置１９１である。
着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行には、液滴重量が小さい液滴が着弾させられる着弾点位置１９３が設定されている。これにより、当該範囲に向けて吐出される機能液の単位面積あたりの重量、すなわち体積が、行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１を含む範囲における単位面積あたりの体積より小さくなっている。すなわち、配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなっている。
【００９９】
着弾領域１２５の長手方向の中央のノズルピッチＰの範囲に位置している５行が含まれる範囲に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなることで、図１０を参照して説明した液面９３ａと同様に、中央の高さを抑制することができる。これにより、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【０１００】
図１１（ｃ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、着弾点位置１９１は、３３行×８列の範囲に設定されている。３３行のそれぞれの行を、上述した例と同様に、行９ａ１から行９ｉ１と表記する。上述した例と同様に、フィルター膜領域２２５には、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されており、所定の液滴重量の２１１滴の液滴を着弾させることによって、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。
図１１（ｃ）に示した着弾点位置１９１の分布例では、３３行×７列の範囲の中に、１９６個所の着弾点位置１９１と、３５個所の非着弾点位置１９２とが設定されている。８列目に１５個の着弾点位置１９１が設定されており、７列に設定された１９６個所と合わせて、２１１個所の着弾点位置１９１が設定されている。
【０１０１】
上述した分布例と同様に、Ｙ軸方向における行間ピッチは、ノズル列２４ＡにおけるノズルピッチＰの１／４である。Ｙ軸方向における中央の行は、行９ｅ１である。行９ｅ１を挟んで対称の位置に位置する行９ｄ３と行９ｅ３行との行間ピッチはＰである。行９ｅ１を挟んでノズルピッチＰの範囲に、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行が位置している。当該５行は、非着弾点位置１９２が設定されており、着弾点位置１９１や着弾点位置１９３は設定されていない。
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかに向けて液滴を吐出可能な位置に位置しているが、着弾点位置１９１や着弾点位置１９３が設定されていないために、当該位置においては吐出を実施しない吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【０１０２】
行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行の位置には、着弾点位置１９１や着弾点位置１９３は設定されていない。このため、液滴は、この部分に向けては吐出されない。行９ａ１から行９ｄ２、及び行９ｅ４から行９ｉ１の各行の位置に向けては、全体で２１１滴の液滴が吐出される。上述したように、フィルター膜領域２２５に２１１滴の液滴を配置することで、所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる。したがって、フィルター膜領域２２５に所定の膜厚のフィルター膜２０５を形成することができる量の機能液９３を配置するとともに、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の長手方向の略中央に液滴が着弾することを抑制している。すなわち、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の長手方向の略中央に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなっている。
【０１０３】
フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の長手方向の略中央に配置される機能液の単位面積あたりの量が少なくなることで、図１０を参照して説明した液面９３ａと同様に、中央の高さを抑制することができる。これにより、フィルター膜領域２２５（着弾領域１２５）の中央における機能液の高さを抑制することで、機能液が隔壁２０４に乗り上げ難くすることができる。
【０１０４】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）図９を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、機能液９３の液面９５が最も高くなる部分に非着弾点位置１９２が設定されている。液面９５が最も高くなる部分に供給する液滴を少なくすることで、効率よく液面９３ａの最も高くなる部分の高さを抑制することができる。また、液面９５が最も高くなる部分に液滴が着弾することで液面９５が揺れることを、抑制することができる。
【０１０５】
（２）図１１（ａ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、機能液９３の液面９５が最も高くなる中央部分における短辺方向の両側に、非着弾点位置１９２が設定されている。フィルター膜領域２２５に機能液９３が盛上った状態では、フィルター膜領域２２５の長辺の中央において、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い。中央部分における短辺方向の両側に非着弾点位置１９２を設定することで、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い部分に近い位置に着弾させることによって供給する機能液の量を抑制して、効率よく機能液９３が隔壁２０４に乗り上げることを抑制することができる。
また、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い部分に近い位置に着弾する液滴の数を抑制することで、液滴が着弾することによって、機能液９３が隔壁２０４に乗り上げ易い部分に近い位置の液面９３ａが揺れることに起因して機能液９３が隔壁２０４に乗り上げることを抑制することができる。
【０１０６】
（３）図１１（ｂ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、中央の５行には、着弾点位置１９１に着弾させる液滴より液滴重量が小さい液滴を着弾させる位置を示す着弾点位置１９３が配置されている。中央の５行を含む範囲の全面において液滴重量を小さくすることで、当該範囲に液滴を着弾させることによって配置される機能液を確実に少なくすることができる。液滴重量が小さい液滴を着弾させることで、液滴を着弾させることによって着弾させた位置を確実に機能液で濡らせることができるとともに、着弾させた位置に着弾させた液滴によって配置する機能液を少なくすることができる。
【０１０７】
（４）図１１（ｃ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、中央の５行には、非着弾点位置１９２が設定されている。中央の５行を含む範囲の全面において液滴を着弾させないことで、当該範囲に液滴を着弾させることによって配置される機能液を確実に少なくすることができる。
