溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計
【課題】アモルファスカーボン電極を使用した場合にも、電極が破損損傷したり、表面が傷つくことがなく、電極とリード線との接触部分における導通抵抗が小さく、安定した電気的接続を維持することができ、溶液の濃度を正確に測定することができる溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計を提供する。
【解決手段】電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した。
【解決手段】電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計における電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体製造工程では、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除くために、洗浄工程が行われている。この洗浄工程において、十分に不純物、酸化物などを取り除かなければ、パターニング工程において、電子回路のパターニングが正確に行われないことになる。
【０００３】
このため、洗浄工程では、洗浄液の薬液としてとして、例えば、強酸であるフッ酸などを用いて、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除くことが行われている。この際には、洗浄液の薬液であるフッ酸などを、所定濃度に希釈して使用している。
【０００４】
ところで、この薬液の濃度により、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化するため、薬液の濃度（イオン度）を管理する必要がある。
【０００５】
このため、従来より、薬液の濃度を測定する方法として、特許文献１（特開昭５３−１１９０８５号公報）に開示されるように、いわゆる「４電極法」を用いて、各種溶液の導電率を測定する導電率計が提案されている。
【０００６】
また、このような導電率を用いた溶液濃度計では、上記のように半導体製造の洗浄工程で使用されるフッ酸などは強酸であるため、電極用材料としては、例えば、ステンレスなどでは、十分な耐食性を有していないため、腐食するおそれがあり、また、白金電極などでは高価であり、実用上からすれば適切ではない。
【０００７】
このため、特許文献２（実用新案登録第２５２８０２５号公報では）、緻密で、気孔率がゼロで、不純物も含まれず、しかも、導電性、耐食性も良好な電極として、アモルファスカーボン（ガラス状カーボン）電極を使用することが開示されている。
【０００８】
さらに、特許文献３（特開２００４−２０２３１号公報）では、図１４に示したように、半導体洗浄用の配管１００に、電極１０２、１０４を取り付ける構造が開示されている。
【０００９】
すなわち、電極保持部材１０６と締付部材１０８から構成される筒形状のスルー継手１１０を用いて取り付けられるようになっている。
具体的には、半導体洗浄用の配管１００に、筒形状のスルー継手１１０の取り付け孔１１２を設け、電極保持部材１０６の下端部１０６ａを、取り付け孔１１２に溶着し、電極保持部材１０６に電極１０２、１０４を嵌める。
【００１０】
その後、締付部材１０８の下端に形成されたメネジと、電極保持部材１０６に形成されたオネジとを螺合することによって、半導体洗浄用の配管１００に、電極１０２、１０４を取り付けるように構成されている。
【００１１】
さらに、電極１０２、１０４とリード線１１４との接続は、リード線１１４を装着したキャップ部材１１６に形成した接触ピン１１８を、電極１０２、１０４の上部に接触させることによって、リード線１１４と電極１０２、１０４との電気的な接続がなされるように構成されている。
【特許文献１】特開昭５３−１１９０８５号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５２８０２５号公報
【特許文献３】特開２００４−２０２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、このような導電率を用いた溶液濃度計では、電極にリード線を接続する必要がある。このため、従来では、図１５（Ａ）に示したように、電極２００に取り付け孔２０２を穿設して、リード線２０４を接続したピン２０６を挿入してリード線２０４を接続したり、図１５（Ｂ）に示したように、リード線２０４を接続したバネ部材２０８の内部に電極２００を挿通することによって、電極２００にリード線２０４を接続することが行われている。
【００１３】
上記のようなアモルファスカーボン（ガラス状カーボン）電極は、電極の材質が硬くて、脆い性質を有しており、電極を破壊しないようにする必要がある。
しかしながら、上記のような電極２００に取り付け孔２０２を穿設する際に、アモルファスカーボン電極が破損損傷してしまうおそれがある。また、バネ部材２０８の内部に電極２００を挿通する際にも、アモルファスカーボン電極の表面に傷がつくおそれがある。
【００１４】
ところで、このような導電率によって薬液の濃度を測る溶液濃度計では、薬液に挿入した電極間の電気抵抗は、薬液の種類や濃度によっては、数十Ωから数Ω以下と低い値になる。
【００１５】
従って、上記のように電極が破損損傷したり、表面が傷ついた場合には、アモルファスカーボン製の電極とリード線との接合部分における導通抵抗が大きくなったり、不安定となる。
【００１６】
このため、薬液の導電率が、低く測定されたり、不安定になり、薬液の濃度を正確に測定することができないことになる。
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合には、洗浄効果が低下して、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化してしまい、半導体自体の品質の低下をきたすことになる。
【００１７】
また、特許文献３のように、電極保持部材１０６と締付部材１０８から構成される筒形状のスルー継手１１０を用いて、半導体洗浄用の配管１００に、電極１０２、１０４を取り付ける構造では、電極保持部材１０６の下端部１０６ａを、取り付け孔１１２に溶着するなど、その取り付け構造が複雑で、取り付け作業も煩雑な作業になる。
【００１８】
しかも、電極保持部材１０６に電極１０２、１０４を嵌める際に、上記のように電極の表面に傷がつくおそれがあり、電極とリード線との接合部分における導通抵抗が大きくなったり、不安定となる。
【００１９】
さらに、電極保持部材１０６に電極１０２、１０４との間から、半導体洗浄用の配管１００から腐食性の薬液が漏洩して、リード線接続金具などが腐食されるおそれもある。
本発明は、このような現状に鑑み、電極を用いて溶液の導電率を計測する溶液濃度計に
おいて、例えば、耐食性の材料であるアモルファスカーボン電極を使用した場合にも、電極が破損損傷したり、表面が傷つくことがなく、電極とリード線を電気的に接続する部分における導通抵抗が小さく、安定した電気的接続を維持することができ、溶液の濃度を正確に測定することができる溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計を提供することを目的とする。
【００２０】
また、本発明は、電極を濃度計本体に取り付ける構造が簡単で、取り付け作業も簡便であり、溶液の圧力上昇に対して、十分なシール性を保持でき、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、万一、腐食性の溶液が漏洩した場合にも、電気的接続部を樹脂材にて保護することによって、しかも、取り付け具自体を耐食性の高い、ハステロイなどの耐食性金属で構成することによって、リード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具は、
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計において、電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の溶液濃度計は、
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した溶液濃度計用電極取り付け具を用いて、電極とリード線を接続したことを特徴とする。
【００２３】
このように構成することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に電極を挿着する際にも、一対の挟持片が相互に離間している状態であるので、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、しかも、挿着用開口部に電極表面が接触するので、接触面積が大きくなり、安定した電気的接続を維持することができる。
【００２４】
さらに、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結する際に、挟持片の基端部同士を連結する連結部がバネとして機能して、外側から予め設定された均一な力で、締め付けることができるので、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができる。
【００２５】
従って、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合でも、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００２６】
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合にも、洗浄効果が一定であり、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化することなく、半導体自体の品質を向上することができる。
【００２７】
また、本発明では、前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする。
このように締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることによって、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結するだけで、簡単に電極とリード線との電気的接続を達成することができる。
【００２８】
また、本発明では、
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする。
【００２９】
このように構成することによって、挟持片の先端部に形成した締結部材装着孔に、締結部材を装着し、外側から予め設定された均一な力で、締め付けるだけで、電極を容易に適切な嵌合状態で固定することができる。
【００３０】
また、本発明では、前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする。
このように、挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることによって、一度に複数の電極にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【００３１】
また、本発明では、前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、複数の溶液濃度計用電極取り付け具を、一つの締結部材で同時に挟持することができるので、一度に複数の電極にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【００３２】
また、本発明では、前記電極が、アモルファスカーボンから構成されていることを特徴とする。
このようにアモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極の場合でも、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００３３】
また、本発明の溶液濃度計は、
被測定溶液を流通させる測定用管部と、
前記測定用管部に、測定用管部の軸方向に対して、垂直な方向に電極を装着するための電極装着用開口部と、
を備えた濃度計本体を備え、
前記溶液濃度計が、
前記電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、濃度計本体側に固定する電極固定板を備えることを特徴とする。
【００３４】
このように構成することによって、測定用管部の電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、電極固定板を介して、濃度計本体側に固定することができる。