【０１０８】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１０９】
（変形例１）前記実施形態においては、図９を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例や、図１１（ａ）を参照して説明した着弾点位置１９１の配置例では、非着弾点位置１９２を設定することによって、着弾させる機能液の量を少なくしていた。しかし、着弾させる機能液の量を少なくするために、着弾点位置１９１を、液滴を配置しない非着弾点位置１９２に設定することは必須ではない。着弾点位置１９３のような液滴重量が小さい着弾点位置を設定することで、着弾させる機能液の量を少なくする方法であってもよい。
【０１１０】
（変形例２）前記実施形態においては、フィルター膜領域２２５に液滴を着弾させる吐出走査における吐出走査方向は、フィルター膜領域２２５の長手方向に略直交する方向であった。しかし、膜形成区画や配置区画に液滴を着弾させる吐出走査における吐出走査方向が膜形成区画や配置区画の長手方向に略直交する方向であることは必須ではない。吐出走査方向は、膜形成区画や配置区画の長手方向に略平行な方向などの方向であってもよい。
吐出走査方向が、フィルター膜領域２２５の長手方向に略直交する方向とは異なり、長手方向に略平行な方向などの方向である場合、行９ｄ３、行９ｄ４、行９ｅ１、行９ｅ２、及び行９ｅ３の５行のいずれかに向けて液滴を吐出可能な位置に位置している状態の吐出ノズル２４が、第一吐出ノズルに相当する。
【０１１１】
（変形例３）前記実施形態においては、機能液を吐出して製造する対象が、液晶表示パネル２００のカラーフィルターであったが、前記実施形態で説明した吐出方法を用いて好適に製造できるカラーフィルターは、液晶表示パネル用のカラーフィルターに限らない。有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置に用いるカラーフィルターなど、他の装置に用いるカラーフィルターであってもよい。
また、前記実施形態で説明した吐出方法を用いる対象がカラーフィルターであることも必須ではない。上述した吐出方法を、有機ＥＬ装置の発光層（膜）などの機能層（膜）を形成するために用いることで、有機ＥＬ装置の発光層（膜）などの機能層（膜）を好適に形成することができる。上述した吐出方法は、その他の区画形成された区画に膜を形成することが必要な場合においても、好適に適用することができる。
【０１１２】
（変形例４）前記実施形態においては、１個のフィルター膜領域２２５に対して４回の吐出走査を実施して、必要な量の機能液を配置していた。しかし、１個所の膜形成区画や配置区画に対する吐出走査の回数は、何回であってもよい。吐出走査の回数を多くすることで、１個所の膜形成区画や配置区画により多量の液状体を着弾させることができたり、より多くの数の液滴を着弾させることができたり、より多くの着弾位置に液滴を着弾させることができたりする利点を有する。吐出走査の回数を少なくすることで、吐出走査によって液状体を配置するために要する時間を短くすることができる。
【０１１３】
（変形例５）前記実施形態においては、それぞれ特徴を有する４種類の着弾点位置の分布例について説明したが、着弾点位置の分布は上述した分布に限らない。例えば、複数回の吐出走査のそれぞれの吐出走査ごとに、上述した４種類の着弾点位置の分布のいずれかに対応する着弾点位置に向けて吐出を実施してもよい。最初の方の吐出走査においては吐出させる液状体の単位面積あたりの量が多くなる分布に従って吐出し、既に実施した吐出走査において膜の一部が形成されている膜形成区画又は配置区画に向けて吐出を実施する後の方の吐出走査においては吐出させる液状体の単位面積あたりの量が少なくなる分布に従って吐出してもよい。
【０１１４】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１に吐出させる機能液の種類については特に記載しなかったが、色が異なるなど種類の異なる機能液を吐出してもよい。色が異なる複数種類の機能液を吐出させることでカラー描画も可能である。ＣＦ層２０８を備える３色カラーフィルターに、１台の液滴吐出装置１を用いて、赤色フィルター膜２０５Ｒ、緑色フィルター膜２０５Ｇ、及び青色フィルター膜２０５Ｂを形成することも可能である。機能液の種類は、ヘッド組ごとに異ならせてもよいし、液滴吐出ヘッドごとに異ならせてもよい。吐出ノズルごとに機能液を個別に供給できる液滴吐出ヘッドを用いて、吐出ノズルごとに異なる機能液を吐出してもよい。
【０１１５】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット２１を１個備えていた。しかし、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットが１個であることは必須ではない。液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは、いくつであってもよい。液滴吐出装置が複数のヘッドユニットを備える場合、ヘッドユニットごとに、吐出させる機能液の種類を異ならせてもよい。
【０１１６】
（変形例８）前記実施形態においては、ヘッドユニット２１は、液滴吐出ヘッド２０を９個備えていたが、ヘッドユニットが備える吐出ヘッドが９個であることは必須ではない。ヘッドユニットが備える吐出ヘッドは、いくつであってもよい。
【０１１７】
（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０は、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａを１列備えていたが、吐出ヘッドが備えるノズル列は何列であってもよい。液滴吐出ヘッドが複数のノズル列を備える場合、ノズル列ごとに、吐出させる機能液の種類を異ならせてもよい。
【０１１８】
（変形例１０）前記実施形態においては、Ｘ軸走査機構３６によってワーク載置台３０をＸ軸方向に移動させることでマザー対向基板２０１ＡをＸ軸方向に移動し、Ｙ軸走査機構２６によって、吐出ノズル２４を備える液滴吐出ヘッド２０（ヘッドユニット２１）をＹ軸方向に移動することで、マザー対向基板２０１Ａと吐出ノズル２４とを平面方向において相対移動させていた。基材と吐出ノズルとを相対移動させるために基材と吐出ノズルの両方を移動させることは必須ではない。基材と吐出ノズル（吐出ヘッド）のいずれか一方を平面方向に移動させることで、基材と吐出ノズルとを相対移動させる構成であってもよい。
【０１１９】
（変形例１１）前記実施形態においては、ノズル列２４Ａにおけるノズルピッチは約７０．５μｍであった。しかし、液滴吐出ヘッドにおけるノズルの配置は、液滴吐出ヘッド２０における配置に限らない。ノズル列におけるノズルピッチは７０．５μｍとは異なるノズルピッチであってもよい。
【符号の説明】