【００３５】
従って、電極を濃度計本体に取り付ける構造が簡単であり、取り付け作業も簡便であり、しかも、溶液濃度計用電極取り付け具を介して、電極固定板によって濃度計本体側に固定するので、電極自体を固定するのではないので、電極が破損損傷することもない。
【００３６】
また、本発明の溶液濃度計は、前記電極固定板が、濃度計本体を覆う蓋部材で、濃度計本体に固定されていることを特徴とする。
このように構成することによって、濃度計本体を覆う蓋部材を、濃度計本体に固定するだけで、電極固定板を濃度計本体に固定することができ、これによって、電極固定板によって、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を濃度計本体側に固定することができ、構造が簡単で取り付け作業も容易である。
【００３７】
また、本発明の溶液濃度計は、前記蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることを特徴とする。
このように蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることによって、濃度計本体内の接液部から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、リード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
【００３８】
また、本発明の溶液濃度計は、
前記測定用管部の電極装着用開口部に装着したシール材と、
前記シール材を固定する固定部材とを備えることを特徴とする。
【００３９】
このように構成することによって、被測定溶液を流通させる測定用管部の管路内の圧力が上昇しても、固定部材によって、シール材が浮いてシール材のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、溶液濃度計の安定的な使用が可能となる。
【００４０】
また、本発明の溶液濃度計は、前記固定部材が、電極固定板によって固定されていることを特徴とする。
このように構成することによって、電極固定板によって、固定部材を固定することができ、構造が簡単で取り付け作業も容易である。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、挟持片に形成した挿着用開口部に電極を挿着する際にも、一対の挟持片が相互に離間している状態であるので、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、しかも、挿着用開口部に電極表面が接触するので、接触面積が大きくなり、安定した電気的接続を維持することができる。
【００４２】
さらに、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結する際に、挟持片の基端部同士を連結する連結部がバネとして機能して、外側から予め設定された均一な力で締め付けることができるので、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができる。
【００４３】
従って、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合でも、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００４４】
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合にも、洗浄効果が一定であり、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化することなく、半導体自体の品質を向上することができる。
【００４５】
また、本発明の溶液濃度計によれば、測定用管部の電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、電極固定板を介して、濃度計本体側に固定することができる。
【００４６】
従って、電極を濃度計本体に取り付ける構造が簡単であり、取り付け作業も簡便であり、しかも、溶液濃度計用電極取り付け具を介して、電極固定板によって濃度計本体側に固定するので、電極自体を固定するのではないので、電極が破損損傷することもない。
【００４７】
また、本発明の溶液濃度計によれば、蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることによって、濃度計本体内の接液部から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、リード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
【００４８】
また、本発明の溶液濃度計によれば、被測定溶液を流通させる測定用管部の管路内の圧力が上昇しても、固定部材によって、シール材が浮いてシール材のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、溶液濃度計の安定的な使用が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の斜視図、図２は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の上面図、図３は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具に電極を取り付ける状態を説明する概略図である。
【００５０】
図１〜図３において、符号１０は、全体で本発明の溶液濃度計用電極取り付け具（以下、単に「電極取り付け具」と言う）を示している。
なお、この場合、図１、図２では、説明の便宜上、電極取り付け具１０の取り付け具本体１１のみを示している。
【００５１】
図１および図２に示したように、電極取り付け具１０は、取り付け具本体１１を備えており、この取り付け具本体１１は、略クリップ形状であって、スリット１２、２０を介して、一対の相互に離間した挟持片１４、１６を備えている。これらの挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ同士が、連結部１８を介して連結されている。
【００５２】
これらの挟持片１４、１６の先端部には、スリット１２が形成され、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａには、スリット２０が形成されている。
そしてこれらのスリット１２とスリット２０との間に、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ側に偏って、電極２２を挿着して挟持する挿着用開口部２４が形成されている。
【００５３】
このように、挿着用開口部２４が挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ側に偏って形成することによって、後述するように、締結部材であるネジ部材３０を締め付けて、挟持片１４、１６の先端部同士を締結して、挿着用開口部２４によって電極２２を挟持固定する際に、連結部１８が支点として、ネジ部材３０の位置が力点として、挿着用開口部２４が作用点として作用することになる。従って、締め付け時のモーメントが大きくなり、小さなネジ部材３０の締付け力で、挿着用開口部２４によって電極２２を締め付け、固定することができる。
【００５４】
この挿着用開口部２４は、電極２２の形状に合致するように、挟持片１４、１６にそれぞれ対向するように形成された一対の挿着用凹部２６、２８から形成されている。
この挿着用開口部２４の寸法は、電極２２と同じか寸法か、僅かに大きい寸法の開口部となるように設定されている。
【００５５】
また、挟持片１４、１６の先端部に、締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂが形成されており、一方の挟持片１６の締結部材装着孔１６ｂには、ネジ溝１６ｃが形成されている。
そして、このように構成される電極取り付け具１０を使用する場合には、図３示したように用いられる。
【００５６】
先ず、図３（Ａ）に示したように、挟持片１４、１６に形成した挿着用開口部２４に電極２２を挿着する。
この際には、一対の挟持片１４、１６が相互に離間している状態であり、挿着用開口部２４の寸法が、挿着用開口部２４の寸法は、電極２２と同じ寸法か、僅かに大きい寸法の開口部となるように設定されているので、電極２２を破損損傷したり、傷つけたりすることがないようなっている。
【００５７】
しかも、挿着用開口部２４、すなわち、挿着用凹部２６、２８に電極２２の表面が接触するので、接触面積が大きくなり、安定した電気的接続を維持することができる。
そして、この状態で、図３（Ｂ）に示したように、締結部材であるネジ部材３０に、リード線連結部を構成するリード線接続端子３２のリング３３と、緩み防止のためのスプリングワッシャ３４と、平ワッシャ３６を挿通する。これにより、締結部材であるネジ部材３０が、リード線を取り付けるためのリード線連結部として機能することになる。
【００５８】
なお、図３（Ｂ）に示したように、リード線３１は、リード線接続端子３２の基端部にかしめ加工を施すことによって接続されている。また、リード線３１をリード線接続端子３２に接続する方法としては、このようにかしめ加工を施す以外にも、例えば、溶接、ロウ付け、半田付けなど適宜の公知の方法を採用することができ、特に限定されるものではない。
【００５９】
この状態で、図３（Ｃ）の矢印Ｆで示したように、ネジ部材３０を締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂに挿通して、例えば、トルクレンチを用いて、図３（Ｃ）の矢印Ｇで示したように、ネジ部材３０を一定のトルクで締め付けることによって、挟持片１４、１６の先端部同士を締結する。
【００６０】
この際、前述したように、挿着用開口部２４が挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ側に偏って形成されているので、挿着用開口部２４によって電極２２を挟持固定する際に、連結部１８が支点として、ネジ部材３０の位置が力点として、挿着用開口部２４が作用点として作用することになり、締め付け時のモーメントが大きくなり、小さなネジ部材３０の締付け力で、挿着用開口部２４によって電極２２を締め付け固定することができる。
【００６１】
これにより、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ同士を連結する連結部１８がバネとして機能して、外側から予め設定された均一な力で締め付けることができるので、電極２２と電極取り付け具１０との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができる。
【００６２】
従って、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極２２として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合でも、電極２２を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極２２と電極取り付け具１０との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００６３】
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合にも、洗浄効果が一定であり、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化することなく、半導体自体の品質を向上することができる。
【００６４】
また、締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることによって、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結するだけで、簡単に電極とリード線との電気的接続を達成することができる。
【００６５】
この場合、電極２２の形状としては、特に限定されるものではないが、円柱形状、円筒形状、楕円円柱形状、矩形の柱形状などを採用することができ、この電極２２の形状に応じて、挿着用開口部２４、すなわち、挿着用凹部２６、２８の形状を適宜設定すればよい。
【００６６】
また、電極２２としては、白金電極など公知の電極を使用することができ、特に限定されるものではないが、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極２２として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合、本発明の電極取り付け具を用いることによって、上記のように、電極２２を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極２２と電極取り付け具１０との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができるので好適である。また、アモルファスカーボンの表面を鏡面仕上げを施すことによって、より安定して正確に導電率を測定できるので望ましい。
【００６７】
さらに、電極取り付け具１０を構成する材料としては、導電性を有する金属であれば特に限定されるものではないが、例えば、ＳＵＳ、チタン、モネル、ハステロイなどの耐食性金属を使用するのが望ましい。このような耐食性金属を使用することによって、透過性が高く腐食性の大きな被測定溶液を長期間、継続的に測定する場合にも、電極取り付け具１０の腐食による導通抵抗の増加を防ぐことができる。
【００６８】
なお、スプリングワッシャ３４、ネジ部材３０、平ワッシャ３６も（図示しないが、ナットを使用する場合にはナットも）、電極取り付け具１０を構成する材料と同様に、例えば、ＳＵＳ、チタン、モネル、ハステロイなどの耐食性金属を使用するのが望ましい。
【００６９】
また、ネジ部材３０の締め付けトルクとしては、電極２２の材質、寸法、ネジ部材３の寸法、挟持片１４、１６の寸法（挿着用開口部２４の寸法、位置など）の条件によって、電極２２が破損損傷しないように適宜決定すればよい。
【００７０】
例えば、後述するように、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から、締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂの中心までの距離Ｌ１と、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から挿着用開口部２４の中心までの距離Ｌ２の割
合に応じて、ネジ部材３０の締め付けトルクを設定すれば良い。
【００７１】
一例を挙げれば、電極２２が、アモルファスカーボン製で、外径が４ｍｍであり、かつ内径を２ｍｍの中空にした時は、ネジ部材３０の締め付けトルクは、１０〜５０ｃＮｍ、好ましくは、１０〜３０ｃＮｍとすれば、硬くて脆い性質のアモルファスカーボン製の電極２２と電極取り付け具１０を、破損損傷するこがなく、導通抵抗が低い状態で長期間確実に維持することができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００７２】
また、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から、締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂの中心までの距離Ｌ１と、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から挿着用開口部２４の中心までの距離Ｌ２の割合としては、上記の電極２２を破損損傷しない締め付け力（締め付け時のモーメント）を考慮すれば、２：１〜５：１、好ましくは、３：１〜４：１とするのが望ましい。
【００７３】
また、図２に示したように、スリット１２の幅Ｓ１としては、締め付け時に、挟持片１４、１６が相互に接触しない程度の値とするのが望ましい。
なお、この実施例の電極取り付け具１０では、締結部材として、ネジ部材３０を用いたが、図示しないが、挟持片１６の締結部材装着孔１６ｂには、ネジ溝１６ｃを形成せずに、ボルトとナットから構成することも可能である。
【００７４】
さらに、上記実施例では、締結部材であるネジ部材３０を、リード線を取り付けるためのリード線連結部として機能するようにしたが、例えば、挟持片１４、１６に溶接、ロウ付けなどによって、リード線を取り付けるようにすることも可能である。
【００７５】
図４は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具を用いた溶液濃度計の縦断面図、図５は、図４のＡ−Ａ線についての断面図、図６は、図４のＢ−Ｂ線についての断面図、図７は、図４のＣ方向矢視図、図８は、測定用管部部分拡大断面図である。
【００７６】
なお、電極取り付け具１０自体は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
図４〜図７において、符号４０は、全体で本発明の溶液濃度計を示している。
【００７７】
図４〜図７に示したように、溶液濃度計４０は、溶液濃度計４０を機器類に設置するための取り付け孔４１ａが形成されたベース板４１と、濃度計本体４２と、濃度計本体４２を覆うように、濃度計本体４２に固定された蓋部材４４を備えている。
【００７８】
この濃度計本体４２は、図４、図６に示したように、被測定溶液を流通させる測定用管部４６を備えており、この測定用管部４６の図４において上側の側壁には、測定用管部４６に、測定用管部４６の軸方向に対して、垂直な方向に電極２２を装着するための電極装着用開口部４８が形成されている。
【００７９】
この場合、この実施例の溶液濃度計４０は、いわゆる「４電極法」を用いて、被測定溶液の導電率を測定する溶液濃度計であって、４つの電極２２ａ〜２２ｄを装着するための電極装着用開口部４８ａ〜４８ｄが、図４および図５に示したように、所定間隔離間して形成されている。
【００８０】
すなわち、４つの電極２２ａ〜２２ｄのうち、外側の２つの電極２２ａ、２２ｄが一定電流を流すための電流用電極であり、内側の２つの電極２２ｃ、２２ｄが、電圧検出用の電圧電極を構成している。これにより、外側の２つの電流用電極２２ａ、２２ｄに一定電流を流すことによって、内側の２つの電圧検出用の電圧電極２２ｃ、２２ｄの電位差を測
定することによって、被測定溶液の導電率を求めるようになっている。
【００８１】
また、図４において、測定用管部４６の電極装着用開口部４８ａ〜４８ｄの反対側の壁面にはそれぞれ、電極２２ａ〜２２ｄの先端部分を固定するための凹部５０ａ〜５０ｄが形成されている。
【００８２】
これらの凹部５０ａ〜５０ｄに、電極２２ａ〜２２ｄの先端部分を挿着することによって、測定用管部４６の軸方向に対して、垂直な方向に電極２２ａ〜２２ｄを固定することができるようになっている。これによって、測定用管部４６内を流れる被測定用溶液の流れによって、電極２２ａ〜２２ｄが移動したり振動することを防止し、正確な導電率の測定を阻害するのを防止するように構成されている。
【００８３】
また、図８に示したように、電極装着用開口部４８には、シール材５４の装着を容易にするために、端部がテーパ状に加工されたシール溝５２が形成されており、このシール溝５２内に、測定用管部４６の接液部と電極２２を液密にシールするためのＯリングからなるシール材５４を収容するようになっている。
【００８４】
そして、このシール溝５２のシール材５４の上部には、このシール材５４を固定するリング形状の固定部材５６が取り付けられている。
このように構成することによって、図８の矢印Ｄで示したように、測定用管部４６を流れる被測定溶液によって、シール材５４を上方に移動させる力（矢印Ｅ）に対して、固定部材５６によって、シール材５４が固定されることになる。これにより、シール材５４が濃度計本体４２の測定用管部４６の内部の接液部の圧力上昇に対して、位置がずれないようになっている。
【００８５】
このように構成することによって、被測定溶液を流通させる測定用管部４６の管路内の圧力が上昇しても、固定部材５６によって、シール材５４が浮いてシール材５４のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、溶液濃度計４０の安定的な使用が可能となる。
【００８６】
また、図４〜図６に示したように、この電極装着用開口部４８に、電極２２を装着し、シール溝５２のシール材５４と固定部材５６を装着した状態で、電極２２の上端が、電極取り付け具１０によって挟持固定されている。そして、電極取り付け具１０が、測定用管部４６の上部に載置されるような状態になっている。
【００８７】
この場合、図５に示したように、左右２本ずつの電極２２ａ、２２ｂと電極２２ｃ、２２ｄを挟持固定する電極取り付け具１０が、測定用管部４６の軸線をはさんで対向するように配置された状態となっている。
【００８８】
すなわち、このように対向配置することによって、締結部材であるネジ部材３０をトルクレンチなどの締め付け具を使用する際に邪魔にならず、締め付けやすいようになっている。
【００８９】
さらに、電極取り付け具１０が、測定用管部４６の上部に載置された状態で、電極取り付け具１０の上部には、電極取り付け具１０に当接した状態で、略矩形平板状の電極固定板５８が配置されている。
【００９０】
この電極固定板５８には、図６に示したように、リード線３１とリード線接続端子３２を、電極固定板５８の上部に引き出すための操作用開口部６０が、左右２本ずつの電極２２ａ、２２ｂと電極２２ｃ、２２ｄに対応した位置に、４個形成されている。
【００９１】
また、図６に示したように、蓋部材４４には、長手方向の側壁６２、６４の内側に段部６２ａ、６４ａが形成されるとともに、図４に示したように、幅方向の一方の側壁６６の内側に段部６６ａが形成されている。
【００９２】
これにより、蓋部材４４を、濃度計本体４２に締結部材（図示せず）で、取り付け固定した際に、これらの段部６２ａ、６４ａ、６６ａが、電極固定板５８の上端に当接して、電極２２を挟持固定した電極取り付け具１０を、濃度計本体４２側に固定するようになっている。
【００９３】
なお、この場合、蓋部材４４を濃度計本体４２側に固定するには、図５に示したように、濃度計本体４２の四隅に形成した締結用孔４５を介して、図示しない締結部材で、例えば、ハステロイなどの耐食性材料で表面をテフロン（登録商標）処理された金属材料で構成したベース板４１に固定することによって、蓋部材４４、濃度計本体４２、ベース板４１が一体的に連結、固定されるようになっている。
【００９４】
これにより、電極固定板５８によって、電極取り付け具１０、電極２２、シール材５４と固定部材５６が固定され、測定用管部４６を流れる被測定溶液によって、上方に移動させる力に対して、固定部材５６によって、電極取り付け具１０、電極２２、シール材５４と固定部材５６が固定されることになる。
【００９５】
このように構成することによって、被測定溶液を流通させる測定用管部４６の管路内の圧力が上昇しても、固定部材５６によって、シール材が浮いてシール材のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、しかも、溶液濃度計４０の安定的な使用が可能となる。
【００９６】
このように構成することによって、測定用管部４６の電極装着用開口部４８に、電極２２を装着した状態で、電極２２を挟持固定した電極取り付け具１０を、濃度計本体４２を覆う蓋部材４４を、濃度計本体４２に固定するだけで、蓋部材４４、電極固定板５８を介して、濃度計本体４２側に固定することができる。
【００９７】
従って、電極２２を濃度計本体４２に取り付ける構造が簡単であり、取り付け作業も簡便であり、しかも、電極取り付け具１０を介して、電極固定板５８によって濃度計本体４２側に固定するので、電極２２自体を固定するのではないので、電極２２が破損損傷することもない。
【００９８】
さらに、図４に示したように、蓋部材４４には、他方の幅方向の側壁６８にリード線クランプ７０が装着されており、リード線クランプ７０には、リード線接続端子３２に接続されたリード線３１が挿着され、このリード線クランプ７０によってシールされるようになっている。
【００９９】
また、図４に示したように、蓋部材４４と濃度計本体４２との間の空間７２が、樹脂７４を充填することによって封止されている。
このように蓋部材４４と濃度計本体４２との間の空間７２が、樹脂７４を充填することによって封止されていることによって、濃度計本体４２内の接液部（電極装着用開口部４８）から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、電極取り付け具１０などのリード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
【０１００】
この場合、樹脂封止するための樹脂７４としては、耐食性樹脂材料であれば、特に限定
されるものではないが、例えば、シリコーン系の樹脂、エポキシ系の樹脂などを使用することができる。
【０１０１】
さらに、濃度計本体４２の測定用管部４６の両端には、機器類の配管に接続するための接続配管７６、７８が連結されている。
なお、測定用管部４６、接続配管７６、７８の材質としては、特に限定されるものではないが、被測定溶液として、例えば、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）樹脂などを使用するのが望ましい。
【０１０２】