【０１２０】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、６…吐出装置制御部、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２３…ユニットプレート、２４…吐出ノズル、２４Ａ…ノズル列、２６…Ｙ軸走査機構、３０…ワーク載置台、３６…Ｘ軸走査機構、８４…ＣＰＵ、９１…着弾点、９１Ａ…着弾円、９３…機能液、９３ａ…液面、９５…液面、１２５…着弾領域、１９１…着弾点位置、１９２…非着弾点位置、１９３…着弾点位置、２００…液晶表示パネル、２０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０４…隔壁、２０５…フィルター膜、２０５Ｂ…青色フィルター膜、２０５Ｇ…緑色フィルター膜、２０５Ｒ…赤色フィルター膜、２０８…カラーフィルター層、２２５…フィルター膜領域、２４０Ａ…ユニットノズル列。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に区画形成された配置区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させる液状体吐出方法であって、
前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、
前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする液状体吐出方法。
【請求項２】
前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出方法。
【請求項３】
前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出方法。
【請求項４】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液状体吐出方法。
【請求項５】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液状体吐出方法。
【請求項６】
他の前記吐出ノズルのみ吐出することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液状体吐出方法。
【請求項７】
基材上に区画形成された膜形成区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから、カラーフィルターを構成するフィルター膜の材料を含む液状体の液滴を吐出し、前記膜形成区画に前記フィルター膜を形成するカラーフィルターの製造方法であって、
前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、
前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする、請求項７に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項９】
前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことを特徴とする、請求項７に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１０】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項８又は９に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１１】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項８又は９に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１２】
他の前記吐出ノズルのみ吐出することを特徴とする、請求項８又は９に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１】
基材上に区画形成された配置区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させる液状体吐出方法であって、
前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、
前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする液状体吐出方法。
【請求項２】
前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出方法。
【請求項３】
前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出方法。
【請求項４】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液状体吐出方法。
【請求項５】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液状体吐出方法。
【請求項６】
他の前記吐出ノズルのみ吐出することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液状体吐出方法。
【請求項７】
基材上に区画形成された膜形成区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから、カラーフィルターを構成するフィルター膜の材料を含む液状体の液滴を吐出し、前記膜形成区画に前記フィルター膜を形成するカラーフィルターの製造方法であって、
前記複数の吐出ノズルは、前記着弾領域の長手方向における中心位置を含む前記ノズルピッチの範囲に向けて前記液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、
前記着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
前記着弾領域の単位面積あたりの吐出数は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも少ないことを特徴とする、請求項７に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項９】
前記着弾領域に向けて吐出させる少なくとも一部の前記液滴の液滴重量は、前記第一吐出ノズルの方が、他の前記吐出ノズルよりも小さいことを特徴とする、請求項７に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１０】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、前記短辺方向の両端の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項８又は９に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１１】
前記第一吐出ノズルは、前記着弾領域の短辺方向における前記液滴を吐出可能な３個所以上の着弾点位置の内、中央の前記着弾点位置に吐出することを特徴とする、請求項８又は９に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項１２】
他の前記吐出ノズルのみ吐出することを特徴とする、請求項８又は９に記載のカラーフィルターの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−１１０８４０（Ｐ２０１２−１１０８４０Ａ）
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２６２１９０（Ｐ２０１０−２６２１９０）
【出願日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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