この場合、接続配管７６、７８を、濃度計本体４２の測定用管部４６に接続するには、溶接するか（図４の溶接部分７５参照）、切削による一体形成するか、または、成型により一体成形すればよい。
【０１０３】
図９は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
なお、この実施例の電極取り付け具１０は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０４】
この実施例の電極取り付け具１０は、図９に示したように、締結部材であるネジ部材３０の代わりに、クランプ部材８０を用いて、挟持片１４、１６の先端部同士を挟持して締結するように構成されている。
【０１０５】
また、このクランプ部材８０のクランプ片８２、８４の先端部内側近傍には、挟持片１４、１６の先端部に形成した締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂにそれぞれ係合する係止突設部８２ａ、８４ａが形成されている。
【０１０６】
これによって、クランプ部材８０を用いて、挟持片１４、１６の先端部同士を挟持して締結した際に、電極取り付け具１０からクランプ部材８０が脱落するのが防止されるようになっている。
【０１０７】
このように構成することによって、クランプ部材８０によって、挟持片１４、１６の先端部同士を挟持するだけで、簡単容易に、電極２２持固定することができ、電極２２側から均一な力で締め付けることができる。
【０１０８】
図１０は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
なお、この実施例の電極取り付け具１０は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０９】
この実施例の電極取り付け具１０は、図１０に示したように、挟持片１４、１６には、複数（この実施例では２本の）電極２２をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部２４が形成されている。
【０１１０】
なお、この場合、複数の挿着用開口部２４の間は、例えば、樹脂などからなる絶縁部１４ｃ、１６ｃで電気的に絶縁されるようになっている。
このように、挟持片１４、１６に、複数の電極２２をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部２４が形成されていることによって、一度に複数の電極２２にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【０１１１】
この場合、挿着用開口部２４の数は、複数であれば、電極の数に応じて適宜決定される
ものであり、特に限定されるものではない。
図１１〜図１３は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【０１１２】
なお、この実施例の電極取り付け具１０は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例の電極取り付け具１０は、図１１に示したように、複数の電極取り付け具１０の挟持片１４、１６の先端部同士を同時に挟持するように、図９と同様なクランプ部材８０が電極取り付け具１０の数に応じて一体になった（図１１では、２個、図１２では、４個のクランプ部材が一体になった）クランプ部材９０を用いるようになっている。
【０１１３】
なお、クランプ部材９０のクランプ基端部の間は、相互に樹脂などの絶縁部９２によって、電気的に絶縁されるようになっている。
このように構成することによって、複数の電極取り付け具１０を、一つの締結部材であるクランプ部材９０で同時に挟持することができるので、一度に複数の電極２２にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【０１１４】
特に、図１２のように、４個の電極取り付け具１０を片側から、一つのクランプ部材９０で同時に締結することができるので、例えば、いわゆる「４電極法」に使用すれば、締結作業が一度に行え、極めて便利である。
【０１１５】
なお、このようなクランプ部材９０を用いる代わりに、図１３に示したように、１本の締結部材であるネジ部材３０、ナット３５を用いて、複数の電極取り付け具１０の締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂに挿通して締結するようにすることも可能である。
【０１１６】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、いわゆる「４電極法」に使用した場合について説明したが、２電極法、３電極法などにも用いることが可能である。
【０１１７】
また、上記実施例では、締結部材であるネジ部材３０を、リード線を取り付けるためのリード線連結部として機能するようにしたが、例えば、挟持片１４、１６に溶接。ロウ付けなどによって、リード線を取り付けるようにすることも可能である。
【０１１８】
さらに、上記実施例では、例示として、被測定溶液として、例えば、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合について説明したが、半導体製造工程の分野に限らず、例えば、アンモニア、塩酸、過酸化水素水、肥料、養殖魚類用海水、洗濯液など、イオン化され、原液を希釈するタイプの被測定溶液の濃度を導電率で測定する場合の全てに適用することも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】図１は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の斜視図である。
【図２】図２は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の上面図である。
【図３】図３は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具に電極を取り付ける状態を説明する概略図である。
【図４】図４は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具を用いた溶液濃度計の縦断面図である。
【図５】図５は、図４のＡ−Ａ線についての断面図である。
【図６】図６は、図４のＢ−Ｂ線についての断面図である。
【図７】図７は、図４のＣ方向矢視図である。
【図８】図８は、測定用管部部分拡大断面図である。
【図９】図９は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１０】図１０は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１１】図１１は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１２】図１２は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１３】図１３は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１４】図１４は、従来の電極の取り付け方法を説明する概略図である。
【図１５】図１５は、従来の電極の取り付け方法を説明する概略図である。
【符号の説明】
【０１２０】
１０ 溶液濃度計用電極取り付け具
１１ 取り付け具本体
１２ スリット
１４ 挟持片
１４ａ 基端部
１４ｂ 締結部材装着孔
１４ｃ 絶縁部
１６ 挟持片
１６ａ 基端部
１６ｂ 締結部材装着孔
１６ｃ ネジ溝
１８ 連結部
２０ スリット
２２ 電極
２２ａ〜２２d 電極
２４ 挿着用開口部
２６、２８ 挿着用凹部
３０ ネジ部材
３１ リード線
３２ リード線接続端子
３３ リング
３４ スプリングワッシャ
３５ ナット
３６ 平ワッシャ
４０ 溶液濃度計
４１ ベース板
４１ａ 取り付け孔
４２ 濃度計本体
４４ 蓋部材
４５ 締結用孔
４６ 測定用管部
４８ 電極装着用開口部
４８ａ-４８ｄ 電極装着用開口部
５０ａ-５０ｄ 凹部
５２ シール溝
５４ シール材
５６ 固定部材
５８ 電極固定板
６０ 操作用開口部
６２、６４ 側壁
６２ａ、６４ａ 段部
６６ 側壁
６６ａ 段部
６８ 側壁
７０ リード線クランプ
７２ 空間
７４ 樹脂
７５ 溶接部分
７６、７８ 接続配管
８０ クランプ部材
８２、８４ クランプ片
８２ａ、８４ａ 係止突設部
９０ クランプ部材
９２ 絶縁部
１００ 配管
１０２、１０４ 電極
１０６ 電極保持部材
１０６ａ 下端部
１０８ 締付部材
１１０ スルー継手
１１２ 取り付け孔
１１４ リード線
１１６ キャップ部材
１１８ 接触ピン
２００ 電極
２０２ 取り付け孔
２０４ リード線
２０６ ピン
２０８ バネ部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計における電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、半導体製造工程では、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除くために、洗浄工程が行われている。この洗浄工程において、十分に不純物、酸化物などを取り除かなければ、パターニング工程において、電子回路のパターニングが正確に行われないことになる。
【０００３】
このため、洗浄工程では、洗浄液の薬液としてとして、例えば、強酸であるフッ酸などを用いて、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除くことが行われている。この際には、洗浄液の薬液であるフッ酸などを、所定濃度に希釈して使用している。
【０００４】
ところで、この薬液の濃度により、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化するため、薬液の濃度（イオン度）を管理する必要がある。
【０００５】
このため、従来より、薬液の濃度を測定する方法として、特許文献１（特開昭５３−１１９０８５号公報）に開示されるように、いわゆる「４電極法」を用いて、各種溶液の導電率を測定する導電率計が提案されている。
【０００６】
また、このような導電率を用いた溶液濃度計では、上記のように半導体製造の洗浄工程で使用されるフッ酸などは強酸であるため、電極用材料としては、例えば、ステンレスなどでは、十分な耐食性を有していないため、腐食するおそれがあり、また、白金電極などでは高価であり、実用上からすれば適切ではない。
【０００７】
このため、特許文献２（実用新案登録第２５２８０２５号公報では）、緻密で、気孔率がゼロで、不純物も含まれず、しかも、導電性、耐食性も良好な電極として、アモルファスカーボン（ガラス状カーボン）電極を使用することが開示されている。
【０００８】
さらに、特許文献３（特開２００４−２０２３１号公報）では、図１４に示したように、半導体洗浄用の配管１００に、電極１０２、１０４を取り付ける構造が開示されている。
【０００９】
すなわち、電極保持部材１０６と締付部材１０８から構成される筒形状のスルー継手１１０を用いて取り付けられるようになっている。
具体的には、半導体洗浄用の配管１００に、筒形状のスルー継手１１０の取り付け孔１１２を設け、電極保持部材１０６の下端部１０６ａを、取り付け孔１１２に溶着し、電極保持部材１０６に電極１０２、１０４を嵌める。
【００１０】
その後、締付部材１０８の下端に形成されたメネジと、電極保持部材１０６に形成されたオネジとを螺合することによって、半導体洗浄用の配管１００に、電極１０２、１０４を取り付けるように構成されている。
【００１１】
さらに、電極１０２、１０４とリード線１１４との接続は、リード線１１４を装着したキャップ部材１１６に形成した接触ピン１１８を、電極１０２、１０４の上部に接触させることによって、リード線１１４と電極１０２、１０４との電気的な接続がなされるように構成されている。
【特許文献１】特開昭５３−１１９０８５号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５２８０２５号公報
【特許文献３】特開２００４−２０２３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、このような導電率を用いた溶液濃度計では、電極にリード線を接続する必要がある。このため、従来では、図１５（Ａ）に示したように、電極２００に取り付け孔２０２を穿設して、リード線２０４を接続したピン２０６を挿入してリード線２０４を接続したり、図１５（Ｂ）に示したように、リード線２０４を接続したバネ部材２０８の内部に電極２００を挿通することによって、電極２００にリード線２０４を接続することが行われている。
【００１３】
上記のようなアモルファスカーボン（ガラス状カーボン）電極は、電極の材質が硬くて、脆い性質を有しており、電極を破壊しないようにする必要がある。
しかしながら、上記のような電極２００に取り付け孔２０２を穿設する際に、アモルファスカーボン電極が破損損傷してしまうおそれがある。また、バネ部材２０８の内部に電極２００を挿通する際にも、アモルファスカーボン電極の表面に傷がつくおそれがある。
【００１４】
ところで、このような導電率によって薬液の濃度を測る溶液濃度計では、薬液に挿入した電極間の電気抵抗は、薬液の種類や濃度によっては、数十Ωから数Ω以下と低い値になる。
【００１５】
従って、上記のように電極が破損損傷したり、表面が傷ついた場合には、アモルファスカーボン製の電極とリード線との接合部分における導通抵抗が大きくなったり、不安定となる。
【００１６】
このため、薬液の導電率が、低く測定されたり、不安定になり、薬液の濃度を正確に測定することができないことになる。
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合には、洗浄効果が低下して、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化してしまい、半導体自体の品質の低下をきたすことになる。
【００１７】
また、特許文献３のように、電極保持部材１０６と締付部材１０８から構成される筒形状のスルー継手１１０を用いて、半導体洗浄用の配管１００に、電極１０２、１０４を取り付ける構造では、電極保持部材１０６の下端部１０６ａを、取り付け孔１１２に溶着するなど、その取り付け構造が複雑で、取り付け作業も煩雑な作業になる。
【００１８】
しかも、電極保持部材１０６に電極１０２、１０４を嵌める際に、上記のように電極の表面に傷がつくおそれがあり、電極とリード線との接合部分における導通抵抗が大きくなったり、不安定となる。
【００１９】
さらに、電極保持部材１０６に電極１０２、１０４との間から、半導体洗浄用の配管１００から腐食性の薬液が漏洩して、リード線接続金具などが腐食されるおそれもある。
本発明は、このような現状に鑑み、電極を用いて溶液の導電率を計測する溶液濃度計に
おいて、例えば、耐食性の材料であるアモルファスカーボン電極を使用した場合にも、電極が破損損傷したり、表面が傷つくことがなく、電極とリード線を電気的に接続する部分における導通抵抗が小さく、安定した電気的接続を維持することができ、溶液の濃度を正確に測定することができる溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計を提供することを目的とする。
【００２０】
また、本発明は、電極を濃度計本体に取り付ける構造が簡単で、取り付け作業も簡便であり、溶液の圧力上昇に対して、十分なシール性を保持でき、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、万一、腐食性の溶液が漏洩した場合にも、電気的接続部を樹脂材にて保護することによって、しかも、取り付け具自体を耐食性の高い、ハステロイなどの耐食性金属で構成することによって、リード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる溶液濃度計用電極取り付け具、および溶液濃度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具は、
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計において、電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の溶液濃度計は、
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した溶液濃度計用電極取り付け具を用いて、電極とリード線を接続したことを特徴とする。
【００２３】
このように構成することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に電極を挿着する際にも、一対の挟持片が相互に離間している状態であるので、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、しかも、挿着用開口部に電極表面が接触するので、接触面積が大きくなり、安定した電気的接続を維持することができる。
【００２４】
さらに、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結する際に、挟持片の基端部同士を連結する連結部がバネとして機能して、外側から予め設定された均一な力で、締め付けることができるので、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができる。
【００２５】
従って、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合でも、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００２６】
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合にも、洗浄効果が一定であり、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化することなく、半導体自体の品質を向上することができる。
【００２７】
また、本発明では、前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする。
このように締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることによって、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結するだけで、簡単に電極とリード線との電気的接続を達成することができる。
【００２８】
また、本発明では、
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする。
【００２９】
このように構成することによって、挟持片の先端部に形成した締結部材装着孔に、締結部材を装着し、外側から予め設定された均一な力で、締め付けるだけで、電極を容易に適切な嵌合状態で固定することができる。
【００３０】
また、本発明では、前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする。
このように、挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることによって、一度に複数の電極にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【００３１】
また、本発明では、前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、複数の溶液濃度計用電極取り付け具を、一つの締結部材で同時に挟持することができるので、一度に複数の電極にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【００３２】
また、本発明では、前記電極が、アモルファスカーボンから構成されていることを特徴とする。
このようにアモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極の場合でも、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００３３】
また、本発明の溶液濃度計は、
被測定溶液を流通させる測定用管部と、
前記測定用管部に、測定用管部の軸方向に対して、垂直な方向に電極を装着するための電極装着用開口部と、
を備えた濃度計本体を備え、
前記溶液濃度計が、
前記電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、濃度計本体側に固定する電極固定板を備えることを特徴とする。
【００３４】
このように構成することによって、測定用管部の電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、電極固定板を介して、濃度計本体側に固定することができる。
【００３５】
従って、電極を濃度計本体に取り付ける構造が簡単であり、取り付け作業も簡便であり、しかも、溶液濃度計用電極取り付け具を介して、電極固定板によって濃度計本体側に固定するので、電極自体を固定するのではないので、電極が破損損傷することもない。
【００３６】
また、本発明の溶液濃度計は、前記電極固定板が、濃度計本体を覆う蓋部材で、濃度計本体に固定されていることを特徴とする。
このように構成することによって、濃度計本体を覆う蓋部材を、濃度計本体に固定するだけで、電極固定板を濃度計本体に固定することができ、これによって、電極固定板によって、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を濃度計本体側に固定することができ、構造が簡単で取り付け作業も容易である。
【００３７】
また、本発明の溶液濃度計は、前記蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることを特徴とする。
このように蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることによって、濃度計本体内の接液部から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、リード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
【００３８】
また、本発明の溶液濃度計は、
前記測定用管部の電極装着用開口部に装着したシール材と、
前記シール材を固定する固定部材とを備えることを特徴とする。
【００３９】
このように構成することによって、被測定溶液を流通させる測定用管部の管路内の圧力が上昇しても、固定部材によって、シール材が浮いてシール材のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、溶液濃度計の安定的な使用が可能となる。
【００４０】
また、本発明の溶液濃度計は、前記固定部材が、電極固定板によって固定されていることを特徴とする。
このように構成することによって、電極固定板によって、固定部材を固定することができ、構造が簡単で取り付け作業も容易である。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、挟持片に形成した挿着用開口部に電極を挿着する際にも、一対の挟持片が相互に離間している状態であるので、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、しかも、挿着用開口部に電極表面が接触するので、接触面積が大きくなり、安定した電気的接続を維持することができる。
【００４２】
さらに、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結する際に、挟持片の基端部同士を連結する連結部がバネとして機能して、外側から予め設定された均一な力で締め付けることができるので、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができる。
【００４３】
従って、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合でも、電極を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極と溶液濃度計用電極取り付け具との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００４４】
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合にも、洗浄効果が一定であり、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化することなく、半導体自体の品質を向上することができる。
【００４５】
また、本発明の溶液濃度計によれば、測定用管部の電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、電極固定板を介して、濃度計本体側に固定することができる。
【００４６】
従って、電極を濃度計本体に取り付ける構造が簡単であり、取り付け作業も簡便であり、しかも、溶液濃度計用電極取り付け具を介して、電極固定板によって濃度計本体側に固定するので、電極自体を固定するのではないので、電極が破損損傷することもない。
【００４７】
また、本発明の溶液濃度計によれば、蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることによって、濃度計本体内の接液部から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、リード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
【００４８】
また、本発明の溶液濃度計によれば、被測定溶液を流通させる測定用管部の管路内の圧力が上昇しても、固定部材によって、シール材が浮いてシール材のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、溶液濃度計の安定的な使用が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の斜視図、図２は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の上面図、図３は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具に電極を取り付ける状態を説明する概略図である。
【００５０】
図１〜図３において、符号１０は、全体で本発明の溶液濃度計用電極取り付け具（以下、単に「電極取り付け具」と言う）を示している。
なお、この場合、図１、図２では、説明の便宜上、電極取り付け具１０の取り付け具本体１１のみを示している。
【００５１】
図１および図２に示したように、電極取り付け具１０は、取り付け具本体１１を備えており、この取り付け具本体１１は、略クリップ形状であって、スリット１２、２０を介して、一対の相互に離間した挟持片１４、１６を備えている。これらの挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ同士が、連結部１８を介して連結されている。
【００５２】
これらの挟持片１４、１６の先端部には、スリット１２が形成され、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａには、スリット２０が形成されている。
そしてこれらのスリット１２とスリット２０との間に、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ側に偏って、電極２２を挿着して挟持する挿着用開口部２４が形成されている。
【００５３】
このように、挿着用開口部２４が挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ側に偏って形成することによって、後述するように、締結部材であるネジ部材３０を締め付けて、挟持片１４、１６の先端部同士を締結して、挿着用開口部２４によって電極２２を挟持固定する際に、連結部１８が支点として、ネジ部材３０の位置が力点として、挿着用開口部２４が作用点として作用することになる。従って、締め付け時のモーメントが大きくなり、小さなネジ部材３０の締付け力で、挿着用開口部２４によって電極２２を締め付け、固定することができる。
【００５４】
この挿着用開口部２４は、電極２２の形状に合致するように、挟持片１４、１６にそれぞれ対向するように形成された一対の挿着用凹部２６、２８から形成されている。
この挿着用開口部２４の寸法は、電極２２と同じか寸法か、僅かに大きい寸法の開口部となるように設定されている。
【００５５】
また、挟持片１４、１６の先端部に、締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂが形成されており、一方の挟持片１６の締結部材装着孔１６ｂには、ネジ溝１６ｃが形成されている。
そして、このように構成される電極取り付け具１０を使用する場合には、図３示したように用いられる。
【００５６】
先ず、図３（Ａ）に示したように、挟持片１４、１６に形成した挿着用開口部２４に電極２２を挿着する。
この際には、一対の挟持片１４、１６が相互に離間している状態であり、挿着用開口部２４の寸法が、挿着用開口部２４の寸法は、電極２２と同じ寸法か、僅かに大きい寸法の開口部となるように設定されているので、電極２２を破損損傷したり、傷つけたりすることがないようなっている。
【００５７】
しかも、挿着用開口部２４、すなわち、挿着用凹部２６、２８に電極２２の表面が接触するので、接触面積が大きくなり、安定した電気的接続を維持することができる。
そして、この状態で、図３（Ｂ）に示したように、締結部材であるネジ部材３０に、リード線連結部を構成するリード線接続端子３２のリング３３と、緩み防止のためのスプリングワッシャ３４と、平ワッシャ３６を挿通する。これにより、締結部材であるネジ部材３０が、リード線を取り付けるためのリード線連結部として機能することになる。
【００５８】
なお、図３（Ｂ）に示したように、リード線３１は、リード線接続端子３２の基端部にかしめ加工を施すことによって接続されている。また、リード線３１をリード線接続端子３２に接続する方法としては、このようにかしめ加工を施す以外にも、例えば、溶接、ロウ付け、半田付けなど適宜の公知の方法を採用することができ、特に限定されるものではない。
【００５９】
この状態で、図３（Ｃ）の矢印Ｆで示したように、ネジ部材３０を締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂに挿通して、例えば、トルクレンチを用いて、図３（Ｃ）の矢印Ｇで示したように、ネジ部材３０を一定のトルクで締め付けることによって、挟持片１４、１６の先端部同士を締結する。
【００６０】
この際、前述したように、挿着用開口部２４が挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ側に偏って形成されているので、挿着用開口部２４によって電極２２を挟持固定する際に、連結部１８が支点として、ネジ部材３０の位置が力点として、挿着用開口部２４が作用点として作用することになり、締め付け時のモーメントが大きくなり、小さなネジ部材３０の締付け力で、挿着用開口部２４によって電極２２を締め付け固定することができる。
【００６１】
これにより、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａ同士を連結する連結部１８がバネとして機能して、外側から予め設定された均一な力で締め付けることができるので、電極２２と電極取り付け具１０との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができる。
【００６２】
従って、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極２２として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合でも、電極２２を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極２２と電極取り付け具１０との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００６３】
従って、半導体製造工程において、洗浄液の濃度を測定する溶液濃度計に使用した場合にも、洗浄効果が一定であり、シリコンウェハの表面に付着した不純物、酸化物などを取り除く除去能力が大きく変化することなく、半導体自体の品質を向上することができる。
【００６４】
また、締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることによって、挟持片の先端部同士を、締結部材によって締結するだけで、簡単に電極とリード線との電気的接続を達成することができる。
【００６５】
この場合、電極２２の形状としては、特に限定されるものではないが、円柱形状、円筒形状、楕円円柱形状、矩形の柱形状などを採用することができ、この電極２２の形状に応じて、挿着用開口部２４、すなわち、挿着用凹部２６、２８の形状を適宜設定すればよい。
【００６６】
また、電極２２としては、白金電極など公知の電極を使用することができ、特に限定されるものではないが、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合に、電極２２として、例えば、アモルファスカーボンのように硬くて脆い性質の電極を用いた場合、本発明の電極取り付け具を用いることによって、上記のように、電極２２を破損損傷したり、傷つけたりすることがなく、接触面積が大きくなり、電極２２と電極取り付け具１０との導通抵抗を低く、かつ、安定して保つことができ、溶液の濃度を正確に測定することができるので好適である。また、アモルファスカーボンの表面を鏡面仕上げを施すことによって、より安定して正確に導電率を測定できるので望ましい。
【００６７】
さらに、電極取り付け具１０を構成する材料としては、導電性を有する金属であれば特に限定されるものではないが、例えば、ＳＵＳ、チタン、モネル、ハステロイなどの耐食性金属を使用するのが望ましい。このような耐食性金属を使用することによって、透過性が高く腐食性の大きな被測定溶液を長期間、継続的に測定する場合にも、電極取り付け具１０の腐食による導通抵抗の増加を防ぐことができる。
【００６８】
なお、スプリングワッシャ３４、ネジ部材３０、平ワッシャ３６も（図示しないが、ナットを使用する場合にはナットも）、電極取り付け具１０を構成する材料と同様に、例えば、ＳＵＳ、チタン、モネル、ハステロイなどの耐食性金属を使用するのが望ましい。
【００６９】
また、ネジ部材３０の締め付けトルクとしては、電極２２の材質、寸法、ネジ部材３の寸法、挟持片１４、１６の寸法（挿着用開口部２４の寸法、位置など）の条件によって、電極２２が破損損傷しないように適宜決定すればよい。
【００７０】
例えば、後述するように、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から、締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂの中心までの距離Ｌ１と、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から挿着用開口部２４の中心までの距離Ｌ２の割
合に応じて、ネジ部材３０の締め付けトルクを設定すれば良い。
【００７１】
一例を挙げれば、電極２２が、アモルファスカーボン製で、外径が４ｍｍであり、かつ内径を２ｍｍの中空にした時は、ネジ部材３０の締め付けトルクは、１０〜５０ｃＮｍ、好ましくは、１０〜３０ｃＮｍとすれば、硬くて脆い性質のアモルファスカーボン製の電極２２と電極取り付け具１０を、破損損傷するこがなく、導通抵抗が低い状態で長期間確実に維持することができ、溶液の濃度を正確に測定することができる。
【００７２】
また、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から、締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂの中心までの距離Ｌ１と、挟持片１４、１６の基端部１４ａ、１６ａのスリット２０端部から挿着用開口部２４の中心までの距離Ｌ２の割合としては、上記の電極２２を破損損傷しない締め付け力（締め付け時のモーメント）を考慮すれば、２：１〜５：１、好ましくは、３：１〜４：１とするのが望ましい。
【００７３】
また、図２に示したように、スリット１２の幅Ｓ１としては、締め付け時に、挟持片１４、１６が相互に接触しない程度の値とするのが望ましい。
なお、この実施例の電極取り付け具１０では、締結部材として、ネジ部材３０を用いたが、図示しないが、挟持片１６の締結部材装着孔１６ｂには、ネジ溝１６ｃを形成せずに、ボルトとナットから構成することも可能である。
【００７４】
さらに、上記実施例では、締結部材であるネジ部材３０を、リード線を取り付けるためのリード線連結部として機能するようにしたが、例えば、挟持片１４、１６に溶接、ロウ付けなどによって、リード線を取り付けるようにすることも可能である。
【００７５】
図４は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具を用いた溶液濃度計の縦断面図、図５は、図４のＡ−Ａ線についての断面図、図６は、図４のＢ−Ｂ線についての断面図、図７は、図４のＣ方向矢視図、図８は、測定用管部部分拡大断面図である。
【００７６】
なお、電極取り付け具１０自体は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
図４〜図７において、符号４０は、全体で本発明の溶液濃度計を示している。
【００７７】
図４〜図７に示したように、溶液濃度計４０は、溶液濃度計４０を機器類に設置するための取り付け孔４１ａが形成されたベース板４１と、濃度計本体４２と、濃度計本体４２を覆うように、濃度計本体４２に固定された蓋部材４４を備えている。
【００７８】
この濃度計本体４２は、図４、図６に示したように、被測定溶液を流通させる測定用管部４６を備えており、この測定用管部４６の図４において上側の側壁には、測定用管部４６に、測定用管部４６の軸方向に対して、垂直な方向に電極２２を装着するための電極装着用開口部４８が形成されている。
【００７９】
この場合、この実施例の溶液濃度計４０は、いわゆる「４電極法」を用いて、被測定溶液の導電率を測定する溶液濃度計であって、４つの電極２２ａ〜２２ｄを装着するための電極装着用開口部４８ａ〜４８ｄが、図４および図５に示したように、所定間隔離間して形成されている。
【００８０】
すなわち、４つの電極２２ａ〜２２ｄのうち、外側の２つの電極２２ａ、２２ｄが一定電流を流すための電流用電極であり、内側の２つの電極２２ｃ、２２ｄが、電圧検出用の電圧電極を構成している。これにより、外側の２つの電流用電極２２ａ、２２ｄに一定電流を流すことによって、内側の２つの電圧検出用の電圧電極２２ｃ、２２ｄの電位差を測
定することによって、被測定溶液の導電率を求めるようになっている。
【００８１】
また、図４において、測定用管部４６の電極装着用開口部４８ａ〜４８ｄの反対側の壁面にはそれぞれ、電極２２ａ〜２２ｄの先端部分を固定するための凹部５０ａ〜５０ｄが形成されている。
【００８２】
これらの凹部５０ａ〜５０ｄに、電極２２ａ〜２２ｄの先端部分を挿着することによって、測定用管部４６の軸方向に対して、垂直な方向に電極２２ａ〜２２ｄを固定することができるようになっている。これによって、測定用管部４６内を流れる被測定用溶液の流れによって、電極２２ａ〜２２ｄが移動したり振動することを防止し、正確な導電率の測定を阻害するのを防止するように構成されている。
【００８３】
また、図８に示したように、電極装着用開口部４８には、シール材５４の装着を容易にするために、端部がテーパ状に加工されたシール溝５２が形成されており、このシール溝５２内に、測定用管部４６の接液部と電極２２を液密にシールするためのＯリングからなるシール材５４を収容するようになっている。
【００８４】
そして、このシール溝５２のシール材５４の上部には、このシール材５４を固定するリング形状の固定部材５６が取り付けられている。
このように構成することによって、図８の矢印Ｄで示したように、測定用管部４６を流れる被測定溶液によって、シール材５４を上方に移動させる力（矢印Ｅ）に対して、固定部材５６によって、シール材５４が固定されることになる。これにより、シール材５４が濃度計本体４２の測定用管部４６の内部の接液部の圧力上昇に対して、位置がずれないようになっている。
【００８５】
このように構成することによって、被測定溶液を流通させる測定用管部４６の管路内の圧力が上昇しても、固定部材５６によって、シール材５４が浮いてシール材５４のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、溶液濃度計４０の安定的な使用が可能となる。
【００８６】
また、図４〜図６に示したように、この電極装着用開口部４８に、電極２２を装着し、シール溝５２のシール材５４と固定部材５６を装着した状態で、電極２２の上端が、電極取り付け具１０によって挟持固定されている。そして、電極取り付け具１０が、測定用管部４６の上部に載置されるような状態になっている。
【００８７】
この場合、図５に示したように、左右２本ずつの電極２２ａ、２２ｂと電極２２ｃ、２２ｄを挟持固定する電極取り付け具１０が、測定用管部４６の軸線をはさんで対向するように配置された状態となっている。
【００８８】
すなわち、このように対向配置することによって、締結部材であるネジ部材３０をトルクレンチなどの締め付け具を使用する際に邪魔にならず、締め付けやすいようになっている。
【００８９】
さらに、電極取り付け具１０が、測定用管部４６の上部に載置された状態で、電極取り付け具１０の上部には、電極取り付け具１０に当接した状態で、略矩形平板状の電極固定板５８が配置されている。
【００９０】
この電極固定板５８には、図６に示したように、リード線３１とリード線接続端子３２を、電極固定板５８の上部に引き出すための操作用開口部６０が、左右２本ずつの電極２２ａ、２２ｂと電極２２ｃ、２２ｄに対応した位置に、４個形成されている。
【００９１】
また、図６に示したように、蓋部材４４には、長手方向の側壁６２、６４の内側に段部６２ａ、６４ａが形成されるとともに、図４に示したように、幅方向の一方の側壁６６の内側に段部６６ａが形成されている。
【００９２】
これにより、蓋部材４４を、濃度計本体４２に締結部材（図示せず）で、取り付け固定した際に、これらの段部６２ａ、６４ａ、６６ａが、電極固定板５８の上端に当接して、電極２２を挟持固定した電極取り付け具１０を、濃度計本体４２側に固定するようになっている。
【００９３】
なお、この場合、蓋部材４４を濃度計本体４２側に固定するには、図５に示したように、濃度計本体４２の四隅に形成した締結用孔４５を介して、図示しない締結部材で、例えば、ハステロイなどの耐食性材料で表面をテフロン（登録商標）処理された金属材料で構成したベース板４１に固定することによって、蓋部材４４、濃度計本体４２、ベース板４１が一体的に連結、固定されるようになっている。
【００９４】
これにより、電極固定板５８によって、電極取り付け具１０、電極２２、シール材５４と固定部材５６が固定され、測定用管部４６を流れる被測定溶液によって、上方に移動させる力に対して、固定部材５６によって、電極取り付け具１０、電極２２、シール材５４と固定部材５６が固定されることになる。
【００９５】
このように構成することによって、被測定溶液を流通させる測定用管部４６の管路内の圧力が上昇しても、固定部材５６によって、シール材が浮いてシール材のシール効果が低下するのを抑制することができ、濃度計本体内の接液部からの腐食性の溶液が漏洩することがなく、しかも、溶液濃度計４０の安定的な使用が可能となる。
【００９６】
このように構成することによって、測定用管部４６の電極装着用開口部４８に、電極２２を装着した状態で、電極２２を挟持固定した電極取り付け具１０を、濃度計本体４２を覆う蓋部材４４を、濃度計本体４２に固定するだけで、蓋部材４４、電極固定板５８を介して、濃度計本体４２側に固定することができる。
【００９７】
従って、電極２２を濃度計本体４２に取り付ける構造が簡単であり、取り付け作業も簡便であり、しかも、電極取り付け具１０を介して、電極固定板５８によって濃度計本体４２側に固定するので、電極２２自体を固定するのではないので、電極２２が破損損傷することもない。
【００９８】
さらに、図４に示したように、蓋部材４４には、他方の幅方向の側壁６８にリード線クランプ７０が装着されており、リード線クランプ７０には、リード線接続端子３２に接続されたリード線３１が挿着され、このリード線クランプ７０によってシールされるようになっている。
【００９９】
また、図４に示したように、蓋部材４４と濃度計本体４２との間の空間７２が、樹脂７４を充填することによって封止されている。
このように蓋部材４４と濃度計本体４２との間の空間７２が、樹脂７４を充填することによって封止されていることによって、濃度計本体４２内の接液部（電極装着用開口部４８）から、万一、腐食性の被測定溶液が漏洩した場合にも、電極取り付け具１０などのリード線取り付け部分などが腐食されることがなく、この部分の導通抵抗が低い状態で、長期間確実に維持することができる。
【０１００】
この場合、樹脂封止するための樹脂７４としては、耐食性樹脂材料であれば、特に限定
されるものではないが、例えば、シリコーン系の樹脂、エポキシ系の樹脂などを使用することができる。
【０１０１】
さらに、濃度計本体４２の測定用管部４６の両端には、機器類の配管に接続するための接続配管７６、７８が連結されている。
なお、測定用管部４６、接続配管７６、７８の材質としては、特に限定されるものではないが、被測定溶液として、例えば、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）樹脂などを使用するのが望ましい。
【０１０２】
この場合、接続配管７６、７８を、濃度計本体４２の測定用管部４６に接続するには、溶接するか（図４の溶接部分７５参照）、切削による一体形成するか、または、成型により一体成形すればよい。
【０１０３】
図９は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
なお、この実施例の電極取り付け具１０は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０４】
この実施例の電極取り付け具１０は、図９に示したように、締結部材であるネジ部材３０の代わりに、クランプ部材８０を用いて、挟持片１４、１６の先端部同士を挟持して締結するように構成されている。
【０１０５】
また、このクランプ部材８０のクランプ片８２、８４の先端部内側近傍には、挟持片１４、１６の先端部に形成した締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂにそれぞれ係合する係止突設部８２ａ、８４ａが形成されている。
【０１０６】
これによって、クランプ部材８０を用いて、挟持片１４、１６の先端部同士を挟持して締結した際に、電極取り付け具１０からクランプ部材８０が脱落するのが防止されるようになっている。
【０１０７】
このように構成することによって、クランプ部材８０によって、挟持片１４、１６の先端部同士を挟持するだけで、簡単容易に、電極２２持固定することができ、電極２２側から均一な力で締め付けることができる。
【０１０８】
図１０は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
なお、この実施例の電極取り付け具１０は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０９】
この実施例の電極取り付け具１０は、図１０に示したように、挟持片１４、１６には、複数（この実施例では２本の）電極２２をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部２４が形成されている。
【０１１０】
なお、この場合、複数の挿着用開口部２４の間は、例えば、樹脂などからなる絶縁部１４ｃ、１６ｃで電気的に絶縁されるようになっている。
このように、挟持片１４、１６に、複数の電極２２をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部２４が形成されていることによって、一度に複数の電極２２にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【０１１１】
この場合、挿着用開口部２４の数は、複数であれば、電極の数に応じて適宜決定される
ものであり、特に限定されるものではない。
図１１〜図１３は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【０１１２】
なお、この実施例の電極取り付け具１０は、図１〜図３に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には、同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例の電極取り付け具１０は、図１１に示したように、複数の電極取り付け具１０の挟持片１４、１６の先端部同士を同時に挟持するように、図９と同様なクランプ部材８０が電極取り付け具１０の数に応じて一体になった（図１１では、２個、図１２では、４個のクランプ部材が一体になった）クランプ部材９０を用いるようになっている。
【０１１３】
なお、クランプ部材９０のクランプ基端部の間は、相互に樹脂などの絶縁部９２によって、電気的に絶縁されるようになっている。
このように構成することによって、複数の電極取り付け具１０を、一つの締結部材であるクランプ部材９０で同時に挟持することができるので、一度に複数の電極２２にリード線を取り付けることができ、取り付け作業が容易で便利である。
【０１１４】
特に、図１２のように、４個の電極取り付け具１０を片側から、一つのクランプ部材９０で同時に締結することができるので、例えば、いわゆる「４電極法」に使用すれば、締結作業が一度に行え、極めて便利である。
【０１１５】
なお、このようなクランプ部材９０を用いる代わりに、図１３に示したように、１本の締結部材であるネジ部材３０、ナット３５を用いて、複数の電極取り付け具１０の締結部材装着孔１４ｂ、１６ｂに挿通して締結するようにすることも可能である。
【０１１６】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、いわゆる「４電極法」に使用した場合について説明したが、２電極法、３電極法などにも用いることが可能である。
【０１１７】
また、上記実施例では、締結部材であるネジ部材３０を、リード線を取り付けるためのリード線連結部として機能するようにしたが、例えば、挟持片１４、１６に溶接。ロウ付けなどによって、リード線を取り付けるようにすることも可能である。
【０１１８】
さらに、上記実施例では、例示として、被測定溶液として、例えば、半導体製造工程の洗浄工程において、洗浄液として、フッ酸などの強酸を用いる場合について説明したが、半導体製造工程の分野に限らず、例えば、アンモニア、塩酸、過酸化水素水、肥料、養殖魚類用海水、洗濯液など、イオン化され、原液を希釈するタイプの被測定溶液の濃度を導電率で測定する場合の全てに適用することも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】図１は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の斜視図である。
【図２】図２は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具の取り付け具本体の上面図である。
【図３】図３は、図１の溶液濃度計用電極取り付け具に電極を取り付ける状態を説明する概略図である。
【図４】図４は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具を用いた溶液濃度計の縦断面図である。
【図５】図５は、図４のＡ−Ａ線についての断面図である。
【図６】図６は、図４のＢ−Ｂ線についての断面図である。
【図７】図７は、図４のＣ方向矢視図である。
【図８】図８は、測定用管部部分拡大断面図である。
【図９】図９は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１０】図１０は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１１】図１１は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１２】図１２は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１３】図１３は、本発明の溶液濃度計用電極取り付け具の別の実施例の上面図である。
【図１４】図１４は、従来の電極の取り付け方法を説明する概略図である。
【図１５】図１５は、従来の電極の取り付け方法を説明する概略図である。
【符号の説明】
【０１２０】
１０ 溶液濃度計用電極取り付け具
１１ 取り付け具本体
１２ スリット
１４ 挟持片
１４ａ 基端部
１４ｂ 締結部材装着孔
１４ｃ 絶縁部
１６ 挟持片
１６ａ 基端部
１６ｂ 締結部材装着孔
１６ｃ ネジ溝
１８ 連結部
２０ スリット
２２ 電極
２２ａ〜２２d 電極
２４ 挿着用開口部
２６、２８ 挿着用凹部
３０ ネジ部材
３１ リード線
３２ リード線接続端子
３３ リング
３４ スプリングワッシャ
３５ ナット
３６ 平ワッシャ
４０ 溶液濃度計
４１ ベース板
４１ａ 取り付け孔
４２ 濃度計本体
４４ 蓋部材
４５ 締結用孔
４６ 測定用管部
４８ 電極装着用開口部
４８ａ-４８ｄ 電極装着用開口部
５０ａ-５０ｄ 凹部
５２ シール溝
５４ シール材
５６ 固定部材
５８ 電極固定板
６０ 操作用開口部
６２、６４ 側壁
６２ａ、６４ａ 段部
６６ 側壁
６６ａ 段部
６８ 側壁
７０ リード線クランプ
７２ 空間
７４ 樹脂
７５ 溶接部分
７６、７８ 接続配管
８０ クランプ部材
８２、８４ クランプ片
８２ａ、８４ａ 係止突設部
９０ クランプ部材
９２ 絶縁部
１００ 配管
１０２、１０４ 電極
１０６ 電極保持部材
１０６ａ 下端部
１０８ 締付部材
１１０ スルー継手
１１２ 取り付け孔
１１４ リード線
１１６ キャップ部材
１１８ 接触ピン
２００ 電極
２０２ 取り付け孔
２０４ リード線
２０６ ピン
２０８ バネ部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計において、電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項２】
前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする請求項１に記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項３】
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項４】
前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項５】
前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項６】
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した溶液濃度計用電極取り付け具を用いて、電極とリード線を接続したことを特徴とする溶液濃度計。
【請求項７】
被測定溶液を流通させる測定用管部と、
前記測定用管部に、測定用管部の軸方向に対して、垂直な方向に電極を装着するための電極装着用開口部と、
を備えた濃度計本体を備え、
前記溶液濃度計が、
前記電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、濃度計本体側に固定する電極固定板を備えることを特徴とする請求項６に記載の溶液濃度計。
【請求項８】
前記電極固定板が、濃度計本体を覆う蓋部材で、濃度計本体に固定されていることを特徴とする請求項６から７のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項９】
前記蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることを特徴とする請求項８に記載の溶液濃度計。
【請求項１０】
前記測定用管部の電極装着用開口部に装着したシール材と、
前記シール材を固定する固定部材とを備えることを特徴とする請求項６から９のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１１】
前記固定部材が、電極固定板によって固定されていることを特徴とする請求項１０に記載の溶液濃度計。
【請求項１２】
前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする請求項６から１１のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１３】
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする請求項６から１２のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１４】
前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする請求項６から１３のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１５】
前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする請求項６から１４のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１６】
前記電極が、アモルファスカーボンから構成されていることを特徴とする請求項６から１５のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１】
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計において、電極とリード線を接続するための溶液濃度計用電極取り付け具であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項２】
前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする請求項１に記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項３】
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項４】
前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項５】
前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の溶液濃度計用電極取り付け具。
【請求項６】
少なくとも一対の電極を、被測定溶液に接触させて、電極間を流れる電流によって被測定液体の導電率を測定することにより、被測定溶液の濃度を測定するように構成した溶液濃度計であって、
電極を挿着して挟持する挿着用開口部を画成するように挿着用凹部が形成された一対の相互に離間した挟持片と、
前記挟持片の基端部同士を連結する連結部とから構成される取り付け具本体と、
前記挟持片の先端部同士を締結する締結部材とを備え、
前記締結部材によって、挟持片の先端部同士を締結することによって、挟持片に形成した挿着用開口部に挿着した電極を挟持固定するように構成した溶液濃度計用電極取り付け具を用いて、電極とリード線を接続したことを特徴とする溶液濃度計。
【請求項７】
被測定溶液を流通させる測定用管部と、
前記測定用管部に、測定用管部の軸方向に対して、垂直な方向に電極を装着するための電極装着用開口部と、
を備えた濃度計本体を備え、
前記溶液濃度計が、
前記電極装着用開口部に、電極を装着した状態で、電極を挟持固定した溶液濃度計用電極取り付け具を、濃度計本体側に固定する電極固定板を備えることを特徴とする請求項６に記載の溶液濃度計。
【請求項８】
前記電極固定板が、濃度計本体を覆う蓋部材で、濃度計本体に固定されていることを特徴とする請求項６から７のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項９】
前記蓋部材と濃度計本体との間の空間が、樹脂を充填して封止されていることを特徴とする請求項８に記載の溶液濃度計。
【請求項１０】
前記測定用管部の電極装着用開口部に装着したシール材と、
前記シール材を固定する固定部材とを備えることを特徴とする請求項６から９のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１１】
前記固定部材が、電極固定板によって固定されていることを特徴とする請求項１０に記載の溶液濃度計。
【請求項１２】
前記締結部材に、リード線を取り付けるためのリード線連結部を備えることを特徴とする請求項６から１１のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１３】
前記挟持片の先端部に、締結部材装着孔が形成され、
前記締結部材装着孔に、締結部材を装着することによって、電極を挟持固定するように構成したことを特徴とする請求項６から１２のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１４】
前記挟持片に、複数の電極をそれぞれ挿着して挟持する、複数の挿着用開口部が形成されていることを特徴とする請求項６から１３のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１５】
前記締結部材が、複数の溶液濃度計用電極取り付け具の挟持片の先端部同士を同時に挟持するように構成されていることを特徴とする請求項６から１４のいずれかに記載の溶液濃度計。
【請求項１６】
前記電極が、アモルファスカーボンから構成されていることを特徴とする請求項６から１５のいずれかに記載の溶液濃度計。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００７−２８５８１９（Ｐ２００７−２８５８１９Ａ）
【公開日】平成１９年１１月１日（２００７．１１．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１１２３６３（Ｐ２００６−１１２３６３）
【出願日】平成１８年４月１４日（２００６．４．１４）
【出願人】（０００１４３９４９）株式会社鷺宮製作所 (253)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１１月１日（２００７．１１．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年４月１４日（２００６．４．１４）
【出願人】（０００１４３９４９）株式会社鷺宮製作所 (253)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]